DE3935891A1

DE3935891A1 - Laser gyro mirror positioner with two piezoelectrical devices - ensures purely axial movement under pressure from leaf spring with decoupling from radial tilt-provoking efforts

Info

Publication number: DE3935891A1
Application number: DE19893935891
Authority: DE
Inventors: Hartmut Dipl Ing Hoffmann; Harald Kretzler
Original assignee: Teldix GmbH
Current assignee: Rockwell Collins Deutschland GmbH
Priority date: 1988-12-23
Filing date: 1989-10-27
Publication date: 1990-07-19

Abstract

The laser gyro mirror (1) has an annular rim joined by a diaphragm to the centre (1") upon which an axial force is exerted by the leaf spring (16) of a two-part piezoelectric actuator. The stable upper portion (13) of the actuator has flanges (13') gripping the rim of the mirror (1), and piezoelectric elements (14,15) between which the spring (16) is fixed, driving them against shoulders (17,18). Radial vol. variations of the elements (14,15) deflect the spring (16) in the axial direction, but the mirror (1) is substantially decoupled from radial forces so that movement takes place only in the axial direction at right angles to its plane. ADVANTAGE - Force applied by piezoelectric drive moves mirror almost exclusively at right angles to its surface, without any unwanted translation or tilt.

Description

State of the art

Die Erfindung betrifft eine Anordnung zum Verstellen eines Spiegels senkrecht zu seiner Spiegelfläche mit dem Ziel, die Strahlpfadlänge in einem Laserkreisel zu verändern, wobei die Kraft für die Spiegelverstellung von einem piezoelektri schen Antrieb aufgebracht wird.The invention relates to an arrangement for adjusting a mirror perpendicular to its mirror surface with the aim of increasing the beam path length in a laser gyroscope change, the force for the mirror adjustment of a piezoelectric drive is applied.

Eine derartige Anordnung ist aus der DE-OS 29 00 609 bekannt. Der piezoelektri sche Antrieb gemäß dieser DE-OS 29 00 609 besteht aus einer Piezoscheibe, bei der ein äußerer Bereich und ein zentraler Bereich getrennt voneinander elek trisch ansteuerbar sind, so daß der Randbereich und der Zentralbereich des Spie gels entgegengesetzt gerichteten Kräften ausgesetzt werden können. Eine exakte Funktion eines Laserkreisels setzt voraus, daß die Laserstrahlpfadlänge in dem Ringlaser möglichst konstant ist. Bei Temperaturschwankungen, denen der Laser kreisel ausgesetzt ist, kommt es aber zu Veränderungen der Laserstrahlpfadlänge. Werden diese Veränderungen der Laserstrahlpfadlänge nicht korrigiert, dann kön nen sie eine Drift verursachen, also ein Ausgangssignal hervorrufen, welches ei ne Rotation angibt, auch wenn tatsächlich keine vorhanden ist. Such an arrangement is known from DE-OS 29 00 609. The piezoelectric cal drive according to this DE-OS 29 00 609 consists of a piezo disk, at which is an outer area and a central area separate from each other are controllable so that the edge area and the central area of the game gels can be exposed to opposing forces. An exact one Function of a laser gyroscope requires that the laser beam path length in the Ring laser is as constant as possible. With temperature fluctuations, which the laser is exposed to gyroscopes, there are changes in the laser beam path length. If these changes in the laser beam path length are not corrected, then If they cause a drift, that is, they produce an output signal which indicates rotation, even if there is actually no rotation.

Temperaturabhängige Laserstrahlpfadlängen lassen sich dadurch kompensieren, daß einer der vorhandenen Spiegel verschoben wird. Eine solche Verschiebung soll aber nur in Richtung senkrecht zur Spiegelfläche erfolgen. Alle andersartigen Bewegungen, beispielsweise Rotationen oder Kippungen, sind möglichst zu vermei den. Solche unerwünschten Spiegelbewegungen lassen sich aber bei der in der DE-OS 29 00 609 beschriebenen Anordnung nicht ausschließen. Das liegt daran, daß die elektrisch getrennt voneinander ansteuerbaren inneren und äußeren Bereiche der gemeinsamen Piezoscheibe miteinander und auch mit dem Spiegel zu starr ver bunden sind. Dann übertragen sich nämlich nicht nur senkrecht zur Spiegelfläche gerichtete Kräfte, sondern auch parallel zur Spiegelfläche orientierte Kräfte auf den Spiegel.Temperature-dependent laser beam path lengths can be compensated for by the fact that one of the existing mirrors is moved. Such a shift is said to but only in the direction perpendicular to the mirror surface. All different Movements, such as rotations or tilts, should be avoided if possible the. Such undesirable mirror movements can be seen in the DE-OS 29 00 609 described arrangement does not rule out. This is because the electrically and separately controllable inner and outer areas the common piezo disk ver too rigid with each other and also with the mirror are bound. Then not only transfer perpendicular to the mirror surface directed forces, but also forces oriented parallel to the mirror surface on the mirror.

Advantages of the invention

Die durch die Merkmale der nebengeordneten Ansprüche 1, 10 und 19 gekennzeichne ten Anordnungen sind vorteilhafterweise so ausgestaltet, daß die von dem piezo elektrischen Antrieb ausgehenden Kräfte eine nahezu ausschließlich senkrecht zur Spiegelfläche gerichtete Spiegelbewegung bewirken. D.h. durch die erfindungsge mäßen Anordnungen werden unerwünschte Spiegelbewegungen weitgehendst unter drückt. Die den nebengeordneten Ansprüchen 1, 10 und 19 untergeordneten Ansprü che geben vorteilhafte Weiterbildung der erfindungsgemäßen Anordnungen wieder.Characterized by the features of the independent claims 1, 10 and 19 Th arrangements are advantageously designed so that the piezo Electric drive outgoing forces almost exclusively perpendicular to Mirror surface directional mirror movement cause. I.e. through the fiction According to the arrangements, undesirable mirror movements are largely eliminated presses. The claims subordinate to the independent claims 1, 10 and 19 che represent advantageous further development of the arrangements according to the invention.

drawing

Anhand mehrerer in der Zeichnung dargestellter Ausführungsbeispiele wird nun die Erfindung näher erläutert.Based on several embodiments shown in the drawing the invention explained in more detail.

Es zeigen:Show it:

Fig. 1, 2, 3 drei Varianten für einen auf den äußeren und inneren Be reich des Spiegels einwirkenden piezoelektrischen Antrieb, Fig. 1, 2, 3, three variants for the outer and inner loading area of the mirror acting piezoelectric drive,

Fig. 4-9 sechs Ausführungsbeispiele für einen piezoelektrischen An trieb, dessen radiale Volumenänderung in eine axiale Spiegelbewegung umge formt wird, Fig. 4-9 six embodiments of a piezoelectric on engines whose radial volume change in an axial mirror movement is converted,

Fig. 10, 11, 12 drei Ausführungen für einen piezoelektrischen Antrieb mit einer den Spiegel bewegenden Membran, Fig. 10, 11, 12 three designs for a piezoelectric actuator with a moving mirror diaphragm,

Fig. 13, 14, 15 drei Ausführungen für eine Verbindung des Spiegels mit der Membran und Fig. 13, 14, 15 three versions for a connection of the mirror with the membrane and

Fig. 16-21 sechs Ausführungen für eine Verbindung der Membran mit einem den Spiegel fassenden Rahmen. Fig. 16-21 six versions for a connection of the membrane with a frame holding the mirror.

Description of the invention

Der Fig. 1 ist eine Anordnung zu entnehmen, die einen in einem Laserkreisel eingesetzten Spiegel 1 in axialer Richtung, d.h. senkrecht zu seiner Spiegelflä che, zu verschieben vermag. Der in einem Querschnitt in Fig. 1 gezeigte Spiegel 1 ist in bekannter Weise so gestaltet, daß er einen äußeren Ringbereich 1′, und einen zylindrischen Innenbereich 1′′, den sogenannten Spiegelstempel, aufweist. FIG. 1 is shown in an arrangement which is able to move a mirror used in a laser gyro 1 in the axial direction, ie perpendicular to its surface Spiegelflä. The mirror 1 shown in cross section in Fig. 1 is designed in a known manner so that it comprises an outer ring portion 1 ', and a cylindrical inner area 1' ', the so-called mirror temple.

Der äußere Ringbereich 1′ ist mit dem Spiegelstempel 1′′ durch einen membranar tigen Steg 1′′′ verbunden. Für die im Mikrometerbereich liegende Auslenkung des Spiegels 1 in axialer Richtung, d.h. senkrecht zu seiner Spiegelfläche 2, ist ein piezoelektrischer Antrieb vorgesehen. Dieser piezoelektrische Antrieb be steht aus einem ersten ringförmigen, auf den äußeren Ringbereich 1′ des Spiegels 1 einwirkenden Piezoelement 3 und einem von diesem durch einen Freiraum getrennten zweiten zylindrischen Piezoelement 4, das auf den Spiegelstempel 1′′ einwirkt. Beide Piezoelemente 3 und 4 können, wie der Fig. 1 zu entnehmen ist, mehr schichtig aufgebaut sein. Dadurch, daß die beiden Piezoelemente 3 und 4 durch einen Freiraum voneinander getrennt sind, beeinflussen sie sich durch radiale Volumenausdehnungen gegenseitig nicht. Die zwei Piezoelemente 3 und 4 sind ge meinsam zwischen einer in axialer Richtung biegeweichen Membran 5 und einer bie gesteifen Abdeckplatte 6 eingespannt. Die Membran 5 befindet sich auf der dem Spiegel 1 zugewandten Seite und die Abdeckplatte 6 auf der gegenüberliegenden Seite der beiden Piezoelemente 3 und 4. Zwei mit der Membran 5 verbundene Bolzen 7 und 8 durchdringen den mit den Piezoelementen 3 und 4 belegten Raum und die anschließende Abdeckplatte 6, auf deren Oberseite sie jeweils mit einer Mutter 7′, und 8′, verschraubt sind. The outer ring area 1 'is connected to the mirror stamp 1 ''by a membrane-like bridge 1 '''. A piezoelectric drive is provided for the deflection of the mirror 1 in the axial direction, ie perpendicular to its mirror surface 2 , in the micrometer range. This piezoelectric drive be consists of a first annular, on the outer ring region 1 'of the mirror 1 acting piezo element 3 and a separated by this by a free space second cylindrical piezo element 4 , which acts on the mirror stamp 1 ''. Both piezo elements 3 and 4 can, as can be seen from FIG. 1, be constructed in more layers. Because the two piezo elements 3 and 4 are separated from one another by a free space, they do not influence one another as a result of radial volume expansions. The two piezo elements 3 and 4 are clamped together between a flexible in the axial direction soft membrane 5 and a rigid cover plate 6 . The membrane 5 is located on the side facing the mirror 1 and the cover plate 6 on the opposite side of the two piezo elements 3 and 4 . Two connected to the membrane 5 bolts 7 and 8 penetrate the space occupied by the piezo elements 3 and 4 and the subsequent cover plate 6 , on the top of which they are each screwed with a nut 7 'and 8'.

Eine jeweils zwischen der Mutter 7′ bzw. 8′ und der Abdeckplatte 6 eingefügte Feder 7′′ bzw. 8′′ sorgt für eine elastische Verspannung der Piezoelemente 3 und 4 zwischen der Abdeckplatte 6 und der Membran 5. Bei dem in der Fig. 1 darge stellten Ausführungsbeispiel ist zwischen den Piezoelementen 3 und 4 und der Membran 5 eine Zwischenlage 9 eingefügt, die von einer großen, an die Piezoele mente 3 und 4 angepaßte Auflagefläche auf eine kleinere, auf der Membran 5 auf liegenden Fläche übergeht. Durch diese Übersetzung der großen Auflagefläche der Piezoelemente 3 und 4 auf eine wesentlich kleinere Berührungsfläche mit der Mem bran 5 steht eine sehr große effektive Membranfläche zur Verfügung, die durch ihre geringere Biegesteifigkeit Volumenänderungen der Piezoelemente 3 und 4 in eine axiale Kraft auf dem Spiegel 1 besser umsetzt. Auf der dem Spiegel 1 zuge wandten Unterseite der Membran 5 ist eine Distanzscheibe 10 aufgeklebt, und auf dieser Distanzscheibe 10 wiederum ist der Spiegel 1 durch Kleben fixiert. Diese Distanzscheibe 10 besteht aus dem gleichen Material wie der Spiegel 1, um eine Anpassung zwischen den unterschiedlichen Wärmeausdehnungskoeffizienten der Mem bran 5 und dem Spiegel 1 zu bewirken. Damit, wie bereits im Zusammenhang mit der Zwischenlage 9 gesagt, die effektive Membranfläche möglichst groß ist, liegt die Distanzscheibe 10 mit einer kleinen Fläche auf der Membran 5 auf und geht auf eine große Auflagefläche für den Spiegel 1 über. Durch die elastische Verspan nung der Piezoelemente 3 und 4 zwischen der Membran 5 und der Abdeckplatte 6 können sich die Piezoelemente ungehindert in radialer Richtung ausdehnen, ohne daß daraus eine störende radiale Kraft auf den Spiegel 1 resultiert. Durch die in Fig. 1 gezeigte Anordnung wird nur eine in axialer Richtung erfolgende Volu menänderung der Piezoelemente 3 und 4 auf den Spiegel 1 übertragen. Es besteht die Möglichkeit, die beiden Piezoelemente 3 und 4 entgegengesetzt anzusteuern, so daß es z.B. bei dem äußeren Piezoelement 3 zu einer Kontraktion und bei dem inneren Piezoelement 4 zu einer Ausdehnung kommt. Damit läßt sich ein größerer axialer Verstellweg für den Spiegel 1 verwirklichen.A spring 7 '' or 8 '' inserted between the nut 7 'or 8 ' and the cover plate 6 ensures elastic bracing of the piezo elements 3 and 4 between the cover plate 6 and the membrane 5 . In the embodiment shown in FIG. 1, Darge, an intermediate layer 9 is inserted between the piezo elements 3 and 4 and the membrane 5 , which is adapted from a large, to the piezo elements 3 and 4 support surface to a smaller one on the membrane 5 Surface merges. Through this translation of the large contact surface of the piezo elements 3 and 4 to a much smaller contact area with the membrane 5 , a very large effective membrane surface is available, the volume changes of the piezo elements 3 and 4 in an axial force on the mirror 1 better due to their lower bending rigidity implements. On the underside of the membrane 5 facing the mirror 1 , a spacer 10 is glued, and on this spacer 10 in turn, the mirror 1 is fixed by gluing. This spacer 10 is made of the same material as the mirror 1 in order to bring about an adaptation between the different coefficients of thermal expansion of the membrane 5 and the mirror 1 . So that, as already mentioned in connection with the intermediate layer 9 , the effective membrane area is as large as possible, the spacer 10 rests on the membrane 5 with a small area and merges with a large contact area for the mirror 1 . Due to the elastic clamping voltage of the piezo elements 3 and 4 between the membrane 5 and the cover plate 6 , the piezo elements can expand unhindered in the radial direction without resulting in a disturbing radial force on the mirror 1 . Due to the arrangement shown in Fig. 1, only an axial volume change of the piezo elements 3 and 4 is transferred to the mirror 1 . There is the possibility of driving the two piezo elements 3 and 4 in opposite directions, so that, for example, the outer piezo element 3 contracts and the inner piezo element 4 expands. A larger axial adjustment path for the mirror 1 can thus be achieved.

Die in Fig. 2 dargestellte Anordnung unterscheidet sich gegenüber der in Fig. 1 gezeigten Anordnung durch die Führung der beiden mit der Membran 5 verbundenen Bolzen 7 und 8. Es ist auch möglich mit mehreren Bolzen zu arbeiten, damit die Last gleichmäßiger verteilt wird. Gemäß Fig. 1 sind die beiden Bolzen 7 und 8 durch das ringförmige äußere Piezoelement 3 geführt, und gemäß Fig. 2 durch dringen die beiden Bolzen 7 und 8 den Freiraum zwischen den beiden Piezoelemen ten 3 und 4. The arrangement shown in FIG. 2 differs from the arrangement shown in FIG. 1 by the guidance of the two bolts 7 and 8 connected to the membrane 5 . It is also possible to work with several bolts so that the load is distributed more evenly. Referring to FIG. 1, the two pins are guided through the annular outer piezoelectric element 3 7 and 8, and according to FIG. 2 penetrate the two bolts 7 and 8, the free space between the two Piezoelemen th 3 and 4.

Wie der Fig. 3 zu entnehmen ist reicht für die Verspannung der Piezoelemente 3 und 4 unter Umständen auch nur ein mit der Membran 5 verbundener Bolzen 11 aus, der durch das mittlere Piezoelement 4 geführt ist. Dieser eine Bolzen 11 ist auf der Oberseite der Abdeckplatte 6 mit einer Mutter 11′ unter Zwischenlage einer Feder 11′′ verschraubt.As can be seen in FIG. 3, only one bolt 11 , which is connected to the membrane 5 and is guided through the central piezo element 4 , is sufficient for the bracing of the piezo elements 3 and 4 . This one bolt 11 is screwed on the top of the cover plate 6 with a nut 11 'with the interposition of a spring 11 '.

Bei beiden in den Fig. 2 und 3 dargestellten Anordnungen ist auf die Darstel lung des Spiegels verzichtet worden, weil er hier an gleicher Stelle, wie im Zu sammenhang mit Fig. 1 beschrieben, angeordnet ist. Im Unterschied zu den in den Fig. 1 und 3 dargestellten Anordnungen weist die weniger aufwendige Ausfüh rungsform nach Fig. 2 keine Zwischenlage zwischen der Membran 5 und den Piezoe lementen 3 und 4 auf, und die Distanzscheibe 12 ist nicht für eine Übersetzung einer großen Auflagefläche für den Spiegel auf eine kleine Auflagefläche für die Membran ausgeführt.In both of the arrangements shown in FIGS . 2 and 3, the presen- tation of the mirror has been dispensed with because it is arranged here in the same place as described in connection with FIG. 1. In contrast to the arrangements shown in FIGS . 1 and 3, the less complex embodiment according to FIG. 2 has no intermediate layer between the membrane 5 and the piezo elements 3 and 4 , and the spacer 12 is not for a translation of a large contact surface for the mirror on a small surface for the membrane.

Die in den Fig. 4-9 dargestellten Anordnungen haben gemeinsam, daß der pie zoelektrische Antrieb in einer mit dem Außenbereich des Spiegels verbundenen Haltevorrichtung untergebracht ist. Und zwar ist darin der piezoelektrische An trieb so angeordnet, daß er durch eine parallel zur Spiegelfläche gerichtete Vo lumenänderung eines sich einerseits auf dem inneren Bereich des Spiegels und an dererseits am piezoelektrischen Antrieb abstützende Biegebalkenvorrichtung zu einer Durchbiegung senkrecht zur Spiegelfläche veranlaßt.The arrangements shown in Figs. 4-9 have in common that the pie zoelectric drive is housed in a holding device connected to the outer region of the mirror. In fact, the piezoelectric drive is arranged in such a way that it causes a bending beam device that is supported on the one hand on the inner region of the mirror and on the other hand on the piezoelectric drive to a deflection perpendicular to the mirror surface by a direction parallel to the mirror surface.

Gemäß dem Ausführungsbeispiel in Fig. 4 besteht die Haltevorrichtung aus einem den Spiegel 1 überspannenden stabilen Oberteil 13 und von diesem abgewinkelte über den Rand des Spiegels 1 greifenden Armen 13′. In das Oberteil sind minde stens zwei Piezoelemente 14 und 15 eingesetzt. Eine Blattfeder 16, die mit ihren beiden Enden an den einander zugewandten Innenseiten der beiden Piezoelemente 14 und 15 anliegt, drückt die Piezoelemente 14 und 15 gegen Schultern 17 und 18 in dem Oberteil 13 der Haltevorrichtung. Der Bereich des Durchbiegungsmaximums der Blattfeder 16 liegt auf dem Stempel 1′′ des Spiegels 1 auf. Bei einer radialen Volumenänderung der Piezoelemente 14 und 15 biegt sich die Blattfeder 16 in Richtung auf den Spiegel 1 schwächer oder stärker durch und übt somit eine axia le Kraft auf den Spiegel 1 aus. Es können auch mehrere über Kreuz geführte Blattfedern zur Verschiebung des Spiegels 1 eingesetzt werden. Dabei wird jede Blattfeder zwischen jeweils zwei in dem Oberteil 13 der Haltevorrichtung einge setzten Piezoelementen eingespannt. According to the embodiment in Fig. 4, the holding device consists of a spanning the mirror 1 stable upper part 13 and angled from this over the edge of the mirror 1 arms 13 '. At least two piezo elements 14 and 15 are used in the upper part. A leaf spring 16 , which rests with its two ends on the mutually facing inner sides of the two piezo elements 14 and 15 , presses the piezo elements 14 and 15 against shoulders 17 and 18 in the upper part 13 of the holding device. The area of the maximum deflection of the leaf spring 16 lies on the stamp 1 '' of the mirror 1 . In the event of a radial volume change of the piezo elements 14 and 15 , the leaf spring 16 bends weaker or stronger in the direction of the mirror 1 and thus exerts an axial force on the mirror 1 . It is also possible to use a plurality of crosswise leaf springs for displacing the mirror 1 . Each leaf spring is clamped between two piezo elements inserted in the upper part 13 of the holding device.

Bei der in Fig. 5 dargestellten Anordnung ist in das Oberteil 19 der Haltevor richtung, welche den Spiegel 1 zwischen seinen Armen 19′ hält ein geschlossener Piezoring 20 eingesetzt. An der Innenseite dieses Piezorings 20 stützen sich mit ihren Enden eine mit ihrem Durchbiegungsmaximum auf dem Spiegel 1 aufliegende Blattfeder 21 und eine in entgegengesetzter Richtung mit ihrem Durchbiegungsma ximum am Oberteil 19 aufliegende Blattfeder 22 ab. Schrumpft nun der Piezoring 20, d.h. verringert sich sein Innendurchmesser, so biegen sich die beiden Blatt federn 21 und 22 in einander entgegengesetzte Richtungen durch und veranlassen den Spiegel 1 zu einer Auslenkung in axialer Richtung. Mit den zwei einander entgegenwirkenden Blattfedern 19, 21 läßt sich ein längerer Auslenkungsweg für den Spiegel 1 realisieren. Denn die am Oberteil 19 der Haltevorrichtung anlie gende Blattfeder 22 schiebt mit zunehmender Durchbiegung den geschrumpften, im Oberteil 19 frei beweglichen Piezoring 20 zusammen mit der an ihm fixierten Blattfeder 21 in Richtung auf den Spiegel 1. Wie bereits im Zusammenhang mit Fig. 4 erwähnt, können mehrere über Kreuz geführte Blattfedern in dem Piezo ring 20 eingesetzt werden.In the arrangement shown in FIG. 5, a closed piezo ring 20 is inserted into the upper part 19 of the holding device which holds the mirror 1 between its arms 19 '. On the inside of this piezo ring 20 are supported by their ends a leaf spring 21 resting with its maximum deflection on the mirror 1 and a leaf spring 22 resting in the opposite direction with its maximum deflection on the upper part 19 . Now shrinks the piezo ring 20 , ie its inner diameter decreases, so the two leaf springs 21 and 22 bend in opposite directions and cause the mirror 1 to deflect in the axial direction. With the two opposing leaf springs 19 , 21 , a longer deflection path for the mirror 1 can be realized. This is because the leaf spring 22 on the upper part 19 of the holding device pushes the shrinking piezo ring 20 which is freely movable in the upper part 19 together with the leaf spring 21 fixed to it in the direction of the mirror 1 with increasing deflection. As already mentioned in connection with FIG. 4, a plurality of crossed leaf springs can be used in the piezo ring 20 .

Ebenfalls mit entgegengesetzt wirkenden Blattfedern 23 und 24 ist die Anordnung gemäß Fig. 7 ausgestattet. Der Piezoring 25, in den die Blattfedern 23 und 24 eingesetzt sind, ist in diesem Ausführungsbeispiel segmentiert. Durch Ausdehnung der einzelnen Piezoringsegmente 25 werden die Blattfedern 23 und 24 gespannt und üben in der im Zusammenhang mit Fig. 5 geschilderten Weise eine axiale Kraft auf den Spiegel 1 aus. Der segmentierte Piezoring 25, der mit seiner Innenseite einen radialen Druck auf die Blattfedern 23 und 24 ausübt, stützt sich mit sei ner Außenseite an der Innenwand einer Haltevorrichtung 26 ab, die aus dem glei chen Material besteht wie der Spiegel 1. Wegen der gleichen Materialien des Spiegels 1 und der Haltevorrichtung 26 erfahren beide die gleichen Wärmeausdeh nungen. Aus diesem Grunde ist es auch unproblematisch, die Haltevorrichtung 26 mit ihrem den Piezoring 25 abstützenden Rand direkt auf dem äußeren Ringbereich des Spiegels 1 aufzukleben oder anzusprengen.The arrangement according to FIG. 7 is also equipped with oppositely acting leaf springs 23 and 24 . The piezo ring 25 , in which the leaf springs 23 and 24 are inserted, is segmented in this exemplary embodiment. By expanding the individual piezo ring segments 25 , the leaf springs 23 and 24 are tensioned and exert an axial force on the mirror 1 in the manner described in connection with FIG. 5. The segmented piezo ring 25 , which exerts a radial pressure on the leaf springs 23 and 24 with its inside, is supported with its outside on the inside wall of a holding device 26 , which consists of the same material as the mirror 1 . Because of the same materials of the mirror 1 and the holding device 26 , both experience the same thermal expansions. For this reason, it is also unproblematic to glue or snap on the holding device 26 with its edge supporting the piezo ring 25 directly on the outer ring area of the mirror 1 .

Eine ebensolche Haltevorrichtung 27 besitzt die in Fig. 6 dargestellte Anord nung. In dieser Haltevorrichtung ist auch ein segmentierter Piezoring 28 einge setzt, und an dessen Innenbereich stützt sich mit seinen beiden Enden eine Blattfeder 29 - es können auch wiederum mehrere über Kreuz geführte Blattfedern sein - ab. The same holding device 27 has the arrangement shown in FIG. 6. In this holding device is also a segmented piezo ring 28 is inserted, and on the inner area is supported with its two ends a leaf spring 29 - there may also be a plurality of crossed leaf springs - from.

Diese Blattfeder 29 drückt mit dem Bereich ihres Durchbiegungsmaximums auf ei nen Stempel 30, der unter Zwischenlage einer Scheibe 31 auf dem Spiegel 1 auf liegt. Die Zwischenlage 31 besteht aus dem gleichen Material wie der Spiegel 1, um eine Anpassung zwischen den unterschiedlichen Wärmeausdehnungskoeffizienten des Stempels 30 und des Spiegels 1 zu bewirken. Der Stempel 30 ist mit seinem Schaft 30′ durch die Haltevorrichtung 27 geführt und auf deren Oberseite mit ei ner Mutter 32 verschraubt. Eine zwischen der Mutter 32 und der Oberseite der Haltevorrichtung 27 eingefügte Feder 33 bildet eine Gegenkraft zu der Blattfeder 29. So kann durch Verdrehen der Mutter 32 die Andruckkraft des Stempels 30 auf den Spiegel 1 eingestellt werden.This leaf spring 29 presses with the area of its maximum deflection on egg nen punch 30 , which lies on the mirror 1 with the interposition of a disc 31 . The intermediate layer 31 consists of the same material as the mirror 1 in order to bring about an adaptation between the different coefficients of thermal expansion of the stamp 30 and the mirror 1 . The stamp 30 is guided with its shaft 30 'through the holding device 27 and screwed onto its top with egg ner nut 32 . A spring 33 inserted between the nut 32 and the top of the holding device 27 forms a counterforce to the leaf spring 29 . Thus, by turning the nut 32, the pressing force of the stamp 30 on the mirror 1 can be adjusted.

Bei den vorangehend beschriebenen Ausführungsbeispielen bestand die Biegebalken vorrichtung aus einer oder mehreren Blattfedern. Bei der der Fig. 8 zu entneh menden Anordnung wird die axiale Kraft auf den Spiegel 1 von Hebeln 34, 35 aus geübt. Die Hebel 34, 35 sind in einer Haltevorrichtung für den Spiegel 1 schwenk bar aufgehängt. Diese Haltevorrichtung besteht wie die in den Fig. 4 und 5 gezeigte Haltevorrichtung ebenfalls aus einem Oberteil 36 und von diesem abge winkelten Armen 36′. Die Arme übergreifen den Spiegel 1 und sind mit ihren Enden an dem Grundkörper 37 des Laserkreisels fixiert. Der Spiegel 1, welcher auf dem Grundkörper 37 des Laserkreisels aufliegt wird somit zwischen diesem Grundkörper 37 und dem Oberteil 36 der Haltevorrichtung eingeklemmt. Jeder von mindestens zwei vorhandenen Hebeln 34, 35 weist an seinem an dem Oberteil 36 der Haltevor richtung gelagerten Ende eine Schulter 34′, 35′ auf. Das andere Ende eines jeden Hebels drückt auf den Spiegelstempel 1′′ des Spiegels 1. Die Hebel 34, 35 stüt zen sich mit ihren Schultern 34′, 35′ gegen Piezoelemente 38, 39 ab. Auf der den Schultern 34′, 35′ der Hebel 34, 35 gegenüberliegenden Seite liegen die Piezo elemente 38, 39 an Begrenzungswänden 40, 41 an. Erfahren nun die Piezoelemente 38, 39 zwischen den Begrenzungswänden 4 O, 41 und den Schultern 34′, 35′ der He bel 34, 35 eine Volumenänderung in radialer Richtung, so werden die am Oberteil 36 der Haltevorrichtung gelenkig gelagerten Hebel 34, 35 auf den Spiegel 1 zu oder von ihm weg gekippt. Eine zwischen den zwei gegenüberliegenden Hebeln 34, 35 eingespannte Blattfeder 42 stellt eine Gegenkraft gegen die Piezoelemente 38, 39 dar. Mittels Schrauben 43, 44 welche durch die Begrenzungswände geführt sind und auf die Piezoelemente 38, 39 treffen, kann die Andruckkraft der Hebel 34, 35 auf den Spiegel 1 eingestellt werden. In the embodiments described above, the bending beam device consisted of one or more leaf springs. In the arrangement to be taken from FIG. 8, the axial force is exerted on the mirror 1 by levers 34 , 35 . The levers 34 , 35 are suspended in a holding device for the mirror 1 pivoting bar. This holding device consists, like the holding device shown in FIGS . 4 and 5, also from an upper part 36 and from this angled arms 36 '. The arms overlap the mirror 1 and their ends are fixed to the base body 37 of the laser gyroscope. The mirror 1 , which rests on the base body 37 of the laser gyroscope, is thus clamped between this base body 37 and the upper part 36 of the holding device. Each of at least two existing levers 34 , 35 has at its end mounted on the upper part 36 of the Haltvor direction a shoulder 34 ', 35 '. The other end of each lever presses on the mirror stamp 1 '' of the mirror 1st The levers 34 , 35 support themselves with their shoulders 34 ', 35 ' against piezo elements 38 , 39 . On the shoulders 34 ', 35 ' of the lever 34 , 35 opposite side are the piezo elements 38 , 39 on the boundary walls 40 , 41 . Now learn the piezo elements 38 , 39 between the boundary walls 4 O , 41 and the shoulders 34 ', 35 ' of the He bel 34 , 35 a volume change in the radial direction, so the lever 34 , 35 articulated on the upper part 36 of the holding device on the Mirror 1 tilted towards or away from it. A leaf spring 42 clamped between the two opposite levers 34 , 35 represents a counterforce against the piezo elements 38 , 39. By means of screws 43 , 44 which are guided through the boundary walls and meet the piezo elements 38 , 39 , the pressing force of the levers 34 , 35 can be set on the mirror 1 .

Eine andere Möglichkeit, die Andruckkraft der Hebel 34, 35 auf den Spiegel 1 einzustellen, verdeutlicht die in Fig. 9 dargestellte Anordnung. Dort sind die auf den Spiegel 1 Kraft ausübenden Hebelenden von Schrauben 45, 46 durchsetzt, mit denen sich der Abstand zwischen den Hebelenden und dem Spiegelstempel 1′′ und damit die Hebelandruckkraft verstellen läßt. Die Anordnung der Fig. 9 ent spricht im wesentlichen der in Fig. 8 dargestellten Ausführungsform. Die Fig. 9 zeigt lediglich eine andere Verbindung zwischen der Haltevorrichtung und dem Spiegel 1. Hier wird der Spiegel 1 direkt zwischen den Armen 47′, welche von dem Oberteil 47 der Haltevorrichtung abgewinkelt sind, gehalten, so wie es oben be reits bei den Ausführungsbeispielen der Fig. 4 und 5 beschrieben worden ist.Another possibility of setting the pressing force of the levers 34 , 35 on the mirror 1 is illustrated by the arrangement shown in FIG. 9. There are exerting force on the mirror 1 lever ends of screws 45, 46 penetrated by which the distance between the lever member and the mirror temple 1 '' and thus the lifting closing pressure force can be adjusted. The arrangement of FIG. 9 corresponds essentially to the embodiment shown in FIG. 8. Fig. 9 shows only one other connection between the holder and the mirror 1. Here, the mirror 1 is held directly between the arms 47 ', which are angled from the upper part 47 of the holding device, as has already been described above in the exemplary embodiments of FIGS . 4 and 5.

Es ist zweckmäßig, die Arme 13′, 19′, 36′ und 47′ der in den Fig. 4, 5, 8 und 9 dargestellten Haltevorrichtungen in Längsrichtung, d.h. in axialer Verschiebe richtung des Spiegels 1, zu schlitzen, so daß eine Art Fingerstruktur entsteht. Dadurch wird die unerwünschte Kopplung zwischen in der Haltevorrichtung auftre tenden radialen Kräften und dem Spiegel 1 geschwächt. Die Übertragung axialer Kräfte auf den Spiegel 1 vermindert sich dadurch aber nicht.It is appropriate to slit the arms 13 ', 19 ', 36 'and 47 ' of the holding devices shown in FIGS. 4, 5, 8 and 9 in the longitudinal direction, ie in the axial displacement direction of the mirror 1 , so that a kind Finger structure arises. As a result, the undesired coupling between radial forces occurring in the holding device and the mirror 1 is weakened. However, the transmission of axial forces to the mirror 1 is not reduced as a result.

Bei den in den Fig. 10, 11 und 12 dargestellten Anordnungen ist der Spiegel 1 in einer Haltevorrichtung gefaßt, die aus einem über den Rand des Spiegels 1 greifenden Rahmen 48 und einer in diesen Rahmen 48 angeordneten, parallel zur Spiegelfläche verlaufenden Membran 49 besteht. Ein auf der Membran 49 angeordne ter piezoelektrischer Antrieb bewirkt eine Durchbiegung der Membran 49, die sich in eine axiale Auslenkung des Spiegels 1 übersetzt. Die Fig. 10, 11 und 12 zeigen drei verschiedene Ausgestaltungen des piezoelektrischen Antriebes. Gemäß Fig. 10 besteht dieser piezoelektrische Antrieb aus zwei Piezoelementen 50 und 51, von denen das eine auf der Ünterseite und das andere auf der Oberseite der Membran 49 fixiert ist. Werden die beiden Piezoelemente 50 und 51 so entgegenge setzt angesteuert, daß das Piezoelement 51 auf der Oberseite der Membran 49 schrumpft und sich das Piezoelement 50 auf der Unterseite der Membran 49 aus dehnt, so kommt es zu einer Durchbiegung der Membran 49 in Richtung auf den Spiegel 1. Die Form der Durchbiegung der Membran 49 läßt sich gezielter beein flussen, wenn, wie die Fig. 11 zeigt, auf jeder der beiden Membranseiten mehre re Piezoelemente 52 und 53 getrennt voneinander angeordnet sind und alle Piezo elemente 52, 53 einzeln ansteuerbar sind. In the arrangements shown in FIGS . 10, 11 and 12, the mirror 1 is held in a holding device which consists of a frame 48 which extends over the edge of the mirror 1 and a membrane 49 arranged in this frame 48 and running parallel to the mirror surface. A arranged on the membrane 49 ter piezoelectric drive causes a deflection of the membrane 49 , which translates into an axial deflection of the mirror 1 . Figs. 10, 11 and 12 show three different embodiments of the piezoelectric actuator. According to FIG. 10, this piezoelectric drive consists of two piezo elements 50 and 51 , one of which is fixed on the underside and the other on the top of the membrane 49 . If the two piezo elements 50 and 51 are set in the opposite direction, the piezo element 51 shrinks on the top of the membrane 49 and the piezo element 50 on the underside of the membrane 49 expands, so that the membrane 49 bends in the direction of the Mirror 1 . The shape of the deflection of the membrane 49 can be influenced in a more targeted manner if, as shown in FIG. 11, on each of the two sides of the membrane several re piezo elements 52 and 53 are arranged separately from one another and all piezo elements 52 , 53 can be controlled individually.

Bei der in Fig. 12 dargestellten Anordnung sind auf den beiden Membranseiten mehrschichtige Piezoelemente 54 und 55 aufgebracht. Die Dicke der miteinander verklebten Schichten der Piezoelemente 54, 55 werden mit zunehmender Entfernung von der Membran 49 kleiner. Werden alle Schichten mit gleicher Spannung ange steuert, nimmt die Feldstärker mit abnehmender Schichtdicke zu. Die außenliegen den Schichten erfahren wegen der in ihnen vorherrschenden größeren Feldstärke eine größere Volumenausdehnung. Dadurch werden die Piezoelemente 54, 55 gleich mäßiger belastet; es kommt zu einer homogeneren Spannungsverteilung in den Pie zoelementen 54, 55. Jedes geschichtete Piezoelement 54, 55 kann mit einer einzi gen an allen Schichten anliegenden Spannung angesteuert werden. Bei Piezoelemen ten, die aus gleich dicken Schichten aufgebaut sind, müssen die einzelnen Schichten mit abgestuften elektrischen Spannungen angesteuert werden, um eine gewünschte Durchbiegung der Membran 49 zu erzielen.In the arrangement shown in FIG. 12, multilayer piezo elements 54 and 55 are applied to the two membrane sides. The thickness of the layers of the piezo elements 54 , 55 which are glued together become smaller as the distance from the membrane 49 increases . If all layers are controlled with the same voltage, the field strength increases with decreasing layer thickness. The layers lying outside experience a larger volume expansion because of the greater field strength prevailing in them. As a result, the piezo elements 54 , 55 are loaded more evenly; there is a more homogeneous voltage distribution in the piezo elements 54 , 55 . Each layered piezo element 54 , 55 can be driven with a single voltage applied to all layers. In the case of piezo elements, which are made up of layers of the same thickness, the individual layers must be controlled with graded electrical voltages in order to achieve a desired deflection of the membrane 49 .

Zur Erzielung einer gleichbleibenden Kraftübertragung zwischen den einzelnen Schichten der Piezoelemente ist es zweckmäßig, für eine gleichbleibende Schicht dicke des Klebers zwischen den einzelnen Schichten zu sorgen. Für eine über die ganze Fläche der Piezoschichten gleichmäßig verteilte Kleberschichtdicke sorgen zwischen die Piezoschichten eingefügte Abstandhalter. Diese Abstandhalter können z.B. Formteile aus Metall oder Kunststoff sein.To achieve a constant power transmission between the individual Layers of the piezo elements are expedient for a constant layer to ensure the thickness of the adhesive between the individual layers. For one over the The entire surface of the piezo layers ensures an evenly distributed adhesive layer thickness spacers inserted between the piezo layers. These spacers can e.g. Molded parts made of metal or plastic.

Eine höhere Steifigkeit der Piezoelemente läßt sich dadurch erzielen, daß zwi schen die Piezoschichten Metallfolien eingefügt werden. Sie können gleichzeitig als Elektroden für die elektrische Ansteuerung der Piezoelemente dienen.A higher rigidity of the piezo elements can be achieved in that between between the piezo layers of metal foils. You can at the same time serve as electrodes for the electrical control of the piezo elements.

Die Übertragung der Kraft der sich durchbiegenden Membran 49 auf den Spiegel 1 erfolgt durch ein Verbindungsstück, das einerseits an der Membran 49 bzw. an ei nem an dessen Unterseite befindlichen Piezoelement fixiert ist und andererseits eine Verbindung mit dem Spiegelstempel 1′′ eingeht. Die Fig. 10, 11 und 12 zeigen drei sehr einfache Formen von Verbindungsstücken 56, 57 und 58. Das Ver bindungsstück 56 in Fig. 10 ist an einem Ende mit dem auf der Unterseite der Membran 49 befindlichen Piezoelement 50 durch Kleben verbunden. Das andere Ende dieses Verbindungsstücks 56 besitzt einen verbreiterten Fuß, der mit einer Fin gerstruktur über den Spiegelstempel 1′′ greift. The transmission of the force of the bending membrane 49 to the mirror 1 is carried out by a connecting piece which is fixed on the one hand to the membrane 49 or to egg nem located on the underside of the piezo element and on the other hand, a connection with the mirror stamp 1 '' is received. The Fig. 10, 11 and 12 show very simple three types of connecting pieces 56, 57 and 58. The Ver connecting piece 56 in Fig. 10 is connected at one end to the piezo element 50 located on the underside of the membrane 49 by gluing. The other end of this connector 56 has a widened foot that engages with a fin gerstruktur over the mirror stamp 1 ''.

Auch das in Fig. 12 dargestellte Verbindungsstück 58 ist mit einem Ende auf dem Piezoelement 54 an der Unterseite der Membran 49 verklebt, und das andere Ende mit verbreiterter Auflagefläche ist auf den Spiegelstempel 1′′ aufgeklebt. Die Anordnung gemäß Fig. 11 besitzt ein Verbindungsstück 57 das direkt mit der Mem bran 49 auf der einen Seite verbunden ist und auf der anderen Seite auf dem Spiegelstempel 1′′ fixiert ist.The connector 58 shown in Fig. 12 is glued at one end to the piezo element 54 on the underside of the membrane 49 , and the other end with a widened bearing surface is glued to the mirror stamp 1 ''. The arrangement of FIG. 11 has a connector 57 that is connected directly to the Mem bran 49 on one side and is fixed on the other side on the mirror temple 1 ''.

Weitere Ausführungsbeispiele von Verbindungsstücken zeigen die Fig. 13, 14 und 15. Das in der Fig. 13 dargestellte Verbindungsstück besitzt eine erste Auflagefläche 59 zur Befestigung an einem Piezoelement und eine mit dieser durch einen Schaft 60 verbundene zweite Auflagefläche 61 zur Fixierung auf dem Spiegel 1. Die erste Auflagefläche 59 und/oder die zweite Auflagefläche 61 können, wie in Fig. 13 dargestellt, strahlenförmig gefiedert sein. Der Fig. 14 ist ein Verbindungsstück zu entnehmen, das aus einem mit der Membran 49 direkt verbunde nen Schaft 62 und einer am Ende des Schaftes befindlichen Auflagefläche 63 be steht, die zur Fixierung mit dem Spiegel 1 dient. Diese Auflagefläche 63 kann geschlossen (siehe Fig. 14) oder gefiedert (siehe Fig. 13) sein. Der Fig. 15 ist ein topfförmiges Verbindungsstück 64 zu entnehmen. Dabei stellt der Topfrand 65 die Auflagefläche für den piezoelektrischen Antrieb und der Topfboden 66 die Auflagefläche für den Spiegel 1 dar. Der Topfrand 65 kann, wie der Fig. 15 zu entnehmen ist, gefiedert sein.13, 14 and 15 show further exemplary embodiments of connecting pieces. The connecting piece shown in FIG. 13 has a first contact surface 59 for attachment to a piezo element and a second contact surface 61 connected thereto by a shaft 60 for fixing on the mirror 1 . The first contact surface 59 and / or the second contact surface 61 can, as shown in FIG. 13, be pinnated in a radial manner. Fig. 14 is shown in a connecting piece that NEN of a with the membrane 49 directly composites shaft 62 and a bearing surface 63 located at the end of the shaft be is that serves to fix the mirror 1. This contact surface 63 can be closed (see FIG. 14) or pinnate (see FIG. 13). FIG. 15 is given a cup-shaped connection piece 64. The pot edge 65 represents the support surface for the piezoelectric drive and the pot base 66 the support surface for the mirror 1. The pot edge 65 can, as can be seen in FIG. 15, be pinnate.

In den Fig. 16 bis 21 sind sechs verschiedene Ausführungsbeispiele für Ver bindungen zwischen der Membran 49 und dem den Spiegel aufnehmenden Rahmen 48 dargestellt. Die Fig. 16 bis 21 zeigen jeweils auf der rechten Seite eine Draufsicht von der Membranseite her und auf der linken Seite einen Querschnitt entlang einer strichpunktierten Linie in der Draufsicht der Haltevorrichtung. Bei der Verbindung zwischen der Membran 49 und dem Rahmen 48 der Haltevorrich tung kommt es darauf an, sie so zu gestalten, daß von der Membran 49 ausgehende radiale Kräfte sich nur schwach auf den Rahmen 48 übertragen. Gemäß der Ausfüh rungsform in Fig. 16 ist die Verbindung als Kugelgelenk ausgebildet. Dabei sind in Abständen am Rand der Membran 49 mehrere Kugeln 65 angeformt, die in eine Aufnahme 66 am Rahmen 48 eingreifen.In Figs. 16 to 21, six different embodiments of Supply are connections between the diaphragm 49 and the mirror presented to the receiving frame 48. Figs. 16 to 21 each show on the right side a top plan view of the diaphragm side, and on the left a cross section along a dotted line in the plan view of the holding device. In the connection between the membrane 49 and the frame 48 of the holding device, it is important to design them so that radial forces emanating from the membrane 49 are only weakly transmitted to the frame 48 . According to the exporting approximate shape in Fig. 16, the connection is formed as a ball joint. In this case, several balls 65 are formed at intervals on the edge of the membrane 49 , which engage in a receptacle 66 on the frame 48 .

Die Membran 49 der in Fig. 17 dargestellten Haltevorrichtung ist mit ihrem Rand in keilförmige Schlitze 67 in Aufnahmen 68 am Rahmen 48 eingesetzt. The membrane 49 of the holding device shown in FIG. 17 is inserted with its edge into wedge-shaped slots 67 in receptacles 68 on the frame 48 .

Die Fig. 18 und 19 zeigen Haltevorrichtungen, deren Membran 49 an ihrem Rand mit Speichen 69 versehen ist. Diese Speichen 69 verzweigen sich gemäß Fig. 18 in zwei in der Membranebene liegende am Rahmen 48 fixierte Arme 70 und 71. Gemäß Fig. 19 verzweigen sich die Speichen 69 in einer Ebene senkrecht zur Membran 49 in zwei am Rahmen 48 fixierte Arme 72 und 73. Solche aus zwei parallelen Feder armen 49′ und 49′′ bestehende Quasigelenke verdeutlicht auch die Fig. 12. FIGS. 18 and 19 show retention devices, the membrane 49 is provided at its rim with spokes 69th These spokes 69 branch out as shown in FIG. 18 in two lying in the plane of the diaphragm fixed to the frame 48. Arms 70 and 71. Referring to FIG. 19, the spokes 69 branch in a plane perpendicular to the membrane 49 in the frame 48 two fixed arms 72 and 73. Such two parallel spring arms 49 'and 49 ''existing quasi-joints also illustrates Fig. 12th

Die Fig. 20 zeigt eine Membran 49, die zwischen mehreren am Rahmen 48 befestig ten Blattfedern 74 eingeklemmt ist. Fig. 20 shows a membrane 49, which befestig between several ten to the frame 48 of leaf springs 74 is clamped.

Der der Fig. 21 zu entnehmende Rahmen 48 besitzt einen gefiederten, um 90° ab gewinkelten Rand 75, auf dem entweder die Membran 49 selbst oder das auf ihr be findliche Piezoelement z.B. durch Kleben fixiert wird.The frame 48 shown in FIG. 21 has a feathered, 90 ° from angled edge 75 on which either the membrane 49 itself or the piezo element which is sensitive to it is fixed, for example by gluing.

Es wurde bereits oben schon einmal darauf hingewiesen, daß der den Spiegel fas sende Rahmen 48 als Fingerstruktur ausgebildet sein kann, die für radiale Kräfte eine weniger harte Verbindung mit dem Spiegel darstellt.It has already been pointed out above that the frame 48 which transmits the mirror can be designed as a finger structure which represents a less hard connection to the mirror for radial forces.

Claims

1. Arrangement for adjusting a mirror perpendicular to its mirror surface with the aim of changing the beam path length in a laser gyroscope, the force for the mirror adjustment being applied by a piezoelectric drive which acts on an outer region of the mirror and on an inner region of the mirror acts, characterized in that the pie zoelectric drive from a first piezo element ( 3 ), which acts on the outer mirror region ( 1 ′), and a second piezo element ( 4 ) separated by a space, which is on the inner Spiegelbe rich ( 1 '') acts, and that the two piezo elements ( 3 , 4 ) between a membrane ( 5 ), which is located on the side facing the mirror ( 1 ) of the piezo elements ( 3 , 4 ), and one on the side of the piezo elements ( 3 , 4 ) facing away from the mirror ( 1 ) and rigid bending cover plate ( 6 ) are clamped.

2. Arrangement according to claim 1, characterized in that with the membrane ( 5 ) at least one bolt ( 7 , 8 , 11 ) is connected, the with the Piezoele elements ( 3 , 4 ) occupied space and the subsequent cover plate ( 6 ) penetrates, and that on the piezo elements ( 3 , 4 ) facing away from the cover plate ( 6 ) a nut ( 7 ', 8 ', 11 ') on the bolt ( 7 , 8 , 11 ) is screwed GE.

3. Arrangement according to claim 2, characterized in that between the nut ( 7 ', 8 ', 11 ') and the cover plate ( 6 ) is a spring ( 7 '', 8 '', 11 ,, ).

4. Arrangement according to claim 2 or 3, characterized in that a bolt ( 11 ) through which on the inner region ( 1 '') of the mirror ( 1 ) acting piezo element ( 4 ) is guided.

5. Arrangement according to claim 2 or 3, characterized in that at least two bolts ( 7 , 8 ) through the on the outer region ( 1 ') of the mirror ( 1 ) acting piezo element ( 3 ) are guided.

6. Arrangement according to claim 2 or 3, characterized in that at least two bolts ( 7 , 8 ) are guided through the free space between the two piezo elements ( 3 , 4 ).

7. Arrangement according to claim 1, characterized in that between the piezo elements ( 3 , 4 ) and the membrane ( 5 ) an intermediate layer ( 9 ) is inserted, which surface of a large, to the piezo elements ( 3 , 4 ) adapted support passes to a smaller surface resting on the membrane ( 5 ).

8. Arrangement according to claim 1, characterized in that between the membrane ( 5 ) and the mirror ( 1 ), a spacer ( 10 ) is arranged, which brings about an adaptation between the different coefficients of thermal expansion of the membrane ( 5 ) and the mirror ( 1 ) .

9. Arrangement according to claim 8, characterized in that the spacer ( 10 ) passes from a small, the membrane ( 5 ) facing bearing surface to a larger, the mirror ( 1 ) facing bearing surface.

10. Arrangement for adjusting a mirror perpendicular to its mirror surface with the aim of changing the beam path length in a laser gyroscope, the force for the mirror adjustment being applied by a piezoelectric drive, characterized in that the piezoelectric drive ( 14 , 15 , 20 , 25 , 28 , 38 , 39 ) in a with the mirror ( 1 ) connected Hal tevvorrichtung ( 13 , 13 ', 19 , 19 ', 26 , 27 , 36 , 36 ', 47 , 47 ') is housed so that the piezoelectric Drive ( 14 , 15 , 20 , 25 , 28 , 38 , 39 ) by a volume change directed parallel to the mirror surface on the one hand on the inner area ( 1 '') of the mirror ( 1 ) and on the other hand on the piezoelectric drive ( 14 , 15 , 20 , 25 , 28 , 38 , 39 ) supporting bending beam device ( 16 , 19 , 21 , 23 , 24 , 29 , 34 , 35 ) causes a deflection perpendicular to the mirror surface.

11. The arrangement according to claim 10, characterized in that the bending beam device consists of one or more cross-guided leaf springs ( 16 , 29 ) and that each of these leaf springs ( 16 , 29 ) with its two ends on the piezoelectric drive ( 14 , 15 , 28 ) and rests with the area of the maximum deflection on the mirror ( 1 ).

12. The arrangement according to claim 10, characterized in that the bending beam device from one or more cross-guided leaf springs ( 21 , 23 ) exerting a force on the mirror ( 1 ), and one or more cross-guided leaf springs ( 22nd , 24 ), which exert a force in the opposite direction on the holding device ( 19 , 26 ), and that each of these leaf springs ( 21 , 23 , 22 , 24 ) is supported with its two ends on the piezoelectric drive ( 20 , 25 ) and with the area of the maximum deflection on the mirror ( 1 ) or on the holding device ( 19 , 26 ).

13. Arrangement according to one of claims 10, 11 and 12, characterized in that the piezoelectric drive is a segmented piezo ring ( 25 , 28 ), on the inside of which the bending beam device ( 23 , 24 , 29 ) is supported and the outside of the holding device ( 26 , 27 ) is present.

14. Arrangement according to one of claims 10, 11 and 12, characterized in that the piezoelectric drive is a closed piezo ring ( 20 ), on the inside of which the bending beam device ( 21 , 22 ) is supported and the outside of which rests on the holding device ( 19 ) .

15. The arrangement according to claim 11 or 12, characterized in that a stamp ( 30 ) is placed on the mirror ( 1 ), that the stamp ( 30 ) by the leaf spring (s) on the mirror ( 1 ) is pressed and that the punch ( 30 ) is biased by a spring ( 33 ) which counteracts the leaf spring (s) ( 29 ).

16. The arrangement according to claim 15, characterized in that the stamp ( 30 ) with its shaft ( 30 ') in the holding device ( 27 ) is resiliently suspended and that the foot of the stamp ( 30 ) with the mirror ( 1 ) with the interposition of a Disc ( 31 ), which brings about an adaptation between the different thermal expansion coefficients of the stamp ( 30 ) and the mirror ( 1 ).

17. The arrangement according to claim 10, characterized in that the Biegebalkenvor direction consists of at least one pivotally mounted on the holding device lever ( 34 , 35 ) which at its holding device on the holding device ( 36 ) th end one on the piezoelectric drive ( 38 , 39th ) adjacent shoulder ( 34 ', 35 ') and the other end rests on the mirror ( 1 ), and that a spring force ( 42 ) the lever ( 34 , 35 ) with its shoulder ( 34 ', 35 ') against the piezoelectric Drive ( 38 , 39 ) presses.

18. The arrangement according to claim 17, characterized in that the lever end pressing on the mirror ( 1 ) is penetrated by a screw ( 45 , 46 ) with which the pressing force of the lever ( 34 , 35 ) on the mirror ( 1 ) is set leaves.

19. Arrangement for adjusting a mirror perpendicular to its mirror surface with the aim of changing the beam path length in a laser gyroscope, the force for the mirror adjustment being applied by a piezoelectric drive, characterized in that the mirror ( 1 ) is held in a holder which consists of a frame ( 48 ) reaching over the edge of the mirror and a membrane ( 49 ) arranged in this frame ( 48 ) and running parallel to the mirror surface, and in such a way that the piezoelectric drive is fixed on the membrane ( 49 ), that when the volume of the piezoelectric drive ( 50 , 51 , 52 , 53 , 54 , 55 ) changes, the membrane ( 49 ) deflects and exerts a force perpendicular to the mirror surface on the mirror ( 1 ).

20. The arrangement according to claim 19, characterized in that on both sides of the membrane ( 49 ) at least one piezo element ( 50 , 51 , 52 , 53 , 54 , 55 ) is fi xed.

21. The arrangement according to claim 20, characterized in that the piezo elements ( 54 , 55 ) are composed of a plurality of piezo layers running parallel to the membrane ( 49 ), the layer thickness becoming smaller with increasing distance from the membrane ( 49 ).

22. The arrangement according to claim 19, characterized in that the frame ( 48 ) of the holder is slotted in the direction perpendicular to the mirror surface, so that there is a finger structure which is resilient for forces parallel to the mirror surface and rigid for forces perpendicular to the mirror surface.

23. The arrangement according to claim 19, characterized in that between the with piezo elements ( 50 , 51 , 52 , 53 , 54 , 55 ) equipped membrane ( 49 ) and the mirror ( 1 ) a force transmitting to the mirror ( 1 ) connecting piece ( 56 , 57 , 58 ) is present.

24. The arrangement according to claim 23, characterized in that the connecting piece has a first bearing surface ( 61 ) for the mirror ( 1 ) and a second bearing surface ( 59 ) for the membrane provided with piezo elements ( 49 ) and that the two bearing surfaces ( 59 , 61 ) are connected to one another by a shaft ( 60 ).

25. The arrangement according to claim 23, characterized in that the connecting piece has a support surface ( 63 ) for the mirror ( 1 ) which is fixed via a shaft ( 62 ) on the membrane ( 49 ).

26. The arrangement according to claim 23, characterized in that the connecting piece ( 64 ) is cup-shaped, the pot base ( 66 ) as a bearing surface for the mirror ( 1 ) and the pot rim ( 65 ) as a bearing surface for the membrane provided with piezo elements serves.

27. The arrangement according to claim 24, 25 or 26, characterized in that the bearing surface ( 61 , 63 ) for the mirror and / or the bearing surface ( 59 ) for the membrane provided with piezo elements ( 49 ) is radially pinnated.

28. The arrangement according to claim 19, characterized in that the membrane ( 49 ) via several ball joints ( 65 , 66 ) is mounted on the frame ( 48 ).

29. The arrangement according to claim 19, characterized in that the membrane edge engages in wedge-shaped slots ( 67 ) on the frame ( 48 ).

30. The arrangement according to claim 19, characterized in that the membrane ( 49 ) is connected to the frame ( 48 ) via a plurality of spokes ( 69 ) and that the individual spokes ( 69 ) each have two arms ( 70 ) fixed to the frame ( 48 ) , 71 , 72 , 73 ) are branched.

31. The arrangement according to claim 30, characterized in that the individual Spei chen ( 69 ) are branched either in the direction of the membrane plane or perpendicular to the membrane plane.

32. Arrangement according to claim 19, characterized in that the membrane ( 49 ) is clamped between a plurality of leaf springs ( 74 ) attached to the frame ( 48 ).

33. Arrangement according to claim 19, characterized in that the frame ( 48 ) has an edge ( 75 ) on which the membrane ( 49 ) rests and is fixed.

34. Arrangement according to claim 33, characterized in that the edge ( 75 ) of the frame ( 48 ) is pinnate.