DE4003048A1 - Diaphragm force or pressure transducer - Google Patents
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Abstract
Description
Die Erfindung betrifft eine Meßzelle zum Messen eines Druckes bzw. einer Kraft mit den oberbegrifflichen Merkmalen des Patentanspruches 1.The invention relates to a measuring cell for measuring a pressure or a force with the generic characteristics of Claim 1.
Eine derartige Meßzelle für hohe Drücke ist aus der EP-A-02 55 084 bekannt, wobei in einem stabilen, starren Topfgehäuse mit einer Vertiefung ein Meßkolben eingesetzt ist und mit der zylindrischen Innenwand der Vertiefung einen engen Ringspalt ausbildet. Der Ringspalt und der Bodenbereich des Topfgehäuses sind mit elastomerem, blasenfreiem Material ausgefüllt, das in Kontakt mit einem Drucksensor steht. Der Sensor kann dabei in einer Ausführungsform vollständig in dem Elastomer eingebettet sein, während bei einer zweiten Ausführungsform nur die Druckeinleitungsfläche des an der Unterseite eingebauten Drucksensors mit dem Elastomer durch eine zentrale Öffnung im Topfgehäuse in Verbindung steht.Such a measuring cell for high pressures is from the EP-A-02 55 084 known, being in a stable, rigid Pot housing with a recess a volumetric flask is inserted and a narrow one with the cylindrical inner wall of the depression Forms annular gap. The annular gap and the bottom area of the Pot housings are made with elastomeric, bubble-free material filled out, which is in contact with a pressure sensor. The In one embodiment, the sensor can completely in the Elastomer embedded while a second Embodiment only the pressure introduction surface of the Built-in pressure sensor with the elastomer through a bottom central opening in the pot housing is connected.
Beide Anordnungsmöglichkeiten des Meßsensors sind jedoch relativ aufwendig, da im Boden des Topfgehäuses entweder Durchgangsbohrungen für die Anschlußdrähte des eingebetteten Drucksensors vorgesehen sein müssen oder eine zentrale Öffnung im Boden des Topfgehäuses hergestellt werden muß, und zudem der Drucksensor von unten her durch einen Spannring an dem Topfgehäuse angeflanscht werden muß.However, both possible arrangements of the measuring sensor are relative elaborate because either in the bottom of the pot housing Through holes for the connecting wires of the embedded Pressure sensor must be provided or a central opening must be made in the bottom of the pot housing, and also the Pressure sensor from below through a clamping ring on the The pot housing must be flanged.
Der Drucksensor ist bevorzugt als keramischer Drucksensor ausgebildet, wobei eine Keramikmembran auf mechanische Biegespannung beansprucht wird und darauf bevorzugt mit Dickschichttechnologie hergestellte Meßwiderstände einer DMS- Brückenschaltung in eine elektrische Meßgröße umwandelt. Auch das Topfgehäuse kann dabei aus Keramik hergestellt werden, jedoch ist die Anbringung bzw. Unterbringung des Sensors, wie oben dargestellt, innerhalb bzw. an dem Topfgehäuse sehr umständlich. Zudem sind die in dem Topfgehäuse vorhandenen Durchlaßöffnungen sehr sorgfältig abzudichten, um bei extremen Belastungen ein Austreten des Elastomers zu verhindern. Somit sind neben der zusätzlichen Bearbeitung des Topfgehäuses weitere Maßnahmen zum exakten Anschluß des Druckmeßsensors am Gehäuse notwendig.The pressure sensor is preferably a ceramic pressure sensor formed, a ceramic membrane on mechanical Bending stress is claimed and preferably with Thick-film technology manufactured measuring resistors of a strain gauge Bridge circuit converted into an electrical measured variable. Also the pot housing can be made of ceramic, however, the attachment of the sensor is like shown above, very inside or on the pot housing laborious. In addition, there are those in the pot housing Seal through openings very carefully in order to withstand extreme To prevent the elastomer from escaping. Consequently are additional to the additional processing of the pot housing Measures for the exact connection of the pressure measuring sensor to the housing necessary.
Ähnliches gilt für die Kraftmeßeinrichtung gemäß der Ep-A-01 45 001, bei der ebenfalls ein Meßsensor, hier für die eingeleitete Kraft, im Bodenbereich eines topfförmigen Gehäuses eingebettet ist. Bei der Herstellung der Meßeinrichtung, insbesondere beim Einfüllen des elastomeren Materials, sind diese Meßsensoren schwierig zu positionieren, und es entsteht ein erheblicher Mehraufwand für die Kabeldurchführung aus dem Topfgehäuse.The same applies to the force measuring device according to the Ep-A-01 45 001, in which also a measuring sensor, here for the initiated force, in the bottom area of a pot-shaped housing is embedded. When manufacturing the measuring device, especially when filling the elastomeric material difficult to position these measuring sensors, and it arises a considerable additional effort for the cable entry from the Pot housing.
Demzufolge liegt der Erfindung die Aufgabe zugrunde, eine Meßzelle der oben genannten Art zu schaffen, die möglichst einfach herstellbar ist.Accordingly, the invention is based on the object Measuring cell of the above type to create the most possible is easy to manufacture.
Diese Aufgabe wird gelöst durch die Meßzelle mit den Merkmalen des Patentanspruchs 1.This task is solved by the measuring cell with the features of claim 1.
Durch die Ausbildung des Bodens des Topfgehäuses als Meßmembran wird ein gesonderter Anbau eines Meßsensors oder eine Einbettung eines Meßsensors innerhalb des Topfgehäuses vermieden. Vielmehr bildet der Boden des Topfgehäuses zugleich die Membran des Meßsensors. Damit werden zusätzliche Bauteile und Durchgangsöffnungen aus dem Topfgehäuse vermieden, so daß sich eine äußerst einfache Herstellung ergibt. Zudem werden Abdichtungsprobleme an Grenzflächen vermieden, da durch die einstückige Ausbildung der Membran integral mit dem Topfgehäuse keinerlei Anschlußflächen vorhanden sind.By designing the bottom of the pot housing as a measuring membrane becomes a separate attachment of a measuring sensor or an embedding a measuring sensor avoided within the pot housing. Much more the bottom of the pot housing also forms the membrane of the Measuring sensor. This means that additional components and Avoid through holes from the pot housing, so that results in an extremely simple production. In addition Sealing problems at interfaces avoided because of the integral design of the membrane integral with the pot housing there are no connection surfaces.
In bevorzugter Ausgestaltung weist der Meßkolben eine flächengrößere Druckeinleitungsplatte auf, so daß für kleinere Drücke eine größere Angriffsfläche und damit eine Übersetzung erreicht wird.In a preferred embodiment, the volumetric flask has a area larger pressure introduction plate, so that for smaller Press a larger target and thus a translation is achieved.
Weiterhin ist von Vorteil, daß die auf der Meßmembran aufgebrachten Meßwiderstände, die bevorzugt in einer Brückenschaltung ausgeführt sind, sehr hochohmig sind, so daß in der Auswerteschaltung nur ein sehr geringer Stromverbrauch erfolgt. Damit eignen sich derartige Meßzellen zur kontinuierlichen Drucküberwachung beispielsweise in Tankmeßeinrichtungen, beispielsweise für die laufende Überwachung der Entnahmemenge in einem Heizöltank für eine Wohnungsheizung.Another advantage is that the on the measuring membrane applied measuring resistors, preferably in a Bridge circuit are very high impedance, so that in the evaluation circuit only a very low power consumption he follows. Such measuring cells are thus suitable for continuous pressure monitoring, for example in Tank gauges, for example for the current Monitoring the withdrawal quantity in a heating oil tank for one Home heating.
Weitere vorteilhafte Ausgestaltungen sind Gegenstand der Unteransprüche und werden nachfolgend anhand zweier Ausführungsbeispiele in der Zeichnung näher erläutert und beschrieben. Es zeigenFurther advantageous embodiments are the subject of Subclaims and are based on two Embodiments explained in more detail in the drawing and described. Show it
Fig. 1 eine Schnittdarstellung einer Meßzelle; Figure 1 is a sectional view of a measuring cell.
Fig. 2 eine Unteransicht gemäß Fig. 1; FIG. 2 is a bottom view according to FIG. 1;
Fig. 3 eine zweite Ausführungsform der Meßzelle gemäß Fig. 1. Fig. 3 shows a second embodiment of the measurement cell of FIG. 1.
Fig. 4 eine abgewandelte Ausführungsform der Meßzelle gemäß Fig. 3 Fig. 4 shows a modified embodiment of the measuring cell of Fig. 3
Fig. 5 eine Anwendung der Meßzelle gemäß Fig. 4 Fig. 5 according to an application of the measuring cell Fig. 4
In Fig. 1 ist eine Meßzelle 1 im Querschnitt dargestellt, die sich zum Messen eines Druckes oder einer Kraft eignet. In einem Topfgehäuse 2, das aus keramischem Material hergestellt ist, ist unter Bildung eines Ringspaltes 4 ein Meßkolben 3 eingesetzt. Der Ringspalt 4 ist dabei mit einigen Millimetern sehr eng, jedoch hier der Übersichtlichkeit wegen größer dargestellt. Das Topfgehäuse 2 ist einstückig ausgebildet, wobei jedoch folgende Bereiche zu unterscheiden sind: An einem Einspannring 2a kann die Befestigung des Topfgehäuses 2 derart erfolgen, daß Einspannkräfte nicht auf die kraft- oder druckmessenden Teile übertragen werden und somit Meßwertverfälschungen verursachen könnten. Hieran schließt sich ein relativ dünnwandiger Ringbereich 2b an, der im wesentlichen mit der Außenfläche des Meßkolbens 3 den Ringspalt 4 ausbildet, der mit elastomerem Material 5, beispielsweise Silikongummi oder Naturkautschuk gefüllt ist. Hieran schließt sich ein Versteifungsring 2c an, der zur Lagerung einer wiederum relativ dünnwandigen Membran 2d dient. Die Membran 2d steht in der zum Meßkolben 3 gewandten Seite in unmittelbarem Kontakt mit dem Elastomer 5, so daß durch den Meßkolben 3 eingeleitete Kräfte oder ein den Meßkolben 3 beaufschlagender Druck praktisch reibungsfrei und proportional auf die Membran 2d weitergeleitet wird. Entsprechend der Belastung verformt sich die Membran 2d geringfügig, wobei die Belastungswerte Widerstandsänderungen an Meßwiderständen 6 hervorrufen, die an der gegenüberliegenden, hier unteren Seite des Topfgehäuses 2, beispielsweise als Dickschicht-Widerstände im Siebdruckverfahren aufgebracht sind.In Fig. 1, a measuring cell 1 is shown in cross section, which is suitable for measuring a pressure or a force. In a pot housing 2 , which is made of ceramic material, a volumetric flask 3 is inserted to form an annular gap 4 . The annular gap 4 is very narrow at a few millimeters, but is shown larger here for the sake of clarity. The pot-shaped housing 2 is formed integrally, wherein however, the following ranges can be distinguished: In a clamping ring 2a the attachment of the pot-shaped housing 2 may be such that clamping forces are not transmitted to the force or pressure measuring parts, and could therefore cause measured value falsifications. This is followed by a relatively thin-walled ring region 2 b, which essentially forms the annular gap 4 with the outer surface of the measuring piston 3 , which is filled with elastomeric material 5 , for example silicone rubber or natural rubber. This is followed by a stiffening ring 2 c, which in turn serves to support a relatively thin-walled membrane 2 d. The membrane 2 d is in direct contact with the elastomer 5 in the side facing the measuring piston 3 , so that forces introduced by the measuring piston 3 or a pressure acting on the measuring piston 3 is passed on to the membrane 2 d practically without friction and proportionally. The membrane 2 d deforms slightly in accordance with the load, the load values causing changes in resistance at measuring resistors 6 which are applied to the opposite, here lower side of the pot housing 2 , for example as thick-film resistors in the screen printing process.
Wie in Fig. 2 dargestellt, sind die hier zur Darstellung des Siebdruckverfahrens schraffiert gezeichneten Meßwiderstände 6 als Brückenschaltung ausgeführt, wobei die Widerstandsänderungen bei Belastung des Meßkolbens 3 und damit der Membran 2d über Kontakte 7 an eine an sich bekannte Auswerteschaltung 17 (vgl. Fig. 4) weitergeleitet werden.As shown in Fig. 2, the drawn Meßwiderstände here hatched for illustration of the screen printing process 6 executed as a bridge circuit, the resistance changes in loading of the measuring piston 3 and the diaphragm 2 d through contacts 7 of a known evaluation circuit 17 (cf. Fig. be forwarded. 4).
Das Topfgehäuse 2 ist weiterhin von einem Lagerring 8 umgeben, so daß die Membran 2d zusammen mit den Meßwiderständen 6 bei Belastung nicht auf eine Auflagerfläche aufsteht.The pot housing 2 is also surrounded by a bearing ring 8 , so that the membrane 2 d together with the measuring resistors 6 does not stand on a bearing surface under load.
Der Lagerring 8 und das Topfgehäuse 2 können in bevorzugter Ausbildung auch einstückig als ein Keramikbauteil ausgeführt sein, so daß die Trennfläche zwischen dem Lagerring 8 und dem Einspannring 2a entfällt. Zur Herstellung der erfindungsgemäßen Meßzelle, insbesondere der Füllung des Ringspaltes 4 mit elastomerem Material 5 wird ein Verfahren verwendet, wie es in der EP-A-01 45 001 ausführlich beschrieben ist. Zur Herstellung des keramischen Topfgehäuses 2 zusammen mit der Membran 2d wird dieses Bauteil zunächst aus ungebranntem keramischem Material, z. B. Al₂O₃ geformt und anschließend zu dem einstückigen Topfgehäuse 2 gebrannt. Geeignete Materialien, Brenntemperaturen und Verfahrensschritte sind beispielsweise in der DE-A-38 17 695 angegeben.In a preferred embodiment, the bearing ring 8 and the pot housing 2 can also be made in one piece as a ceramic component, so that the separating surface between the bearing ring 8 and the clamping ring 2 a is omitted. For the production of the measuring cell according to the invention, in particular the filling of the annular gap 4 with elastomeric material 5 , a method is used as described in detail in EP-A-01 45 001. To produce the ceramic pot housing 2 together with the membrane 2 d, this component is first made of unfired ceramic material, for. B. Al₂O₃ shaped and then fired to the one-piece pot housing 2 . Suitable materials, firing temperatures and process steps are given, for example, in DE-A-38 17 695.
In Fig. 3 ist eine zweite Ausführungsform der Meßzelle 1 dargestellt, wobei gegenüber der Meßzelle 1 gemäß der Fig. 1 auf dem Meßkolben 3 eine großflächige Druckeinleitungsplatte 10 vorgesehen ist, die eine wesentlich großere Angriffsfläche als der Meßkolben 3 aufweist. Damit ist diese Ausführung insbesondere für niedrigere Drücke bzw. geringe Druckunterschiede geeignet, da durch die Flächenverhältnisse eine Übersetzung des angreifenden Druckes p im Bereich von etwa 1 : 50 erfolgt. Bevorzugt ist die Druckeinleitungsplatte 10 einstückig mit dem Meßkolben 3 ausgebildet, jedoch kann auch die Druckeinleitungsplatte 10 auf den Meßkolben 3 der Ausführung nach Fig. 1 aufgesetzt und miteinander verschraubt werden, indem ein sog. Krafteinleitungsknopf 9 durch die Druckeinleitungsplatte 10 ersetzt wird. FIG. 3 shows a second embodiment of the measuring cell 1 , with a large-area pressure introduction plate 10 being provided on the measuring piston 3 compared to the measuring cell 1 according to FIG. 1, which has a much larger contact surface than the measuring piston 3 . This design is therefore particularly suitable for lower pressures or low pressure differences, since the area ratios translate the attacking pressure p in the range of approximately 1:50. The pressure introduction plate 10 is preferably formed in one piece with the measuring piston 3 , but the pressure introduction plate 10 can also be placed on the measuring piston 3 of the embodiment according to FIG. 1 and screwed together by replacing a so-called force introduction button 9 with the pressure introduction plate 10 .
Am Umfang der Druckeinleitungsplatte 10 ist ein zweiter Ringspalt 11 vorgesehen, der ebenfalls mit elastomerem Material 5 gefüllt ist und nach außen durch einen Gehäusering 13 begrenzt ist. Der Gehäusering 13 kann mit dem Topfgehäuse 2 ebenfalls einstückig ausgeführt sein, wie dies in der linken Hälfte dargestellt ist, während rechts die zweistückige Ausführung dargestellt ist, wobei der Gehäusering 13 gegenüber dem Einspannring 2a des Topfgehäuses 2 mittels einer Dichtung 14 abgedichtet ist. Zwischen dem ersten Ringspalt 4 und dem zweiten Ringspalt 11 ist ein Hohlraum ausgebildet, der beispielsweise mit der beim Füllen mit elastomerem Material 5 verbleibenden Luft gefüllt ist. Hierdurch bildet sich ein Gaspolster 12 aus, das die geringfügige Bewegung des Meßkolbens 3 bzw. der Druckeinleitungsplatte 10 bei Belastung nicht behindert und ggf. dämpft.A second annular gap 11 is provided on the circumference of the pressure introduction plate 10 , which is also filled with elastomeric material 5 and is delimited on the outside by a housing ring 13 . The housing ring 13 may be carried out with the cup-shaped housing 2 is also integrally, as shown in the left half, while on the right the two-piece embodiment is shown, wherein the casing ring is sealed 13 relative to the clamping ring 2a of the barrel casing 2 by a seal fourteenth A cavity is formed between the first annular gap 4 and the second annular gap 11 , which cavity is filled, for example, with the air remaining when it is filled with elastomeric material 5 . This forms a gas cushion 12 which does not hinder and possibly dampens the slight movement of the measuring piston 3 or the pressure introduction plate 10 when loaded.
Andererseits kann jedoch für sehr hohe Kräfte die Druckeinleitungsplatte 10 auch mit einer kleineren Fläche als der Meßkolben 3 ausgeführt werden, so daß sich für hohe Drücke eine Untersetzung ergibt. Dementsprechend wäre wurde der Durchmesser des Gehäuseringes 13 entsprechend kleiner gewählt, so daß der zweite Ringspalt 11 dann einen kleineren Durchmesser als der erste Ringspalt 4 aufweist. In diesem Falle wäre zur Einfügung des Meßkolbens 3 eine Teilung zwischen dem Einspannring 2a und dem Gehäusering 13 ohnehin erforderlich. On the other hand, however, the pressure introduction plate 10 can also be designed with a smaller area than the measuring piston 3 for very high forces, so that there is a reduction for high pressures. Accordingly, the diameter of the housing ring 13 would have been chosen to be correspondingly smaller, so that the second annular gap 11 then has a smaller diameter than the first annular gap 4 . In this case, a division between the clamping ring 2 a and the housing ring 13 would be required anyway for the insertion of the measuring piston 3 .
Bevorzugt ist das Topfgehäuse 2 mit der Membran 2d und dem Gehäusering 13 einstückig, ggf. zusammen mit dem Lagerring 8, aus Keramik hergestellt werden, wie dies in der linken Hälfte der Fig. 3 dargestellt ist, so daß sich ein Minimum an Bauteilen ergibt.The pot housing 2 with the membrane 2 d and the housing ring 13 is preferably made in one piece, possibly together with the bearing ring 8 , from ceramic, as is shown in the left half of FIG. 3, so that there is a minimum of components .
Diese Ausführungsform mit großflächiger Druckeinleitungsplatte 10 eignet sich insbesondere für geringfügige Druckunterschiede oder niedrigere Absolutdrücke. Die Meßzelle 1 eignet sich dabei sowohl zum Erfassen eines Druckes als auch zum Messen einer Kraft, so daß diese Meßzelle für vielfältige Zwecke verwendet werden kann, beispielsweise kann sie in Haushaltswaagen eingebaut werden oder in Heizöltanks (vgl. Fig. 5), um die Flüssigkeitssäule zu erfassen, wobei durch die hohe Ansprechgenauigkeit eine kontinuierliche Verbrauchsmessung möglich ist. Andererseits eignet sich diese Ausführung auch für hohe Drücke, wobei durch die Übersetzung mittels der unterschiedlichen Flächen die Fläche der Membran 2d im Bodenbereich des Topfgehäuses sehr klein ist. Dadurch ist die Membran 2d sehr stabil und gegenüber großflächigen Membranen extrem belastbar.This embodiment with a large-area pressure introduction plate 10 is particularly suitable for slight pressure differences or lower absolute pressures. The measuring cell 1 is suitable both for detecting a pressure and for measuring a force, so that this measuring cell can be used for a variety of purposes, for example it can be installed in household scales or in heating oil tanks (see FIG. 5) around the liquid column to be recorded, a continuous consumption measurement being possible due to the high response accuracy. On the other hand, this version is also suitable for high pressures, the area of the membrane 2 d in the bottom region of the pot housing being very small due to the translation by means of the different areas. This makes membrane 2 d very stable and extremely resilient to large-area membranes.
Von Bedeutung ist ferner die plane Unterseite des Topfgehäuses 2, so daß diese vor Aufbringen der Meßwiderstände 6 bearbeitet werden kann und dann die Meßwiderstände 6 und zugehörige elektrische Bauelemente direkt auf diese Unterseite in einfacher Weise aufgebracht z. B. aufgedruckt werden können.Also of importance is the flat underside of the pot housing 2 , so that it can be processed before the measuring resistors 6 are applied, and then the measuring resistors 6 and associated electrical components are directly applied to this underside in a simple manner, for. B. can be printed.
In Fig. 4 ist eine abgewandelte Ausführung der Meßzelle nach Fig. 3 dargestellt, wobei anstatt des zweiten Ringspaltes 11 für die Druckeinleitungsplatte 10 letztere durch dünnwandige, eine geringe Vertikalbewegung ermöglichende Ringbereiche 10a mit einem Tragring 10b einstückig verbunden ist. Erhöhungen 2e des Topfgehäuses 2 können dabei als Begrenzungsanschlag und Zentrierung dienen. Der Tragring 10b ist starr mit dem Topfgehäuse 2, z. B. mit einer Glasfritte oder einem Lot verbunden. In FIG. 4, a modified embodiment of the measuring cell of Fig. 3 is illustrated, wherein instead of the second annular gap 11 the latter for the introduction of pressure plate 10 is a b by thin-walled, low vertical movement enabling ring regions 10 with a support ring 10 connected integrally. Elevations 2 e of the pot housing 2 can serve as a limit stop and centering. The support ring 10 b is rigid with the pot housing 2 , for. B. connected to a glass frit or a solder.
Bevorzugt ist die Druckeinleitungsplatte 10 zusammen mit dem Meßkolben 3 hergestellt, wobei dieses Bauteil dann im ungebrannten (grünen) Zustand auf das ebenfalls ungebrannte Topfgehäuse 2 aufgesetzt wird und zusammen mit einem Fertigteil gesintert. Hierdurch ergibt sich eine Fertigungsvereinfachung und eine absolut dichte Übergangsfläche zwischen Topfgehäuse 2 und Tragring 10b.The pressure introduction plate 10 is preferably produced together with the measuring piston 3 , this component then being placed in the unfired (green) state on the likewise unfired pot housing 2 and sintered together with a finished part. This results in a simplification of production and an absolutely tight transition surface between the pot housing 2 and support ring 10 b.
Zum Einbringen des Elastomers 5 in den Ringspalt 4 am Meßkolben 3 ist hier eine Stichbohrung 15 vorgesehen, die vor dem Vulkanisieren des Elastomers 5 verschlossen wird. Die verbleibende Luft bildet dabei das Gaspolster 12. Auf die plane Unterseite des Topfgehäuses 2 kann neben den Meßwiderständen 6 auch eine zugeordnete Auswerteschaltung 16 unmittelbar auf die Keramik aufgebracht werden und mit einer Abdeckung 19 hermetisch verschlossen werden. Zur Übertragung des Druck- bzw. Kraftsignals an der Membran 2d ist ein Kabel 17 von der Auswerteschaltung 16 durch ein Rohr 18 nach außen geführt, das abgedichtet in der Abdeckung 19 befestigt ist. Das Rohr 18 dient dabei als Kabelführung und -schutz.To introduce the elastomer 5 into the annular gap 4 on the measuring piston 3 , a tap hole 15 is provided here, which is closed before the elastomer 5 is vulcanized. The remaining air forms the gas cushion 12 . In addition to the measuring resistors 6 , an associated evaluation circuit 16 can also be applied directly to the ceramic on the flat underside of the pot housing 2 and hermetically sealed with a cover 19 . In order to transmit the pressure or force signal on the membrane 2 d, a cable 17 is guided outwards from the evaluation circuit 16 through a tube 18 , which is fastened in a sealed manner in the cover 19 . The tube 18 serves as a cable guide and protection.
In Fig. 5 ist eine Anwendung einer derartigen, hermetisch abgedichteten Meßzelle 1 gemäß der Fig. 4 dargestellt. Diese ist an dem Rohr 18 in einen Tank 20 abgesenkt und erfaßt dabei den statischen Druck p der Flüssigkeit 21. Durch die sehr hohe Meßgenauigkeit insbesondere aufgrund der hohen Übersetzung durch die großflächige Druckeinleitungsplatte 10 sind Druckdifferenzen von tausendstel bar noch meßbar. Dadurch kann eine laufende Verbrauchsmessung durchgeführt werden und auf einem über das Kabel 17 verbundenen Anzeigegerät 22 außen oder an entfernter Stelle angezeigt werden. Durch die Befestigung der Meßzelle 1 an dem Rohr 18 braucht die Meßzelle 1 im Tank 20 nicht fixiert werden. Zudem ist das nach außen führende Kabel 17 geschützt und die Meßzelle 1 auf verschiedene Tanktiefen einstellbar.In FIG. 5, an application of such a hermetically sealed measuring cell 1 4 is shown in FIG. FIG. This is lowered on the pipe 18 into a tank 20 and detects the static pressure p of the liquid 21 . Due to the very high measurement accuracy, in particular due to the high translation due to the large-area pressure introduction plate 10 , pressure differences of thousandths of a bar can still be measured. As a result, an ongoing consumption measurement can be carried out and displayed on a display device 22 connected via the cable 17 on the outside or at a remote location. By attaching the measuring cell 1 to the pipe 18 , the measuring cell 1 need not be fixed in the tank 20 . In addition, the cable 17 leading to the outside is protected and the measuring cell 1 can be adjusted to different tank depths.
Claims (14)
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| DE102020206027A1 (en) | 2020-05-13 | 2021-11-18 | Festo Se & Co. Kg | Pressure sensor device and fluid guide device equipped therewith |
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