DE3716943A1 - Process and device for separating material, in particular in bar form - Google Patents

Process and device for separating material, in particular in bar form

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DE3716943A1 DE19873716943 DE3716943A DE3716943A1 DE 3716943 A1 DE3716943 A1 DE 3716943A1 DE 19873716943 DE19873716943 DE 19873716943 DE 3716943 A DE3716943 A DE 3716943A DE 3716943 A1 DE3716943 A1 DE 3716943A1
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Abstract

A process and a device for separating material (10), in particular in bar form, are proposed. This involves turning the material about an axis (32) and applying separating means (12) to the material perpendicularly with respect to this axis in order to obtain slices of a desired thickness in dependence on the distance apart of the separating means. The relative speed between the material and the separating means is preferably kept approximately constant. <IMAGE>

Description

Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Trennen von insbesondere stabförmigem Material wie einkristallinem, polykristallinem, mehrphasigem oder amorphem Körper in Scheiben, wobei zum Trennen des Materials zwischen dem Material und parallel verlaufenden der Dicke der Scheiben entsprechend zueinander beabstandeten Trennmitteln eine Relativbewegung erfolgt.The invention relates to a method and a Device for separating in particular rod-shaped material such as single-crystal, polycrystalline, multi-phase or amorphous body in slices, being used to separate the material between the material and parallel the thickness of the Disks corresponding to spaced separation means one Relative movement takes place.

Um insbesondere einkristalline Materialien in Scheiben oder sogenannte Wafern zu trennen, werden Innenlochsägen, Multidrahtsägen oder Gattersägen benutzt. Mit Hilfe einer lnnenlochsäge können zwar Wafer mit gewünschter gleichbleibender Dicke hergestellt werden, jedoch entsteht aufgrund der Sägeblattstärke ein relativ hoher Abfall. Bei den Gattersägen und Multidrahtsägen wird zwar der Abfall verringert, jedoch ist aufgrund der langen Kontaktfläche zwischen Kristall und Draht eine erhebliche Erwärmung des Kristalls festzustellen, die zu Beschädigungen führen kann. Ferner sind Beschädigungen im Oberflächenbereich der Wafer festzustellen, da die das Material trennenden Drähte eine allseitige Beschädigung des Materials hervorrufen. In particular, single-crystal materials in slices or to separate so-called wafers are internal hole saws, Multi wire saws or gang saws used. With the help of a Inner hole saws can indeed have wafers with the desired constant thickness can be produced, but arises due to the saw blade thickness a relatively high waste. Both Frame saws and multi-wire saws become the waste is reduced, however, due to the long contact area between crystal and wire a considerable warming of the Detect crystal that can lead to damage. There is also damage in the surface area of the wafers as the wires separating the material have a cause all-round damage to the material.  

Diese Nachteile werden teilweise in einem beschriebenen Multidraht-Sägeverfahren vermindert (US-PS 32 63 669), indem das Sägegut um eine Achse parallel zur Materialachse hin- und hergeschwenkt und damit die Kontaktfläche verringert wird und indem der Sägevorgang vornehmlich durch Hin- und Herbewegung der im Rahmen angeordneten Drähte vollzogen wird.These disadvantages are partially described in one Multi-wire sawing method reduced (US-PS 32 63 669) by the sawdust back and forth around an axis parallel to the material axis pivoted here and thus the contact area is reduced and by sawing primarily by reciprocating the wires arranged in the frame is carried out.

Des weiteren ist bei den zuvor beschriebenen Verfahren meist der Nachteil gegeben, daß eine Nachbehandlung der hergestellten Scheiben erforderlich ist, d.h. ein Schleifen oder Läppen muß durchgeführt werden, um Scheiben der gewünschten Güte für die Weiterbehandlung durch Polieren und Ätzen zur Verfügung zu stellen.Furthermore, in the methods described above, this is usually the case Disadvantage given that post-treatment of the manufactured Disks is required, i.e. grinding or lapping be carried out to produce slices of the desired quality Further treatment available through polishing and etching put.

Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist im wesentlichen, ein Verfahren und eine Vorrichtung der eingangs genannten Art so auszubilden, daß bei geringem Materialabfall die Scheiben gewünschter Dicke eine hohe Güte aufweisen, so daß ein Nachbehandeln durch Schleifen oder Läppen nicht erforderlich ist. Auch soll der Verbrauch am Trennmittel (Sägedraht) stark vermindert werden.The object of the present invention is essentially a Method and a device of the type mentioned above train that the slices with little material waste Desired thickness have a high quality, so that a Post-treatment by grinding or lapping is not necessary is. The consumption of release agent (saw wire) should also be high can be reduced.

Die Aufgabe wird durch ein Verfahren erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß zur Erzielung der Relativbewegung zwischen den Trennmitteln und dem Material dieses um eine ortsfeste senkrecht zu zwischen den herzustellenden Scheiben vorhandenen Trennflächen verlaufende Achse in Rotation versetzt wird. Erfindungsgemäß wird demzufolge aufbauend auf eine Gatter- oder Multidrahtsäge das zu trennende Material in eine rotierende Bewegung versetzt, wodurch die Kontaktfläche zwischen den als Drähte ausgebildeten Trennmitteln und dem Material selbst erheblich reduziert wird, so daß die ansonsten auftretende unerwünschte Erwärmung unterbleibt. The object is achieved by a method according to the invention solved that to achieve the relative movement between the Release agents and the material this around a stationary vertical to existing between the disks to be manufactured Parting axis is rotated. According to the invention, building on a gate or multi wire saw the material to be cut into a rotating one Movement offset, creating the contact area between the as Wires formed release agents and the material itself is significantly reduced so that the otherwise occurring unwanted heating does not occur.  

In Ausgestaltung der Erfindung wird die Relativgeschwindigkeit zwischen dem Material und den Trennmitteln etwa konstant gehalten, d.h. bei im wesentlichen ruhenden Trennmitteln wird die Umdrehungszahl des Materials umgekehrt zum Durchmesser des noch zu trennenden Materials verändert. Hierdurch sind gleichbleibende Trennbedingungen gewährleistet, so daß die Schnittflächen konstante Qualität aufweisen.In an embodiment of the invention, the relative speed approximately constant between the material and the release agents held, i.e. with essentially static release agents the number of revolutions of the material reversed to the diameter of the material to be separated changed. This is constant separation conditions guaranteed, so that Cut surfaces have constant quality.

Da die Güte der Schnittflächen auch von der der Trennmittel abhängig ist, ist es nach dem erfindungsgemäßen Verfahren möglich, die Trennmittel zu dem zu trennenden Material nur insoweit zu verschieben, als eine Abnutzung erfolgt ist. Hierdurch ist eine optimale Materialnutzung der Trennmittel gewährleistet.Because the quality of the cut surfaces also depends on that of the release agent is dependent, it is according to the inventive method possible, the release agent to the material to be separated only to the extent that wear has occurred. This means that the release agent is used optimally guaranteed.

Erfindungsgemäß wird das Trennverfahren bis zu einem Effektivdurchmesser durchgeführt, bei dem ein Auseinanderbrechen der Wafer unterbleibt. Sodann wird das Material auf zumindest im Oberflächenbereich elastisch ausgebildeten Rollen abgestützt, um dann bei ruhendem Material die Relativbewegung allein durch die Trennmittel herbeizuführen, wodurch das vollständige Trennen des Ausgangsmaterials in einzelne Scheiben ermöglicht wird.According to the separation method up to one Effective diameter carried out at which a The wafers do not break apart. Then it will Material on elastic at least in the surface area trained roles supported, then when the material is at rest to bring about the relative movement solely through the separating means, whereby the complete separation of the starting material in individual slices is made possible.

Erfindungsgemäß wird mit dem Trennverfahren ein gleichzeitiges Abrunden aller Scheibenkanten ermöglicht, indem der Trennprozeß unterbrochen wird und mit einer flexiblen Schleif- oder Polierwelle, die etwa parallel zur Materialachse rotierbar angeordnet ist, die Scheibenkanten bei Rotation des Materialstabes, simultan oder sukzessiv rundgeschliffen werden und dann der Trennvorgang festgesetzt wird. Bei geeigneter Anordnung der Kantenschleifwelle kann der Kantenrundungsprozeß auch während des Trennvorgangs durchgeführt werden. Hierin ist auch ein besonders hervorzuhebender Vorteil der Erfindung zu sehen. According to the invention, the separation process is a simultaneous one Rounding off all the edges of the pane is made possible by the cutting process is interrupted and with a flexible grinding or Polishing shaft that rotates approximately parallel to the material axis is arranged, the disc edges during rotation of the Material rod, be simultaneously or successively rounded and then the separation process is fixed. With more suitable The edge rounding process can arrange the edge grinding shaft can also be carried out during the separation process. Here is also a particularly noteworthy advantage of the invention see.  

Eine Vorrichtung zum Durchführen des Verfahrens mit als Drähte ausgebildeten Trennmitteln zeichnet sich dadurch aus, daß das Material von einer ortsfest verlaufenden Achse durchsetzt ist, daß die Achse senkrecht zu den Längsachsen von Drahtabschnitten verläuft, die das Material trennen und daß zur Erzeugung einer Relativbewegung zwischen den Drähten und dem Material die Drehachse in Rotation versetzbar ist. Ausgehend von einem Stand der Technik, bei dem bei der Herstellung von Drähten diese teilweise mit Schneidkörnern z. B. durch mechanisches Einpressen von Diamantkörnern in eine auf Wolframdraht elektrolytisch aufgebrachte weiche Kupferschicht bedeckt werden, wird vorgeschlagen, daß die erfindungsgemäß eingesetzten Drähte ausschließlich oder im wesentlichen ausschließlich auf der das Trennen hervorrufenden Kontaktfläche, also an der Frontseite eine Belegung mit z.B. Diamanten, SiC, Borcarbid, Al2O3 oder ähnliches aufweisen, wodurch gewährleistet ist, daß die Drähte eine Beschädigung der seitlichen Wandungen nicht oder nur unwesentlich hervorrufen. Hierdurch wird eine hohe Oberflächenqualität gewährleistet, die ein zusätzliches Behandeln der Wafer nur insoweit erforderlich macht, als daß die Kanten rundgeschliffen werden und die Wafer den abschließenden Polier- und Ätzbehandlungen unterworfen werden.A device for performing the method with separating means formed as wires is characterized in that the material is penetrated by a stationary axis, that the axis is perpendicular to the longitudinal axes of wire sections that separate the material and that to generate a relative movement between the Wires and the material, the axis of rotation can be set in rotation. Based on a prior art, in the manufacture of wires, these are partially cut with z. B. are covered by mechanical pressing of diamond grains in a soft copper layer electrolytically applied to tungsten wire, it is proposed that the wires used according to the invention be used exclusively or essentially exclusively on the contact surface causing the separation, that is to say, on the front side are covered with, for example, diamonds, SiC, Have boron carbide, Al 2 O 3 or the like, which ensures that the wires do not or only insignificantly cause damage to the side walls. This ensures a high surface quality, which only requires additional treatment of the wafers to the extent that the edges are ground and the wafers are subjected to the final polishing and etching treatments.

In weiterer Ausgestaltung der Erfindung ist vorgesehen, daß die Drähte vorzugsweise in den den Schneidkanten abgewandten Bereichen eine Drahtgeometrie aufweisen, die im Schnitt von einem Kreisbogen abweicht, und daß die Drähte vor und/oder hinter dem Material in Halterungen geführt sind, deren Aufnahmegeometrien den Drahtgeometrien angepaßt sind. Hierdurch ist gewährleistet, daß die Drähte während des Trennprozesses nicht um ihre Längsachse verdrehbar sind, so daß ein gleichmäßiger Schnitt gewährleistet ist.In a further embodiment of the invention it is provided that the Wires preferably in those facing away from the cutting edges Areas have a wire geometry, the average of deviates from a circular arc, and that the wires in front and / or are guided behind the material in brackets whose Recording geometries are adapted to the wire geometries. This ensures that the wires during the Separation process are not rotatable about their longitudinal axis, so that a uniform cut is guaranteed.

Durch das erfindungsgemäße Verfahren ist nicht nur eine exzellente Planparalilität der Wafer und eine hohe Güte erzielbar, sondern es können auch sämtliche mit den bekannten Trennverfahren erzielbaren Vorteile erreicht werden, ohne die bekannten Nachteile mit übernehmen zu müssen. Neben der bereits angesprochenen Oberflächenqualität treten geringe Schnittverluste auf. Ferner können dünnere Wafer und gleichzeitig in Abhängigkeit von der Materiallänge 30 bis 200 oder mehr Wafer hergestellt werden. Beschädigungen der Oberfläche sind gering, da der Hauptschaden von den eingesetzten Trennmitteln im wesentlichen von deren Frontseiten erfolgt, die jedoch während des Trennprozesses fortwährend weggesägt werden.The inventive method is not just one excellent wafer plan parallelism and high quality achievable, but it can all with the known  Separation process achievable advantages can be achieved without the Known disadvantages to take over. In addition to the already mentioned surface quality occur low Cutting losses. Furthermore, thinner wafers and at the same time depending on the material length 30 to 200 or more wafers are made. Damage to the Surface area is low as the main damage from the release agents used essentially from the front takes place, which however continues during the separation process be sawed away.

Um das erfindungsgemäße Verfahren realisieren zu können, ist es erforderlich, daß das stabförmige Material stirnseitig von Halterungen aufgenommen wird, von denen Wellenstümpfe ausgehen, die von einem Präzisionslager wie z.B. Flüssigkeits- oder Gaslager aufgenommen werden. Die Drehachse fällt mit den Achsen der Wellenstümpfe überein. Auch die Trennmittel müssen überaus präzise geführt werden. Dies wird erwähntermaßen dadurch erreicht, daß der Querschnitt der Drähte von einer Kreisform abweicht, um so eine kontrollierte Führung sicherzustellen. Schließlich kann oberhalb der Sägeflächen eine Abgabevorrichtung für Kühlfluide - seien es Flüssigkeiten oder Gase - angeordnet werden, um zum einen das Material während des Trennens zu kühlen und zum anderen einen Abtransport des beim Trennen anfallenden Abfalls (Sägemehl, Abrieb der Trennmittelauflagen und des Trennmittels selbst) zu ermöglichen.In order to be able to implement the method according to the invention, it is required that the rod-shaped material from the front Mounts is included, of which stub shafts that come from a precision bearing such as liquid or gas storage. The axis of rotation coincides with the Axes of the stub shafts coincide. The release agents must also be guided very precisely. This is mentioned achieved in that the cross section of the wires from a Circular shape deviates, so as a controlled guidance ensure. Finally, a Dispensing device for cooling fluids - be they liquids or Gases - can be arranged to firstly hold the material during of the separation to cool and on the other hand a removal of the When separating waste (sawdust, abrasion of the Release agent supports and the release agent itself).

Weitere hervorzuhebende Einzelheiten der Erfindung ergeben sich aus den Ansprüchen und den diesen zu entnehmenden Merkmalen - für sich und/oder in Kombination -.Further details of the invention to be emphasized result from the claims and the features to be extracted from them - alone and / or in combination -.

Die Erfindung wird nachstehend anhand von in der Zeichnung dargestellten Ausführungsbeispielen näher erläutert, anhand derer sich weitere Einzelheiten, Vorteile und Merkmale ergeben. The invention is illustrated below in the drawing illustrated embodiments explained in more detail, with reference which result in further details, advantages and features.  

Es zeigen:Show it:

Fig. 1 eine Prinzipdarstellung einer Vorrichtung zum Trennen von stabförmigem Material in Seitenansicht, Fig. 1 is a schematic representation of an apparatus for separating rod-shaped material in a side view,

Fig. 2 eine Prinzipdarstellung einer Aufnahme von bereits teilweise getrenntem Material, Fig. 2 is a schematic representation of a recording of already partly separated material

Fig. 3 eine Detaildarstellung von das Material umgebenden Elementen, Fig. 3 is a detailed representation of the material surrounding elements,

Fig. 4 bis 7 Querschnittdarstellungen von verschiedenen Trennmitteln und FIGS. 4 to 7 are cross-sectional views of various release agents and

Fig. 8 Führungen von Trennmitteln. Fig. 8 guides of release agents.

In Fig. 1 ist in Seitenansicht ein Ausschnitt einer Vorrichtung dargestellt, mit der ein stabförmiges Material (10) wie z.B. ein Kristall in eine Vielzahl von Scheiben trennbar ist. Hierzu sind entsprechend der Anzahl der Scheiben oder Wafer Trennmittel in Form von Drähten (12) parallel zueinander angeordnet, die über Rollen (14) und (16) geführt werden. Dabei kann z.B. die Rolle (14) motorangetrieben sein. Zur Spannung der Drähte kann ein Ende der Drähte mit einem Gewicht (18) belastet sein. Ferner sind vor und hinter dem Material (10) Druckeinrichtungen (20) und (22) vorgesehen, die auf die Drähte (12) in Richtung auf das Material (10) in Pfeilrichtung (24) bzw. (26) eine Druckeinwirkung hervorrufen. Oberhalb des Materials (10) befindet sich ferner eine Abgabevorrichtung (28) vorzugsweise in Form von Düsen, über die Fluide auf das Material (10) abgegeben werden, um zum einen eine Kühlung hervorzurufen und zum anderen die beim Trennen anfallenden Materialen wegzuführen. Unterhalb des Materials (10) kann sodann eine nicht dargestellte Auffangvorrichtung angeordnet sein. In Fig. 1 in side view a detail of a device is shown with which a rod-shaped material (10) such as a crystal can be separated into a plurality of slices. For this purpose, according to the number of slices or wafers, separating means in the form of wires ( 12 ) are arranged parallel to one another, which are guided over rollers ( 14 ) and ( 16 ). For example, the roller ( 14 ) can be motor-driven. One end of the wires can be loaded with a weight ( 18 ) to tension the wires. Furthermore, pressure devices ( 20 ) and ( 22 ) are provided in front of and behind the material ( 10 ), which cause pressure on the wires ( 12 ) in the direction of the material ( 10 ) in the direction of the arrows ( 24 ) and ( 26 ). Above the material ( 10 ) there is also a dispensing device ( 28 ), preferably in the form of nozzles, via which fluids are dispensed onto the material ( 10 ), on the one hand to bring about cooling and on the other hand to remove the materials that occur during separation. A collecting device (not shown) can then be arranged below the material ( 10 ).

Wie durch den Pfeil (28) angedeutet ist, wird das Material (10), das vorzugsweise Zylinderform und bei einem Einkristall ein Orientierungsflat aufweist, von einer Drehachse (32) durchsetzt. Die Drehachse (82) verläuft dabei orthogonal zu den Längsachsen der Drahtabschnitte, wie sie zwischen den Druckeinrichtungen (20) und (22) verlaufen.As indicated by the arrow ( 28 ), the material ( 10 ), which preferably has a cylindrical shape and an orientation flat in the case of a single crystal, is penetrated by an axis of rotation ( 32 ). The axis of rotation ( 82 ) is orthogonal to the longitudinal axes of the wire sections, as they run between the printing devices ( 20 ) and ( 22 ).

An der Fig. 2 erkennt man ferner, daß das Material stirnseitig von Haltern (38) und (40) aufgenommen ist, von denen mit der Drehachse (32) zusammenfallende Wellenstümpfe (42) und (44) ausgehen, die vorzugsweise von einem Flüssigkeits- oder Gaslager (34) und (36) aufgenommen sind. Der Zwangsantrieb der Drehachse (32) und damit des Materials (10) befindet sich im Bereich der Lager (34) und (36), ist jedoch in der Zeichnung nicht dargestellt.At the Fig. 2 it can be seen further that the material is added to the end face of holders (38) and (40) of which coincides with the axis of rotation (32) shaft stubs (42) and (44) go out, preferably by a liquid or gas bearings ( 34 ) and ( 36 ) are added. The positive drive of the axis of rotation ( 32 ) and thus of the material ( 10 ) is located in the area of the bearings ( 34 ) and ( 36 ), but is not shown in the drawing.

Durch die Drehung des Materials (10) und durch die auf die Drähte (12) einwirkenden Drücke erfolgt ein Trennen des Materials (10) in Scheiben. Dies ist in Fig. 2 durch die Kammstruktur, die Schnitte andeuten sollen, verdeutlicht.By the rotation of the material (10) and acting on the wires (12) a separation takes place pressures of the material (10) into slices. This is illustrated in FIG. 2 by the comb structure, which should indicate cuts.

Um beim Trennen eine Beschädigung der Trennflächen durch die Drähte (12) zu vermeiden, sind diese ausschließlich im Bereich der Kontaktflächen (46), (48), (50) und (52) mit Schneidmaterial wie z.B. Diamant, SiC, Borcarbid, Al2O3 oder ähnliches versehen. Hierdurch ist gewährleistet, daß von den Drähten (54), (56), (58), (60) eine zu Zerstörungen führende Krafteinwirkung auf die seitlichen Schnittflächen der Scheiben bzw. Wafer nicht hervorgerufen wird.In order to avoid damage to the separating surfaces by the wires ( 12 ) when cutting, these are only in the area of the contact surfaces ( 46 ), ( 48 ), ( 50 ) and ( 52 ) with cutting material such as diamond, SiC, boron carbide, Al 2 Provide O 3 or the like. This ensures that the wires ( 54 ), ( 56 ), ( 58 ), ( 60 ) do not cause a force on the lateral cut surfaces of the slices or wafers which leads to destruction.

Ferner erkennt man aus den Darstellungen der Fig. 5 bis 7, daß die Drähte (56), (58) und (60) von einer Kreisform abweichen können. Dabei sind die Abweichungen vorzugsweise in den mit den Schneidmaterialien (48) und (52) nicht versehenen, also zu diesen abgewandten Bereichen (62) bzw. (64) vorhanden. It can also be seen from the illustrations in FIGS. 5 to 7 that the wires ( 56 ), ( 58 ) and ( 60 ) can deviate from a circular shape. The deviations are preferably present in the areas ( 62 ) and ( 64 ) not provided with the cutting materials ( 48 ) and ( 52 ), that is to say facing away from them.

Selbstverständlich kann der Draht auch eine vollständig von einer Kreisform abweichende Geometrie ausweisen, wie der Draht (58), der im Schnitt quadratförmig ist, belegt.Of course, the wire can also have a geometry that deviates completely from a circular shape, as evidenced by the wire ( 58 ), which is square in section.

Durch die von der Kreisform abweichende Geometrie ergibt sich der Vorteil, daß die Drähte (56), (58) und (60) vor und/oder hinter dem zu trennenden Material von einer Führung (66) aufgenommen sein können, die Aussparungen (68) und (70) aufweisen, die abschnittsweise der Geometrie der Drähte - im Ausführungsbeispiel der Fig. 8 der Geometrie des Drahtes (56) - angepaßt sind. ln diesem Fall ist der Abflachung (62) des Drahtes (56) eine entsprechende Fläche (72) bzw. (74) in der Aussparung (68) bzw. (70) zugeordnet, wodurch sichergestellt ist, daß während des Durchzugs des Drahtes (56) durch die Führung (66) ein Verdrehen um seine Längsachse nicht erfolgt. Dies wiederum gewährleistet, daß die Schnittfläche überaus präzise ist und eine hohe Güte aufweist.The geometry deviating from the circular shape has the advantage that the wires ( 56 ), ( 58 ) and ( 60 ) in front of and / or behind the material to be separated can be received by a guide ( 66 ), the cutouts ( 68 ) and ( 70 ), which are partially adapted to the geometry of the wires - in the exemplary embodiment in FIG. 8 the geometry of the wire ( 56 ). In this case, the flattening ( 62 ) of the wire ( 56 ) is assigned a corresponding surface ( 72 ) or ( 74 ) in the recess ( 68 ) or ( 70 ), which ensures that during the passage of the wire ( 56 ) the guide ( 66 ) does not twist about its longitudinal axis. This in turn ensures that the cut surface is extremely precise and of high quality.

Anhand der Fig. 3 soll ein weiteres hervorzuhebendes Merkmal der Erfindung verdeutlicht werden. Man erkennt, daß das Material (10) bis nahezu zum Kern hin von dem Draht (12) durchtrennt ist. Um zu verhindern, daß durch eine weitere Rotation des Materials (10) ein zu Beschädigungen führendes Auseinanderbrechen der einzelnen Wafer erfolgt, wird nunmehr das Material (10) von der den Druckelementen (20), (22) gegenüberliegenden Seite von Abstützeinrichtungen in Form von Rollen (76) und (78) aufgenommen, um anschließend den Draht (12) relativ zu dem Material zu bewegen, wodurch die vollständige Trennung des Materials erfolgt. Gegebenenfalls können zuvor die Kanten der Scheiben geschliffen werden, um beim Abstützen auf den Abstützrollen (76) und (78) eine Beschädigung zu vermeiden, wie es eingangs beschrieben worden ist.A further feature of the invention to be emphasized is to be clarified on the basis of FIG. 3. It can be seen that the material ( 10 ) is severed by the wire ( 12 ) almost to the core. In order to prevent the individual wafers from breaking apart due to further rotation of the material ( 10 ), the material ( 10 ) is now supported on the side of the support elements in the form of rollers from the pressure elements ( 20 ), ( 22 ) ( 76 ) and ( 78 ), in order to subsequently move the wire ( 12 ) relative to the material, whereby the complete separation of the material takes place. If necessary, the edges of the disks can be ground beforehand in order to avoid damage when they are supported on the support rollers ( 76 ) and ( 78 ), as described at the beginning.

Claims (13)

1. Verfahren zum Trennen von insbesondere stabförmigem Material wie einkristallinem, polykristallinem, mehrphasigem oder amorphen Körper in Scheiben, wobei zum Trennen des Materials zwischen dem Material und parallel zueinander verlaufenden der Dicke der Scheiben entsprechend beabstandeten Trennmitteln eine Relativbewegung erfolgt, dadurch gekennzeichnet, daß zur Erzielung der Relativbewegung das Material um eine ortsfeste und senkrecht zu zwischen den herzustellenden Scheiben vorhandenen Trennflächen verlaufende Achse in Rotation versetzt wird.1. A method for separating in particular rod-shaped material such as single-crystalline, polycrystalline, multi-phase or amorphous body in slices, with a relative movement for separating the material between the material and parallel to the thickness of the slices separating means, a relative movement, characterized in that to achieve the relative movement causes the material to rotate about a stationary axis that runs perpendicular to the separating surfaces between the disks to be produced. 2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Relativgeschwindigkeit zwischen dem Material und den Trennmitteln in etwa konstant gehalten wird.2. The method according to claim 1, characterized, that the relative speed between the material and the release agent is kept approximately constant. 3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Trennmittel in Abhängigkeit von ihrer Abnutzung relativ zu dem Material verschiebbar sind. 3. The method according to claim 1, characterized, that the release agents depending on their wear are displaceable relative to the material.   4. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß nach Beginn des Trennvorgangs und vor dem vollständigen Trennen der Scheiben der Trennvorgang unterbrochen wird, um mit einem rotierbaren flexiblen Schleif- oder Polierkörper die Kanten der Scheiben simultan rundzuschleifen, und daß dann der Trennvorgang fortgesetzt wird.4. The method according to claim 1, characterized, that after the start of the separation process and before complete cutting of the slices of the cutting process interrupted to with a rotatable flexible Grinding or polishing the edges of the discs simultaneously to grind and that the cutting process then continues becomes. 5. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Kanten des Materials simultan während dessen Trennens abgerundet werden.5. The method according to claim 1, characterized, that the edges of the material simultaneously during this Be rounded off. 6. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß bei einer bis zu einem gewünschten Abstand zur Drehachse erfolgten Trennung des Materials dieses zum Stillstand gebracht wird und zur weiteren Trennung das Material die Relativbewegung durch die Trennmittel hervorgerufen wird.6. The method according to claim 1, characterized, that at a up to a desired distance from The axis of rotation separated the material from this Is brought to a standstill and for further separation that Material the relative movement through the release agent is caused. 7. Vorrichtung zum Trennen von insbesondere stabförmigem Material wie einkristallinem, polykristallinem, mehrphasigem oder amorphem Körper in Scheiben, wobei zum Trennen des Materials zwischen dem Material und parallel verlaufenden der Dicke der Scheiben entsprechend zueinander beabstandeten Trennmitteln in Form von Drähten eine Relativbewegung erfolgt, zur Durchführung des Verfahrens nach zumindest Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Material (10) von einer ortsfest verlaufenden Achse (32) durchsetzt ist, daß die Achse senkrecht zu den Längsachsen der Drahtabschnitte verläuft, die das Material trennen, und daß zur Erzeugung der Relativbewegung das Material um die Drehachse in Rotation versetzbar ist. 7. Device for separating in particular rod-shaped material such as single-crystalline, polycrystalline, multi-phase or amorphous body into disks, with a relative movement in the form of wires for separating the material between the material and parallel separating means which are spaced apart in accordance with the thickness of the disks in order to carry out of the method according to at least claim 1, characterized in that the material ( 10 ) is penetrated by a stationary axis ( 32 ), that the axis is perpendicular to the longitudinal axes of the wire sections which separate the material, and that to generate the relative movement that Material is rotatable about the axis of rotation. 8. Vorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß das Material (10) stirnseitig von Halterungen (38, 40) aufgenommen ist, von denen Wellenstümpfe (42, 44) ausgehen, die mit der Rotationsachse (32) zusammenfallen und die in vorzugsweise Gas- oder Flüssigkeitslagern aufgenommen sind.8. The device according to claim 7, characterized in that the material ( 10 ) is received on the end face of brackets ( 38 , 40 ), from which stub shafts ( 42 , 44 ) emanate, which coincide with the axis of rotation ( 32 ) and which are preferably in gas - or liquid bearings are included. 9. Vorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß zur Erzielung einer im wesentlichen konstanten Relativgeschwindigkeit zwischen den Drähten (12) und dem Material (10) die Umdrehungszahl der Drehachse (32) umgekehrt proportional zum Durchmesser des noch zu trennenden Materials veränderbar ist.9. The device according to claim 7, characterized in that to achieve a substantially constant relative speed between the wires ( 12 ) and the material ( 10 ), the number of revolutions of the axis of rotation ( 32 ) can be changed inversely proportional to the diameter of the material still to be separated. 10. Vorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Drähte (12, 56, 58, 60) vorzugsweise in den den Schneidbereichen (48, 50, 52) abgewandten Bereichen eine Drahtgeometrie aufweisen, die im Schnitt von einer Kreisform abweichen, und daß die Drähte vor und/oder hinter dem Material (10) von einer Führung (66) aufgenommen sind, die Aussparungen (68, 70) aufweisen, deren Geometrien abschnittsweise den Drahtgeometrien angepaßt sind.10. The device according to claim 7, characterized in that the wires ( 12 , 56 , 58 , 60 ) preferably in the areas facing away from the cutting areas ( 48 , 50 , 52 ) have a wire geometry which differ in section from a circular shape, and that the wires in front of and / or behind the material ( 10 ) are received by a guide ( 66 ) which have cutouts ( 68 , 70 ), the geometries of which are adapted in sections to the wire geometries. 11. Vorrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß der Draht (56, 58, 60) im Querschnitt rechteckig oder kreissegmentförmig oder oval ausgebildet ist. 11. The device according to claim 8, characterized in that the wire ( 56 , 58 , 60 ) is rectangular in cross section or segment-shaped or oval. 12. Vorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß vor und hinter dem Material (10) auf die Drähte (12) einwirkende Druckelemente (20, 22) angeordnet sind, die in Richtung auf die Drehachse (32) eine Kraft hervorrufen.12. The apparatus according to claim 7, characterized in that in front of and behind the material ( 10 ) on the wires ( 12 ) acting pressure elements ( 20 , 22 ) are arranged which cause a force in the direction of the axis of rotation ( 32 ). 13. Vorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß parallel zur Material-Drehachse ein flexibler rotierbarer Schleif- oder Polierkörper angebracht ist, der dem simultanen Abschleifen der Scheibenkanten dient, nachdem der Schneidvorgang begonnen wurde und bevor die Scheiben voneinander ganz getrennt werden.13. The apparatus according to claim 7, characterized, that parallel to the material axis of rotation a more flexible rotatable grinding or polishing body is attached, the serves to simultaneously grind the edges of the wheel, after the cutting process has started and before the disks are completely separated from each other.
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