DE4006835A1 - Verfahren zur kalibrierung von zweidimensionalen pruefkoerpern mit elimination systematischer fehler des messgeraets - Google Patents
Verfahren zur kalibrierung von zweidimensionalen pruefkoerpern mit elimination systematischer fehler des messgeraetsInfo
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Description
Die Rückführbarkeit von Messungen mit Koordinatenmeßgeräten
(KMG) auf die Einheit Länge ist auf elegantem Wege
über Referenzobjekte, insbesondere zweidimensionale Prüfkörper,
möglich. Eine Möglichkeit einer solchen Überwachungsmethode
wird in dem Beitrag "Ein Kugelprüfkörper
zur Überwachung von Koordinatenmeßgeräten" von H. J. Neumann
in VDI-Berichte 751 (1989) beschrieben. Unter einem
zweidimensionalen Prüfkörper wird dabei eine ebene Anordnung
von Antastformelementen verstanden. Antastformelemente
sind beispielsweise Zylinder oder Kugeln. Die durch
Kalibrierung bekannten Positionen dieser Antastformelemente
des Prüfkörpers werden mit dem zu prüfenden KMG
nachgemessen. Die hierbei auftretenden Abweichungen zwischen
den kalibrierten und gemessenen Positionen dienen
in weiteren Auswertungen zur Beurteilung des KMG. Da die
zu prüfenden KMG immer genauer werden und die zur Prüfung
eingesetzten Meßmittel stets genauer sein müssen als das
zu prüfende Gerät, ist die Kalibriergenauigkeit solcher
Prüfkörper zur Zeit von entscheidender Bedeutung.
Für die Kalibrierung der Prüfkörper selbst werden heute
praktisch ausschließlich KMG eingesetzt, mit denen die
Positionen der Antastformelemente des Prüfkörpers bestimmt
werden. Bekannte Kalibrierverfahren benutzen mehr
oder weniger stark eingeschränkte Fehlermodelle für die
KMG, auf denen die Prüfkörper gemessen werden, um so wenigstens
einen Teil der systematischen Meßgerätefehler
softwaremäßig zu eliminieren. Eine bekannte Methode, die
in dem Beitrag "Zweidimensionale Prüfkörper zur Ermittlung
der meßtechnischen Eigenschaften von KMG" von H.
Kunzmann und F. Wäldele, Tagungsabend der Int. Tagung
"Moderne Fertigung und Ferigungsmeßtechnik" (1986) TU
Wien, vorgestellt wurde, ist die Zweistellungsmessung mit
zwei um 90° gegeneinander um die Prüfkörpernormale gedrehten
Meßstellungen. Bei dieser Methode ergibt sich in
Verbindung mit den bekannten Auswerteverfahren keine Elimination
der Geradheitsfehler und der rotatorischen Fehler
des messenden KMG. Lediglich Rechtwinkligkeitsfehler
zwischen den an der Messung beteiligten Meßgeräteachsen
und relative Positionsfehler in den beiden Achsen werden
eliminiert. Geradheitsfehler und rotatorische Fehler des
Meßgeräts gehen daher in das Kalibrierergebnis für die
Prüfkörper ein. Nur bei sehr hochwertigen oder gut numerisch
korrigierten Meßgeräten können diese Fehler teilweise
vernachlässigt werden. Zudem ist diese Methode
vorteilhaft nur für quadratische Prüfkörper geeignet.
Erfindungsgemäß werden diese Nachteile durch eine Kalibrierung
der Prüfkörper nach der Methode der Dreistellungsmessung
vollkommen vermieden. Sämtliche Fehlerkomponenten
des KMG einschließlich der relativen Maßstabsfehler
werden bei dieser Methode eliminiert. Die absoluten
Maßstabsfehler lassen sich grundsätzlich durch eindimensionale
Messungen der Abstände der Antastformelemente in
je einer gleichorientierten Reihe der Formelemente bestimmen
(s. Anspruch 3).
Bei der Dreistellungsmethode werden die Positionen der
Antastformelemente in drei bestimmten Lagen des Prüfkörpers
im Meßvolumen des KMG ermittelt. Die dazu notwendigen
und möglichen Meßstellungen sind im folgenden aufgeführt.
Man geht hierbei davon aus, daß die Ausgangslage
(im folgenden als 0°-Lage bezeichnet) willkürlich gewählt
wird und der Prüfkörper ein quadratisches Raster von
Antastformelementen besitzt. Die Antastformelemente bzw.
deren Mittelpunkte müssen bei Drehung und Klappung des
Prüfkörpers ineinander übergehen. Eine weitere wichtige
Voraussetzung besteht darin, daß der zweidimensionale
Prüfkörper von beiden Seiten aus antastbare Formelemente
besitzt (z. B. Lochplatte oder Kugelplatte mit Kugeln in
der neutralen Ebene, s. o. a. Beitrag von H. J. Neumann).
Die Dreistellungsmethode eignet sich sowohl für die Kalibrierung
von quadratischen als auch von rechteckigen
Prüfkörpern.
Bereits die Messung des Prüfkörpers in nur zwei Stellungen
erlaubt bei Anwendung einer der beiden hier beschriebenen
Auswertemethoden eine Elimination von mehr Fehleranteilen
als bei den bisher bekannten Verfahren. Einschränkend
wird hierbei vorausgesetzt, daß die Anteile
der Gier-, Nick- und Geradheitsfehler symmetrisch bezüglich
der jeweiligen Verfahrrichtung des KMG verlaufen.
Folgende Stellungskombinationen sind bei beliebig gewählter
Ausgangslage möglich:
Die Stellungskombinationen 1 und 2 eignen sich speziell
für quadratische Platten, die nur von einer Seite aus
antastbare Formelemente aufzuweisen brauchen. Dagegen
können die Kombinationen 3 und 4 auch für rechteckige
Prüfkörper eingesetzt werden, deren Antastformelemente
jedoch von beiden Seiten antastbar sein müssen.
Prinzipiell existieren zwei Auswertemethoden. Die erste
Methode basiert auf der Annahme, daß sich die Prüfkörperkoordinaten
uP und vP (Fig. 1) entsprechend den an den
Meßorten vorliegenden KMG-Fehlern (Position, Rechtwinkligkeit,
Gieren, Geradheit) verfälschen. Nach einer Mehrfachmessung
der Positionen (Kugel- oder Bohrungsmittelpunkte)
sämtlicher Antastformelemente des Prüfkörpers in
einer der oben aufgeführten Stellungskombinationen wird
ein allgemeiner Ausgleich durchgeführt. Die Ausgleichsrechnung
liefert die gesuchten, von den systematischen
Fehlern des KMG befreiten Positionen der Antastformelemente.
Außerdem stehen auch die Werte der Fehler des KMG
an den Stützstellen (d. h. Positionen der Antastformelemente)
des Prüfkörpers zur Verfügung.
Bei der zweiten Auswertemethode werden den Positionen der
Antastformelemente rein formal die gleichen Fehlerfreiheitsgrade
(Abweichungsverläufe in der VM- und UM-Achse
des KMG nach Fig. 1) zugeordnet wie dem KMG. Nun lassen
sich die Messungen als Superposition von einander entsprechenden
KMG- und Prüfkörperfehlern darstellen. Gemessen
werden dabei immer "Prüfkörperfehler minus KMG-Fehler",
Eine geeignete Kombination von Prüfkörperstellungen
(eine der oben aufgelisteten) erlaubt dann wegen der dabei
auftretenden unterschiedlichen Kombinationen der Vorzeichen
von Prüfkörper- und KMG-Fehlern deren Separierung.
Fig. 1 zeigt beispielhaft die Stellungskombination
1 mit der 0°-Stellung, der 90°-Drehung und der Klappung
des Prüfkörpers um die 45°-Diagonale mit den entsprechenden
Fehlerüberlagerungen. In Fig. 1 bedeuten: Δ=Differenz
(Meßwerte), ϕ=Rechtwinkligkeitsfehler, R=Gierwinkel
(Drehung um die W-Achse), P=Positions- bzw.
Geradheitsfehler, der Index P weist auf den Prüfkörper
und der Index M auf das KMG hin, die Indices U und V bezeichnen
die Vektorkomponenten der Fehler, a und b sind
die max. Abstände der Antastformelemente in der U- bzw. V-Achse
des Prüfkörpers. Aus den Überlagerungen der Fehlerfunktionen
lassen sich die KMG-Fehler vollständig bestimmen.
Sie lassen sich somit aus den ursprünglichen Messungen
eliminieren, so daß sich die fehlerfreien Positionen
der Antastformelemente ergeben. Die formalen Komponentenfehler
des Prüfkörpers sind nun nicht mehr zu deren
Beschreibung erforderlich.
Beispielhaft soll im folgenden für die beiden Fehlerkomponenten
Rechtwinkligkeit und Gierwinkel der Ermittlung
der entsprechenden Fehlerkomponenten des KMG gezeigt werden:
Rechtwinkligkeitsfehler
0°-Stellung
Δϕ₀ = ϕP - ϕM
90°-Stellung
Δϕ₉₀ = -ϕP - ϕM
Δϕ₀ = ϕP - ϕM
90°-Stellung
Δϕ₉₀ = -ϕP - ϕM
Durch Addition beider Gleichungen erhält man den
Rechtwinkligkeitsfehler des KMG zu
ϕM = -0,5 (Δϕ₀ + Δϕ₉₀) .
Die Bestimmung des Rechtwinkligkeitfehler bedarf also
nur der Messung des Prüfkörpers in zwei Stellungen. Ebenso
hätte man auch die Fehlerüberlagerungen von zwei anderen
Stellungen kombinieren können.
Gierwinkelfehler
0°-Stellung
ΔR(U)₀ = R(U)P - R(U)M (1)
ΔR(V)₀ = R(V)P - R(V)M (2)
90°-Stellung
ΔR(U)₉₀ = -R(V)P - R(U)M (3)
ΔR(V)₉₀ = -R(U)P - R(V)M (4)
45°-Klappung
ΔR(U)₄₅ = R(V)P - R(U)M (5)
ΔR(V)₄₅ = R(U)P - R(V)M (6)
ΔR(U)₀ = R(U)P - R(U)M (1)
ΔR(V)₀ = R(V)P - R(V)M (2)
90°-Stellung
ΔR(U)₉₀ = -R(V)P - R(U)M (3)
ΔR(V)₉₀ = -R(U)P - R(V)M (4)
45°-Klappung
ΔR(U)₄₅ = R(V)P - R(U)M (5)
ΔR(V)₄₅ = R(U)P - R(V)M (6)
Durch Addition der Gl. 3 und 5 erhält man den Gierwinkel
der U-Achse des KMG zu
R(U)M = -0,5 (ΔR(U)₉₀ + ΔR(U)₄₅) .
Setzt man diesen Gierwinkel in Gl. (1) ein, kann man den
fiktiven Gierwinkel R(U)p des Prüfkörpers in dessen U-Achse
bestimmen. Mit Gl. 6 läßt sich dann der Gierwinkel
der V-Achse des KMG berechnen:
R(V)M = ΔR(U)₀ - [0,5 (ΔR(U)₉₀ + ΔR(U)₄₅)] - ΔR(V)₄₅ .
Erlaubt man, daß der Prüfkörper in vier Stellungen gemessen
wird, ergibt sich ein interessanter Sonderfall, bei
dem durch einfache Mittelwertbildung der aus den vier
Messungen erhaltenen Prüfkörperkoordinaten sämtliche Gerätefehler
eliminiert werden. Die Absolutmessung der Abstände
der Antastformelemente muß wieder in einer Zeile
und Spalte zum Anschluß an die Längeneinheit separat
durchgeführt werden. Diese Vierstellungsmethode besteht
aus der Kombination:
Man findet hierfür den Beweis, indem man für diese vier
Stellungen die Summe aller Fehlerkomponenten für den
Prüfkörper und das KMG bildet. Dabei kompensieren sich,
je nach gewähltem Bezugssystem (Werkstück oder Maschine),
entweder die Fehlerkomponenten für das KMG oder die für
den Prüfkörper zu Null.
Claims (3)
1. Kalibrierverfahren für zweidimensionale oder aus
zweidimensionalen Elementen zusammengesetzte Prüfkörper,
dessen Antastformelemente von beiden Seiten des Prüfkörpers
antastbar sein müssen, welches alle in der Ebene
wirksamen Führungsfehler des Meßgeräts (Koordinatenmeßgerät),
auf dem der Prüfkörper kalibriert wird, eliminiert,
dadurch gekennzeichnet, daß der Prüfkörper in mindestens
drei ausgesuchten Stellungen gemessen wird.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß der Prüfkörper, dessen Antastformelemente nur von einer
Seite des Prüfkörpers aus antastbar zu sein brauchen,
in zwei ausgesuchten Stellungen gemessen wird, welches
Rechtwinkligkeitsfehler, relative Positionsfehler und
diejenigen Anteile der Gier-, Nick- und Geradheitsfehler
eliminiert, welche symmetrisch bezüglich der jeweiligen
Verfahrrichtung des Meßgeräts sind.
3. Verfahren nach Anspruch 1 und 2, dadurch gekennzeichnet,
daß der Anschluß an die Einheit Länge in beiden Koordinatenrichtungen
des Prüfkörpers durch mindestens jeweils
eine Messung mittels Interferometer oder vergleichbarem
Referenzsystem für gleichorientierte Reihen von
Antastformelementen geschieht, um Auswirkungen von Driften
während der Mehrstellungsmessungen zu verringern.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19904006835 DE4006835A1 (de) | 1990-03-05 | 1990-03-05 | Verfahren zur kalibrierung von zweidimensionalen pruefkoerpern mit elimination systematischer fehler des messgeraets |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19904006835 DE4006835A1 (de) | 1990-03-05 | 1990-03-05 | Verfahren zur kalibrierung von zweidimensionalen pruefkoerpern mit elimination systematischer fehler des messgeraets |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE4006835A1 true DE4006835A1 (de) | 1991-09-12 |
Family
ID=6401429
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19904006835 Withdrawn DE4006835A1 (de) | 1990-03-05 | 1990-03-05 | Verfahren zur kalibrierung von zweidimensionalen pruefkoerpern mit elimination systematischer fehler des messgeraets |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE4006835A1 (de) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1999008070A1 (de) * | 1997-08-11 | 1999-02-18 | Leica Microsystems Wetzlar Gmbh | Verfahren zur korrektur der messfehler einer koordinaten-messmaschine |
DE19755608B4 (de) * | 1997-12-15 | 2012-12-06 | Volkswagen Ag | Verwendung einer Vorrichtung und Verfahren zur Kalibrierung eines Maßstabs |
CN103234496A (zh) * | 2013-03-28 | 2013-08-07 | 中国计量学院 | 一种三坐标测量机二维平台误差的高精度校正方法 |
CN110455180A (zh) * | 2019-06-26 | 2019-11-15 | 成都新西旺自动化科技有限公司 | 一种针对多自由度二维调节机构的全路径精度校准方法及系统 |
-
1990
- 1990-03-05 DE DE19904006835 patent/DE4006835A1/de not_active Withdrawn
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1999008070A1 (de) * | 1997-08-11 | 1999-02-18 | Leica Microsystems Wetzlar Gmbh | Verfahren zur korrektur der messfehler einer koordinaten-messmaschine |
DE19755608B4 (de) * | 1997-12-15 | 2012-12-06 | Volkswagen Ag | Verwendung einer Vorrichtung und Verfahren zur Kalibrierung eines Maßstabs |
CN103234496A (zh) * | 2013-03-28 | 2013-08-07 | 中国计量学院 | 一种三坐标测量机二维平台误差的高精度校正方法 |
CN103234496B (zh) * | 2013-03-28 | 2015-09-30 | 中国计量学院 | 一种三坐标测量机二维平台误差的高精度校正方法 |
CN110455180A (zh) * | 2019-06-26 | 2019-11-15 | 成都新西旺自动化科技有限公司 | 一种针对多自由度二维调节机构的全路径精度校准方法及系统 |
CN110455180B (zh) * | 2019-06-26 | 2021-03-05 | 成都新西旺自动化科技有限公司 | 一种针对多自由度二维调节机构的全路径精度校准方法及系统 |
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