DE4235678C1

DE4235678C1 - Surface treating workpieces in a vacuum chamber device - using a transport device to transfer workpieces with masks into and out of a treatment chamber.

Info

Publication number: DE4235678C1
Application number: DE19924235678
Authority: DE
Inventors: Roman Schertler
Original assignee: Balzers AG
Current assignee: OC Oerlikon Balzers AG
Priority date: 1992-10-22
Filing date: 1992-10-22
Publication date: 1994-05-26
Anticipated expiration: 2012-10-23

Abstract

Method of surface treating workpieces in which a masking organ (58) to cover a central and/or peripheral area of the workpiece is attached to the workpiece and simultaneously transferred into a working chamber. After working, the workpiece is transferred back to the first chamber in a reverse manner as the masking organ is removed. The novelty is that during these stages the chambers are maintained under vacuum. The same masking organ can be used repeatedly. It is attached by magnetic means, esp. a permanent magnet (62). The workpieces are fed before a connecting window (82) between the chambers (80, 78) and transferred by a ram-like device (94). USE/ADVANTAGE - In chemical etching and physical or chemical vacuum coating with or without glow discharge. There is no down-time when the mask has to be assembled or disassembled.

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren nach dem Oberbegriff von Anspruch 1 sowie eine Vakuumbe handlungsanlage nach demjenigen von Anspruch 7.The present invention relates to a method according to the preamble of claim 1 and a vacuum action system according to that of claim 7.

Bei der Oberflächenbehandlung von Werkstücken durch nicht-reaktive oder reaktive Vakuumprozesse, bei spielsweise durch Ätzverfahren, physikalische oder chemische Beschichtungsverfahren mit oder ohne Glimmentladungsunterstützung, ist es oft notwendig, Bereiche der zu behandelnden Oberfläche von einem oder mehreren der durchgeführten Behandlungsprozesse bzw. deren Einwirkung abzudecken. Ein typisches Bei spiel, worauf sich die vorliegende Erfindung auch insbesondere, aber nicht ausschließlich bezieht, ist dasjenige der Oberflächenbehandlung kreisscheibenför miger Werkstücke, wie bei der Speicherplatten-Ferti gung bzw. Bearbeitung, z. B. von CDs, magnetischen oder magneto-optischen Speicherplatten.With the surface treatment of workpieces non-reactive or reactive vacuum processes, at for example by etching, physical or chemical coating processes with or without Glow discharge support, it is often necessary Areas of the surface to be treated by one or more of the treatment processes performed or to cover their impact. A typical case game, which the present invention also in particular, but not exclusively, is that of the surface treatment circular disc workpieces, such as with the disk production supply or editing, e.g. B. of CDs, magnetic or magneto-optical storage disks.

Hierzu ist es z. B. aus DE-OS 39 12 297 und US-PS 3 669 060 bekannt, an einer Behandlungsstation Maskierungsorgane fix vorzusehen, für die erwähnten kreisscheibenförmigen Platten bei spielsweise für deren Zentrums- und Peripheriebe reich. Da die Maskierungsorgane dem jeweiligen Bearbeitungsprozeß ausgesetzt sind, müssen sie regelmäßig er setzt werden. Hierzu muß üblicherweise die jeweilige Behandlungsanlage oder mindestens die betroffene Be arbeitungsstation an Normalatmosphäre gesetzt werden, was entsprechend lange Standzeiten mit nachfolgender Rekonditionierung erfordert.For this it is e.g. B. from DE-OS 39 12 297 and US-PS 3 669 060 known to one Treatment station to provide masking organs, for the mentioned circular disk-shaped plates for example for their center and periphery love rich. Since the masking elements correspond to the respective machining process are exposed to them regularly be set. This usually requires the respective Treatment facility or at least the affected Be work station to be placed in normal atmosphere, which correspondingly long downtimes with subsequent Reconditioning required.

Dem Fachmann ist es im weiteren auch bekannt, die er wähnten Maskierungsorgane einem jeweiligen in einer Anlage bearbeiteten Werkstück fest zuzuordnen, d. h. Maskierungsbleche oder ähnliches an einem Werkstück träger vorzusehen und, falls dieser in der Anlage beweglich ist, mit dem Werkstück durch die Anlage zu füh ren. Auch hier bedingt aber der Maskenwechsel ein Öffnen der Anlage mit entsprechend langen Still stands- und Rekonditionierungszeiten.It is also known to the person skilled in the art that he mentioned masking organs each in a Assign the machined workpiece to the system, i.e. H. Masking plates or the like on a workpiece carrier and, if this is in the system can be moved with the workpiece through the system ren. Here, too, the mask change is necessary Opening the system with a correspondingly long shutdown stand and reconditioning times.

Ein Verfahren nach dem Oberbegriff von Anspruch 1 ist aus US-PS 4 857 160 bekannt. Dieses bekannte Konzept setzt mindestens ein Maskierungsorgan als separaten Teil ein, welcher dem Werkstück auf seinem Weg zur Behandlung appli ziert und danach davon entfernt wird. Damit wird er möglicht, ein Maskierungsorgan so oft an anfallende Werkstücke zu applizieren, wie seine Abnutzung durch die Bearbeitungsprozesse es er laubt, und es danach zu ersetzten. Bei dem bekannten Verfahren ist jedoch vorgesehen, das Maskie rungsorgan außerhalb der eigentlichen Behandlungsan lage, d. h. unter normalatmosphärischen Bedingungen aufzubringen, bzw. zu entfernen. Dies ist insofern nachtei lig, als aus dem Fachmann bekannten Gründen oft vermieden werden sollte, daß mehr Teile bzw. Oberflächen in die Be handlungsanlage eingeschleust werden als unbedingt notwen dig, nämlich mehr als durch das Werkstück selbst gegeben. Ein häufiges Aussetzen an Normalatmosphäre führt zu Gas- und Wasserdampfabsorption, zum Abblättern bereits aufge brachter Schichten und zur Partikelbildung.A method according to the preamble of claim 1 is known from U.S. Patent No. 4,857,160. This well known Concept sets at least a masking organ as a separate part, which the workpiece on its way to treatment appli adorned and then removed from it. With that he will possible to use a masking organ as often to apply resulting workpieces, such as its wear through the machining processes it he leaves, and to replace it afterwards. With the well-known The procedure is, however, the maskie organ outside the actual treatment location, d. H. under normal atmospheric conditions to apply or remove. This is a disadvantage lig, as often avoided for reasons known to those skilled in the art should be that more parts or surfaces in the loading handling system are absolutely essential dig, namely more than given by the workpiece itself. Frequent exposure to normal atmosphere leads to gas and water vapor absorption, already peeling off brought layers and for particle formation.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde ein Verfahren der genannten Art und eine Vorrichtung zu seiner Durchführung so zu verbessern, daß die Vorteile der frei durch die An lange beweglichen Maskierungsorgane beibehalten, die nach teiligen Folgen eines häufigen Ein- und Ausschleusens von Maskierungsorganen aber weitgehend vermieden werden.The invention has for its object a method of mentioned type and a device for its implementation to improve so that the benefits of freely by the An long movable masking organs are maintained after partial consequences of frequent in and out of Masking organs are largely avoided.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch die kennzeichnende Merkmale des Anspruchs 1 bzw. des Anspruchs 7 gelöst.This object is achieved by the characterizing Features of claim 1 and claim 7 solved.

Durch die Erfindung wird der Vorteil erzielt, daß die Mas kierungsorgane in Vakuumbedingungen belassen werden, d. h. konditioniert bleiben, was deren Standzeit erhöht und die Partikelbildung vermindert.The advantage of the invention is that the mas Kieren organs are left in vacuum conditions, d. H. remain conditioned, which increases their service life and the Particle formation reduced.

Obwohl es grundsätzlich möglich ist, innerhalb einer Vakuumbehandlungsanlage, d. h. unter Vakuumbedingungen, an beliebiger Stelle auf dem Bewegungsweg der Werkstücke die erwähnte Applikation der Maskierungsorgane vorzunehmen, wird vorzugsweise gemäß Anspruch 2 vorgegangen. Es hat sich gezeigt, daß die Phase, während der ein Werkstück von einer Kammer der Behandlungsanlage in eine nächste übergeben wird bzw. rückgeholt wird, sich optimal dazu eignet, das Maskierungsorgan zu applizieren. Although it is basically possible within one Vacuum treatment plant, d. H. under vacuum conditions anywhere on the movement path of the workpieces carry out the aforementioned application of the masking organs, is preferably proceeded according to claim 2. It has shown that the phase during which a workpiece from a Chamber of the treatment plant is passed into a next one or retrieved, is ideally suited to the Apply masking organ.

Eine optimale Ausnützung der Maskierungsorgane einer seits, anderseits ein minimal häufiges Neuzuführen unkonditionierter Maskierungsoberflächen in die Be handlungsanlage ergibt sich nach dem Wortlaut von An spruch 3 dadurch, daß dasselbe Maskierungsorgan von einem bearbeiteten Werkstück entfernt und an ein noch zu bearbeitendes appliziert wird. Periodisch werden dann neue Markierungsorgane zugeführt.Optimal use of the masking organs on the one hand, on the other hand a minimal frequent new addition unconditioned masking surfaces in the Be handling facility results from the wording of An say 3 by the same masking organ of removed from a machined workpiece and to another one to be processed is applied. Become periodic then fed new markers.

Anstelle durchaus realisierbarer mechanischer Zufüh rungen, Wechsler, etc. wird dem Anspruch 4 und 5 folgend vorgeschlagen, das Applizieren des Maskierungsorgans sowie dessen Entfernen, magnetfeld-gesteuert vorzu nehmen und dabei vorzugsweise das Mas kierungsorgan in Applikationsposition am Werkstück magnetisch, vorzugsweise permanentmagnetisch, festzuhalten.Instead of a feasible mechanical feeder stanchions, changers, etc. is the claims 4 and 5 following proposed applying the masking organ and its removal, preferably under magnetic field control take and preferably the mas Kierungsorgan in application position on the workpiece magnetically, preferably permanently magnetic.

Dadurch wird erreicht, daß in derjenigen Phase, in welcher das Maskierungsorgan gehandhabt werden muß, dies elektromagnetisch gesteuert erfolgen kann, was innerhalb der Anlage lokal erfolgt. Dann, wenn das Maskierungsorgan mit dem Werkstück transportiert wird, wird in der bevorzugten Ausführungsvariante, die Haltung des Maskierungsorganes und damit gegebe nenfalls auch des Werkstückes, permanentmagnetisch vorgenommen.This ensures that in that phase in which the masking organ has to be handled, this can be done electromagnetically controlled what takes place locally within the plant. Then if that Masking organ transported with the workpiece is, in the preferred embodiment variant, the position of the masking organ and thus given also the workpiece, permanently magnetic performed.

Ein bevorzugter Ablaufzyklus beim Wechsel des Maskie rungsorgans ergibt sich nach dem Wortlaut von An spruch 6.A preferred cycle when changing the mask governing body arises from the wording of An saying 6.

Die erfindungsgemäße Vakuumbehandlungsanlage zeich net sich zur Lösung der eingangs genannten Aufgabe nach dem kennzeichnenden Teil von Anspruch 7 aus, be vorzugte Ausführungsvarianten davon nach den Ansprü chen 8 bis 11.The vacuum treatment plant according to the invention net to solve the problem mentioned above according to the characterizing part of claim 7, be preferred design variants thereof according to the claims Chen 8 to 11

Die Erfindung wird anschließend beispielsweise an hand von Figuren erläutert.The invention is then based on, for example hand explained by figures.

Es zeigenShow it

Fig. 1 schematisch einen Längsschnitt durch eine bevorzugte Anlagenkonfiguration, woran das erfindungsgemäße Verfahren realisiert ist, Fig. 1 shows schematically a longitudinal section through a preferred system configuration, followed by the inventive method is realized,

Fig. 2 eine teilweise geschnittene Aufsicht auf eine Anlage gemäß Fig. 1, Fig. 2 is a partially sectioned plan view of a plant according to Fig. 1,

Fig. 2a eine bevorzugte Ausführungsvariante einer an einer Kammer an der Anlage gemäß den Fig. 1 und 2 vorgesehenen Werkstückaufnah me, Fig. 2a shows a preferred embodiment of a chamber provided on a on the system of FIGS. 1 and 2 Werkstückaufnah me,

Fig. 3a-3f schematisch das Prinzip des erfindungsgemäßen Verfahrens bzw. einer erfindungsgemäßen Vakuumbehandlungsanlage in bevorzug ter Realisation, FIGS. 3a-3f schematically the principle of the inventive method or a vacuum treatment plant according to the invention in Favor ter realization,

Fig. 4 den Übergabebereich für Werkstücke mit Maskierungsorganen an einer Anlage gemäß den Fig. 1 bzw. 2 in einer weiteren Ausfüh rungsform, Fig. 4 approximate shape the transfer area for workpieces with masking organs of a plant according to Figs. 1 and 2 in a further exporting,

Fig. 5 schematisch das Grundprinzip des erfin dungsgemäßen Verfahrens bzw. einer dieses realisierenden Anlage, Fig. 5 shows schematically the basic principle of the method according OF INVENTION dung and a plant embodying this,

Fig. 6 schematisch und teilweise geschnitten eine Kammer, wie sie an der Anlage gemäß den Fig. 1 und 2 verwendet wird, zur Erläute rung ihrer Grundprinzipien, Fig. 6 shows schematically and partly in section a chamber, as they tion to the plant shown in FIGS. 1 and 2 is used for Erläute its basic principles,

Fig. 7 eine Kammer analog zu der in Fig. 6 darge stellten als weitere Variante, Fig. 7 shows a chamber analogous to that in Fig. 6 Darge presented as a further variant,

Fig. 8 teilweise geschnitten, eine weitere Reali sationsform des Prinzips einer Kammer, wie sie auch an der Anlage gemäß den Fig. 1 und 2 eingesetzt ist, Fig. 8 partially cut, another Reali sationsform the principle of a chamber, as it is also used on the system according to FIGS. 1 and 2,

Fig. 9 prinzipiell die Kammer gemäß Fig. 6 in ei ner weiteren Realisationsform und in eine weitere Anlagenkonstellation eingebaut, Fig principle incorporated. 9, the chamber according to Fig. 6 in egg ner further realization form and in another system configuration,

Fig. 10 in Aufsicht und teilweise geschnitten, eine Konfiguration einer Anlage gemäß Fig. 9,Partly in section Fig. 10 in plan view and, a configuration of a system according to FIG. 9,

Fig. 11 schematisch das Grundprinzip, welches Kam mern gemäß den Fig. 8 bis 10 bzw. eine der Anlagenkammern gemäß Fig. 1 und 2 befol gen, Fig schematically which Kam numbers shown in FIGS. 8 to 10 or one of the contact chambers according to FIG. 1 and 2 befol gen. 11, the basic principle,

Fig. 12 ausgehend vom Prinzip nach Fig. 11 schema tisch eine weitere Möglichkeit der Kammer auslegung, Fig. 12, starting from the principle of Fig. 11 schematically shows a further possibility of the chamber design,

Fig. 13 ausgehend von der Auslegung der Kammer nach Fig. 12 eine noch weitergehende Auslegungs möglichkeit, Fig. 13 starting from the design of the chamber of FIG. 12 is a still further possibility of interpretation,

Fig. 14 teilweise geschnitten eine weitere Realisa tionsform einer Kammer, nach dem gleichen Prinzip wie die eine an der Anlage von Fig. 1 verwendete Kammer bzw. der Kammern nach den Fig. 8 bis 13, Fig. 14 partly in section a further Realisa tion form of a chamber, according to the same principle as a chamber used in the system of Fig. 1 or the chambers of FIGS. 8 to 13,

Fig. 15 die Definition von graphischen Symbolen für verschiedene Kammertypen, Fig. 15 shows the definition of graphical symbols for different types of chambers,

Fig. 16 beispielsweise Anlagekonfigurationen mit jeweils mindestens einer der Kammern, dem Prinzip der Kammern gemäß Fig. 1 und 2 folgend, modular aufgebaut. Fig. 16, for example, plant configurations with at least one of the chambers, the principle of the chambers according to FIG. 1 and the following is modular. 2

Anhand der Fig. 1, 2, 2a soll vorerst eine heute be vorzugte Anlagenkonstellation beschrieben werden, welche das erfindungsgemäße Vorgehen umfaßt. Fig. 1 ist weitergehend schematisiert als Fig. 2, aus Übersichtsgründen. Es sind in den Fig. 1 bis 2a die glei chen Bezugszeichen verwendet.Referring to Figs. 1, 2, 2a is a today be ferred system configuration will be described initially, which comprises approach of the present invention. Fig. 1 is more schematic than Fig. 2, for reasons of clarity. The same reference numerals are used in FIGS. 1 to 2a.

Die Anlage umfaßt eine erste Kammer 1 und eine zwei te Kammer 2, welche über eine Verbindungsöffnung 4 miteinander kommunizieren. Die erste Kammer 1, als Pufferkammer ausgebildet, weist (Fig. 2) eine Zuspei se- bzw. Entnahmeöffnung 6 - eine Schleusenöffnung - auf, die mit einem getrieben betätigten Zuführ- und Verschlußteller 8 dichtend verschließbar ist. Zen tral am Gehäuse der ersten Kammer 1 gelagert, ist ein Drehantrieb 10 vorgesehen, welcher über eine An triebsachse 12 ein Karussell 14 antreibt. Letzteres umfaßt eine Übertragerplatte 16, woran, über Blatt federn 18 (siehe auch Fig. 2a) Aufnahmen 20 für kreisscheibenförmige Werkstücke 22 angeordnet sind. Aufgrund der Blattfedernaufhängung sind die Aufnahmen 20, wie in Fig. 1 bei s₁ dargestellt, radial federnd ausbiegbar.The system comprises a first chamber 1 and a two-th chamber 2 , which communicate with each other via a connection opening 4 . The first chamber 1 , designed as a buffer chamber, has ( Fig. 2) a feed or removal opening 6 - a lock opening - which can be sealed with a driven feed and closure plate 8 . Zen mounted centrally on the housing of the first chamber 1 , a rotary drive 10 is provided which drives a carousel 14 via a drive axis 12 . The latter comprises a transfer plate 16 , on which springs 20 (see also FIG. 2a) are arranged for leaf-shaped workpieces 22 via leaf springs 18 . Due to the leaf spring suspension, the receptacles 20 , as shown in FIG. 1 at s _1, can be bent out in a radially resilient manner.

Die am Karussell 14 vorgesehenen acht Aufnahmen 20 sind im wesentlichen als Rahmen ausgebildet, wie ins besondere in Fig. 2a ersichtlich. Sie weisen, senk recht zur Ausdehnungsfläche der Werkstücke 22 be trachtet, eine Durchgriffsöffnung 24 auf sowie, aus Übersichtsgründen nur in Fig. 2a eingetragen, einen zangenähnlich wirkenden Festhaltemechanismus 26 für die Werkstücke 22 über der Durchgriffsöffnung 24. Aufgrund der randseitigen Anordnung (Fig. 2a) der Blattfedern 18 bleibt die Durchgriffsöffnung 24 frei.The eight receptacles 20 provided on the carousel 14 are essentially designed as a frame, as can be seen in particular in FIG. 2a. They have, perpendicular to the expansion surface of the workpieces 22 , a penetration opening 24 and, for reasons of clarity, only entered in FIG. 2a, a pliers-like holding mechanism 26 for the workpieces 22 above the penetration opening 24 . Due to the edge arrangement ( Fig. 2a) of the leaf springs 18 , the passage opening 24 remains free.

Die Werkstücke, hier Speicherplatten, weisen eine Zentrumsöffnung 28 auf. Durch schrittweises Drehen des Karussells 14 werden Aufnahmen 20 sequentiell über die Öffnungen 4 und 6 der Kammer 1 gedreht.The workpieces, here storage plates, have a center opening 28 . By gradually rotating the carousel 14 , receptacles 20 are rotated sequentially via the openings 4 and 6 of the chamber 1 .

Wie insbesondere auch in Fig. 2 ersichtlich, ist be züglich der Achse A₁₄ des Karussells 14 in Kammer 1, dem Übertrager 16 gegenüberliegend, ein Lagersockel 29 am Gehäuse der Kammer 1 starr montiert, woran, ausgerichtet auf die hier beispielsweise vorgesehenen zwei Öffnungen 4 und 6, entsprechend, zwei unabhän gig voneinander radial aus- und einschiebbare Teller 30a und 30b angeordnet sind. Die Antriebsorgane für die Teller 30a und 30b sind vakuumtechnisch über Bäl ge 32a, b abgedichtet bzw. abgekapselt. Pneumatische Steuerleitungen 34a bzw. b sind, wie in Fig. 1 sche matisch dargestellt, in den Block 29 geführt. Wie mit 36 weiter schematisch in Fig. 1 dargestellt, weist die Kammer 1 einen Pumpanschluß 36 zu deren Kondi tionierung auf, gegebenenfalls auch Gasanschlüsse.As can also be seen in particular in FIG. 2, with respect to the axis A _{14 of} the carousel 14 in chamber 1 , opposite the transmitter 16 , a bearing base 29 is rigidly mounted on the housing of the chamber 1 , which is aligned with the two openings 4 provided here, for example and 6 , accordingly, two independently radially extendable and insertable plates 30 a and 30 b are arranged. The drive elements for the plates 30 a and 30 b are vacuum-sealed or encapsulated via bellows 32 a, b. Pneumatic control lines 34 a and b are, as shown in Fig. 1 cal matically, performed in block 29 . As further shown schematically at 36 in Fig. 1, the chamber 1 has a pump connection 36 for their conditioning, possibly also gas connections.

Durch das an der Kammer 1 realisierte Prinzip des Ka russells mit einer Vielzahl von Aufnahmen 20 für Werkstücke und den radial wirkenden Tellern 30, wird, wie ersichtlich, erreicht, daß eine höhere Anzahl Werkstücke in dieser Kammer enthalten ist, als momen tan durch die vorgesehenen Öffnungen gehandhabt wird, was den großen Vorteil mit sich bringt, daß die momentan bezüglich der erwähnten Öffnungen nicht gehandhabten Werkstücke in dieser Kammer konditio niert, insbesondere ausgegast werden können. Dies kann durch Beheizen unterstützt werden oder andere bekannte Vorbehandlungen.Due to the principle of the Ka russell realized on the chamber 1 with a large number of receptacles 20 for workpieces and the radial plates 30 , as can be seen, it is achieved that a higher number of workpieces is contained in this chamber than is currently the case with the intended ones Openings are handled, which has the great advantage that the workpieces currently not handled with respect to the openings mentioned are conditioned in this chamber, in particular can be outgassed. This can be supported by heating or other known pretreatments.

Im weiteren ist ein Vorteil darin zu erblicken, daß die Handhabung der Werkstücke bezüglich der erwähnten Öffnungen in derselben Ebene erfolgt, in welcher mittels des Karussells die Werkstücke in Kammer 1 ge dreht werden. Mithin eröffnet sich damit die Möglich keit, eine Gesamtanlage mit der Kammer 1 und an ihren Öffnungen angeordneten weiteren Kammern, seien dies weitere Transport- bzw. Verteilkammern oder Bearbei tungskammern oder Schleusenkammern, modular, kompakt auch radial, damit erwünschtenfalls flach aufzubauen.Another advantage is to be seen in the fact that the workpieces are handled with respect to the openings mentioned in the same plane, in which the workpieces are rotated into chamber 1 by means of the carousel. This opens up the possibility of a complete system with the chamber 1 and further chambers arranged at its openings, whether these are further transport or distribution chambers or processing chambers or lock chambers, modular, compact and also radial, so that, if desired, they can be built flat.

Selbstverständlich können an der Kammer 1, jetzt für sich betrachtet, mehr als zwei Öffnungen vorgesehen und durch entsprechend angeordnete Teller 30 radial bedient werden. Dabei bleibt die Aufbaueinfachheit erhalten, indem das Karussell sehr einfach antreibbar ist und die radialen Handhabungsbewegungen von einem stationären Zentrum aus angesteuert werden können, womit auch diese Ansteuerung wesentlich einfacher ist als wenn Drehbewegung und Axialbewegung gekoppelt werden. Grundsätzlich ist es aber, unter Beibehalt dieser einfachen Bauweise, durchaus möglich, den Soc kel 29 mit den Tellern 30 um Achse A₁₄ getrieben, aber unabhängig vom Karussell 14 zu drehen. Damit können mit weniger Tellern 30 mehr Öffnungen bedient werden. Dies insbesondere dann, wenn die Öffnungen nicht dicht verschlossen werden müssen, wie z. B., wenn die Dichtung mittels Diffusionsspaltdichtungen für eine betrachtete Anwendung ausreicht.Of course, more than two openings can be provided on the chamber 1 , now considered individually, and operated radially by appropriately arranged plates 30 . The simplicity of the structure is retained in that the carousel can be driven very easily and the radial manipulation movements can be controlled from a stationary center, which makes this control much easier than if the rotary movement and axial movement are coupled. Basically, it is, while maintaining this simple design, quite possible, the Soc kel 29 driven with the plates 30 about axis A ₁₄ , but independently of the carousel 14 to rotate. This means that 30 more openings can be served with fewer plates. This is especially true if the openings do not have to be sealed tightly, such as. B. if the seal by means of diffusion gap seals is sufficient for an application under consideration.

Bei der hier dargestellten Ausführung wirkt der Öffnungsbereich an der Öffnung 6 als eigentliche Ein- und Auslaßschleuse für Werkstücke, während die Kam mer 1 an sich der Konditionierung aus der Atmosphäre eingebrachter Werkstücke dient, bevor sie durch Öffnung 4 in noch zu beschreibender Art und Weise hin gegen eine Bearbeitungsstation gefördert werden.In the embodiment shown here, the opening area at the opening 6 acts as the actual inlet and outlet lock for workpieces, while the chamber 1 itself serves to condition workpieces introduced from the atmosphere before opening through opening 4 in a manner to be described be promoted against a processing station.

Es sei nun an der spezifisch dargestellten Konfigura tion der Kammer 1 die Funktion der Werkstückzu- bzw. Wegführung durch die als eigentliche Schleuse ausge bildete Öffnung 6 betrachtet.It should now be considered at the specifically shown configuration of the chamber 1, the function of the workpiece feed or routing through the opening 6 formed as the actual lock.

Durch Drehung des Karussells 14 in der mit s₂ in Fig. 2 eingetragenen Richtung wird bei rückgeholtem Teller 30a und selbstverständlich, über Dichtungen 38, dich tend verschlossenem Zuführ/Verschließteller 8, eine Aufnahme 20, z. B. mit fertig bearbeitetem Werkstück, in den Öffnungsbereich gedreht. Danach wird mit dem Teller 30a, gegen die Wirkung der Federn 18, die be trachtete Aufnahme 20 mit Dichtungen 40 dichtend an die Wandung der Kammer 1 gelegt, wobei nicht darge stellte Dichtungen zwischen Aufnahme 20 und Teller 30a die vakuumdichte Abschottung der Öffnung 6 zur Kammer 1 sicherstellen.By rotating the carousel 14 in the direction entered with s ₂ in FIG. 2, when plate 30 is retrieved and of course, via seals 38 , sealed feed / closing plate 8 , a receptacle 20 , e.g. B. with finished workpiece, rotated into the opening area. Thereafter, with the plate 30 a, against the action of the springs 18 , the intended receptacle 20 with seals 40 sealingly placed on the wall of the chamber 1 , not illustrated seals between the receptacle 20 and plate 30 a, the vacuum-tight partitioning of the opening 6 to chamber 1 .

Beispielsweise magnetisch, pneumatisch oder mecha nisch wird das Werkstück 22, nach Lösen des Festhal temechanismus 26 durch Wirkung eines Betätigungsstö ßels, wie er in Fig. 2a bei s₃ dargestellt ist, vom Zuführ/Verschließteller 8 aus der Aufnahme 20 über nommen. Unter Beibehaltung des dichten Verschlusses von Teller 30a über Aufnahme 20 an der Wandung der Kammer 1 kann nun der Zuführ/Verschließteller 8 ab gehoben werden, das bearbeitete Werkstück wird von ihm entfernt und ein neu zu bearbeitendes eingelegt. Der Teller 8 wird mit dem neu zu bearbeitenden Werk stück wiederum dichtend verschlossen, es übernimmt der Festhaltemechanismus 26 an der nun freien Aufnah me 20 das neu zu bearbeitende Werkstück, worauf der Teller 30a in die in Fig. 2 gestrichelt dargestellte Rückholposition gefahren wird. Damit ist das Karus sell frei, einen Takt in Richtung s₂ weiter zu dre hen.For example, magnetically, pneumatically or mechanically, the workpiece 22 , after loosening the holding mechanism 26 by the action of an actuating plunger, as shown in FIG. 2a at s ₃ , is taken from the feed / closing plate 8 from the receptacle 20 . While maintaining the tight closure of plate 30 a via receptacle 20 on the wall of chamber 1 , the feed / closing plate 8 can now be lifted off, the machined workpiece is removed from it and a new one to be machined is inserted. The plate 8 is in turn sealed with the new workpiece to be machined, it takes over the holding mechanism 26 on the now free Aufnah me 20 the workpiece to be machined, whereupon the plate 30 a is moved into the return position shown in dashed lines in Fig. 2. This means that the sell carus is free to turn one bar further in the direction of s ₂ .

Wie gestrichelt bei 42 (Fig. 2) dargestellt, kann die Öffnung 6 über einen Pumpanschluß mit einer Pumpe 42 verbunden sein, wenn höchste Reinheitsanforderun gen an die Atmosphäre in der Kammer 1 gestellt wer den. Angesichts des extrem kleinen Volumens des als Schleuse wirkenden Öffnungsbereiches 6 vermag aber das Verdünnungsverhältnis, gegeben durch das Volumen im Öffnungsbereich 6 zu Volumen der Kammer 1 auszu reichen, um meistens eine genügende Reinheit der At mosphäre in der Kammer 1 zu gewährleisten.As shown in dashed lines at 42 ( FIG. 2), the opening 6 can be connected via a pump connection to a pump 42 if the highest purity requirements are placed on the atmosphere in the chamber 1 . In view of the extremely small volume of the opening area 6 acting as a lock, the dilution ratio given by the volume in the opening area 6 to volume of the chamber 1 is sufficient to usually ensure a sufficient purity of the atmosphere in the chamber 1 .

Wie bereits erwähnt wurde, kann der Teller 8 als Transportteller ausgebildet werden und Teil eines Transportmechanismus in einer weiteren an Öffnung 6 angeflanschten Kammer sein oder es kann ein anders gearteter Transportmechanismus Werkstücke durch Öffnung 6 dem Karussell 14 zuspeisen bzw. daraus entneh men. Im weiteren ist es ohne weiteres möglich, bei spielsweise in der Radialposition B, eine Entnahme schleuse vorzusehen, beispielsweise gleich aufgebaut, wie die im Zusammenhang mit der Öffnung 6 beschrie bene und an zwei getrennten Bereichen die Werkstücke der Kammer 1 zuzuführen und ihr wieder zu entnehmen.As already mentioned, the plate 8 can be designed as a transport plate and be part of a transport mechanism in a further chamber flanged to opening 6, or a different type of transport mechanism can feed workpieces through opening 6 to the carousel 14 or remove them therefrom. Furthermore, it is easily possible to provide a removal sluice for example in the radial position B, for example constructed in the same way as the one described in connection with the opening 6 and in two separate areas to supply the workpieces to the chamber 1 and remove them again .

Wie bereits erwähnt wurde, können mehr als zwei Tel ler 30 vorgesehen sein, um eine entsprechende Anzahl in der Kammer 1 vorgesehener Öffnungen zu bedienen, im Extremfall so viele, wie Aufnahmen 20 vorgesehen sind.As already mentioned, more than two Tel ler 30 can be provided to serve a corresponding number of openings provided in the chamber 1 , in extreme cases as many as receptacles 20 are provided.

Wie aus Fig. 2 ersichtlich, ist der Transportweg für die Werkstücke von ihrer Eingabe in die Kammer 1 zu ihrer Ausgabe aus der Kammer 1 hin gegen eine Bear beitungsstation wesentlich länger als der Transport weg von einer Bearbeitungsstation zurück in die Kam mer 1 und von dort zur Ausgabe des Werkstückes aus der Kammer 1. Grundsätzlich wird dann, wenn Kammer 1, wie auch immer ausgebildet, als Konditionierungskam mer für Werkstücke vor ihrer Bearbeitung ausgenützt wird, der Transportweg für Werkstücke von einer Auf nahmeöffnung zu einer Ausgabeöffnung für zu bearbei tende Werkstücke länger gewählt als der Transportweg für bearbeitete Werkstücke von einer diesbezüglichen Aufnahmeöffnung zu einer diesbezüglichen Ausgabeöff nung, seien nun Eingabe/Ausgabeöffnungen auch wie in Fig. 2 dargestellt, kombiniert, in Form beispielswei se von Ein/Auslaßschleusen. Dadurch wird die Ver weilzeit der Werkstücke in Kammer 1 als Vorkammer verlängert, während welcher die Werkstücke Wasser dampf und Gas abgeben können. Die Werkstücke werden somit für nachmalige Bearbeitungsschritte vorbereitet (konditioniert). Dies ist besonders bei Materialien wichtig, die eine große Gas- bzw. Wasserabsorption aufweisen, wie beispielsweise üblicherweise für Spei cherplatten eingesetzte Kunststoffe. Eine zu starke Ausgasung der Werkstücke an den Prozeßstationen ist deshalb nicht tolerierbar, weil dadurch die Beschich tung der Werkstücke unbrauchbar werden kann.As can be seen from Fig. 2, the transport path for the workpieces from their input into the chamber 1 to their output from the chamber 1 against a Bear processing station much longer than the transport away from a processing station back into the chamber 1 and from there for dispensing the workpiece from chamber 1 . Basically, if chamber 1 , however, is used as a conditioning chamber for workpieces before they are machined, the transport route for workpieces from a receiving opening to an output opening for workpieces to be machined is selected to be longer than the transport route for machined workpieces from one relevant receiving opening to a related output opening, input / output openings are now also shown in FIG. 2, combined, in the form of, for example, inlet / outlet locks. This extends the time of the workpieces in chamber 1 as an antechamber during which the workpieces can emit water and gas. The workpieces are thus prepared for subsequent processing steps (conditioned). This is particularly important for materials that have a high gas or water absorption, such as plastics commonly used for storage disks. Excessive outgassing of the workpieces at the process stations cannot be tolerated because the coating of the workpieces can thereby become unusable.

Es sei nun weiter die Kammer 2 und ihre Wechselwir kung mit Kammer 1 betrachtet.Let us now consider chamber 2 and its interaction with chamber 1 .

In der Kammer 2 ist ein Transportstern 44 mit bei spielsweise sechs Transportarmen 46 vorgesehen, wel cher durch einen Antrieb 48, über Achse 50 drehend angetrieben wird. Endständig sind an den Armen 46 mit vakuumdicht gekapselten Antriebsorganen radial vor- und rücktreibbare Teller 52 angeordnet. Die Teller 52 sind über die Öffnung 4 zu Kammer 1 einerseits, so wie zu einer oder mehreren zusätzlichen Öffnung(en) 54 schwenkbar, an welchen, wie am dargestellten Bei spiel, eine oder mehrere Bearbeitungsstation(en) an geordnet sein können und/oder weitere Transportkam mern bzw. Schleusenkammern. Am dargestellten Beispiel ist eine Bearbeitungskammer 56 vorgesehen.In the chamber 2 , a transport star 44 is provided with, for example, six transport arms 46 , which is driven in rotation by a drive 48 via axis 50 . At the ends of the arms 46 with drive elements, which are encapsulated in a vacuum-tight manner, are arranged radially forward and backward-driving plates 52 . The plates 52 are on the opening 4 to chamber 1 on the one hand, as well as to one or more additional opening (s) 54 on which, as in the example shown, one or more processing station (s) can be arranged and / or further transport chambers or lock chambers. In the example shown, a processing chamber 56 is provided.

Es sei nun die Übergabe von Kammer 1 nach Kammer 2 von Werkstücken betrachtet. Die Werkstücke müssen für ihre Oberflächenbearbeitung in einer Bearbeitungspo sition stromab der Öffnung 4, d. h. in Bewegungsrich tung der Werkstücke hinter der Öffnung 4, an er wünschten Oberflächenbereichen abgedeckt werden. Im hier betrachteten Fall von Speicherplatten muß für die Bearbeitung sowohl ihr Zentrumsbereich um die Öffnung 28 sowie ihr Peripheriebereich an mindestens einer der Bearbeitungsstationen abgedeckt werden.Let us now consider the transfer from chamber 1 to chamber 2 of workpieces. The workpieces must be covered for its surface processing in a machining position downstream of the opening 4 , ie in the direction of movement of the workpieces behind the opening 4 , at desired surface areas. In the case of storage disks considered here, both their center area around the opening 28 and their peripheral area at at least one of the processing stations must be covered for the processing.

In noch zu beschreibender Art und Weise wird die Zen tralmaskierung durch ein lose zugeführtes Maskie rungselement je zu bearbeitendes Werkstück sicherge stellt, welches, wie beschrieben werden wird, vor Be arbeitung den Werkstücken appliziert und nach Bear beitung davon wieder entfernt wird. Die Maskierungs organe 58 welche, nach deren Bearbeitung an den auf den Tellern 52 rückgeführten Werkstücken appliziert sind, werden im Bereich der Öffnung 4 von diesen be reits bearbeiteten Werkstücken weggenommen und einem neu auf einem der Teller 52 in der Kammer 2 aufge brachten Werkstück appliziert, das danach, durch Drehen des Transportsternes 44, in Bearbeitungsposi tion gebracht wird. Hierzu ist am drehfesten Teller 30b von Kammer 1 ein Elektromagnet zentral angeord net. In a manner yet to be described, the central masking is ensured by a loosely supplied masking element for each workpiece to be machined, which, as will be described, is applied to the workpieces before machining and removed therefrom after machining. The masking organs 58, which, after their processing, are applied to the workpieces returned on the plates 52 , are removed in the region of the opening 4 from these already machined workpieces and applied to a workpiece newly placed on one of the plates 52 in the chamber 2 , which is then brought into the processing position by turning the transport star 44 . For this purpose, an electromagnet is centrally arranged on the non-rotatable plate 30 b of chamber 1 .

In der beispielsweise in Fig. 2 dargestellten Dreh richtung s₄ werde ein scheibenförmiges Werkstück 22 der angesprochenen Art in die in Fig. 1 dargestellte Position gegenüber der Öffnung 4 transportiert. Der entsprechende Teller 52 wird mit Dichtungen 62 dicht an die Umrandung der Öffnung 4 angelegt. Das auf ihm reitende Werkstück 22, gehaltert durch ein Magnet 64, vorzugsweise ein Permanentmagnet, wird damit in die Öffnung 4 eingeschoben. Während der Drehbewegung des Tellers 52 um Achse 50 bzw. A 44 bleibt eine Aufnahme 20 ohne Werkstück, also eine leere Aufnahme 20, über Öffnung 4 positioniert. Der Teller 30b preßt dabei diese leere Aufnahme 20 über Dichtungen 66 und Dich tungen 68 dicht auf die Kammer-1-seitige Umrandung von Öffnung 4, so daß während der Drehbewegung des Transportsternes 44 die beiden Kammern 1 und 2 dich tend, gegebenenfalls vakuumdicht, getrennt sind.In the rotational direction s ₄ shown in FIG. 2, for example, a disk-shaped workpiece 22 of the type mentioned is transported into the position shown in FIG. 1 opposite the opening 4 . The corresponding plate 52 is placed with seals 62 close to the edge of the opening 4 . The workpiece 22 riding on it, held by a magnet 64 , preferably a permanent magnet, is thus inserted into the opening 4 . During the rotational movement of the plate 52 about axis 50 or A 44 , a receptacle 20 without a workpiece, ie an empty receptacle 20 , remains positioned over opening 4 . The plate 30 b presses this empty receptacle 20 via seals 66 and lines 68 tightly against the chamber 1-sided border of opening 4 , so that during the rotary movement of the transport star 44 the two chambers 1 and 2 tend to you, possibly vacuum-tight, are separated.

Wenn nun seinerseits der Teller 52 in Position ge bracht, mit den Dichtungen 62 diese Trennung seitens Kammer 2 gewährleistet, wird der Elektromagnet 60 am Teller 30b aktiviert, das Maskierungsorgan 58, aus magnetischem Material, ergriffen und durch Rückzug des Tellers 30b außer Eingriff mit dem Werkstück 22 und dem Teller 52 gebracht. Durch Betätigung eines Stößels, wie schematisch in Fig. 1 bei 70 darge stellt, ergreift der Festhaltemechanismus 26 gemäß Fig. 2a in der Aufnahme 20 das bearbeitete Werkstück 22. Nachdem der Teller 30b mit dem Maskierungsorgan 58 magnetisch daran gehaltert, rückgezogen ist, wird das Karussell 14 um einen Takt in Richtung s₂ weiter gedreht, wodurch eine nun mit einem nicht bearbeite ten Werkstück geladene Aufnahme 20 über die Öffnung 4 gedreht wird. Das vormals behandelte, vom Maskie rungsorgan befreite Werkstück liegt nun mit seiner zugeordneten Aufnahme 20 gemäß Fig. 2 in der Winkel position B. Durch Vorschieben des Tellers 30b, wei terhin mit dem vormals aufgenommenen Maskierungsorgan 58, wird letzteres dem neu zugeführten Werkstück 22 appliziert. Mittels der Dichtungen 66 und 68 an der nun neu eingeschobenen Aufnahme 20 wird wiederum die Kammertrennung sichergestellt.If, in turn, the plate 52 is brought into position with the seals 62, this separation on the part of chamber 2 ensures that the electromagnet 60 on the plate 30 b is activated, the masking member 58 , made of magnetic material, is gripped and disengaged by retraction of the plate 30 b brought with the workpiece 22 and the plate 52 . By actuating a plunger, as shown schematically in FIG. 1 at 70 , the holding mechanism 26 according to FIG. 2a grips the machined workpiece 22 in the receptacle 20 . After the plate 30 b with the masking member 58 is magnetically held thereon, withdrawn, the carousel 14 is rotated one cycle further in the direction s ₂ , as a result of which a receptacle 20 loaded with a non-machined workpiece is rotated via the opening 4 . The previously treated, masking organ freed workpiece is now with its associated receptacle 20 as shown in FIG. 2 in the angular position B. By advancing the plate 30 b, wei thereafter with the previously recorded masking member 58 , the latter is applied to the newly supplied workpiece 22 . The chamber separation is again ensured by means of the seals 66 and 68 on the newly inserted receptacle 20 .

Der Elektromagnet 58 wird nun desaktiviert, womit der Magnet 64 das Maskierungsorgan 58 mit dem Werkstück an den Teller 52 zieht und hält. Durch den dicht, vorzugsweise vakuumdicht (Balg), gebauten Stößel 70 wird hierzu der Festhaltemechanismus 26 gelöst.The electromagnet 58 is now deactivated, whereby the magnet 64 pulls and holds the masking member 58 with the workpiece against the plate 52 . For this purpose, the holding mechanism 26 is released by the tappet 70 , which is built tightly, preferably vacuum-tight (bellows).

Damit liegt nun das Werkstück maskiert auf dem Teller 52. Die Aufnahme 20 ist leer und bereit zur Aufnahme eines bearbeiteten Werkstückes im nächsten Zyklus. Der frisch geladende Teller 52 wird rückgeholt, die Kammertrennung ist durch Teller 30b und leere Aufnah me 20 sichergestellt. Durch Drehen des Transportster nes 44 wird einerseits das eben geladene Werkstück gegen seine Bearbeitungsposition weiter gedreht, an derseits ein bereits bearbeitetes in Position gegen über der leeren Aufnahme 20 gedreht. Die Dichtung 68 ist z. B. an der Aufnahme 20 angeordnet und hat bei der hier dargestellten Anlage an der Öffnung 6 schleusendichtende Aufgabe. Wie die Dichtung 68 kön nen auch die Dichtungen 66 und/oder 62 als Diffu sionsspaltdichtungen ausgebildet sein, wenn bei weni ger heiklen Bearbeitungsprozessen eine vakuumdichte Trennung zwischen den Kammern 1 und 2 nicht erforder lich ist oder beispielsweise der Kammer 2 nachge schaltete Bearbeitungs- und/oder Transportkammern für sich Abtrennorgane und Konditionierungsmittel aufwei sen.The workpiece is now masked on the plate 52 . The receptacle 20 is empty and ready to receive a machined workpiece in the next cycle. The freshly loaded plate 52 is retrieved, the chamber separation is ensured by plate 30 b and empty receptacle 20 . By rotating the Transportster nes 44 , on the one hand, the workpiece just loaded is rotated further against its machining position, on the other hand, an already machined workpiece is rotated into position opposite the empty receptacle 20 . The seal 68 is, for. B. arranged on the receptacle 20 and has in the system shown here at the opening 6 lock sealing task. Like the seal 68 , the seals 66 and / or 62 can also be designed as diffusion gap seals if, in the case of less delicate machining processes, a vacuum-tight separation between the chambers 1 and 2 is not required or, for example, the chamber 2 downstream processing and / or transport chambers for separation organs and conditioning agents.

Wenn jeweils ein Arm 46 des Transportsternes 44 ge genüber einer Bearbeitungsstation bzw. der dazu füh renden Öffnung, wie 54, positioniert ist, wird sein Teller 52 vorgetrieben und legt sich beispielsweise und falls erforderlich, mit den Dichtungen 62 an die Umrandung der Öffnung 54. Es erfolgt die Oberflä chenbearbeitung des maskierten Werkstückes 23, sei dies z. B. durch einen Ätzprozeß oder einen Beschichtungsprozeß. Am dargestellten Beispiel für Speicherplatten wird die periphere Maskierung durch einen Maskierungsring 72 ortsfest an der Bearbei tungsstation 56 montiert, realisiert, welcher federnd ausgebildet sein kann. Es ist jedoch ohne weiteres möglich, falls erforderlich, auch periphere oder an dere Maskierungsorgane prinzipiell gleich wie das Zentral-Maskierungsorgan 58 zu handhaben, was noch anhand von Fig. 4 erläutert werden wird.If each arm 46 of the transport star 44 is positioned opposite a processing station or the opening leading to it, such as 54 , its plate 52 is driven and, for example and if necessary, lies with the seals 62 on the edge of the opening 54 . There is the surface machining of the masked workpiece 23 , z. B. by an etching process or a coating process. In the example shown for storage disks, the peripheral masking is implemented by a masking ring 72 in a fixed position on the processing station 56 , which can be designed to be resilient. However, it is also possible, if necessary, to handle peripheral or other masking elements in principle in the same way as the central masking element 58 , which will be explained with reference to FIG. 4.

Wie bereits erwähnt, können auch an der Kammer 2 meh rere Bearbeitungsstationen vorgesehen sein und/oder gewisse der vorgesehenen Öffnungen in weitere Trans port- bzw. Verteilkammern ausmünden oder auch weitere Schleusenkammern. Wie schematisch bei 74 dargestellt, wird bei der dargestellten Anlage auch Kammer 2 für sich evakuiert bzw. konditioniert.As already mentioned, several processing stations can also be provided on the chamber 2 and / or some of the openings provided can open into further transport or distribution chambers or also other lock chambers. As shown schematically at 74 , chamber 2 is also evacuated or conditioned in the system shown.

Die Steuerleitungen für den Antrieb der Teller 52 werden (nicht dargestellt) durch die Achse 50 des Sterns 44 geführt.The control lines for driving the plate 52 are (not shown) through the axis 50 of the star 44 .

Wie in den Fig. 1 bis 2a nicht dargestellt, werden Maskierungsorgane 58 dann, wenn sie durch die Bear beitung verbraucht sind, z. B. wenn nach mehreren Durchläufen deren Beschichtung zu dick geworden ist, nicht mehr in die Kammer 2 rückgeführt, sondern wer den, z. B. mit dem Teller 30b, nicht mehr abgehoben und am bearbeiteten Werkstück verbleibend ausge schleust. Da dies vorausgeplant ist, wird ein nicht bearbeitetes, mit der Aufnahme 20, wie oben beschrie ben wurde, neu zugeführtes Werkstück, bereits mit ei nem Maskierungsorgan 58 in die Kammer 1 eingegeben, womit das ausgediente Maskierungsorgan 58 ersetzt wird.As not shown in FIGS . 1 to 2a, masking members 58 are then when they are used up by the machining, for. B. if after several runs the coating has become too thick, no longer returned to the chamber 2 , but who the z. B. with the plate 30 b, no longer lifted and remaining out on the machined workpiece. Since this is planned in advance, a non-worked, was prepared as beschrie ben with the socket 20 above, newly supplied workpiece, already entered with egg nem masking element 58 in the chamber 1, with which the disused masking element is replaced 58th

Die vorliegende Erfindung wurde anhand eines bevor zugten speziellen Ausführungsbeispiels gemäß den Fig. 1 bis 2a dargestellt.The present invention has been illustrated with the aid of a preferred embodiment shown in FIGS . 1 to 2a.

In Fig. 3 ist in prinzipieller Art dargestellt, wie grundsätzlich der Maskenwechsel zwischen zwei Trans portorganen erfolgt, wenn dem diesbezüglichen Konzept gemäß den Fig. 1, 2, 2a gefolgt wird.In Fig. 3 it is shown in a basic manner how fundamentally the mask change between two Trans port organs takes place if the relevant concept according to FIGS. 1, 2, 2a is followed.

Gemäß Fig. 3a werden zwei Kammern 80 und 78 durch die Trennwand 76 mit Öffnung 82 getrennt. In jeder Kammer ist eine Transportvorrichtung angeordnet, hier schematisch als Bandförderer 84 bzw. 86 dargestellt. An jedem der Förderer sind steuerbare Festhalteorgane für die Werkstücke 88 vorgesehen, wie schematisch bei 90 dargestellt. Die Transportrichtung der Werkstücke 88 gegen die Bearbeitungsposition erfolgt von Kammer 78 in Kammer 80, wie durch 55 dargestellt. Es werde nun die Anlage in Betrieb gesetzt.According to Fig. 3a two chambers are separated by the partition wall 76 with opening 82 and 78 80. A transport device is arranged in each chamber, shown schematically here as a belt conveyor 84 or 86 . Controllable holding members for the workpieces 88 are provided on each of the conveyors, as shown schematically at 90 . The direction of transport of the workpieces 88 against the machining position takes place from chamber 78 into chamber 80 , as represented by 55 . The system will now be put into operation.

Gemäß Fig. 3a ist dabei die Transportvorrichtung 84 leer, während mit der Transportvorrichtung 86 Werk stücke 88 gemeinsam mit den als separate Teile ausge bildeten Maskierungsorganen 92 in der mit s₆ angedeu teten Richtung zugeliefert werden. Das erste angelie ferte Werkstück No. 1 wird über Öffnung 82 gefördert und, wie in Fig. 3b dargestellt, mit dem Quertrans portorgan 94, z. B. in Form eines Stößels, vom Förde rer 86 durch Öffnung 82 in Förderer 84 geschoben. Der Förderer 84 wird nun gemäß Fig. 3b in der bei spielsweise eingetragenen Richtung s₇ weitergetaktet.According to Fig. 3a, the transport device 84 is empty it while the transport device 86 workpieces 88 supplied together with the out as separate parts formed masking bodies 92 in the angedeu ended with ₆ s direction. The first workpiece no. 1 is conveyed through opening 82 and, as shown in Fig. 3b, with the Quertrans portorgan 94 , z. B. in the form of a plunger, pushed by conveyor 86 through opening 82 in conveyor 84 . The conveyor 84 is now clocked according to FIG. 3b in the direction s ₇ entered in the example.

Dieser Vorgang läuft so lange, bis der zyklisch um laufende Förderer 84 vollständig mit Werkstücken ge laden ist, wovon ein Teil bereits bearbeitet ist. Da bei war bis anhin Förderer 86 in Förderrichtung stromab der Öffnung 82 immer geleert.This process continues until the cyclically rotating conveyor 84 is completely loaded with workpieces, part of which has already been processed. Until now, conveyor 86 was always emptied in the conveying direction downstream of the opening 82 .

Am Förderer 84 seien n Werkstücke applizierbar. Nun erscheint nach seiner Bearbeitung, in Förderrichtung, stromab der Öffnung 82, das Werkstück No. 1, wieder vor der Öffnung 82 gemäß Fig. 3c. Das Werkstück No. (n+1) am Förderer 86 wird nun, ohne Maskierung 92, zugeliefert. Wie durch den Übergang auf Fig. 3d er sichtlich, wird mit dem Quertransportorgan 94 einer seits das bearbeitete Werkstück No. 1 vom Förderer 84 in den Förderer 86 übergeführt und, andererseits, das Maskierungsorgan 92 vom Werkstück No. 1 abgehoben. daraufhin wird der Förderer 86 einen Schritt in Rich tung s₆ weiter bewegt. Damit entsteht die in Fig. 3e dargestellte Situation: Das bearbeitete Werkstück No. 1 wird zu einer Ausgabe aus Kammer 78 gefördert, wäh rend nun das Werkstück No. (n+1) über der Öffnung 82 liegt. Mit dem Quertransportorgan 94 wird das Maskie rungsorgan 92, welches bereits einen Umlauf von Öffnung 82 zu Öffnung 82 durch Kammer 76 durchlaufen hat, auf das unbearbeitete Werkstück No. (n+1) appli ziert und dieses Werkstück, wie aus Fig. 3f hervor geht, vom Förderer 86 durch Öffnung 82 in Förderer 84 übergeführt.N workpieces can be applied to the conveyor 84 . Now after machining, workpiece No. appears downstream of opening 82 , workpiece No. 1, again in front of the opening 82 according to FIG. 3c. The workpiece no. (n + 1) on the conveyor 86 is now supplied without masking 92 . As shown by the transition to Fig. 3d it clearly is to the transverse transport member 94 on the one hand, the machined workpiece No. 1 transferred from conveyor 84 to conveyor 86 and, on the other hand, masking member 92 from workpiece no. 1 lifted off. thereupon the conveyor 86 is moved one step further in the direction of direction s ₆ . This creates the situation shown in Fig. 3e: The machined workpiece No. 1 is conveyed to an outlet from chamber 78 , while workpiece no. (n + 1) lies above the opening 82 . With the transverse transport member 94 , the masking member 92 , which has already passed through a passage from opening 82 to opening 82 through chamber 76 , onto the unprocessed workpiece no. (n + 1) appli ziert and this workpiece, as shown in Fig. 3f, transferred from conveyor 86 through opening 82 in conveyor 84 .

Damit ist am Förderer 86 die Werkstückaufnahme frei, womit sich nun die Zyklen gemäß Fig. 3(c) bis (f) wiederholen können.The workpiece holder on the conveyor 86 is thus free, which means that the cycles according to FIGS. 3 (c) to (f) can now be repeated.

In Fig. 4 ist anhand eines schematisch dargestellten Ausschnittes mit der Öffnung 4 an der Anlage gemäß Fig. 1 eine weitere Ausbildung der Anlage darge stellt, bei der auch Peripher-Maskierungsorgane 58p, so wie das vorbeschriebene Maskierungsorgan 58, ge wechselt werden. Der Teller 52 mit Dichtungen 62 trägt in der dargestellten Ausführungsform, was nicht zwingend mit dem erwähnten Maskierungskonzept zu kop peln ist, eine Fahrzeugplatte 52a, welche magnetisch, vorzugsweise mittels Permanentmagneten 64a, am Teller 52, gehaltert ist.In Fig. 4 is based on a schematically illustrated section with the opening 4 on the system according to FIG. 1 represents a further embodiment of the system Darge, in which peripheral masking members 58 p, such as the previously described masking member 58 , are changed ge. The plate 52 with seals 62 carries, in the illustrated embodiment, which is not necessarily PelN with said masking concept LAD, a vehicle panel 52 a, which magnetically, is the plate 52, preferably supported by means of permanent magnets 64 a.

Die Fahrzeugplatte 52a ihrerseits trägt teller- 52-seitig Periphermagnete 64 _p sowie das zentrale Ma gnet 64. Eine Aufnahme 20 mit ihren Dichtungen wird, wie beschrieben wurde, durch Teller 30 _b mit Dichtun gen 66 gegen die Berandung der Öffnung 4 getrieben. Am Teller 30 _b sind Elektromagnete 60 _p für das peri phere Maskierungsorgan 58p bzw. 60 für das zentrale 58 vorgesehen. Mit den Magneten 60 _p wird die Weiter gabe des peripheren Maskierungsorgans 58p bewerkstel ligt, in Analogie zu der vorbeschriebenen bezüglich des Maskierungsorgans 58.The vehicle panel 52 a turn carries plate- 52-sided peripheral magnets 64 and the central _p Ma gnet 64th A receptacle 20 with its seals is, as has been described, driven by plates 30 _b with seals 66 against the edges of the opening 4 . On plate 30 _b electromagnets 60 _p for the peri phere masking member 58 p and 60 for the central 58 are provided. The magnets 60 _{p are} used to transmit the peripheral masking element 58 p, in analogy to that described above with respect to the masking element 58 .

Bei der Fahrzeugplatte 52a kann es sich um eine Werk stückadapterplatte handeln, welche jeweils entspre chend zu bearbeitenden Werkstücken 22 ausgewechselt wird. Sie durchläuft gemeinsam mit dem jeweiligen Werkstück 22 mindestens einen Teil der Werkstück transportbahn. Wie schematisch dargestellt, greift der Festhaltemechanismus 26 bei Vorsehen der Fahr zeugplatte 52a an letzterer an.The vehicle plate 52 a can be a workpiece adapter plate, which is exchanged accordingly for workpieces 22 to be machined. It passes through at least part of the workpiece transport path together with the respective workpiece 22 . As shown schematically, the holding mechanism 26 engages with the vehicle plate 52 a provided on the latter.

In Fig. 5 ist zum Aufzeigen der Allgemeinheit des be schriebenen Maskierungsverfahrens bzw. der Anlage hierfür dessen bzw. deren Grundprinzip dargestellt. Auf einem Förderer 100 werden, wie schematisch darge stellt, Werkstücke 102a, ohne Maskierung, einer ent lang des Förderers 100 und damit der Bewegungsbahn B der Werkstücke 102 wirkenden Applikationsstation 104 zugeführt, die von einem Magazin 106 mit losen Mas kierungselementen 108 gespiesen wird. Ausgangsseitig der Applikationsstation 104, d. h. der Station, an der Maskierungselemente 108 den Werkstücken 102a aufge bracht werden, werden die nun mit dem Maskierungsele ment 108 versehenen Werkstücke 102b einer oder mehre ren Bearbeitungsstationen zugeführt, generell darge stellt in Fig. 5 mit der Vakuumoberflächenbearbei tungsanordnung 110, worin die erwähnten Werkstücke 102b ein- oder zweiseitig oder rundum oberflächenbe arbeitet werden. Ausgangsseitig der Anordnung 110 werden die nun bearbeiteten weiterhin maskierten Werkstücke 102b einer entlang der Bewegungsbahn B der Werkstücke wirkenden Entnahmestation 112 zugeführt und verlassen die Entnahmestation 112 als nun bear beitete Werkstücke 102c, ohne Maskierungselement 108. Die an der Station 112 entfernten Maskierungselemente 108 werden entweder an die Applikationsstation 104 rückgespiesen, oder, wenn sie nach mehreren Rückfüh rungszyklen durch Wirkung der Bearbeitungsanordnung 110 verbraucht sind, wie bei 114 dargestellt, aus dem Umlauf gezogen. Dies über eine schematisch darge stellte gesteuerte Selektionseinheit 116.In Fig. 5 is shown to demonstrate the generality of the masking method or the system for this or its basic principle. On a conveyor 100 , as shown schematically Darge, workpieces 102 a, without masking, one ent along the conveyor 100 and thus the movement path B of the workpieces 102 acting application station 104 , which is fed by a magazine 106 with loose masking elements 108 . On the output side of the application station 104, that is, the station at which masking elements 108 to the workpieces 102 a are introduced up to now with the Maskierungsele element 108 provided workpieces 102 b one or more ren processing stations are supplied generally Darge, in Fig. 5 with the Vakuumoberflächenbearbei tion arrangement 110 , wherein the mentioned workpieces 102 b are processed on one or two sides or all around. On the output side of the array 110 are now further processed masked workpieces 102 b of a force acting along the path of movement B of the workpiece removal station 112 supplied to and leave the extraction station 112 as now bear beitete workpieces 102 c without masking member 108th The masking elements 108 removed at the station 112 are either fed back to the application station 104 or, if they are used up after a number of return cycles by the action of the processing arrangement 110 , are drawn out of the circuit, as shown at 114 . This is done via a schematically illustrated controlled selection unit 116 .

Anhand der Fig. 6 und 7 soll das allgemein gültige Prinzip der Transporttechnik, wie sie an der bevor zugten Anlage gemäß den Fig. 1 bis 2a in der Kammer 1 realisiert ist, dargestellt werden.6 and 7 to the general principle of transport technology, such as those represented at the before ferred system is realized according to Figs. 1 to 2 in the chamber 1 with reference to FIGS..

Gemäß Fig. 6 ist in der Transportkammer 120, welche für sich und/oder durch mindestens eine der minde stens zwei vorgesehenen Kammeröffnungen 122 vakuum technisch konditionierbar ist, ein Karussell 124 vor gesehen, welches, wie bei ω₁ dargestellt, gesteuert drehgetrieben wird. Am Karussell sind, wie auch immer geartete, gegebenenfalls gesteuerte Festhalteorgane 125 für Werkstücke 126 vorgesehen.Referring to FIG. 6 is in the transport chamber 120 which or through one of the minde least two foreseen chamber openings 122 is vacuum-conditionable alone and / minimum seen a carousel 124 against which, as shown at ω _1, is controlled rotationally driven. Regardless of the type, any controlled holding members 125 for workpieces 126 are provided.

Gemäß der Ausbildung nach Fig. 6 werden am Karussell 120 z. B. scheibenförmige Werkstücke 126 so gehaltert und transportiert, daß ihre Scheibenflächen bei Dre hung um die Drehachse des Karussells 124 eine zylin drische Fläche aufspannen. Bezüglich der Drehachse A₁₂₄ des Karussells 124 in einer bevorzugten Variante drehfest radial gesteuert ausfahr- bzw. rückholbar, sind Schuborgane 128 vorgesehen. Sind sie drehfest, so ist ihre Anzahl gleich der Anzahl damit zu bedie nender Öffnungen 122 in der Kammer 120, welche An zahl aber nicht zwingend gleich der Anzahl an der Kammer 120 überhaupt vorgesehener, von den Werkstüc ken durchlaufener Öffnungen zu sein braucht.According to the design according to FIG. 6, 120 z. B. disk-shaped workpieces 126 are held and transported so that their disk surfaces at Dre hung around the axis of rotation of the carousel 124 span a cylindrical surface. With regard to the axis of rotation A _{124 of} the carousel 124, in a preferred variant, in a rotationally fixed, radially controlled manner, they can be extended or retracted, push elements 128 are provided. If they are non-rotatable, their number is equal to the number of openings 122 to be operated in the chamber 120 , which number does not necessarily have to be the number of openings 120 provided by the workpieces, but not necessarily equal to the number of the chamber 120 .

Das Karussell 124 wird bevorzugterweise in Schritten drehgetrieben, so daß jeweils eine Aufnahme 125 auf eine zu bedienende Kammeröffnung 122 ausgerichtet wird, worauf mit dem besagter Kammeröffnung 122 fest zugeordneten Schuborgan 128 das positionierte Werk stück 126 in Richtung aus der Kammer 120 ausgegeben wird, oder, umgekehrt, durch besagte Öffnung 122 ein Werkstück von außerhalb der Kammer 120 rück- oder eingeholt wird.The carousel 124 is preferably rotatably driven in steps so that in each case a receptacle 125 is aligned with a chamber opening 122 to be operated, whereupon the positioned work piece 126 is discharged in the direction out of the chamber 120 with the chamber member 122 permanently assigned pushing element 128 , or, conversely, a workpiece is retrieved or retrieved from outside the chamber 120 through said opening 122 .

Wie ersichtlich, können an einer solchen Transport kammer 120 in gezielt konditionierter Atmosphäre mehr Werkstücke 126 zwischengelagert werden als Schuborga ne 128 vorgesehen sind. Es wird die Drehbewegung um die Achse 124 und die Radialbewegung, wie mit den Schuborganen 128 durchgeführt, getrennt, womit die Realisation der entsprechenden Antriebe und Steuer leitungen wesentlich vereinfacht wird.As can be seen, more workpieces 126 can be temporarily stored on such a transport chamber 120 in a specifically conditioned atmosphere than Schuborga ne 128 are provided. The rotary movement about the axis 124 and the radial movement, as carried out with the thrust members 128 , are separated, so that the implementation of the corresponding drives and control lines is considerably simplified.

Es ergibt sich eine optimale flache Kammer 120 auf grund der Tatsache, daß sowohl die notwendige Dreh bewegung des Karussells, wie auch die Radialbewegung der Schuborgane in einer Ebene erfolgen.The result is an optimal flat chamber 120 due to the fact that both the necessary rotary movement of the carousel and the radial movement of the thrust members take place in one plane.

Letzteres ist allerdings nicht zwingend, sondern be vorzugt. Es ist durchaus möglich, die Schuborgane 128 zur Achse A₁₂₄ schiefwinklig anzuordnen, wie strich punktiert in Fig. 6 angedeutet und, entsprechend, die Halterungen am Karussell sowie die Öffnungen in der Kammer 120 vorzusehen. Im weiteren ist es auch mög lich, an dem in Fig. 6 dargestellten Karussell, wie gestrichelt dargestellt, in Axialrichtung A₁₂₄ be trachtet, zwei oder mehr Lagen von Werkstücken vorzu sehen und mittels in dieser Achsrichtung gestaffelter Schuborgane 128, Kammeröffnungen 122 zu bedienen oder gar, wie mit v dargestellt, die vorgesehenen Schubor gane 128 wohl weiterhin drehfest vorzusehen, aber in Axialrichtung gesteuert verschieblich. Wie in Fig. 6 mit ω_2a dargestellt, ist es ohne weiteres möglich, auch die Schuborgane 128 um die Achse A₁₂₄ zu drehen, mit einem separaten Drehantrieb, wie gestrichelt bei 128 _m dargestellt. Wie dem Fachmann ersichtlich, er gibt sich eine Vielzahl von Möglichkeiten, das an der Kammer 120 bzw. 1 gemäß Fig. 1-2a realisierte Transportprinzip den jeweiligen Bedürfnissen entspre chend zu modifizieren.However, the latter is not mandatory, but preferred. It is entirely possible to arrange the thrust members 128 at an oblique angle to the axis A ₁₂₄ , as indicated by a dash-dotted line in FIG. 6, and accordingly to provide the holders on the carousel and the openings in the chamber 120 . Furthermore, it is also possible to look at the carousel shown in FIG. 6, as shown in broken lines, in the axial direction A ₁₂₄ , to see two or more layers of workpieces and to operate chamber openings 122 or by means of push elements 128 staggered in this axial direction even, as shown with v, the proposed Schubor gane 128 probably still provide non-rotatably, but slidably controlled in the axial direction. As shown in Fig. 6 with ω _2a , it is easily possible to also rotate the thrust members 128 about the axis A ₁₂₄ , with a separate rotary drive, as shown in dashed lines at 128 _m . As can be seen by the person skilled in the art, there are a multitude of possibilities for modifying the transport principle implemented on the chamber 120 or 1 according to FIGS . 1-2a in accordance with the respective needs.

Aus dieser Vielzahl sich nun eröffnender Möglichkei ten ist in Fig. 7 eine weitere dargestellt, die er möglicht, die Transportkammer 120 in ihrer Bauhöhe wesentlich zu reduzieren. Das Karussell 124 ist hier so ausgebildet, daß die kleinste Werkstückdimension, bei deren Ausbildung als scheibenförmige Werkstücke 126 deren Dickenausdehnung, parallel zur Karussell achse 124 liegt. Analog, wie in Fig. 6, sind die Schuborgane 128 ausgebildet, und die vorgesehenen Öffnungen 122a werden zu Schlitzen. From this multitude of possibilities that are now opening, another is shown in FIG. 7, which he enables to significantly reduce the height of the transport chamber 120 . The carousel 124 is designed here so that the smallest workpiece dimension, when they are designed as disk-shaped workpieces 126 whose thickness extension, lies parallel to the carousel axis 124 . Analogously, as in Fig. 6, the thrust members 128 are formed, and the openings 122 a are slits.

Es sei nun die Ausbildung der Kammer 2 in ihrer All gemeinheit betrachtet, sowie das Konzept des Anlagen aufbaus, unter Verwendung jeweils mindestens einer Kammer nach dem Konzept von Kammer 1 bzw. von Kammer 2.Let us now consider the formation of chamber 2 in its general unit, as well as the concept of the system structure, using at least one chamber according to the concept of chamber 1 or of chamber 2 .

In Fig. 8 ist eine Querschnittsdarstellung einer wei teren Ausführungsvariante einer Kammer 2 gemäß den Fig. 1, 2 dargestellt. Sie umfaßt einen Antriebsmo tor 130, auf dessen Achse, als Raumachse A und physi sche Antriebsachse 133, mindestens ein Transportarm 135 mit einer Achse A₁₃₅ gewinkelt, beispielsweise um 45° zur Raumachse A gewinkelt, befestigt ist. Wird mittels des Motors die Antriebsachse 133, wie bei ω₂ dargestellt, in Drehung versetzt, so überstreicht der oder die Transportarm(e) 135 eine Kegelfläche mit hier z. B. 45° Kegelöffnungswinkel ϕ. In Fig. 7 weist die Kammer K zwei zu bedienende Öffnungen auf. Eine erste Öffnung 137 ist beispielsweise und wie darge stellt, direkt als Schleusenöffnung ausgebildet. Dann braucht eine, z. B. nach dem Prinzip der Kammer nach den Fig. 5, 6 aufgebaute weitere Kammer 180 gege benenfalls keine Schleuse aufzuweisen. Sie umfaßt einen Rahmen 139, daran angeflanscht einen auf- und abbeweglichen Rahmen 141. Innerhalb des getrieben auf- und abbeweglichen Rahmens 141 liegt ein Dich trahmen 142, der das Schleusenvolumen 143 festlegt, mit einer Normalen A₁₄₃. Die Schleusenöffnung 137 umfaßt weiter einen Deckel 145, welcher z. B. linear in Richtung x verschieblich ist. Er kann selbstverständ lich auch um eine in Fig. 7 vertikale Achse zum Öff nen und Schließen schwenkbar sein. Er wird in seiner geschlossenen, dargestellten Position durch Absenken des Zwischenrahmens 141 in Richtung y, dichtend auf den Dichtrahmen 142 gelegt.In Fig. 8 is a cross-sectional view of a white variant embodiment of a chamber 2 shown in FIGS . 1, 2. It comprises a Antriebsmo gate 130 on its axis, a space axis A and physi cal drive axle 133, at least one transport arm 135 having an axis A angled _135, for example, angled 45 ° to the spatial axis A, is secured. If the drive axis 133 is rotated by means of the motor, as shown at ω ₂ , the transport arm (s) 135 sweeps over a conical surface with here, for. B. 45 ° cone opening angle ϕ. In Fig. 7, the chamber K has two openings to be operated. A first opening 137 is, for example, and as Darge provides, directly formed as a lock opening. Then one, e.g. B. according to the principle of the chamber according to FIGS . 5, 6, further chamber 180 may also have no lock. It comprises a frame 139 , with an up and down movable frame 141 flanged to it. Within the driven up and down frame 141 is a frame 142 , which defines the lock volume 143 , with a normal A ₁₄₃ . The lock opening 137 further includes a lid 145 which, for. B. is linearly displaceable in the direction x. It can of course also be pivoted about a vertical axis in FIG. 7 for opening and closing. In its closed, illustrated position, it is sealingly placed on the sealing frame 142 by lowering the intermediate frame 141 in the y direction.

Damit wird die Schleusenöffnung 137 gegen die Umge bung U abgedichtet.So that the lock opening 137 is against the surrounding environment U sealed.

Der Transportarm 135 trägt, endständig, als Träger partie einen Teller 149, worauf ein zu behandelndes Werkstück, im dargestellten Beispiel eine Speicher scheibe 151, ruht. Wie gestrichelt dargestellt, kann am Transportarm 135 der Teller 149 von seinem Sitz (eingezeichnet) am Dichtrahmen 142 gegen die Raumach se A rückgeholt werden und damit die Schleuse trans porteinrichtungsseitig geöffnet werden. Der Teller 149 braucht nicht dicht am Rahmen 142 anzuliegen, wenn in Kammer K nicht eine höchsten Reinheitsanfor derungen genügende Atmosphäre aufrechterhalten werden muß. Das Werkstück 151 wird mit dem Transportarm durch Drehen der Welle 133 mittels des Motors 130 an die zweite dargestellte Öffnung 157 gefördert. Der Radial-Antriebsmechanismus am Transportarm 135, des sen Ausbildung an sich die vorliegende Erfindung nicht tangiert und für welchen sich dem Fachmann man che Realisationsmöglichkeiten eröffnen, ist, was we sentlich ist, direkt an dem drehbaren Transportarm vorgesehen und mit einem Balg 153 vakuumdicht gegen die Umgebung in der Kammer K abgedichtet. Durch Dre hen des Transportarmes 135 wird das Werkstück 151, nämlich die Scheibe, in den Bereich der zweiten Öffnung 157 gefördert. Die Öffnung 157 legt die Öffnungsflächennormale A₁₅₇ fest. Aus der gestrichelt dargestellten Annäherungsposition Q heraus wird der Transportteller 149 mit dem Werkstück 151 in die aus gezogen dargestellte Position mittels des erwähnten beispielsweise pneumatischen Hubmechanismus am Arm 135 wieder angehoben, so daß sich der Teller 149 nun dichtend an den Rand der Öffnung 157 anlegt.The transport arm 135 carries, at the end, part as a carrier a plate 149 , whereupon a workpiece to be treated, in the example shown a storage disc 151 , rests. As shown in dashed lines, the plate 149 on the transport arm 135 can be retrieved from its seat (shown) on the sealing frame 142 against the spatial axis A and thus the lock can be opened on the transport device side. The plate 149 does not need to lie close to the frame 142 if the atmosphere in chamber K does not have to meet the highest requirements for cleanliness. The workpiece 151 is conveyed with the transport arm by rotating the shaft 133 by means of the motor 130 to the second opening 157 shown . The radial drive mechanism on the transport arm 135 , the sen training per se does not affect the present invention and for which the skilled man open che implementation possibilities, what is essential, is provided directly on the rotatable transport arm and with a bellows 153 vacuum-tight against Sealed environment in the chamber K. By rotating the transport arm 135 , the workpiece 151 , namely the disk, is conveyed into the region of the second opening 157 . The opening 157 defines the opening surface normal A ₁₅₇ . From the dashed line illustrated approach position Q out of the transport disk is lifted 149 with the workpiece 151 in the direction shown being pulled out of position by means of the mentioned example, the pneumatic lift mechanism on the arm 135 again, so that the plate 149 now applies itself sealingly to the edge of the opening 157th

Gegenüber der Umgebung U ist die Kammer K vorzugswei se vakuumdicht aufgebaut. Es werden je nach Einsatz zweck (nicht dargestellt), an den den Öffnungen der Kammer K angekoppelten Stationen und/oder Transport kammern und/oder an der Kammer K selbst und/oder an der Schleusenöffnung 137, Einrichtungen vorgesehen, um gezielt jeweilige Atmosphären einzustellen, d. h. es werden daran Evakuierungsanschlüsse und/oder Gas einlässe vorgesehen. Ein Pumpanschluß 160 für Kammer K und gegebenenfalls die Schleusenöffnung 137, sind in Fig. 8 dargestellt.Compared to the environment U, the chamber K is preferably vacuum-tight. Depending on the purpose (not shown), devices are provided at the stations and / or transport chambers coupled to the openings of the chamber K and / or at the chamber K itself and / or at the lock opening 137 , in order to selectively set respective atmospheres, That means that evacuation connections and / or gas inlets are provided. A pump connection 160 for chamber K and possibly the lock opening 137 are shown in FIG. 8.

Ist die Kammer so ausgebildet, daß alle Kammeröff nungen durch je einen der vorgesehenen Arme 135 dich tend verschlossen werden, so ergibt sich damit die Möglichkeit, die jeweiligen Atmosphären in den den Öffnungen zugeordneten Bearbeitungsstationen und/ oder Transportkammern und/oder Schleusenstationen, unabhängig von derjenigen in der Kammer K vorzugeben. In gewissen Fällen kann es aber durchaus genügen, ei ne gemeinsame Atmosphäre für mindestens eine weitere Kammer bzw. Station und die Kammer vorzusehen, wo mit dann beispielsweise nur die Kammer K zu konditio nieren bzw. zu evakuieren ist, wie in Fig. 8 z. B. dargestellt, gemeinsam z. B. die Schleusenöffnung 135 und die Kammer K.If the chamber is designed in such a way that all of the chamber openings are closed by one of the arms 135 provided, the result is the possibility of changing the respective atmospheres in the processing stations and / or transport chambers and / or lock stations assigned to the openings, regardless of that to specify in chamber K. In certain cases, however, it may be sufficient to provide a common atmosphere for at least one further chamber or station and the chamber, where, for example, only the chamber K is to be conditioned or evacuated, as in FIG . B. shown together z. B. the lock opening 135 and the chamber K.

In Fig. 9 ist eine teilweise geschnittene Kammer, dem Prinzip von Kammer 2 in Fig. 1-2a folgend, darge stellt, bei der die Arme 135 von der Achse 133 des Motors 130 senkrecht ausragen, womit ϕ = 90° wird.In Fig. 9 is a partially sectioned chamber, the principle of chamber 2 in Fig. 1-2a following Darge provides, in which the arms 135 protrude vertically from the axis 133 of the motor 130 , whereby ϕ = 90 °.

In Fig. 10 ist die Kammer, Teil einer Anlage in der Konfiguration gemäß Fig. 9, in Aufsicht dargestellt. Es bezeichnen gleiche Bezugszeichen die gleichen Bau elemente. Es sind um die Achse A z. B. sechs Transportarme 135a bis 135f angeordnet, analog wie in Fig. 9 ersichtlich und sie bedienen abwechselnd z. B. eine Schleusenstation 158a für die Ein- und Ausgabe von Scheiben 151 und eine Transportkammer 158b mit Stationen 158b , weitere fünf Kammern bzw. Bearbei tungsstationen durch Öffnungen 157a bis 157e.In Fig. 10 the chamber, part of a system in the configuration according to Fig. 9, is shown in supervision. The same reference numerals denote the same construction elements. There are about the axis A z. B. six transport arms 135 a to 135 f arranged analogously as shown in Fig. 9 and they serve alternately z. B. a lock station 158 a for the input and output of disks 151 and a transport chamber 158 b with stations 158 b, further five chambers or processing stations through openings 157 a to 157 e.

Die Öffnung 157b ist z. B. einer Transportkammer 158b mit Karussell und Schuborganen, analog zur Kammer 1 bzw. den mit den Fig. 6 und 7 erläuterten, zugeord net. Diese Kammer 158b ist mit weiteren Bearbeitungs stationen und/oder weiteren Transportstationen ver bunden. Die Öffnung 157c ihrerseits ist beispiels weise mit einer weiteren Kammer 158c des Typus gemäß Kammer 2 von Fig. 1 und wie sie weiter im Zusammen hang mit Fig. 8 erläutert wurde, verbunden, letztere wiederum mit weiteren Bearbeitungs- und/oder Trans port- und/oder Schleusenkammern. Die dargestellte Konstellation der Gesamtanlage soll nur ein Beispiel dafür liefern, wie flexibel, modular, sowohl mit Kam mern des Typs gemäß Kammer 1 von Fig. 1-2a und/ oder des Typs gemäß Kammer 2 von Fig. 1-2a Anlagen zusammengestellt werden können. Es soll auf diese Flexibilität noch weiter eingegangen werden, wobei bereits in Fig. 10 die nochmals noch zu definierenden Kammertypsymbole verwendet sind.The opening 157 b is, for. B. a transport chamber 158 b with carousel and thrust elements, analogous to chamber 1 or those explained with FIGS . 6 and 7, assigned net. This chamber 158 b is connected to further processing stations and / or further transport stations. The opening 157 c in turn is connected, for example, to another chamber 158 c of the type according to chamber 2 of FIG. 1 and as it was explained further in connection with FIG. 8, the latter in turn with further processing and / or trans port - and / or lock chambers. The constellation of the overall system shown is only intended to provide an example of how flexibly, modularly, systems with chambers of the type according to chamber 1 of FIGS . 1-2a and / or of the type according to chamber 2 of FIGS . 1-2a can be put together . This flexibility will be discussed further, the chamber type symbols still to be defined already being used in FIG. 10.

In Fig. 11 ist die anhand der Fig. 1, 2, 8 bis 10 er läuterte Kammer K weiter in ihrem Grundprinzip sche matisch dargestellt. Mit den z. B. drei hier darge stellten Transportarmen 135a bis 135c, um die Raum achse A drehend, werden, beispielsweise, die einge tragenen drei Öffnungen 157 bedient. Mit der Begren zung 159, schematisch eingetragen, ist die Kammer K umrandet. Die Transporteinrichtung überstreicht bei ihrer Drehung ω₂ eine Kegelfläche mit Öffnungswinkel ϕ und bedient die Öffnungen 157, welche die Flächen normalen 157 festlegen. Letztere sind in Richtung von Mantellinien des überstrichenen Kegels gerichtet. Es liegen die Öffnungen 157 auf einem Großkreis der überstrichenen Kegelfläche, d. h. sie sind alle von der Spitze S des durch die Arme 135 überstrichenen Kegels, gleich weit entfernt.In Fig. 11, he with the help of FIGS . 1, 2, 8 to 10 refined chamber K is shown mathematically in its basic principle. With the z. B. three here Darge presented transport arms 135 a to 135 c, rotating around the space axis A, for example, the three openings 157 are carried . With the limit 159 , entered schematically, the chamber K is edged. During its rotation ω _{2, the} transport device sweeps over a conical surface with an opening angle ϕ and serves the openings 157 , which define the normal surfaces 157 . The latter are directed in the direction of surface lines of the swept cone. The openings 157 lie on a great circle of the swept cone surface, ie they are all the same distance from the tip S of the cone swept by the arms 135 .

In Fig. 12 ist eine weitere Möglichkeit dargestellt. Hier liegen auf dem dargestellten, von den Armen 135 überstrichenen Kegel 161 Öffnungen auf dem einen Großkreis 163 und weitere, wovon nur eine eingetra gen ist, auf dem Großkreis 165. Die Öffnungsflächennormalen A₁₅₇ weisen wiederum in Richtung der Ke gelmantellinien in. Um die Öffnungen 157, welche auf unterschiedlichen Großkreisen 163, 165 liegen, zu bedienen, sind die Arme 135, wie bei 167 schematisch dargestellt, getrieben verlängerbar bzw. verkürzbar, wie über einen pneumatischen Teleskopantrieb, z. B. abgedeckt mit hier nicht dargestelltem Balg, analog zum Balg 153 von Fig. 8. Damit wird es möglich, Öffnungen 157 nicht nur auf einem Großkreis, wie bei der Kammer gemäß den Fig. 8 bis 10 anzuordnen, son dern, vorzugsweise azimutal, ϕ, versetzt, auf mehre ren Kegelgroßkreisen.Another possibility is shown in FIG . Here, on the illustrated cone 161 swept by the arms 135, openings lie on one great circle 163 and others, only one of which is entered, on great circle 165 . The opening surface normals A ₁₅₇ in turn point in the direction of the cone shell lines. In order to operate the openings 157 , which lie on different large circles 163 , 165 , the arms 135 , as shown schematically at 167 , can be extended or shortened in a driven manner, as via one pneumatic telescopic drive, e.g. B. covered with bellows, not shown here, analogous to bellows 153 from FIG. 8. This makes it possible to arrange openings 157 not only on a large circle, as in the chamber according to FIGS. 8 to 10, but also preferably azimuthally, ϕ, offset, on several large cone circles.

Bei einer Weiterbildung der Kammer K nach Fig. 13 sind die Arme 135, wie wiederum bei 167 dargestellt, auch ausfahrbar bzw. rückholbar und tragen eine Transportplatte 149a. Zusätzlich ist der Kegelwinkel ϕ getrieben einstellbar, so daß Kegel mit unter schiedlichen Öffnungswinkeln ϕ, überstrichen werden können. Mithin können in weiten Grenzen beliebig an geordnete Öffnungen 157 bedient werden. Es ist zudem die Trägerplatte 149a gewinkelt in einem Winkel 90° am jeweiligen Arm 135 gelagert und, wie bei p dargestellt, um die Armachse A₁₃₅ drehbar. Sowohl die Kegelwinkeleinstellung ϕ, wie auch das Einfahren und Ausfahren des Armes, wie auch die Drehung bei p wer den gesteuert getrieben vorgenommen, womit es mit ei ner solchen Anordnung möglich ist, räumlich praktisch beliebig angeordnete Öffnungen 157 zu bedienen. Ge strichelt ist wiederum die Begrenzung der Kammer K dargestellt.In a further development of the chamber K according to FIG. 13, the arms 135 , as shown again at 167 , can also be extended or retrieved and carry a transport plate 149 a. In addition, the cone angle ϕ can be adjusted so that cones with different opening angles ϕ can be swept over. Consequently, ordered openings 157 can be operated as desired within wide limits. In addition, the support plate 149a is angled at an angle of 90 ° on the respective arm 135 and, as shown at p, rotatable about the arm axis A ₁₃₅ . Both the cone angle setting ϕ, as well as the retraction and extension of the arm, as well as the rotation at p who made the driven, which makes it possible with such an arrangement to operate spatially practically arranged openings 157 . Ge dashed line again shows the boundary of the chamber K.

Gemäß Fig. 14 sind die Arme 135 so L-förmig ausge bildet und gelagert, daß sie parallel zur Drehachse A liegen. Liegt die Raum- bzw. Drehachse A vertikal, so hat dies den wesentlichen Vorteil, daß mithin Werkstücke auf den Tellern 149 nicht gehaltert zu werden brauchen. Die Antriebe für die Bewegung v der Teller 149 liegen innerhalb der Bälge 153.Referring to FIG. 14, the arms 135 are thus L-shaped forms being stored and that they are parallel to the axis of rotation A. If the spatial or rotational axis A is vertical, this has the essential advantage that workpieces therefore do not need to be held on the plates 149 . The drives for the movement v of the plates 149 lie within the bellows 153 .

Es seien nun folgende Kammertypen definiert und, zur graphischen Vereinfachung, in Fig. 15 mit den hier definierten Abkürzungen, zeichnerische Symbole:The following chamber types are now defined and, for graphic simplification, in FIG. 15 with the abbreviations defined here, drawing symbols:

1. Entry and exit lock chamber (EASK)

Eine Schleusenkammer, womit Werkstücke in beiden Richtungen durchgeschleust werden.A lock chamber, with workpieces in both Directions are passed through.

2nd entrance lock chamber (ESK)

Eine Schleusenkammer, an der Werkstücke nur in Richtung gegen ihre Vakuumoberflächenbehandlung eingeschleust werden.A lock chamber on which workpieces are only in Direction against their vacuum surface treatment be smuggled in.

3. Exit lock chamber (ASK)

Eine Schleusenkammer, mittels welcher Werkstücke nur in Richtung von der Vakuumoberflächenbehand lung durchtransportiert werden.A lock chamber, by means of which workpieces only in the direction of the vacuum surface treatment be transported through.

4. Processing chamber (BEAK)

Eine Kammer, worin Werkstücke oberflächenbearbei tet werden, wie abgetragen, beschichtet, gerei nigt, erhitzt, gekühlt etc.A chamber in which workpieces are machined be removed, coated, cleaned nigt, heated, cooled etc.

5. Radially operated carousel chamber (RAKAK)

Eine Transportkammer des Typs, wie sie anhand bzw. durch Kammer 1 in den Fig. 1 und 2 sowie in den Fig. 6, 7 dargestellt und erläutert wurde.A transport chamber of the type as was illustrated and explained with reference to or through chamber 1 in FIGS. 1 and 2 and in FIGS. 6, 7.

6. Radially operated rotary star chambers (RADK)

Eine Kammer des Typs der Kammer 2 von Fig. 1 und, wie sie weiter im Zusammenhang mit den Fig. 8 bis 14 dargestellt und erläutert wurde.A chamber of the chamber 2 type of FIG. 1 and as further illustrated and explained in connection with FIGS. 8 through 14.

7.Transport chamber (TR)

Eine Kammer, worin Werkstücke zwischen mindestens zwei Öffnungen verschoben werden, womit die Kam mern EASK, ESK, ASK, RAKAK und RADK davon umfaßt sind, aber insbesondere auch Kammern mit anderen Transportmechanismen als die mit Bezug auf die Kammern RAKAK und RADK gezeigten und beschriebe nen.A chamber in which workpieces between at least two openings are shifted, with which the Kam These include EASK, ESK, ASK, RAKAK and RADK are, but especially chambers with others Transport mechanisms than those related to the Chambers RAKAK and RADK shown and described nen.

In Fig. 16 sind einige Konfigurationen von Anlagen dargestellt, worin mindestens eine der Kammern eine RAKAK- oder RADK-Kammer ist. Daraus ist ersichtlich, daß sich mit den beiden Kammertypen sowie weiteren bekannten Kammern in höchster Flexibilität, modular beliebige Anlagenkonfigurationen zusammenstellen las sen mit oder ohne Mitintegration des Maskierungskon zeptes gemäß Fig. 5. Das erfindungsgemäße Vorgehen eignet sich insbesondere für die Bearbeitung von ma gneto-optischen Speicherplatten.In Fig. 16, some configurations are shown of plants, wherein at least one of the chambers a RAKAK- or RaDK chamber. It can be seen that with the two chamber types and other known chambers with the greatest flexibility, modular system configurations can be put together with or without the integration of the masking concept according to FIG. 5. The procedure according to the invention is particularly suitable for the processing of magnetic-optical systems Storage disks.

Claims

1. A method for surface treatment of a workpiece ( 22 ) in a vacuum treatment system, in which the workpiece ( 22 ) is introduced into the vacuum space of the vacuum treatment system, transported in this under vacuum conditions in at least one treatment station, surface-treated there and then transported further, with min at least one surface area of the workpiece ( 22 ), in particular the central and / or peripheral area in the case of disk-shaped workpieces, is covered by a masking element ( 58 ) which is brought together as a loose part with the workpiece ( 22 ) and together with the workpiece ( 22 ) transported to the treatment station and separated from the workpiece ( 22 ) after the surface treatment, characterized in that the merging of the masking member ( 58 ) with the workpiece ( 22 ) and the separation from the workpiece ( 22 ) in the vacuum space under vacuum conditions becomes.

2. The method according to claim 1, characterized in that the workpiece ( 22 ) is transferred from at least a first chamber into a second chamber and then transported into alignment with the processing station, and vice versa after its treatment, and that the masking organ ( 58 ) during the transfer of the workpiece ( 22 ) from the first into the second chamber ( 1 , 2 ) leads to the workpiece ( 22 ) and is preferably separated from it during or after a return.

3. The method according to any one of claims 1 or 2, characterized in that the same masking member ( 58 ) is removed from a machined workpiece ( 22 ) and is fed to a workpiece to be machined and is optionally replaced after several such changes.

4. The method according to any one of claims 1 to 3, characterized in that the merging and preferably also the removal of the masking member ( 58 ) with or from the workpiece ( 22 ) is carried out under magnetic field control.

5. The method according to any one of claims 1 to 4, characterized in that the masking member ( 58 ) on the workpiece ( 22 ) by magnetic force, in particular permanently magnetic, is held.

6. The method according to claim 2, characterized in that in the transfer

- The masking member ( 58 ) is lifted from a machined workpiece ( 22 ) in the return area,
- The machined workpiece ( 22 ) is transferred into the first chamber ( 1 ) and transported away therein,
an unprocessed workpiece ( 22 ) is transported in the transfer chamber in the first chamber ( 1 ),
- The raised masking member ( 58 ) with the unmachined workpiece ( 22 ) is brought together, and
- The unprocessed workpiece ( 22 ) is transferred into the second chamber ( 2 ) and transported further in alignment with a processing station.

7. Vacuum treatment system for the surface treatment of workpieces, according to the method of claim 1 with a vacuum chamber arrangement, means for introducing and removing the workpieces ( 22 ) into and out of the chamber assembly ( 1 , 2 ), means of transport ( 14 ) for transporting the Workpieces ( 22 ) through the chamber arrangement ( 1 , 2 ) passing through at least one treatment station, and a feed device for feeding at least one loose masking member ( 58 ) to a workpiece ( 22 ) such that the masking member ( 58 ) forms part of the surface covers the workpiece ( 22 ) and is transported together with the workpiece ( 22 ) into and through the treatment station, characterized in that the feeder device is arranged in the evacuable chamber arrangement ( 1 , 2 ).

8. Vacuum treatment system according to claim 7, characterized in that the chamber arrangement comprises at least two, at least at times temporarily via a transfer opening ( 4 ) communicating chambers ( 1 , 2 ), in each of which a transport mechanism ( 53 , 30 b) for Workpieces ( 68 ) is provided, and that the feed station is provided in the opening area between the two chambers.

9. Vacuum treatment system according to claim 8, characterized in that the feed station is also ausgebil det as a separation station for the masking member ( 58 ) from the workpiece ( 22 ) and the masking member ( 58 ) the transport mechanism ( 52 ) in the second chamber ( 2 ) feeds or decreases from it.

10. Vacuum treatment system according to claim 9, characterized in that the feed station on the transport mechanism ( 30 b) is arranged in the first chamber ( 1 ), and a device ( 60 ) for taking over the masking member ( 58 ) from the transport mechanism ( 52 ) in the second chamber ( 2 ) as for returning the masking member ( 58 ) to the trans port mechanism in the second chamber ( 2 ).

11. Vacuum treatment system according to one of claims 7 to 10, characterized in that the feed station has an electromagnet arrangement ( 60 ) for handling the masking member ( 58 ) by means of magnetic force.