DE3818815A1 - Remissionsmessgeraet - Google Patents

Remissionsmessgeraet

Info

Publication number
DE3818815A1
DE3818815A1 DE3818815A DE3818815A DE3818815A1 DE 3818815 A1 DE3818815 A1 DE 3818815A1 DE 3818815 A DE3818815 A DE 3818815A DE 3818815 A DE3818815 A DE 3818815A DE 3818815 A1 DE3818815 A1 DE 3818815A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
measuring
sample
measuring device
opening
light guide
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
DE3818815A
Other languages
English (en)
Inventor
Hermann Dr Gerlinger
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Carl Zeiss SMT GmbH
Carl Zeiss AG
Original Assignee
Carl Zeiss SMT GmbH
Carl Zeiss AG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Carl Zeiss SMT GmbH, Carl Zeiss AG filed Critical Carl Zeiss SMT GmbH
Priority to DE3818815A priority Critical patent/DE3818815A1/de
Priority to EP89109551A priority patent/EP0344645B1/de
Priority to DE89109551T priority patent/DE58907202D1/de
Priority to US07/358,661 priority patent/US4900923A/en
Priority to JP1139385A priority patent/JPH0227237A/ja
Publication of DE3818815A1 publication Critical patent/DE3818815A1/de
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/47Scattering, i.e. diffuse reflection
    • G01N21/4738Diffuse reflection, e.g. also for testing fluids, fibrous materials
    • G01N21/474Details of optical heads therefor, e.g. using optical fibres
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N2201/00Features of devices classified in G01N21/00
    • G01N2201/06Illumination; Optics
    • G01N2201/065Integrating spheres

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Remissionsmeßgerät mit einer Meßöffnung zum Anlegen der zu messenden Probe, mit einer Lichtquelle zum Beleuchten der Probe und einem Empfänger, welcher die von der Probe remittierte Strahlung innerhalb einer vorgegebenen Apertur erfaßt.
Remissionsmeßgeräte messen das Verhältnis der von einer Probe reflektierten Strahlung zu der von einer Vergleichsprobe unter gleichen Bedingungen reflektierten Strahlung. Bei vielen Geräten wird dazu die Probe an eine kreisförmige Meßöffnung angelegt, damit sie zum Meßgerät in eine genau definierte Lage kommt. Oft ist diese Meßöffnung in einer sog. Ulbrichtschen Kugel angeordnet, über welche die Probe diffus beleuchtet wird.
Bei manchen Remissionsmeßgeräten ist ein sog. Meßkopf mit allen für die Messung in unmittelbarer Probennähe notwendigen Teilen vom übrigen Gerät getrennt und mit ihm nur durch Kabel verbunden. Bei diesen Geräten kann die Meßöffnung an die Proben herangebracht werden, was inbesondere bei großen und schweren Proben ein Vorteil ist. Ein derartiges Remissionsmeßgerät ist z.B. in einer Veröffentlichung von H.H. Schlemmer u.M. (J. Phys. E: Sci-Instrum. 18, 913 (1985)) beschrieben.
Damit das Meßgerät oder der Meßkopf nicht zu groß wird, darf die Meßöffnung einen bestimmten Durchmesser nicht überschreiten. Da die Meßöffnung jedoch groß gegenüber der Oberflächenstruktur der Probe sein muß, um Meßergebnisse zu erhalten, die unabhängig davon sind, welcher Teil der Probe zufällig an die Meßöffnung angelegt ist, lassen sich bei einem gegebenen Durchmesser der Meßöffnung nur Proben mit einer genügend kleinen Oberflächenstruktur zuverlässig messen. Dies ist besonders dann ein Nachteil, wenn nur gelegentlich Proben mit großer Oberflächenstruktur gemessen werden sollen.
Eine Vergrößerung der Meßfläche auf der Probe läßt sich jedoch nicht dadurch erreichen, daß man die Probe in einem entsprechend großen Abstand von der Meßöffnung anordnet, weil dann nicht nur die Beleuchtung der Probe so schwach wird, daß die remittierte Strahlung zur Messung nicht mehr ausreicht, sondern weil auch die Winkelverteilung der auf die Meßfläche der Probe auftreffenden Strahlen schon bei kleinen Distanzänderungen so verändert wird, daß die Meßwerte und damit auch die Farbweite sich stark ändern.
Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, mit einem Remissionsmeßgerät trotz relativ kleiner Meßöffnung auch Proben mit relativ großer Oberflächenstruktur noch ausreichend reproduzierbar messen zu können.
Die gestellte Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß an die Meßöffnung eine mindestens annähernd zylinderförmige Lichtleiteinrichtung angesetzt oder ansetzbar ist, deren Achse senkrecht und zentrisch auf der Fläche der Meßöffnung steht, deren Durchmesser und Länge so gewählt sind, daß die Apertur des Empfängers mindestens nicht wesentlich verändert wird und deren der Meßöffnung gegenüberliegendes Ende als vergrößerte Meßöffnung für die Probe vorgesehen ist.
In einer besonders vorteilhaften Ausführungsform besteht die Lichtleiteinrichtung aus einem zylinderförmigen Rohr, das innen verspiegelt ist. Wenn der Innendurchmesser des Rohres z.B. um den Faktor 1,41 größer ist als der Durchmesser der Meßfläche in der Meßöffnung und das Rohr so lang ist, daß an seinem der Meßöffnung abgewandten Ende der vom Empfänger erfaßte Apertur­ winkel fast den Innendurchmesser berührt, dann ist die am Ende des Rohres für die Messung erfaßte Probenfläche doppelt so groß wie bei direkt an die Meßöffnung angelegter Probe.
In einer anderen vorteilhaften Ausführungsform besteht die Lichtleiteinrichtung aus einem massivem, lichtdurchlässigen, zylinderförmigen Teil aus Glas oder Kunststoff. In diesem Fall ist der Vergrößerungsfaktor der Meßfläche um den Faktor der Brechzahl des Glases oder Kunststoffes kleiner oder die Länge der Lichtleiteinrichtung muß gegenüber dem Rohr um den Faktor der Brechzahl vergrößert werden. Dies kann sogar vorteilhaft sein, um eine Meßfläche zu erreichen, an die aus räumlichen Gründen ein üblicher Meßkopf nicht angelegt werden kann.
Läßt man quantitative Abweichungen in den aus den Remissionswerten errechneten Farbwerten zu, dann kann die Lichtleiteinrichtung auch kürzer oder länger als in den besprochenen Ausführungsbeispielen sein. Auch nicht zu große Abweichungen von der Zylinderform sind möglich. Außerdem müssen die Meßflächen nicht unbedingt kreisförmige Querschnitte haben.
Weitere vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung gehen aus den Unteransprüchen und aus den Erläuterungen zu den Figuren hervor.
Die Erfindung wird im folgenden anhand von in den Fig. 1 bis 2 dargestellten Ausführungsbeispielen erläutert. Dabei zeigen:
Fig. 1 den Meßteil eines Remissionsmeßgerätes mit Ulbrichtscher Kugel für eine diffuse Beleuchtung der Probe und einem zylinderförmigen Rohr vor der Meßöffnung und
Fig. 2 den Meßteil eines Remissionsmeßgerätes mit gerichteter Beleuchtung der Probe und einem massiven Lichtleiter vor der Meßöffnung.
In Fig. 1 ist mit (11) eine Ulbrichtsche Kugel bezeichnet, die eine Meßöffnung (11 m) hat, an welche üblicherweise die zu messende Probe angelegt wird. Diese wird durch die Lichtquelle (12) in bekannter Weise diffus beleuchtet, wobei durch die Shutter (11 s) eine direkte Beleuchtung der Probe und der Empfänger ausgeschlossen ist. Die von der Probe remittierte Strahlung wird von einem Empfänger (13) gemessen, der infolge seiner definierten Empfängerfläche (13 f) und einer Blende (13 b) nur die Strahlung innerhalb einer vorgegebenen Apertur (13 a) erfaßt. Die Empfängerfläche (13 f) kann z.B. die Endfläche eines Lichtleiters sein. Häufig ist ein zweiter Empfänger (14) als Referenzempfänger vorgesehen, welcher mit gleicher Apertur die remittierte Strahlung einer geeigneten Stelle des Weißbelages der Ulbrichtschen Kugel erfaßt.
Entsprechend der Erfindung wird die Probe (15), wenn sie eine große Oberflächenstruktur hat, nicht wie üblich an die Meßöffnung (11 m) angelegt, sondern an ein zylinderförmiges Rohr (16), das auf seiner Innenfläche (16 i) verspiegelt ist und dessen Achse (16 a) senkrecht und zentrisch auf die Fläche der Meßöffnung (11 m) aufgesetzt ist. Durchmesser (16 d) und Länge (16 l) des zylinderförmigen Rohres (16) sind zweckmäßiger Weise so gewählt, daß die vom Empfänger vorgegebene Apertur nicht beschnitten wird.
Wie man an Hand eines mit (17) bezeichneten Strahles sieht, wird die Winkelverteilung der auf die Probenoberfläche auftreffenden Strahlung nicht verändert, d.h. wenn die Dimensionierung der Ulbrichtschen Kugel einer Normgeometrie entspricht, wird diese auch bei Verwendung des zylinderförmigen Rohres eingehalten. Andererseits sieht man unmittelbar aus der Figur, daß sich ohne weiteres eine Erhöhung der effektiven Meßfläche auf der Probe auf das Doppelte und mehr erreichen läßt, wenn die Probe nicht wie üblich an die Meßöffnung (11 m), sondern an die vergrößerte Meßöffnung (16 v) angesetzt wird.
Wenn die Apertur beschnitten wird, wird nicht nur das Empfängersignal verringert, sondern die Randzonen der Meßfläche werden überbewertet. Wenn der Innendurchmesser des zylinderförmigen Rohres zu groß gemacht wird, werden bestimmte Winkelbereiche der Strahlungsverteilung ausgesondert und die Strahlungsleistung wird geschwächt. Derartige Abweichungen von der optimalen Dimensionierung können jedoch je nach der vorliegenden Meßaufgabe häufig bis zu einem gewissen Ausmaß in Kauf genommen werden. Dies gilt besonders bei Farbdifferenz­ messungen. Das gleiche gilt für Abweichungen von der Zylinder­ form für die reflektierende Innenfläche (16 i), wobei sowohl eine leicht konusfömige Ausbildung als auch ein vieleckiger Querschnitt möglich sind.
In Fig. 2 ist der Meßteil eines Remissionsgerätes mit gerichteter Beleuchtung dargestellt. Dabei ist mit (22) eine Ringleuchte bezeichnet. An ihrer Stelle können auch eine einzelne oder mehrere Lichtquellen verwendet werden, die auf einen Kreis um die Achse (10) angeordnet sind. Die üblicherweise an die Meßöffnung (21 m) des Gehäuses (21) angelegte Probe wird unter einem vorgegebenen Winkel, z.B. 45°, und meistens durch eine oder mehrere Blenden (22 b) mit vorge­ gebener Apertur beleuchtet. Die von der Probe remittierte Strahlung wird durch den Empfänger (23) gemessen, der infolge seiner definierbaren Empfängerfläche (23 f) und einer Blende (23 b) nur die Strahlung innerhalb der vorgegebenen Apertur (23 a) erfaßt.
Für den Fall, daß die Probe (15) eine große Oberflächenstruktur hat, ist zwischen ihr und der Meßöffnung (21 m) wieder eine Lichtleiteinrichtung (26) angeordnet, für welche in der Fig. 2 ein anderes Ausführungsbeispiel dargestellt ist, nämlich ein massives, zylinderförmiges Rohr aus Glas oder Kunststoff, dessen Außenfläche (26 o) zweckmäßigerweise verspiegelt ist und dessen Endflächen (26 e, 26 v) vorteilhafterweise entspiegelt sind. Durchmesser (26 d) und Länge (26 l) der Lichtleiteinrichtung (26) sind wieder so gewählt, daß die Apertur (23 a) des Empfängers (23) gerade nicht beschnitten wird und die gewünschte Vergrößerung der effektiven Meßfläche auf der Probe (15) erreicht wird. Auch in diesem Fall sind Abweichungen von der optimalen Dimensionierung der Lichtleiteinrichtung (26), sowie Abweichungen von der Zylinderform in einem Umfang möglich, der von den zu unter­ suchenden Proben und der notwendigen Meßgenauigkeit abhängt.
Die Probe (15) muß nicht unmittelbar auf die vergrößerte Meß­ öffnung (26 v) der Lichtleitvorrichtung (26) aufgesetzt werden, sondern kann auch in einem definierten Abstand von ihr ange­ ordnet sein.
Selbstverständlich kann auch für das in Fig. 2 dargestellte Remissionsmeßgerät das Rohr (16) von Fig. 1 und für das in Fig. 1 dargestellte Gerät der massive Zylinder (26) von Fig. 2 verwendet werden.

Claims (10)

1. Remissionsmeßgerät mit einer Meßöffnung (11 m) zum Anlegen der zu messenden Probe (15), mit einer Lichtquelle (12) zum Beleuchten der Probe (15) und einem Empfänger (13), welcher die von der Probe remittierte Strahlung innerhalb einer vorgegebenen Apertur (13 a) erfaßt, dadurch gekennzeichnet, daß an die Meßöffnung (11 m) eine mindestens annähernd zylinderfömige Lichtleiteinrichtung (16) angesetzt oder ansetzbar ist, deren Achse (16 a) senkrecht und zentrisch auf der Fläche der Meßöffnung (11 m) steht, deren Durchmesser (16 d) und Länge (16 l) so gewählt sind, daß die Apertur (13 a) des Empfängers (13) mindestens nicht wesentlich verändert wird und deren der Meßöffnung (11 m) gegenüberliegendes Ende als vergrößerte Meßöffnung (16 v) für die Probe (15) vorgesehen ist.
2. Remissionsmeßgerät nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Meßöffnung (11 m) Teil eines Meßkopfes (11) ist, der mit dem übrigen Gerät durch ein Kabel verbunden ist.
3. Remissionsmeßgerät nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Meßöffnung (11 m) Teil einer Ulbrichtschen Kugel (11) ist.
4. Remissionsmeßgerät nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Lichtleiteinrichtung (16) einen kreisförmigen Querschnitt hat.
5. Remissionsmeßgerät nach Anspruch 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Lichtleiteinrichtung (16) einen vieleckigen Querschnitt hat.
6. Remissionsmeßgerät nach Anspruch 4 oder 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Lichtleiteinrichtung (16) ein Rohr ist.
7. Remissionsmeßgerät nach Anspruch 4 oder 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Lichtleiteinrichtung (26) ein massives, lichtdurchlässiges Teil aus Glas oder Kunststoff ist.
8. Remissionsmeßgerät nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß das der Probe (15) zugewandte Ende des Rohres (16) mit einem Fenster verschlossen ist.
9. Remissionsmeßgerät nach Anspruch 7 oder 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Endflächen (26 e, 26 v) der Lichtleiteinrichtung entspiegelt sind.
10. Remissionsmeßgerät nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß die reflektierenden Flächen (16 i) der Lichtleiteinrichtung (16) verspiegelt oder mit einem Weißbelag belegt sind.
DE3818815A 1988-06-03 1988-06-03 Remissionsmessgeraet Withdrawn DE3818815A1 (de)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE3818815A DE3818815A1 (de) 1988-06-03 1988-06-03 Remissionsmessgeraet
EP89109551A EP0344645B1 (de) 1988-06-03 1989-05-26 Remissionsmessgerät
DE89109551T DE58907202D1 (de) 1988-06-03 1989-05-26 Remissionsmessgerät.
US07/358,661 US4900923A (en) 1988-06-03 1989-05-30 Reflectance measuring apparatus including a cylinder-shaped light conducting device between the measuring aperture and the specimen
JP1139385A JPH0227237A (ja) 1988-06-03 1989-06-02 拡散反射率測定装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE3818815A DE3818815A1 (de) 1988-06-03 1988-06-03 Remissionsmessgeraet

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE3818815A1 true DE3818815A1 (de) 1989-12-14

Family

ID=6355720

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE3818815A Withdrawn DE3818815A1 (de) 1988-06-03 1988-06-03 Remissionsmessgeraet
DE89109551T Expired - Fee Related DE58907202D1 (de) 1988-06-03 1989-05-26 Remissionsmessgerät.

Family Applications After (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE89109551T Expired - Fee Related DE58907202D1 (de) 1988-06-03 1989-05-26 Remissionsmessgerät.

Country Status (4)

Country Link
US (1) US4900923A (de)
EP (1) EP0344645B1 (de)
JP (1) JPH0227237A (de)
DE (2) DE3818815A1 (de)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0458223A2 (de) * 1990-05-23 1991-11-27 Firma Carl Zeiss Vorrichtung zur Messung der Absorption von transparenten Proben mit ungünstiger Aussenform
DE4423698A1 (de) * 1994-06-24 1996-01-04 Ingo Hennig Meßanordnung zur optoelektronischen Bestimmung des gerichteten und gestreuten Anteils der Reflexion von Körperoberflächen
EP2533031A1 (de) 2011-06-09 2012-12-12 Carl Zeiss Microscopy GmbH Vorrichtung zur referenzierten Messung von reflektiertem Licht und Verfahren zum Kalibrieren einer solchen Vorrichtung

Families Citing this family (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5164597A (en) * 1989-09-29 1992-11-17 University Of Kentucky Research Foundation Method and apparatus for detecting microorganisms within a liquid product in a sealed vial
GB2238113B (en) * 1989-11-14 1993-07-28 Ferranti Int Signal A radiation detector having a defined field of view
DE4030836A1 (de) * 1990-09-28 1992-04-02 Kim Yoon Ok Vorrichtung zur qualitativen und/oder quantitativen bestimmung der zusammensetzung einer zu analysierenden probe
US5215370A (en) * 1991-11-25 1993-06-01 Eastman Kodak Company Linear light source
US5825945A (en) * 1992-05-15 1998-10-20 Unisys Corp Document imaging with illumination from lambertian surfaces
US5491336A (en) * 1993-12-22 1996-02-13 Unisys Corporation Document illumination with Lambertian cavity
FI98761C (fi) * 1994-01-28 1997-08-11 Conrex Automation Oy Mittauslaite reflektometrisiä mittauksia varten
JP3353560B2 (ja) * 1995-08-24 2002-12-03 ミノルタ株式会社 反射特性測定装置
WO1997041417A1 (en) * 1996-05-02 1997-11-06 The United States Of America, Represented By The Secretary Of Commerce Method and apparatus for artificial weathering
FR2752056B1 (fr) * 1996-08-02 1998-10-16 Lorraine Laminage Dispositif de mesure des proprietes radiatives de produits metalliques, et procede de mise en oeuvre de ce dispositif
DE19812681A1 (de) * 1998-03-23 1999-09-30 Bodenseewerk Perkin Elmer Co Vorrichtung zum Nachweis eines Fluoreszenzfarbstoffs
US6424413B1 (en) * 1998-06-12 2002-07-23 Gretagmacbeth Llc Multi-channel integrating sphere
US6040904A (en) * 1998-12-23 2000-03-21 Eastman Kodak Company Diffuse optical transmission density measurement system
JP4723290B2 (ja) * 2005-06-06 2011-07-13 株式会社日立製作所 ディスクアレイ装置及びその制御方法
WO2016029321A1 (en) * 2014-08-29 2016-03-03 Aurora Control Technologies Inc. System for measuring levels of radiation reflecting from semiconductor material for use in measuring the dopant content thereof
EP4314769A1 (de) * 2021-03-25 2024-02-07 Itphotonics S.R.L. Optische vorrichtung

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2358020A (en) * 1940-08-31 1944-09-12 Gen Motors Corp Color analyzing device
DE3118459C2 (de) * 1981-05-09 1984-01-26 Dr.-Ing. Rudolf Hell Gmbh, 2300 Kiel Lichtaufnahme-Vorrichtung
DE3138878A1 (de) * 1981-09-30 1983-04-14 Boehringer Mannheim Gmbh, 6800 Mannheim Messeinrichtung, insbesondere ulbricht'sche kugel
DE3421577C2 (de) * 1984-06-09 1986-06-05 Harald Dr.-Ing. 6240 Königstein Krzyminski Gerät zur Reflexionsmessung an farbigen Objekten
FI70996C (fi) * 1984-12-31 1986-10-27 Valtion Teknillinen Belysningsanordning

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0458223A2 (de) * 1990-05-23 1991-11-27 Firma Carl Zeiss Vorrichtung zur Messung der Absorption von transparenten Proben mit ungünstiger Aussenform
EP0458223A3 (en) * 1990-05-23 1992-04-15 Firma Carl Zeiss Apparatus for measuring the absorption of transparent probes having an unfavourable form
DE4423698A1 (de) * 1994-06-24 1996-01-04 Ingo Hennig Meßanordnung zur optoelektronischen Bestimmung des gerichteten und gestreuten Anteils der Reflexion von Körperoberflächen
EP2533031A1 (de) 2011-06-09 2012-12-12 Carl Zeiss Microscopy GmbH Vorrichtung zur referenzierten Messung von reflektiertem Licht und Verfahren zum Kalibrieren einer solchen Vorrichtung
DE102011050969A1 (de) 2011-06-09 2013-05-16 Carl Zeiss Microscopy Gmbh Vorrichtung zur referenzierten Messung von reflektiertem Licht und Verfahren zum Kalibrieren einer solchen Vorrichtung

Also Published As

Publication number Publication date
US4900923A (en) 1990-02-13
EP0344645B1 (de) 1994-03-16
EP0344645A2 (de) 1989-12-06
DE58907202D1 (de) 1994-04-21
EP0344645A3 (en) 1990-08-16
JPH0227237A (ja) 1990-01-30

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0344645B1 (de) Remissionsmessgerät
DE69636144T2 (de) Diffus reflektierende sonde
WO1989005468A1 (en) Device for optically scanning the surface of an object
EP0458223A2 (de) Vorrichtung zur Messung der Absorption von transparenten Proben mit ungünstiger Aussenform
EP0078939A1 (de) Stabähnliche Vorrichtung zum Erfassen des jeweiligen Niveaus von Flüssigkeiten in Behältern, Kanälen o. dgl.
EP2533032A1 (de) Messverfahren und Messvorrichtung zur Ermittlung von Transmissions- und/oder Reflektionseigenschaften
DE102009036383B3 (de) Vorrichtung und Verfahren zur winkelaufgelösten Streulichtmessung
DE102013219830B4 (de) Optische Vorrichtung zur Reflexionsmessung unter diffuser Beleuchtung und Verfahren zum Optimieren einer solchen, sowie Verwendung der Vorrichtung
DE19723999B4 (de) Vorrichtung zur Messung von Partikelabmessungen in Fluiden
DE4030836A1 (de) Vorrichtung zur qualitativen und/oder quantitativen bestimmung der zusammensetzung einer zu analysierenden probe
DE19615971B4 (de) Anordnung mit einem Lichtleiter,- und ein damit aufgebautes Mess-und Beleuchtungssystem und ihr Herstellungsverfahren
DE19628250B4 (de) Vorrichtung zur Messung von Kenngrößen einer zumindest teilweise lichtdurchlässigen Probe
EP0244788B1 (de) Vorrichtung zur Messung des Querschnitts oder des Volumens eines laufenden Fadens
DE3422772C2 (de) Vorrichtung zur berührungslosen Innengewindemessung
DE3511474C2 (de)
EP0394909B1 (de) Verfahren zur diffusen Beleuchtung einer Messfläche in einem Testträgeranalysegerät
DE2528912A1 (de) Vorrichtung zum messen der konzentration einer trueben loesung
EP0225895A1 (de) Integrierende empfangseinrichtung für laserstrahlung
DD242105A1 (de) Beleuchtungseinrichtung fuer mikroskope und projektoren
DE2753240A1 (de) Messanordnung zur aufzeichnung der struktur eines gegenstandes, der beschaffenheit einer oberflaeche oder dergleichen
DE19506675C2 (de) Vorrichtung zur Einkopplung von durch eine Probe transmittiertem oder von einer Probe reflektiertem, gestreutem, emittiertem oder reemittiertem Licht in einen Lichtleiter
DE10252322A1 (de) Optischer Leiter
EP1136813A2 (de) Vorrichtung zur Streustrahlungsmessung
DE19920184A1 (de) Verfahren für die gleichzeitige Erfassung von diffuser und specularer Reflexion von Proben, insbesondere undurchsichtiger Proben, sowie Reflektanz-Meßsonde
EP0096420A2 (de) Vorrichtung zur Messung der Konzentration von Teilchen in Flüssigkeiten

Legal Events

Date Code Title Description
8141 Disposal/no request for examination