DE4126420C1

DE4126420C1 - Metallic filter element of improved mechanical stability - obtd. from chromium@-nickel@-molybdenum@-titanium@-contg. steel sheet and has round orifices or slits on inflow side, used for sepn. of particles from gases

Info

Publication number: DE4126420C1
Application number: DE4126420A
Authority: DE
Inventors: Reinhard Dipl.-Ing. 4300 Essen De Pass; Miroslav Dr. Podhorsky; Horst 4030 Ratingen De Wittig
Original assignee: Bergwerksverband GmbH; Balcke Duerr AG
Current assignee: Bergwerksverband GmbH; Balcke Duerr AG
Priority date: 1991-08-09
Filing date: 1991-08-09
Publication date: 1993-02-11
Anticipated expiration: 2011-08-10
Also published as: JPH05269321A; JPH0712407B2

Abstract

Filter element for sepn. of particles from gases is mfd. from CrNiMoTi steel sheet, 15-1500 micron thick, in which round filter orifices have a max. dia. of 100 micron on the inflow side or filter slots are at least 100 mm long and have a max.inflow width of 150 nm. Element has a bond coat of TiC formed on it and an Al2O3 ceramic coating. Filter orifices take up 5-15% of the element surface. ADVANTAGE - Improved mechanical stability

Description

Die Erfindung betrifft ein metallisches Filterelement zur Ab scheidung von Partikeln aus Gasen nach dem Oberbegriff des Pa tentanspruchs 1, sowie ein Verfahren zur Her stellung desselben.The invention relates to a metallic filter element for Ab separation of particles from gases according to the generic term of Pa claim 1, and a method for Her position of the same.

Filterapparate mit einem solchen Element sind aus der DE-PS 38 00 457 bekannt. Das dort vorgeschlagene Filterelement ist folienartig ausgebildet und weist rundliche Löcher auf, deren Querschnitte von der Kreisform abweichen können und bei spielsweise linsenförmig ausgebildet sein können. Bei diesem Filterelement wird das staubbeladene Gas zu den Filteröff nungen hin umgelenkt, wobei ein Teil der Partikel aufgrund ihrer Massen den Strömungslinien nicht oder nur beschränkt folgen können. Allmählich bildet sich um die Filteröffnungen ein Filterkuchen, der die Filtration der Staubpartikeln be wirkt. Dieses folienartige Filterelement ist wegen seiner ge ringen mechanischen Stabilität nicht für alle Anwendungsfälle geeignet. Greift man anstelle der metallischen Folie auf ein dünnes Metallblech zurück, lassen sich die für das Perfo rieren einer Folie angewendeten Verfahren des "Photo-Ätzens" und des "Elektroformings" nicht anwenden. Für das Photo-Ätzen gilt als Richtwert, daß die Lochgrößen gleich groß wie oder größer als die Materialdicke sein dürfen. Lochgrößen <100 µm, wie sie für die Gasreinigung erforderlich sind, lassen sich bei Materialstärken von 1 mm oder mehr durch Photo-Ätzen nicht herstellen. Wendet man das Elektroforming an, ist es nachteilig, daß die Löcher mit zunehmender Dicke des Filtere lementes beim Filtervorgang zu schnell zuwachsen.Filter devices with such an element are from DE-PS 38 00 457 known. The filter element proposed there is formed like a film and has rounded holes whose Cross sections can deviate from the circular shape and at can for example be lenticular. With this Filter element, the dust-laden gas to the filter opening redirected towards, some of the particles due to their masses the flow lines not or only limited can follow. Gradually forms around the filter openings a filter cake, which be the filtration of dust particles works. This film-like filter element is because of its ge do not wrestle mechanical stability for all applications suitable. If one intervenes instead of the metallic foil thin sheet of metal back, the can be used for the perfo a film-applied process of "photo-etching" and do not use "electroforming". For photo etching As a guideline, the hole sizes are the same as or may be greater than the material thickness. Hole sizes <100 µm, as required for gas cleaning with material thicknesses of 1 mm or more by photo-etching do not manufacture. If you apply electroforming, it is disadvantageous that the holes with increasing thickness of the filter elements too quickly during the filtering process.

Aus der DE 37 26 076 C1 ist ein Filterelement aus Stahlfolie zum Abscheiden von Partikeln aus Gasen sowie ein Herstel lungsverfahren für das Filterelement bekannt, auf dessen Oberfläche und in dessen Poren eine Deckschicht mit stengel- und/oder plättchenförmigen Oxiden gebildet wird, um ein Ab platzen der Deckschicht, insbesondere bei hohen Temperaturen, von der dünnen Stahlfolie zu vermeiden. Auch bei diesem aus Stahlfolie gebildeten Filterelement ist die geringe mechani sche Stabilität von daraus hergestellten Filterkörpern dann nachteilig, wenn diese stärker mechanisch beansprucht werden.From DE 37 26 076 C1 is a filter element made of steel foil for separating particles from gases and a manufac tion method for the filter element known, on the Surface and in its pores a top layer with stem and / or platelet-shaped oxides is formed to an ab burst the top layer, especially at high temperatures, to avoid the thin steel foil. Even with this one Steel foil formed filter element is the low mechani cal stability of filter bodies made therefrom disadvantageous if these are subjected to greater mechanical stress.

Aus der US 47 95 560 ist ein metallisches Filterelement für einen unter Druck betriebenen Siebapparat zum Papierschöpfen bekannt, dessen 50 bis 800 µm dicken Löcher oder Schlitze mittels Laser in rd. 8 mm starke Blech gebrannt werden. Sol che starken Bleche sind für gattungsgemäße Filterelemente zur Gasabtrennung kaum geeignet und zudem unwirtschaftlich.From US 47 95 560 is a metallic filter element for a press-operated screen for scooping paper known, the 50 to 800 microns thick holes or slots using laser in approx. 8 mm thick sheet can be burned. Sol Che strong sheets are for generic filter elements Gas separation hardly suitable and also uneconomical.

Weiterhin ist aus der DE 40 24 168 A1 eine Beschichtung eines gattungsfremden metallischen Gegenstandes, nämlich eines Ka talysator-Trägerkörpers, bekannt, die nach dem PVD-Verfahren (Plasma - Vapor - Deposition) erfolgt, wobei in zwei Schich ten eine Glas/Keramikschicht dadurch erzeugt wird, daß ein Zonenstrahl die Beschichtungsteile aus einer Lösung unter Va kuum bei vergleichsweise niedriger Temperatur "herausreißt" und auf das zu beschichtende Werkstück aufbringt. Dabei ist es nachteilig, daß ein vergleichsweise hoher apparativer Aufwand für das Beschichten erforderlich ist. Außerdem ist es bei diesem Verfahren nachteilig, daß damit keine Innenbe schichtung von Löchern eines Trägerbleches möglich ist.Furthermore, DE 40 24 168 A1 describes a coating of a non-generic metallic object, namely a Ka Talysator carrier body, known by the PVD process (Plasma - Vapor - Deposition) takes place in two layers ten a glass / ceramic layer is produced in that a Zone spray the coating parts from a solution under Va vacuum "tears out" at comparatively low temperature and applies it to the workpiece to be coated. It is it is disadvantageous that a comparatively high apparatus Coating effort is required. Besides, it is disadvantageous in this process that no internal stratification of holes in a carrier plate is possible.

Zur Vermeidung der Nachteile des Standes der Technik liegt der vorliegenden Erfindung die Aufgabe zugrunde, ein metalli sches Filterelement aus dünnwandigem metallischen Blech mit im Verhältnis zur Blechdicke kleinen Filteröffnungen und mit einer verbesserten mechanischen Stabilität zu finden und ein Herstellungsverfahren dafür vorzuschlagen.To avoid the disadvantages of the prior art the present invention has the object of a metalli filter element made of thin-walled metal sheet in relation to the sheet thickness of small filter openings and with to find an improved mechanical stability and a Propose manufacturing processes for it.

Diese Aufgabe wird hinsichtlich des metallischen Filterele ments durch die im Kennzeichen des Anspruchs 1 niedergelegten Merkmale gelöst. Vorzugsweise Ausgestaltungen des Filterele ments sind in den Ansprüchen 2 bis 4 beschrieben. Ein ge eignetes Herstellungsverfahren für das Filterelement ist in Anspruch 5 niedergelegt.This task is done with regard to the metallic filter element ment by those laid down in the characterizing part of claim 1 Features solved. Preferably configurations of the filter element ment are described in claims 2 to 4. A ge Suitable manufacturing process for the filter element is in Claim 5 deposited.

Das erfindungsgemäße Filterelement weist eine außerordentlich gute Haltbarkeit und Stabilität auf. Nach einer sehr kurzen Phase der Staubkuchenbildung, in der die Zunahme des Druck verlustes nicht linear ist, entsteht eine geschlossene Staub kuchenschicht, wobei zugleich ein sehr langsamer linearer An stieg des Druckverlustes erfolgt. Der Anstieg des Druckver lustes ist dann offenbar nicht mehr durch die Art oder Größe der Filteröffnungen, sondern durch die Staubkuchenschicht dicke bestimmt. Bereits ein Flächenanteil von 5-15% offene Siebfläche gewährleistet die Ausbildung einer geschlossenen Staubkuchenschicht, die auch über die ungelochten bzw. unge schlitzten Oberflächen hinweg erfolgt. Dadurch steht dem sich ausbildenden Staubkuchen die größtmögliche Filterfläche zur Verfügung, so daß die zeitliche Zunahme der Staubkuchen schichtdicke und damit des Druckverlustes auf ein Minimum be grenzt wird. Dadurch ist eine betriebssichere Verwendung die ses Filterelements bei hohen Temperaturen und hohen Betriebs- und Differenzdrücken gegeben. Dieses Filterelement ist frei tragend, bedarf keiner weiteren Stützkörper und gewährleistet niedrige Reingasstaubkonzentrationen.The filter element according to the invention has an extraordinary good durability and stability. After a very short Phase of dust cake formation in which the increase in pressure loss is not linear, creates a closed dust cake layer, while at the same time a very slow linear approach pressure loss increased. The increase in pressure ver funny is then obviously no longer by the type or size the filter openings, but through the dust cake layer thickness determined. Already an area share of 5-15% open Screen surface ensures the formation of a closed Dust cake layer, which is also over the non-perforated or unground slotted surfaces. This makes it stand out training dust cake the largest possible filter area for Available so that the temporal increase in the dust cake layer thickness and thus the pressure loss to a minimum is bordered. This ensures safe use filter element at high temperatures and high operating and given differential pressures. This filter element is free load-bearing, requires no additional support body and guaranteed low clean gas dust concentrations.

Überraschenderweise lassen sich bei Anwendung des Herstel lungsverfahrens gemäß Anspruch 5 vergleichsweise sehr kleine Filteröffnungen auch in solchen metallischen Blechen her stellen, deren Dicke ein Vielfaches des Lochdurchmessers bzw. der Schlitzbreite der Filteröffnungen beträgt, so daß sich daraus ein geeignetes Filterelement für die Abscheidung von Stäuben aus Gasen, insbesondere Heißgasen, herstellen läßt.Surprisingly, when using the manufacturer lungsverfahren according to claim 5 comparatively very small Filter openings also in such metallic sheets places, the thickness of which is a multiple of the hole diameter or the slot width of the filter openings is so that a suitable filter element for the separation of Dust from gases, especially hot gases, can be produced.

Die Erfindung wird nachfolgend anhand der Zeichnung näher er läutert. Es zeigen:The invention is based on the drawing he he purifies. Show it:

Fig. 1 eine Teilansicht eines Filterelementes mit schlitz förmigen Filteröffnungen, Fig. 1 is a partial view of a filter element with slot-shaped filter openings,

Fig. 2 den Gegenstand der Fig. 1 in einer vergrößerten Dar stellung, Fig. 2 position the subject of FIG. 1 in an enlarged Dar,

Fig. 3 den Gegenstand der Fig. 2 in einer Ansicht von un ten, Fig. 3 th the subject of FIG. 2 in a view from un,

Fig. 4 den Gegenstand der Fig. 2 in einer stärkeren Ver größerung, Fig. 4 enlargement the subject of FIG. 2 in a stronger Ver,

Fig. 5 den Gegenstand der Fig. 4 in einer Ansicht von un ten, Figure 5 th. The object of FIG. 4 in a view from un,

Fig. 6 Teilschnitt durch ein Filterelement gemäß den Fig. 1 bis 5, Fig. 6 partial section through a filter element according to FIGS. 1 to 5,

Fig. 7 Draufsicht auf ein Filterelement mit runden Filter öffnungen in vergrößerter Darstellung, Fig. 7 top view of a filter element having filter openings round in enlarged representation,

Fig. 8 Ansicht des Gegenstandes der Fig. 7 von unten, Fig. 8 view of the object of FIG. 7 from below,

Fig. 9 Querschnitt durch ein Filterelement, gemäß den Fig. 7 und 8 in einem vergrößerten Maßstab, Fig. 9 cross-section through a filter element according to FIGS. 7 and 8 on an enlarged scale,

Fig. 10 eine Ausschnittvergrößerung aus Fig. 9, Fig. 10 shows an enlarged detail from FIG. 9,

Fig. 11 den Gegenstand der Fig. 7 nach der Beschichtung, Fig. 11 shows the subject of FIG. 7 after the coating,

Fig. 12 den Gegenstand der Fig. 8 nach der Beschichtung, Fig. 12 shows the subject of FIG. 8 after the coating,

Fig. 13 den Gegestand der Fig. 9 nach der Beschichtung, Fig. 13 Gege the state of Fig. 9 after the coating,

Fig. 14, 15 und 16 Auschnittvergrößerungen der Fig. 13. Fig. 14, 15 and 16 Auschnittvergrößerungen of Fig. 13.

Die Fig. 1 bis 16 sind Schwarz-weiß-Kopien von Photoauf nahmen von metallischen Filterelementen 1, die nach dem er findungsgemäßen Verfahren hergestellt worden sind, wobei die Fig. 1 bis 6 Filterelemente 1 mit schlitzförmigen Filter öffnungen 21 und die Fig. 7 bis 16 mit runden Filter öffnungen 20 zeigen. Figs. 1 to 16 are black and white copies of photo-to measures of metallic filter elements 1, which it has been prepared according to the inventive method, Figs. 1 to 6 filter elements 1 having slit-shaped filter openings 21 and Figs. 7 to 16 with round filter openings 20 show.

Zur Herstellung der schlitzförmigen Filteröffnungen 21 wurde ein gepulster Festkörperlaser und zur Herstellung der runden Filteröffnungen 20 ein Elektronenstrahlerzeuger verwendet.A pulsed solid-state laser was used to produce the slit-shaped filter openings 21 and an electron beam generator was used to produce the round filter openings 20 .

Die Fig. 1 bis 10 zeigen Filterelemente 1 unmittelbar nach der Herstellung der runden bzw. schlitzförmigen Filter öffnungen 20, 21, d. h. ohne Nachbehandlung. Bei den Fig. 11 bis 16 handelt es sich um Abbildungen von Filterelementen 1 mit runden Filteröffnungen 20, nachdem diese erfin dungsgemäß weiterbehandelt worden sind, d. h. nach der Her stellung der runden Filteröffnungen 20 wurden die Filterelemente 1 im Beispiel mit Glaskügelchen - auch anderes Strahlgut ist möglich - gestrahlt und im CVD-Verfahren (chemical vapor deposition) mit einer TiC-Schicht 30 als Haftgrund und einer Keramikschutzschicht 31 aus Al₂O₃ beschichtet, wobei überraschenderweise auch die Wandungen 22 der runden Filteröffnungen 20 mitbeschichtet worden sind. Figs. 1 to 10 show filter elements 1 immediately after the production of the round or slit-shaped filter openings 20, 21, that is, without subsequent treatment. . In Figures 11 to 16 is pictures of filter elements 1 with round filter openings 20 after they have been OF INVENTION dung further treated according to, ie after the forth position of the round filter openings 20 were the filter elements 1 in the example with glass beads - also other grit is possible - blasted and coated in the CVD process (chemical vapor deposition) with a TiC layer 30 as an adhesive base and a ceramic protective layer 31 made of Al ₂ O ₃ , surprisingly also the walls 22 of the round filter openings 20 being coated as well.

Im einzelnen ist in Fig. 1 ein Ausschnitt aus einem Filter element 1 dargestellt, bei dem Schlitzbereiche 2 und Quer strebe 3 im Wechsel angeordnet sind. Die Schlitzbereiche 2 werden von einer Vielzahl von schlitzförmigen Filteröffnungen 21 (Fig. 2) gebildet. In den Randbereichen sind die Filtere lemente 1 mit Längsholmen 4 und Querholmen 5 als zusätzlichen Verstärkungselementen versehen. In Fig. 1 ist die Anström seite des Filterelementes 1 abgebildet, nämlich der Aus trittsbereich des Laserstrahls, d. h. die dem Laserstrahl bei der Bearbeitung abgewandte Seite.In detail, a section of a filter element 1 is shown in Fig. 1, in which slot areas 2 and cross strut 3 are arranged alternately. The slot areas 2 are formed by a plurality of slot-shaped filter openings 21 ( FIG. 2). In the edge areas, the filter elements 1 are provided with longitudinal bars 4 and cross bars 5 as additional reinforcing elements. In Fig. 1, the inflow side of the filter element 1 is shown, namely the exit region of the laser beam, ie the side facing away from the laser beam during processing.

Das in Fig. 1 gezeigte Filterelement 1 kann als Platten filter verwendet werden. Das Filterelement 1 kann aber auch zu einem rohrförmigen Kerzenfilterelement durch Umbiegen in Längs- oder Querrichtung geformt werden, indem die beiden Längsholme oder Querholme an- oder übereinander befestigt werden.The filter element 1 shown in Fig. 1 can be used as filter plates. The filter element 1 can, however, also be formed into a tubular candle filter element by bending in the longitudinal or transverse direction, in that the two longitudinal spars or transverse spars are attached to or above one another.

Die Fig. 2 bis 5 zeigen vergrößerte Ausschnitte des Ein- bzw. Austritts des Laserstrahls aus den in Fig. 1 mit 2 be zeichneten Schlitzbereichen. Sie verdeutlichen, mit welcher Regelmäßigkeit die schlitzförmigen Filteröffnungen 21 durch Laserstrahl-Bearbeitung herstellbar sind. Dabei zeigt die Fig. 2 im Maßstab 1 : 20 und die Fig. 4 im Maßstab 1 : 40 die Seite des Filterelementes 1, auf der der Laserstrahl bei der Bearbeitung in das Filterelement eintritt und die Fig. 3 bzw. 5 die Seite, auf der der Laserstrahl aus dem Fil terelement 1 austritt. Insgesamt ist die Schlitzgeometrie auf der Eingangsseite regelmäßiger als auf der Ausgangsseite und der Spalt der Filteröffnung 21 ist auf der Eingangsseite breiter als auf der Ausgangsseite. Die Flanken der schlitz förmigen Filteröffnung 21 sind, wie aus Fig. 6 (einer Schnittdarstellung) gut sichtbar ist, vergleichsweise regel mäßig ausgebildet. Figs. 2 to 5 show enlarged details of the inlet and outlet of the laser beam from the BE in Fig. 1 with 2 recorded slit regions. They illustrate the regularity with which the slit-shaped filter openings 21 can be produced by laser beam processing. 4 on a scale of 1 to 20 and Fig: 40, the side of the filter element 1 on which the laser beam enters in the processing in the filter element, and Figs 3 and 5, the side on. The Figure 2 in scale. 1 shows. the laser beam emerges from the fil terelement 1 . Overall, the slot geometry on the input side is more regular than on the output side and the gap of the filter opening 21 is wider on the input side than on the output side. The flanks of the slit-shaped filter opening 21 are, as is clearly visible from FIG. 6 (a sectional view), comparatively regular.

Da bei der Verwendung als Staubfilter die engere Spaltöffnung anströmseitig angeordnet wird, findet ausschließlich Oberflä chenfiltration statt. Es besteht keine Verstopfungsgefahr. Bei dem erfindungsgemäßen Filterelement 1 lassen sich ver gleichsweise feine Filterstrukturen verwirklichen, ohne daß seine Stabilität beeinträchtigt wird.Since the narrower gap opening is arranged on the upstream side when used as a dust filter, surface filtration only takes place. There is no risk of constipation. In the filter element 1 according to the invention, comparatively fine filter structures can be realized without impairing its stability.

Durch eine Beschichtung, worauf im folgenden noch eingegangen wird, lassen sich diese Feinstrukturen noch weiter ver feinern, so daß Filterelemente 1 herstellbar sind, die zum Abscheiden von Feinstäuben geeignet sind, wie sie mit Filter elementen gemäß dem Stand der Technik nicht erzielbar sind.Through a coating, which will be discussed in the following, these fine structures can be further refined ver, so that filter elements 1 can be produced which are suitable for separating fine dust, such as cannot be achieved with filter elements according to the prior art.

In den Fig. 7 und 8 ist im Maßstab 1 : 35 ein Ausschnitt aus einem Filterelement 1 dargestellt, das mit runden Filteröffnungen 20 versehen ist. Sie zeigen den Herstellungsstand nach dem Einbringen der runden Filteröffnungen 20 mit einem Elektronenstrahl. In Fig. 7 ist die Austrittsseite und in Fig. 8 die Eintrittsseite des Elektronenstrahls abgebildet. Bezogen auf das Filterelement 1 entsprechen Fig. 7 der An strömseite und Fig. 8 der Abströmseite.In Figs. 7 and 8, in scale 1: shows a detail of a filter element 1 35, which is provided with round openings 20 filter. They show the state of manufacture after the round filter openings 20 have been introduced with an electron beam. The exit side of the electron beam is shown in FIG. 7 and the entry side in FIG. 8. In relation to the filter element 1 , FIG. 7 corresponds to the upstream side and FIG. 8 to the downstream side.

In den Fig. 9 und 10 sind Querschliffe aus dem unbe schichteten Filterelement 1 dargestellt, die die Regelmä ßigkeit der Oberfläche der kegelstumpfartigen runden Fil teröffnungen 20 zeigen. In Fig. 10 ist die Gratbildung im Locheintrittsbereich des Elektronenstrahls erkennbar.In FIGS. 9 and 10, cross sections are shown of the uncoated filter element 1, the LIQUID the Regelmä the surface of the truncated circular Fil teröffnungen 20 show. In Fig. 10, the burr hole in the entry area of the electron beam can be recognized.

Wie die Fig. 11 und 12 zeigen, kann durch eine Beschich tung 10 erreicht werden, daß Unebenheiten im Ein- und Aus trittsbereich der runden Filteröffnung 20 beseitigt und eine weitere Strukturverfeinerung durch Verengung der runden Filteröffnung 20 erzielt werden. Die Beschichtung erfolgte nach dem CVD-Verfahren (chemical vapor deposition), wobei zunächst ein Haftgrund aus TiC und darauf eine Keramik schutzschicht aus Al₂O₃ auf dem Filterelement 1 aufgebracht wird. Vor der Beschichtung wird das mit den runden Filteröffnungen 20 versehene Filterelement 1 z. B. mit Sand, Glas etc. gestrahlt, um die durch den Elektronenstrahl erzeugten Grate im Locheintritts- und Lochaustrittsbereich des Elektro nenstrahls zu beseitigen bzw. nach innen umzubiegen, so daß die Filteröffnung 20 begrenzende Materialwülste 40 gebildet werden. Das hat auf der Lochaustrittsseite eine weitere (erwünschte) Durchmesserverringerung der Filteröffnung 20 zur Folge.As shown in FIGS. 11 and 12 show, by a Beschich tung be achieved 10 that unevenness occurs area of the circular opening 20 filters eliminated on and off and a further structure refinement can be achieved by narrowing the filter round opening 20. The coating was carried out by the CVD process (chemical vapor deposition), with an adhesive base made of TiC and then a ceramic protective layer made of Al ₂ O _{3 being} applied to the filter element 1 . Before coating, the filter element 1 provided with the round filter openings 20 is z. B. blasted with sand, glass, etc. to eliminate the ridges generated by the electron beam in the hole entry and hole exit region of the electric nenstrahls or to bend inward so that the filter opening 20 defining material beads 40 are formed. This results in a further (desired) reduction in the diameter of the filter opening 20 on the hole exit side.

In den Fig. 13 bis 16 sind Querschliffe in den Maßstäben 1 : 100 und 1 : 500 abgebildet, die von fertigbeschichteten Fil terelementen 1 stammen.In Figs. 13 to 16 are cross sections in the scales 1: 100 and 1: 500 ready derived terelementen of finished coated Fil 1.

In Fig. 13 sind zwei runde Filteröffnungen 20 zu sehen, wo bei die mittlere mittig und die seitliche außermittig ge schnitten sind, da letztere in einer anderen Ebene durch gängig ist. Es ist bei der durchgängig dargestellten Filter öffnung 2 leicht zu erkennen, daß durch die Entgratung und durch die Beschichtung auf der filterwirksamen Rohgasseite des Filterelements 1 wesentlich verfeinerte Strukturen er zielt werden konnten.In Fig. 13, two round filter openings 20 can be seen, where the middle in the middle and the lateral eccentric are cut, since the latter is common in another plane. It is easy to see in the filter opening 2 shown throughout that by the deburring and coating on the filter-effective raw gas side of the filter element 1, significantly refined structures could be aimed at.

Aus den Fig. 14 bis 16 geht hervor, daß die aus der Haft grundschicht 30 und der Keramikschutzschicht 31 bestehende Beschichtung 10 nicht nur auf der Oberfläche des Fil terelements 1 sowie auf den Wülsten 40 im Eingangsbereich der runden Filteröffnungen 20 sondern auch auf der Innenwand (Fig. 14 und Fig. 15) wirksam geworden ist.From FIGS. 14 to 16 shows that the base layer of the adhesive 30 and the ceramic protective layer 31 existing coating 10 not only on the surface of Fil terelements 1 and to the beads 40 in the entrance area of the circular filter holes 20 but also on the inner wall ( Fig. 14 and Fig. 15) has become effective.

BezugszeichenlisteReference list

1 Filterelement
10 Beschichtung
2 Schlitzbereich
20 runde Filteröffnung
21 schlitzförmige Filteröffnung
3 Querstrebe
30 Haftgrundschicht
31 Keramikschutzschicht
4 Längsholm
40 Materialwulst
5 Querholm 1 filter element
10 coating
2 slot area
20 round filter opening
21 slit-shaped filter opening
3 cross strut
30 primer coat
31 Ceramic protective layer
4 longitudinal spar
40 bead of material
5 crossbar

Claims

1. Metallic filter element for separating particles from gases, which consists of a thin-walled material and has filter openings that are round or slit-shaped, characterized in that the filter element ( 1 ) consists of CrNiMoTi metal sheet between 15 and 1500 microns thick, wherein the round filter openings ( 20 ) on the inflow side have a maximum diameter of 100 µm or the slit-shaped filter openings ( 21 ) have dimensions in the length of at least 100 mm and the width on the inflow side of at most 150 µm that the filter element ( 1 ) has a TiC layer ( 30 ) as a primer and / or a ceramic protective layer ( 31 ) made of Al₂O₃ and that the filter openings ( 20, 21 ) occupy 5 to 15% of the filter element surface.

2. Filter element according to claim 1, characterized in that the slot-shaped filter openings ( 21 ) are wedge-shaped and the round filter openings ( 20 ) are frustoconical.

3. Filter element according to one of claims 1 to 2, characterized in that the coating thickness of the protective layer ( 30 , 31 ) is up to 10 microns.

4. Filter element according to one of claims 1 to 3, characterized in that the filter openings ( 20 , 21 ) on the upstream side are limited by material beads ( 40 ).

5. A method for producing a metallic filter element for separating particles from gases, which consists of a thin-walled material and has filter openings that are round or slit-shaped, according to one or more of claims 1 to 4, characterized in that the filter element ( 1 ) is cut as a blank from the CrNiMoTi metal sheet, this is provided by means of a pulsed solid-state laser or an electron beam with round or slit-shaped filter openings ( 20 , 21 ), the perforated or slotted filter element ( 1 ) z. B. blasted with sand, glass, etc. and in the CVD process (chemical vapor deposition) under vacuum with a TiC layer ( 30 ) as a primer and / or a ceramic protective layer ( 31 ) made of Al ₂ O ₃ .