DE4111777A1

DE4111777A1 - Karman vortex flowmeter with diaphragms and piezoelectric elements - embodies fluid-tight sepn. of pressure transducers from passages which convey pressurised fluid into vortex regions

Info

Publication number: DE4111777A1
Application number: DE4111777A
Authority: DE
Inventors: Karl Maydt
Original assignee: Bopp and Reuther GmbH
Current assignee: Bopp and Reuther Messtechnik GmbH
Priority date: 1991-04-11
Filing date: 1991-04-11
Publication date: 1992-10-15
Anticipated expiration: 2011-04-12
Also published as: DE4111777C2

Abstract

Two stepped circular recesses (24,25) in the same end of a cylinder (23) enclose piezoelectric elements (32-35) in sections (28,29) of smaller dia., and disc diaphragms (36,37) in the wider outer sections (30,31) in direct contact with the outer piezoelectric elements (33,35). The diaphragms (36,37) separate these elements from passages opening into the base of the blind hole in which the cylinder (23) is set. At the opposite end (41) an insulator (42) encloses contact pins for cables (49) and a central earthing connection (47). ADVANTAGE - Simply constructed and installed device; intensive to pressure fluctuations and vibrations; can be used in any medium.

Description

Die Erfindung betrifft einen Strömungsmesser gemäß dem Oberbegriff des Anspruches 1.The invention relates to a flow meter according to the preamble of claim 1.

An einem sogenannten Wirbelkörper in einer Strömung lösen sich Wirbel ab, die eine Karman′sche Wirbelstraße bilden. Diese Wirbel erzeugen Druckschwankungen, die mittels geeigneter Meßeinrichtungen gemessen werden können. Da der Abstand der abschwimmenden Wirbel in weitem Bereich unabhängig von der Strömungsgeschwindigkeit des Fluids ist, kann aus der Frequenz der gemessenen Druckschwankungen die Strömungsgeschwindigkeit und die Durchflußmenge des Fluids bestimmt werden.On a so-called vertebral body in a flow loosen Vortexes that form a Karman vortex street. These eddies generate pressure fluctuations by means of suitable measuring devices can be measured. Since the distance of the floating vortex in wide range regardless of the flow velocity of the fluid is from the frequency of the measured pressure fluctuations Flow rate and the flow rate of the fluid are determined will.

Die Erfassung der Druckschwankungen, die von den Wirbeln der Karman′schen Wirbelstraße erzeugt werden, wird durch Störungen, wie sie z. B. bei Rohrleitungsschwingungen oder Druckpulsationen durch Pumpen entstehen können, beeinträchtigt. Diese Störungen liegen oft im Wirbelfrequenzbereich und können daher nicht ausgefiltert werden. Sie können auch dazu führen, daß eine Durchflußmenge angezeigt wird, ohne das tatsächlich eine fließende Strömung vorhanden ist. Es ist deshalb wichtig, daß nur die von den Wirbeln herrührenden Signale erfaßt werden, nicht aber Störsignale.The detection of pressure fluctuations caused by the vortex of the Karman's vortex street is generated by disturbances, such as they z. B. in pipeline vibrations or pressure pulsations caused by pumps can arise, impaired. These disorders are often in the Vortex frequency range and therefore cannot be filtered out. they can also cause a flow to be displayed without that there is actually a flowing current. That is why it is important that only the signals originating from the vertebrae are detected but not interference signals.

Eine einwandfreie Erfassung der Wirbelsignale ist jedoch besonders dann schwierig, wenn über einen großen Meßbereich bei niedrigen Strömungsgeschwindigkeiten gemessen werden soll. Der Einfluß dieser Störungen sollte möglichst schon im Signalaufnehmer kompensiert werden.However, correct detection of the vortex signals is special then difficult if over a large measuring range at low Flow velocities should be measured. The influence of this If possible, interference should be compensated for in the signal pickup.

Ein Strömungsmesser der eingangs genannten Art ist aus der DE-OS 39 06 868 bekannt geworden. Stromabwärts des Wirbelgenerators sind beidseitig zu einer Symmetrieebene der hinter dem Wirbelkörper (im folgenden auch Störkörper genannt) auftretenden Wirbel zwei Bohrungen vorgesehen, die den Druck zu je zwei Druckkammern übertragen, die von je einer Membran voneinander getrennt sind, so daß sich entsprechend der Druckübertragung eine Ausbiegung jeder Membran ergibt. Wenn keine Störungen vorhanden sind, wirken die Drücke alternierend auf die beiden Membranen und es ergeben sich normale Signale, deren Frequenz der Strömungsgeschwindigkeit proportional ist. Falls im Fluid eine Stördruckschwingung auftritt, dann wirken die Drücke auf jede Membran in gleicher Richtung gleichzeitig und in gleicher Größe, so daß hierdurch keine Ausgangssignale erzeugt werden. Dadurch, daß die Druckleitungen jeweils mit zwei Druckkammern in Verbindung stehen, ist der konstruktive Aufwand relativ hoch. Außerdem ist der Einsatz in aggressiven oder leitfähigen Medien nicht möglich, weil die Anschlußdrähte an den Membranen offen in dem zu messenden Fluid liegen.A flow meter of the type mentioned is from DE-OS 39 06 868 known. Are downstream of the vortex generator on both sides to a plane of symmetry behind the vertebral body (in following vertebrae also called) occurring vortex two holes provided that transmit the pressure to two pressure chambers, each of a membrane are separated from each other so that the Pressure transmission results in a deflection of each membrane. If no If there are faults, the pressures act alternately on the two Membranes and there are normal signals, the frequency of which Flow rate is proportional. If one in the fluid Interference pressure oscillation occurs, then the pressures act on each membrane same direction at the same time and in the same size, so that this no output signals are generated. Because the pressure lines are connected to two pressure chambers, is the constructive one Effort relatively high. It is also used in aggressive or conductive media not possible because the connecting wires to the Membranes are exposed in the fluid to be measured.

Aufgabe der Erfindung ist es, einen Strömungsmesser der eingangs genannten Art zu schaffen, der einfach aufgebaut und demgemäß einfach zu montieren, unempfindlich gegen Druckschwankungen und Vibrationen und in allen Medien einsetzbar ist.The object of the invention is to provide a flow meter at the beginning to create the type mentioned, which is simple in structure and accordingly easy to mount, insensitive to pressure fluctuations and vibrations and in can be used in all media.

Diese Aufgabe wird gelöst durch die kennzeichnenden Merkmale des Anspruches 1.This problem is solved by the characteristic features of the Claim 1.

Erfindungsgemäß also sind eigentliche Druckkammern nicht mehr vorhanden; vielmehr ist eine Seite der beiden Membranen dem Fluiddruck ausgesetzt, wogegen die andere Seite gegenüber dem Fluid und dem Fluiddruck abgeschlossen ist, in jedem Fall mit dem Fluid in der das zu messende Fluid führenden Leitung über einen Druckdurchtrittsweg nicht verbunden ist. Die Membran dient dabei nicht als Druckaufnehmer, sondern als Druckübertragungselement, und ist in zweckmäßiger Weise bündig und dicht mit dem dem Meßkörper bildenden Gehäuse verbunden, vorzugsweise verschweißt. Hieraus ergeben sich vereinfachte Abdichtungsprobleme und darüber hinaus können die Signal-Druckleitungen auch in den Wirbelkörper direkt integriert werden.According to the invention, the actual pressure chambers are no longer available; rather, one side of the two membranes is the fluid pressure exposed, whereas the other side to the fluid and the Fluid pressure is complete, in any case with the fluid in the that too not measuring fluid-carrying line via a pressure passage connected is. The membrane does not serve as a pressure sensor, but instead as a pressure transmission element, and is expediently flush and tightly connected to the housing forming the measuring body, preferably welded. This results in simplified sealing problems and In addition, the signal pressure lines can also enter the vertebral body can be integrated directly.

Erfindungsgemäß können gemäß Anspruch 2 zwei voneinander getrennte Membranen vorgesehen werden, hinter denen die Druckaufnehmer sitzen; gemäß einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung nach Anspruch 3 können die beiden Druckaufnehmer jeweils hinter einen einzigen Membran sitzen, so daß eine weitere konstruktive Vereinfachung der Erfindung möglich ist.According to the invention two can be separated from each other Membranes are provided, behind which the pressure transducers sit; according to a further embodiment of the invention according to claim 3 the two pressure sensors sit behind a single membrane, so that a further design simplification of the invention is possible is.

Gemäß den Merkmalen des Anspruches 4 besitzt jede Membrane einen Zentralbereich und einen diesen umgebenden Bereich geringen Querschnittes bzw. geringer Dicke, welcher Bereich elastisch verformbar ist, so daß der Druckaufnehmer mit Druck über den sich bewegenden Zentralbereich beaufschlagt werden kann.According to the features of claim 4, each membrane has one Central area and a small area surrounding it Cross section or small thickness, which area is elastically deformable is so that the pressure transducer with pressure over the moving Central area can be applied.

In bevorzugter Weise wird die Membran durch ein Element gebildet, das eine etwa scheiben- oder topfförmige Gestalt aufweist, wobei eine umlaufende Rille vorgesehen ist, die entweder einen Druckaufnehmer oder zwei nebeneinander liegende Druckaufnehmer umgibt, wie aus den Ansprüchen 5 und 6 ersichtlich. Dadurch wird der Bereich relativ geringer Wandstärke gebildet, so daß die Membrane oder die Membranen den Druck auf die Druckaufnehmer übertragen kann bzw. können.The membrane is preferably formed by an element which has an approximately disk-shaped or pot-shaped shape, one circumferential groove is provided, which is either a pressure sensor or surrounds two adjacent pressure transducers, as from the Claims 5 and 6 can be seen. This makes the area relative small wall thickness formed so that the membrane or the membranes Pressure can be transferred to the pressure transducer.

Eine besonders vorteilhafte Ausgestaltung der Erfindung ist dem Anspruch 10 sowie jeweils des Ansprüchen 15 bis 20 zu entnehmen. Die hierdurch gebildete Meßeinheit ist eine einheitliche Einheit, die gesondert hergestellt und gelagert werden kann. A particularly advantageous embodiment of the invention is Claim 10 and each of claims 15 to 20. The measuring unit formed thereby is a unitary unit that can be manufactured and stored separately.

Eine weitere vorteilhafte Ausgestaltung der Erfindung kann dahin gehen, daß zusätzlich zu den beiden Druckaufnehmer zwei weitere Druckaufnehmer vorgesehen sind, die sich innerhalb eines abgeschlossenen Raumes befinden und mittels sogenannter seismischer Massen belastet sind. Bei bestimmten Störungen detektieren auch diese Druckaufnehmer eine Belastung, so daß diese speziellen Störungen als solche erkannt werden können.A further advantageous embodiment of the invention can go there go that in addition to the two pressure transducers two more Pressure transducers are provided that are within a closed Located and loaded by so-called seismic masses are. In the event of certain faults, these pressure sensors also detect a burden so that these special disorders are recognized as such can be.

In besonders vorteilhafter Ausgestaltung sind die Druckaufnehmer als Piezoelemente ausgebildet. Dabei übt die Mittelzone der Membran eine axiale Vorspannung auf die Piezoelemente aus, so daß die Druckschwankungen aufgrund der Karman′schen Wirbelstraße und Störsignale direkt und unmittelbar auf die Piezoelemente übertragen werden können.In a particularly advantageous embodiment, the pressure transducers designed as piezo elements. The middle zone of the membrane exercises one axial bias on the piezo elements, so that the Pressure fluctuations due to the Karman vortex street and interference signals can be transferred directly and directly to the piezo elements.

Aufgrund der einfachen konstruktiven Ausgestaltung können die Druckdurchtrittswege erfindungsgemäß innerhalb des Wirbelkörpers in die Fluidleitung einmünden. Dabei sind die Enden der Druckdurchtrittswege in der Fluidleitung beidseitig zu der durch die Achse des Wirbelkörpers und die Mittelachse der Fluidleitung verlaufenden Ebene an dem Wirbelkörper angeordnet.Due to the simple design, the Pressure passages according to the invention within the vertebral body in the Open the fluid line. The ends of the pressure passage paths are in the fluid line on both sides to that through the axis of the vertebral body and the central axis of the fluid line on the vertebral body arranged.

Weitere vorteilhafte Ausgestaltungen und Verbesserungen der Erfindung sind den weiteren Unteransprüchen zu entnehmen.Further advantageous refinements and improvements to Invention can be found in the further subclaims.

Anhand der Zeichnung, in der einige Ausführungsbeispiele der Erfindung dargestellt sind, sollen die Erfindung sowie weitere vorteilhafte Ausgestaltungen und Verbesserungen der Erfindung und weitere Vorteile näher erläutert und beschrieben werden.Using the drawing, in which some embodiments of the Invention are shown, the invention and others advantageous refinements and improvements of the invention and further advantages are explained and described in more detail.

Es zeigen:Show it:

Fig. 1 eine Querschnittsansicht durch einen Strömungsmesser, Fig. 1 is a cross-sectional view through a flow meter,

Fig. 2 eine Längsschnittansicht der Anordnung nach Fig. 1, Fig. 2 is a longitudinal sectional view of the arrangement of FIG. 1,

Fig. 3 eine erste Ausführungsform eines er findungsgemäßen Wirbelstrommessers, Fig. 3 shows a first embodiment of he inventive vortex flow meter,

Fig. 4 eine Schnittansicht durch eine Meß anordnung ähnlich der Schnittansicht V-V, Fig. 4 is a sectional view through a measuring arrangement similar to the sectional view of VV,

Fig. 5 eine Schnittansicht durch einen Aufnahmekörper für die Druckgeber gemäß Schnittlinie V-V, Fig. 5 is a sectional view through a receiving body for the pressure generator in accordance with section line VV,

Fig. 6 eine Aufsicht auf Meßanordnung ge mäß Fig. 4, Fig. 6 is a plan ge on measuring arrangement Mäss Fig. 4,

Fig. 7 eine Schnittansicht durch eine Membran, Fig. 7 is a sectional view through a membrane,

Fig. 8 eine Teilschnittansicht durch eine weitere Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Meßanordnung, Fig. 8 is a partial sectional view through a further embodiment of a measuring arrangement according to the invention,

Fig. 9 eine Teilschnittansicht, aus der die Ver bindung einer Membran mit dem Meßkörper ersichtlich ist,A partial sectional view from which the Ver bond Fig. 9 is seen a membrane with the measuring body,

Fig. 10-12 drei weitere Ausführungsformen der Erfin dung, Fig. 10-12 three further embodiments of the OF INVENTION dung,

Fig. 13 eine fünfte Ausführungsform der Erfindung, bei der für zwei Druckgeber eine Membran vorgesehen ist, Fig. 13 a fifth embodiment of the invention, a membrane is provided in the two thruster,

Fig. 14 eine Aufsicht auf den Meßkörper, bei ab genommener Membran, Fig. 14 is a plan view of the measuring body at Taken from the membrane,

Fig. 15-16 zwei weitere Ausführungsformen der Er findung, Fig. 15-16 two further embodiments of the invention, he,

Fig. 17 eine Darstellung einer in einer Rohr leitung eingebauten Meßanordnung, Fig. 17 is an illustration of a built in a pipeline measuring arrangement,

Fig. 18 eine schematische Darstellung einer weiteren Ausführungsform der Er findung, bei der zwei weitere Piezoelemente vorgesehen sind, Fig. 18 is a schematic representation of a further embodiment of the invention it, wherein there are provided two further piezoelectric elements,

Fig. 19 eine Realisierung der Anordnung nach Fig. 18, Fig. 19 is a realization of the arrangement of FIG. 18,

Fig. 20 eine weitere Ausführungsform der Erfindung, Fig. 20 shows a further embodiment of the invention,

Fig. 21 eine Schnittansicht durch eine Meßkörpereinheit nach der Erfindung, Fig. 21 is a sectional view through a Meßkörpereinheit according to the invention,

Fig. 22 eine Teilschnittansicht eines Gegenlagerkörpers mit angebrachten Druckaufnehmern, Fig. 22 is a partial sectional view of a thrust bearing body with attached pressure transducers,

Fig. 23 eine Aufsicht auf das Gegenlagerstück nach Fig. 22 und Fig. 23 is a plan view of the support portion of FIG. 22 and

Fig. 24 eine Schnittansicht des Membrankörpers. Fig. 24 is a sectional view of the membrane body.

Eine Fluidleitung, die in Fig. 1 im Schnitt dagestellt ist, enthält einen quer- bzw. senkrecht die Fluidleitung durchgreifenden Wirbelkörper 11, der im Ausführungsbeispiel eine trapezartige Querschnittsform aufweist, wobei die Fläche 12 mit größerer Breite stromaufwärts gerichtet ist. Hinter dem Wirbelkörper 11 treten abwechselnd Wirbel 13, 14, 15 auf, die miteinander eine Karman′sche Wirbelstraße bilden und deren Abstand unabhängig von der Strömungsgeschwindigkeit ist. Aufgrund der Wirbelbildung ergeben sich jeweils Druckabsenkungen im Bereich des Wirbelkörpers; diese Druckabsenkungen können gemessen werden und die Frequenz der Druckschwingungen ist direkt abhängig von der Strömungsgeschwindigkeit des Fluids innerhalb der Leitung 10.A fluid line, which is shown in section in FIG. 1, contains a vertebral body 11 which extends through the fluid line transversely or perpendicularly and which in the exemplary embodiment has a trapezoidal cross-sectional shape, the surface 12 being directed upstream with a greater width. Behind the vertebral body 11 occur alternately vortices 13 , 14 , 15 , which together form a Karman vortex street and whose distance is independent of the flow rate. Due to the formation of vertebrae, there are pressure drops in the area of the vertebral body; these pressure drops can be measured and the frequency of the pressure oscillations is directly dependent on the flow velocity of the fluid within the line 10 .

Wie oben erwähnt, durchgreift der Wirbelkörper 11 den gesamten Innenquerschnitt der Leitung 10 und im Bereich des einen Endes besitzt der Wirbelkörper 11 zwei Druckdurchtrittswege 16 und 17, die jeweils im Bereich der Seitenflächen des Wirbelkörpers 11 in das Fluid einmünden. Sie bilden innerhalb des Wirbelkörpers 11 eine L-Form; der eine Schenkel des Druckdurchtrittsweges setzt sich je in einen Druckdurchtrittsweg 18 und 19 in der Leitung fort und die beiden Druckdurchtrittswege 18 und 19 münden in den Boden einer Sacklochbohrung 20, in dem sich eine Meßanordnung befindet, wie sie in den Fig. 3 bis 20 dargestellt ist.As mentioned above, the vertebral body 11 extends through the entire inner cross section of the line 10 and in the region of one end the vertebral body 11 has two pressure passages 16 and 17 , each of which opens into the fluid in the region of the side surfaces of the vertebral body 11 . They form an L-shape within the vertebral body 11 ; one leg of the pressure passage path continues into a pressure passage path 18 and 19 in the line and the two pressure passage paths 18 and 19 open into the bottom of a blind hole 20 in which there is a measuring arrangement as shown in FIGS . 3 to 20 is.

Die Meßanordnung 21 besitzt einen Meßkörper 22 Fig. 3, der eine Zylinderform 23 aufweist, an deren inneren Ende zwei nebeneinander liegend Vertiefungen 24 und 25 eingebracht sind. Zwischen den beiden Vertiefungen 24 und 25 befindet sich eine Nase 26, die im Bereich der Mittellinie M des Meßzylinders 22 auf der Diagonalen den Boden der Zylinderform 23 überdeckt und in eine Nut 27 eingreift, so daß hierdurch eine Abdichtung zwischen den in der Zeichnung Fig. 1 links und rechts der Leiste oder Nase 26 angeordneten Bereiche gebildet wird. Die Vertiefungen 24 und 25 besitzen eine Kreisform und sind gestuft mit einem Abschnitt 28 und 29 mit geringerem und einem Abschnitt 30, 31 mit größerem Durchmesser. In die Abschnitte 28 und 29 sind jeweils zwei Piezoelemente 32 und 33 bzw. 34 und 35 entgegengesetzt polarisiert eingebaut, wobei zwischen den Piezoelementen 32 und 34 bzw. 34 und 35 jeweils eine Kontaktfolie 58a und 58b als Elektrode eingesetzt ist. The measuring arrangement 21 has a measuring body 22 FIG. 3, which has a cylindrical shape 23 , at the inner end of which two recesses 24 and 25 lying side by side are introduced. Between the two recesses 24 and 25 there is a nose 26 which covers the bottom of the cylinder shape 23 in the region of the center line M of the measuring cylinder 22 on the diagonal and engages in a groove 27 , so that thereby a seal between the in the drawing Fig. 1 left and right of the bar or nose 26 arranged areas is formed. The depressions 24 and 25 have a circular shape and are stepped with a section 28 and 29 with a smaller and a section 30 , 31 with a larger diameter. In each of the sections 28 and 29 , two piezo elements 32 and 33 or 34 and 35 are installed with opposite polarity, a contact foil 58 a and 58 b being used as the electrode between the piezo elements 32 and 34 or 34 and 35, respectively.

Abgeschlossen ist der Bereich 30 und 31 mit größerem Durchmesser mittels einer Membranscheibe 36 bzw. 37, wobei die Membranscheiben 36 und 37 mit den Piezoelementen 32/33, 34/35 derart vorgespannt sind, daß das Piezoelement d33 bzw. 35 direkt vollflächig auf der Membranscheibe 36 bzw. 37 aufliegt, die Piezoelemente mechanisch festgehalten und eine unerwünschte Spaltfederung ausgeschlossen ist.The area 30 and 31 with a larger diameter is closed off by means of a membrane disk 36 or 37 , the membrane disks 36 and 37 being biased with the piezo elements 32/33 , 34/35 in such a way that the piezo element d 33 and 35 directly over the entire surface Diaphragm disk 36 or 37 rests, the piezo elements are mechanically held in place and undesired gap suspension is excluded.

Die Membranscheibe ist in der Fig. 7 im Schnitt dargestellt. Sie besitzt einen kreisförmigen Außendurchmesser und im Bereich des Umfangrandes auf einer der beiden Scheibenflächen eine umlaufende Rille 38, so daß ein umlaufender Ringbereich 39 mit gegenüber der übrigen Membranscheibe 36 geringer Dicke gebildet wird. Dieser Bereich geringer Dicke gestattet es dem innerhalb der umlaufenden Rille befindlichen Membranabschnitt 40, sich in Pfeilrichtung P zu verformen und hin- und herzuschwingen, wodurch wechselnde Drücke auf die Piezoelemente 32, 33 übertragen werden. Die Membran 37 ist in gleicher Weise ausgebildet und hierdurch wird es ermöglicht, daß die Piezoelemente 34 und 35 mit wechselnden Drücken beaufschlagt werden können.The membrane disk is shown in section in FIG. 7. It has a circular outer diameter and a circumferential groove 38 in the region of the peripheral edge on one of the two disc surfaces, so that a circumferential ring region 39 with a small thickness compared to the remaining membrane disc 36 is formed. This region of small thickness allows the membrane section 40 located within the circumferential groove to deform and swing back and forth in the direction of the arrow P, as a result of which changing pressures are transmitted to the piezo elements 32, 33 . The membrane 37 is designed in the same way and this makes it possible for the piezo elements 34 and 35 to be subjected to changing pressures.

Der Zylinderkörper 23 besitzt, wie aus Fig. 3 ersichtlich ist, an seinem dem mit Vertiefungen 24 und 25 versehenen Ende entgegengesetzten Ende eine sacklochartige Ausnehmung 41, in die ein Isolierkörper 42 mit Lötstützpunkten eingesetzt ist. In diesen Isolierkörper 42 sind Kontaktstifte 53 eingesetzt, an denen einerseits Kabel 49 angeschlossen werden, mit denen das elektrische Signal einem nicht dargestellten Verstärker zugeführt und andererseits der Anschluß zur Elektrode der Piezoscheiben hergestellt wird, siehe auch weiter unten. Dieser Isolierkörper 42 besitzt eine Zentralbohrung 43, durch die ein Schraubenbolzen 44 hindurchgreift, der in eine Gewindesacklochbohrung 45 im Zylinder 23 eingeschraubt ist und unter dem Kopf 46 des Schraubenbolzens 44 ist eine Anschlußscheibe 47 gelegt, die eine Anschlußöse 48 aufweist, an der das Kabel 49 (Masse) angeschlossen werden kann. Seitlich neben der zentralen Bohrung 43 besitzt der Isolierkörper 42 weitere Durchgangsöffnungen 50 (in Fig. 4 ist lediglich eine zu sehen), dessen dem Boden der Ausnehmung 41 zugewandtes Ende einen geringeren Durchmesser aufweist als der übrige Bereich der Durchtrittsöffnung 50. In dieses Ende ist ein Abschnitt 52 des Kontaktstiftes 53 eingefügt; an den Abschnitt 52 schließt ein Randflansch 54 an, welcher direkt gegen das innere Ende des Körpers 42 anliegt. An diesen Randflansch schließt sich ein längerer stiftartiger Abschnitt 55 an, der durch einen in eine Bohrung 56 eingesetzten Isolierkörper 57 bis hin zu der Kontaktfolie 58 (bzw. 58a und b) hindurchgreift und mit dieser in elektrisch leitender Verbindung steht; die Kontaktfolie 58 steht mit den Piezoelementen 32 bzw. 33 derart in Verbindung, daß bei Druck auf die Piezoelemente die abgegebene elektrische Ladung über die Kontaktfolie 58 summiert und über den Kontaktstift 53 über ein elektrisches Kabel 59 abgenommen werden kann. Die andere Seite der Piezoelemente liegt elektrisch an Masse des Gehäuses und ist über den Schraubenbolzen 44 mit dem Kabel 49 verbunden, so daß zwischen beiden ein Signalverstärker angeschlossen werden kann. Durch Einschrauben des Schraubenbolzens 44 in die Gewindebohrung 55 wird über den Flanschrand 54 der Kontaktdruck zwischen dem Kontaktbolzen 53 und der Elektrode 58 erzeugt, wobei die Elektrode 58 auf einem Unterlegstück 60 aus isolierendem Material aufliegt.The cylinder body 23 , as can be seen from FIG. 3, has a blind hole-like recess 41 at its end opposite the end provided with recesses 24 and 25 , into which an insulating body 42 with soldering support points is inserted. In this insulating body 42 contact pins 53 are inserted, on the one hand cables 49 are connected, with which the electrical signal is fed to an amplifier, not shown, and on the other hand the connection to the electrode of the piezo disks is made, see also below. This insulating body 42 has a central bore 43 , through which a screw bolt 44 extends, which is screwed into a threaded blind hole 45 in the cylinder 23 and under the head 46 of the screw bolt 44 , a connecting washer 47 is placed, which has a connecting eyelet 48 to which the cable 49th (Ground) can be connected. Laterally next to the central bore 43 , the insulating body 42 has further through openings 50 (only one can be seen in FIG. 4), the end of which facing the bottom of the recess 41 has a smaller diameter than the rest of the area of the through opening 50 . A section 52 of the contact pin 53 is inserted into this end; an edge flange 54 adjoins section 52 , which abuts directly against the inner end of body 42 . This edge flange is followed by a longer pin-like section 55 , which extends through an insulating body 57 inserted into a bore 56 up to the contact foil 58 (or 58 a and b) and is in an electrically conductive connection therewith; the contact foil 58 is connected to the piezo elements 32 and 33 in such a way that when the piezo elements are pressed, the electrical charge emitted via the contact foil 58 sums up and can be removed via the contact pin 53 via an electrical cable 59 . The other side of the piezo elements is electrically connected to the ground of the housing and is connected to the cable 49 via the screw bolt 44 , so that a signal amplifier can be connected between the two. By screwing the screw bolt 44 into the threaded bore 55 , the contact pressure between the contact bolt 53 and the electrode 58 is generated via the flange edge 54 , the electrode 58 resting on a washer 60 made of insulating material.

Die für die beiden Piezoelemente 32 und 33 vorgesehene Kontaktanordnung ist natürlich auch für die beiden Piezoelemente 34 und 35 vorgesehen, wie oben erwähnt, die sogenannte Masseleitung über den Schraubenbolzen 44 zum Kabel 49 ist die gleiche. Die Leitungen 59 und 49 werden einer geeigneten Auswerteschaltung zugeführt, mit der die von den Piezoelementen 32, 33; 34, 35 erzeugten elektrischen Signale ausgewertet werden können.The contact arrangement provided for the two piezo elements 32 and 33 is of course also provided for the two piezo elements 34 and 35 , as mentioned above, the so-called ground line via the screw bolt 44 to the cable 49 is the same. The lines 59 and 49 are fed to a suitable evaluation circuit with which the piezo elements 32 , 33 ; 34 , 35 generated electrical signals can be evaluated.

Das äußere Ende des Meßkörpers 22 ist mit einem Flansch 61 versehen, der unter Zwischenfügung einer Dichtung 62 an einem an der Leitung 10 befindlichen Stutzen 63 befestigt werden kann.The outer end of the measuring body 22 is provided with a flange 61 which, with the interposition of a seal 62 , can be fastened to a connecting piece 63 located on the line 10 .

Die Fig. 5 zeigt den Meßkörper 2 ohne Einbauten und zwar gemäß einer Schnittlinie V-V der Fig. 6. Man erkennt im Flansch 61 Flanschbohrungen 64, vier an der Zahl, mit denen der Zylinderkörper in der Sacklochbohrung 20 befestigt ist. Man erkennt ferner die Ausnehmung 41 mit der Gewindebohrung 45 und den beiden Durchbrüchen 56 zur Aufnahme des Isolierkörpers 57. Strichliert dargestellt sind die Versteifungen 24 und 25 zur Aufnahme der Piezoelemente und der Membranen. FIG. 5 shows the measuring body 2 without internals, specifically according to a section line VV of FIG. 6. In the flange 61, flange bores 64 can be recognized, four by the number with which the cylinder body is fastened in the blind bore 20 . The recess 41 with the threaded bore 45 and the two openings 56 for receiving the insulating body 57 can also be seen . Stiffeners 24 and 25 are shown in dashed lines to accommodate the piezo elements and the membranes.

Die Vertiefungen 24 und 25 sind, wie oben erwähnt, abgeschlossen und stehen mit dem Fluid in der Leitung 10 nicht in Verbindung. In Verbindung mit dem Fluid in der Leitung 10 stehen Bereich 64 und 65 (Fig. 1) beidseitig zu der Leiste bzw. der Nut 26/27, so daß über die Druckdurchtrittswege 17/19 dem Bereich 64 und über die Druckdurchtrittswege 16/19 dem Bereich 65 und damit der Membrane 36 bzw. 37 Druck abwechselnd zugeführt wird. Diese wechselnden Druckänderungen können von einer nicht dargestellten Auswerteschaltung ausgewertet werden, wodurch auch die Strömungsgeschwindigkeit geschlossen werden kann.As mentioned above, the depressions 24 and 25 are closed and are not in contact with the fluid in the line 10 . In connection with the fluid in the line 10 there are areas 64 and 65 ( FIG. 1) on both sides of the bar or the groove 26/27 , so that the area 64 via the pressure passage paths 17/19 and the pressure passage paths 16/19 Area 65 and thus the membrane 36 or 37 pressure is alternately supplied. These changing pressure changes can be evaluated by an evaluation circuit, not shown, whereby the flow velocity can also be closed.

Sollte eine Druckstörung auftreten, die zu einer Druckerhöhung innerhalb der Leitung 10 führt, dann wird diese Druckerhöhung beiden Membranen 36 und 37 gleichzeitig zugeführt, so daß dies in der Auswerteschaltung (Differenzbildung) erkannt und elimiert werden kann. Das gleiche gilt auch für Schwingungen der Rohrleitung selbst.If a pressure disturbance occurs which leads to an increase in pressure within line 10 , this increase in pressure is supplied to both membranes 36 and 37 simultaneously, so that this can be recognized and eliminated in the evaluation circuit (difference formation). The same applies to vibrations in the pipeline itself.

Der Körper 42 besitzt eine gegenüber der Vertiefung oder Ausnehmung 41 geringere Länge, so daß ein Raumabschnitt 70 verbleibt, der mit einer Abdichtungsmasse, insbesondere mit einem Gießharz, ausgegossen werden kann.The body 42 has a shorter length than the depression or recess 41 , so that a space section 70 remains which can be poured out with a sealing compound, in particular with a casting resin.

Die Fig. 8 zeigt eine Modifizierung der Ausführungsform gemäß den Fig. 3 und 4. Der Meßkörper 100 besitzt einen Zylinderkörper 101, an dessen einer Seite die Piezoelemente 32, 33/34, 35 mit den Membranen 36, 37 angeordnet sind. In diesem Bereich besitzt der Zylinderkörper eine etwa flanschartige radiale Erweiterung 102. Fig. 8 shows a modification of the embodiment according to FIGS. 3 and 4. The measuring body 100 comprises a cylinder body 101, on one side of the piezoelectric elements 32, 33/34, 35 are arranged with the membranes 36, 37. In this area, the cylinder body has an approximately flange-like radial extension 102 .

Am entgegengesetzten Ende besitzt der Zylinderkörper einen Rücksprung 103, in den ein rohrzylinderartiger Fortsatz 104 eines glockenförmigen Haltekörpers 105 eingefügt ist, so daß der Fortsatz 104 den Zylinderkörper 101 teilweise umfaßt. Über einen Abstands- und Isolierkörper 106 ist eine Platte 107, deren Außendurchmesser dem Innendurchmesser des Fortsatzes 104 entspricht, mittels eines dem Schraubenbolzen 44 entsprechenden Schraubenbolzens 108 befestigt.At the opposite end, the cylinder body has a recess 103 , into which a tubular cylinder-like extension 104 of a bell-shaped holding body 105 is inserted, so that the extension 104 partially surrounds the cylinder body 101 . A plate 107 , the outer diameter of which corresponds to the inner diameter of the extension 104 , is fastened by means of a spacer and insulating body 106 by means of a screw bolt 108 corresponding to the screw bolt 44 .

Der Raum oberhalb der Platte 107 und innerhalb des Haltekörpers 105 ist mit Gießharz 109 ausgegossen.The space above the plate 107 and within the holding body 105 is filled with resin 109 .

Die Fig. 9 zeigt eine Teilschnittansicht im Bereich X der Fig. 8. Man erkennt, daß die Membran 37 im Bereich 39 mit innerer Wandstärke in Richtung der Piezoelemente 34 und 35 verformt ist, so daß die Außenfläche des mittleren Bereichs 40 gegenüber dem außerhalb der umlaufenden Rille 38 befindlichen Steg 40a um den Betrag t nach außen versetzt ist. Mittels einer Schweißnaht 110 ist die Membran 37 ebenso wie die Membran 36 mit dem Zylinderkörper dicht verbunden. Diese Versetzung zwischen dem Bereich innerhalb der Rille 38 und dem Bereich außerhalb der Rille 38 ergibt eine optimale Federwirkung und Anpreßwirkung (Vorspannung) der Membrane bzw. des mittleren Abschnittes 40 auf die Piezoelemente 34 und 35 bzw. 32 und 33. Fig. 9 shows a partial sectional view in area X of Fig. 8. It can be seen that the membrane 37 is deformed in the area 39 with an inner wall thickness in the direction of the piezo elements 34 and 35 , so that the outer surface of the central area 40 compared to the outside of the circumferential groove 38 located web 40 a is offset by the amount t to the outside. The membrane 37 , like the membrane 36 , is tightly connected to the cylinder body by means of a weld seam 110 . This offset between the area inside the groove 38 and the area outside the groove 38 results in an optimal spring action and pressing action (prestressing) of the membrane or of the central section 40 on the piezo elements 34 and 35 or 32 and 33 .

Die Fig. 10 zeigt eine weitere Modifikation der Ausführungsform nach Fig. 3. Der Zylinderkörper 111 entspricht im wesentlichen dem Zylinderkörper 23, die den Vertiefungen 24 und 25 entsprechenden Vertiefungen 112 und 113 sind tiefer ausgebildet, weil die Membranen 114 und 115 eine gegenüber den Membranen 36 und 37 modifizierte, axial verlängerte Form aufweisen. Jede Membran 114 bzw. 115 besitzt einen rohrförmigen Abschnitt 116, an dessen einem Ende ein radial nach innen verlaufender Bereich 117 mit axial dünner Wandstärke anschließt; dieser ringförmige Abschnitt 117 umgibt einen Zentralabschnitt 118, wobei der ringförmige Abschnitt 117 dem Bereich 39 und der Zentralabschnitt 118 dem Bereich 40 der Membran nach Fig. 7 entspricht. Diese Ausführung hat den Vorteil einer besseren Führung der Membran innerhalb der Vertiefungen 112 bzw. 113. Die Membran ist ein einfaches Drehteil und aufgrund der Konstruktion ist die Vorspannung gut einstellbar. Ebenso wie bei der Ausführung nach Fig. 7 bzw. 9 ist die Schweißung außerhalb des kritischen Bereiches angeordnet, d. h. außerhalb des dünnen Bereiches, wodurch die Gefahr eines Verziehens verringert ist. FIG. 10 shows a further modification of the embodiment according to FIG. 3. The cylinder body 111 essentially corresponds to the cylinder body 23 , the depressions 112 and 113 corresponding to the depressions 24 and 25 are formed deeper because the membranes 114 and 115 are opposite the membranes 36 and 37 have modified, axially elongated shape. Each membrane 114 or 115 has a tubular section 116 , at one end of which a radially inwardly extending region 117 with an axially thin wall thickness adjoins; this annular section 117 surrounds a central section 118 , the annular section 117 corresponding to the region 39 and the central section 118 corresponding to the region 40 of the membrane according to FIG. 7. This embodiment has the advantage of better guidance of the membrane within the recesses 112 and 113 . The membrane is a simple turned part and due to the construction, the preload is easily adjustable. As in the embodiment according to FIGS. 7 and 9, the weld is arranged outside the critical area, ie outside the thin area, which reduces the risk of warping.

Die Ausgestaltung nach Fig. 11 ist eine vereinfachte Modifizierung des Meßkörpers nach Fig. 8; der Meßkörper 120 ist ebenso wie der gemäß Fig. 8 aus einem Trägerkörper 121 für die Piezoelemente und die Membrane und einem Haltekörper 122 für den Trägerkörper 121 zusammengesetzt. . The embodiment according to Fig 11 is a simplified modification of the measuring body of FIG. 8; The measuring body 120 , like that according to FIG. 8, is composed of a carrier body 121 for the piezo elements and the membrane and a holding body 122 for the carrier body 121 .

Die Ausführungsform nach der Fig. 12 besitzt einen Meßkörper 125, der aus einem Haltekörper 126 und einem Trägerkörper 127 zusammengesetzt ist. In Vertiefungen 128 und 129 ist je ein Piezoelement 130 und 131 eingesetzt; die Membran 132 bzw. 133 entspricht der Fig. 10 bzw. der Fig. 11, wobei der rohrförmige Abschnitt 134 jeder Membran von dem Bereich 135 mit dünnem Querschnitt in die gleiche Richtung vorspringt, wie der Zentralbereich 136; die Länge des rohrförmigen Fortsatzes ist mehr als doppelt so lang wie die Dicke des Zentralbereiches 136, ähnlich wie bei den Ausführungsformen nach der Fig. 10 bzw. 11.The embodiment according to FIG. 12 has a measuring body 125 which is composed of a holding body 126 and a carrier body 127 . A piezo element 130 and 131 is inserted in depressions 128 and 129 ; the membrane 132 or 133 corresponds to FIG. 10 or FIG. 11, the tubular section 134 of each membrane projecting from the region 135 with a thin cross section in the same direction as the central region 136 ; The length of the tubular extension is more than twice as long as the thickness of the central region 136 , similar to the embodiment according to FIGS. 10 and 11.

Die Fig. 13 und 14 zeigen eine weitere Ausgestaltung der Erfindung. Der Körper 81, der insoweit dem Körper 23 entspricht, besitzt an seinem im montierten Zustand inneren Ende eine Ausnehmung 82, die so ausgebildet ist, daß ein umlaufender Rand 83, der in axialer Richtung vorspringt, stehen bleibt. Am Boden 84 der Vertiefung 82 sind zwei halbkreisförmige Vertiefungen 85 und 86 vorgesehen, in die halbkreisförmig ausgebildete Piezoelemente 87, 88 bzw. 89 und 90 eingesetzt sind. Die beiden halbkreisförmigen Vertiefungen sind durch eine Leiste 91 voneinander getrennt. In die Vertiefung 82 ist eine beiden Piezoelementen 87/88, 89/90 gemeinsame Membran 92 eingesetzt, die einen durch eine umlaufende Rille 93 gebildeten Mittelabschnitt 94 aufweist, der sich entsprechend dem über die Druckübertragungswege 16/19; 17/19 übertragenen Druck jeweils abwechselnd verschwenkt, und zwar um eine Achse V, die senkrecht zur Zeichenebene verläuft. Die beiden Membranen besitzen in gleicher Weise wie die Membran 36 der Fig. 7 einen umlaufenden Bereich 95 mit geringer Dicke, der eine hohe Elastizität aufweist. Auch hier sind die hinter der Membran liegenden Abschnitte von dem Druckfluid getrennt, so daß diesen Abschnitten kein Druckfluid zugeführt wird. Die Schaltungsanordnung, mit der die Signale der Piezoelemente 87, 88; 89, 90 ausgewertet werden, entspricht der Schaltungsanordnung, wie sie für die Piezoelemente 32/33 bzw. 34/35 Verwendung findet. Figs. 13 and 14 show a further embodiment of the invention. The body 81 , which in this respect corresponds to the body 23 , has at its inner end in the assembled state a recess 82 which is designed such that a peripheral edge 83 which projects in the axial direction remains. At the bottom 84 of the depression 82 , two semicircular depressions 85 and 86 are provided, into which piezo elements 87 , 88 and 89 and 90, respectively, are inserted. The two semicircular depressions are separated from one another by a strip 91 . In the recess 82 a two piezo elements 87/88 , 89/90 common membrane 92 is inserted, which has a central portion 94 formed by a circumferential groove 93 , which corresponds to the pressure transmission paths 16/19 ; 17/19 transferred pressure alternately pivoted, namely about an axis V that is perpendicular to the plane of the drawing. In the same way as the membrane 36 of FIG. 7, the two membranes have a circumferential region 95 with a small thickness, which has a high elasticity. Here too, the sections lying behind the membrane are separated from the pressurized fluid, so that no pressurized fluid is supplied to these sections. The circuit arrangement with which the signals of the piezo elements 87 , 88 ; 89 , 90 are evaluated, corresponds to the circuit arrangement used for the piezo elements 32/33 and 34/35 .

Die Ausführungsform der Fig. 15 ist gegenüber der Ausführungsform nach den Fig. 3 und 4 lediglich insoweit modifiziert, als ein Membranteil 140 vorgesehen ist, welche zwei umlaufende Rillen 141 und 142 aufweist, die jeweils Abschnitte 143 und 144 mit geringem Querschnitt bilden. An diese Abschnitte 143/144 mit geringem Querschnitt schließt sich, die Abschnitte 143 bzw. 144 mit geringem Querschnitt außen umfassend, ein rohrförmiger Fortsatz 145 an, der einen dem Zylinderkörper 23 entsprechenden Zylinderkörper 146 in einem Rücksprung 147 umfaßt. Die übrige Ausführungsform entspricht mehr oder weniger identisch der Ausgestaltung nach der Fig. 3, so daß hier nicht näher darauf eingegangen werden soll. Bei dieser Ausführung ist eine gute Passung zwischen dem Membrankörper 140 und dem Zylinderkörper 146 gegeben, wobei die Schweißung am Ende des Vorsprunges 145 vorgenommen wird, so daß sie sich nicht im kritischen Bereich befindet. Die Vorspannung ist aufgrund der konstruktiven Ausgestaltung gut einstellbar. Darüber hinaus wird durch die Ausgestaltung des Trägerkörpers 146 in Verbindung mit dem Vorsprung 145 ein starres Gegenlager für die Piezoelemente 148 bis 151 erzielt.The embodiment of FIG. 15 is modified from the embodiment of FIGS. 3 and 4 only to the extent that a membrane part 140 is provided which has two circumferential grooves 141 and 142 , which each form sections 143 and 144 with a small cross section. These sections 143/144 with a small cross-section are connected to the sections 143 and 144 with a small cross-section on the outside by a tubular extension 145 , which comprises a cylinder body 146 corresponding to the cylinder body 23 in a recess 147 . The rest of the embodiment corresponds more or less identically to the embodiment according to FIG. 3, so that it will not be discussed in more detail here. In this embodiment there is a good fit between the diaphragm body 140 and the cylinder body 146 , the welding being carried out at the end of the projection 145 so that it is not in the critical area. The preload is easily adjustable due to the design. In addition, a rigid counter bearing for the piezo elements 148 to 151 is achieved by the configuration of the carrier body 146 in connection with the projection 145 .

Eine der Ausführungsformen nach Fig. 15 entsprechende Ausführung zeigt die Fig. 16. Die Membran 160 mit den beiden Rillen 161 und 162 ist durch einen Steg 163 in zwei Ausnehmungen 164 und 165 unterteilt, in denen sich ein Gegenlager 166 und 167 in Form eines Zylinderkörpers befindet, wodurch sich ein starres Gegenlager für die Piezoelemente ergibt.An embodiment corresponding to the embodiment according to FIG. 15 is shown in FIG. 16. The membrane 160 with the two grooves 161 and 162 is divided by a web 163 into two recesses 164 and 165 , in which there is a counter bearing 166 and 167 in the form of a cylinder body is located, which results in a rigid counter bearing for the piezo elements.

Es sei nun bezug genommen auf die Fig. 18. Wie eingangs erwähnt, wird die Qualität eines Sensors neben den Forderungen nach großem Druck- Meßbereich und großer Signaldruck-Empfindlichkeit entscheidend von der Güte der Störkompensation bestimmt. Ein Sensor, wie er in den vorigen Figuren dargestellt ist, kompensiert Störungen in den Hauptachsen recht gut; es besteht jedoch das Problem, daß Beschleunigungskräfte, die alternierend wie das Nutzsignal wirken, kaum kompensiert werden können.Reference is now made to FIG. 18. As mentioned at the outset, the quality of a sensor is determined not only by the requirements for a large pressure measuring range and high signal pressure sensitivity, but also by the quality of the interference compensation. A sensor, as shown in the previous figures, compensates for disturbances in the main axes quite well; however, there is the problem that acceleration forces which act alternately like the useful signal can hardly be compensated for.

Wie Versuche unter Betriebsbedingungen zeigen, tritt aber in der Praxis eine aus vielen Komponenten zusammengesetzte Störbeanspruchung auf. Darin sind oft auch Anteile enthalten, die nicht vollständig kompensiert werden können. Das Nutzsignal nimmt mit dem Durchfluß quadratisch ab; das Störsignal bleibt praktisch konstant, so daß das Verhältnis von Störsignal zu Nutzsignal vom Durchfluß abhängig ist.As tests under operating conditions show, occurs in the Practice an interference load composed of many components on. Often this also includes portions that are not complete can be compensated. The useful signal increases with the flow square from; the interference signal remains practically constant, so that Ratio of interference signal to useful signal depends on the flow.

Die Folge ungenügender Kompensation ist, daß je nach Anlagebedingungen der Durchflußmeßbereich eingeschränkt werden muß.The consequence of insufficient compensation is that depending on System conditions the flow measuring range must be restricted.

Man kann am Sensor zwischen zwei Arten von Störeinflüssen unterscheiden, nämlich Druckpulsationen und Vibrationen der Rohrleitungen.You can choose between two types of interference on the sensor distinguish, namely pressure pulsations and vibrations of the Pipelines.

Ein nicht kompensierter Pulsationseinfluß bei unterschiedlicher Empfindlichkeit der beiden Membransysteme infolge Toleranzen führt nicht nur zur Überlagerung des Nutzsignals, sondern vor allem zur Impulsabgabe beim Nulldurchfluß. Man kann allerdings den Resteffekt von Unsymmetrien noch elektrisch ganz abgleichen; und demgemäß wirken die oben angegebenen Piezoelemente vorteilhaft. A non-compensated influence of pulsation with different Sensitivity of the two membrane systems due to tolerances does not result only for superimposing the useful signal, but above all for pulse delivery at zero flow. However, one can see the residual effect of asymmetries still adjust electrically completely; and accordingly the above act specified piezo elements advantageous.

Der Vibrationseinfluß der Rohrleitungen ist allerdings problematischer; er resultiert aus Beschleunigungskräften und wird bestimmt von der wirksamen Masse der Membranen, der Piezoscheiben und der Wirkrichtung der Beschleunigungskräfte. Außerdem wird die Dämpfung der Sensoreinspannung sowie die Symmetrie der Piezoelemente in das Meßergebnis eingehen.The influence of vibrations of the pipelines is however more problematic; it results from acceleration forces and will determined by the effective mass of the membranes, the piezo disks and the direction of action of the acceleration forces. In addition, the damping the sensor clamping and the symmetry of the piezo elements in the Receive the measurement result.

Eine Ausführungsform nach der Fig. 18 kann auch diese alternierenden Vibrationsstörungen eliminieren. Einige der Parameter, die den Vibrationseinfluß bestimmen, nämlich die wirksame Masse der Membran bzw. der Piezoelemente, kann natürlich durch geringere Toleranzen oder durch ein Auswahlverfahren und entsprechende Paarungen kompensiert werden.An embodiment according to FIG. 18 can also eliminate these alternating vibration disturbances. Some of the parameters that determine the influence of vibration, namely the effective mass of the membrane or the piezo elements, can of course be compensated for by lower tolerances or by a selection process and corresponding pairings.

Bei einer Ausführungsform wie in der Fig. 18 dargestellt, werden zusätzlich zu den Piezoelementen 190 bzw. 191, die von Membranen 192 bzw. 193 ähnlich den der Fig. 7 abgedeckt sind, Kompensationspiezoelemente 194 und 195 zugeordnet, die sich in einem Aufnahmeraum 196 und 197 befinden. Den Piezoelementen 194 und 195 ist jeweils eine sogenannte seismische Masse 198 und 199 zugeordnet, die unter dem Druck einer Feder 200 bzw. 201 gegen den Trägerkörper 202, der die Piezoelemente aufnimmt, angepreßt wird. Die Abnahme der Signale von den Piezoelementen erfolgt in oben beschriebener Weise.In an embodiment as shown in FIG. 18, in addition to the piezo elements 190 and 191 , which are covered by membranes 192 and 193 similar to those of FIG. 7, compensation piezo elements 194 and 195 are assigned, which are located in a receiving space 196 and 197 are located. The piezo elements 194 and 195 are each assigned a so-called seismic mass 198 and 199 , which is pressed under the pressure of a spring 200 or 201 against the carrier body 202 which receives the piezo elements. The signals from the piezo elements are picked up in the manner described above.

Eine komplette Ausführungsform ist in der Fig. 19 dargestellt. Man erkennt innerhalb eines Trägerkörpers 210 zwei Bohrungen 211 und 212. Am Boden der Bohrungen 211 und 212 sind jeweils zwei Kompensationspiezoelemente 213 und 214 angeordnet, die mittels der Membranen 215 bzw. 216 eingespannt sind, die in Masse und Elastizität der Membran 114 bzw. 115 oder der Membranen der Ausführungsform nach Fig. 11 entsprechen. An die Membranen 215 und 216 schließt sich ein Druckkörper 217 bzw. 218 an, gegen den je zwei Piezoelemente 219 bzw. 220 und 221 bzw. 222 mittels der Membranen 223 bzw. 224 entsprechenden Membranen 215 und 216 angedrückt werden. Der Zentralbereich 225 und 226 der Membranen 215 und 216 dient als sogenannte seismische Masse. Mit der Ausgestaltung nach der Fig. 19 kann eine vollständige Kompensation erzielt werden. Die Piezoelemente 219, 220/221 und 222 messen zwangsläufig ein Nutzsignal und ein Störsignal. Da die Piezoelemente 213 und 214 dem Druck nicht ausgesetzt sind, wird bei ihnen ausschließlich das Störsignal gemessen. Durch Differenzbildung dieser Signale kann das Nutzsignal herausgenommen und das Störsignal eliminiert werden.A complete embodiment is shown in FIG. 19. Two bores 211 and 212 can be seen within a carrier body 210 . At the bottom of the bores 211 and 212 , two compensation piezo elements 213 and 214 are arranged, which are clamped in by means of the membranes 215 and 216 , which correspond in mass and elasticity to the membrane 114 and 115 or the membranes of the embodiment according to FIG. 11. A pressure element 217 or 218 connects to the diaphragms 215 and 216 , against which two piezo elements 219 or 220 and 221 or 222 are pressed by means of the diaphragms 215 and 216 corresponding to the diaphragms 223 or 224 . The central region 225 and 226 of the membranes 215 and 216 serves as a so-called seismic mass. A complete compensation can be achieved with the configuration according to FIG. 19. The piezo elements 219, 220/221 and 222 inevitably measure a useful signal and an interference signal. Since the piezo elements 213 and 214 are not exposed to the pressure, only the interference signal is measured with them. By forming the difference between these signals, the useful signal can be removed and the interference signal can be eliminated.

Die Fig. 20 zeigt eine weitere Modifikation eines Meßgebers. Der wesentliche Unterschied zu der Ausführungsform nach den Fig. 3 bzw. 4 besteht darin, daß in den Boden 231 eines Trägerkörpers 230 zwei Bohrungen 232 und 233 angebracht sind, in die zwei rohrförmig ausgebildete Membranen 234 und 235 eingesetzt sind. Die rohrförmigen Membranen 234 bzw. 235 besitzen einen langen rohrförmigen Abschnitt 236, der nach einer Seite verschlossen ist und in seinen Boden 237 einen Bereich 238 mit dünner Wandstärke und einen Zentralbereich 239 aufweist. Innerhalb des Rohres befindet sich ein Zylinderkörper 240 bzw. 241 als Druckübertragungskörper, gegen den Piezoelemente 242 und 243 mittels der Membranen 234 und 235 angedrückt sind. Die Ausführungsform nach der Fig. 20 bedingt eine direkt Einbringung der Membranen in die Hauptströmung, so daß zusätzliche lange Druckdurchtrittswege nicht mehr erforderlich sind. Fig. 20 shows a further modification of the encoder. The main difference from the embodiment according to FIGS. 3 and 4 is that two bores 232 and 233 are made in the bottom 231 of a carrier body 230 , into which two tubular membranes 234 and 235 are inserted. The tubular membranes 234 and 235 have a long tubular section 236 which is closed on one side and has an area 238 with a thin wall thickness and a central area 239 in its bottom 237 . Inside the tube is a cylinder body 240 or 241 as a pressure transmission body, against which piezo elements 242 and 243 are pressed by means of the membranes 234 and 235 . The embodiment according to FIG. 20 requires the membranes to be introduced directly into the main flow, so that additional long pressure passages are no longer required.

Die Fig. 17 zeigt eine konstruktive Ausgestaltung eines erfindungsgemäßen Strömungsmessers. In der Leitung 250, die der Leitung 10 entspricht, ist ein Wirbelkörper 151 eingesetzt, an dem strichliert Druckdurchtrittswege 252 und 253 angeordnet sind. Der Wirbelkörper 251 besitzt an seinem einen, in der Zeichnung Fig. 17, oberen Ende einen Flanschrand 254, der in eine Vertiefung 255 im Innenbereich des Rohres bzw. der Leitung 250 eingesetzt ist. An diesen Flanschrand 254 schließt sich ein erfindungsgemäßer Meßkörper 256 mit den Membranen (in Fig. 17 nicht gezeigt) an. Dieser Meßkörper besitzt an seinem leitungsseitigen Ende eine Rille 257, in der eine Rundschnurdichtung 258 eingesetzt ist; das entgegengesetzte Ende ist über eine Dichtung 259 in eine Vertiefung 260 an einem Trägerkörper 261 vorgesehen, der stutzenartig auf die Außenseite der Leitung 250 festgeschweißt ist. Mittels einer Flanschverbindung 262 wird eine Auswerteelektronik 263 mit dem Trägerkörper 261 verbunden, in dem die von den Piezoelementen herrührenden Meßsignale verarbeitet werden. Fig. 17 shows a structural embodiment of a flow meter according to the invention. In the line 250 , which corresponds to the line 10 , a vertebral body 151 is inserted, on which pressure passage paths 252 and 253 are arranged in broken lines. The vertebral body 251 has at its one end, in the drawing FIG. 17, an upper edge 254 which is inserted into a recess 255 in the inner region of the tube or the line 250 . A measuring body 256 according to the invention with the membranes (not shown in FIG. 17) adjoins this flange edge 254 . This measuring body has at its line end a groove 257 in which a round cord seal 258 is inserted; the opposite end is provided via a seal 259 in a recess 260 on a support body 261 , which is welded like a nozzle onto the outside of the line 250 . Using a flange connection 262 , evaluation electronics 263 are connected to the carrier body 261 , in which the measurement signals originating from the piezo elements are processed.

Der Außendurchmesser des Meßkörpers 256 ist gegenüber dem Innendurchmesser der Bohrung 264 in der Leitung 250 bzw. 265 in dem Trägerkörper 261 verringert, so daß der Meßkörper lediglich durch die Dichtung 257 geführt ist und somit unmittelbar mit der Rohrleitung in diesem Bereich nicht verbunden ist.The outer diameter of the measuring body 256 is reduced compared to the inner diameter of the bore 264 in the line 250 or 265 in the carrier body 261 , so that the measuring body is only guided through the seal 257 and is therefore not directly connected to the pipeline in this area.

Eine weitere konstruktive Ausgestaltung der Erfindung ist in den Fig. 21 bis 24 dargestellt. In eine Rohrleitung ähnlich der Rohrleitung 250 der Fig. 17 ist ein Wirbelkörper eingesetzt, dessen Wirbel von einem Druckaufnehmer an einem Trägerkörper 300 detektiert werden. Dieser Trägerkörper entspricht im Aufbau etwa dem Trägerkörper 256 der Fig. 17. Der Trägerkörper 300 ist hohlzylindrisch ausgebildet, und er besitzt an seinem in der Zeichnung unten dargestellten Ende eine Verengung 301, die eine Durchgangsöffnung 302 umgrenzt. Am unteren Stirnende ist eine Meßeinheit 303 mittels Laser- oder Elektronenstrahlschweißung bei 304 befestigt. Die Befestigung an dieser Stelle bewirkt keine Rückwirkungen auf die Bereiche dünner Dicke beispielsweise durch Wärmeeinflüsse.Another constructive embodiment of the invention is shown in FIGS. 21 to 24. A vertebral body is inserted into a pipeline similar to the pipeline 250 of FIG. 17, the vertebrae of which are detected by a pressure sensor on a carrier body 300 . The structure of this carrier body corresponds approximately to that of the carrier body 256 in FIG. 17. The carrier body 300 is of hollow cylindrical design and, at its end shown in the drawing below, it has a constriction 301 which delimits a through opening 302 . A measuring unit 303 is attached to 304 at the lower end by means of laser or electron beam welding. The attachment at this point has no effects on the areas of thin thickness, for example due to heat.

Die Meßeinheit 303 ist gebildet aus einem zylindrischen Membrankörper 305, der zwei parallel verlaufende Sacklochbohrungen 306 und 307 aufweist. Am Boden jeder Sacklochbohrung 306, 307 befindet sich je eine umlaufende Rille 308, 309, die einen Bereich 310 und 311 dünner Wandstärke bildet, der um einen Zentralabschnitt 312 und 313 angeordnet ist und diesen umgibt. Der Bereich 310 und 311 dünner Wandstärke entspricht den Bereichen dünner Wandstärke der oben beschriebenen Körper, ebenso wie der jeweilige Zentralbereich. Bei Einwirkungen von Drucksignalen aufgrund der durch den Wirbelkörper erzeugten Wirbel können sich die Bereiche dünner Wandstärke verformen und übertragen diese Verformungen auf Piezoelemente (s. unten). Auf den Zentralabschnitten oder -bereichen 312 und 313 liegen je zwei Piezoelemente 314, 315 und 316, 317 auf. In die Sacklochbohrungen 306 und 307 sind Lagerelemente 318 und 319 eingepreßt, die als starre Gegenlager für die Piezoelemente 314 bis 317 dienen. Diese Lagerelemente 318 und 319 sind so in die Sacklochbohrungen 306 und 307 eingebracht, daß die Bereiche dünner Wandstärke, ähnlich wie in Fig. 9 dargestellt, nach unten leicht herausgestülpt sind, um einen vibrationsfreien Einbau der Piezoelemente in die Sacklochbohrungen mit einer bestimmten Vorspannung zu erzielen. Die Lagerelemente 318 und 319 werden nach Einbau zusammen mit dem membranabseitigen Stirnbereich des zylindrischen Körpers 305 abgedreht, um eine satte Anlage der Lagerelemente 318 und 319 mit der in gleicher Ebene liegenden Stirnfläche des zylindrischen Körpers 304 gegen die Stirnfläche des Trägerkörpers 300 zu erreichen. Zur Zentrierung ist ein Zapfen 320 stehengelassen worden, der teilweise in die Öffnung 302 eingreift.The measuring unit 303 is formed from a cylindrical membrane body 305 , which has two parallel blind holes 306 and 307 . At the bottom of each blind hole 306 , 307 there is a circumferential groove 308 , 309 , which forms a region 310 and 311 of thin wall thickness, which is arranged around and surrounds a central section 312 and 313 . The area 310 and 311 of thin wall thickness corresponds to the areas of thin wall thickness of the bodies described above, as does the respective central area. When pressure signals are applied due to the vortices generated by the vertebral body, the areas of thin wall thickness can deform and transmit these deformations to piezo elements (see below). Two piezo elements 314 , 315 and 316 , 317 each rest on the central sections or regions 312 and 313 . Bearing elements 318 and 319 are pressed into the blind holes 306 and 307 and serve as rigid counter bearings for the piezo elements 314 to 317 . These bearing elements 318 and 319 are introduced into the blind holes 306 and 307 in such a way that the areas of thin wall thickness, similarly as shown in FIG. 9, are slightly turned downwards in order to achieve a vibration-free installation of the piezo elements in the blind holes with a certain preload . After installation, the bearing elements 318 and 319 are turned off together with the end region of the cylindrical body 305 on the membrane side in order to achieve a snug contact of the bearing elements 318 and 319 with the end face of the cylindrical body 304 lying in the same plane against the end face of the carrier body 300 . A pin 320 has been left for centering, which partially engages in the opening 302 .

Zwischen den Piezoelementen 314, 315 bzw. 316, 317 befinden sich Kontaktfolien 321 und 322, an deren Anschlußstellen 323, s. Fig. 22, je ein elektrischer Leiter 324 und 325 angeschlossen sind. Diese Leiter 324 und 325 sind durch eine axiale Nut 326 in der Außenfläche jedes Lagerelementes 318 und 319 mit Gießharz vergossen in den Innenraum des hohlzylindrischen Trägerkörpers 300 herausgeführt. Die Nuten 326 in jedem Lagerkörper 318 und 319 sind nicht vollständig zugegossen, sondern lassen eine axial verlaufende Vertiefung 328 frei, damit das Lagerelement beim Einpressen in die zugehörige Sacklochbohrung nicht ein Druckpolster zwischen sich und den Piezoelementen aufbaut, vielmehr sich über die Vertiefungen entlüften kann.Between the piezo elements 314 , 315 and 316 , 317 there are contact foils 321 and 322 , at their connection points 323 , see. Are Fig. 22, depending on an electrical conductor 324 and 325 connected. These conductors 324 and 325 are led through an axial groove 326 in the outer surface of each bearing element 318 and 319 cast with casting resin into the interior of the hollow cylindrical support body 300 . The grooves 326 in each bearing body 318 and 319 are not completely cast, but leave an axially extending recess 328 free, so that the bearing element does not build up a pressure cushion between itself and the piezo elements when it is pressed into the associated blind hole, but rather can be vented via the recesses.

Der Zapfen 325 ragt teilweise in die Durchgangsöffnung 302 hinein, und der restliche Bereich dieser Durchgangsöffnung kann daher auch mit Gießharz 329 ausgegossen werden.The pin 325 partially protrudes into the through opening 302 , and the remaining area of this through opening can therefore also be filled with casting resin 329 .

Die Fig. 24 zeigt eine Einheit mit zylindrischem Körper 305 vor dem Abdrehen. Zur Montage besitzen die Sacklochbohrungen 306 und 307 Anfasungen 330 und 331, auf die das Lagerelement 318 und 319 aufgesetzt bzw. angeschnäbelt wird. In die dadurch gebildete umlaufende Rille zwischen dem Lagerelement und der Anfasung wird Schmiermittel eingegeben und dann das Lagerelement in die jeweilige Sacklochbohrung eingedrückt. Danach wird der zylindrische Körper mit den Lagerelementen abgedreht. Fig. 24 shows a unit having a cylindrical body 305 before twisting off. For assembly, the blind holes 306 and 307 have chamfers 330 and 331 on which the bearing element 318 and 319 is placed or snapped. Lubricant is introduced into the circumferential groove formed thereby between the bearing element and the chamfer and then the bearing element is pressed into the respective blind hole. Then the cylindrical body with the bearing elements is turned off.

Die Leitungen 324 und 325 werden im Inneren des hohlzylindrischen Trägerkörpers 300 verdrillt, um kapazitive Störungen zu vermeiden. Der Trägerkörper 300 besitzt im Bereich seines dem Druckaufnehmer entgegengesetzten Ende einen Flansch 332, der in einen Stutzen 333 übergeht, welcher durch einen Stopfen 334, der zur Führung der Leitungen dient, verschlossen ist. Die Außenfläche des Trägerkörpers besitzt einen Absatz, so daß der Außendurchmesser zum Druckaufnehmer hin geringer wird. Dieses dient dazu, Störsignale, die durch Anschlagen des Trägerkörpers z. B. in seiner durch die Rohrleitung führenden Durchgangsbohrung bei bestimmten Schwingungen zu vermeiden.The lines 324 and 325 are twisted in the interior of the hollow cylindrical carrier body 300 in order to avoid capacitive disturbances. The carrier body 300 has in the region of its end opposite the pressure transducer a flange 332 which merges into a connecting piece 333 which is closed by a plug 334 which serves to guide the lines. The outer surface of the carrier body has a shoulder, so that the outer diameter towards the pressure sensor becomes smaller. This is used to avoid interference signals caused by striking the carrier body z. B. in its through bore through the pipe to avoid certain vibrations.

Der zylindrische Körper 305 und die Lagerelemente 318 und 319 bestehen vorzugsweise aus einem Cr-Ni-Stahl, also einem korrosionsfreien Stahl.The cylindrical body 305 and the bearing elements 318 and 319 are preferably made of a Cr-Ni steel, that is to say a corrosion-free steel.

Nachzutragen ist folgendes: bei normalem Einbau und Verwendungszweck des Druckaufnehmers insbesondere nach den Fig. 21 bis 24 sind Vibrationseinflüsse selten oder im Vergleich zum Nutzsignal so klein, daß sie vernachlässigt werden können. Kompensationsmethoden, wie sie z. B. in den Fig. 18 und 19 vorgeschlagen werden, sind bei relativ seltenen und speziellen Anwendungsfällen denkbar.The following is to be added: with normal installation and intended use of the pressure transducer, in particular according to FIGS. 21 to 24, vibration influences are rare or so small in comparison to the useful signal that they can be neglected. Compensation methods, such as z. B. proposed in FIGS. 18 and 19, are conceivable in relatively rare and special applications.

Claims

1. Flow meter with a vertebral body inserted in a fluid line, which generates Karman vortices in the fluid, with two pressure passage paths, which each feed the pressure curve in the Karman vortices to a membrane with an associated pressure sensor, characterized in that at least one membrane ( 36 , 37 ) is provided, to which one or two pressure sensors ( 32 , 33 ; 34 , 35 ) are assigned, and that the membranes ( 36 , 37 ) separate the pressure sensors ( 32 , 33 ;...) From the pressure passages ( 19 ), so that the pressure transducers ( 32 , 33 ;...) are sealed pressure-tight from the pressure passage paths.

2. Flow meter according to claim 1, characterized in that in a measuring body ( 22 ) at the vertebral body end two separate recesses ( 30 , 31 ) are provided, in which the pressure transducers ( 32 , 33 ;...) Are housed, and that the recesses ( 30 , 31 ) are each sealed by a membrane ( 36 , 37 ) pressure and fluid tight ( Fig. 3, Fig. 8 to 12).

3. Flow meter according to claim 1, characterized in that two separate recesses ( 85 , 86 ) are provided in a measuring body ( 81 ) at the vertebral body end, in which the pressure transducers ( 87 , 88 ; 89 , 90 ) are inserted, and that both recesses (85, 86) are both closed by a covering membrane (92) (Fig. 13, Fig. 15 and 16).

4. Flow meter according to one of the preceding claims, characterized in that the membrane is formed on a membrane body ( 36 , 37 ; ...) which has a central region ( 40 ... ) and a surrounding the central region, having a high elasticity and has a pressure transmission to the pressure transducer ( 32 , 33 ;...) allowing area ( 39 ) with a small thickness compared to the central area.

5. Flow meter according to claim 4, characterized in that the membrane body has a disk shape, the region ( 39 ) having a small wall thickness (thickness) being formed by a groove ( 38 ) introduced from a disk side, so that the thickness of the disk shape outside and is the same within the groove ( Fig. 7).

6. Flow meter according to claim 4, characterized in that the central region ( 118 ) is circular, that on the central region a radially extending, the central region enclosing annular region ( 117 , 135 ) of thin wall thickness and on this annular region outside a tubular ( 116, 134 ) Connect the extension, the outside diameter of which corresponds to the inside diameter of the recesses ( 112 , 113 ;...) ( Fig. 10 to 12).

7. Flow meter according to one of claims 4 to 6, characterized in that a radial surface of the annular region with thin wall thickness is aligned with a side surface of the central region and the tubular extension ( 116 , 134 ) on the same side or the opposite side of the central region of the annular Area ( 117 , 135 ) is arranged projecting.

8. Flow meter according to claim 3, characterized in that a membrane body ( 92 , 141 , 160 ,...) Surrounds two pressure transducers ( 87 , 88 ; 89 , 90 ) arranged next to one another, at least one annular region ( 95 ; 143 ; 144 ,...) is provided with a small thickness.

9. Flow meter according to claim 8, characterized in that the annular region ( 95 ) of small thickness surrounds both adjacent pressure transducers ( 7 , 88 ; ...) together.

10. Flow meter according to one of the preceding claims, characterized in that in the case of two pressure transducers ( 148 , 149 ;...) Lying next to one another, the membrane body ( 140 ; 160 ;...) With two annular areas ( 143 , 144 ; ... ) is designed with a small wall thickness.

11. Flow meter according to one of the preceding claims, characterized characterized in that the membrane body so deep in the recesses is pressed in that the annular region is a slip bias suffers so that the central area of the membrane is axial Preload on the pressure transducer.

12. Flow meter according to claim 10 or 11, characterized in that the membrane body ( 305 ) has a cylinder body with two parallel blind holes ( 306 , 307 ), at the bottom of which a peripheral area ( 310 , 311 ) with a small wall thickness and one each central area ( 312 , 313 ) lying within these areas is arranged.

13. Flow meter according to one of claims 1 to 11, characterized characterized in that a membrane body with two circumferential annular Areas are inserted into the measuring body so that the measuring body Includes membrane body.

14. Flow meter according to claim 12, characterized in that the membrane body ( 140 ) with a molded on the circumference tubular extension ( 145 ) partially comprises the measuring body ( 146 ).

15. Flow meter according to claim 12, characterized in that at the bottom of the blind holes ( 306 , 307 ) on the central areas ( 312 , 313 ) a pressure sensor ( 314 , 315 ; ... ) Is placed that in the blind holes ( 306 , 307 ) a counter bearing piece ( 318 , 319 ) pressing the pressure transducers ( 314 , 315 ; ... ) Against the central area ( 312 , 313 ) is inserted, and that the membrane body with the pressure transducers and the counter bearing pieces (as measuring probe unit) on the end face the measuring body ( 300 ) is attached.

16. Flow meter according to claim 15, characterized in that the counter-bearing pieces ( 318 , 319 ) are pressed into the blind holes ( 306 , 307 ).

17. Flow meter according to claim 16, characterized in that the counter bearing pieces ( 318 , 319 ) are pressed so deeply into the blind holes ( 306 , 307 ) that the annular regions ( 310 , 311 ) protrude resiliently outwards with a small thickness, so that the annular regions ( 310 , 311 ) of small thickness create a preload on the pressure transducers between the counter bearing piece ( 318 , 319 ) and the central region ( 312 , 313 ).

18. Flow meter according to claim 17, characterized in that after pressing in the counter-bearing pieces ( 318 , 319 ) into the blind holes ( 306 , 307 ) the areas ( 310 , 311 ) of opposite thickness opposite ends of the measuring probe unit except for a central pin-like axial projection ( 325 ) is turned to form a smooth surface for abutment against the end face of the measuring body ( 300 ), the peg-like axial projection engaging in a corresponding recess ( 302 ) in the end face of the measuring body ( 300 ) for centering.

19. Flow meter according to one of claims 16 to 18, characterized in that the counter bearing pieces ( 318 , 319 ) each have an axially extending groove ( 326 ) on their outer circumference, which has a channel for leading out connecting lines to the pressure transducers ( 314 , 315 ; ..) forms.

20. Flow meter according to claim 19, characterized in that the channels ( 326 ) with the connecting lines are partially filled with an insulating plastic ( 327 ).

21. Flow meter according to one of the preceding claims, characterized in that in addition to the pressure transducers ( 191 , 219 , 220 ; 221 , 222 ) serving as compensation elements further pressure transducers ( 194 , 195 ; 213 , 214 ) are provided, which are the pressure from the Pressure passage lines are also not exposed.

22. A flow meter according to claim 21, characterized in that two bores ( 211 and 212 ) arranged next to one another are provided in a carrier body ( 210 ), in the bottom of which a pressure sensor ( 213 , 214 ), an adjoining seismic mass ( 198 , 199 ; ... ), which is pressed against the pressure sensor ( 213 , 214 ) by means of a spring ( 260 , 261 ) and contains a pressure sensor ( 219 , 220 ; 221 , 222 ) which is closed off by means of the membrane.

23. Flow meter according to one of the preceding claims, characterized characterized in that the seismic mass through the central area and the spring through the annular region with a small thickness Membrane is formed.

24. Flow meter according to one of the preceding claims, characterized characterized in that the pressure transducers are piezo elements.

25. Flow meter according to claim 25, characterized in that each pressure sensor consists of two piezo elements of different polarity is formed.

26. Flow meter according to one of the preceding claims, characterized characterized in that the pressure passages in the vertebral body in the Open the fluid line.

27. Flow meter according to one of the preceding claims, characterized characterized in that the ends of the pressure passage paths on both sides of the through the axis of the vertebral body and the central axis of the fluid line open into the fluid line.