DE4228541C1 - Festkörperringlaser - Google Patents

Festkörperringlaser

Info

Publication number
DE4228541C1
DE4228541C1 DE19924228541 DE4228541A DE4228541C1 DE 4228541 C1 DE4228541 C1 DE 4228541C1 DE 19924228541 DE19924228541 DE 19924228541 DE 4228541 A DE4228541 A DE 4228541A DE 4228541 C1 DE4228541 C1 DE 4228541C1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
laser
solid
crystals
reflective
state
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
DE19924228541
Other languages
English (en)
Inventor
Juergen Maurice Dipl Ph Plorin
Axel Dipl Ing Mehnert
Peter Dr Peuser
Nikolaus Dipl Phys Schmitt
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Airbus Defence and Space GmbH
Original Assignee
Deutsche Aerospace AG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Deutsche Aerospace AG filed Critical Deutsche Aerospace AG
Priority to DE19924228541 priority Critical patent/DE4228541C1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE4228541C1 publication Critical patent/DE4228541C1/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/05Construction or shape of optical resonators; Accommodation of active medium therein; Shape of active medium
    • H01S3/08Construction or shape of optical resonators or components thereof
    • H01S3/081Construction or shape of optical resonators or components thereof comprising three or more reflectors
    • H01S3/083Ring lasers
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/05Construction or shape of optical resonators; Accommodation of active medium therein; Shape of active medium
    • H01S3/06Construction or shape of active medium
    • H01S3/0602Crystal lasers or glass lasers
    • H01S3/0606Crystal lasers or glass lasers with polygonal cross-section, e.g. slab, prism
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/05Construction or shape of optical resonators; Accommodation of active medium therein; Shape of active medium
    • H01S3/06Construction or shape of active medium
    • H01S3/0619Coatings, e.g. AR, HR, passivation layer
    • H01S3/0621Coatings on the end-faces, e.g. input/output surfaces of the laser light
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/05Construction or shape of optical resonators; Accommodation of active medium therein; Shape of active medium
    • H01S3/06Construction or shape of active medium
    • H01S3/0619Coatings, e.g. AR, HR, passivation layer
    • H01S3/0621Coatings on the end-faces, e.g. input/output surfaces of the laser light
    • H01S3/0623Antireflective [AR]
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/05Construction or shape of optical resonators; Accommodation of active medium therein; Shape of active medium
    • H01S3/06Construction or shape of active medium
    • H01S3/07Construction or shape of active medium consisting of a plurality of parts, e.g. segments
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/09Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
    • H01S3/091Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping using optical pumping
    • H01S3/094Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping using optical pumping by coherent light
    • H01S3/0941Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping using optical pumping by coherent light of a laser diode
    • H01S3/09415Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping using optical pumping by coherent light of a laser diode the pumping beam being parallel to the lasing mode of the pumped medium, e.g. end-pumping

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Lasers (AREA)

Description

Die Erfindung bezieht sich auf einen von Laserdioden gepumpten Festkör­ perringlaser gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1.
Ein gattungsgemäßer Festkörperringlaser, dessen Resonator aus mehreren Laserkristallen besteht, die räumlich so zueinander ausgerichtet sind, daß sie einen ringförmig geschlossenen Strahlengang ermöglichen, ist aus der DE 40 08 226 A1 bekannt.
Solche Laserdioden-gepumpte Festkörperlaser bieten neben einer hohen Ef­ fizienz - die bis zum Zehnfachen gegenüber herkömmlichen Technologien erbringt - auch noch Kompaktheit und Wartungsfreiheit. Derartige Laser werden zum Beispiel in der Laserkommunikation - sei es über Glasfaser oder im Weltraum zwischen zwei Satelliten - sowie für viele Arten von Messungen, wie beispielsweise für Abstands- und Geschwindigkeitsmessungen, kohärentes LIDAR und Holographie benötigt.
Aufgrund des im Vergleich mit konventionellen, lampengepumpten Festkör­ perlasern wesentlich vorteilhafteren Energieschemas und der Möglichkeit, die Pumpstrahlung in das Modenvolumen zu fokussieren, bietet diese La­ serpump-Konfiguration für einen Einmodenbetrieb besonders gute Voraus­ setzungen. Das Problem der Single-Frequency-Laser liegt in den räumli­ chen Inhomogenitäten des Laserverstärkungsprofils ("spatial hole bur­ ning"), hervorgerufen durch die Ausbildung von sogenannten "Knoten und Bäuchen" bei einer stehenden Welle. Um dies zu vermeiden wird beim all­ gemeinen Stand der Technik - wie in Fig. 4a veranschaulicht - in einem ringförmigen Resonator eine umlaufende Welle mit unidirektionaler Aus­ breitungsrichtung erzeugt. Diese Wellenausbreitung wird in den meisten Fällen durch die Kombination eines Polarisators, eines λ/2-Plättchens und eines Faraday-Rotators erreicht.
Durch die Druckschrift "T. J. Kane, R. L. Byer - Opt.Lett. 10,2 (1985) 65" ist ein Laserdioden-angeregter monolithischer Ringlaser bekanntge­ worden, bei dem durch eine nichtplanare Ausbreitung der Resonanzmoden eine Polarisation des Laserlichtes erreicht wird. Durch ein transversal angelegtes Magnetfeld wird der Laserkristall selbst zu einem Faraday-Ro­ tator, da die materialspezifische Verdet-Konstante ausreichend groß ist, um eine Drehung der Polarisation zu erzeugen. Daher erfährt die im Uhr­ zeigersinn umlaufende Mode, zumindest im Bereich kleiner Ausgangslei­ stungen, so starke Verluste, daß der Laser nur in der entgegengesetzten Umlaufrichtung oszilliert. Dieser monolithische Ringlaser wird von der Frontseite her mit einer einzigen Laserdiode optisch gepumpt. Weiterge­ hende für den Einmodenbetrieb geeignete Pumpmöglichkeiten bestehen aber nicht.
Eine andere - bisher nur bei Flüssigkeitslasern angewandte - Methode, die unidirektionale Wellenausbreitung zu erreichen, besteht darin, in den Strahlengang des Ringresonators eine teilweise reflektierende Strahltellerplatte einzusetzen und diese mit einem hochreflektierenden Spiegel zu kombinieren. Diese Methode wurde in "IEEE J.Qe-9, 245 (1973), von G. Marowsky" veröffentlicht (siehe Fig. 4c).
Dabei wird ein Teil des gegen den Uhrzeigersinn umlaufenden Lichtes über den Spiegel in die im Uhrzeigersinn laufende Mode reflektiert. Daher sind die Verluste für die beiden sich entgegengesetzt ausbreitenden Mo­ den unterschiedlich groß, die Differenz zwischen den Verlusten der bei­ den Moden wird durch den Reflexionsgrad des Strahlteilerplättchens be­ stimmt.
Laser nach der eingangs beschriebenen Art des laserdiodengepumpten nonplanaren monolithischen Ringlasers können augenblicklich nur mit einer Ausgangsleistung von einigen 100 mW betrieben werden. Der Grund für die­ se Beschränkung ist zum einen darin zu sehen, daß Pumpstrahlung von nur einer einzigen Laserdiode longitudinal eingekoppelt werden kann, zum an­ deren ist die zum Eigenfrequenzbetrieb nötige Polarisationsdrehung bei höheren Laserleistungen nicht mehr ausreichend, um eine unidirektionale Modenausbreitung zu gewährleisten. Die bei der vorgegebenen lasermate­ rialspezifischen Verdet-Konstante notwendigen magnetischen Felder müßten unpraktikabel groß gemacht werden, um eine hinreichende Polarisations­ drehung und damit ausreichende Resonatorverluste für die unerwünschte Ausbreitungsrichtung zu erzeugen.
Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen Festkörper­ laser der eingangs genannten Art zu schaffen, der frei von den vorge­ nannten Fehlern des Standes der Technik ist und sowohl eine Erhöhung der Ausgangsleistung bei bestmöglicher Pumpeffizienz erbringt als auch eine thermische Oberlastung des Laserkristalls verhindert.
Diese Aufgabe wird durch die im Anspruch 1 aufgezeigten Maßnahmen ge­ löst. In den Unteransprüchen sind Ausgestaltungen und Welterbildungen angegeben und in der nachfolgenden Beschreibung sind Ausführungsbeispie­ le erläutert. Diese Erläuterungen werden durch die Figuren der Zeichnung ergänzt. Es zeigen:
Fig. 1 ein Schemabild eines Ausführungsbeispieles eines aus drei qua­ derförmigen Kristallen bestehenden Ringresonators mit Strahl- Auskopplung und eingezeichnetem Strahlengang,
Fig. 2 ein Schemabild eines aus drei Kristallen bestehenden Ringresona­ tors, bei dem die Reflexionsfläche eines Laserkristalls als sphärische Fläche ausgeführt ist,
Fig. 3 ein Schemabild eines Ausführungsbeispieles eines aus drei penta­ gonförmigen Kristallen gebildeten Prismen-Ringresonator mit Strahlauskopplung und dem Strahlengang eines gleichseitigen Dreieckes,
Fig. 4a ein Schemabild eines Ringresonators mit Faraday-Rotator gemäß dem Stand der Technik,
Fig. 4b ein Schemabild eines monolithischen nonplanaren Ringresonators gemäß dem Stand der Technik,
Fig. 4c ein Schemabild eines Flüssigkeits-Ringlasers mit Auskopplung und Erzeugung der unidirektionalen Wellenausbreitung über ein Strahltellerplatte gemäß dem Stand der Technik,
Fig. 4d ein Diagramm der spektralen Oberlappung von Pumplicht und Laser­ resonator-Modenvolumen.
Bei dem in Fig. 1 veranschaulichen Ausführungsbeispiel werden drei Nd:YAG-Kristalle 11 quaderförmig geschliffen und in Form eines Dreieckes angeordnet. Die Ein- bzw. Austrittsflächen sowie die Reflexionsflächen an den Hinterkanten der einzelnen Kristallvierecke 11 sind poliert. Alle Ein- bzw. Austrittsflächen weisen eine für die Laserwellenlänge - unter dem jeweiligen Ein- bzw. Austrittswinkel - antireflektierende Beschich­ tung auf, die Reflexionsflächen der Kristalle 11 sind hochreflektierend für die Laserwellenlänge und hochtransmittierend für die Pumplichtwel­ lenlänge beschichtet. Die Auskopplung der in der Fig. 1 im Uhrzeigersinn umlaufenden Mode erfolgt über die unter 45° angeordnete teilweise re­ flektierende Strahlteilerplatte 12. Die gegen den Uhrzeigersinn umlau­ fende Mode wird durch den Spiegel 13 in den Laser zurückgeworfen und gleicht so die Auskoppelverluste der im Uhrzeigersinn laufenden Mode aus. Dadurch ist es möglich, alleine durch Austausch der Strahlteller­ platte 12 den Auskoppelgrad des Lasers zu variieren, während die Laser­ kristalle alle gleich beschichtet sind, die gleiche Form haben und somit kostengünstig herzustellen sind. Die Ankopplung der Laserdioden 14 er­ folgt unter einem Winkel α zur Flächennormalen der Reflexionsflächen über eine Kollimations- und Fokussleroptik 15.
In Fig. 2 ist eine Ausführungsform mit drei Laserkristallen 11a bis 11c abgebildet, bei der die Reflexionsfläche eines Laserkristalls 11a als sphärische Fläche ausgeführt ist, um einen Laserresonator mit gekrümmten Spiegel zu erzeugen. Ein derartiger Laserresonator befindet sich im Sta­ bilitätsdiagramm für optische Resonatoren weit weg vom Bereich der In­ stabilität und besitzt daher eine geringere Justierempfindlichkeit.
In Fig. 3 ist nun eine Ausführungsform 100 mit drei pentagonförmigen La­ serkristallen 111 dargestellt, bei denen der Laserstrahl senkrecht zur Oberfläche aus den Kristallen 111 austritt.
Durch die vorbeschriebenen Maßnahmen ist ein Festkörper-Ringlaser mit einem Resonator aus mehreren Laserkristallen geschaffen worden, zwischen denen zusätzlich noch optische Elemente - beispielsweise elektrooptische Phasenmodulatoren - zur Laserfrequenzstabilisierung oder -modulation einbringbar sind und dieser Laser so konzipiert ist, daß er ohne weitere Maßnahmen im longitudinalen Einmodenbetrieb bei unidirektionaler Wellen­ ausbreitung oszilliert.

Claims (5)

1. Laserdioden-gepumpter Festkörperringlaser, dessen Festkörpermaterial optisch angeregt wird und bei dem das Pumplicht longitudinal im Einmoden­ betrieb in den Festkörper eingestrahlt wird, wobei der Resonator des Festkörperlasers (10) aus mehreren Laserkristallen (11) besteht, zwischen denen optische Elemente zur Laserfrequenzstabilisierung und/oder -modu­ lation einbringbar sind, dadurch gekennzeichnet, daß deren Ein- oder Austrittsflächen antireflektierend, die Reflexionsflächen jedoch hochreflektierend für die Laserwellenlänge beschichtet sind, und daß die Auskopplung der Laserstrahlung über eine teilweise reflektierende Strahlteilerplatte (12) aus dem Ringreso­ nator erfolgt, während die in entgegengesetzter Richtung reflektierte über einen vollreflektierenden Spiegel (13) in den Ringresonator zurück­ reflektiert wird, so daß der Laser unmittelbar im longitudinalen Einmoden­ betrieb bei unidirektionaler Wellenausbreitung oszilliert.
2. Festkörperlaser nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Pumpstrahlung der Laserdioden (14) jeweils über eine Fokussieroptik (15) unter einem Winkel α durch die Reflexionsflächen der Laserkri­ stalle (11) eingestrahlt werden.
3. Festkörperlaser nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Laserkristalle (11) prismenförmig ausgebildet sind und jedem La­ serkristall (11) zwei Laserdioden (14) mit jeweils einer Fokussieroptik als Pumplichtquelle zugeordnet sind.
4. Festkörperlaser nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch ge­ kennzeichnet, daß eine der Reflexionsflächen der Festkörperkristalle (11) als sphärische Fläche ausgebildet ist.
5. Festkörperlaser nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch ge­ kennzeichnet, daß die Pumpbereiche der einzelnen Laserdioden (14) so gelegt werden, daß sie im Laserkristall (11) räumlich voneinander ge­ trennt zu liegen kommen.
DE19924228541 1992-08-27 1992-08-27 Festkörperringlaser Expired - Fee Related DE4228541C1 (de)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19924228541 DE4228541C1 (de) 1992-08-27 1992-08-27 Festkörperringlaser

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19924228541 DE4228541C1 (de) 1992-08-27 1992-08-27 Festkörperringlaser

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE4228541C1 true DE4228541C1 (de) 1994-01-13

Family

ID=6466581

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19924228541 Expired - Fee Related DE4228541C1 (de) 1992-08-27 1992-08-27 Festkörperringlaser

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE4228541C1 (de)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4444435A1 (de) * 1994-12-14 1996-06-27 Daimler Benz Ag Optisch angeregter Festkörperlaser
EP0828139A2 (de) * 1996-09-05 1998-03-11 Daimler-Benz Aerospace Aktiengesellschaft Festkörperkreisel
FR2785098A1 (fr) * 1998-10-27 2000-04-28 Thomson Csf Laser solide pompe par diode laser
WO2006045304A2 (de) * 2004-10-29 2006-05-04 Volker Raab Laserresonator mit internem strahlteiler

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4008226A1 (de) * 1990-03-15 1991-09-19 Messerschmitt Boelkow Blohm Laserdioden-gepumpter festkoerper-ringlaser

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4008226A1 (de) * 1990-03-15 1991-09-19 Messerschmitt Boelkow Blohm Laserdioden-gepumpter festkoerper-ringlaser

Non-Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
US-Z.: "IEEE Journ. Quantum Electronics, 1973, S. 245-246 *
US-Z.: "Optics Letters", 10, 2, 1985, S. 65 ff. *
US-Zeitschr.: "Appl. Opt.", Vol. 23, No. 24, 1984, S. 4509-4517 *

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4444435A1 (de) * 1994-12-14 1996-06-27 Daimler Benz Ag Optisch angeregter Festkörperlaser
EP0828139A2 (de) * 1996-09-05 1998-03-11 Daimler-Benz Aerospace Aktiengesellschaft Festkörperkreisel
EP0828139A3 (de) * 1996-09-05 1999-04-28 Daimler-Benz Aerospace AG Festkörperkreisel
FR2785098A1 (fr) * 1998-10-27 2000-04-28 Thomson Csf Laser solide pompe par diode laser
WO2000025394A1 (fr) * 1998-10-27 2000-05-04 Thomson-Csf Laser solide pompe par diode laser
WO2006045304A2 (de) * 2004-10-29 2006-05-04 Volker Raab Laserresonator mit internem strahlteiler
DE102004053136A1 (de) * 2004-10-29 2006-05-11 Raab, Volker, Dr. Laserresonator mit internem Strahlteiler
WO2006045304A3 (de) * 2004-10-29 2006-07-27 Volker Raab Laserresonator mit internem strahlteiler
DE102004053136B4 (de) * 2004-10-29 2008-04-03 Raab, Volker, Dr. Laserresonator mit internem Strahlteiler

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4879723A (en) Intracavity generation of coherent optical radiation of optical mixing
US5333142A (en) Technique for intracavity sum frequency generation
DE4200204A1 (de) Selbstverdoppelnder mikrolaser
DE69731475T2 (de) Frequenzverdoppelter Laser mit einem quasiphasenangepassten nichtlinearen Element innerhalb des Resonators
US5408481A (en) Intracavity sum frequency generation using a tunable laser containing an active mirror
EP2263290B1 (de) Laserbasierte quelle für terahertz- und millimeterwellen
EP2577818B1 (de) Ultrakurzpuls-mikrochiplaser, halbleiterlaser, lasersystem und pumpverfahren für dünne lasermedien
DE4205587A1 (de) Frequenzverdoppelter single-frequency laser
DE4200203A1 (de) Signalresonante resonatorinterne optische frequenzmischung
EP1344105B1 (de) Optischer resonanter frequenzwandler
DE60318564T2 (de) Erzeugung der vierten harmonischen im resonator unter verwendung unbeschichteter brewster-oberflächen
EP0314171A2 (de) Modengekoppelter Laser
CH711206B1 (de) Kerr-Linsen-modengekoppelter Laser im Mittel-IR aus unter normalem Einfall montierten polykristallinen TM:II-VI Materialien und Verfahren zu einer Femtosekundenlaseremission.
DE19719901C2 (de) Festkörperlaser mit einer Longitudinalmode und Frequenztransformation
DE60014074T2 (de) Diodenlasergepumpter festkörperlaser
EP0977328B1 (de) Rauscharmer frequenzvervielfachter Laser mit Strahlseparator
DE4228541C1 (de) Festkörperringlaser
DE4438283C2 (de) Laser zur Erzeugung schmalbandiger Strahlung
EP1342297B1 (de) Vorrichtung zum erzeugen von laserlicht
DE4008226C2 (de)
DE10118793B4 (de) UV-Festkörperlaser
DE602004002110T2 (de) Laservorrichtung zur erzeugung eines sichtbaren lichtstrahls
DE19960765A1 (de) Hochrepetierlicher Femtosekundenlaser
DE4141052A1 (de) Festkoerperlaser
DE4009116A1 (de) Festkoerperlaseranordnung

Legal Events

Date Code Title Description
8100 Publication of the examined application without publication of unexamined application
D1 Grant (no unexamined application published) patent law 81
8364 No opposition during term of opposition
8327 Change in the person/name/address of the patent owner

Owner name: DAIMLER-BENZ AEROSPACE AKTIENGESELLSCHAFT, 80804 M

8339 Ceased/non-payment of the annual fee