DE4006835A1 - Verfahren zur kalibrierung von zweidimensionalen pruefkoerpern mit elimination systematischer fehler des messgeraets - Google Patents

Verfahren zur kalibrierung von zweidimensionalen pruefkoerpern mit elimination systematischer fehler des messgeraets

Info

Publication number
DE4006835A1
DE4006835A1 DE19904006835 DE4006835A DE4006835A1 DE 4006835 A1 DE4006835 A1 DE 4006835A1 DE 19904006835 DE19904006835 DE 19904006835 DE 4006835 A DE4006835 A DE 4006835A DE 4006835 A1 DE4006835 A1 DE 4006835A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
errors
test specimen
test
positions
measured
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
DE19904006835
Other languages
English (en)
Inventor
Eugen Dr Ing Trapet
Franz Dr Ing Waeldele
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Individual
Original Assignee
Individual
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Individual filed Critical Individual
Priority to DE19904006835 priority Critical patent/DE4006835A1/de
Publication of DE4006835A1 publication Critical patent/DE4006835A1/de
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B21/00Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant
    • G01B21/02Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring length, width, or thickness
    • G01B21/04Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring length, width, or thickness by measuring coordinates of points
    • G01B21/042Calibration or calibration artifacts

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)

Description

Die Rückführbarkeit von Messungen mit Koordinatenmeßgeräten (KMG) auf die Einheit Länge ist auf elegantem Wege über Referenzobjekte, insbesondere zweidimensionale Prüfkörper, möglich. Eine Möglichkeit einer solchen Überwachungsmethode wird in dem Beitrag "Ein Kugelprüfkörper zur Überwachung von Koordinatenmeßgeräten" von H. J. Neumann in VDI-Berichte 751 (1989) beschrieben. Unter einem zweidimensionalen Prüfkörper wird dabei eine ebene Anordnung von Antastformelementen verstanden. Antastformelemente sind beispielsweise Zylinder oder Kugeln. Die durch Kalibrierung bekannten Positionen dieser Antastformelemente des Prüfkörpers werden mit dem zu prüfenden KMG nachgemessen. Die hierbei auftretenden Abweichungen zwischen den kalibrierten und gemessenen Positionen dienen in weiteren Auswertungen zur Beurteilung des KMG. Da die zu prüfenden KMG immer genauer werden und die zur Prüfung eingesetzten Meßmittel stets genauer sein müssen als das zu prüfende Gerät, ist die Kalibriergenauigkeit solcher Prüfkörper zur Zeit von entscheidender Bedeutung.
Für die Kalibrierung der Prüfkörper selbst werden heute praktisch ausschließlich KMG eingesetzt, mit denen die Positionen der Antastformelemente des Prüfkörpers bestimmt werden. Bekannte Kalibrierverfahren benutzen mehr oder weniger stark eingeschränkte Fehlermodelle für die KMG, auf denen die Prüfkörper gemessen werden, um so wenigstens einen Teil der systematischen Meßgerätefehler softwaremäßig zu eliminieren. Eine bekannte Methode, die in dem Beitrag "Zweidimensionale Prüfkörper zur Ermittlung der meßtechnischen Eigenschaften von KMG" von H. Kunzmann und F. Wäldele, Tagungsabend der Int. Tagung "Moderne Fertigung und Ferigungsmeßtechnik" (1986) TU Wien, vorgestellt wurde, ist die Zweistellungsmessung mit zwei um 90° gegeneinander um die Prüfkörpernormale gedrehten Meßstellungen. Bei dieser Methode ergibt sich in Verbindung mit den bekannten Auswerteverfahren keine Elimination der Geradheitsfehler und der rotatorischen Fehler des messenden KMG. Lediglich Rechtwinkligkeitsfehler zwischen den an der Messung beteiligten Meßgeräteachsen und relative Positionsfehler in den beiden Achsen werden eliminiert. Geradheitsfehler und rotatorische Fehler des Meßgeräts gehen daher in das Kalibrierergebnis für die Prüfkörper ein. Nur bei sehr hochwertigen oder gut numerisch korrigierten Meßgeräten können diese Fehler teilweise vernachlässigt werden. Zudem ist diese Methode vorteilhaft nur für quadratische Prüfkörper geeignet.
Erfindungsgemäß werden diese Nachteile durch eine Kalibrierung der Prüfkörper nach der Methode der Dreistellungsmessung vollkommen vermieden. Sämtliche Fehlerkomponenten des KMG einschließlich der relativen Maßstabsfehler werden bei dieser Methode eliminiert. Die absoluten Maßstabsfehler lassen sich grundsätzlich durch eindimensionale Messungen der Abstände der Antastformelemente in je einer gleichorientierten Reihe der Formelemente bestimmen (s. Anspruch 3).
Bei der Dreistellungsmethode werden die Positionen der Antastformelemente in drei bestimmten Lagen des Prüfkörpers im Meßvolumen des KMG ermittelt. Die dazu notwendigen und möglichen Meßstellungen sind im folgenden aufgeführt. Man geht hierbei davon aus, daß die Ausgangslage (im folgenden als 0°-Lage bezeichnet) willkürlich gewählt wird und der Prüfkörper ein quadratisches Raster von Antastformelementen besitzt. Die Antastformelemente bzw. deren Mittelpunkte müssen bei Drehung und Klappung des Prüfkörpers ineinander übergehen. Eine weitere wichtige Voraussetzung besteht darin, daß der zweidimensionale Prüfkörper von beiden Seiten aus antastbare Formelemente besitzt (z. B. Lochplatte oder Kugelplatte mit Kugeln in der neutralen Ebene, s. o. a. Beitrag von H. J. Neumann).
Tabelle der möglichen Prüfkörperstellungen (Dreistellungsmethode)
Die Dreistellungsmethode eignet sich sowohl für die Kalibrierung von quadratischen als auch von rechteckigen Prüfkörpern.
Bereits die Messung des Prüfkörpers in nur zwei Stellungen erlaubt bei Anwendung einer der beiden hier beschriebenen Auswertemethoden eine Elimination von mehr Fehleranteilen als bei den bisher bekannten Verfahren. Einschränkend wird hierbei vorausgesetzt, daß die Anteile der Gier-, Nick- und Geradheitsfehler symmetrisch bezüglich der jeweiligen Verfahrrichtung des KMG verlaufen. Folgende Stellungskombinationen sind bei beliebig gewählter Ausgangslage möglich:
Tabelle der möglichen Prüfkörperstellungen (Zweistellungsmethode)
Die Stellungskombinationen 1 und 2 eignen sich speziell für quadratische Platten, die nur von einer Seite aus antastbare Formelemente aufzuweisen brauchen. Dagegen können die Kombinationen 3 und 4 auch für rechteckige Prüfkörper eingesetzt werden, deren Antastformelemente jedoch von beiden Seiten antastbar sein müssen.
Prinzipiell existieren zwei Auswertemethoden. Die erste Methode basiert auf der Annahme, daß sich die Prüfkörperkoordinaten uP und vP (Fig. 1) entsprechend den an den Meßorten vorliegenden KMG-Fehlern (Position, Rechtwinkligkeit, Gieren, Geradheit) verfälschen. Nach einer Mehrfachmessung der Positionen (Kugel- oder Bohrungsmittelpunkte) sämtlicher Antastformelemente des Prüfkörpers in einer der oben aufgeführten Stellungskombinationen wird ein allgemeiner Ausgleich durchgeführt. Die Ausgleichsrechnung liefert die gesuchten, von den systematischen Fehlern des KMG befreiten Positionen der Antastformelemente. Außerdem stehen auch die Werte der Fehler des KMG an den Stützstellen (d. h. Positionen der Antastformelemente) des Prüfkörpers zur Verfügung.
Bei der zweiten Auswertemethode werden den Positionen der Antastformelemente rein formal die gleichen Fehlerfreiheitsgrade (Abweichungsverläufe in der VM- und UM-Achse des KMG nach Fig. 1) zugeordnet wie dem KMG. Nun lassen sich die Messungen als Superposition von einander entsprechenden KMG- und Prüfkörperfehlern darstellen. Gemessen werden dabei immer "Prüfkörperfehler minus KMG-Fehler", Eine geeignete Kombination von Prüfkörperstellungen (eine der oben aufgelisteten) erlaubt dann wegen der dabei auftretenden unterschiedlichen Kombinationen der Vorzeichen von Prüfkörper- und KMG-Fehlern deren Separierung. Fig. 1 zeigt beispielhaft die Stellungskombination 1 mit der 0°-Stellung, der 90°-Drehung und der Klappung des Prüfkörpers um die 45°-Diagonale mit den entsprechenden Fehlerüberlagerungen. In Fig. 1 bedeuten: Δ=Differenz (Meßwerte), ϕ=Rechtwinkligkeitsfehler, R=Gierwinkel (Drehung um die W-Achse), P=Positions- bzw. Geradheitsfehler, der Index P weist auf den Prüfkörper und der Index M auf das KMG hin, die Indices U und V bezeichnen die Vektorkomponenten der Fehler, a und b sind die max. Abstände der Antastformelemente in der U- bzw. V-Achse des Prüfkörpers. Aus den Überlagerungen der Fehlerfunktionen lassen sich die KMG-Fehler vollständig bestimmen. Sie lassen sich somit aus den ursprünglichen Messungen eliminieren, so daß sich die fehlerfreien Positionen der Antastformelemente ergeben. Die formalen Komponentenfehler des Prüfkörpers sind nun nicht mehr zu deren Beschreibung erforderlich.
Beispielhaft soll im folgenden für die beiden Fehlerkomponenten Rechtwinkligkeit und Gierwinkel der Ermittlung der entsprechenden Fehlerkomponenten des KMG gezeigt werden:
Rechtwinkligkeitsfehler
0°-Stellung
Δϕ₀ = ϕP - ϕM
90°-Stellung
Δϕ₉₀ = -ϕP - ϕM
Durch Addition beider Gleichungen erhält man den Rechtwinkligkeitsfehler des KMG zu
ϕM = -0,5 (Δϕ₀ + Δϕ₉₀) .
Die Bestimmung des Rechtwinkligkeitfehler bedarf also nur der Messung des Prüfkörpers in zwei Stellungen. Ebenso hätte man auch die Fehlerüberlagerungen von zwei anderen Stellungen kombinieren können.
Gierwinkelfehler
0°-Stellung
ΔR(U)₀ = R(U)P - R(U)M (1)
ΔR(V)₀ = R(V)P - R(V)M (2)
90°-Stellung
ΔR(U)₉₀ = -R(V)P - R(U)M (3)
ΔR(V)₉₀ = -R(U)P - R(V)M (4)
45°-Klappung
ΔR(U)₄₅ = R(V)P - R(U)M (5)
ΔR(V)₄₅ = R(U)P - R(V)M (6)
Durch Addition der Gl. 3 und 5 erhält man den Gierwinkel der U-Achse des KMG zu
R(U)M = -0,5 (ΔR(U)₉₀ + ΔR(U)₄₅) .
Setzt man diesen Gierwinkel in Gl. (1) ein, kann man den fiktiven Gierwinkel R(U)p des Prüfkörpers in dessen U-Achse bestimmen. Mit Gl. 6 läßt sich dann der Gierwinkel der V-Achse des KMG berechnen:
R(V)M = ΔR(U)₀ - [0,5 (ΔR(U)₉₀ + ΔR(U)₄₅)] - ΔR(V)₄₅ .
Erlaubt man, daß der Prüfkörper in vier Stellungen gemessen wird, ergibt sich ein interessanter Sonderfall, bei dem durch einfache Mittelwertbildung der aus den vier Messungen erhaltenen Prüfkörperkoordinaten sämtliche Gerätefehler eliminiert werden. Die Absolutmessung der Abstände der Antastformelemente muß wieder in einer Zeile und Spalte zum Anschluß an die Längeneinheit separat durchgeführt werden. Diese Vierstellungsmethode besteht aus der Kombination:
Man findet hierfür den Beweis, indem man für diese vier Stellungen die Summe aller Fehlerkomponenten für den Prüfkörper und das KMG bildet. Dabei kompensieren sich, je nach gewähltem Bezugssystem (Werkstück oder Maschine), entweder die Fehlerkomponenten für das KMG oder die für den Prüfkörper zu Null.

Claims (3)

1. Kalibrierverfahren für zweidimensionale oder aus zweidimensionalen Elementen zusammengesetzte Prüfkörper, dessen Antastformelemente von beiden Seiten des Prüfkörpers antastbar sein müssen, welches alle in der Ebene wirksamen Führungsfehler des Meßgeräts (Koordinatenmeßgerät), auf dem der Prüfkörper kalibriert wird, eliminiert, dadurch gekennzeichnet, daß der Prüfkörper in mindestens drei ausgesuchten Stellungen gemessen wird.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Prüfkörper, dessen Antastformelemente nur von einer Seite des Prüfkörpers aus antastbar zu sein brauchen, in zwei ausgesuchten Stellungen gemessen wird, welches Rechtwinkligkeitsfehler, relative Positionsfehler und diejenigen Anteile der Gier-, Nick- und Geradheitsfehler eliminiert, welche symmetrisch bezüglich der jeweiligen Verfahrrichtung des Meßgeräts sind.
3. Verfahren nach Anspruch 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Anschluß an die Einheit Länge in beiden Koordinatenrichtungen des Prüfkörpers durch mindestens jeweils eine Messung mittels Interferometer oder vergleichbarem Referenzsystem für gleichorientierte Reihen von Antastformelementen geschieht, um Auswirkungen von Driften während der Mehrstellungsmessungen zu verringern.
DE19904006835 1990-03-05 1990-03-05 Verfahren zur kalibrierung von zweidimensionalen pruefkoerpern mit elimination systematischer fehler des messgeraets Withdrawn DE4006835A1 (de)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19904006835 DE4006835A1 (de) 1990-03-05 1990-03-05 Verfahren zur kalibrierung von zweidimensionalen pruefkoerpern mit elimination systematischer fehler des messgeraets

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19904006835 DE4006835A1 (de) 1990-03-05 1990-03-05 Verfahren zur kalibrierung von zweidimensionalen pruefkoerpern mit elimination systematischer fehler des messgeraets

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE4006835A1 true DE4006835A1 (de) 1991-09-12

Family

ID=6401429

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19904006835 Withdrawn DE4006835A1 (de) 1990-03-05 1990-03-05 Verfahren zur kalibrierung von zweidimensionalen pruefkoerpern mit elimination systematischer fehler des messgeraets

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE4006835A1 (de)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1999008070A1 (de) * 1997-08-11 1999-02-18 Leica Microsystems Wetzlar Gmbh Verfahren zur korrektur der messfehler einer koordinaten-messmaschine
DE19755608B4 (de) * 1997-12-15 2012-12-06 Volkswagen Ag Verwendung einer Vorrichtung und Verfahren zur Kalibrierung eines Maßstabs
CN103234496A (zh) * 2013-03-28 2013-08-07 中国计量学院 一种三坐标测量机二维平台误差的高精度校正方法
CN110455180A (zh) * 2019-06-26 2019-11-15 成都新西旺自动化科技有限公司 一种针对多自由度二维调节机构的全路径精度校准方法及系统

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1999008070A1 (de) * 1997-08-11 1999-02-18 Leica Microsystems Wetzlar Gmbh Verfahren zur korrektur der messfehler einer koordinaten-messmaschine
DE19755608B4 (de) * 1997-12-15 2012-12-06 Volkswagen Ag Verwendung einer Vorrichtung und Verfahren zur Kalibrierung eines Maßstabs
CN103234496A (zh) * 2013-03-28 2013-08-07 中国计量学院 一种三坐标测量机二维平台误差的高精度校正方法
CN103234496B (zh) * 2013-03-28 2015-09-30 中国计量学院 一种三坐标测量机二维平台误差的高精度校正方法
CN110455180A (zh) * 2019-06-26 2019-11-15 成都新西旺自动化科技有限公司 一种针对多自由度二维调节机构的全路径精度校准方法及系统
CN110455180B (zh) * 2019-06-26 2021-03-05 成都新西旺自动化科技有限公司 一种针对多自由度二维调节机构的全路径精度校准方法及系统

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE69213749T2 (de) Verfahren und vorrichtung zur punktualmessung von raumkoordinaten
EP0684447B1 (de) Koordinatenmessung an Werkstücken mit einer Korrektur des durch die Messkraft abhängigen Biegeverhaltens des Koordinatenmessgerätes
DE60126900T2 (de) Verfahren zur evaluation einer fehlerposition für ein bewegliches objekt und verbesserung der bewegungsgenauigkeit auf grundlage des gefundenen resultates
EP0078984B1 (de) Verfahren zur Kalibrierung von Taststiften an Mehrkoordinaten-Messmaschinen
DE60311527T3 (de) Werkstückinspektionsverfahren und vorrichtung
DE3714862C2 (de)
EP2776785B1 (de) Vorbereitung des betriebes eines taktil antastenden koordinatenmessgeräts
DE10339194B4 (de) Verfahren zur Ermittlung systematischer geometrischer Abweichungen in technischen Mehrkörpersystemen
EP1393012B1 (de) Verfahren zum bestimmen von eigenschaften eines koordinatenmessgeräts sowie testobjekt hierzu
EP0362626A2 (de) Prüfkörper für Koordinatenmessgeräte
EP1285224A1 (de) Verfahren und vorrichtung zum bestimmen der 3d-form eines objektes
DE102015205567A1 (de) Kalibrierung einer an einem beweglichen Teil eines Koordinatenmessgeräts angebrachten Drehvorrichtung
EP1528353A1 (de) Verfahren zur Kalibrierung eines 3D-Messgerätes
DE19921325A1 (de) Kalibriervorrichtung für einen parallelkinematischen Manipulator
EP0563058B1 (de) Verfahren und lagegeber zur lagebestimmung eines positionierkörpers relativ zu einem bezugskörper
DE102008024444A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Kalibrieren eines Koordinatenmessgerätes
WO2008107057A2 (de) Verfahren und vorrichtung zum bestimmen von geometriedaten eines konischen messobjekts
DE10048096A1 (de) Verfahren zur Kalibrierung eines messenden Sensors auf einem Koordinatenmeßgerät
DE4325602C1 (de) Verfahren zum taktilen Vermessen von Werkstücken
DE4006835A1 (de) Verfahren zur kalibrierung von zweidimensionalen pruefkoerpern mit elimination systematischer fehler des messgeraets
DE102011053117B4 (de) Verfahren zum Kalibrieren eines Taststiftes eines Koordinatenmessgerätes sowie zur Korrektur von Messergebnissen
DE102017119488B9 (de) Verfahren zum Bestimmen der Summenteilungsabweichungen von Positionsverkörperungen eines Werkstücks mit einer Kreisteilung
DE19733711B4 (de) Verfahren zur Aufnahme und/oder Überprüfung der geometrischen Abweichungen der Z-Achse eines Koordinatenmeßgerätes
DE10328640B4 (de) Messanordnung zur Prüfung der Arbeitsgenauigkeit einer Maschine
WO2005050133A1 (de) Verfahren zum automatischen messen mit koordinatenmessgeräten

Legal Events

Date Code Title Description
8139 Disposal/non-payment of the annual fee