DE4101333A1 - Verfahren zum verringern der schaedlichkeit einer alkalischen loesung - Google Patents
Verfahren zum verringern der schaedlichkeit einer alkalischen loesungInfo
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- 150000004820 halides Chemical class 0.000 title claims abstract description 18
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 5
- 231100000419 toxicity Toxicity 0.000 title description 2
- 230000001988 toxicity Effects 0.000 title description 2
- HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M Sodium hydroxide Chemical compound [OH-].[Na+] HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims abstract description 18
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 14
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims abstract description 8
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims abstract description 7
- KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M potassium hydroxide Substances [OH-].[K+] KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims abstract description 6
- ZCYVEMRRCGMTRW-UHFFFAOYSA-N 7553-56-2 Chemical compound [I] ZCYVEMRRCGMTRW-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 5
- SXDBWCPKPHAZSM-UHFFFAOYSA-M bromate Inorganic materials [O-]Br(=O)=O SXDBWCPKPHAZSM-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims abstract description 5
- SXDBWCPKPHAZSM-UHFFFAOYSA-N bromic acid Chemical compound OBr(=O)=O SXDBWCPKPHAZSM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 5
- 229910052740 iodine Inorganic materials 0.000 claims abstract description 5
- 239000011630 iodine Substances 0.000 claims abstract description 5
- GEHJYWRUCIMESM-UHFFFAOYSA-L sodium sulfite Chemical compound [Na+].[Na+].[O-]S([O-])=O GEHJYWRUCIMESM-UHFFFAOYSA-L 0.000 claims abstract description 5
- CPELXLSAUQHCOX-UHFFFAOYSA-M Bromide Chemical compound [Br-] CPELXLSAUQHCOX-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims abstract description 4
- ICIWUVCWSCSTAQ-UHFFFAOYSA-M iodate Chemical compound [O-]I(=O)=O ICIWUVCWSCSTAQ-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims abstract description 4
- 239000003513 alkali Substances 0.000 claims abstract description 3
- IKDUDTNKRLTJSI-UHFFFAOYSA-N hydrazine hydrate Chemical compound O.NN IKDUDTNKRLTJSI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 3
- XMBWDFGMSWQBCA-UHFFFAOYSA-N hydrogen iodide Chemical compound I XMBWDFGMSWQBCA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 3
- 235000010265 sodium sulphite Nutrition 0.000 claims abstract description 3
- AKHNMLFCWUSKQB-UHFFFAOYSA-L sodium thiosulfate Chemical compound [Na+].[Na+].[O-]S([O-])(=O)=S AKHNMLFCWUSKQB-UHFFFAOYSA-L 0.000 claims abstract description 3
- 235000019345 sodium thiosulphate Nutrition 0.000 claims abstract description 3
- 239000002912 waste gas Substances 0.000 claims abstract 4
- 235000019252 potassium sulphite Nutrition 0.000 claims abstract 2
- 239000012670 alkaline solution Substances 0.000 claims description 10
- 239000000243 solution Substances 0.000 claims description 9
- GDTBXPJZTBHREO-UHFFFAOYSA-N bromine Substances BrBr GDTBXPJZTBHREO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 229910052794 bromium Inorganic materials 0.000 claims description 6
- WKBOTKDWSSQWDR-UHFFFAOYSA-N Bromine atom Chemical compound [Br] WKBOTKDWSSQWDR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 125000001475 halogen functional group Chemical group 0.000 claims description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 3
- 239000002253 acid Substances 0.000 claims description 2
- ZLMJMSJWJFRBEC-UHFFFAOYSA-N Potassium Chemical compound [K] ZLMJMSJWJFRBEC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 239000007795 chemical reaction product Substances 0.000 claims 1
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 claims 1
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 claims 1
- 229910052700 potassium Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000011591 potassium Substances 0.000 claims 1
- 229940093914 potassium sulfate Drugs 0.000 claims 1
- BHZRJJOHZFYXTO-UHFFFAOYSA-L potassium sulfite Chemical compound [K+].[K+].[O-]S([O-])=O BHZRJJOHZFYXTO-UHFFFAOYSA-L 0.000 claims 1
- 235000011151 potassium sulphates Nutrition 0.000 claims 1
- 239000002699 waste material Substances 0.000 abstract description 6
- 231100001231 less toxic Toxicity 0.000 abstract description 2
- 239000003518 caustics Substances 0.000 abstract 1
- JHJLBTNAGRQEKS-UHFFFAOYSA-M sodium bromide Chemical compound [Na+].[Br-] JHJLBTNAGRQEKS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 6
- DJHGAFSJWGLOIV-UHFFFAOYSA-K Arsenate3- Chemical compound [O-][As]([O-])([O-])=O DJHGAFSJWGLOIV-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 2
- DJHGAFSJWGLOIV-UHFFFAOYSA-N Arsenic acid Chemical compound O[As](O)(O)=O DJHGAFSJWGLOIV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 241000537377 Fraxinus berlandieriana Species 0.000 description 2
- 229940000489 arsenate Drugs 0.000 description 2
- 229940000488 arsenic acid Drugs 0.000 description 2
- 239000003344 environmental pollutant Substances 0.000 description 2
- 231100000719 pollutant Toxicity 0.000 description 2
- 239000011734 sodium Substances 0.000 description 2
- XUXNAKZDHHEHPC-UHFFFAOYSA-M sodium bromate Chemical compound [Na+].[O-]Br(=O)=O XUXNAKZDHHEHPC-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- CRWJEUDFKNYSBX-UHFFFAOYSA-N sodium;hypobromite Chemical compound [Na+].Br[O-] CRWJEUDFKNYSBX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- BMTAFVWTTFSTOG-UHFFFAOYSA-N Butylate Chemical compound CCSC(=O)N(CC(C)C)CC(C)C BMTAFVWTTFSTOG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000001495 arsenic compounds Chemical class 0.000 description 1
- -1 bromine compound Chemical class 0.000 description 1
- 229940093920 gynecological arsenic compound Drugs 0.000 description 1
- 150000002366 halogen compounds Chemical class 0.000 description 1
- 239000002920 hazardous waste Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- A—HUMAN NECESSITIES
- A62—LIFE-SAVING; FIRE-FIGHTING
- A62D—CHEMICAL MEANS FOR EXTINGUISHING FIRES OR FOR COMBATING OR PROTECTING AGAINST HARMFUL CHEMICAL AGENTS; CHEMICAL MATERIALS FOR USE IN BREATHING APPARATUS
- A62D3/00—Processes for making harmful chemical substances harmless or less harmful, by effecting a chemical change in the substances
- A62D3/30—Processes for making harmful chemical substances harmless or less harmful, by effecting a chemical change in the substances by reacting with chemical agents
- A62D3/37—Processes for making harmful chemical substances harmless or less harmful, by effecting a chemical change in the substances by reacting with chemical agents by reduction, e.g. hydrogenation
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01D—COMPOUNDS OF ALKALI METALS, i.e. LITHIUM, SODIUM, POTASSIUM, RUBIDIUM, CAESIUM, OR FRANCIUM
- C01D1/00—Oxides or hydroxides of sodium, potassium or alkali metals in general
- C01D1/04—Hydroxides
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C02—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F1/00—Treatment of water, waste water, or sewage
- C02F1/70—Treatment of water, waste water, or sewage by reduction
-
- A—HUMAN NECESSITIES
- A62—LIFE-SAVING; FIRE-FIGHTING
- A62D—CHEMICAL MEANS FOR EXTINGUISHING FIRES OR FOR COMBATING OR PROTECTING AGAINST HARMFUL CHEMICAL AGENTS; CHEMICAL MATERIALS FOR USE IN BREATHING APPARATUS
- A62D2101/00—Harmful chemical substances made harmless, or less harmful, by effecting chemical change
- A62D2101/40—Inorganic substances
- A62D2101/49—Inorganic substances containing halogen
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Environmental & Geological Engineering (AREA)
- Hydrology & Water Resources (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Toxicology (AREA)
- Water Supply & Treatment (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Business, Economics & Management (AREA)
- Emergency Management (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Treating Waste Gases (AREA)
- Processing Of Solid Wastes (AREA)
Description
Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren nach dem
Oberbegriff des Patentanspruches 1. Ein naßchemisches Ver
fahren zum Entfernen von Schadstoffen aus Abgasen ist z. B.
als zweite Verfahrensstufe aus der EP 1 45 642 B1 bekannt.
Bei Epitaxieverfahren zur Herstellung von Halbleitern wird
z. B. AsH3-Gas verwendet, das schließlich in eine Bromat
oder Jodatlösung eingeleitet wird, wobei Arsenat bzw. Ar
sensäure als zu entsorgendes Abfallprodukt entsteht. Dabei
entsteht aber auch Brom bzw. Jod in gasförmiger Form, das
durch naßchemische Behandlung wie Einleiten in eine Lauge
wie z. B. Natronlauge (NaOH) oder Kalilauge (KOH) als Halo
genat wie Bromat oder Jodat und Halogenid wie Bromid oder
Jodid in alkalischer Lösung
gebunden wird.
Diese alkalische Lösung ist insbesondere wegen des Halo
genats ebenfalls als Sondermüll zu entsorgen.
Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, die
Schädlichkeit dieser als zu entsorgendes Abfallprodukt an
fallenden alkalischen Lösung so zu verringern, daß sie in
eine niedrigere Schadstoffklasse einordenbar ist.
Diese Aufgabe wird durch die im Kennzeichen des Pa
tentanspruches 1 angegebenen Merkmale gelöst.
Bei Anwendung des beschriebenen Verfahrens entsteht eine
alkalische Abfallösung, die keinen wesentlichen Halogenat
anteil mehr sondern als Halogenverbindung nur noch ein Ha
logenid enthält, das weitaus weniger giftig ist und daher
wesentlich einfacher zu entsorgen ist.
Anhand des nachfolgend näher beschriebenen bevorzugten
Ausführungsbeispiels wird die Erfindung näher erklärt.
Bei der Herstellung von Halbleitern nach einem epitakti
schen Verfahren wird z. B. AsH3-Gas verwendet, das dann
z. B. in eine NaBrO3-Lösung (Natriumbromat) eingeleitet
wird wobei sich Arsenat (H3AsO3) und Arsensäure (H3 AsO5)
bildet. Außerdem entsteht dabei noch gasförmiges Brom. Die
Arsenverbindungen müssen als Sonderabfall entsorgt werden.
Das Brom wird z. B. mit Natronlauge (NaOH) vermischt wobei
eine Natriumbromat (NaBrO3) und Natriumbromid (NaBr) ent
haltende alkalische Lösung ebenfalls als gefährlicher Son
derabfall zu entsorgen ist. Um dieser Lösung die hohe Ge
fährlichkeit zu nehmen und damit eine einfache Entsorgung
zu ermöglichen, wird nun durch Zusetzen von Hydrazinhydro
xyd (N2H5OH) oder Natriumsulfit (Na2SO3) oder Natri
umthiosulfat (Na2S2O3) eine Umwandlung des Bromats in Bro
mid vorgenommen, so daß im wesentlichen nur noch Natrium
bromid als Bromverbindung in der alkalischen Lösung ent
halten ist. Durch Zusetzen einer Säure wie Salzsäure, wird
die Alkalität der Lösung auf einen PH-Wert von 5-9 insbe
sondere 7-8 verringert. Diese Lösung läßt sich wegen ver
ringerter Toxität wesentlich einfacher entsorgen.
Claims (6)
1. Verfahren zum Verringern der Schädlichkeit einer al
kalischen Lösung die ein Halogenat wie Bromat oder Jodat
und ein Halogenid wie Bromid oder Jodid enthält und die
als Reaktionsprodukt bei der Bindung von in Abfallgasen
enthaltenem Brom oder Jod angefallen ist, dadurch gekenn
zeichnet, daß in einem weiteren Verfahrensgang die Halo
genate in Halogenide umgewandelt werden.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß
die Umwandlung der Halogenate in Halogenide durch Zusetzen
von Hydrazinhydroxid zu der das Halogenat und das Haloge
nid enthaltenden alkalischen Lösung vorgenommen wird.
3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß
die Umwandlung der Halogenate in Halogenide durch Zusetzen
von Natriumsulfit bzw. Kaliumsulfit zu der das Halogenat
und das Halogenid enthaltenden alkalischen Lösung vorge
nommen wird.
4. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß
die Umwandlung der Halogenate in Halogenide durch Zusetzen
von Kalium- oder Natriumthiosulfat zu der das Halogenat
und das Halogenid enthaltenden alkalischen Lösung vorge
nommen wird.
5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1-4, gekennzeichnet
durch die Verwendung bei der Bindung von Brom- oder Jodgas
das als Abfallgas bei der Entsorgung von Prozeßgasen bei
der epitaktischen Herstellung von Halbleitern anfällt und
das durch Einleiten in oder Vermischen mit einer Lauge wie
Natronlauge oder Kalilauge als Halogenat und Halogenid ge
bunden wird.
6. Verfahren nach einem der Ansprüche 1-5, dadurch ge
kennzeichnet, daß die alkalische Lösung nach Umwandlung
des Halogenats in das entsprechende Halogenid durch Zuset
zen einer Säure wie Salzsäure zwecks leichterer Entsorgung
auf einen PH-Wert von 5-9, insbesondere 7-8 eingestellt
wird.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE19914101333 DE4101333A1 (de) | 1991-01-18 | 1991-01-18 | Verfahren zum verringern der schaedlichkeit einer alkalischen loesung |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE19914101333 DE4101333A1 (de) | 1991-01-18 | 1991-01-18 | Verfahren zum verringern der schaedlichkeit einer alkalischen loesung |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| DE4101333A1 true DE4101333A1 (de) | 1992-07-23 |
Family
ID=6423232
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| DE19914101333 Withdrawn DE4101333A1 (de) | 1991-01-18 | 1991-01-18 | Verfahren zum verringern der schaedlichkeit einer alkalischen loesung |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| DE (1) | DE4101333A1 (de) |
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- 1991-01-18 DE DE19914101333 patent/DE4101333A1/de not_active Withdrawn
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|---|
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| DE-Buch:Gmelins Handbuch der anorganischen Chemie,Verlag Chemie, GmbH 1931, Bd.BROM, S.313,317 * |
| DE-Buch:Gmelins Handbuch der anorganischen Chemie,Verlag Chemie, GmbH 1933, Bd. JOD, S.494,497-500 * |
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| JP 60-166091 A., In: Patents Abstracts of Japan, C-322, Jan.9, 1986, Vol.10, No.4 * |
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