DE4214554C2 - Multi-layer electrothermal ink printhead - Google Patents
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Description
Die Erfindung betrifft einen mehrschichtigen elektrothermischen Tintendruckkopf gemäß dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1.The invention relates to a multilayer electrothermal Ink printhead according to the preamble of claim 1.
Bekannte elektrothermische Tintendruckköpfe (Bubble-Jet-Prinzip) weisen eine Vielzahl von Einzeldüsen auf, aus denen unter Einwirkung einer elektronischen Steuerung Einzeltröpfchen definierter Größe erzeugt und nach einem definierten Muster in Richtung eines Aufzeichnungsträgers ausgestoßen werden.Known electrothermal ink print heads (bubble jet principle) a variety of individual nozzles, from which under the action of a electronic control individual droplets of defined size are generated and after a defined pattern in the direction of a record carrier be expelled.
Die zu druckenden Zeichen werden durch jeweils mehrere Tintentröpfchen erzeugt, die matrixförmig aneinander gereiht sind.The characters to be printed are each made up of several ink droplets generated, which are lined up in a matrix.
Zweckmäßigerweise wird jeweils eine Spalte einer derartigen zeichenbezogenen Matrix gleichzeitig gedruckt, um die Forderung nach hoher Druckgeschwindigkeit und gleichmäßigem Schriftbild zu erfüllen. One column is expediently one of such Character-related matrix printed simultaneously to meet the demand high printing speed and even typeface.
Ein Tintendruckkopf, der sich für das geschilderte Druckverfahren eignet, muß also mehrere (gleiche) Elemente vereinigen, die in der Lage sind, Tintentröpfchen im Bedarfszeitpunkt auszustoßen ("drop-on-demand"-Prinzip). Charakteristisches Merkmal dieser Technologie ist, daß sich in einer mit Aufzeichnungsflüssigkeit, beispielsweise Tinte, gefüllten Kapillaren und zwar in der Nähe ihrer Öffnung ein als Heizelement ausgebildeter elektrischer Widerstand befindet. Wird diesem Heizelement bei Bedarf mittels eines kurzen Stromimpulses eine bestimmte Wärmeenergie zugeführt, entsteht durch äußerst schnelle Wärmeübertragung auf die Tintenflüssigkeit zuerst eine sich rasch expandierende Tintendampfblase, die dann nach Wegfall der Energiezuführung und Abkühlung der Tintenflüssigkeit relativ schnell in sich zusammenfällt. Die durch die Dampfblase im Inneren der Kapillaren entstehende Druckwelle läßt einen Tintentropfen begrenzter Masse aus der Düsenöffnung auf die Oberfläche eines nahen Aufzeichnungsträgers austreten.An ink printhead that is suitable for the printing process described suitable, must therefore combine several (same) elements that are capable are to eject droplets of ink when needed ("drop-on-demand" principle). Characteristic feature of this Technology is that in one with recording liquid, for example, ink, filled capillaries and close to their Opening an electrical resistor designed as a heating element located. If necessary, use a short Current pulse supplied a certain heat energy, arises from extremely fast heat transfer to the ink liquid first one rapidly expanding ink vapor bubble, which then, after the Energy supply and cooling of the ink liquid relatively quickly in collapses. That through the vapor bubble inside the capillaries resulting pressure wave leaves a drop of ink of limited mass out of the Nozzle opening on the surface of a nearby recording medium emerge.
Ein Vorteil dieses Bubble-Jet-Prinzips ist der, daß durch Ausnutzung des Phasenwechsels flüssig-gasförmig-flüssig der Tintenflüssigkeit die zum Tintenausstoß notwendige, relativ große und schnelle Volumenänderung aus einer sehr kleinen aktiven Wandlerfläche gewonnen wird. Die kleinen Wandlerflächen wiederum erlauben bei Anwendung moderner Herstellungsverfahren, wie hochpräzise fotolithographische Prozesse in Schichttechnik, einen relativ einfachen und kostengünstigen Aufbau von Tintendruckköpfen, die sich durch hohe Schreibspurendichte und geringe Abmessungen auszeichnen.An advantage of this bubble jet principle is that by using the Phase change liquid-gaseous-liquid of the ink liquid to Ink ejection necessary, relatively large and fast volume change is obtained from a very small active transducer area. The small In turn, converter surfaces allow for more modern applications Manufacturing processes such as high-precision photolithographic processes in Layer technology, a relatively simple and inexpensive construction of Ink printheads that are characterized by high trace density and low Mark out dimensions.
Aus der gattungsbildenden Offenlegungsschrift WO 91/17891 A1 ist ein Tintendruckkopf bekannt, der im wesentlichen aus einem Chip und einem Tintenvorratsbehälter besteht, wobei der Chip mittels Montageklammern auf dem Tintenvorratsbehälter mechanisch arretiert ist. Dieser Chip weist dreiseitig abgeschlossene und zur vierten Seite hin offene Tintenkanäle auf, die durch dünne im wesentlichen trapezförmige Kanalzwischenwände voneinander getrennt sind. In Tintenausstoßrichtung besteht der Abschluß des jeweiligen Tintenkanals aus einer dünnen Membran, die ihrerseits die Ausstoßdüse des zugehörigen Tintenkanals aufweist und auf der die Heizelemente außenseitig angeordnet sind.From the generic publication WO 91/17891 A1 is a Ink printhead known, which consists essentially of a chip and a Ink reservoir exists, the chip using mounting brackets is mechanically locked on the ink reservoir. That chip shows closed on three sides and open on the fourth side Ink channels through thin, essentially trapezoidal Channel partitions are separated. In the direction of ink ejection the end of the respective ink channel consists of a thin one Membrane, which in turn is the ejection nozzle of the associated ink channel has and on which the heating elements are arranged on the outside.
Als Substratmaterial wird Silizium verwendet. Die Hohlraumstruktur für die Tintenkanäle wird durch anisotropes Ätzen gebildet. Dazu wird eine Oberfläche des Chips dünnschichtig so dotiert, daß der Ätzvorgang beim Erreichen des dotierten Bereiches gestoppt wird. Dadurch bleibt in Tintenausstoßrichtung eine dünne Schicht Substratmaterial als Membran stehen, die eine Wandung des Tintenkanals bildet. Auf der Außenseite sind die Heizelemente durch geschichteten Aufbau von Widerstandsmaterial und Leiterzügen ausgebildet.Silicon is used as the substrate material. The cavity structure for the ink channels are formed by anisotropic etching. This will be a Surface of the chip thinly doped so that the etching process Reaching the doped area is stopped. This leaves in Ink ejection direction a thin layer of substrate material as a membrane stand, which forms a wall of the ink channel. On the outside are the heating elements due to the layered construction of resistance material and conductor lines.
Die Heizelemente werden impulsweise druckmusterabhängig angesteuert. Dabei wird Wärme erzeugt, die zunächst die Membran lokal aufheizt. Erst bei ausreichender Erhitzung der Membran wird eine Tintendampfblase im Tintenkanal erzeugt, die zum Tintentröpfchenausstoß führt. Durch diese Art der indirekten Beheizung wird der thermische Wirkungsgrad ungünstig beeinflußt.The heating elements are triggered in a pulse-dependent manner depending on the print pattern. This generates heat that initially heats up the membrane locally. First with sufficient heating of the membrane, an ink vapor bubble in the Ink channel created, which leads to ink droplet ejection. Through this With indirect heating, the thermal efficiency becomes unfavorable influenced.
Es muß wesentlich mehr Energie zugeführt werden, als zur Tröpfchenerzeugung notwendig ist. Das führt zu einer unerwünschten, zeitlich wachsenden Erwärmung des gesamten Tintendruckkopfes. Bei hoher Druckleistung müssen dann ebenso unerwünschte Druckpausen zur Abkühlung des Tintendruckkopfes eingelegt werden, die die Druckleistung verringern. Much more energy must be supplied than for Droplet generation is necessary. This leads to an undesirable, heating of the entire print head increases over time. At high Printing performance then also have undesirable printing pauses for cooling of the ink printhead, which increases the printing performance to decrease.
Bezüglich der Materialstärke der Membran sind folgende, sich widersprechende Forderungen gestellt:Regarding the material thickness of the membrane are the following contradicting demands:
Einerseits soll die Membran möglichst dünn sein, damit der Wärmeübergang vom Heizelement zur Tinte verlustarm erfolgt. Eine geringe Materialstärke setzt jedoch der mechanischen Belastbarkeit enge Grenzen, die insbesondere bei den diesem Tropfenerzeugungsverfahren innewohnenden, impulsförmigen Druckbelastungen erreicht sind.On the one hand, the membrane should be as thin as possible so that the heat transfer from the heating element to the ink with little loss. A minor one However, material strength places tight limits on the mechanical resilience, which is particularly the case with this drop generation process inherent, impulsive pressure loads are reached.
Andererseits erfährt der ausgestoßene Tintentropfen im Falle einer dicken Membran im Wege der längeren Führung bessere Richtwirkung auf den Aufzeichnungsträger und die Membran ist geeignet, hohen mechanischen Belastungen standzuhalten.On the other hand, the ejected ink drop experiences in the case of a thick membrane in the way of longer guidance better directivity on the Record carrier and the membrane is suitable for high mechanical To withstand loads.
Aus der US 5 016 024 ist ein Tintendruckkopf mit einem Aufbau des Substrates mit Widerstandsschicht, Metallisierungsschicht und Isolationsschicht bekannt.From US 5 016 024 is an ink print head with a Structure of the substrate with resistance layer, metallization layer and insulation layer known.
Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, einen Tintendruckkopf anzugeben, der sowohl einen möglichst verlustarmen Wärmeübergang von den Heizelementen zur Tinte gestattet, als auch über ausreichende mechanische Festigkeit verfügt.The invention is therefore based on the object of an ink print head specify that both a low-loss heat transfer from the Heating elements allowed to ink, as well as sufficient mechanical strength.
Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe mit den Merkmalen des Anspruchs 1 gelöst.According to the invention, this object is achieved with the features of Claim 1 solved.
Aus der Widerstandsschicht sind die Heizelemente strukturiert, die mit der darüber liegenden Metallisierungsschicht kontaktiert sind. Vorteilhafterweise sind diese Heizelemente bei Vernachlässigung der notwendigen Schutzschichten thermisch direkt an die Tinte gekoppelt, so daß die erzeugte Wärmemenge verlustarm und verzögerungsfrei auf die Tinte übertragen wird. Dadurch wird der thermische Wirkungsgrad verbessert und darüber hinaus die Tropfenerzeugung beschleunigt. Es werden kürzere Heizzeiten erzielt, infolgedessen verringert sich die Aufheizung des Tintendruckkopfes. Notwendige Druckpausen wegen Überhitzung des Tintendruckkopfes werden vermieden.The heating elements are structured from the resistance layer the metallization layer above is contacted. These heating elements are advantageously neglected necessary protective layers thermally coupled directly to the ink, so that the amount of heat generated with little loss and without delay on the Ink is transferred. This increases the thermal efficiency improved and also accelerated the drop generation. It shorter heating times are achieved, consequently the Heating the ink print head. Necessary printing breaks because of Overheating of the ink printhead is avoided.
Ein weiterer Vorteil des erfindungsgemäßen Tintendruckkopfes besteht darin, daß das thermische Verhalten des Tintendruckkopfes unabhängig von der Materiatstärke der Membran ist, d. h. die Membran kann ausschließlich entsprechend den Forderungen der mechanischen Festigkeit und der Düsenlänge dimensioniert werden.Another advantage of the ink print head according to the invention is in that the thermal behavior of the ink printhead is independent of is the material thickness of the membrane, d. H. the membrane can only according to the requirements of mechanical strength and the Nozzle length can be dimensioned.
Darüber hinaus ist die aufgetragene Ätzstoppschicht für das anisotrope Ätzen der Kanäle technologisch besser beherrschbar, präziser und bei freizügiger Materialauswahl zuverlässiger.In addition, the applied etch stop layer is for the anisotropic Etching of the channels technologically more controllable, precise and at Free choice of materials more reliable.
Durch die weitgehend frei dimensionierbare Düsenlänge in Tintenausstoßrichtung und die ihr eigene Kapillarwirkung läßt sich der unerwünschte Lufteintritt in den Tintenkanal nach dem Tröpfchenausstoß sicher vermeiden.Due to the largely freely dimensionable nozzle length in Ink ejection direction and its own capillary action can be unwanted air entry into the ink channel after droplet ejection safely avoid.
In weiterer Ausgestaltung der Erfindung ist zwischen der Metallisierungsschicht und der Membranschicht eine thermische und elektrische Isolationsschicht vorgesehen.In a further embodiment of the invention is between the Metallization layer and the membrane layer a thermal and electrical insulation layer provided.
Zweckmäßigerweise ist auf die Membranschicht eine Entnetzungsschicht aufgebracht oder sie weist selbst entnetzende Eigenschaften auf.A dewetting layer is expediently on the membrane layer applied or it has self-dewetting properties.
Die Erfindung wird nachstehend anhand von Ausführungsbeispielen näher erläutert. Die dazu erforderlichen Darstellungen zeigen: The invention is explained in more detail below on the basis of exemplary embodiments explained. The representations required for this show:
Fig. 1 eine Prinzipdarstellung eines für die Anwendung der Erfindung besonders geeigneten Tintendruckkopfes Fig. 1 is a schematic diagram of an ink print head particularly suitable for the application of the invention
Fig. 2 eine Schnittdarstellung durch den Chip eines solchen Tintendruckkopfes Fig. 2 is a sectional view through the chip of such an ink print head
Fig. 3 eine vergrößerte Schnittdarstellung des Ausschnittes A des Tintendruckkopfes gemäß einem Ausführungsbeispiel der Erfindung. Fig. 3 is an enlarged sectional view of section A of the ink print head according to an embodiment of the invention.
Die Fig. 1 zeigt in perspektivischer Darstellung den Aufbau eines Tintendruckkopfes 24. Dieser besteht im wesentlichen aus nur zwei miteinander zu verbindenden Teilen, nämlich einem Chip 11, der sowohl die Heizelemente, die elektrischen Zuleitungen und die Kontaktstellen für den elektrischen Anschluß als auch die Auslaßöffnungen (Düsen) beinhaltet und als Abschluß auf einen Tintenvorratsbehälter 12 befestigt und kontaktiert wird. Die in diesem Prinzipbild nicht dargestellten Heizelemente, die elektrischen Zuleitungen, die Kontaktstellen 9 und Auslaßöffnungen 10 können dabei in einem einzigen, vorzugsweise aus Silizium bestehenden Chip 11 durch Nutzen planarer Bearbeitungsschritte erzeugt werden. Fig. 1 is a perspective view showing the structure of an ink print head 24. This consists essentially of only two parts to be connected to one another, namely a chip 11 , which contains both the heating elements, the electrical feed lines and the contact points for the electrical connection and the outlet openings (nozzles) and, as a conclusion, fastens and contacts an ink reservoir 12 becomes. The heating elements (not shown in this basic diagram), the electrical feed lines, the contact points 9 and outlet openings 10 can be produced in a single chip 11 , preferably made of silicon, by using planar processing steps.
Der Tintenvorratsbehälter 12 weist eine quaderförmige Gestalt auf, in das ein mit Tintenflüssigkeit getränktes Medium, z. B. ein Schwamm 13 eingebracht ist. An der dem Chip 11 zugewandten Oberseite des Tintenvorratsbehälters 12 sind mit Filtern 14 versehene Auslaßöffnungen in Form von zwei Versorgungskanälen 15 vorgesehen. Diese Versorgungskanäle 15 verlaufen parallel zueinander in Längsrichtung des Tintenvorratsbehälters 12 derart, daß sie bei einem montierten Chip 11 über Tintenkanäle 16 in Fließverbindung mit den Auslaßöffnungen 10 stehen. Die Montage des Chips 11 auf dem Tintenvorratsbehälter 12 geschieht auf einfache Weise durch an den Längsseiten des Tintenvorratsbehälters 12 angeordnete Montageklammern 17, die sowohl die mechanische Verbindung als auch über die Kontaktstellen 9 die elektrische Kontaktierung übernehmen.The ink reservoir 12 has a cuboid shape in which a medium soaked with ink liquid, e.g. B. a sponge 13 is introduced. On the top of the ink reservoir 12 facing the chip 11 , outlet openings provided with filters 14 are provided in the form of two supply channels 15 . These supply channels 15 run parallel to one another in the longitudinal direction of the ink reservoir 12 such that they are in fluid communication with the outlet openings 10 via an ink channel 16 when a chip 11 is mounted. The chip 11 is mounted on the ink reservoir 12 in a simple manner by means of mounting clamps 17 arranged on the long sides of the ink reservoir 12 , which take over both the mechanical connection and the electrical contacts via the contact points 9 .
Die Fig. 2 stellt einen Schnitt durch den Chip gemäß der Schnittlinie I-I in Fig. 1 dar. Insbesondere ist hier die geometrische Ausgestaltung eines Tintenkanals 16 zu erkennen, der parallele Wände mit schrägen Auslaufzonen aufweist. FIG. 2 shows a section through the chip according to section line II in FIG. 1. In particular, the geometric configuration of an ink channel 16 can be seen here, which has parallel walls with oblique outlet zones.
Wie auch aus Fig. 2 hervorgeht, ist dieser Tintenkanal 16 düsenseitig lediglich durch eine dünne Schicht membranartig abgeschlossen. In dieser Membran 3 ist die Auslaßöffnung 10 vorgesehen.As can also be seen from FIG. 2, this ink channel 16 is closed off on the nozzle side only by a thin layer like a membrane. In this membrane 3 , the outlet opening 10 is provided.
Zum besseren Verständnis des Erfindungsgegenstandes ist in der Fig. 3 eine repräsentative Ausschnittsvergrößerung des Tintendruckkopfes entsprechend dem Ausschnitt "A" in Fig. 2 dargestellt. For a better understanding of the subject matter of the invention, FIG. 3 shows a representative enlargement of the detail of the ink print head corresponding to the section “A” in FIG. 2.
Das Substratmaterial 25 ist für die Strukturierung der Tintenkanäle 16 sowohl im Bereich der Auslaßöffnung 10 als auch im Bereich der Membran 3 durch anisotropes Ätzen restlos entfernt. Die Membran 3 besteht ausschließlich aus den auf das Substratmaterial 25 aufgebrachten Schichten 26, 27, 28, 30 und 31 sowie der Isolationsschicht 29. Mit 20 ist in der Fig. 3 die Tintendampfblase angedeutet.The substrate material 25 for the structuring of the ink channels 16 is completely removed both in the area of the outlet opening 10 and in the area of the membrane 3 by anisotropic etching. The membrane 3 consists exclusively of the layers 26 , 27 , 28 , 30 and 31 applied to the substrate material 25 and the insulation layer 29 . The ink vapor bubble is indicated by 20 in FIG. 3.
Dem Tintenkanal 16 am nächsten gelegen ist eine dünne Ätzstoppschicht 26, die dem Schutz der nachfolgenden Schichten während des anisotropen Ätzens der Tintenkanäle 16 dient. Die Ätzstoppschicht 26 besteht aus Siliziumnitrid und ist etwa 150 nm dick.Located closest to the ink channel 16 is a thin etch stop layer 26 which serves to protect the subsequent layers during the anisotropic etching of the ink channels 16 . The etch stop layer 26 consists of silicon nitride and is approximately 150 nm thick.
Auf der Ätzstoppschicht 26 ist eine Widerstandsschicht 27 aufgebracht. Für die Heizelemente besteht die Widerstandsschicht 27 aus Hafniumdiborid und ist je nach lateraler Dimensionierung etwa 100 nm dick.A resistance layer 27 is applied to the etch stop layer 26 . The resistance layer 27 for the heating elements consists of hafnium diboride and, depending on the lateral dimensioning, is approximately 100 nm thick.
In weiterer Ausgestaltung ist die Widerstandsschicht 27 lateral in Bereichen mit unterschiedlichem Widerstandsmaterial aufgeteilt. Im Bereich des Tintenkanals 16 ist Widerstandsmaterial für die Heizelemente 4 und im Bereich der Kanalzwischenwand ist Widerstandsmaterial mit großem Temperaturkoeffizienten vorgesehen. Die Bereiche mit hohen Temperaturkoeffizienten sind separat kontaktiert und dienen als Temperatursensoren der Überwachung und Betriebssicherstellung des Tintendruckkopfes 24.In a further embodiment, the resistance layer 27 is laterally divided into areas with different resistance material. Resistance material for the heating elements 4 is provided in the area of the ink channel 16 and resistance material with a large temperature coefficient is provided in the area of the channel intermediate wall. The areas with high temperature coefficients are contacted separately and serve as temperature sensors for monitoring and ensuring operational reliability of the ink print head 24 .
Auf der Widerstandsschicht 27 ist für jeden Tintenkanal 16 selektiv eine Metallisierungsschicht 28 vorgesehen, die zur Kontaktierung der Heizelemente 4 dient für die Metallisierungsschicht 28 ist Aluminium in einer Stärke von etwa 1000 nm aufgesputtert. On the resistor layer 27, a metallization 28 is provided for each ink channel 16 is selectively provided, which serves for contacting the heating elements 4 for the metallization layer 28 of aluminum is sputtered nm in a thickness of about one thousandth
Auf die Metallisierungsschicht 28 ist zweckmäßigerweise eine Isolationsschicht 29 aufgetragen, die aus Siliziumdioxid oder Siliziumnitrid besteht und mindestens 200 nm dick ist. Die Isolationsschicht 29 hat sowohl thermische als auch elektrische Isoliereigenschaften, so daß einerseits der Wärmeverlust in nachfolgende Schichten minimiert wird und andererseits auch leitfähiges Material für die nachfolgende Schicht verwendet werden kann.An insulation layer 29 , which consists of silicon dioxide or silicon nitride and is at least 200 nm thick, is expediently applied to the metallization layer 28 . The insulation layer 29 has both thermal and electrical insulating properties, so that on the one hand the heat loss in subsequent layers is minimized and on the other hand conductive material can also be used for the subsequent layer.
Auf die Isolationsschicht 29 folgt eine Membranschicht 30. Diese Membranschicht 30 ist die tragende Schicht, die der Membran 3 die mechanische Stabilität gibt und gleichzeitig Überschußwärme abführt. Die Materialstärke der Membranschicht richtet sich mindestens nach der mechanischen Festigkeit des verwendeten Materials. Durch die Stärke der Membranschicht 30 wird aber auch die Flugbahn des ausgestoßenen Tintentröpfchen beeinflußt. Je dicker die Membranschicht 30 ist, um so länger ist die Auslaßöffnung 10 in Tintenausstoßrichtung und um so präziser ist die Flugbahn des Tintentröpfchens.A membrane layer 30 follows the insulation layer 29 . This membrane layer 30 is the supporting layer, which gives the membrane 3 mechanical stability and at the same time dissipates excess heat. The material thickness of the membrane layer depends at least on the mechanical strength of the material used. The trajectory of the ejected ink droplet is also influenced by the thickness of the membrane layer 30 . The thicker the membrane layer 30 , the longer the outlet opening 10 in the ink ejection direction and the more precise the trajectory of the ink droplet.
Der äußere Abschluß ist durch eine Entnetzungsschicht 31 gebildet, die auf die Membranschicht 30 aufgebracht ist.The outer termination is formed by a dewetting layer 31 which is applied to the membrane layer 30 .
Auf eine separate Isolationsschicht 29 kann verzichtet werden, wenn das Material, das für die Membranschicht 30 verwendet wird, selbst elektrische und thermische Isoliereigenschaften besitzt.A separate insulation layer 29 can be dispensed with if the material used for the membrane layer 30 itself has electrical and thermal insulation properties.
Auf eine separate Entnetzungsschicht 31 kann verzichtet werden, wenn das Material der Membranschicht 30 entnetzend wirkt.A separate dewetting layer 31 can be dispensed with if the material of the membrane layer 30 has a dewetting effect.
Als Material für die Membranschicht 30 ist auch eine Kunststoffolie geeignet, die auf den Chip 11 auflaminiert wird.A plastic film which is laminated onto the chip 11 is also suitable as the material for the membrane layer 30 .
BezugszeichenlisteReference list
3 Membran
4 Heizelement
9 Kontaktstellen
10 Auslaßöffnungen
11 Chip
12 Tintenvorratsbehälter
13 Schwamm
14 Filter
15 Versorgungskanäle
15 Tintenkanäle
17 Montageklammern
20 Tintendampfblase
24 Tintendruckkopf
25 Substratmaterial
26 Ätzstoppschicht
27 Widerstandsschicht
28 Metallisierungsschicht
29 Isolationsschicht
30 Membranschicht
31 Entnetzungsschicht. 3 membrane
4 heating element
9 contact points
10 outlet openings
11 chip
12 ink reservoirs
13 sponge
14 filters
15 supply channels
15 ink channels
17 mounting brackets
20 ink vapor bubble
24 ink printhead
25 substrate material
26 etch stop layer
27 resistance layer
28 metallization layer
29 insulation layer
30 membrane layer
31 dewetting layer.
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