DE3717274A1 - Optical defect inspecting device - Google Patents

Optical defect inspecting device

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DE3717274A1
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DE19873717274
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Inventor
Klaus Dr Weber
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Sick AG
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Sick AG
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Abstract

An optical defect inspecting device for specularly reflecting planar (flat) surfaces (14) and objects (35) has a camera (22) which is directed onto the region (13) of the surface (14) which is to be inspected and in the image plane of which there is located a photoelectric diode arrangement (25) which extends at least in one direction, is connected with its integrated read-out electronics to an evaluation electronics system (33) and on which the region to be inspected is imaged. Furthermore, provision is made for an illuminating device for the region to be inspected, which has a light source (29), a condenser lens (28) downstream thereof and a diaphragm (23) which is arranged therebehind and defines the illuminating pupil (11). The transmitted light bundle (12) emanating from the illuminating pupil (11) is directed onto the region (13) to be inspected. Said bundle is specularly reflected from the surface (14) to a mirror reflector (15) at which the incident light is retroreflected at least essentially into itself and which, alone or in cooperation with other optical imaging elements (16, 16') projects the illuminating pupil (11) onto a contrasting diaphragm (18) arranged essentially in the lens pupil (17). Tilting of the object which is caused by vibrations is compensated by the two-fold reflection at the object. <IMAGE>

Description

Die Erfindung betrifft eine optische Fehlerinspektionsvor richtung für spiegelnd reflektierende und/oder transparente, im wesentlichen ebene Oberflächen von Gegenständen, insbe sondere Bahnmaterial, mit einer auf den zu inspizierenden Be reich der Oberfläche gerichteten, ein Objektiv aufweisenden Kamera, in deren Bildebene sich eine sich wenigstens in einer Richtung erstreckend photoelektrische Diodenanordnung mit integrierter Ausleseelektronik befindet, die an eine Aus werteelektronik angeschlossen und auf der der zu inspizieren de Bereich abgebildet ist, und mit einer Beleuchtungsvor richtung für den zu inspizierenden Bereich, welche eine Lichtquelle, eine dieser folgende Kondensorlinse sowie ein dahinter angeordnetes, die Beleuchtungspupille bildendes Strahlquerschnitts-Begrenzungselement, auf das die Lichtquel le von der Kondensorlinse abgebildet wird, aufweist. The invention relates to an optical Fehlerinspektionsvor device for specularly reflecting and / or transparent, substantially planar surfaces of objects, in particular sondere web material, directed to a to be inspected Be reaching the surface, a lens having camera in whose image plane a at least to is in a direction extending photoelectric diode array with integrated readout electronics, the de region is connected to an off evaluation electronics and on to inspect the imaged and having a Beleuchtungsvor direction for the region to be inspected, comprising a light source, one of the following condenser lens and a behind disposed, the illumination pupil forming beam cross-section limiting member to which the Lichtquel le is imaged by the condenser lens has.

Bei derartigen optischen Inspektionsvorrichtungen werden die Einzeldioden der Diodenanordnung zyklisch und periodisch von der integrierten Ausleseelektronik daraufhin abgefragt, welche Lichtmenge während dieser Periode auf sie aufgetrof fen ist. In such an optical inspection devices, the individual diodes of the diode arrangement are cyclically and periodically interrogated by the integrated read-out electronics to determine which amount of light during this period aufgetrof on them is fen. Der in Hellfeld, Dunkelfeld oder einer anderen Kon trastierungsart auf die Diodenanordnung abgebildete zu inspi zierende Bereich kann so entsprechend der Abfragung der Ein zeldioden der Diodenanordnung systematisch abgetastet werden. The in bright field, dark field or other Kon trastierungsart to the diode array shown to inspi ornamental portion can thus according to the detection of a zeldioden of the diode array are scanned systematically. In einer nachgeschalteten Auswerteelektronik werden aus diesen Bildsignalen dann Fehlersignale detektiert. In a downstream evaluation error signals are then detected from these image signals.

Ein Problem bei derartigen optischen Fehlerinspektionsvor richtungen besteht darin, daß zB durch Vibrationen verur sachte Winkelschwankungen der Oberfläche des Gegenstandes re lativ zur Diodenkamera zu Fehleranzeigen führen können, ohne daß örtliche Oberflächenfehler vorliegen. A problem with such optical Fehlerinspektionsvor devices is that, for example, by vibrations Doomed gently angular variations of the surface of the article may lead to the re diodes camera to error displays tively without local surface faults.

Das Ziel der Erfindung besteht somit darin, eine optische Fehlerinspektionsvorrichtung der eingangs genannten Gattung zu schaffen, mit der Fehler, die örtlich die Reflexionsrich tung des auftreffenden Lichts ändern oder das reflektierte Lichtbündel aufstreuen, ohne Störung durch in bestimmten Grenzen erfolgende Winkelkippungen der ganzen Oberfläche von der Auswerteelektronik erfaßt werden können. The aim of the invention is thus to provide an optical defect inspection apparatus of the aforementioned type, with the error, the local change or the reflection Rich processing of the incident light sprinkle the reflected light beam, without interference from taking place within certain limits Winkelkippungen the entire surface of the evaluation can be detected.

Zur Lösung dieser Aufgabe sieht die Erfindung vor, daß das von der Beleuchtungspupille ausgehende Lichtbündel auf den zu inspizierenden Bereich gelenkt ist, dort von der Ober fläche zu einem Spiegelreflektor spiegelnd reflektiert und/oder hindurchgelassen wird, an dem das auftreffende Licht im wesentlichen in sich selbst zurückreflektiert wird und welcher allein oder in Zusammenwirkung mit einem anderen optischen Abbildungselement die Beleuchtungspupille auf eine im wesentlichen in der Objektivpupille angeordnete Kontra stierungsblende abbildet. To achieve this object, the invention provides that the light emanating from the illumination pupil light beam is directed onto the region to be inspected, there area from the top is reflected to a mirror reflector specularly and / or transmitted, at which the incident light substantially in itself is reflected back, and wherein the illumination pupil maps alone or in combination with another optical imaging element stierungsblende a substantially arranged in the objective pupil contraindications. Aufgrund der zweimaligen Reflexion am Objekt werden Winkeländerungen der Oberfläche des Gegen standes relativ zur Kamera voll kompensiert. Due to the two-time reflection on the object changes in angle of the surface are fully compensated for the object relative to the camera. Dadurch ist es möglich, in Reflexion auch Fehler mit geringer örtlicher Bün delablenkung oder -aufstreuung zu erfassen. This makes it possible, in reflection mistakes with little local Bün delablenkung or capture -aufstreuung. Die Erfindung hat weiter den Vorteil, daß auch gröbere Wellungen der Ober fläche des Gegenstandes die Fehlermessung bzw. -bestimmung nicht störend beeinflussen. The invention further has the advantage that even coarser corrugations of the upper surface of the object do not interfere with the measurement or determination error.

Eine erste Ausführungsform kennzeichnet sind dadurch, daß das von der Beleuchtungspupille ausgehende Lichtbündel durch einen vor dem Kameraobjektiv angeordneten Umlenkspiegel in den Empfangsstrahlengang der Kamera eingespiegelt ist. A first embodiment is characterized in that the light emanating from the illumination pupil light beam is mirrored by a arranged in front of the camera lens deflecting mirror in the received beam path of the camera.

Hier überdecken sich also der Beleuchtungs- und der Empfangs strahlengang in vollem Umfang. Here, then, the illumination and reception overlap beam path in full.

Dies kann zB dadurch praktisch realisiert werden, daß der Umlenkspiegel ein Strahlenteilerspiegel ist und davor als Strahlenquerschnitts-Begrenzungselement eine vorzugsweise im Öffnungsquerschnitt verstellbar ausgebildete Blende ange ordnet ist; This can be practically implemented, for example, that the deflecting mirror is a beam splitter mirror and before the beam cross-section limiter element is a preferably adjustable opening cross-section formed in the diaphragm attached is arranged; oder es ist vorgesehen, daß der Umlenkspiegel ein die Ausmaße der Beleuchtungspupille aufweisender kleiner Planspiegel ist, der gleichzeitig als Dunkelfeldblende wirkt. or it is provided that the deflecting mirror is a the dimensions of the illumination pupil having Small- plane mirror which simultaneously acts as a dark field stop. Diese Ausführungsform setzt allerdings eine ohnehin bevorzugte Abbildung der Beleuchtungspupille in die Objektpu pille im Maßstab 1 : 1 voraus. However, this embodiment employs an already preferred imaging of the illumination pupil into the Objektpu pill in 1: ahead of the first

Bei den bisher beschriebenen Ausführungsformen läuft das Be leuchtungslichtbündel auf dem Hinweg über die gleiche Ober flächenstelle wie beim Rückweg, wo es diese Stelle für die Inspektion durch die Diodenkamera beleuchtet. In the previously described embodiments, the loading runs leuchtungslichtbündel on the way over the same upper surface location as on the way back, where it illuminates this position for inspection by the diode camera. Es werden daher nicht nur makroskopische Änderungen der Winkellage der Objektoberfläche kompensiert, sondern auch der Einfluß von Längs- oder Querwellen weitgehend ausgeschaltet. It will therefore not only compensates macroscopic changes in the angular position of the object surface, but also largely eliminates the influence of longitudinal or transverse waves.

Sollen jedoch zB Querwellen im Material als Fehler ange zeigt werden oder besitzt die Materialbahn keine derartigen Wellen, so kann die Beleuchtungsvorrichtung dadurch verein facht werden, daß der Hauptstrahl des von der Beleuchtungspu pille ausgehenden Lichtbündels ohne Umlenkung unter mög lichst kleinem Winkel zum Hauptstrahl des Empfangsstrahlen ganges verläuft und im geringen Abstand von dem auf die Dio denanordnung der Kamera abgebildeten Bereich auf die Oberflä che auftrifft. However, if, for example, transverse waves in the material is as errors are shown or the material web has no such waves, so the lighting device can be fanned simplified by the fact that the main beam of the pill from the Beleuchtungspu outgoing light beam without deflection under AS POSSIBLE small angle to the main beam of the reception beam path and runs at a slight distance from the end assembly to the Dio the camera imaged area impinges on the Oberflä surface.

Der Spiegelreflektor kann auf verschiedene Weise verwirk licht werden. The mirror reflector can be verwirk light in different ways.

Nach einer ersten Ausführungsform ist der Spiegelreflektor ein sphärischer Hohlspiegel, dessen Krümmungsmittelpunkt etwa in der Beleuchtungspupille liegt. According to a first embodiment, the mirror reflector is a spherical concave mirror whose center of curvature lies approximately in the illumination pupil.

Bei einer weiteren Ausführungsform ist der Beleuchtungs- und Empfangsstrahlengang vor dem Objekt durch eine Linse oder einen Hohlspiegelstreifen telezentrisch gemacht, indem die Beleuchtungs- und Empfangspupille in der Brennebene dieses optischen Elements angeordnet ist. In a further embodiment of the illumination and reception optical path is telecentric front of the object through a lens or a concave mirror strip by the pupil illumination and receiving of this optical element is arranged in the focal plane. In diesem Falle muß der Spiegelreflektor ebenfalls telezentrisch wirken und besteht aus einer ebensolchen Linse oder einem Hohlspiegelstreifen, in dessen Brennebene ein Hohlspiegel angeordnet ist, dessen Krümmungsradius gleich der Brennweite dieser Linse bzw. dieses Hohlspiegelstreifens ist. In this case, the reflector must also act telecentric and consists of just such a lens or a concave mirror strip, a hollow mirror is arranged in the focal plane, whose radius of curvature is equal to the focal length of this lens and this concave mirror strip.

Bei Verwendung des Hohlspiegelstreifens ist jeweils ein planer Umlenkspiegelstreifen erforderlich, um den Strahlen gang in der ursprünglichen Richtung fortzusetzen. When using the concave mirror strip, a planer Umlenkspiegelstreifen is respectively required to continue the path of rays in the initial direction.

Die Erfindung läßt sich sowohl bei streifenförmigen als auch bei rechteckigen zu inspizierenden Bereichen anwenden. The invention can be applied in both striped and in rectangular areas to be inspected.

Wird mit einer Kamera gearbeitet, die eine Diodenzeile auf weist, so sieht die Erfindung zweckmäßigerweise vor, daß die Kondensorlinse eine sphärische Streifenlinse ist, welche den zu inspizierenden streifenförmigen Bereich, der parallel zur Diodenzeile verläuft, ausleuchtet und daß auch der Spiegel reflektor und ggfs. das weitere Abbildungselement parallel zum genannten Bereich streifenförmig sind. When working with a camera which has a row of diodes, so the invention provides advantageously that the condenser lens is a spherical strip lens, which illuminates the to be inspected strip-shaped region which extends parallel to the row of diodes, and also that the mirror reflector and, if applicable. the further imaging element are parallel to said strip-shaped region.

Wird dagegen eine Kamera, die eine Diodenfläche, dhzB eine rechteckige Diodenanordnung aufweist, verwendet, so ist erfindungsgemäß vorteilhafterweise vorgesehen, daß die Kon densorlinse eine Rundlinse ist, welche den zu inspizierenden kreisförmigen Bereich ausleuchtet und daß auch der Spiegel reflektor und ggfs. auch das weitere Abbildungselement kreis förmig oder rechteckig ausgebildet sind. If, however, a camera that uses a diode area, ie for example having a rectangular diode array, it is according to the invention advantageously provides that the Kon densorlinse a round lens, which illuminates the to be inspected circular area and that also the mirror reflector and, if applicable. also the further The imaging element circle-shaped or rectangular.

Obwohl die Erfindung in Reflexion besondere Vorteile bietet, ist ohne weiteres auch eine Fehlermessung in Transmission möglich. Although the invention in reflection offers particular advantages, including an error in transmission measurement is easily possible. Beide Fehlermeßmöglichkeiten können erfindungsgemäß auf einfache Weise dadurch verwirklicht werden, daß der Spie gelreflektor um den Schnittpunkt seiner optischen Achse mit der Oberfläche aus der Reflexionsstellung in die Transmis sionsstellung und umgekehrt schwenkbar ist. Both Fehlermeßmöglichkeiten can be according to the invention realized in a simple manner in that the Spie gelreflektor sion position around the intersection of its optical axis with the surface of the reflection position in the Transmis and vice versa is pivotable.

Um zB Materialbahnen am laufenden Band untersuchen zu können, sieht die Erfindung vor, daß der bahnförmige Gegen stand parallel zu seiner Oberfläche und bei streifenförmi gem, zu inspizierendem Bereich senkrecht zur Streifenrich tung kontinuierlich vorgeschoben wird. In order to investigate, for example, material webs churning, the invention provides that the sheet-shaped counter stood parallel to its surface and is fed continuously in accordance with streifenförmi to the inspecting region tung perpendicular to the strip Rich. Die Vorschubgeschwin digkeit wird dabei so gewählt, daß entsprechend der zykli schen und periodischen Abfragung der Dioden beispielsweise eine flächendeckende Abtastung der Oberfläche der Material bahn erzielt wird. The Vorschubgeschwin speed is chosen so that, for example, a nationwide sampling of the surface of the material web is achieved according to the rule and cy clic periodic detection of the diodes.

Die Erfindung wird im folgenden beispielsweise anhand der Zeichnung beschrieben; The invention will be described for example with reference to the drawing; in dieser zeigt shows in this

Fig. 1 eine schematische Seitenansicht einer ersten Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Fehler inspektionsvorrichtung, Fig. 1 is a schematic side view of a first embodiment of an error inspection apparatus according to the invention,

Fig. 2 einen schematischen Schnitt nach Linie II-II in den Fig. 1, 4, 5, 6 und 7, Fig. 2 shows a schematic section along line II-II in Figs. 1, 4, 5, 6 and 7,

Fig. 3 eine schematische Ansicht nach Linie III-III in den Fig. 3, 4 und 5, Fig. 3 is a schematic view according to line III-III in Figs. 3, 4 and 5,

Fig. 4 eine schematische Seitenansicht einer weiteren Ausführungsform mit einem besonderen Strahl querschnitts-Begrenzungselement, Fig. 4 is a schematic side view of another embodiment with a special cross-section beam limiting member,

Fig. 5 eine schematische Seitenansicht einer weiteren Ausführungsform mit telezentrischem Sende- und Empfangsstrahlengang, Fig. 5 is a schematic side view of another embodiment with telecentric beam path transmission and reception,

Fig. 6 eine schematische Seitenansicht einer opti schen Fehlerinspektionsvorrichtung mit verein fachter Beleuchtungsvorrichtung die zusätzlich sich senkrecht zur Zeichnungsebene erstrecken den Querwellen erkennt, Fig. 6 is a schematic side view of an optical rule defect inspection apparatus with a simplified illumination device additionally extend perpendicularly to the plane of the drawing detects the transverse shafts,

Fig. 7 eine schematische Seitenansicht einer Ausfüh rungsform mit zwischen einer Reflexionsstel lung R und einer Transmissionsstellung T ver schwenkbarem Spiegelreflektor, Fig. 7 is a schematic side view of one embodiment of having lung between a reflection Stel R and a transmission position T ver swiveling reflector,

Fig. 8 eine schematische Seitenansicht einer opti schen Fehlerinspektionsvorrichtung mit einer eine Diodenfläche aufweisenden Diodenkamera zur Erfassung eines rechteckigen zu inspizie renden Bereiches, Fig. 8 is a schematic side view of an optical rule fault inspection device having a diode area comprising a diode camera for capturing a rectangular area in power to inspizie,

Fig. 8a einen Schnitt nach Linie VIIIa-VIIIa in den Fig. 8, 9, Fig. 8a is a sectional view along the line VIIIa-VIIIa in Fig. 8, 9,

Fig. 9 eine ähnliche Anordnung wie Fig. 8 mit einan der vollständig überlagernden Sende- und Emp fangsstrahlengängen, die mit einer Feldlinse vor dem Objekt telezentrisch gemacht sind, Fig. 9 an arrangement similar to Fig. 8 with Einan the fully overlapping transmission and Emp fang beam paths that are telecentric with a field lens in front of the object,

Fig. 10 eine schematische Ansicht einer optischen Feh lerinspektionsvorrichtung mit einer eine Dio denfläche aufweisenden Diodenkamera und einem in Reflexion arbeitenden Pol-Spiegelreflektor. Fig. 10 is a schematic view of an optical Def lerin inspection device having a a Dio denfläche having diodes and a camera operating in reflection pole reflector.

In allen Figuren bezeichnen gleiche Bezugszahlen entsprechen de Bauelemente. throughout the figures, like reference numbers correspond to de devices.

Nach Fig. 1 weist eine Kamera 22 innerhalb eines lichtdicht verschlossenen Gehäuses eine Diodenzeile 25 auf, die sich in Fig. 1 senkrecht zur Zeichnungsebene erstreckt und aus in Fig. 2 zu erkennenden Einzeldioden 32 besteht und mit ihrer Ausleseelektronik auf einem gemeinsamen elektronischen Bau stein 25 a montiert ist. Of FIG. 1 includes a camera 22 within a light-tight housing a diode array 25 which extends in Fig. 1 perpendicularly to the plane of the drawing and out in FIG. 2, to be recognized individual diodes 32 and stone with its readout electronics on a common electronic construction 25 a is mounted. Diese Ausleseelektronik fragt die Einzeldioden zyklisch und periodisch in schneller Folge ab und erzeugt so ein der Helligkeitsverteilung längs der Dio denzeile 25 entsprechendes analoges Videosignal. This readout electronics interrogates the individual diodes cyclically and periodically in rapid succession, and so generates a brightness distribution along the Dio denzeile 25 corresponding analog video signal. Aus diesem Videosignal werden in der angeschlossenen Auswerteelektronik 33 die Oberflächenfehler detektiert und am Ausgang 34 heraus gegeben. From this video signal, the surface defects are detected in the connected evaluation electronics 33 and at the output 34 given out. Gegenüber der Diodenzeile 25 ist im Gehäuse der Dio denkamera 22 ein Kameraobjektiv 19 angeordnet, in dessen Ob jektivpupille 17 eine Dunkelfeldblende 18 angeordnet ist. Compared with the diode array 25, a camera lens 19 is arranged in the housing of Dio thinking using the camera 22, in which whether jektivpupille 17 is a dark field stop is arranged 18th Die Kamera ist unter einem Winkel β von ca. 45° auf die ebene Oberfläche 14 eines Gegenstandes 35 gerichtet, dessen zu inspizierender streifenförmiger Bereich 13 durch das Kame raobjektiv 19 auf die Diodenzeile 25 abgebildet wird. The camera is at an angle β of approximately 45 ° to the planar surface 14 of an object 35 directed, the imaged strip-shaped region to be inspected 13 by the Kame raobjektiv 19 to the diode array 25th Der streifenförmige, zu inspizierende Bereich 13 erstreckt sich ebenso wie die Diodenzeile 25 senkrecht zur Zeichnungsebene der Fig. 1 und ist in Fig. 3 in Draufsicht zu erkennen. The stripe-shaped region to be inspected 13 extends, as well as the diode array 25 to detect perpendicular to the drawing plane of FIG. 1 and in Fig. 3 in plan view.

Unmittelbar vor dem Kameraobjektiv 19 ist ein Strahlentei lerspiegel 20 angeordnet, welcher ein leicht divergierendes Beleuchtungslichtbündel 12 in den Empfangsstrahlengang 21 als diesen überlagerndes reflektiertes Beleuchtungslichtbün del 12 ′ einspiegelt. Immediately before the camera lens 19 is disposed a Strahlentei lerspiegel 20, which is a slightly diverging illumination light bundle einspiegelt 12 in the reception beam path 21 as these superimposed reflected Beleuchtungslichtbün del 12 '. Das Beleuchtungslichtbündel 12 ent springt von einer Irisblende 23 , welche die Beleuchtungspu pille 11 definiert. The illumination light beam 12 ent bounces an iris diaphragm 23, which defines the Beleuchtungspu pill. 11 In die Beleuchtungspupille wird durch eine senkrecht zur Zeichnungsebene der Fig. 1 streifenförmi ge Linse 28 eine Lichtquelle 29 abgebildet. In the illumination pupil, a light source 29 is imaged by a perpendicular streifenförmi ge to the drawing plane of FIG. 1 lens 28.

Aufgrund dieser Beleuchtungsvorrichtung wird auf der Oberflä che 14 der zu inspizierende Bereich 13 einschließlich eines ihn umgebenden Bereiches 36 ( Fig. 3) ausgeleuchtet. Because of this illumination apparatus is on the Oberflä surface 14 of the region to be inspected 13, including a surrounding portion 36 (FIG. 3) is illuminated.

Das unter dem Winkel β auftreffende Beleuchtungslichtbündel 12 ′ wird an der Oberfläche 14 unter dem Reflexionswinkel zu einem Spiegelreflektor 15 reflektiert, der als sich sen krecht zur Zeichnungsebene der Fig. 1 erstreckender streifen förmiger sphärischer Hohlspiegel mit Krümmungsmittelpunkt in der Beleuchtungspupille 11 bzw. der Objektivpupille 18 ausge bildet ist. The at an angle β incident illumination light beam 12 'is reflected at the surface 14 under the angle of reflection to a mirror reflector 15, which when sen Krecht to the drawing plane of Fig. 1 extending strip-shaped spherical concave mirror with the center of curvature in the illumination pupil 11 and the lens pupil 18 is trained. Der streifenförmige Hohl-Spiegelreflektor 15 ver läuft parallel zum streifenförmigen, zu inspizierenden Be reich 13 und ist relativ zum Einfallslichtbündel so gekippt, daß alle auf den Spiegelreflektor 15 auftreffenden Strahlen in sich selbst zurück zur Oberfläche 14 reflektiert werden. The strip-shaped hollow mirror reflector 15 ver runs parallel to the stripe to be inspected Be rich 13 and is tilted relative to the incident light beam so that all impinging on the mirror reflector 15 beams are reflected back into itself to the surface fourteenth Bei fehlerfreier spiegelnd reflektierender Oberfläche 14 wird so die Beleuchtungspupille 11 auf die in der Objektivpu pille 17 liegende Dunkelfeldblende 18 abgebildet, so daß nor malerweise kein Licht zur Diodenzeile 25 gelangt. If no errors are specularly reflective surface 14, the illumination pupil is mapped to the 11 so pill in the Objektivpu 17 lying dark field stop 18 so that no light reaches nor mally on the diode row 25th

Treten jedoch im zu inspizierenden Bereich 13 Fehler, zB Kratzer, auf, so wird ein Teil des auftreffenden Lichtes ab gelenkt und geht an der Dunkelfeldblende 18 vorbei, so daß an der entsprechenden Einzeldiode 32 der Diodenzeile 25 ein entsprechendes elektrisches Signal erzeugt wird, das in der Auswerteelektronik 33 zu einem Fehlersignal verarbeitet werden kann. However, occur in the region to be inspected 13 error, such as scratches, so a part of the incident light is deflected and goes past the dark field stop 18 so that a corresponding electrical signal is generated at the corresponding individual diode 32 of the diode array 25, which in the transmitter may be processed 33 to an error signal.

Aufgrund der beschriebenen Anordnung stören Kippungen der Oberfläche 14 beispielsweise um eine senkrecht auf der Zeich nungsebene der Fig. 1 stehende Achse die Fehlermessung nicht. Due to the described arrangement, tilting of the surface 14 do not interfere with, for example, a vertically-voltage level on the drawing of FIG. 1 stationary axis error measurement. Dagegen wird neben den aufstreuenden Fehlern auch jede Stelle der Oberfläche als Fehler erfaßt, deren Steigung innerhalb des beleuchtenden und abbildenden Bündels vari iert. In contrast, in addition to the on-scattering errors, any point on the surface is detected as an error, the slope of which ated within the illuminating and imaging beam vari. Dazu zählen kleine Vertiefungen mit geneigten Rändern, zB Dellen sowie kleine Erhöhungen mit geneigten Rändern, zB Pocken. These range from small wells with sloped edges, as dents and small increases with sloped edges, such as smallpox.

Die Blende 23 kann als verstellbare Irisblende ausgebildet sein, wodurch auf einfache Weise eine Empfindlichkeitssteu erung möglich ist. The diaphragm 23 may be designed as an adjustable iris, whereby a Empfindlichkeitssteu is possible in a simple manner enlargement.

Das Ausführungsbeispiel nach Fig. 4 unterscheidet sich von dem nach den Fig. 1 bis 3 lediglich dadurch, daß statt der Irisblende 23 in Fig. 1 beim Ausführungsbeispiel nach Fig. 4 unmittelbar vor dem Kameraobjektiv 19 auf der optischen Achse der Kamera 22 ein kleiner Flanspiegel unter einem Winkel zur optischen Achse angeordnet ist, auf den die wieder streifenförmige sphärische Kondensorlinse 28 die Lichtquelle 29 abbildet. The embodiment of Fig. 4 differs from that according to FIGS. 1 to 3 only in that, instead of the iris 23 in Fig. 1 in the embodiment of Fig. 4 immediately before the camera lens 19 on the optical axis of the camera 22 is a small Flanspiegel is disposed at an angle to the optical axis on which the back strip-shaped spherical condenser lens 28 images the light source 29th Der Planspiegel 23 ′ übernimmt auf diese Weise die Aufgabe des Strahlquerschnitts-Begrenzungs elementes. The plane mirror 23 'takes in this way the task of the beam cross-limiting element. Um eine gleichmäßige Ausleuchtung des streifenför migen zu inspizierenden Bereiches 13 zu gewährleisten, weist der Planspiegel 23 ′ eine elliptische Form auf, wobei die lange Achse der Ellipsenform senkrecht auf der Zeichnungsebe ne der Fig. 4 steht. To achieve a uniform illumination of the streifenför-shaped region to be inspected 13 to ensure, the plane mirror 23 'is an elliptical shape with the long axis of the ellipse shape ne perpendicular to the Zeichnungsebe FIG. 4 is.

Weiter wirkt der kleine Planspiegel 23 ′ als Dunkelfeldblende für das von der Oberfläche 14 zurückreflektierte Licht. Next affects the small plane mirror 23 'as a dark field stop for the light reflected back from the surface 14 light.

Wesentlich ist, daß der Abbildungsmaßstab der Beleuchtungspu pille 11 auf den Planspiegel 23 ′ etwas weniger als 1 : 1 be trägt, um ein ungestörtes Dunkelfeld zu erreichen. It is essential that the imaging scale of the Beleuchtungspu pill on the plane mirror 23 'is slightly less than 1 11: 1 transmits be to achieve an undisturbed dark field.

Auch bei dieser Ausführungsform werden Fehler in der Oberflä che 14 des Gegenstandes 35 als helle Stellen sichtbar, was in ein elektrisches Signal umgesetzt wird. Also in this embodiment, errors in the Oberflä which is converted into an electrical signal are surface 14 of the object 35 visible as bright spots. Die Empfindlich keit der Anordnung kann einfach durch Verändern des Beleuch tungs-Abbildungsmaßstabes eingestellt werden. The Sensitive ness of the arrangement can be easily adjusted by varying the BL LEVEL tung-image scale. Durch eine verkleinerte Abbildung der Beleuchtungspupille 11 auf dem kleinen Planspiegel 23 ′ wird die Empfindlichkeit herabge setzt, durch eine vergrößerte Abbildung erhöht. 'Herabge the sensitivity is set, increased by a larger image, by a reduced image of the illumination pupil 11 on the small plane mirror 23rd

Das Ausführungsbeispiel nach Fig. 5 entspricht weitgehend dem nach Fig. 1, doch ist zwischen der Kamera 22 und der Oberfläche 14 des Gegenstandes 35 eine sich senkrecht zur Zeichnungsebene erstreckende streifenförmige Linse 16 ange ordnet, deren Brennpunkt in der Beleuchtungspupille 11 bzw. der Objektivpupille 17 liegt. The embodiment of FIG. 5 corresponds largely to that of FIG. 1, but is between the camera 22 and the surface 14 of the article 35 a extending perpendicularly to the plane of the drawing strip-shaped lens 16 arranged whose focal point in the illumination pupil 11 and the objective pupil 17 lies.

Auf diese Weise tritt aus der Linse 16 ein Parallellichtbün del 12 ′′ aus, welches nach der spiegelnden Reflexion an der Oberfläche 14 als Reflexionsbündel 12 ′′′ von einer gleicharti gen streifenförmigen Linse 16 ′ auf einen runden sphärischen Hohlspiegel 15 ′ fokussiert wird. In this way, exits the lens 16, a Parallellichtbün del 12 '' from which, according to the specular reflection at the surface 14 as a reflection beam 12 'is focused' 'from a gleicharti gen strip-shaped lens 16' on a circular concave spherical mirror 15 '. Dieser Hohlspiegel 15 ′ hat einen Krümmungsradius, der gleich der Brennweite der Linse 16 ′ ist, er bildet zusammen mit dieser einen telezentrischen Spiegelreflektor, der das telezentrische Beleuchtungsbündel über die zweite Reflexion an der Oberfläche 14 in sich selbst zurückspiegelt. This concave mirror 15 'has a radius of curvature equal to the focal length of the lens 16', it forms together with this a telecentric mirror reflector, which reflects back the telecentric illumination beam through the second reflection on the surface 14 in itself. So entsteht wieder - nach Durchtritt durch den Teilerspiegel 20 - ein Bild der Blende 11 in der Objektivpupille 17 . The result is again - after passing through the beam splitter 20 - an image of the aperture 11 in the objective pupil 17th

Bei dieser Ausführungsform sind also sowohl der Sende- als auch der Abbildungsstrahlengang telezentrisch, da die Objek tivpupille in der Brennebene der streifenförmigen Linse 16 liegt. In this embodiment, therefore, both the transmit and the imaging beam path are telecentric, because the OBJEK tivpupille in the focal plane of the strip-shaped lens 16 is located.

Die streifenförmige Linse 16 und 16 ′ können auch durch sphä rische Hohlspiegelstreifen ersetzt werden, welche dann aller dings relativ zum Beleuchtungsbündel 12 wie zum reflektier ten Beleuchtungsbündel 12 ′ gekippt angeordnet werden. The strip-shaped lens 16 and 16 'can also be replaced by sphe generic concave mirror strip which then all recently relative to the illumination beam 12 such reflektier th illumination beam 12' are arranged to be tilted. Mit je einem planen Umlenkspiegelstreifen in Lichtrichtung hinter diesen Hohlspiegelstreifen wird die ursprüngliche Strahlrich tung wieder hergestellt, so daß insgesamt der Strahlengang der Fig. 5 gilt, in der lediglich jede streifenförmige Linse 16 , 16 ′ durch je ein Paar Hohlspiegel plus Umlenkspiegel er setzt ist. Each with a planar Umlenkspiegelstreifen in the light direction behind these concave mirror strips the original beam Rich is tung restored, so that a total of the optical path of the FIG. 5 applies, in which only each strip-shaped lens 16, 16 'by a respective pair of concave mirror plus deflecting it sets is.

Das Ausführungsbeispiel nach Fig. 6 zeigt einen Beleuchtungs strahlengang, der durch eine neben der Diodenkamera 22 lie gende Beleuchtungsvorrichtung mit der Lichtquelle 29 , der Kondensorlinse 28 und der die Beleuchtungspupille 11 definie renden Blende 23 besteht. The embodiment of Fig. 6 shows an illuminating beam path, formed by a lie apart from the diode camera 22 constricting illumination device having the light source 29, the condenser lens 28 and the pupil 11 is the illumination diaphragm 23 processin leaders. Die Beleuchtungsvorrichtung er zeugt ein Lichtbündel 12 mit einem Hauptstrahl 26 , der einen kleinen Winkel von ca. 5° mit dem Hauptstrahl des Empfangs strahlenganges 21 einschließt und in einem geringfügigen Ab stand a vom zu inspizierenden Bereich 13 auf der Oberfläche 14 des Gegenstandes 35 auftrifft. The lighting device he witnesses a light beam 12 having a main beam 26, which includes a small angle of about 5 ° beam path with the main beam of the receiving 21 and at a slight Ab was a from the region to be inspected 13 on the surface 14 of object 35 is incident. Der streifenförmige Hohl spiegel 15 , welcher sich wieder senkrecht zur Zeichnungsebe ne der Fig. 6 erstreckt, ist um eine senkrecht auf der Zeich nungsebene stehende Achse derart im Uhrzeigersinn gekippt, daß das von ihm reflektierte Sendelicht zum zu inspizieren den Bereich 13 gelangt und von dort bei einwandfreier spie gelnder Oberfläche 14 zur Dunkelfeldblende 18 reflektiert wird. The strip-shaped concave mirror 15, which again perpendicular to Zeichnungsebe ne, the Fig. 6 extends, is such tilted about a vertically-voltage level on the drawing stationary axis in the clockwise direction, that the light reflected from it transmit light to be inspected reaches the region 13 and from there is reflected when properly spat railing surface 14 for dark field stop eighteenth

Da die beiden Auftreffstellen des Beleuchtungslichtbündels 12 und des vom Spiegelreflektor 15 reflektierten Lichtes in Fig. 6 nebeneinander liegen, ist diese Anordnung nicht unemp findlich gegen sich senkrecht zur Zeichnungsebene erstrecken de Querwellen der Oberfläche 14 , sondern ist im Gegenteil dazu geeignet, derartige Querwellen durch entsprechende Auf hellungen der Diodenzeile 25 zur Anzeige zu bringen. Since the two landing points of the illumination light beam 12 and reflected by the mirror reflector 15 light in Fig. 6 are side by side, this arrangement is not unemp insensitive to perpendicular to the plane of the drawing extend de transverse waves of the surface 14, but is capable of such cross-waves in opposite by appropriate bring on hellungen the diode array 25 for display.

Fig. 7 zeigt prinzipiell die gleiche Anordnung wie Fig. 6, wobei jedoch der hohlspiegelförmige Spiegelreflektor 15 um eine senkrecht auf der Zeichnungsebene der Fig. 7 stehende Achse aus der oberen Reflexionsstellung R in eine untere Transmissionsstellung T verschwenkbar ist. Fig. 7 shows in principle the same arrangement as Fig. 6, but the concave mirror shaped reflecting mirror 15 about an axis perpendicular to the drawing plane of FIG. 7 axis from the upper reflecting position R in a lower transmission position T is pivotable. Der Radius der Schwenkbewegung ist die optische Achse 31 des Spiegelreflek tors 15 . The radius of the pivotal movement, the optical axis 31 of the Spiegelreflek tors 15 °. Die Schwenkbewegung ist durch einen Doppelpfeil in Fig. 7 angedeutet. The pivoting movement is indicated by a double arrow in Fig. 7.

In der Reflexionsstellung R können spiegelnd reflektierende Oberflächen 14 auf Fehler untersucht werden, während in der Transmissionsstellung T transparente Gegenstände 35 auf Fehler untersucht werden können. In the reflecting position R specularly reflecting surfaces can be examined 14 for errors, whereas in the position T transmission transparent objects can be inspected for defects 35th Wesentlich bei allen Ausfüh rungsformen ist, daß mit dem sphärischen Hohl-Spiegelreflek tor 15 eine echte optische Abbildung der Beleuchtungspupille 11 in die Objektivpupille 17 erfolgt, wo sich die Dunkelfeld blende 18 oder eine andere Kontrastierungsblende befindet. It is essential in all forms approximately exporting that a real optical image of the illumination pupil is done with the spherical hollow Spiegelreflek 15 tor 11 in the lens pupil 17, where the dark field stop 18 or other Kontrastierungsblende located. Es ist somit eine Fehlererfassung im nahen Dunkelfeld nach der Schlierenmethode, im Phasenkontrast oder ähnlicher Kon trastierungen möglich. It is thus an error detection in the near dark field according to the schlieren method, phase contrast or similar Kon trastierungen possible.

Nach Fig. 8 und 8a wird die Lichtquelle 29 über eine kreis förmige Linse 28 ′ in die Mittelöffnung einer Blende 23 abge bildet, wodurch eine Beleuchtungspupille 11 definiert wird, von der aus ein im wesentlichen kreisförmiger Bereich 13 ′ auf der Oberfläche 14 eines transparenten Gegenstandes 35 gleichmäßig ausgeleuchtet wird. According to Fig. 8 and 8a, the light source 29 via a circular lens 28 'forms abge into the center opening of a diaphragm 23, whereby an illumination pupil is defined 11, from which a substantially circular area 13' on the surface 14 of a transparent object is uniformly illuminated 35th

Unterhalb des kreisförmigen Bereiches 13 ′ befindet sich ein runder sphärischer Hohlspiegel 15 ′′, dessen Mittelpunkt 27 sich zwischen der Beleuchtungspupille 11 und der Dunkelfeld blende 18 befindet, die unmittelbar vor dem Objektiv 19 der daneben angeordneten Diodenkamera 22 liegt. Below the circular region 13 'is a round spherical concave mirror 15' 'having its center 27 located aperture located between the illumination pupil 11 and the dark field 18, which is immediately before the objective 19 of the juxtaposed diodes camera 22nd Auf diese Weise bildet der sphärische Hohlspiegel 15 ′′ die Beleuchtungspupil le 11 in die Dunkelfeldblende 18 ab, sofern sich in dem transparenten Material 35 keine Fehlstellen befinden. In this way, the spherical concave mirror 15 '', the Beleuchtungspupil le 11 in the dark field stop 18 is down, and if no defects are in the transparent material 35th

Nach Fig. 8a ist in der Diodenkamera 22 anders als bei den vorangehenden Ausführungsbeispielen eine rechteckige Dioden anordnung 25 ′ vorgesehen, die aus einer Vielzahl von Einzel dioden 32 besteht, die über die Ausleseelektronik 25a an die Auswerteelektronik 33 angeschlossen sind. According to FIG. 8a is in the diode camera 22, unlike the preceding embodiments, a rectangular diode array 25 'are provided, the diodes of a plurality of individual 32 is in excess of the readout electronics 25' are connected to the transmitter 33 a.

Bei der beschriebenen Anordnung nach den Fig. 8, 8a ist die blendenseitige Apertur der Beleuchtungsvorrichtung so groß, daß der sphärische Hohl-Spiegelreflektor 15 ′′ ganz ausgeleuch tet wird. In the described arrangement of FIGS. 8, 8a, the blind-side aperture of the illumination device is so great that the spherical concave mirror reflector 15 '' is completely ausgeleuch tet. Der so im Objekt erzeugte beleuchtete Kreis 10 ist in Fig. 8a zu erkennen. The illuminated circle 10 thus generated in the object can be seen in Fig. 8a. Er überdeckt das Rechteck 25 ′ ganz. It covers the rectangle 25 'completely.

Bei der Ausführungsform nach den Fig. 8 und 8a zur Inspek tion in zweimaliger Transmission mit Hilfe der Kamera mit flächenhafter Diodenanordnung sind keine Einschränkungen in Bildfeldgröße oder Bildwinkel zu beachten. In the embodiment according to FIGS. 8 and 8a for inspec tion in two-time transmission by using the camera on area diode array no restrictions in size or image field angle of view to be observed. Es sind jedoch nur Gegenstände mit geringer Aufstreuung von vereinzelten, kleinen Fehlern zu inspizieren. However, it must be inspected only objects with little scattering of of isolated, small mistakes. Als typisches Anwendungsbei spiel lassen sich Glasplatten für Masken nennen. A typical application examples play with glass panels to be called for masks.

Während bei dem Ausführungsbeispiel nach Fig. 8 mit seitlich bzw. winkelmäßig etwas versetzten Beleuchtungs- und Empfangs strahlengängen gearbeitet wird, zeigt Fig. 9 eine mit einer flächenhaften Diodenanordnung 25 ′ arbeitende Ausführungsform zur Fehlersuche in zweifacher Transmission, bei der durch Verwendung eines Strahlenteilerspiegels 20 Beleuchtungs- und Empfangsstrahlengang völlig ineinander liegen. While in the embodiment of FIG. 8 with laterally or angularly slightly offset lighting and receiving working optical paths, Fig. 9 shows a 'operating with a planar diode array 25 embodiment for debugging in duplicate transmission, in which by using a beam splitter mirror 20 illumination - and received beam path are totally into each other.

Statt des sphärischen Hohl-Spiegelreflektors 15 ′′ besitzt das Ausführungsbeispiel nach Fig. 9 unmittelbar oberhalb der Oberfläche 14 eine kreisförmige Feldlinse 16 ′, in deren Bren nebene sich die Objektivpupille bzw. die Dunkelfeldblende 18 bzw. über den Strahlenteilerspiegel 20 die Beleuchtungspupil le 11 befindet. Instead of the spherical concave mirror reflector 15 'has, the embodiment of FIG. 9 immediately above the surface 14 of a circular field lens 16' ', in which Bren the objective pupil and dark-field stop plane 18 and via the beam splitter mirror 20, the Beleuchtungspupil le 11 is , Unterhalb des Objektes ist ein ebener runder Spiegelreflektor 15 ′′′ angeordnet, der das auftreffende Licht in sich selbst zurückwirft. Below the object is a flat circular mirror reflector 15 '' 'is arranged, which reflects the incident light in itself. Durch die Feldlinse 16 ′ wird der beobachtbare Objektbereich und Bildwinkel auf etwa 150 mm eingeschränkt, ist jedoch im Gegensatz zur Anordnung nach Fig. 8 beleuchtungs- und beobachtungsseitig telezentrisch. Through the field lens 16 'of the observable object space and image angle is limited to about 150 mm, but in contrast to the arrangement of FIG. 8 illumination and observation side telecentric.

Mit diesem telezentrischen System nach Fig. 9 können auch strukturierte Objekte wie Masken inspiziert und ihre Geo metrie vermessen werden. This telecentric system of FIG. 9 also structured objects can be inspected such as masks and their Geo geometry are measured.

Auch Fig. 10 zeigt eine Anordnung mit einer flächenhaften Diodenanordnung 25 ′, wobei im Gegensatz zu den Ausführungs beispielen nach Fig. 8 und 9 in Reflexion am Gegenstand 35 gearbeitet wird. Also, Fig. 10 shows an arrangement with a planar diode array 25 ', which in contrast to the examples of execution according to FIG. 8 and operating in reflection on the object 35. 9 Die Anordnung entspricht derjenigen in Fig. 6, dort für eine Kamera mit Diodenzeile. The arrangement corresponds to that in Fig. 6, there for a camera having a diode row.

Der Krümmungsmittelpunkt 27 des oberhalb des Gegenstandes 35 angeordneten sphärischen Hohl-Spiegelreflektors 15 ′′ befindet sich unter Berücksichtigung der Reflexion an der Oberfläche 14 bei 27 zwischen der Beleuchtungspupille 11 und der Objek tivpupille 17 . The center of curvature 27 of which is arranged above the object 35 spherical concave mirror reflector 15 '' is located in consideration of the reflection at the surface 14 at 27 between the illumination pupil 11 and the OBJEK tivpupille 17th Die Beleuchtungspupille 11 wird von dem Hohl-Spiegelreflektor 15 ′′ durch zweimalige Reflexion an der spiegelnden Oberfläche 14 in die Objektivpupille 17 abgebil det, wo sich die Dunkelfeldblende 18 befindet. The illumination pupil 11 is abgebil det of the hollow mirror reflector 15 '' by double reflection at the reflecting surface 14 in the objective pupil 17 where the dark field stop itself 18 is located. Damit die Be obachtungsachse senkrecht auf der ebenen Oberfläche 14 stehen kann, wird die Diodenkamera 22 mit einseitigem Bild feld benutzt, dh, daß die Diodenfläche 25 ′ relativ zur op tischen Achse des Objektivs 19 in der aus Fig. 10 ersichtli chen Weise seitlich verschoben ist. Thus, the Be obachtungsachse may be perpendicular to the planar surface 14, the diode camera 22 is used with single-sided image field, that is, the diode area 'of Fig. 10 ersichtli chen manner is displaced laterally 25 relative to the op tables axis of the lens 19 in the ,

Während sich der Spiegelreflektor 15 ′′ auf der einen Seite der Diodenkamera 22 befindet, ist die Beleuchtungsvorrich tung 29 , 28 ′, 23 auf der entgegengesetzten Seite unmittelbar neben der Diodenkamera 22 angeordnet, und zwar in der Weise, daß der zu inspizierende rechteckige Bereich 13 ′ von der im Objekt beleuchteten Kreisscheibe voll abgedeckt ist. During the mirror reflector 15 'to' on one side of the diode camera is 22 Beleuchtungsvorrich is tung 29, 28 ', 23 are disposed on the opposite side immediately adjacent to the diode camera 22, in such a manner that to be inspected rectangular area 13 'is fully covered by the illuminated object in the disc.

Andere Möglichkeiten bestehen darin, daß das Objektiv 19 ge kippt und die Diodenfläche nach der Scheimpflug-Bedingung an geordnet wird. Other possibilities are that the lens 19 tilts ge and the diode area is arranged according to the Scheimpflug condition to.

Als Lichtquelle 29 wird bei den mit einer Diodenfläche 25 ′ arbeitenden Ausführungsformen oft eine Stroboskop-Blitzlampe verwendet, die im Falle einer kontinuierlichen Bewegung des Gegenstandes 35 parallel zu seiner Oberfläche eine bildfeld weise Beleuchtung gestattet. As the light source 29 in the 'operating with a diode area 25 embodiments, a strobe flash lamp is often used in the case of a continuous movement of the object 35 is an image field as lighting allows parallel to its surface.

Claims (13)

  1. 1. Optische Fehlerinspektionsvorrichtung für spiegelnd reflektierende und/oder transparente, im wesentlichen ebene Oberflächen von Gegenständen, insbesondere Bahn material, mit einer auf den zu inspizierenden Bereich der Oberfläche gerichteten, ein Objektiv aufweisenden photoelektrischen Kamera, in deren Bildebene sich eine sich wenigstens in einer Richtung erstreckende photoelek trische Diodenanordnung mit integrierter Ausleseelektro nik befindet, die an eine Auswerteelektronik angeschlos sen und auf der der zu inspizierende Bereich abgebildet ist, und mit einer Beleuchtungsvorrichtung für den zu inspizierenden Bereich, welche eine Lichtquelle, eine dieser folgende Kondensorlinse sowie ein dahinter ange ordnetes, die Beleuchtungspupille bildendes Strahl querschnitts-Begrenzungselement, auf das die Lichtquelle von der Kondensorlinse abgebildet wird, aufweist, da durch gekennzeichnet, daß das von der Be leuchtungspupille ausgehende Lichtbündel ( 12 , 12 ′) auf den zu inspiziere 1. Optical fault inspection device for specularly reflecting and / or transparent, substantially planar surfaces of objects, in particular sheet material, addressed with a to the region to be inspected of the surface, a lens having photoelectric camera in whose image plane a at least in one direction extending photoelectric cable mou tric diode array with integrated read-out electric technology is that is Schlos sen to a transmitter and on which the area to be inspected is imaged, and with an illumination device for the region to be inspected, which disposed a light source, one of the following condenser lens and an attached behind it, the illumination pupil forming beam cross-section limiter element on which the light source is imaged by the condenser lens, which has since characterized by that the leuchtungspupille of loading outgoing light beam (12, 12 ') to inspect the nden Bereich ( 13 , 13 ′) gelenkt ist, dort von der Oberfläche ( 14 ) zu einem Spiegelreflektor ( 15 , 15 ′, 15 ′′, 15 ′′′) spiegelnd reflektiert und/oder hin durchgelassen wird, an dem das auftreffende Licht im wesentlichen in sich selbst zurückreflektiert wird und welcher allein oder in Zusammenwirkung mit einem anderen optischen Abbildungselement ( 16 , 16 ′) die Beleuchtungspu pille ( 11 ) auf eine im wesentlichen in der Objektivpupil le ( 17 ) angeordnete Kontrastierungsblende ( 18 , 18 ′) ab bildet. will region of (13, 13 ') is steered, there from the surface (14) to a reflector (15, 15', 15 '', 15 '' ') specularly reflected and / or transmitted out of the incident light is reflected substantially in themselves and which alone or in combination with another optical imaging element (16, 16 ') the Beleuchtungspu pill (11) arranged on a substantially in the Objektivpupil le (17) Kontrastierungsblende (18, 18') from forms.
  2. 2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das von der Be leuchtungspupille ( 11 ) ausgehende Lichtbündel ( 12 ) durch einen vor dem Kameraobjektiv ( 19 ) angeordneten Umlenk spiegel ( 20 , 23 ′) in den Empfangsstrahlengang ( 21 ) der photoelektrischen Kamera ( 22 ) eingespiegelt ist. 2. Device according to claim 1, characterized in that the leuchtungspupille of loading (11) outgoing light beam (12) arranged through a front of the camera lens (19) deflecting mirror (20, 23 ') in the received beam path (21) of the photoelectric camera (22) is reflected.
  3. 3. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Umlenkspie gel ein Strahlenteilerspiegel ( 20 ) ist und davor als Strahlenquerschnitts-Begrenzungselement eine vorzugswei se im Öffnungsquerschnitt verstellbar ausgebildete Blende ( 23 ) angeordnet ist. 3. Device according to claim 2, characterized in that the Umlenkspie gel is a beam splitter mirror (20) and in front of it as a beam cross-section limiter element is a vorzugswei se adjustable opening cross-section formed in the diaphragm (23) is arranged.
  4. 4. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Umlenkspie gel ein die Ausmaße der Beleuchtungspupille ( 11 ) aufwei sender kleiner Planspiegel ( 23 ′) ist. 4. Apparatus according to claim 2, characterized in that the gel is a Umlenkspie the dimensions of the illumination pupil (11) aufwei sender small plane mirror (23 ').
  5. 5. Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß der kleine Planspiegel ( 23 ′) gleichzeitig eine Dunkelfeldblende bildet. 5. Device according to claim 4, characterized in that the small plane mirror (23 ') forms a dark field stop at the same time.
  6. 6. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Haupt strahl ( 24 ) des von der Beleuchtungspupille ( 11 ) aus gehenden Lichtbündels ( 12 ) ohne Umlenkung unter mög lichst kleinem Winkel ( α ) zum Hauptstrahl ( 24 ) des Emp fangsstrahlenganges ( 21 ) verläuft und im geringen Ab stand ( a ) von dem auf die Diodenanordnung ( 25 ) der Kamera ( 22 ) abgebildeten Bereich ( 13 , 13 ′) auf die Ober fläche ( 14 ) auftrifft. 6. The device according to claim 1, characterized in that the main beam (24) of the illumination pupil (11) of continuous light beam (12) without deflection lichst under mög small angle (α) to the main beam (24) of the Emp fang beam path (21 ) and is low in the Ab was (a) from (on the diode array 25) of the camera (22) imaged area (13, 13 ') on the upper surface (14) impinges.
  7. 7. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Spiegel reflektor ein sphärischer Hohlspiegel ( 15 ) ist. 7. Device according to one of the preceding claims, characterized in that the mirror reflector is a spherical concave mirror (15).
  8. 8. Optische Fehlerinspektionsvorrichtung nach einem der vor hergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß durch einen zu sätzlichen, im Abstand seiner Brennweite von der Kamera pupille angeordneten Hohlspiegel der Beobachtungsstrah lengang wie der Beleuchtungsstrahlengang telezentrisch gemacht ist und daß das telezentrische Beleuchtungsbün del nach Reflexion am Objekt durch einen telezentrischen Spiegelreflektor in sich zurückgespiegelt wird. 8. Optical fault inspection device according to one of disposed in front of reciprocating claims, characterized in that the pupil by a too sätzlichen, the distance of its focal length of the camera concave mirror of Beobachtungsstrah beam path as the illumination beam path is made telecentric and that the telecentric Beleuchtungsbün del after reflection on the object by a telecentric mirror reflector is reflected back into itself.
  9. 9. Vorrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß der abbildende Retroreflektor aus einem Hohlspiegelstreifen bzw. Linsen streifen ( 16 ′) und einem in dessen Brennebene angeordne ten Hohlspiegel ( 15 ′) besteht, dessen Krümmungsmittel punkt im Scheitel des Hohlspiegelstreifens bzw. im Lin senstreifen ( 16 ′) liegt. 9. Device according to claim 8, characterized in that the imaging retroreflector strip from a concave mirror strip or lenses (16 ') and is arrange in the focal plane th concave mirror (15') whose center of curvature in the apex of the concave mirror strip and in Lin senstreifen (16 ') is located.
  10. 10. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche mit einer Kamera, die eine Diodenzeile aufweist, dadurch gekennzeichnet, daß die Kondensor linse eine Streifenlinse ( 28 ) ist, welche den zu inspi zierenden streifenförmigen Bereich ( 13 ), der parallel zur Diodenzeile ( 25 ) verläuft, ausleuchtet und daß auch der Spiegelreflektor ( 15 , 15 ′) und ggfs. das weitere Ab bildungselement ( 16 ) parallel zum genannten Bereich ( 13 ) streifenförmig sind. 10. Device according to one of the preceding claims with a camera having a diode row, characterized in that the condenser lens is a bar lens (28) which extends to be inspi ornamental strip-shaped region (13) parallel to the diode row (25) , illuminates and also that the mirror reflector (15, 15 ') and, if applicable. From the further forming member (16) parallel to said region (13) are strip-shaped.
  11. 11. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 8 mit einer Diodenkamera, die eine flächige Diodenanordnung auf weist, dadurch gekennzeichnet, daß die Kondensor linse eine Rundlinse ( 28 ′) ist, welche den zu inspizie renden kreisförmigen Bereich ( 13 ′) ausleuchtet und daß auch der Spiegelreflektor ( 15 ′′, 15 ′′′) und ggfs. auch das weitere Abbildungselement ( 16 ′) kreisförmig ausgebildet sind. 11. The device according to one of claims 1 to 8 with a diode camera, which has a planar diode arrangement, characterized in that the condenser lens 'is that the to inspizie leaders circular portion (13 a round lens (28)' illuminates), and that and the mirror reflector (15 '', 15 '' ') and, if applicable. and the further image element (16') are circular.
  12. 12. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Spiegel reflektor ( 15 ) um den Schnittpunkt ( 30 ) seiner optischen Achse ( 31 ) mit der Oberfläche ( 14 ) aus der Reflex ions-Stellung ( R ) in die Transmissionsstellung ( T ) und umgekehrt schwenkbar ist. 12. Device according to one of the preceding claims, characterized in that the mirror reflector (15) about the intersection point (30) of its optical axis (31) with the surface (14) from the reflex ions position (R) in the transmission position ( is T) and vice versa pivotable.
  13. 13. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Gegenstand parallel zu seiner Oberfläche und bei streifenförmigem zu inspizierenden Bereich ( 13 ) senkrecht zur Streifen richtung vorgeschoben wird. 13. Device according to one of the preceding claims, characterized in that the article is advanced parallel to its surface and strip-shaped region to be inspected (13) perpendicular to the strip direction.
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