DE4214944A1 - Inorganic polymers useful as precursors to ceramics - prepd. by poly:condensn. reaction carried out in presence of porous solids and/or adsorbents - Google Patents

Inorganic polymers useful as precursors to ceramics - prepd. by poly:condensn. reaction carried out in presence of porous solids and/or adsorbents

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DE4214944A1 DE19924214944 DE4214944A DE4214944A1 DE 4214944 A1 DE4214944 A1 DE 4214944A1 DE 19924214944 DE19924214944 DE 19924214944 DE 4214944 A DE4214944 A DE 4214944A DE 4214944 A1 DE4214944 A1 DE 4214944A1
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Abstract

The prepn. of inorganic polymers (I) by polycondensation reactions with formation of gaseous by-prods. such as water, alcohols, amines, hydrocarbons or hydrogen in closed systems is claimed. The condensation reaction is carried out in the presence of porous solids and/or adsorbents. Also claimed is (i) silicon dimethyl imide, (Si(NH)NHCH3)x (ii) the use of (I) as a precursor for inorganic ceramics (iii) the use of silicon methyl diimide, Si(NH)NCH3 as a precursor for the prepn. of Si3N4 - and SiC/Si3N4 - ceramics. USE/ADVANTAGE - (I) may be ground, moulded and pyrolised to form ceramics articles or used as a reinforcing agent for orgnaic polymers and ceramic materials and is useful as an adhesive for ceramic components. The prepn. of (I) does not require the use of high pressures, has a higher yield and produces a prod. that is not subject to as high a shrinkage rate as prior art processes.

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung von anorganischen Polymeren durch Polykon­ densationsreaktionen mit Bildung von unter den Reak­ tionsbedingungen gasförmig vorliegenden Abspaltungs­ produkten wie Wasser, Alkoholen, Aminen, Kohlenwasser­ stoffen oder Wasserstoff in geschlossenen Systemen sowie die Verwendung der erfindungsgemäß erhaltenen anorgani­ schen Polymeren, insbesondere des Siliciummethyldiimides als Precursor für anorganische Keramiken.The present invention relates to a method for Production of inorganic polymers by polycon condensation reactions with formation of below the reac gaseous present cleavage products such as water, alcohols, amines, hydrocarbons substances or hydrogen in closed systems as well the use of the inventively obtained anorgani polymers, in particular the Siliciummethyldiimides as a precursor for inorganic ceramics.

Kondensationsreaktionen sind Schlüsselreaktionen für die Synthese einer Vielzahl von anorganischen und metall­ organischen Materialien. Sie können zur Synthese von anorganischen Polymeren eingesetzt werden, welche als Vorläuferverbindungen (Precursoren) für keramische Materialien dienen. Besondere Bedeutung kommt hierbei der Synthese von Komposit- und Hochleistungskeramiken zu [M. Peuckert et. al. Adv. Mater. 2 (1990) 9, 398-404; H. Schmidt Erzmetall 43 (1990) 2, 75-81]. Condensation reactions are key reactions for the Synthesis of a variety of inorganic and metal organic materials. They can be used for the synthesis of inorganic polymers are used, which as Precursor compounds (precursors) for ceramic Serve materials. Special importance comes here the synthesis of composite and high performance ceramics to the. Peuckert et. al. Adv. Mater. 2 (1990) 9, 398-404; H. Schmidt ore metal 43 (1990) 2, 75-81].  

Organisch-anorganische Polymere selbst finden als Bulk­ materialien und in der Beschichtungstechnik zur Oberflä­ chenveredelung Anwendung [Mat. Res. Soc. Symp. Proc. Vol. 171 (1989), 3-13; Mat. Res. Soc. Symp. Proc. Vol. 180 (1990) 961-973].Organic-inorganic polymers find themselves as bulk materials and in coating technology to Oberflä surface finishing application [Mat. Res. Soc. Symp. Proc. Vol. 171 (1989), 3-13; Mat. Res. Soc. Symp. Proc. Vol. 180 (1990) 961-973].

Des weiteren sind auch poröse Festkörper wie Zeolithe [Angew. Chem. 87 (1975) 18, 659-667] durch Kondensa­ tionsreaktionen zugänglich.Furthermore, also porous solids such as zeolites [Angew. Chem. 87 (1975) 18, 659-667] by condensa tion reactions accessible.

Für die Synthese von oxidischen Keramiken, Polymeren und Zeolithen ist die Sol-Gel-Synthese eine weithin einge­ führte und leistungsfähige Technik.For the synthesis of oxide ceramics, polymers and Zeolites is a widely used sol-gel synthesis led and powerful technology.

lm Bereich der nichtoxidischen Polymeren und Precursoren für nitridische und andere nichtoxidische keramische Materialien fehlt eine ähnliche universelle Technik wie die Sol-Gel-Synthese jedoch.In the field of non-oxidic polymers and precursors for nitridic and other non-oxidic ceramic Materials lack a similar universal technique as however, the sol-gel synthesis.

Für die Herstellung von dünnen Schichten durch verschie­ dene Coating-Verfahren sowie zur Herstellung von Fasern durch Verspinnen werden flüssige sowie schmelzbare und/oder lösliche Verbindungen und Polymere verwendet.For the production of thin layers by various dene coating process and for the production of fibers by spinning become liquid as well as meltable and / or soluble compounds and polymers.

Für die Herstellung von Bulkmaterialien werden möglichst hochkondensierte, unschmelzbare Polymere angestrebt. Diese lassen sich vermahlen, zu Extrusionsmassen ver­ arbeiten oder Formpressen und anschließend unter Form­ erhalt zu Keramiken pyrolysieren. For the production of bulk materials are possible highly condensed, infusible polymers sought. These can be ground, ver to extrusion masses ver working or molding and then under mold to pyrolyze into ceramics.  

Zur Herstellung von hochkondensierten Polymeren werden in der DE-A 38 05 796 zwei Methoden der thermischen Kondensation beschrieben.For the production of highly condensed polymers in DE-A 38 05 796 two methods of thermal Condensation described.

Einmal werden die molekularen Ausgangsstoffe in ge­ schlossenen Systemen wie Ampullen, Autoklaven oder Druckkesseln durch erhitzen bei Drücken zwischen 10 bis 1000 bar kondensiert. Nachteilig auf den Kondensations­ verlauf wirkt sich hierbei der hohe Druck innerhalb des Systems aus. Man gelangt daher typischerweise nur zu Produkten mittleren und uneinheitlichen Kondensations­ grades. Daraus hergestellte Formkörper unterliegen daher bei weiterer Pyrolyse einer erheblichen Schrumpfung.Once the molecular starting materials in ge closed systems such as ampoules, autoclaves or Pressure boilers by heating at pressures between 10 to 1000 bar condenses. Disadvantageous to the condensation course, the high pressure within the system affects this Systems off. Therefore, one typically only gets to Medium and non-uniform condensation products degree. Molded articles produced therefrom are therefore subject with further pyrolysis a considerable shrinkage.

Weiterhin werden die molekularen Ausgangsstoffe im Gas­ strom, typischerweise Ammoniak, Stickstoff oder Argon bei Temperaturen zwischen 50 und 600°C getempert. Diese Methode ist für leicht flüchtige Ausgangsverbindungen nur unter erheblichen Ausbeuteverlusten handhabbar, da im Gasstrom Ausgangsmaterial mitgerissen wird. Zudem gelangt man oft nur zu inhomogenen Produktgemischen undefinierter Zusammensetzung.Furthermore, the molecular starting materials in the gas stream, typically ammonia, nitrogen or argon annealed at temperatures between 50 and 600 ° C. These Method is for volatile starting compounds only manageable with considerable yield losses, since entrained in the gas stream starting material. moreover One often only gets to inhomogeneous product mixtures undefined composition.

Aufgabe dieser Erfindung ist die Bereitstellung eines Verfahrens, welches die Nachteile der Verfahren des be­ schriebenen Standes der Technik nicht aufweist.The object of this invention is to provide a Method, which the disadvantages of the method of be does not have written prior art.

Überraschenderweise wurde nun gefunden, daß diese Anfor­ derungen erfüllt werden können, wenn die Kondensations­ reaktionen in Gegenwart von porösen Festkörpern und/oder Adsorbentien durchgeführt werden. Surprisingly, it has now been found that this request tions can be met if the condensation reactions in the presence of porous solids and / or Adsorbents are carried out.  

Gegenstand der Erfindung ist somit ein Verfahren zur Herstellung von anorganischen Polymeren durch Polykon­ densationsreaktionen mit Bildung von unter den Reak­ tionsbedingungen gasförmig vorliegenden Abspaltungs­ produkten wie Wasser, Alkoholen, Aminen, Kohlenwasser­ stoffen oder Wasserstoff in geschlossenen Systemen, wo­ bei die Kondensationsreaktion in Gegenwart von porösen Festkörpern und/oder Adsorbentien durchgeführt wird.The invention thus provides a method for Production of inorganic polymers by polycon condensation reactions with formation of below the reac gaseous present cleavage products such as water, alcohols, amines, hydrocarbons substances or hydrogen in closed systems, where in the condensation reaction in the presence of porous Solid bodies and / or adsorbents is performed.

Die entstehenden Abspaltungsprodukte werden dabei am Adsorbens gebunden. Als Adsorbentien können poröse Gläser oder Keramiken sowie Zeolithe eingesetzt werden. Durch die Verwendung von Zeolithen können Abspaltungs­ produkte selektiv adsorbiert sowie nach katalytischer Reaktion am Adsorbens der Kondensation wieder zugeführt werden.The resulting cleavage products are thereby at Bound adsorbent. As Adsorbentien can porous Glasses or ceramics and zeolites are used. Through the use of zeolites can cleavage products selectively adsorbed and after catalytic Reaction at the adsorbent fed back to the condensation become.

In einer bevorzugten Ausführungsform des erfindungsge­ mäßen Verfahrens werden als poröse Festkörper und/oder Adsorbentien Zeolithe mit einer Porengröße von 300 bis 1000 pm eingesetzt. Dabei können Zeolithe des Typs A, X, Y, ZSM-5, ZSM-11, AlPO4-5, AlPO4-11, Silicalite, Dodecasil 1H, RHO eingesetzt werden.In a preferred embodiment of the method erfindungsge MAESSEN zeolites are used with a pore size of 300 to 1000 pm as the porous solid and / or adsorbents. It is possible to use zeolites of the type A, X, Y, ZSM-5, ZSM-11, AlPO 4 -5, AlPO 4 -11, silicalite, dodecasil 1H, RHO.

Die erfindungsgemäßen Polykondensationsreaktionen werden bevorzugt bei Temperaturen im Bereich von 50 bis 600°C, besonders bevorzugt im Bereich von 100 bis 450°C im ge­ schlossenen System getempert. Die Reaktionszeiten bis zur vollständigen Umsetzung betragen im allgemeinen 20 bis 500 h, insbesondere 50 bis 100 h. The polycondensation reactions of the invention are preferably at temperatures in the range of 50 to 600 ° C, particularly preferably in the range of 100 to 450 ° C in ge closed system tempered. The reaction times up for complete implementation are generally 20 up to 500 h, in particular 50 to 100 h.  

Das Volumenverhältnis von porösem Festkörper zu den als Edukt eingesetzten Organometallverbindungen beträgt be­ vorzugt zwischen 3 und 30.The volume ratio of porous solid to the as Euct employed organometallic compounds is be preferably between 3 and 30.

Das erfindungsgemäße Verfahren erlaubt dagegen die ein­ fache Herstellung von hochkondensierten Polymeren in nahezu quantitativer Ausbeute auch aus leichflüchtigen Edukten.In contrast, the method according to the invention allows one fold production of highly condensed polymers in almost quantitative yield also from volatile Starting materials.

Nach Beendigung der Reaktion können die porösen Fest­ körper durch Erhitzen im Vakuum auf Temperaturen zwi­ schen 200 bis 500°C wieder vom eingeschlossenen Gas befreit werden und danach wieder für weitere Konden­ sation eingesetzt werden.After completion of the reaction, the porous solid body by heating in vacuo to temperatures between 200 to 500 ° C again from the trapped gas be freed and then again for further condensations be used.

Als besonders bevorzugtes Ausgangsmaterial für die er­ findungsgemäße Polykondensationsreaktionen werden eine oder mehrere der Verbindungen Aminosilane, -silazane, -siloxane, Metallalkoxide der Metalle Si, Ti, Zr, Ge, Sn, Metallhydride von Alkalimetallen oder Aluminium, Aluminiumalkylverbindungen, Borane, Alkalimetallbor­ hydride eingesetzt.As a particularly preferred starting material for he polycondensation reactions according to the invention become a or more of the compounds aminosilanes, silazanes, siloxanes, metal alkoxides of the metals Si, Ti, Zr, Ge, Sn, metal hydrides of alkali metals or aluminum, Aluminum alkyl compounds, boranes, alkali metal boron used hydride.

Dabei laufen die Kondensationsreaktionen beispielhaft wie folgt ab, wobei in der Formel
R1, R2, . . . H, Alkyl, Aryl,
X1, X2, . . . Alkyl und Aryl und Me Methyl bedeuten.The condensation reactions proceed by way of example as follows, wherein in the formula
R 1 , R 2,. , , H, alkyl, aryl,
X 1 , X 2,. , , Alkyl and aryl and Me mean methyl.

  • 1) Aminosilane, -silazane, -siloxane 1) aminosilanes, silazanes, siloxanes
  • 2) Siliciumalkoxide, Ti-, Zr-, Ge-, Sn-alkoxide 2) silicon alkoxides, Ti, Zr, Ge, Sn alkoxides
  • 3) Kondensation von 1) und 2) 3) condensation of 1) and 2)
  • 4) Kondensation von 1) oder 2) mit Metallhydriden Beispiel 4) Condensation of 1) or 2) with metal hydrides Example
  • 5) Kondensation von 1) oder 2) mit Metallalkylverbindungen Beispiel 5) Condensation of 1) or 2) with metal alkyl compounds Example
  • 6) Kondensation von 1) oder 2) mit Boranen oder Alkalimetallborhydriden Beispiel 6) Condensation of 1) or 2) with boranes or alkali metal borohydrides Example

In Gegenwart von Zeolithen kann es zusätzlich zur Kondensationsreaktion zu katalytischen Reaktionen wie Umalkylierungen und Umaminierungen kommen, welche die weitere Kondensation begünstigen können. So gelang durch die Kondensation des Aminosilazans Si(NHCH3)4 erstmals die Synthese von Siliciummethyldiimid.In the presence of zeolites, in addition to the condensation reaction, catalytic reactions such as transalkylations and transaminations may occur, which may favor further condensation. For example, the condensation of aminosilazane Si (NHCH 3 ) 4 led to the first synthesis of silicon methyldiimide.

Gegenstand dieser Erfindung ist somit auch das Silicium­ methyldiimid der allgemeinen Formel [Si(NH)NCH3]x. Nach dem erfindungsgemäßen Verfahren ist dieses in sehr guter Reinheit erhältlich. Es weist bevorzugt einen Chlorge­ halt von weniger als 20 ppm auf. Aber auch andere nach dem erfindungsgemäßen Verfahren erhältliche anorganische Polymere zeichnen sich durch hohe Reinheit aus, was auch auf die nahezu vollständige Umsetzung zurückzuführen ist.The subject of this invention is therefore also the silicon methyldiimid of the general formula [Si (NH) NCH 3 ] x . By the method according to the invention this is available in very good purity. It preferably has a chlorine content of less than 20 ppm. However, other inorganic polymers obtainable by the process according to the invention are distinguished by high purity, which is also due to the almost complete reaction.

Für die erfindungsgemäßen anorganischen Polymeren gibt es eine Vielzahl von Anwendungen:For the inventive inorganic polymers there a variety of applications:

Die Polymeren können vermahlen, formgepreßt und unter Formerhalt zu Keramiken pyrolysiert werden. Die form­ gepreßten Teile können, da die erfindungsgemäßen Poly­ mere unschmelzbar sind, direkt zu Keramiken pyrolysiert werde, ihre Herstellung von Extrusionsmassen und an­ schließende Pyrolyse für einfache keramische Formteile, ihre Verwendung als Verstärkung in organischen Polymeren oder keramischen Materialien, zum Verbinden von kerami­ schen Bauteilen durch Aufbringen einer dünnen Polymer­ schicht und anschließendem Zusammensintern. The polymers can be ground, molded and under Mold preservation be pyrolyzed to ceramics. The form pressed parts can, since the poly are infusible, pyrolyzed directly to ceramics become, their production of extrusion masses and on closing pyrolysis for simple ceramic moldings, their use as reinforcement in organic polymers or ceramic materials, for joining kerami components by applying a thin polymer layer and then sintered together.  

Gegenstand dieser Erfindung ist somit die Verwendung der erfindungsgemäß erhaltenen anorganischen Polymere als Precursor für anorganische Keramiken, wie nitridischem, carbidischem und/oder oxidischem Material. Hierzu werden die anorganischen Polymeren in inerter oder NH3- oder O2-haltiger Atmosphäre bei Temperaturen von 800 bis 2000°C pyrolysiert.The invention thus relates to the use of the inorganic polymers obtained according to the invention as precursors for inorganic ceramics, such as nitridic, carbidic and / or oxidic material. For this purpose, the inorganic polymers are pyrolyzed in an inert or NH 3 - or O 2 -containing atmosphere at temperatures of 800 to 2000 ° C.

Gegenstand dieser Erfindung ist auch die Verwendung des Siliciummethyldiimides [Si(NH)NCH3]x als Precursor für die Herstellung von Si3N4- und SiC/Si3N4-Keramiken.The invention also relates to the use of the silicon methyldiimide [Si (NH) NCH 3 ] x as precursor for the production of Si 3 N 4 and SiC / Si 3 N 4 ceramics.

Im folgenden ist die Erfindung beispielhaft erläutert, ohne daß hierin eine Einschränkung zu sehen ist. In the following the invention is exemplified, without being limited herein.  

Beispiel 1example 1 Synthese von SiliciummethyldiimidSynthesis of silicon methyldiimide

Eine Glasampulle (17 ⌀, 2 mm Wandstärke) wurde unter Schutzgas mit 1 g chloridfreiem Monomer Si(NHCH3)4 und mit der 5- bis 6-fachen Menge Molekularsieb (Zeolith A, 400 pm) beschickt. Danach wurde das Monomer auf -78°C abgekühlt und die Ampulle im Hochvakuum abgeschmolzen.A glass ampoule (17 ⌀, 2 mm wall thickness) was charged under protective gas with 1 g of chloride-free monomer Si (NHCH 3 ) 4 and with 5 to 6 times the amount of molecular sieve (zeolite A, 400 pm). Thereafter, the monomer was cooled to -78 ° C and the ampoule melted in a high vacuum.

Die Ampulle wurde nach folgendem Temperaturprogramm ge­ tempert.The ampoule was ge after the following temperature program tempered.

Aufheizphase: 25-340°C, 5°C/h,
Haltephase: 340°C, 120 h,
Abkühlphase: 340°C, 50°C/h.Heating phase: 25-340 ° C, 5 ° C / h,
Holding phase: 340 ° C, 120 h,
Cooling phase: 340 ° C, 50 ° C / h.

Man erhielt 0,44 g eines farblosen, glasartigen Polyme­ ren der Zusammensetzung Si(NH)NCH3, was einer Ausbeute von 91,4% entspricht.This gave 0.44 g of a colorless, glassy polymer of the composition Si (NH) NCH 3 , which corresponds to a yield of 91.4%.

Das erhaltene homogene Glas ist unschmelzbar und unlös­ lich in organischen Lösungsmitteln.The resulting homogeneous glass is infusible and insoluble Lich in organic solvents.

Die Zusammensetzung und Struktur des erhaltenen Polyme­ ren wurde durch Elementaranalyse, Festkörper-MAS-NMR und FT-IR aufgeklärt. The composition and structure of the obtained polyme was determined by elemental analysis, solid-state MAS NMR and FT-IR cleared up.  

Elementaranalyse: Elemental analysis:

Festkörper¹H-MAS-NMR:
δN-CH₃ = 2,78 ppm
δN-H = 0,52 ppmFestkörper¹H MAS NMR:
δ N-CH₃ = 2.78 ppm
δ NH = 0.52 ppm

Festkörper²⁹Si-MAS-NMR:
δSi(tetraed. an N = -38,9 ppmFestkörper²⁹Si MAS NMR:
δ Si (tetrahedron of N = -38.9 ppm

FT-IRFT-IR Zuordnungassignment Banden, IntensitätGangs, intensity (w = schwach; m = mittel; s = stark)(w = weak, m = medium, s = strong) v(N-H)|3443, wv (N-H) | 3443, w v(C-H)v (C-H) 2992, m; 2886, m2992, m; 2886, m δ(N-H)δ (N-H) 1472, w1472, w δ(C-H)δ (C-H) 1431, w1431, w v(C-N)v (C-N) 1194, m1194, m v(Si-N)v (Si-N) 890, s890, s δ(Si-N)δ (Si-N) 415, m415, m

Beispiel 2Example 2 Synthese eines Si-Al-Polymeren aus Si(NHCH3)4 und AlH3 Synthesis of a Si-Al polymer of Si (NHCH 3 ) 4 and AlH 3

Ein Molekularsieb des Typs Zeolith A (400 pm Fa. Roth 2 mm kugelförmig) wurde zur Aktivierung 48 h bei 300°C im Feinvakuum getrocknet. Eine Ampulle (17 mm ⌀, Wand­ dicke 2 mm) wird unter Schutzgas mit einer Mischung aus 0,895 g (6 mmol) Monomer Si(NHCH3)4 und 0,105 g AlH3* 0,3 (C2H5)2O (2 mmol) beschickt und mit der 5- bis 6- fachen Menge Molekularsieb gefüllt. Die Mischung wurde auf -78°C abgekühlt und die Ampulle im Hochvakuum ab­ geschmolzen.A molecular sieve of the type zeolite A (400 pm from Roth 2 mm spherical) was dried for 48 hours at 300 ° C. in a fine vacuum. An ampoule (17 mm ⌀, wall thickness 2 mm) under protective gas with a mixture of 0.895 g (6 mmol) of monomer Si (NHCH 3 ) 4 and 0.105 g of AlH 3 * 0.3 (C 2 H 5 ) 2 O ( 2 mmol) and filled with 5 to 6 times the amount of molecular sieve. The mixture was cooled to -78 ° C and the ampoule was melted in a high vacuum.

Die Ampulle wurde nach folgendem Temperaturprogramm ge­ tempert.The ampoule was ge after the following temperature program tempered.

Aufheizphase: 25-340°C, 5°C/h,
Haltephase: 340°C, 120 h,
Abkühlphase: 340°C, 50°C/h.Heating phase: 25-340 ° C, 5 ° C / h,
Holding phase: 340 ° C, 120 h,
Cooling phase: 340 ° C, 50 ° C / h.

Man erhielt 0,50 g eines weiß-gelben homogenen Polyme­ ren. Dies entspricht einer Ausbeute von 85%. Der Fest­ stoff ist unschmelzbar und unlöslich in organischen Lösungsmitteln.This gave 0.50 g of a white-yellow homogeneous polyme This corresponds to a yield of 85%. The festival Fabric is infusible and insoluble in organic Solvents.

EDX:
Al/Si-Verhältnis in Atom-%
Al: 24,5%
Si: 74,5%
Das entspricht dem eingesetzten Si/Al-Verhältnis von 3 : 1.EDX:
Al / Si ratio in atomic%
Al: 24.5%
Si: 74.5%
This corresponds to the Si / Al ratio used of 3: 1.

Festkörper¹H-MAS-NMR:
δN-CH₃ = 2,78 ppm
δN-H = 0,52 ppmFestkörper¹H MAS NMR:
δ N-CH₃ = 2.78 ppm
δ NH = 0.52 ppm

Festkörper²⁹Si-MAS-NMR:
δsi(tetraed. an N) = -38,9 ppmFestkörper²⁹Si MAS NMR:
δ si (tetrahedron of N) = -38.9 ppm

Festkörper²⁷Al-MAS-NMR:
δAl(tetraed. an N) = 13,55 ppmFestkörper²⁷Al MAS NMR:
δ Al (tetrahedron of N) = 13.55 ppm

FT-IRFT-IR Zuordnungassignment Banden, IntensitätGangs, intensity v(N-H)v (N-H) 3443, w3443, w v(C-H)v (C-H) 2992, m; 2886, m @2992, m; 2886, m @ δ(N-H)δ (N-H) 1472, w @1472, w @ δ(C-H)δ (C-H) 1431, w @1431, w @ v(C-N)v (C-N) 1194, m @1194, m @ v(Si-N)v (Si-N) 890, s @890, s @ δ(Si-N)δ (Si-N) 415, m415, m

Claims (9)

1. Verfahren zur Herstellung von anorganischen Poly­ meren durch Polykondensationsreaktionen mit Bildung von unter den Reaktionsbedingungen gasförmigen Ab­ spaltungsprodukten wie Wasser, Alkoholen, Aminen, Kohlenwasserstoffen oder Wasserstoff in geschlos­ senen Systemen, dadurch gekennzeichnet, daß die Kondensationsreaktion in Gegenwart von porösen Festkörpern und/oder Adsorbentien durchgeführt wird.1. A process for the preparation of inorganic poly mers by polycondensation reactions with formation of gaseous under the reaction conditions from cleavage products such as water, alcohols, amines, hydrocarbons or hydrogen in closed systems, characterized in that the condensation reaction in the presence of porous solids and / or adsorbents is carried out. 2. Verfahren gemäß Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß als poröse Festkörper und/oder Adsorbentien Zeolithe mit einer Porengröße von 300 bis 1000 pm eingesetzt werden.2. Method according to claim 1, characterized that as a porous solid and / or adsorbents Zeolites with a pore size of 300 to 1000 pm be used. 3. Verfahren gemäß einem der Ansprüche 1 oder 2, da­ durch gekennzeichnet, daß die Polykondensations­ reaktionen bei Temperaturen im Bereich von 50 bis 600°C durchgeführt werden.3. The method according to any one of claims 1 or 2, since characterized in that the polycondensation Reactions at temperatures in the range of 50 to 600 ° C are performed. 4. Verfahren gemäß einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß als Ausgangs­ material für die Polykondensationsreaktionen eine oder mehrere der Verbindungen Aminosilane, -sila­ zane, -siloxane, Metallalkoxide der Metalle Si, Ti, Zr, Ge, Sn, Metallhydride von Alkalimetallen oder Aluminium, Aluminiumalkylverbindungen, Borane, Alkalimetallborhydride eingesetzt werden. 4. The method according to one or more of the claims 1 to 3, characterized in that as output material for the polycondensation reactions a or more of the compounds Aminosilane, -sila zanes, siloxanes, metal alkoxides of the metals Si, Ti, Zr, Ge, Sn, metal hydrides of alkali metals or Aluminum, aluminum alkyl compounds, boranes, Alkali metal borohydrides are used.   5. Verfahren gemäß Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß als Aminosilazan Si(NHCH3)4 eingesetzt und zu Siliciummethyldiimid (Si(NH)NCH3)x polykondensiert wird.5. The method according to claim 4, characterized in that as aminosilazane Si (NHCH 3 ) 4 is used and polycondensed to Siliciummethyldiimid (Si (NH) NCH 3 ) x . 6. Siliciummethyldiimid der allgemeinen Formel [Si(NH)NCH3]x.6. Siliciummethyldiimid the general formula [Si (NH) NCH 3 ] x . 7. Siliciummethyldiimid gemäß Anspruch 6, dadurch ge­ kennzeichnet, daß es einen Chlorgehalt von weniger als 20 ppm aufweist.7. silicon methyldiimide according to claim 6, characterized ge indicates that it has a chlorine content of less than 20 ppm. 8. Verwendung der anorganischen Polymeren gemäß einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 7 als Precursor für anorganische Keramiken.8. Use of the inorganic polymers according to a or more of claims 1 to 7 as a precursor for inorganic ceramics. 9. Verwendung des Siliciummethyldiimides [Si(NH)NCH3] gemäß einem der Ansprüche 6 und 7 als Precursor für die Herstellung von Si3N4- und SiC/Si3N4-Kerami­ ken.9. Use of the Siliciummethyldiimides [Si (NH) NCH 3 ] according to any one of claims 6 and 7 ken as precursor for the production of Si 3 N 4 - and SiC / Si 3 N 4 -Kerami.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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US7473655B2 (en) * 2005-06-17 2009-01-06 Applied Materials, Inc. Method for silicon based dielectric chemical vapor deposition

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