DE3910166A1 - Optical coupling device and method for its production - Google Patents

Optical coupling device and method for its production

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Abstract

In a device for optically coupling an optical waveguide (1) with a lens (2) which is adjusted and fixed in a specific three-dimensional relation with respect to the optical waveguide (1), which is guided and fixed in a metal tube (3), precise adjustment and fastening of lens (2) and optical waveguide (1) are to be achieved with little outlay. The metal tube (3), as adjusting and fixing basic element, has a precisely calibrated inner cylinder (4), and the lens (2) is inserted and fixed by force fit in a hermetically tight manner and the optical waveguide (1), which is guided precisely in a plug pin element (5), is likewise inserted and fixed in an adjusted manner in the inner cylinder (4) of the metal tube (3). Main area of application: bidirectional optical waveguide transmission and reception modules and unidirectional optical waveguide transmission or reception modules. <IMAGE>

Description

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum optischen Koppeln nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1 und ein Verfahren zu deren Herstellung nach Anspruch 12.The invention relates to a device for optical coupling according to the preamble of claim 1 and a method for their Manufacture according to claim 12.

Bei Lichtwellenleiter-Sende- und Empfangsbauelementen, z. B. bei bidirektionalen Lichtwellenleiter-Sende- und Empfangsmodulen be­ steht das technische Problem, ein optoelektronisches Halbleiter­ bauelement (Lichtsender oder Lichtempfänger) in Freistrahloptik an einen Lichtwellenleiter in der gewünschten Weise optisch an­ zukoppeln.For fiber optic transmit and receive components, e.g. B. at bidirectional fiber optic transmitter and receiver modules be is the technical problem, an optoelectronic semiconductor component (light transmitter or light receiver) in free beam optics optically to an optical waveguide in the desired manner couple.

Zu diesem Zweck muß eine exakte Justierung eines Lichtwellenlei­ ters in einer sogenannten Faser-Linse-Einheit vorgenommen werden. Eine solche Einheit besteht beispielsweise aus einem in einem Rohr fixierten single mode-Lichtwellenleiter und einer ebenfalls in einem Rohr fixierten Kugellinse.For this purpose, an exact adjustment of a light wave guide ters in a so-called fiber lens unit. Such a unit consists, for example, of one in one Tube fixed single mode fiber optic and one also Ball lens fixed in a tube.

Zum Erreichen der gewünschten optischen Eigenschaften einer sol­ chen Vorrichtung muß die Linse in einer bestimmten räumlichen Relation zu dem Lichtwellenleiter fixiert und justiert sein. Da­ bei kann es erforderlich sein, daß beispielsweise die optischen Achsen der Linse und des Lichtwellenleiters eine von der achs­ kongruenten Lage abweichende Lage aufweisen müssen. Beispiels­ weise können die optischen Achsen der Elemente gegeneinander versetzt sein, falls z. B. die Rückwirkung des von der Vorrich­ tung reflektierten Lichtes auf ein zu koppelndes optoelektroni­ sches Halbleiterbauelement, z. B. eine Laserdiode, verringert werden soll.To achieve the desired optical properties of a sol Chen device, the lens must be in a certain spatial Relation to the optical fiber to be fixed and adjusted. There at it may be necessary, for example, that the optical Axes of the lens and optical fiber one of the axes congruent location must have a different location. Example wise, the optical axes of the elements against each other be offset if z. B. the retroactive effect of the Vorrich reflected light onto an optoelectronic to be coupled cal semiconductor device, for. B. a laser diode shall be.

In der älteren deutschen Patentanmeldung P 38 10 938.7 ist eine hermetisch dichte Lichtleitfaser-Linsen-Anordnung, insbesondere für optoelektronische Module, vorgeschlagen, bei der eine Linse und ein Lichtwellenleiter in x-, y- und z-Richtung genau justiert werden, so daß das aus dem Lichtwellenleiter austretende Licht in einem definierten Brennpunkt auf der optischen Achse fokus­ siert wird. Der Brennpunkt kann beispielsweise auch im Unend­ lichen liegen. Die Faser-Linse-Einheit produziert dann einen Parallelstrahl. Da der optische Strahlengang umkehrbar ist, läßt sich mit der justierten Faser-Linse-Baueinheit ebenso Licht aus dem Brennpunkt in den Lichtwellenleiter abbilden. Nach der Justa­ ge werden das die Faser führende Metallrohr und das die Linse halternde Metallrohr über ein Zwischenteil in der eingestellten Position zueinander z. B. durch Punktschweißen fixiert.In the older German patent application P 38 10 938.7 is one hermetically sealed optical fiber lens arrangement, in particular for optoelectronic modules, proposed using a lens  and an optical fiber in the x, y and z directions is precisely adjusted be so that the light emerging from the optical fiber focus at a defined focus on the optical axis is settled. The focal point can also be at infinity, for example lying. The fiber lens unit then produces one Parallel beam. Since the optical beam path is reversible light with the adjusted fiber-lens assembly map the focal point into the optical fiber. After the Justa the metal tube that guides the fiber and the lens holding metal tube over an intermediate part in the set Position to each other z. B. fixed by spot welding.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, bei einer Vorrichtung der eingangs genannten Art eine genaue Justage und Befestigung von Lichtwellenleiter und Linse mit möglichst geringem Herstell­ aufwand zu erreichen.The invention has for its object in a device exact adjustment and fastening of the type mentioned at the beginning of optical fiber and lens with the least possible manufacturing effort to achieve.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch eine Vorrichtung zum optischen Koppeln mit den Merkmalen des Anspruchs 1 bzw. durch ein Verfahren mit den Merkmalen des Anspruchs 12 gelöst.This object is achieved by a device for optical coupling with the features of claim 1 or through solved a method with the features of claim 12.

Vorteilhafte Ausgestaltungen bzw. Weiterbildungen der Erfindung sind Gegenstand zusätzlicher Ansprüche.Advantageous refinements or developments of the invention are subject to additional claims.

Die mit der Erfindung erzielten Vorteile bestehen insbesondere darin, daß - statt die Linse und den Lichtwellenleiter einzeln in kurzen Rohren zu fassen und mit einem Zwischenteil justiert mit­ einander zu verbinden - bei der hier vorgeschlagenen Vorrichtung das justierende Grundelement ein präzise kalibrierter Innenzy­ linder in einem Rohr bzw. Rohrflanschteil ist. Dieser Innenzy­ linder läßt sich auf Mikrometer genau in einem Kugelpreßverfahren mit Hartmetallpräzisionskugeln kalibrieren. In diesen genau kali­ brierten Innenzylinder werden nun nacheinander folgende Teile justiert, und zwar durch bloßes Einpressen oder Einschieben:The advantages achieved with the invention are in particular in that - instead of the lens and the optical fiber individually in to grasp short tubes and adjusted with an intermediate part to connect each other - with the device proposed here the basic adjustment element is a precisely calibrated inner cylinder linder in a pipe or pipe flange part. This inner zy Linder can be micrometer-precise in a ball press process calibrate with carbide precision balls. In these exactly kali Burnished inner cylinders are now successive parts adjusted, simply by pressing in or pushing in:

  • - die Linse, vorzugsweise eine Kugellinse mit einem µm-genauen Durchmesser. Bei definiertem Durchmesserübermaß gegenüber dem Innenzylinderdurchmesser des Rohres ergibt sich dabei ein her­ metisch dichter Preßsitz der Kugellinse,- The lens, preferably a spherical lens with a µm-accurate Diameter. With a defined excess diameter compared to Inner cylinder diameter of the tube results from here  metic-tight press fit of the ball lens,
  • - gegebenenfalls eine Distanzscheibe, deren Dicke µm-genau ist und die zweckmäßig auf Anschlag auf die Kugellinse eingefügt ist,- If necessary, a spacer whose thickness is µm-accurate and the expediently inserted on the ball lens as far as it will go is
  • - das Steckstiftelement, das vorzugsweise aus zwei Siliziumhalb­ schalen besteht.- The pin element, which preferably consists of two silicon half shells exists.

Der in die Siliziumhalbschalen gefaßte und an der Stirnfläche polierte Lichtwellenleiter wird dabei im Innenzylinder in der gewünschten Lage justiert und fixiert. In die Siliziumhalbscha­ len lassen sich verschieden tiefe V-Rillen für die Aufnahme des nackten Lichtwellenleiters bzw. der verschieden starken Kunst­ stoffhüllschichten des Lichtwellenleiters in einem photolitho­ graphischen Verfahren in µm-Genauigkeit ätzen. Die mit V-Rillen ausgestatteten Siliziumwafer lassen sich ihrerseits mit Wafer­ sägen in µm-Genauigkeit relativ zu den V-Rillen vereinzeln. In zwei zusammengeklappte V-Rillen-Halbschalen lassen sich nun zu­ mindest teilweise von der Kunststoffhülle befreite, "abisolierte" bzw. nackte Lichtwellenleiter einfügen und fixieren und an den Stirnflächen abpolieren. Man erhält so ein aus Silizium bestehen­ des Steckstiftelement mit rechteckigem oder quadratischem Quer­ schnitt, in dessen V-Rillen bzw. Nuten der Lichtwellenleiter sehr genau zu den Außenkanten positioniert ist.The one in the silicon half-shells and on the end face Polished fiber optic cables are used in the inner cylinder desired position adjusted and fixed. In the silicon half scha V-grooves of different depths can be used to hold the bare optical fiber or the different strong art fabric layers of the optical waveguide in a photolitho Etch graphic processes with µm accuracy. The one with V-grooves equipped silicon wafers can in turn be used with wafers saw with a precision of µm relative to the V-grooves. In two folded V-groove half shells can now be used at least partially stripped of the plastic casing, "stripped" or insert and fix bare fiber optic cables to the Polish the end faces. You get one made of silicon the pin element with a rectangular or square cross cut, in the V-grooves or grooves of the optical fiber is positioned very precisely to the outer edges.

Als Alternative für die Positionierung des Lichtwellenleiters in den Siliziumhalbschalen kann ein metallischer Steckstift mit einem präzise gedrehten Außendurchmesser und einer ebenso prä­ zisen Bohrung zur Aufnahme des Lichtwellenleiters bzw. der Faser vorgesehen sein. Des weiteren kann es zweckmäßig sein, daß an Stelle der Siliziumhalbschalen präzise Spritzgußteile die Posi­ tionierung des Lichtwellenleiters bzw. der Lichtleitfaser über­ nehmen.As an alternative for positioning the optical fiber in A metallic pin can be used with the silicon half-shells a precisely turned outer diameter and a pre Tissue hole for receiving the optical fiber or the fiber be provided. Furthermore, it may be appropriate that Place the silicon half-shells precise injection molded parts the Posi tionation of the optical fiber or the optical fiber over to take.

Nach dem Zusammenfügen der Einzelteile im Metallrohr bzw. Rohr­ flanschteil erhält man bei richtigen bzw. exakt vorgegebenen Abmessungen der Einzelkomponenten eine µm-genau justierte opti­ sche Koppelvorrichtung bzw. Faser-Linse-Baueinheit mit den ge­ wünschten bzw. vorgegebenen optischen Eigenschaften. After assembling the individual parts in the metal tube or tube flange part is obtained with correct or precisely specified Dimensions of the individual components are opti adjusted to the µm cal coupling device or fiber-lens assembly with the ge desired or given optical properties.  

Auf die gleiche Art und Weise kann man einen Lichtwellenleiter in eine Lichtwellenleiter-Steckerstifthülse justieren, wenn man den vorzugsweise in Siliziumhalbschalen gefaßten Lichtwellenlei­ ter in den präzise kalibrierten Innenzylinder der Steckerhülse einschiebt und fixiert.In the same way you can use an optical fiber adjust into a fiber optic connector pin sleeve if one the optical waveguide, preferably contained in silicon half-shells ter in the precisely calibrated inner cylinder of the connector sleeve inserts and fixes.

Der besondere Vorteil dieser Justierung in reiner Fügetechnik liegt in dem wesentlich geringeren Herstellungsaufwand für die optische Koppelvorrichtung gegenüber der eingangs beschriebenen älteren hermetisch dichten Lichtleitfaser-Linsen-Anordnung, bei der drei Teile einzeln zueinander justiert und fixiert werden müssen.The particular advantage of this adjustment using pure joining technology lies in the much lower manufacturing costs for the optical coupling device compared to that described above older hermetically sealed optical fiber lens arrangement, at of the three parts are individually adjusted and fixed to each other have to.

Anhand eines in den Figuren der Zeichnung dargestellten, bevor­ zugten Ausführungsbeispiels wird die Erfindung näher erläutert. Es zeigen:Before using one of the figures shown in the drawing drafted embodiment, the invention is explained in more detail. Show it:

Fig. 1 eine erfindungsgemäße optische Koppelvorrichtung im Längs­ schnitt und Fig. 1 shows an optical coupling device according to the invention in longitudinal section and

Fig. 2 einen Schnitt längs der Linie II-II der Fig. 1. Fig. 2 shows a section along the line II-II in FIG. 1.

Die in den Fig. 1 und 2 dargestellte optische Koppelvorrichtung besteht im wesentlichen aus dem Metallrohr 3, in diesem Ausführungs­ beispiel in Form eines Rohrflanschteiles, das als justierendes und fixierendes Grundelement einen präzise kalibrierten Innenzy­ linder 4 aufweist. In den Innenzylinder 4 des Metallrohres 3 ist eine Linse 2, in diesem Beispiel eine Kugellinse, durch Preßsitz hermetisch dicht eingefügt. Der Lichtwellenleiter 1 ist in dem Steckstiftelement 5 präzise geführt. Das Steckstiftelement 5 be­ steht aus zwei Festkörperhalbschalen 7 aus Silizium, die zur Führung des Lichtwellenleiters jeweils mit einer V-Nut 6 ver­ sehen sind. Zwischen die Kugellinse 2 und das Steckstiftelement 5 ist in diesem Ausführungsbeispiel eine Distanzscheibe 8 präzi­ ser Dicke auf Anschlag mit der Kugellinse 2 eingefügt. Der in Siliziumhalbschalen 7 gefaßte und an der Stirnfläche polierte Lichtwellenleiter 1 wird an die Distanzscheibe 8 gepreßt und fixiert. Als Lichtwellenleiter 1 wird in diesem Beispiel eine SM (single mode)-Faser verwendet. Das in diesem Ausführungsbei­ spiel aus zwei Siliziumhalbschalen 7 zusammengesetzte Steckstift­ element 5 weist einen rechteckförmigen Querschnitt auf und die V-Nut 6 ist in die jeweilige Halbschale 7 so eingeätzt, daß die optische Achse des in der Nut 6 geführten Lichtwellenleiters 1 zur optischen Achse der Kugellinse 2 bzw. des Innenzylinders 4 vertikal versetzt ist. Eine solche räumliche Relation von Licht­ wellenleiter 1 und Linse 2 ist insbesondere dann erwünscht, wenn z. B. störende Rückreflexionen von in den Lichtwellenleiter 1 einzukoppelndem Licht, das z. B. von einer Laserdiode als Licht­ sender herrührt und deren Stabilität bzw. Emissionsverhalten negativ beeinflussen könnte, vermieden werden sollen. Zu diesem Zweck weist auch die Stirnfläche des Steckstiftelements 5 eine bestimmte Schräge auf. In diesem Beispiel ist der Lichtwellen­ leiter 1 in seinem der Linse 2 zugewandten Teil von der äußeren Schutzhülle 9 bzw. der Kunststoffumhüllung völlig befreit und in weiteren Verlauf zumindest teilweise. Die jeweilige in die Halbschalen 7 eingebrachte Nut 6 ist der äußeren Form des Licht­ wellenleiters 1 bzw. dessen äußerer Schutzhülle 9 entsprechend angepaßt. Die in diesem Beispiel V-förmige Nut weist daher eine entsprechende Abstufung auf. An dem der zur Lichteinkopplung bzw. Lichtauskopplung verwendeten Kugellinse 2 gegenüberliegenden Teil des als Rohrflanschteil ausgebildeten Metallrohrs 3 ist ein Schrumpfschlauch 10 angebracht, der als Knickschutz und zur Zug­ entlastung den mit einer Kunststoffumhüllung 9 versehenen hoch­ empfindlichen Lichtwellenleiter 1 umschließt.The optical coupling device shown in FIGS . 1 and 2 consists essentially of the metal tube 3 , in this embodiment, for example in the form of a tube flange part, which has a precisely calibrated inner cylinder 4 as an adjusting and fixing basic element. In the inner cylinder 4 of the metal tube 3 , a lens 2 , in this example a spherical lens, is hermetically sealed by a press fit. The optical waveguide 1 is guided precisely in the pin element 5 . The pin element 5 be consists of two solid half-shells 7 made of silicon, which are each seen with a V-groove 6 for guiding the optical waveguide. Between the ball lens 2 and the pin element 5 , a spacer 8 precision thickness is inserted to the stop with the ball lens 2 in this embodiment. The optical waveguide 1 , which is contained in silicon half-shells 7 and polished on the end face, is pressed against the spacer 8 and fixed. In this example, an SM (single mode) fiber is used as the optical waveguide 1 . The in this Ausführungsbei play of two silicon half shells 7 composite plug pin element 5 has a rectangular cross-section and the V-groove 6 is etched in the respective half-shell 7 so that the optical axis of the guided in the groove 6 the optical fiber 1 to the optical axis of the spherical lens 2 or the inner cylinder 4 is vertically offset. Such a spatial relation of light waveguide 1 and lens 2 is particularly desirable when, for. B. disruptive back reflections of light to be coupled into the optical waveguide 1 , the z. B. originates from a laser diode as a light transmitter and could have a negative influence on its stability or emission behavior, should be avoided. For this purpose, the end face of the pin element 5 also has a certain slope. In this example, the light waveguide 1 in its part facing the lens 2 is completely freed from the outer protective sheath 9 or the plastic sheath and at least partially in the further course. The respective in the half-shells 7 groove 6 is the outer shape of the light waveguide 1 or its outer protective cover 9 adapted accordingly. The V-shaped groove in this example therefore has a corresponding gradation. On which the ball lens used for coupling light or light outcoupling 2 opposite part of the metal pipe 3 formed as Rohrflanschteil is attached a heat-shrinkable tube 10, the relief as kink protection and to train the provided with a plastic sheath 9 highly sensitive optical waveguide 1 encloses.

Claims (12)

1. Vorrichtung zum optischen Koppeln eines Lichtwellenleiters mit einer Linse, die zu dem Lichtwellenleiter in einer bestimmten räumlichen Relation justiert und fixiert ist, der in einem Me­ tallrohr geführt und fixiert ist, dadurch gekennzeichnet, daß das Metall­ rohr (3) als justierendes und fixierendes Grundelement einen präzise kalibrierten Innenzylinder (4) aufweist, und daß in den Innenzylinder (4) des Metallrohres (3) die Linse (2) durch Preß­ sitz hermetisch dicht und der in einem Steckstiftelement (5) präzise geführte Lichtwellenleiter (1) justiert eingefügt und fixiert sind.1. Device for optically coupling an optical waveguide with a lens that is adjusted and fixed to the optical waveguide in a certain spatial relation, which is guided and fixed in a tall pipe Me, characterized in that the metal tube ( 3 ) as an adjusting and fixing Basic element has a precisely calibrated inner cylinder ( 4 ), and that in the inner cylinder ( 4 ) of the metal tube ( 3 ), the lens ( 2 ) is hermetically sealed by a press fit and the optical waveguide ( 1 ) precisely guided in a pin element ( 5 ) is inserted and adjusted are fixed. 2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Linse (2) eine Kugellinse ist.2. Device according to claim 1, characterized in that the lens ( 2 ) is a spherical lens. 3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen die Linse (2) und das Steckstiftelement (5) eine Distanzscheibe (8) präziser Dicke auf Anschlag eingefügt ist.3. Apparatus according to claim 1 or 2, characterized in that between the lens ( 2 ) and the pin element ( 5 ), a spacer ( 8 ) of precise thickness is inserted to the stop. 4. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß das Steck­ stiftelement (5) aus zwei mit jeweils einer Nut (6) zur Führung des Lichtwellenleiters (1) versehenen Festkörperhalbschalen (7) gebildet ist.4. Device according to one of claims 1 to 3, characterized in that the plug pin element ( 5 ) from two, each with a groove ( 6 ) for guiding the optical waveguide ( 1 ) provided solid half-shells ( 7 ). 5. Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Festkör­ perhalbschalen (7) aus Silizium bestehen.5. The device according to claim 4, characterized in that the solid half-shells ( 7 ) consist of silicon. 6. Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Fest­ körperhalbschalen (7) präzise Spritzgußteile sind. 6. The device according to claim 4, characterized in that the solid half-shells ( 7 ) are precise injection molded parts. 7. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß das Steck­ stiftelement (5) ein metallischer Steckstift mit präzisem Außen­ durchmesser ist, der eine präzise Innenbohrung zur Führung des Lichtwellenleiters (1) aufweist.7. Device according to one of claims 1 to 3, characterized in that the plug pin element ( 5 ) is a metallic pin with a precise outer diameter, which has a precise inner bore for guiding the optical waveguide ( 1 ). 8. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Bohrung oder Nut (6) zur Führung des Lichtwellenleiters (1) im Steck­ stiftelement (5) konzentrisch oder exzentrisch zur Achse des Metallrohres (3) verläuft.8. Device according to one of claims 1 to 7, characterized in that the bore or groove ( 6 ) for guiding the optical waveguide ( 1 ) in the plug pin element ( 5 ) concentric or eccentric to the axis of the metal tube ( 3 ). 9. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß der Licht­ wellenleiter (1) zumindest in seinem der Linse (2) zugewandten Teil ohne äußere Schutzhülle (9) im Steckstiftelement (5) mit entsprechend angepaßter Bohrung oder Nut (6) geführt ist.9. Device according to one of claims 1 to 8, characterized in that the light waveguide ( 1 ) at least in its lens ( 2 ) facing part without an outer protective cover ( 9 ) in the pin element ( 5 ) with a correspondingly adapted bore or groove ( 6th ) is performed. 10. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß das Metall­ rohr (3) als Rohrflanschteil ausgebildet ist und zum Befestigen der Anordnung an einem bidirektionalen Lichtwellenleiter-Sende- und Empfangsmodul oder einem unidirektionalen Lichtwellenleiter- Sende- oder Empfangsmodul dient.10. Device according to one of claims 1 to 9, characterized in that the metal tube ( 3 ) is designed as a tube flange part and is used to attach the arrangement to a bidirectional optical fiber transmission and reception module or a unidirectional optical fiber transmission or reception module. 11. Vorrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß das Metall­ rohr (3) als Steckerstifthülse ausgebildet ist.11. The device according to claim 10, characterized in that the metal tube ( 3 ) is designed as a plug pin sleeve. 12. Verfahren zum Herstellen einer Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß der Innen­ zylinder (4) eines Metallrohres (3) als justierendes und fixieren­ des Grundelement in einem Kugeldurchpreßverfahren mit Hartmetall­ präzisionskugeln präzise kalibriert wird, daß in den Innenzylin­ der (4) des Metallrohres (3) die Linse (2) hermetisch dicht ein­ gepreßt und damit gleichzeitig justiert wird, und daß dann das Steckstiftelement (5) mit dem in einer vorgegebenen Lage präzise geführten Lichtwellenleiter (1) in das Metallrohr (3) eingefügt, justiert und fixiert wird.12. A method for producing a device according to one of claims 1 to 11, characterized in that the inner cylinder ( 4 ) of a metal tube ( 3 ) is precisely calibrated as an adjusting and fixing the base element in a ball pressing process with hard metal precision balls that in the inner cylinder the ( 4 ) of the metal tube ( 3 ) the lens ( 2 ) is pressed in hermetically and thus adjusted at the same time, and then the plug element ( 5 ) with the optical waveguide ( 1 ) precisely guided in a predetermined position into the metal tube ( 3 ) is inserted, adjusted and fixed.
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