DE3806502A1 - Hochdruckpumpe auch fuer nicht schmierendes fluid und fuer drucke von ueber tausend atmospheren - Google Patents

Description

Bei Hochdruck Pumpen für nicht schmierendes Fluid besteht das Problem, daß die Trennmittel zwischen Öl und Wasser, sowie die Ventile nach mehreren zehnmillionen Hüben wegen Übermüdung ausfallen können. Das begrenzt die Lebensdauer solcher Pumpen. Man hat daher in der Vergangenheit solche Pumpen mit langsamer Drehzahl von meistens unter 300 Upm laufen lassen. Das kostete teure und Raum verschwendende Getriebe, weil die primär treibenden Elektro- oder Diesel-Motoren mei­ stens mit über tausend Upm. laufen. Das Getriebeproblem ist auch deshalb bedeutend, weil Pumpen für über tausend Bar bereits bei nur wenigen Litern Fördermenge pro Minute bereits sehr hohe Antriebsleistungen von über 50 PS, oft mehrere hundert PS, erfordern.

Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, die Getriebe zu vermeiden und die Ventile und Trennmittel trotzdem mit weniger Hüben pro Zeiteinheit laufen zu lassen, um bei einer bestimmten Hubzahl eine längere Lebensdauer und höhere Betriebssicherheit bei geringen Anschaf­ fungs- und Betriebs-Kosten zu schaffen.

Diese Aufgabe wird im Gebiete des Gattungsbegriffs des Patentan­ spruchs 1 vom kennzeichnenden Teil des Patentanspruchs 1 gelöst.

Weitere vorteilhafte Ausführungen der Erfindung erscheinen in den Unteransprüchen 2.

Fig. 1 ist ein Schnitt durch ein Ausführungsbeispiel nach der Erfindung und die

Fig. 2 bis 5 sind Schnitte durch die Fig. 1 entlang den gepfeilten Linien A-A, B-B, C-C und D-D der Fig. 1.

In den Querschnittsfiguren drehen die Verteiler im Uhrzeigersinn und die Buchstaben "H" bzw. "L" in Fluidfluß in den Verteilern bedeuten, daß zur betreffenden Zeit der Hyddraulikmitteldruck "H", hier als Hochdruck bezeichnet, bzw. der Hydraulik Rücklaufdruck "L" in dem betreffenden Kanal bzw. der Bohrung herrscht.

Fig. 1 ist ein unmaßstäblicher Schnitt durch ein Ausführungs­ beispiel der Erfindung, wozu die Fig. 2 bis 5 Schnitte entlang den ge­ pfeilten Linien A-A, B-B, C-C und D-D durch Fig. 1 zeigen.

An einer Halterung 57 sind eine Mehrzahl Pumpkammern 1, 2, 3 angeordnet, die der Förderung von auch nicht schmierendem Fluid bei Drucken bis zu über 1000 Bar dienen. Jede dieser Hauptkammern, die in der Breinlich-Eickmann Literatur "Innenkammern" genannt werden, hat indi­ viduelle Einlaß und Auslaß-Ventile, die man in der Schnittfigur 5 findet.

Die Innenkammern sind durch ein Trennmittel, in den Figuren durch eine Membrane 58 getrennt. Von der Innenkammer aus gesehen liegt jenseits des Trennmittels, also jenseits der Membrane die Hydraulik-Druck­ kammer, die in der Breunlich-Eickmann Literatur "Außenkammer" genannt wird. Zu jeder der Außenkammern führt individuell ein Zylinder 11, 12, 13 mit einem darin reziprokiertem Hochdruck-Kolben 5, 6, 7. Diese Hochdruck- Kolben werden durch Mitteldruck-Kolben 8, 9, 10, die in Zylindern 14, 15, 16 reziprokieren, zu ihrem Hochdruck Hube angetrieben. Zum Rückhub sind die Hochdruck-Kolben mit den Mitteldruck-Kolben zugfähig verbunden. Oberhalb der Mitteldruckzylinder befinden sich die Rückdruck-Kammern 45, 46, 47, die die Hochdruckkolben umgeben und die durch eine Fluidleitung 44 mit dem Ruckdruck Fluid gespeist werden. Das Rückdruck Fluid wird aus einer Kammer 63 oder einem ihr zugeordnetem Pumpenaggregat erhalten.

Das Rückfluid dient gleichzeitig zur Aufrechterhaltung der Außen­ kammern mit Druckfluid, unter leichtem Vordruck. Das wird erreicht, indem von der Leitung 44 die Zweigleitungen 51, 52, 53 individuell über individu­ elle Rückschlagventile 48, 49, 50 zu den Außenkammern 135, 235, 335 führen.

Soweit ist das Aggregat aus den Breinlich-Eickmannschen Patent­ anmeldungen, zum Beispel aus der BRD Patentanmeldung P teilweise bekannt, mit der Ausnahme der gemeinsmen Rückhubkammern 45, 46, 47 an der Leitung 44 vom Fluidlieferanten 63.

Das Problem, das die Aufgabe der Erfindung stellt, ist, daß die in der genannten Patent­ anmeldung beschriebenen Aggregate mit zu hoher Drehzahl laufen, weil die Untersetzungsgetriebe zwischen dem Antriebsmotor und der Pumpe zu schwer zu Raum vergeudend, und zu teuer sind. Durch den zu schnellen Umlauf entstehen zu viele Hübe der Trennmittel pro Stunde, so daß nach tausend Betriebsstunden schon über 20 Millionen Doppelhübe entstehen, die die Ventile und die Trennmittel, zum Beispiel die Membranen, abnutzen.

Die Erfindung überwindet dieses Problem, indem sie ein einfaches Verteiler- oder Steuermittel anordnet, das den Kolben weniger Hübe pro Zeiteinheit zuteilt. Entsprechend ist in diesem Ausführungsbeispiel nach den Figuren dieser Schrift, eine Hydropumpe für mittleren Druck von 100 bis 800 Atmosphären, gezeigt durch 19, angeordnet, die durch eine Kraft­ quelle, wie z. B. Elektromotor oder Dieselmotor, angetrieben wird. Sie läuft daher mit relativ hoher Drehzahl. An die umlaufende Welle der Pumpe 19 oder der Antriebswelle etc. ist daher ein Getriebe Eingangsteil 21 angeordnet, das durch die Welle 20 getrieben ist. Das Getriebe Eingangs­ teil 21 wirkt auf das Getriebe Ausgangsteil 22 mindestens indirekt ein, um zu bewirken, daß das Getriebe Ausgangsteil mit wesentlich langsamerer Drehzahl umläuft, als das Getriebe Eingangsteil 21. In Fig. 1 sind die Getriebeteile Zahnräder, die im Gehäuse 23 geschützt gehalten sind.

Der Getriebe Ausgangsteil 22 treibt einen Verteiler oder ein Steu­ ermittel 17 daher mit wesentlich geringerer Drehzahl an, als die Drehzahl ist, mit der die Welle 20 umläuft.

Im Ausführungsbeispiel läuft der Verteiler 17 als Welle in einer Bohrung, zum Beispiel in der Buchse 18, dicht passend um. Der Verteiler­ körper hat Einlaßkanäle 42, 28 und Auslaßkanäle 43, 29, sowie individu­ elle Fluidleitungen mit Steuermündungen 30 bis 41 (Fig. 4). Die Mittel­ druckpumpe 19 hat den Auslaß 26 und den Einlaß 27. Der Auslaß 26 füh­ rt zur Kammer 24, von wo aus das Druckfluid der Mitteldruckpumpe zu den Einlässen 42, 28 des Verteilerkörpers 17 fließt. Ferner hat das Aggregat die Kammer 25, zu der die Auslässe 43, 29 des Verteilerkörpers verbunden sind und die ihrerseits mit dem Einlaß 27 der Pumpe 19 verbun­ den ist, so daß das Rückstromfluid aus dem Verteiler 17 in den Einlaß 27 der Pumpe 19 strömt, falls es nicht zum Tank geleitet wird.

Bei dem Umlauf des Verteilerkörpers 17 verbinden die Steuerta­ schen 31, 33 bzw. 39, 41 oder 37, 35 einen Zufluß Druck-Kanal oder einen Abfluß-Kanal 30, 32, 34, 36, 38, 40 zeitlich nacheinander mit einem der Mittel­ druck-Zylinder 14, 15 oder 16, so daß das Mitteldruckfluid zeitlich nachein­ ander die Mitteldruck-Kolben 8, 9 oder 10 zu ihrem Schubhub antreibt und so die Hochdruck Kolben 5, 6 und 7 zeitlich nacheinander in andauernder Folge zum Hochdruck Hube angetrieben werden, bei dem der betreffende Kolben das Hochdruckfluid in die betreffende Außenkammer drückt, wodurch das Trennmittel, z. B. die Membrane, gegen die betreffende Innenkam­ mer drückt, deren Volumen verkleinert, und so das Fluid mit hohem Druck aus der betreffenden Innenkammer über deren Auslaßventil aus der Pumpe heraus gefördert wird. Auf diese Weise laufen die Trennmittel und die Ventile der Innenkammern mit wesentlich weniger Hüben pro Zeitein­ heit, als die Pumpe 19 an Drehzahlen pro Zeiteinheit macht. Die Trennmittel und Ventile der Innenkammern erhalten die durch die Aufgabe der Erfindung angestrebte geringere Hubzahl pro Zeiteinheit und somit ihre längere Le­ bensdauer.

In der Fig. 1 sieht man noch die Bezugszeichen 4, 54, 55 und 56, die anhand der Fig. 5 beschrieben werden. Gezeigt sind in Fig. 1 außerdem die Überdruck- oder Sicherheits-Ventile 59 und 60, die dem Fluidlieferanten 63 und der Lieferleitung 26 der Pumpe 1 zugeordnet sind. Diese Ventile sind oft notwendig, weil die Fördermenge von Pumpen mit steigender Temperatur infolge höherer Leckagen durch geringere Viscositä­ ten etwas abnimmt. Wird aber zu wenig Fluid gefördert, dann kann das Aggregat der Erfindung keine gleichmäßige Förderung liefern, sondern es entstehen Fluidströmungs Stops an den Enden der Druckhübe der Kolben 5 bis 7 weil sie zu drücken aufhören, bevor die betreffende Innenkammer voll gefördert hat. Die Fluidlieferanten 63 und 19 sind daher mit etwas überhöhter Fördermenge bemessen, damit sie auch bei hohen Temperaturen noch genügend Fluid fördern, während bei niederen Temperaturen das dann zu viel geförderte Fluid über die Ventile 63 und 60 abströmt.

In Fig. 5, die der Schnitt entlang der gepfeilten Linie A-A der Fig. 1 ist, sieht man die betreffenden Teile der Fig. 1 im linken Teile der Fig. 5, nämlich in der Halterung 57.

Man sieht den Verteiler, die Zylinder und die Kolben, wie in Fig. 1, bzw. deren Schnittfigur 5 entlang einer der Schnittlinien D-D. Die Außenkammern sind in der Breinlich-Eickmann Literatur meistens mit 35 bezeichnet, während in der genannten Literatur die Innenkammern die Bezugszeichen 37 haben. In Fig. 5 ist die Außenkammer daher durch 135 und die Innenkammer durch 137 gezeigt. Zwischen ihnen sieht man das Trenn­ mittel, in diesem Falle die Membrane 58. Die Membrane ist zwischen die Kammern bildende Körperteile eingezwängt, wobei die Körperteile durch Bolzen 4 mit Spannern (Muttern, Köpfen) 66 zusammen gehalten sind, und zwar so stark zusammen gehalten sind, daß sie dem Druck aus den Kammern 135 und 137 widerstehen. Die in der genannten Literatur mit 38 und 39 bezeichneten Einlaß- und Auslaß-Ventile sind in Fig. 5 mit den Bezugszif­ fern 138 und 139 versehen. Sie befinden sich zwischen der Innenkammer und den Zu- und Ab-Leitungen 64, 65 für das Hochdruckfluid, meistens Wasser oder nicht schmierendes Fluid. Gezeigt sind noch die Teile "b" und "c", die die Zu- und Ab-Leitungen zwischen den Kammern 135, 137 und ihren benachbarten Kammern, Zylindern, Ventilen, bilden. Die Teile "b" sind mehrere Bohrungen kleinen Durchmessers und die Teile "c" sind zylin­ drische enge Spalte geringer radialer Abmessungen bildende Körper. Die Durchmesser der Bohrungen "b" sind klein, damit die Membranen nicht in sie hereingedrückt werden können und die Ringspalte um die Körper "c" haben eine Enge von 0.01 bis 0.5 Millimetern, damit die für geringe innere Spannungen dünnen Membranen unter den über tausend Bar Druck nicht in den Ringspalt um den Körper "c" hereingedrückt und so beschä­ digt werden können.

Damit ist die Fig. 1 mit ihren Schnittfi­ guren voll beschrieben. Die Fig. 4 kann der Schnitt entlang einer der Schnittlinien D-D der Fig. 1 sein, sie entspricht hier der rechtesten ge­ pfeilten Linie der Fig. 1.

In Fig. 5 fällt auf, daß sie neben der Halterung 57 noch eine Halterung 257 mit gleichen Teilen hat, wie sie in der Halterung 57 der Fig. 5 erscheinen. Die Bezugsziffern in Halterung 257 entsprechen denen in Halterung 57, jedoch mit der Vorziffer 2. Das deutet an, daß es sich um gleiche Teile handelt. Der Teil in der Halterung 257 gehört an sich nicht zur Fig. 1. Doch ist hier in Fig. 5 die Halte­ rung 257 eingezeichnet und ihr die Abzweigleitung 224 der Pumpe 19 zu­ geführt, weil ein weiteres erfindungsgemäßes Ziel dadurch verdeutlicht wird.

Bei den vielen Hüben der bisherigen Aggregate lassen nicht nur die Lebensdauer der Ventile und der Membranen nach, sondern infolge der dauernden periodischen Wechsellast, auch die die Teile zusammen haltenden Schrauben 4. Daher ist in Fig. 5 der erfindungsgemäße Satz 257 mit seinen Innenteilen gezeigt, um zu erläutern, daß der zweite Satz, also der Satz in Halterung 157, zu der Zeit mit Niederdruck wirkt, während der erste Satz in Halterung 57 mit Hochdruck wirkt, und vice versa. Das ist verdeutlicht durch die Pfeile entlang der Kolben 8 und 208. Während ein Kolben den Druckhub macht, befindet sich der andere im Rückhub.

Das Merkmal der Fig. 5 ist nun, daß die Bolzen 4 mit ihren Haltern 66 beide Pumpensätze 57 und 257 gemeinsam zusammen halten. Die Bolzen 4 bleiben dadurch zu allen Zeiten unter Hochlast, weil immer in einem Satze der Kammern 135, 137 oder 235, 237 Hochdruck herrscht. Die bisherige Wechselbelastung der Bolzen ist also in Fig. 5 vermieden und die Bolzen 4 erhalten dadurch eine beträchtlich längere Lebensdauer. Eine hydrostatische Zusammendrück-Einrichtung mag zwischen dem Deckel 67 und dem Aggregat 57-257 angeordnet sein, um die Membranen 58 auch dann noch fest eingeklemmt zu halten, wenn die Bolzen 4 ermüden und sich verlängern. Im Deckel 67 befindet sich dann der Zylinder 59 mit dem Druck-Kolben 70, der Dichtung 71 und dem Druckfluid Anschluß 68. Radial außerhalb der Ringflächen, um die Kammern mit Endziffern 35, 37 herum, die die Membranen 58 dicht einklemmen, befinden sich die Leckage Abflußkammern 61 und 62. Die Membranen sind radial über diese Kammern hinaus erstreckt und radial außerhalb dieser Kammern 61, 62 auch noch eingeklemmt, so daß die Membranteile zwischen den Abflußkammern 61 und 62 diese Kammern voneinander trennen. Die Kammern 61 sammeln dann die Wasser-Leckage, während die Kammern 62 die Öl-Leckage sammeln und ableiten. Unterschiedliche Fluide können daher nicht miteinander mi­ schen und sie können sauber voneinander getrennt abgeleitet werden, zum Beispiel, zurück in ihre Tanks. Die Leckage entlang der Klemmringflä­ chen um die Membranen 58, also die Leckagen entlang der Membrane aus den Außen- und Innen-Kammern 135, 137, 235, 237 ist in der Praxis äußerst gering. Auf den Wirkungsgrad der Anlage hat sie kaum Einfluß. Für die Praxis ist es aber wichtig, daß die wenigen Tropfen Leckage nicht unter­ schiedliche Fluide, wie schmierendes und nicht schmierendes Fluid (Öl und Wasser), miteinander vermischen. Entsprechend haben die Leckage Sammelkammern 61 und 62, sowie die Art der Verwendung der Bolzen 4 nach Fig. 5 eine hohe Bedeutung für die praktische Anwendung der Hoch­ druck Pumpen für Drucke von über tausend Bar und für nicht schmie­ rendes Fluid.

In Fig. 5 ist noch gezeigt, daß ein entsprechendes, axial bewegtes Teil, mit einer Verbindungseinrichtung versehen sein mag. Zum Beispiel können die Kolben 5 bis 7 mit dünnen Stangen durch das Gehäuse hindurch erstreckt sein, wie durch 72 in Fig. 5 gezeigt ist, um einen Anschluß 73 zu bilden. Dieser Anschluß kann dann als Signalgeber oder als Verbinder benutzt werden, um eine axial bewegli­ che Steuerung zu betreiben, die bei Ende des Hubes eines der Kolben unmit­ telbar den Beginn des Hubes eines anderen Kolbens einleitet. Der Verteiler 17 der Figuren ist dann überflüssig. Es beginnt immer ein Kolben zu fördern, wenn ein anderer Kolben den Förderhub beendet.

In den Figuren sind drei Hubkolben gezeigt. Doch kann die Anlage mit jeder Mehrzahl Kolben, Zylindern und Kammern versehen sein. Es muß eine Mehrzahl, es müssen also mindestens zwei sein.

Die Erfindung ist noch weiter beschrieben durch die Patentansprü­ che. Diese sollen daher mit ein Teil der Beschreibung der Ausführungs­ beispiele der Erfindung sein.

In Fig. 1 ist noch eine Alternativ- Ausführung der Erfindung gezeigt. Der Lieferleitung 26 der Pumpe 19 ist ein in einem Zylinder 74 beweglicher, mit der Feder 76 belasteter Kol­ ben 75 zugeordnet, der mit einer Kolbenstange 77 aus dem Aggregat heraus­ ragt. Steigt der Druck beim Anlauf eines der Kolben 8 gegen das Kammern­ ende 79, dann bewegt sich die Kolbenstange 77 weiter aus dem Aggregat heraus und diese Bewegung kann als Signalgeber oder Verbindung mittels 78 zum Betrieb des Umschaltens auf den Hub des nächsten Kolbens dienen. Auch dann ist der Verteiler 17 überflüssig.

Claims (14)

1. Pumpe mit mehreren Förderkammern, insbesondere für Drucke von über tausend bar und für nicht schmierendes Fluid, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen den die Hochdruck Kolben treibenden Niederdruck Kolben und einer Mitteldruck Pumpe von 100 bis 800 Bar ein Steuerungsmittel angeordnet ist, das dem betreffenden Mitteldruck- Kolben maximal zehnmal pro Sekunde einen Mitteldruck Fluidstrom aus der Mitteldruck Pumpe zuleitet.

2. Pumpe nach Anspruch 1, und dadurch gekennzeichnet, daß das Steuerungsmittel ein umlaufender Steuerkörper ist, der mit weniger als zehn Umdrehungen pro Sekunde umläuft.

3. Pumpe nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen der Mitteldruckpumpe und dem Steuerkörper ein Untersetzungsgetriebe angeordnet ist.

4. Pumpe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß einem der bewegten Teile ein Signalgeber zugeordnet ist, der direkt oder indirekt den Zulauf des Mitteldruck Fluids zu einem nächsten Mitteldruck Zylinder einleitet, wenn der Druck­ hub des vorher arbeitenden Kolbens beendet wird.

5. Pumpe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Steuermittel ein federbelasteter, dem Mitteldruckfluid zugeschalteter Geberkolben ist, der einen Steuerkörper oder Steuerschieber bewegt und durch ihn den Zulauf des Mitteldruck­ fluids zu einem anderen Mitteldruck Kolben öffnet, wenn der Druck der Mitteldruckpumpe über den Arbeitsdruck beim Druckhub des betreffenden Kolbens ansteigt und der Geberkolben seine Federbelastung überwindet.

6. Pumpe nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch die folgende Kombi­ nation:

• a) zu den Förderkammern, die mit Einlaß- und Auslaß-Ventilen versehen sind, und die durch ein Trennmittel (zum Beispiel eine Membrane) von der das Trennmittel bewegenden Hydraulik-Hoch­ druckstufe getrennt sind, sind jenseits des Trennmittels die Hochdruck-Hydraulik Außenkammern angeordnet;
• b) zu den Hochdruck Hydraulik Außenkammern fördern individuelle in Hochdruckzylindern, die mit den Hydraulik Hochdruck Kammern verbunden sind, Hochdruck-Kolben;
• c) den Hochdruck Kolben ist mindestens indirekt oder über Mittel­ druck-Zylinder und Mitteldruck-Kolben ein Verteilerventil vorgeordnet.

7. Pumpe nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch folgende Kombination:

• a) zu den Förderkammern, die mit Einlaß- und Auslaß-Ventilen versehen sind, und die durch ein Trennmittel (zum Beispiel eine Membrane) von der das Trennmittel bewegenden Hydraulik-Hoch­ druckstufe getrennt sind, sind jenseits des Trennmittels die Hochdruck-Hydraulik Außenkammern angeordnet;
• b) zu den Hochdruck Hydraulik Außenkammern fördern individuelle in den Hochdruckzylindern, die mit den Hydraulik Hochdruck Kammern verbunden sind, Hochdruck-Kolben;
• c) den Hochdruck Kolben ist mindestens indirekt oder über Mittel­ druck-Zylinder und Mitteldruck-Kolben ein Verteilerventil vorgeordnet,
• d) das Verteilerventil hat einen Einlaß zur Aufnahme von Mitteldruck­ fluid, einen Auslaß zum Auslaß von Niederdruckfluid und individu­ elle Steuer-Kanäle zur Zuleitung und Ableitung von Fluid zu Hochdruck (oder Mitteldruck) Zylindern,
• e) der Einlaß des Verteilerventils ist zu dem Auslaß einer Mittel­ druck Pumpe verbunden, und
• f) zwischen dem Verteilerventil und mindestens indirekt dem Schaft der Mitteldruckpumpe ist eine Untersetzungs-Getriebe (z. B. Keilrie­ men, Zahnradgetriebe) zwecks Erreichung des Umlaufs des Verteiler Ventils mit relativ zur Mitteldruckpumpen Drehzahl geringeren Umlaufzahl.

8. Aggregat nach Anspruch und dadurch gekennzeichnet, daß das Steuerungsmittel mit einem Antrieb versehen ist, der die Drehzahl des Mittels auf unter 10 Umdrehungen pro Sekunde bewegt.

9. Aggregat nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß mehrere Pumpsätze durch gemeinsame Bolzen axial hinter­ einander zusammen gehalten sind in Kombination damit, daß einer der Pump­ sätze Hochdruck erhält, wenn ein anderer der Pumpsätze Niederdruck hat, so daß die Bolzen dauernd mit Hochlast belastet sind.

10. Pumpe nach Anspruch 4, und dadurch gekennzeichnet, daß der Signalgeber eine im Vergleich zum Hochdruck-Kolben dünnere Kolbenstange ist, die durch das Ende des Zylinders, in dem der Hochdruck Kolben läuft, hindurch erstreckt ist.

11. Pumpe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Trennmittel zwischen der mit den Ventilen versehenen Innenkammer und der dem Hochdruck Kolben verbundenen Außen- Kammer eine Membrane ist, die an ihrem radial äußeren Teil zwischen kreisrunden Flächen eingespannt ist, die Membrane mit ihrem radial weiter außen liegendem Teil über jenseits von Leckage Sammelkammern kreisrunder Form diesseits und jen­ seits der Membrane radial nach außen hin erweitert und dort zwischen kreisrunden Flächen noch einmal eingespannt oder abge­ dichtet ist.

12. Pumpe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen der Innenkammer und deren Ventilen ein Kanal von kreisförmigem Querschnitt angeordnet ist, deren Wände um weniger als 0,5 Millimeter voneinander getrennt sind, so daß ein Ringkanal engen Querschnitts entsteht, der das Eindringen der dünnen Membrane unter Drucken von über tausend Bar in den Ringspalt hinein verhindert.

13. Pumpe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß Hochdruck Kolben und Mitteldruck Kolben angeordnet und für den Rückhub zugfest miteinander verbunden sind, wäh­ rend zwischen dem Hochdruck- und dem Mitteldruck-Zylinder ein Rückzugfluid Zulauf angeordnet ist, der sein Druckfluid aus einer gesonderten Fluiddruck Quelle bezieht oder der aus dem Vordruck Füllfluid der betreffenden Außenkammer vor dem Trenn­ mittel entnommen wird.

14. Pumpe nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß der Mitteldruckpumpe oder dem Zufluß zur Außenkammer oder zur Rückzugsfluidanordnung Überdruckventile angeordnet sind, die zu viel gefördertes Fluid ableiten.