DE3922589C2 - Rasterkraftmikroskop - Google Patents

Description

Die Erfindung bezieht sich auf ein Rasterkraftmi­ kroskop, wie es im Oberbegriff des Patentanspruches 1 angegeben ist.

Rasterkraftmikroskope sind bekannt. Sie weisen eine Abtastnadel auf, die auf Kräfte zwischen Nadelspitze und einer ihr mit Abstand gegenüberliegenden Objekt­ oberfläche reagiert. Die Abtastnadel ist federnd aufgehängt und wird infolge der Krafteinwirkung be­ wegt. Es werden geringe Nadelbewegungen gemessen, siehe G. Binnig et al, "Atomic Force Microscope", Phys. Rev. Lett., 1986, Bd. 56, S. 930 ff. Die Kräfte, die zwischen Nadelspitze und Objektoberfläche wir­ ken und die Bewegung der Nadelspitze verursachen, können neben van-der-Waals′schen Kräften beispiels­ weise auch elektrostatische oder magnetostatische Kräfte sein, vgl. O. Marti et al, "Combination atomic force microscope/scanning tunneling microskope", J. Vac. Sci. Technol. A 6 (3), 1988, S. 2089/2092, sowie D. Rugar et al, "Force microscope using fiber-optic displacement sensor", Rev. Sci. Instrum., 1988, Bd. 59 (11), S. 2337/2340.

Aufwendig ist das Messen und Registrieren der feinen Bewegungen der federnd gelagerten Tastspitze. Be­ kannt ist es, die Bewegung mit einem Rastertunnel­ mikroskop zu ermitteln, siehe die vorgenannte Veröf­ fentlichung von O. Marti et al, oder optische Sensoren mit interferierenden Laserstrahlen einzusetzen, vgl. die Veröffentlichung von D. Rugar et al. Bei optischen Meßverfahren kann die zwischen Tastspitze und Objektoberfläche wirkende Kraft nicht absolut, sondern nur der Kraftgradient, also eine Kraftänderung gemessen werden.

In einer Veröffentlichung von R. Erlandsson et al., "Atomic force microscopy using optical interferometry", J. Vac. Sci. Technol. A, Bd. 6, 1988, Nr. 2, S. 266-270, wird auf die Möglichkeit hingewiesen, zur Messung der Bewegung zwischen Tastspitze und Objektoberfläche eine kapazitive Technik zu verwenden.

Aufgabe der Erfindung ist es, eine einfache kapazitive Meßeinrichtung zur Registrierung der Relativbewegung zwischen Tastspitze und Objektoberfläche zu schaffen, die eine kompakte Bauweise aufweist und das Justieren der Elektroden vereinfacht.

Diese Aufgabe der Erfindung wird bei einem Rasterkraftmikroskop der eingangs genannten Art durch die in Patentanspruch 1 angegebenen Merkmale gelöst. Die Tastspitze ist mit einer Kondensatorelektrode fest verbunden, die gegenüber einer bewegbaren Referenzelektrode elektrisch isoliert angeordnet ist. Von der Meßeinrichtung wird mittels einer Kapazitätsmeßbrücke die zwischen Kondensatorelektrode und Referenzelektrode jeweils gegebene elektrische Kapazität gemessen. Zumindest eine der Elektroden weist eine sphärisch geformte Oberfläche auf. Diese Ausbildung des Rastkraftmikroskops führt zu einer sehr raumsparenden Bauweise.

Zur Messung von Kapazität oder der Änderung der Kapazität sind nur einfache, allgemein gebräuchliche elektrische Registriereinrichtungen notwendig. Nur für eine der Elektroden wird eine Kondensatorplatte verwendet, die andere Elektrode weist eine sphärisch geformte Oberfläche auf. Mit einer sphärischen Oberfläche können auch beide Elektroden versehen sein, Patentanspruch 2. Um für Schwingungsvorgänge hohe Resonanzfrequenzen zu erhalten, ist es zur Reduktion der Trägheitskräfte zweckmäßig, das Ende der Tastspitze oder deren federnde Aufhängung als Kondensatorelektrode zu verwenden, Patentanspruch 3. Diese weiteren Ausbildungen der Erfindung unterstützen den gewünschten einfachen Aufbau des Rasttermikroskops und errsparen ein Justeiren der Elektroden, das bei Verwendung von Kondensatorplatten wegen der erforderlichen Paralleleinstellung zueinander notwendig ist.

Die Erfindung wird nachfolgend anhand eines in der Zeichnung schematisch wiedergegebenen Ausführungsbeispieles näher erläutert. Die Figuren zeigen im einzelnen:

Fig. 1 den mechanischen Aufbau des Rasterkraftmikroskops;

Fig. 2 ein Schaltbild der Meßanlage.

Fig. 1 zeigt den mechanischen Aufbau eines Raster­ kraftmikroskops mit kapazitiver Abstandsmessung. Auf einem auf einem XYZ-Piezoelement 2 angeordneten Objektträger 1 ist ein Objekt 3 befestigt, dessen Oberflächen­ struktur ermittelt werden soll. Das XYZ-Piezoelement ist geeignet, durch Anlegen entsprechender Spannun­ gen das Objekt 3 sowohl senkrecht zur Objektoberfläche (Z-Richtung) als auch parallel zu seiner Oberfläche (X, Y-Richtung) zu bewegen.

Mit Abstand zur Objektoberfläche ist eine Tastspitze 4 angeordnet, die an einem Federelement 5 befestigt ist. Als Federelement wird eine Doppeldrahtfeder benutzt, wie sie beispielsweise in der vorgenannten Veröffentlichung von O. Marti et al angegeben ist. Im Ausführungsbeispiel besteht der das Federelement mit seinen Schenkeln 6 bildende Draht aus Aluminium mit einem Durchmesser von 25 µm. Die Länge 7 der Schenkel 6 zur Befestigung des Federelementes 5 an einem Träger 8 beträgt jeweils 5 mm. Das Federelement weist eine Federkonstante von etwa 1 N/m auf.

Die Tastspitze 4 ist über eine Halterung 9 starr mit einer Kondensatorelektrode 10 verbunden, die im Ausführungsbeispiel als Kondensatorplatte ausge­ bildet ist. Im Ausführungsbeispiel steht der Konden­ satorelektrode 10 eine Referenzelektrode 11 gegen­ über, die eine sphärisch geformte Oberfläche aufweist. Die sphärische Oberfläche ist zur Kondensatorelek­ trode 10 hin gerichtet.

Zur Feststellung des relativen Abstandes zwischen Kondensatorelektrode 10 und Referenzelektrode 11 wird im einfachsten Fall die gegebene Kapazität zwischen den Elektroden gemessen. Die Kondensatorelek­ trode 10 und die Referenzelektrode 11 sind daher gegeneinander elektrisch isoliert angeordnet.

Im Ausführungsbeispiel ist die Referenzelektrode 11 an einem Steuerpiezoelement 12 befestigt. Das Steuerpiezoelement dient zur Feineinstellung des Abstandes zwischen Referenzelektrode 11 und Kondensa­ torelektrode 10, insbesondere zum Nachführen der Re­ ferenzelektrode 11 während der Kraftmessung. Zur Grob­ einstellung ist eine mechanische Verstelleinrichtung 13 vorgesehen, die eine Bewegung der Referenzelek­ trode über Mikrometerschrauben gestattet. Die Ver­ stelleinrichtung 13 ist am Arbeitstisch 14 befestigt.

Über eine weitere Verstelleinrichtung 15 mit Mikro­ meterschraube läßt sich auch der Objektträger 1 be­ wegen. Ein Probenhalter ist am Arbeitstisch 14 verschiebbar angeordnet.

Zur Messung der Kapazität und Aufzeichnung der Meß­ ergebnisse dient die in Fig. 2 dargestellte Meß­ anlage. Die dem Abstand zwischen Kondensatorelek­ trode 10 und Referenzelektrode 11 entsprechende elek­ trische Kapazität, die wie bereits angegeben im ein­ fachsten Fall als Referenzsignal für die Auslenkung der Tastspitze 4 infolge der wirkenden Kraft gemes­ sen wird, wird mit einer Kapazitätsmeßbrücke 16 und einem lock-in-Detektor 17 als phasenempfindlichem Verstärker ermittelt. Kapazitätsmeßbrücke und lock- in-Detektor sind derart ausgelegt, daß sich auch sehr geringe Auslenkungen der Tastspitze im Subnanometer- Bereich und sich daraus ergebende Kapazitätsänderun­ gen registrieren lassen. Im Ausführungsbeispiel weist die Kapazitätsmeßbrücke 16 ein Verhältnis 100 : 1 zwischen gemessener Kapazität zwischen der Konden­ satorelektrode 10 und der Referenzelektrode 11 einer­ seits und einer Referenzkapazität in der Kapazitäts­ meßbrücke 16 andererseits auf. Wird also eine Kapa­ zität von 1 pF zwischen Kondensatorelektrode 10 und Referenzelektrode 11 gemessen, so ist die Referenz­ kapazität in der Kapazitätsmeßbrücke 16 auf 100 pF einzustellen. Im Ausführungsbeispiel ist die Refe­ renzkapazität variierbar ausgebildet und läßt sich an verschiedene, dem jeweiligen Anwendungsfall ent­ sprechende Kapazitätswerte anpassen. Mit dem lock- in-Detektor 17 wird unter Phasenabgleich bei einer Frequenz von ca. 50 kHz der in der Kapazitätsmeßbrücke fließende Strom aufgrund der unterschiedlichen Ka­ pazitätswerte in der Meßbrücke ermittelt.

Die Empfindlichkeit der Kapazitätsmessung beträgt im Ausführungsbeispiel etwa 1×10^-6 pF. Die Empfind­ lichkeit der Messung wird durch die Temperaturdrift der Referenzkapazität in der Kapazitätsmeßbrücke begrenzt. Die Meßeinrichtung ist derart ausgelegt, daß sich bei einem Abstand von 1 µm zwischen der Kondensatorelektrode 10, die als Kondensatorplatte mit einer Fläche 0,1 mm² ausgebildet ist, und der Referenzelektrode 11 eine Kapazität von 1 pF ergibt. Die vorgenannte Empfindlichkeit entspricht dann einer Abstandsänderung von nur 0,1 nm zwischen Kondensator­ elektrode 10 und Referenzelektrode 11. Die Empfind­ lichkeit kann durch Verwendung einer Referenzkapa­ zität mit geringer Temperaturdrift gesteigert werden.

Das Steuerpiezoelement 12 wird von einer feedback- Elektronik 18 bewegt. Die feedback-Elektronik 18 ist zusätzlich dazu geeignet, zwischen Kondensator­ elektrode 10 und Referenzelektrode 11 die gegebene Kapazität konstant zu halten. In diesem Falle ist das bei einer Bewegung der Tastspitze 4 notwendige Nachführen der Referenzelektrode 11 durch Verkürzen oder Verlängern des Steuerpiezoelementes 12 ein Maß für die zwischen Tastspitze 4 und Objektoberfläche wirkende Kraft. Das zur Verstellung des Steuerpiezo­ elementes 12 notwendige elektrische Signal wird von einem weiteren lock-in-Verstärker 19 von der feedback- Elektronik 18 abgegriffen.

Der lock-in-Detektor 17 und die feedback-Elektronik 18 leiten ihre Signale zu einem elektronischen Reg­ ler 20, der zusammen mit einer Rechnereinheit 21 die Bewegung des XYZ-Piezoelementes 2 steuert und somit die Lage der Objektoberfläche relativ zur Tast­ spitze 4 einstellt. Zur Steuerung des XYZ-Piezoelemen­ tes 2 werden dem Piezoelement vom elektronischen Regler 20 zur Verlängerung und Verkürzung des XYZ- Piezoelementes 2 in Z-Richtung entsprechende Gleich­ spannungswerte aufgeschaltet, für die Bewegung des Piezoelementes in XY-Richtung werden im Ausführungs­ beispiel entsprechende Gleichspannungswerte von der Rechnereinheit 21 erzeugt. Am Ausgang der Rechner­ einheit 21 ist ein Signal abgreifbar, das der herr­ schenden Kraft zwischen Tastspitze 4 und Objektober­ fläche proportional ist. Dieses Signal wird zur Bild­ erzeugung und Registrierung einem Datensichtgerät 22 aufgeschaltet.

Über den lock-in-Verstärker 19 ist das XYZ-Piezo­ element 2 in Z-Richtung auch schwingend bewegbar. Die hierzu erzeugte Wechselspannung ist dem XYZ- Piezoelement 2 additiv zur statischen Bewegung des Piezoelementes 2 in Z-Richtung aufschaltbar. Das Objekt oszilliert somit senkrecht zur Objektober­ fläche in Richtung auf die Tastspitze 4 zu.

Mit dem Rasterkraftmikroskop der beschriebenen Art sind die folgenden Operationen möglich:

• a) Als Maß für die wirksame Kraft zwischen Tastspitze und Objektoberfläche wird die Bewegung des Steuer­ piezoelements 12 genutzt, die notwendig ist, um die Referenzelektrode 11 mit der Maßgabe nachzuführen, daß die Kapazität und damit der Abstand zwischen Referenzelektrode 11 und Kondensatorelektrode 10 konstant bleiben. Um dabei auch die Kraft zwischen Tastspitze 4 und Objektoberfläche konstant zu hal­ ten zu können (zur Darstellung von Oberflächenstruk­ turen durch Wiedergabe von Linien gleicher Kraft), wird über das XYZ-Piezoelement das Objekt in Z-Rich­ tung bewegt.
• b) Eine andere Art der Messung erfolgt bei in Z-Rich­ tung oszillierendem Objekt, es wird dann die dabei erzeugte Kraftänderung in Z-Richtung gemessen. Hier­ zu wird der Objektträger über den lock-in-Verstärker 19 in Z-Richtung bevorzugt sinusförmig nahe der Re­ sonanzfrequenz des ungedämpften Federelementes 5 bewegt. Die daraus resultierende Schwingung der Tast­ spitze 4 wird wieder vom lock-in-Verstärker 19 er­ mittelt. Dabei sorgen der lock-in-Detektor 17 und die feedback-Elektronik 18 für einen konstanten mitt­ leren Abstand zwischen Tastspitze 4 und Objektober­ fläche. Dies erfolgt in gleicher Weise, wie es vor­ hergehend unter a) beschrieben ist.
• c) Möglich ist es selbstverständlich auch, mit dem look-in-Detektor 17 direkt die Kapazitätsänderung zwischen Referenzelektrode 11 und Kondensatorelek­ trode 10 zu messen, die sich bei einer Abstandsän­ derung zwischen diesen Elektroden entsprechend der Auslenkung der Tastspitze 4 infolge der auf sie ein­ wirkenden Kraft ergibt.

Die unter a) und b) beschriebenen Meßmethoden ermög­ lichen es, durch Konstanthalten der Kapazität und des Abstandes zwischen Kondensatorelektrode 10 und Referenzelektrode 11 einen Kurzschluß durch unbeab­ sichtigte Berührung der Elektroden infolge ihrer Bewegung zu vermeiden. Bei der unter b) beschriebe­ nen Methode zur Messung der Kraftänderung in Z-Rich­ tung werden hochfrequente Schwingungen mit geringen Amplituden im Bereich von 0,1 nm erzeugt. Der konstant eingehaltene mittlere Abstand zwischen Tastspitze 4 und Objektoberfläche beträgt bevorzugt dabei etwa 10 nm.

Zusätzlich zu den oben angegebenen Maßnahmen kann die wirksame Kraft zwischen Tastspitze und Objekt­ oberfläche auch durch eine zwischen Tastspitze und Objekt angelegte elektrische Spannung über die da­ bei erzeugte resultierende elektrostatische Kraft gezielt beeinflußt werden.

Zur Ausbildung der Kondensatorelektrode oder der Referenzelektrode aus einer Drahtspitze wird der zu verwendende Draht zuvor geätzt und elektrolytisch poliert.

Claims (3)

1. Rasterkraftmikroskop mit einer federnd gelagerten Tastspitze, die mit Abstand zu einer Objektoberfläche gehalten ist und relativ zur Objektoberfläche bewegbar ist, und deren Bewegung infolge zwischen Tastspitze und Objektoberfläche wirkenden Kräften mit einer die Bewegung elektrisch kapazitiv erfassenden Meßeinrichtung registrierbar ist, dadurch gekennzeichnet, daß die Tastspitze (4) mit einer Kondensatorelektrode (10) fest verbunden ist, die gegenüber einer bewegbaren Referenzelektrode (11) elektrisch isoliert angeordnet ist, daß die zwischen Kondensatorelektrode (10) und Referenzelektrode (11) vorliegende elektrische Kapazität von der Meßeinrichtung mittels einer Kapazitätsmeßbrücke (16) gemessen wird, und daß zumindest eine der Elektroden (10, 11) eine sphärisch geformte Oberfläche aufweist.

2. Rasterkraftmikroskop nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß beide Elektroden (10, 11) sphärisch geformte Oberflächen aufweisen.

3. Rasterkraftmikroskop nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Tastspitze (4) an ihrem der Spitze entgegengesetzten Ende oder eine federnde Aufhängung der Tastspitze (4) die Kondensatorelektrode (10) bilden.