DE3921410A1 - Vorrichtung zum erkennen von bewegungszustaenden - Google Patents

Vorrichtung zum erkennen von bewegungszustaenden

Info

Publication number
DE3921410A1
DE3921410A1 DE19893921410 DE3921410A DE3921410A1 DE 3921410 A1 DE3921410 A1 DE 3921410A1 DE 19893921410 DE19893921410 DE 19893921410 DE 3921410 A DE3921410 A DE 3921410A DE 3921410 A1 DE3921410 A1 DE 3921410A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
receiver
signal
signal generator
raster
triangular wave
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
DE19893921410
Other languages
English (en)
Inventor
Egon Frey
Henner Dr Meinhold
Thomas Hoffmann
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
MTC MIKROTEC GmbH
Original Assignee
MTC MIKROTEC GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by MTC MIKROTEC GmbH filed Critical MTC MIKROTEC GmbH
Priority to DE19893921410 priority Critical patent/DE3921410A1/de
Publication of DE3921410A1 publication Critical patent/DE3921410A1/de
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01PMEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
    • G01P3/00Measuring linear or angular speed; Measuring differences of linear or angular speeds
    • G01P3/42Devices characterised by the use of electric or magnetic means
    • G01P3/44Devices characterised by the use of electric or magnetic means for measuring angular speed
    • G01P3/48Devices characterised by the use of electric or magnetic means for measuring angular speed by measuring frequency of generated current or voltage
    • G01P3/481Devices characterised by the use of electric or magnetic means for measuring angular speed by measuring frequency of generated current or voltage of pulse signals
    • G01P3/486Devices characterised by the use of electric or magnetic means for measuring angular speed by measuring frequency of generated current or voltage of pulse signals delivered by photo-electric detectors

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optical Transform (AREA)

Description

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Erkennen von Be­ wegungszuständen und -änderungen eines Objektes, beispiels­ weise zum Erkennen der Drehzahl oder der linearen Geschwin­ digkeit eines Objekts. Die Vorrichtung besteht im wesentli­ chen aus einem Signalgeber, einem Empfänger und einer zwi­ schen dem Signalgeber und dem Empfänger vorgesehenen Codier­ einrichtung mit darauf angeordneten Rasterelementen, wobei beispielsweise die Codiereinrichtung aus einer Codierscheibe bestehen kann, an deren Außenumfang Einschnitte oder Löcher o. dgl. ausgebildet sind.
Es sind derartige Vorrichtungen bekannt, bei denen das Emp­ fängerausgangssignal sinusförmig verläuft. Diese Sinuswelle stellt in der Regel die Intensität des Signals, das auf dem Empfänger auftritt, dar. Um zu einer verwertbaren Aussage des Ausgangssignals zu kommen, muß dieses umgeformt werden. Übli­ cherweise wird die Sinuswelle differenziert, so daß eine Ko­ sinuswelle entsteht, diese Kosinuswelle wird dann in einem nächsten Schritt gleichgerichtet, und man erhält ein Aus­ gangssignal, das in einer gewissen Schwankungsbreite relativ konstant ist. Diese Schwankungsabweichungen können durch einen Filter geglättet werden. Aus dem Filter ein konstantes Signal aus, das sich als Funktion der Bewegungsgeschwindig­ keit ändert. Diese bekannte Vorrichtung mit der dazugehörigen Schaltung hat jedoch den wesentlichen Nachteil, daß sie auf Geschwindigkeitsänderungen relativ träge reagiert, da insbe­ sondere beim Glätten ein relativ hoher Zeitfaktor auftritt, der dazu führt, daß die Geschwindigkeitsänderungen relativ verzögert von den Meßinstrumenten angezeigt werden. Um die Genauigkeit zu erhöhen, ist man dazu übergegangen, die Co­ dierscheibe mit möglichst vielen Rasterelementen zu bestücken, um eine möglichst hohe Anzahl von Schwingungen zu erhal­ ten, die dann wiederum eine genauere Fixierung des Ausgangs­ signals ermöglichen. Dies hat jedoch wiederum eine äußerst präzise gearbeitete und daher kostenträchtige Codierscheibe zur Folge.
Es sind des weiteren digital arbeitende Meßvorrichtungen zur Drehzahlmessung bekannt, die jedoch eine Vielzahl von Signa­ limpulsen pro Zeiteinheit erfordern, z. B. muß über mindestens 10 Schlitze gemittelt werden, um eine genaue Aussage zu be­ kommen.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung der genannten Gattung zu schaffen, mit der Änderungen von Be­ wegungszuständen rascher als bisher und bei einfacherer Ge­ staltung der Vorrichtung erfaßbar sind.
Die Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch glöst, daß jedes Rasterelement, der Signalgeber und/oder der Empfänger so aus­ gebildet sind, daß das Empfängerausgangssignal im wesentli­ chen eine Dreieckswelle ist. Die Dreieckswelle bietet den Vorteil, daß deren Differenzierung über die Zeit eine Rechteckwelle ergibt, in der jeweils zeitkonstante Abschnitte vorkommen. Nach einer Gleichrichtung dieser Rechteckwelle er­ hält man ein im wesentlichen konstantes Ausgangssignal, das lediglich an den Sprungstellen Peaks aufweist, deren Glättung jedoch mit Hilfe eines Kondensatorfilters keine so große Zeitkonstante in das System einführt, wie es beim Stand der Technik der Fall ist. Das auf diese Weise erhaltene meßtech­ nisch verwertbare Ausgangssignal, das eine Information über den Bewegungszustand beinhaltet, ist um einen Faktor 10 reak­ tionsschneller als mit der üblichen Methode.
Vorteilhafterweise wird die Dreieckswelle dadurch erzeugt, daß jedes Rasterelement und der Signalgeber jeweils mit einer deckungsgleichen Raster- bzw. Signalabgabefläche ausgebildet ist. Auf diese Weise nimmt die Signalintensität während der Verschiebung der Rasterfläche über die Signalabgabefläche li­ near zu, erreicht ihre maximale Intensität im Augenblick der Deckungsgleichheit und fällt anschließend wieder linear ab, bis die zugeordnete Rasterfläche an der Signalabgabefläche vorbei ist. Besonders günstige Ergebnisse werden zusätzlich erzielt, wenn die Empfängerfläche mit der Rasterfläche eben­ falls deckungsgleich ist.
Besonders vorteilhaft ist es, wenn die angesprochenen Flächen im wesentlichen viereckig geformt sind, wobei zumindest zwei Ränder dieser Flächen zur Bewegungsrichtung im wesentlichen senkrecht verlaufen. Eine einfache und wirkungsvolle Vorrich­ tung erhält man dann, wenn der Signalgeber ein optisches Si­ gnal abgibt und der Empfänger ein optischer Empfänger ist, beispielsweise eine Photozelle oder Photodiode.
Bei einer anderen vorteilhaften Ausgestaltung erzeugt der Si­ gnalgeber ein Magnetfeld und der Empfänger spricht auf dieses Magnetfeld an. Dieses Magnetfeld wird in der gleichen Weise durch einen Abdeckvorgang, der eine Funktion der Zeit ist, abgedeckt, wie bei der optischen Einrichtung.
Eine vorteilhafte weitere alternative Ausbildung besteht darin, daß der Signalgeber und der Empfänger zu einer Si­ gnaleinheit als Plattenkondensator ausgebildet sind, wobei zwischen den Platten die Codiervorrichtung bewegbar angeord­ net ist.
Im folgenden wird die Erfindung anhand eines Ausführungsbei­ spiels im Detail näher erläutert. Es zeigen
Fig. 1 eine schematische Darstellung der erfindungsgemäßen Vorrichtung zur Messung der Drehzahl bei einem Mo­ tor,
Fig. 2 eine schematische Darstellung einer Draufsicht ei­ ner schreibenförmig ausgebildeten Codiereinrichtung,
Fig. 3 eine vergrößerte Darstellung des Details A aus Fig. 2,
Fig. 4 ein Blockschaltbild der erfindungsgemäßen Vorrich­ tung,
Fig. 5 eine schematische Darstellung der Umwandlung von der Erzeugung des Empfängerausgangssignals bis zum verwertbaren Informationssignal, und
Fig. 6 eine Prinzipdarstellung eines Analogschaltkreises, an dessen Ausgang das Informationssignal des Bewe­ gungszustands anliegt.
Das Ausführungsbeispiel bezieht sich auf eine Drehzahlmeßvor­ richtung für einen Elektromotor. Die Erfindung ist jedoch nicht auf eine derartige Anwendung beschränkt, sondern kann in gleicher Weise auch bei lineraren Bewegungszuständen Anwen­ dung finden.
Die in Fig. 1 an einem Motor 1 angeordnete Vorrichtung zum Erkennen von Bewegungszuständen oder -änderungen ist ein op­ tisches System. Auf Ende der Welle 2 des Motors 1 ist eine Codiereinrichtung 4 aufgesetzt. Die Codiereinrichtung besteht im vorliegenden Fall aus einer Scheibe mit am Außenumfang an­ geordneten Rasterelementen 7.
Diese Rasterelemente 7 können allseitig geschlossene Durch­ brüche durch die Scheibe sein. Sie können jedoch auch als Blendenelemente am Außenumfang so angeordnet sein, daß die Löcher nach radial außen frei sind. An geeigneter Stelle sind ein Signalgeber 5 und diesem gegenüberliegend ein Empfänger 6 angeordnet. Diese beiden Bauelemente sind so plaziert, daß der Signalstrom exakt auf die Rasterelemente gerichtet ist.
In Fig. 2 ist eine Codiereinrichtung 4 in Form einer Scheibe dargestellt, am Außenumfang dieser Scheibe sind Ausnehmungen in Form von viereckigen Lochflächen 9 ausgebildet, die mit Blenden 8 gleicher Abmessung regelmäßig abwechseln. Diese mit A gekennzeichnete Einzelheit ist in Fig. 3 größer darge­ stellt. Die in Fig. 3 dargestellte momentane Situation zeigt die Lochfläche 9 in exakter Flucht mit der Signalabgabefläche 10 des Signalgebers 5. Das als Lochfläche 9 ausgebildete Ra­ sterelement weist eine viereckige Form auf, praktisch im vor­ liegenden Fall ein Quadrat, das genau mit der Abgabefläche 10 des Signalgebers übereinstimmt.
Während die Rasterelemente der Codiereinrichtung 4 in Fig. 1 eine vollkommen umschlossene Lochfläche aufweisen, befinden sich demgegenüber die Rasterelemente 7 der Codiereinrichtung aus den Fig. 2 und 3 am Außenumfang.
Der Durchschnittsfachmann weiß, daß die in Fig. 1 darge­ stellte Ausführungsform sinngemäß abgeändert werden kann, beispielsweise können die Rasterelemente Spiegelflächen sein, die das aufgefangene Signal reflektieren, wobei der Empfänger dann so plaziert sein muß, daß er das Signal in analoger Weise empfangen kann.
Wesentlich für die voliegende Erfindung ist, daß das von dem Empfänger abgegebene Ausgangssignal infolge der Ausgestaltun­ gen der Signalabgabefläche und der Codiereinrichtung eine Dreieckswelle ist, die anschließend in der unten beschriebe­ nen Weise umgeformt wird. Um eine solche dreieckige Empfänge­ rausgangswelle zu erzeugen, ist es erforderlich, daß das auf den Empfänger auftreffende Signal linear mit der Bewegung wächst. Dies wird bei dem optischen System dadurch erreicht, daß die Blende 8 abhängig von der Zeit die Signalabgabefläche zunehmend frei gibt, so daß die Photozelle oder Photodiode einen linear in der Stärke zunehmenden Strom abgibt. Die Li­ nearität des Stromanstiegs wird dadurch erreicht, daß infolge der zur Bewegungsrichtung im wesentlichen senkrecht verlau­ fenden Kante der Blende das entstehende Rechteck stetig ver­ größert wird, was zu einer linearen Zunahme des Flächenin­ halts führt. Bei völliger Freigabe der Signalabgabefläche durch die gleich große Lochfläche erhält man den Maximalwert des Signals und somit auch des Empfängerabgabesignals. Die Abnahme des Empfängerabgabesignals wird durch die kontinuier­ liche Abdeckung der Signalabgabefläche durch die nachfolgende Blende erreicht, wodurch die im Ausführungsbeispiel quadrati­ sche Abgabefläche linear gegen Null reduziert wird.
Bei anderen Anwendungsgebieten kann es vorteilhaft sein, statt eines optischen Lichtsystems ein magnetisches System zu verwenden, das dann analog aufgebaut wird.
Eine wiederum andere Anwendungsform kann darin bestehen, daß statt eines Signalgebers und eines Empfängers ein Plattenkon­ densator vorgesehen ist, zwischen dem sich die Codiereinrich­ tung bewegt, wobei hier wiederum die Auslegung so zu erfolgen hat, daß stets eine Dreieckswelle abgegriffen werden kann, die dann in der unten näher erläuterten Weise umgeformt wird.
In Fig. 4 ist ein Blockschaltbild für das optische System dargestellt, das jedoch analog mit anwendungsbedingten Ände­ rungen auch für das magnetische oder kapazitive System gilt.
Der Ablauf in dem Blockschaltbild wird unter Zuhilfenahme der schematischen Darstellungen der Fig. 5 erläutert. Das vom Si­ gnalgeber abgegebene Signal wird durch die Codiereinrichtung codiert und in dieser codierten Form vom Empfänger aufgenom­ men. In Fig. 5A ist symbolisch die die Codierung mit den ab­ wechselnden bedeckten und freien Signalabgabeflächen darge­ stellt. Das Empfängerabgabesignal ist in Fig. 5B gezeigt, wo­ bei deutlich der ansteigende Bereich der Dreieckswelle für die zunehmende Freifläche und der abnehmende Bereich für die zunehmende Abdeckung zu erkennen ist. Diese Dreickswelle wird in einem Verstärkerglied so weit verstärkt, daß sie in einem nachfolgenden Differenzierglied zu einer Rechteckwelle mit Null-Durchgang differenziert werden kann. Diese Rechteck­ welle wird in einem Gleichrichter so ummoduliert, daß prak­ tisch der negative Teil um die Nullachse nach oben geklappt wird, so daß ein im wesentlichen von der Amplitude des Diffe­ renzierglied-Signals abhängiges konstantes Ausgangssignal er­ zielt wird. An den Sprungstellen der Rechteckfunktion ergeben sich in der Regel Peaks, die das konstante Ausgangssignal verfälschen. Dieser Nachteil läßt sich beispielsweise dadurch ausschalten, daß man zwei derartige Vorrichtungen so anord­ net, daß das Ausgangssignal des Empfängers 2 gegenüber dem Ausgangssignal des Empfängers 1 soweit phasenverschoben ist, daß bei einer Überlagerung der Ausgangssignale nach der Gleichrichtung die Peaks ebenfalls phasenverschoben sind und somit auf das konstante Ausgangssignal keinen Einfluß mehr ausüben können.
Eine Drehzahländerung der Motorwelle führt zu einem steileren Anstieg der Steigung der Dreieckswelle, da der volle flächen­ abhängige Stromwert in kürzerer Zeit erreicht wird. Die stär­ kere Steigung der Welle hat bei der Differenzierung eine hö­ here Amplitude der Rechteckwelle zur Folge und somit nach dem Gleichrichten ein insgesamt höheres Ausgangssignal.
Dieser Sachverhalt soll anhand der folgenden Überlegungen nä­ her erläutert werden:
(1) F = h · l; (2) IPhotodiode = c · F (experimentell ermittelt)
C: Proportionalitätsfaktor je nach Typ
(3) V = 2π · r · n
F = h · l = h · 2π · r · n · t
IPhoto = c · h · 2π · r · n · t
UVers = -R₁ · IPhoto = -R₁ · c · h · 2π · r · n · t
UA = -R₂ · C₂
UA = + R₂ · C₂ · R₁ · c · h · 2π · r · n
UA = {R₂ · C₂ · R₁ · c · h · 2πr} · n
konstant.
In den Gleichungen bedeuten:
F = Fläche des Rasterelements = Fläche des Signalgebers = Fläche des Empfängers,
h = Höhe der Fläche in radialer Richtung,
l = Breite der Fläche in Umfangsrichtung
I = Photodiode = Ausgangsstrom des Empfängers hier Photodi­ ode,
C = Proportionalitätsfaktor des Empfängers
r = mittlerer Radius der Flächen
n = Drehzahl
t = Zeit
v = Geschwindigkeit
UVers = Spannung des Verstärkers
R₁ = Widerstand des ersten Widerstands
R₂ = Widerstand des zweiten Widerstands
UA = Signalspannung nach der Gleichrichtung ist identisch mit der Information über die Geschwindigkeit.
In Fig. 6 ist ein Prinzipschaltbild einer Analog-Schaltung dargestellt, die als Ausgang ein Spannungssignal in Abhängig­ keit der Drehzahl liefert. Das Stromsignal der Photodiode wird im ersten mit OP1 bezeichneten Integrator zu der Drei­ eckswelle geformt, die dann im mit OP2 bezeichneten Span­ nungsverstärker mit davor geschaltetem Kondensator differen­ ziert wird. Das sich daraus ergebende Signal in Form der Rechteckwelle gemäß Fig. 5C wird in dem Gleichrichter zu dem Ausgangssignal mit der Geschwindigkeitsinformation umgewan­ delt. Der Glätter filtert die Peaks aus dem Signal, das bei sich verändernder Drehzahl auf der x-Achse steigt und fällt.

Claims (9)

1. Vorrichtung zum Erkennen von Bewegungszuständen und -änderungen, mit einem Signalgeber, einer aus Rasterele­ menten bestehenden Codiereinrichtung und mit einem Emp­ fänger, wobei eines der genannten Vorrichtungselemente mit einem sich bewegenden Objekt gekoppelt ist, dadurch gekennzeichnet, daß jedes Rasterelement R1, der Signal­ geber S1 und/oder der Empfänger E1 so ausgebildet sind, daß das Empfängerausgangssignal im wesentlichen eine Dreieckswelle ist.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß jedes Rasterelement R1 und der Signalgeber S1 mit je­ weils deckungsgleichen Signalabgabe- bzw. Rasterflächen SA1 bzw. RF1 ausgebildet sind.
3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeich­ net, daß die Empfängerfläche EF1 des Empfängers E1 dec­ kungsgleich mit der Rasterfläche RF1 ist.
4. Vorrichtung nach mindestens einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Flächen SF1, RF1, EF1 im wesentlichen viereckig geformt sind.
5. Vorrichtung nach mindestens einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß zum mindesten zwei Ränder RD1 der Flächen SF1, RF1, EF1 zur Bewegungsrichtung im we­ sentlichen senkrecht verlaufen.
6. Vorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Codiereinrichtung als Lochblende ausgebildet ist, wobei sich der Fläche RF1 eines Lochs eine Blende BL mit gleich großer Fläche BL1 anschließt.
7. Vorrichtung nach mindestens einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß der Signalgeber S1 ein opti­ scher Signalgeber und der Empfänger E1 ein optischer Empfänger, z. B. eine Fotozelle oder Fotodiode ist.
8. Vorrichtung nach mindestens einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß der Signalgeber S1 ein Ma­ gnetfeld erzeugt und der Empfänger E1 auf das Magnetfeld anspricht.
9. Vorrichtung nach mindestens einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß der Signalgeber S1 und der Empfänger E1 zu einer Signaleinheit als Plattenkondensa­ tor FL1 ausgebildet und zwischen den Platten P1 die mit dem Objekt bewegungsverbundene Codiereinrichtung ange­ ordnet ist.
DE19893921410 1989-06-29 1989-06-29 Vorrichtung zum erkennen von bewegungszustaenden Withdrawn DE3921410A1 (de)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19893921410 DE3921410A1 (de) 1989-06-29 1989-06-29 Vorrichtung zum erkennen von bewegungszustaenden

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19893921410 DE3921410A1 (de) 1989-06-29 1989-06-29 Vorrichtung zum erkennen von bewegungszustaenden

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE3921410A1 true DE3921410A1 (de) 1991-01-03

Family

ID=6383934

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19893921410 Withdrawn DE3921410A1 (de) 1989-06-29 1989-06-29 Vorrichtung zum erkennen von bewegungszustaenden

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE3921410A1 (de)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0780688A2 (de) * 1995-12-22 1997-06-25 Samsung Electronics Co., Ltd. Geschwindigkeitsdetektor für Schlittenantriebsmotor

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0780688A2 (de) * 1995-12-22 1997-06-25 Samsung Electronics Co., Ltd. Geschwindigkeitsdetektor für Schlittenantriebsmotor
EP0780688A3 (de) * 1995-12-22 1998-12-16 Samsung Electronics Co., Ltd. Geschwindigkeitsdetektor für Schlittenantriebsmotor

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE3844705C2 (de)
DE4213866B4 (de) Sensor für Drehbewegungen
DE3326555C2 (de)
EP0106951A1 (de) Positionsmessverfahren und Einrichtungen zur Durchführung des Verfahrens
DE4209149C2 (de) Verschiebungsdetektoren zum Detektieren zweidimensionaler Verschiebungen
DE3417176A1 (de) Photoelektrische messeinrichtung
WO2001023897A1 (de) Gebersystem mit einem beschleunigungsgeber und einem positionsgeber
EP0493385A1 (de) Hochauflösender encoder.
EP0083689B1 (de) Lichtelektrische inkrementale Längen- oder Winkelmesseinrichtung
DE69024529T2 (de) Informationserfassungsgerät
DE2521163C2 (de) Einrichtung zur ermittlung einer der drehzahl oder dem drehwinkel einer achse entsprechenden groesse
DE3921410A1 (de) Vorrichtung zum erkennen von bewegungszustaenden
CH626720A5 (de)
DE3322712C2 (de) Optisches Abstandsmeßverfahren
DE2722581C3 (de) Schaltungsanordnung zur Signalaufbereitung von Ausgangssignalen eines Feldplattengebers bei Raddrehzahlgebern von Fahrzeugen
EP0437597B1 (de) Vorrichtung zum messen von längen, winkeln und dergleichen
CH619783A5 (de)
DE2839880C3 (de) Vorrichtung zur Bestimmung der Lageänderung eine Gegenstandes
DE2815324A1 (de) Mechanisch-elektrischer wandler
DE4206777A1 (de) Vorrichtung zur erzeugung oberwellenfreier periodischer signale
AT396840B (de) Vorrichtung zur erzeugung von referenzsignalen
DE2944502C2 (de)
DE3232425A1 (de) Verwendung eines elektronischen empfaengers mit differentialtransformator zum messen der augenblicksgeschwindigkeit und/oder der augenblicklichen aenderung der geschwindigkeit eines beweglichen koerpers zusammen mit der messung seiner lage
EP0176840B1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Positionsbestimmung eines induktiven Messaufnehmers auf einem Messtisch
DE3234948A1 (de) Verfahren und vorrichtung zur beruehrungslosen bewegungsmessung

Legal Events

Date Code Title Description
8139 Disposal/non-payment of the annual fee