DE3735066A1 - Drucksensor - Google Patents
DrucksensorInfo
- Publication number
- DE3735066A1 DE3735066A1 DE19873735066 DE3735066A DE3735066A1 DE 3735066 A1 DE3735066 A1 DE 3735066A1 DE 19873735066 DE19873735066 DE 19873735066 DE 3735066 A DE3735066 A DE 3735066A DE 3735066 A1 DE3735066 A1 DE 3735066A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- permanent magnet
- hall sensor
- housing
- area
- pressure sensor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
- G01D5/14—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage
- G01D5/142—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage using Hall-effect devices
- G01D5/147—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage using Hall-effect devices influenced by the movement of a third element, the position of Hall device and the source of magnetic field being fixed in respect to each other
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/14—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means involving the displacement of magnets, e.g. electromagnets
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Description
Die Erfindung betrifft einen Drucksensor nach dem Oberbe
griff des Anspruchs 1.
Drucksensoren dieser Art bestehen aus einem mechanisch ar
beitenden Druckaufnehmer, der auf seiner einen Seite mit
dem zu messenden Druckraum verbunden ist und einen Stift,
eine Membran, eine Rohrfeder oder ein anderes geeignetes
Übertragungsmittel aufweist, das entsprechend dem im Druck
raum herrschenden Druck eine Längenänderung innerhalb des
Drucksensors hervorruft. Innerhalb des Gehäuses ist dieser
bewegliche Teil des Druckaufnehmers mit einem Permanentma
gneten versehen, der wiederum mit einem ortsfest im Gehäuse
angeordneten Hallsensor in Wirkverbindung steht. Entsprechend
dem im Druckraum herrschenden Druck wird der bewegliche
Teil und somit der damit verbundene Permanentmagnet mehr
oder weniger weit auf den Hallsensor bewegt. Je nach Abstand
des Permanentmagneten zum Hallsensor wirkt ein unterschied
lich starkes Magnetfeld auf den Hallsensor, wodurch sich
der elektrische Widerstand dieses Sensors ändert. Diese
Widerstandsänderung wird von einer nachgeschalteten Auswert
elektronik (Meßverstärker) erfaßt und in ein elektrisches
Signal umgewandelt, mit dem eine elektronische Anzeige,
eine Meßwerterfassung, eine Regelvorrichtung oder derglei
chen steuerbar ist.
Ein Drucksensor dieser Art ist aus der DE-OS 28 42 140 be
kannt. Nachteilig bei diesem bekannten Drucksensor ist,
daß der Meßbereich verhältnismäßig klein ist. Zwar ist es
möglich, durch Einsatz eines anderen Druckaufnehmers einen
entsprechend größeren Meßbereich zu erfassen, beispielsweise
von 0 bis 1000 bar, doch ist hierzu eine sehr aufwendige
Auswertelektronik erforderlich, die den Einsatz eines sol
chen Drucksensors in der Regel unwirtschaftlich macht. Der
Grund hierfür liegt darin, daß der Hallsensor nur in einem
verhältnismäßig kleinen Bereich eine lineare Kennlinie auf
weist, da die Feldstärke des Magneten mit zunehmendem Ab
stand vom Magneten nicht linear, sondern überproportional
abnimmt. Entsprechend sich auch die Widerstandsänderungen
im Hallsensor bei größerem Abstand des Magneten, wie er
bei großem Meßbereich (bei gleichbleibender Auflösung) gege
ben sein kann, entsprechend gering, was durch eine aufwendi
ge und anfällige Auswertelektronik ausgeglichen werden muß.
Der Einsatz einer solchen hochauflösenden Auswertelektronik
ist insbesondere im untertägigen Grubenbetrieb nicht nur
wegen der hohen Anschaffungskosten problematisch. Die dort
herrschenden rauhen Bedingungen hinsichtlich Temperatur,
Luftfeuchte und Erschütterungen bringen unerwünschte Stör
einflüsse mit sich, die zu ungenauen Messungen oder gar
zu einem Ausfall der Geräte führen können.
Hiervon ausgehend liegt der Erfindung die Aufgabe zugrunde,
mit technisch einfachen Mitteln einen robusten und kompakten
Drucksensor zu schaffen, der einen weiten Meßbereich bei
hoher Auflösung überspannt.
Diese Aufgabe wird bei einem gattungsgemäßen Drucksensor
gemäß der Erfindung mit den im kennzeichnenden Teil des
Anspruchs 1 aufgeführten Merkmalen gelöst.
Die erfindungsgemäße Lösung sieht eine Anpassung des Druck
sensorgehäuses im Bereich des mechanisch-elektrischen Wand
lers derart vor, daß die Feldstärke der den Hallsensor er
reichenden Feldlinien mit wachsendem Abstand des Magneten
zum Hallsensor proportional abnimmt. Das Gehäuse ist also
so ausgebildet, daß die Feldlinien mit zunehmendem Abstand
vom Hallsensor entsprechend gebündelt werden. Auf diese
Weise kann ein Druckwandler mit verhältnismäßig hohem Meßbe
reich eingesetzt werden, dessen bewegliches Teil (Membran,
Stift, Rohrfeder oder dergleichen) eine entsprechend größere
Auslenkung vollziehen kann. Die damit verbundene genau so
große Auslenkung des Permanentmagneten in bezug auf den
Hallsensor wird hinsichtlich der Magnetfeldänderung durch
den entsprechend ausgebildeten Gehäusequerschnitt kompen
siert, so daß die sonst üblichen elektronischen Ausgleichs
komponenten entfallen können. Die Erfindung schafft also
die Möglichkeit, lediglich mit rein mechanischen Mitteln
eine lineare Magnetfeldänderung bei Verlagerung des Magneten
in Richtung auf den Hallsensor oder umgekehrt herbeizufüh
ren, so daß der Wandler eine lineare Kennlinie erhält.
In der Regel ist eine lineare Kennlinie erstrebenswert, es
versteht sich jedoch, daß der Erfindungsgedanke, durch An
passung des Gehäuses im Bereich zwischen Wandler und Druck
aufnehmer die Kennlinie des Wandlers zu verändern, auch
dazu eingesetzt werden kann, das Gehäuse entsprechend so
auszubilden, daß eine andere gewünschte, nicht lineare Kenn
linie des Wandlers erreicht wird. Die Anpassung des Gehäuse
querschnitts kann sowohl durch Formgebung der Gehäusewand
als auch durch Wahl der Wanddicke oder vorteilhaft durch
Ausnutzung beider Möglichkeiten erfolgen.
Anspruch 2 beschreibt eine weitere Möglichkeit, auf den
magnetischen Fluß innerhalb des Gehäuses Einfluß zu nehmen,
und zwar durch entsprechende Materialwahl der Gehäusewand.
So kann beispielsweise eine Kennlinienänderung auch dadurch
erreicht werden, daß die Gehäusewand aus Materialien unter
schiedlicher Permeabilität aufgebaut wird. Besonders viel
fältige Möglichkeiten zur Kennlinienbeeinflussung des Wand
lers ergeben sich durch Kombination von Gehäusewandgestal
tung und entsprechender Materialwahl.
Eine konstruktiv einfache und zugleich wirksame Ausbildung
des Gehäuses zur Bündelung der Feldlinien bei größer werden
dem Abstand zwischen Permanentmagnet und Hallsensor be
schreibt Anspruch 3. Durch diese Ausbildung werden bei
größer werdendem Abstand zwischen Magnet und Hallsensor
die vom Magneten ausgehenden Feldlinien im Randbereich nach
vorne, also zum Hallsensor hin gebündelt und laufen so nicht
direkt quer zur Gehäusewand hin.
Anspruch 4 beschreibt eine weitere vorteilhafte bauliche
Ausgestaltung des Gehäuses, und zwar in dem Bereich jenseits
des Permantentmagneten, dort wo der bewegliche Teil des Druck
aufnehmers bzw. das damit verbundene Übertragungsglied ange
ordnet sind. Durch diese Stufe innerhalb des Gehäuses kann
ein Anschlag gebildet sein, gegen den der bewegliche Teil
des Druckaufnehmers fährt, wenn beispielsweise ein unzuläs
sig hoher Druck am Druckaufnehmer anliegt. Hierdurch wird
einerseits der Hallsensor vor direktem Kontakt mit dem Per
manentmagneten geschützt, zum andern kann hierdurch ein
Überlastungsschutz für den Druckaufnehmer gebildet sein.
Die Erfindung ist nachfolgend anhand eines in den Zeichnun
gen dargestellten Ausführungsbeispiels näher erläutert.
Es zeigt
Fig. 1 in schematischer Darstellung einen Längsschnitt
durch einen Teil eines Drucksensors nach dem
Stand der Technik;
Fig. 2 bis 4 einen Teil eines Drucksensors nach der Erfindung
in Darstellung nach Fig. 1, und zwar in unter
schiedlichen Stellungen des Permanentmagneten.
Der in den Fig. 2 bis 4 dargestellte Drucksensor ist in
einem etwa zylindrischen Gehäuse 1 integriert und besteht
im wesentlichen aus einem hier nicht dargestellten mecha
nisch arbeitenden Druckaufnehmer und einem sich daran an
schließenden mechanisch-elektrischen Wandler. Seitens des
Druckaufnehmers ist in den Figuren lediglich ein axial inner
halb des Gehäuses 1 (bzw. 1′ in Fig. 1) verschiebbar ange
ordneter Zapfen 2 dargestellt, der mit dem beweglichen Teil
des Druckaufnehmers, beispielsweise einer Membran, einem
Stift, einer Rohrfeder oder dergleichen verbunden ist. An
der vom Druckaufnehmer abgewandten Seite des Zapfens 2 ist
mittig ein Permanentmagnet 3 angebracht. Der Permanentmagnet
3 ist in Bewegungsrichtung des Zapfens 2, also in Achsrich
tung des Gehäuses 1 polarisiert.
Mit Abstand vom Permanentmagneten 3 ist innerhalb des Gehäu
ses 1 ortsfest ein Hallsensor 4 angeordnet. Der Hallsensor 4
ist auf der zum Druckaufnehmer weisenden Stirnseite eines
Zapfens 5 angebracht, der fest mit dem Gehäuse 1 verbunden
ist. Der Hallsensor 4 steht mit dem Permanentmagneten 3 in
Wirkverbindung. Je nach Abstand des Permanentmagneten 3 zum
Hallsensor 4 ändert sich das vom Permantenmagneten 3 ausge
hende magnetische Feld, wodurch sich die elektrischen Eigen
schaften, insbesondere der elektrische Widerstand des Hall
sensors, ändert. Diese Widerstandsänderung wird von einer
nachgeschalteten Meßeinrichtung erfaßt und in ein elektri
sches Signal umgesetzt.
Bei einem Gehäuse 1′, wie es in Fig. 1 dargestellt und
bisher üblicherweise verwendet wurde, breiten sich die Feld
linien 6 des Permanentmagneten 3 wie in Fig. 1 schematisch
dargestellt aus. Wie aus dieser Figur ersichtlich, ist die
Feldstärke des Permanentmagneten 3 im polnahen Bereich ver
hältnismäßig hoch, und nimmt dann mit wachsendem Abstand zum
Pol überproportional ab. Der mit einem Hall-Effekt-Bauele
ment ausgerüstete Hallsensor 4 reagiert dagegen annähernd
proportional, d. h. die Widerstandsänderung des Hallsensors
ist etwa proportional zur dort herrschenden magnetischen Feld
stärke. Dies hat zur Folge, daß der axiale Verschiebebereich,
innerhalb dessen sich der Permanentmagnet 3 in bezug auf
den Hallsensor 4 bewegen kann, bei der Ausführung nach Fig.
1 verhältnismäßig klein ist, wodurch der Meßbereich des
Drucksensors bei Einhaltung einer vorgeschriebenen Auflösung
eng begrenzt ist oder aber aufwendige elektronische Hilfs
mittel nachzuschalten sind, um dieses nicht lineare Verhal
ten zu kompensieren.
Bei der Ausführung nach den Fig. 2 bis 4 ist durch ent
sprechende Ausbildung des Gehäuses 1 im Bereich des Perma
nentmagneten 3 und zwischen Permanentmagnet 3 und Hallsensor
4 erreicht, daß die Feldlinien 7, 8, 9 des Permanentmagneten
3 mit wachsendem Abstand vom Hallsensor 4 durch das Gehäuse
1 gebündelt werden, so daß über einen weiten axialen Ver
schiebebereich des Magneten 3 bzw. des Zapfens 2 eine etwa
lineare Feldstärkeabnahme am Hallsensor 4 eintritt. Wie
anhand der Fig. 2 bis 4 im Vergleich mit Fig. 1 deutlich
zu erkennen ist, werden die Feldlinien 7, 8, 9 mit wachsen
dem Abstand des Magneten 3 vom Hallsensor 4 zunehmend ge
bündelt.
Fig. 2 zeigt die eine und Fig. 4 die andere Endposition
des Zapfens 2 bzw. des Permanentmagneten 3. Die unterschied
liche Stellung des Permanentmagneten 3 in den Fig. 2
bis 4 ist durch die strichpunktierten Linien 14, 15, 16
verdeutlicht, die jeweils der zum Hallsensor 4 gerichteten
Stirnseite des Permantmagneten 3 zugeordnet sind (Fig.
2 - Linie 14, Fig. 3 - Linie 15, Fig. 4 - Linie 16). Der
Abstand der Linien 14 und 16 gibt den möglichen Verschiebe
weg des Permanentmagneten 3 an, innerhalb dessen eine line
are Ab- bzw. Zunahme der Feldstärke am Hallsensor 4 eintritt.
Dieser Verschiebeweg, innerhalb dessen eine lineare Feldstär
kenänderung in bezug auf den Hallsensor 4 erfolgt, bestimmt
bei vorgegebener Auflösung den Meßbereich des Drucksensors.
Das anhand der Fig. 2 bis 4 dargestellten Gehäuse 1 weist
einen im dargestellten Bereich glatten, zylindrischen Außen
mantel auf. Die Innenwandung des Gehäuses 1 ist im Bereich
10 (siehe Fig. 4) des Zapfens 5 zylindrisch ausgebildet.
An diesen Bereich 10 schließt sich in Richtung zum Zapfen
2 gesehen ein zur Gehäusemitte hin flach konisch zulaufender
Bereich 11 an, der sich zwischen dem Hallsensor 4 und dem
vorderen, zum Hallsensor 4 weisenden Teil des Permanentma
gneten 3 erstreckt (bezogen auf die dem Hallsensor 4 nahelie
gende Endposition des Permanentmagneten 3, siehe Fig. 4).
An den konischen Bereich 11 schließt sich in Richtung auf
den Zapfen 2 gesehen ein zylindrischer Bereich 12 an, der
sich etwa über die Länge des Magneten 3 erstreckt. Am Ende
dieses zylindrischen Bereichs 12 springt die Gehäuseinnen
wandung in einen zylindrischen Bereich 13 zurück, der in
seiner Ausbildung etwa dem Bereich 10 entspricht und den
Zapfen 2 umgibt. Die hierdurch gebildete Stufe innerhalb
des Gehäuses 1 bildet zugleich einen Anschlag für den Zapfen
2 in Richtung auf den Hallsensor 4, der verhindert, daß
Permanentmagnet 3 und Hallsensor 4 zu nahe aneinanderkommen
oder gar kollidieren.
Wie anhand der Fig. 2 bis 4 deutlich erkennbar ist, hat
diese etwa trichterförmige Ausbildung der Gehäuseinnenwand
im Bereich 11 zwischen Hallsensor 4 und Permantenmagnet 3 und
im Bereich 12 des Permanentmagneten 3 die Wirkung, daß die vom
Permanentmagneten 3 ausgehenden Feldlinien 7, 8, 9 mit wach
sendem Abstand zum Hallsensor 4 zunehmend gebündelt werden,
so daß die magnetische Feldstärke am Hallsensor 4 etwa line
ar abnimmt. Da der Hallsensor 4 ebenfalls lineares Verhalten
aufweist, kann die nachgeschaltete Auswertelektronik ent
sprechend einfach gestaltet sein. Der verhältnismäßig große
Verschiebeweg (Abstand zwischen 14 und 16) ermöglicht den
Einsatz eines für einen großen Meßbereich ausgelegten Druck
aufnehmers.
Claims (5)
1. Drucksensor mit einem Gehäuse, in dem ein mechanisch
arbeitender Druckaufnehmer und ein diesem nachgeschalteter
mechanisch-elektrischer Wandler angeordnet sind, wobei der
bewegliche Teil des Druckaufnehmers zumindest mittelbar
mit einem Permanentmagneten verbunden ist, der mit einem
Hallsensor in Wirkverbindung steht, und zusammen mit diesem
den Wandler bildet, dadurch gekennzeich
net, daß der Gehäusequerschnitt im Bereich des Permanent
magneten (3) und im Bereich zwischen Permanentmagneten (3)
und Hallsensor (4) zum Erzielen einer linearen Kennlinie
des Hallsensors (4) einer etwa linearen Feldstärkeabnahme
am Hallsensor (4) bei Bewegung des Permanentmagneten von
der einen Endposition (14) zur anderen Endposition (16)
angepaßt ist.
2. Drucksensor nach Anspruch 1, dadurch gekenn
zeichnet, daß der Gehäusequerschnitt durch Material
wahl der Gehäusewand angepaßt ist.
3. Drucksensor nach Anspruch 1 oder 2, mit einem im Bereich
zwischen Permanentmagneten und Hallsensor im Querschnitt
runden Gehäuse, dadurch gekennzeichnet,
daß die Gehäuseinnenwand bezogen auf die dem Hallsensor (4)
naheliegende Endposition (16) des Permanentmagneten (3)
- a) im Bereich (11) zwischen Hallsensor (4) und Permanent magneten (3) in Richtung auf den Permanentmagneten (3) konisch zulaufend und
- b) im Bereich (12) des Permanentmagneten (3) zylindrisch
ausgebildet ist, bei zylindrischer Ausbildung der Gehäuse
außenwand.
4. Drucksensor nach Anspruch 3, dadurch gekenn
zeichnet, daß das Gehäuse (1) im Bereich (13) des Permanent
magneten (3) ausgebildet ist.
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19873735066 DE3735066A1 (de) | 1987-10-16 | 1987-10-16 | Drucksensor |
GB8823565A GB2211297A (en) | 1987-10-16 | 1988-10-07 | A pressure sensor |
US07/257,104 US4905520A (en) | 1987-10-16 | 1988-10-12 | Pressure sensor |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19873735066 DE3735066A1 (de) | 1987-10-16 | 1987-10-16 | Drucksensor |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE3735066A1 true DE3735066A1 (de) | 1989-04-27 |
Family
ID=6338465
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19873735066 Withdrawn DE3735066A1 (de) | 1987-10-16 | 1987-10-16 | Drucksensor |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4905520A (de) |
DE (1) | DE3735066A1 (de) |
GB (1) | GB2211297A (de) |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0595553B1 (de) * | 1992-10-29 | 1996-12-27 | Rolls-Royce And Associates Limited | Verbesserung in Weggebern |
US5492017A (en) * | 1994-02-14 | 1996-02-20 | Abb Vetco Gray Inc. | Inductive pressure transducer |
GB2313446B (en) * | 1995-03-02 | 1999-05-12 | Baroid Technology Inc | Position detection devices |
GB9504151D0 (en) * | 1995-03-02 | 1995-04-19 | Baroid Technology Inc | Position detection devices |
EP1058103A3 (de) * | 1999-05-11 | 2001-11-21 | Mannesmann VDO Aktiengesellschaft | Mechano-elektrischer Drucksensor mit magnetfeldempfindlichen Detektor |
US7886610B2 (en) * | 1999-07-19 | 2011-02-15 | Donaldson Company, Inc. | Differential pressure gauge for filter |
US20110301569A1 (en) | 2001-01-20 | 2011-12-08 | Gordon Wayne Dyer | Methods and apparatus for the CVCS |
US6949924B2 (en) * | 2001-07-26 | 2005-09-27 | Adaptive Instruments Llc | Electromechanical rotation sensing device |
US20040093952A1 (en) * | 2002-11-15 | 2004-05-20 | Spencer Eisenbarth | Electronic pressure transducer |
EP2599468A1 (de) * | 2007-01-18 | 2013-06-05 | Physio-Control, Inc. | Antriebssteuerung einer Hubkolben-HLW-Vorrichtung |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2842140A1 (de) * | 1978-09-28 | 1980-04-10 | Bosch Gmbh Robert | Mechanisch-elektrischer druckwandler |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4667514A (en) * | 1985-05-01 | 1987-05-26 | Baer John S | Parameter sensors and monitors |
-
1987
- 1987-10-16 DE DE19873735066 patent/DE3735066A1/de not_active Withdrawn
-
1988
- 1988-10-07 GB GB8823565A patent/GB2211297A/en not_active Withdrawn
- 1988-10-12 US US07/257,104 patent/US4905520A/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2842140A1 (de) * | 1978-09-28 | 1980-04-10 | Bosch Gmbh Robert | Mechanisch-elektrischer druckwandler |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
Elektronik 9/6.5.83, S. 107-112 * |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
GB2211297A (en) | 1989-06-28 |
US4905520A (en) | 1990-03-06 |
GB8823565D0 (en) | 1988-11-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP1182422B1 (de) | Linearbetätigungsvorrichtung | |
DE10007968C1 (de) | Mechanische Welle mit integrierter Magnetanordnung | |
DE102015008098B4 (de) | Messgerät mit gespreizter Messwertausgabe | |
EP3374839B1 (de) | Fernbedienung mit gleichpolig angeordneten magneten | |
DE4317259A1 (de) | Elektrische Steuereinrichtung | |
DE3735066A1 (de) | Drucksensor | |
DE102004057909A1 (de) | Linearer Positionssensor | |
EP0373334A2 (de) | Einrichtung zur Erfassung einer Axialkraft einer Deichselkupplung | |
DE3604088C2 (de) | ||
DE1773491B2 (de) | Druckempfindliche Vorrichtung mit einer elastischen Membran | |
EP1695057B1 (de) | Verfahren zum betreiben einer arbeitsgerätschaft | |
DE1908891A1 (de) | Poren-Wasserdruckmesser | |
WO2003004999A1 (de) | Vorrichtung zur auswertung des signals eines viskositätssensors | |
DE102017108855B4 (de) | Sensor-Einheit sowie Arbeitszylinder-Einheit mit einer Sensor-Einheit | |
CH689460A5 (de) | Einrichtung mit einem Zylinder, einem in diesem verschiebbaren Kolben und einem im Zylinder angeordneten, induktiven Messwandler. | |
CH716247B1 (de) | Druckdifferenzaufnehmer für ein Durchflussmessgerät sowie Durchflussmessgerät. | |
DE102009018169A1 (de) | Betätigungsvorrichtung | |
EP3258217A1 (de) | Sensor | |
EP2596324A1 (de) | Lineare wegmessung mit hilfe eines magnetsystemes bestehend aus einzelmagneten | |
EP0472201A2 (de) | Drucksensor | |
DE19917466C1 (de) | Wegmeßvorrichtung | |
DE10048172C2 (de) | Magnetischer Bewegungssensor | |
DE19743040C2 (de) | Vorrichtung zum Bestimmen der Durchflußmenge eines Fluids | |
DE3313550A1 (de) | Messkassette mit elektrischer messwertuebertragung zur messung der stellung wenigstens eines magnetkopfes in einem magnetbandkassettengeraet gegenueber der magnetbandtransportbahn | |
DE102017202365A1 (de) | Sensoreinrichtung |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OP8 | Request for examination as to paragraph 44 patent law | ||
8130 | Withdrawal |