DE3623345A1 - Method for selectively measuring the concentrations of IR to UV radiation-absorbing gaseous and/or liquid components in gases and/or liquid substances, and device for carrying out the method - Google Patents
Method for selectively measuring the concentrations of IR to UV radiation-absorbing gaseous and/or liquid components in gases and/or liquid substances, and device for carrying out the methodInfo
- Publication number
- DE3623345A1 DE3623345A1 DE19863623345 DE3623345A DE3623345A1 DE 3623345 A1 DE3623345 A1 DE 3623345A1 DE 19863623345 DE19863623345 DE 19863623345 DE 3623345 A DE3623345 A DE 3623345A DE 3623345 A1 DE3623345 A1 DE 3623345A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- detector
- measuring
- reference beam
- radiation
- chopper
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Ceased
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 22
- 239000007788 liquid Substances 0.000 title claims abstract description 12
- 239000007789 gas Substances 0.000 title claims abstract description 10
- 239000000126 substance Substances 0.000 title claims abstract description 10
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims abstract description 12
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims abstract 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 16
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 7
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 claims description 4
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 3
- 230000002238 attenuated effect Effects 0.000 claims description 2
- 230000010363 phase shift Effects 0.000 claims description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 abstract description 8
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 abstract description 2
- 230000002123 temporal effect Effects 0.000 description 4
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 2
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 2
- 230000008033 biological extinction Effects 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 206010021033 Hypomenorrhoea Diseases 0.000 description 1
- 230000002745 absorbent Effects 0.000 description 1
- 239000002250 absorbent Substances 0.000 description 1
- 235000013405 beer Nutrition 0.000 description 1
- 238000005422 blasting Methods 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 230000018109 developmental process Effects 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- 238000010327 methods by industry Methods 0.000 description 1
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/02—Details
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/02—Details
- G01J3/0205—Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows
- G01J3/0213—Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows using attenuators
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/02—Details
- G01J3/0205—Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows
- G01J3/0232—Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows using shutters
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/28—Investigating the spectrum
- G01J3/30—Measuring the intensity of spectral lines directly on the spectrum itself
- G01J3/32—Investigating bands of a spectrum in sequence by a single detector
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/28—Investigating the spectrum
- G01J3/42—Absorption spectrometry; Double beam spectrometry; Flicker spectrometry; Reflection spectrometry
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
- G01N21/31—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
- G01N21/35—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light
- G01N21/3504—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light for analysing gases, e.g. multi-gas analysis
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/12—Generating the spectrum; Monochromators
- G01J2003/1213—Filters in general, e.g. dichroic, band
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
Description
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur selektiven Messung der Konzentrationen von IR- bis UV-Strahlung absorbierenden gasförmigen und/oder flüssigen Komponenten in Gasen und/oder flüssigen Substanzen nach Anspruch 1 und eine Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens.The invention relates to a method for selective measurement the concentrations of IR to UV absorbing gaseous and / or liquid components in gases and / or liquid substances according to claim 1 and a device to carry out the procedure.
Die Anwendung intermettierender Strahlen ist in der optischen Meßtechnik allgemein üblich und geschieht vornehmlich zur Trennung der eigentlichen Nutzsignale von den Störsignalen, wobei die Störsignale eine andere Frequenz als die Nutzsignale aufweisen. Die periodische Unterbrechung der Strahlen erfolgt gewöhnlich mittels Chopper, der z. B. in einer mechanischen Ausführung aus einer im Strahlengang angeordneten mit Öffnungen versehenen, rotierenden Scheibe besteht.The use of intermittent rays is in the optical Measurement technology is common and happens primarily to separate the actual useful signals from the interference signals, the interference signals having a different frequency than that Have useful signals. The periodic interruption of the Blasting is usually done using a chopper, e.g. B. in a mechanical design from one in the beam path arranged rotating disk with openings consists.
Bei den Verfahren der oben genannten Art wird der Meßwert aus dem Vergleich zweier Strahlenströme gewonnen, nämlich einem Meßstrahl und einem Referenzstrahl. Es sind Verfahren und Meßgeräte bekannt, bei den die Strahlenströme geometrisch voneinander getrennte Wege durchlaufen oder bei denen die beiden Strahlenströme denselben Weg zeitlich nacheinander durchlaufen (zeitliche Strahlteilung) und auf einen Detektor geleitet werden. Der Nachteil dieser Methode besteht darin, daß bei den erforderlichen Chopperfrequenzen eine zeitliche Überlappung aufeinanderfolgender Signale auftritt, falls die Detektoren selbst oder die diesen nachgeschaltete Elektronik eine vergleichsweise große Zeitverzögerung besitzen, welche Meßfehler verursacht oder die Messung unmöglich macht. Da sowohl für das Meßsignal als auch für das Referenzsignal in der Regel derselbe Detektor verwendet wird, müssen die betreffenden Signale in einer Auswerteeinrichtung voneinander getrennt werden. Wie der Einfluß aufeinander folgender Detektorsignale auf das Meßergebnis eliminiert werden kann, ist in der DE-PS 27 27 976 angegeben. In einer umfangreichen Meßwertverarbeitungseinrichtung werden die jeweils während der Hellperiode entstehenden Detektorsignale ausgewertet. Sowohl die darin beschriebene analoge als auch die digitale Lösung ist aufwendig und kostspielig.With the methods of the type mentioned above, the measured value obtained from the comparison of two beam currents, namely a measuring beam and a reference beam. They are procedures and measuring devices known, in which the beam currents geometrically go through separate paths or where the two beam currents follow the same path in time run through (temporal beam splitting) and onto one Detector can be directed. The disadvantage of this method is in that at the required chopper frequencies a temporal overlap of successive signals occurs if the detectors themselves or those connected downstream Electronics a comparatively large time delay possess which measurement error causes or the measurement makes impossible. Since both for the measurement signal and the same detector is usually used for the reference signal the relevant signals must be in an evaluation device be separated from each other. Like the influence successive detector signals on the measurement result can be eliminated is in DE-PS 27 27 976 specified. In an extensive measurement processing facility are those that arise during the light period Detector signals evaluated. Both the one described therein analog as well as digital solution is complex and expensive.
Aus der DE-PS 31 37 658 ist eine Vorrichtung zur Messung der Konzentration eines Gases in einer Gasmatrix oder einer in einem Lösungsmittel gelösten Substanz mit zeitlicher Strahlteilung bekannt, bei der nach der bekannten Choppermethode Meß- und Referenzfilter alternierend durch den Strahlgang bewegt werden. Die Detektorsignale mit der einfachen und doppelten Kreisfrequenz ( ω und 2l ) der Choppermodulation werden in einer aufwendigen Meßwertverarbeitungseinrichtung aufgearbeitet, die einen Fourier-Analysator, einen Dividierer oder Quotientenbilder und eine Anzeigevorrichtung beinhaltet.From DE-PS 31 37 658 a device for measuring the concentration of a gas in a gas matrix or a substance dissolved in a solvent with temporal beam splitting is known, in which measuring and reference filters are moved alternately through the beam path according to the known chopper method. The detector signals with the single and double angular frequency ( ω and 2 l ) of the chopper modulation are processed in a complex measured value processing device which includes a Fourier analyzer, a divider or quotient images and a display device.
Die nach dem Stande der Technik angewandten Verfahren zur Auswertung der vom Detektor gelieferten Meßsignale weisen den grundsätzlichen Nachteil der Behandlung großer Zahlen auf, was die zu erreichende Meßgenauigkeit negativ beeinflußt.The methods used in the prior art for Evaluation of the measurement signals supplied by the detector the fundamental disadvantage of handling large numbers on what affects the measurement accuracy to be achieved negatively.
Um kleine Konzentrationen, z. B. im ppm-Bereich, von flüssigen- bzw. gasförmigen Komponenten präzise und langzeitstabil erfassen zu können, muß die Extinktion E At small concentrations, e.g. B. in the ppm range, to be able to detect liquid or gaseous components precisely and with long-term stability, the extinction E
aus der Intensität I REF und I MESS von Referenzsignal und Meßsignal entsprechend genau und langzeitstabil berechnet werden. Bei dem im ppm-Bereich üblichen Extinktionen von E= 10-4 bis 10-3 bedeutet dies, daß die Signale ln I REF , ln I MESS mindestens auf 4 Stellen genau bestimmt werden müssen.can be calculated from the intensity I REF and I MESS of the reference signal and the measurement signal accordingly accurately and with long-term stability. With the extinction of E = 10 -4 to 10 -3 , which is common in the ppm range, this means that the signals ln I REF , ln I MEAS must be determined with at least 4 digits.
In der Praxis hat das zur Folge, daß bei der derzeitigen Analogtechnik nur solche Halbleiterbauelemente (Verstärker, Logarithmierer usw.) eingesetzt werden können, die dem neuesten Stand der Halbleitertechnologie entsprechen. Außerdem ist eine Thermostatisierung der kritischen Bauelemente unumgänglich. Diese Forderungen führen zu hohen Kosten des Gesamtsystems. Trotzdem ist für die prozeßtechnische Anwendungen selbst bei Einsatz modernster analoger Signalverarbeitung eine Messung im Bereich zwischen E=10-4 und 10-3 nicht möglich, wenn man von den wenigen Anwendungsfällen im Nahen Infrarotbereich absieht.In practice, this has the consequence that only those semiconductor components (amplifiers, logarithmers, etc.) which correspond to the latest state of the art in semiconductor technology can be used in current analog technology. In addition, the critical components must be thermostatted. These demands lead to high costs of the overall system. Nevertheless, a measurement in the range between E = 10 -4 and 10 -3 is not possible for process engineering applications, even when using the latest analog signal processing, if one ignores the few applications in the near infrared range.
Beim Übergang auf eine digitale Signalverarbeitung, z. B. unter Einsatz eines Mikroprozessors, tritt das Problem der hochgenauen Analog/Digital-Wandlung auf.When transitioning to digital signal processing, e.g. B. using a microprocessor, the problem of high-precision analog / digital conversion.
Die geforderte hochpräzise Darstellung auf mindestens 4 Stellen nach dem Komma führt zum Einsatz der derzeit schnellsten und teuersten A/D-Wandler mit Wandlerfrequenzen im Megahertz-Bereich.The required high-precision representation in at least 4 digits after the comma leads to the use of the currently fastest and most expensive A / D converter with converter frequencies in the megahertz range.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren zu entwickeln, mit dem die Meßempfindlichkeit verbessert und die Systemkosten für die Meßeinrichtung reduziert werden.The invention is based on the object of a method develop with which the measuring sensitivity improves and the system costs for the measuring device are reduced.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß mittels der im kennzeichnenden Teil des Anspruchs 1 angegeben Verfahrensschritte und des kennzeichnenden Teils der im Anspruch 5 angegebenen Vorrichtung gelöst. This object is achieved by means of the characteristic Part of claim 1 specified process steps and the characterizing part of those specified in claim 5 Device solved.
Die übrigen Ansprüche geben vorteilhafte Weiterbildungen und Ausführungsformen des erfindungsgemäßen Verfahrens und der Anordnung zur Durchführung desselben an.The remaining claims give advantageous developments and Embodiments of the method according to the invention and the Arrangement for performing the same.
In dem erfindungsgemäßen Verfahren wird in vorteilhafter Weise die bisher störende und unerwünschte Eigenschaft des pyroelektrischen Detektors, die unvermeidbare Ansprechzeit (Trägheit) zur Abgabe eines Meßsignals dadurch beseitigt, daß die Differenz zwischen der Intensität des Meßstrahles und der Intensität des Referenzstrahles direkt am Detektor gebildet wird. Der bisher notwendige beträchtliche Schaltungsaufwand für die Auswertung der Meßsignale wird im einfachsten Falle auf einen einzigen Verstärker reduziert.In the method according to the invention is advantageous Way the previously disturbing and undesirable property of pyroelectric detector, the inevitable response time (Inertia) for emitting a measurement signal eliminated, that the difference between the intensity of the measuring beam and the intensity of the reference beam directly at the detector is formed. The considerable amount of circuitry previously required in the simplest for the evaluation of the measurement signals Trap reduced to a single amplifier.
Dies wird dadurch erreicht, daß der Meßstrahl und der Referenzstrahl mittels eines speziell ausgebildeten π-Choppers auf dem Weg zum Detektor alternierend unterbrochen werden, so daß die Differenz der Intensitäten direkt im Detektorelement erzeugt wird.This is achieved in that the measuring beam and the reference beam are alternately interrupted on the way to the detector by means of a specially designed π chopper, so that the difference in intensities is generated directly in the detector element.
Insbesondere erübrigt es sich, gemäß Gl. (1) die extrem kleine Differenz zweier großer Zahlen zu bilden, d. h. z. B.:In particular, according to Eq. (1) the extreme to make a small difference between two large numbers, d. H. e.g. B .:
ln I REF = 9,9999 Volt - ln I MESS = 9,9998 Volt (2)ln I REF = 9.9999 Volt - ln I MESS = 9.9998 volts (2)
alsoso
E = ln I REF - ln I MESS = 0,0001 Volt = 1 · 10-4 Volt. E = ln I REF - ln I MEAS = 0.0001 volt = 1 · 10 -4 volt.
Durch Verstärkung des Differenzsignals, z. B. um den Faktor 10+3, ergibt sich anstatt der Gl. 2:By amplifying the difference signal, e.g. B. by a factor of 10 +3 , instead of Eq. 2:
I REF - I MESS = 0,1 Volt (3) I REF - I MEAS = 0.1 volt (3)
D. h., daß anstelle der präzisen Darstellung der Zahlen 9,9999 und 9,9998 lediglich eine Darstellung der Zahl 0,1 auf eine Stelle hinter dem Komma, bei unveränderter Genauigkeit des Gesamtresultats, notwendig ist. Die Kosten für die A/D-Wandlung werden dann vernachlässigbar bzw. bei Erhöhung der Präzision des A/D-Wandlers ist dann eine entsprechende Erhöhung der Meßgenauigkeit des Gesamsystems möglich.This means that instead of the precise representation of the numbers 9.9999 and 9.9998 are just a representation of the number 0.1 to a position after the decimal point, with unchanged accuracy of the overall result. The cost of that A / D conversion then becomes negligible or when increasing the precision of the A / D converter is then a corresponding one Possible to increase the measuring accuracy of the overall system.
Die Erfindung ist im folgenden anhand von Ausführungsbeispielen mittels der Fig. 1-5 beschrieben. Dabei zeigtThe invention is described below with reference to exemplary embodiments using FIGS. 1-5. It shows
Fig. 1 das Grundprinzip des π-Chopper-Systems, Fig. 1 the basic principle of π -Chopper system,
Fig. 2 die π-Chopperscheibe 5 und das Filterrad 5 a nach Fig. 1 FIG. 2 shows the π chopper disk 5 and the filter wheel 5 a according to FIG. 1
Fig. 2a das Filterrad 5 a in Kombination mit einem anderen π-Chopper 5 b Fig. 2a, the filter wheel 5 a in combination with another π chopper 5 b
Fig. 3 die Detektorsignale bei Verwendung eines pyroelektrischen Detektors, Fig. 3, the detector signals using a pyroelectric detector,
Fig. 4 die Detektorsignale bei Verwendung eines photoelektrischen Detektors und Fig. 4 shows the detector signals when using a photoelectric detector and
Fig. 5 ein Blockschaltbild der elektrischen Signalverarbeitung. Fig. 5 is a block diagram of the electrical signal processing.
Die Strahlung einer Lichtquelle 1 durchläuft den Meßraum 2, der von dem zu untersuchenden Gas bzw. einer Flüssigkeit durchströmt wird. Anschließend wird die Strahlung z. B. durch eine Linse 3 auf einen Detektor 4 fokussiert. Im Strahlengang zwischen Lichtquelle 1 und Detektor 4 ist neben dem eigentlichen π-Chopper 5 mit den zugehörigen Versatzlochfolgen 6, 6 a (Öffnungen 7, 7 a) ein Filterrad 5 a angeordnet, welches verschiedene Kombinationen (9₁ . . . 9 n , 10₁ . . . 10 n ) von optischen Filterpaarungen 9 n , 10 n bzw. Gasfilterzellen 9, 10 für die jeweilige Meß- und Referenzwellenlänge eines zu messenden Stoffes enthält, wobei ein Meß- 8 und ein Referenzstrahl 8 a gebildet werden. Durch Änderung der Stellung des Filterrades 5 a können andere Wellenlängenkombinationen in den Strahlengang eingebracht werden, so daß mehrere Gase oder Flüssigkeiten nacheinander quasi-kontinuierlich bestimmt werden können. Die durch die Lochfolgen 6, 6 a (Öffnungen 7, 7 a) erzeugten Signale weisen eine wesentlich höhere Frequenz auf als die diskontinuierliche Weiterbewegung des Filterrades 5 a.The radiation from a light source 1 passes through the measuring space 2 , through which the gas or liquid to be examined flows. Then the radiation z. B. focused by a lens 3 on a detector 4 . In the beam path between light source 1 and detector 4 , in addition to the actual π chopper 5 with the associated offset hole sequences 6, 6 a (openings 7, 7 a), a filter wheel 5 a is arranged, which different combinations ( 9 ₁.. 9 n , 10 ₁ ... 10 n ) of optical filter pairs 9 n , 10 n or gas filter cells 9, 10 for the respective measuring and reference wavelength of a substance to be measured, whereby a measuring 8 and a reference beam 8 a are formed. By changing the position of the filter wheel 5 a , other wavelength combinations can be introduced into the beam path, so that several gases or liquids can be determined quasi-continuously in succession. The signals generated by the hole sequences 6, 6 a (openings 7, 7 a) have a significantly higher frequency than the discontinuous further movement of the filter wheel 5 a .
Erfindungsgemäß wird die Strahlung von dem in Fig. 2 gezeigten π-Chopper 5 periodisch zerhackt. Dieser Chopper weist eine erste Lochfolge 6 und eine zweite Lochfolge 6 a auf, deren erste Öffnungen 7 und zweite Öffnungen 7 a gegeneinander versetzt sind. So sieht der Detektor die in Fig. 3 dargestellten Signale A, C die den beiden Lochfolgen 6, 6 a zugeordnet sind und die Phasenverschiebung von 180° aufweisen. Verwendet man einen pyroelektrischen Detektor, so sind die Ausgangssignale jeweils proportional zur zeitlichen Temperaturänderung dt/dt der aktiven Schicht des Detektors. Da der Detektor 4 die Summe beider Signale bildet, erscheint an seinem Ausgang in dem oben beschriebenen Fall kein Signal B.According to the invention, the radiation from the π chopper 5 shown in FIG. 2 is chopped periodically. This chopper has a first hole sequence 6 and a second hole sequence 6 a , the first openings 7 and second openings 7 a are offset from one another. The detector sees the signals A, C shown in FIG. 3 , which are assigned to the two hole sequences 6, 6 a and have a phase shift of 180 °. If a pyroelectric detector is used, the output signals are proportional to the temperature change dt / dt of the active layer of the detector. Since the detector 4 forms the sum of the two signals, no signal B appears at its output in the case described above.
Bringt man in die beiden Teilstrahlengänge 8 und 8 a zwei optische Interferenzfilter 9 a und 10 a wobei das Meßfilter 9 a gemäß Fig. 1 bei einer Lichtwellenlänge optisch durchlässig ist, bei der das zu analysierende Medium optisch absorbiert während die Durchlaßwellenlänge des Referenzfilters 10 a so gewählt wird, daß keine Absorption auftritt, wird das Signal C (Fig. 3) des Lochkreises 6 geschwächt. Am Ausgang des Detektors 4 tritt demzufolge ein resultierendes Signal D auf, das mit wachsender Partialdichte n der absorbierenden Substanz gemäß dem Beerschen-Gesetz anwächst: Bring two optical interference filters 9 a and 10 a into the two partial beam paths 8 and 8 a , the measuring filter 9 a according to FIG. 1 being optically transparent at a light wavelength in which the medium to be analyzed is optically absorbed while the transmission wavelength of the reference filter 10 a is so is chosen that no absorption occurs, the signal C ( Fig. 3) of the bolt circle 6 is weakened. Accordingly, a resulting signal D appears at the output of the detector 4 , which increases with increasing partial density n of the absorbent substance in accordance with the Beers law:
I MESS = I REF e-α n·lbzw.: oder und damit Die gesuchte Partialdichte n ist damit aus dem bekannten Absorptionskoeffizienten α des Mediums, der optischen Weglänge l der Küvette 2, dem Detektorsignal (I MESS -I REF ) sowie der bekannten Intensität I REF des Referenzsignales gemäß Gleichung (5) zu ermitteln. Um zeitliche Driften des Referenzsignales, z. B. infolge von Driften der Lichtquelle bzw. des Detektors oder durch Verschmutzungen der optischen Fenster zu eliminieren, wird I REF in vorgegebenen Zeitabständen durch Einschwenken der Strahlblende 11 in den Strahlengang des Meßstrahles 8 gemessen und entsprechend dem aktuellen Wert in Gleichung (5) berücksichtigt. Um eine Übersteuerung des Detektors 4 zu verhindern, wird gleichzeitig der Referenzstrahl 8 a durch eine Lochblende 12 entsprechend abgeschwächt. Da die Strahlungsintensitäten sowie die optischen Transmissionen der Filter bei der Meß- und Referenzwellenlängen unterschiedlich sind, wird der intensivere Strahlungskanal mit einem ersten Strahlabschwächer 13 so stark geschwächt, bis das resultierende Signal am Detektor 4 verschwindet ("Nullpunktabgleich"). Während die Strahlblende 11 in vorgebbaren Zeitabständen zur Bestimmung von I ReF vorübergehend eingeschwenkt wird, bleibt der erste Strahlabschwächer 13 nach vollzogenem Nullpunktabgleich ständig im Strahl. In einer speziellen Ausbildung der Erfindung ist ein zweiter Strahlabschwächer 13 a anstelle des ersten Strahlabschwächers 13 als justierbare Einheit direkt auf dem Filterrad 5 a eingebracht. Der zweite Strahlabschwächer 13 a ist um einen Drehpunkt 14 drehbar gelagert und mittels Langloch 15 und Schraube 16 feststellbar. Eine zweite spezielle Ausbildung des f-Choppers ist in Fig. 2A dargestellt. Der andere π- Chopper 5 b besteht aus einer runden Scheibe die einen π/2- Segmentausschnitt 17 aufweist. Das resultierende Detektorsignal wird nach Gleichrichtung auf einen A/D-Wandler gegeben und weiterverarbeitet. Alternativ kann eine Weiterverarbeitung durch Einsatz eines Lock in-Verstärkers erfolgen. Dabei ist es zweckmäßig, anstelle der Grundfrequenz die erste und zweite Harmonische als Referenzsignal heranzuziehen. Anstelle von thermischen (z. B. pyroelektrischen) Detektoren, die gemäß Fig. 3 den zeitlichen Quotienten der Temperatur des strahlungsempfindlichen Elements proportionale Signale liefern, können unter demselben Prinzip auch photoelektrische Detektoren, z. B. Silizium- oder PbS-Detektoren, eingesetzt werden. Letztere weisen Ausgangssignale auf, die direkt proportional zum zeitlichen Intensitätsverlauf I der Strahlung am Detektor sind. Das resultierende Wechselsignal kann entsprechend der o. g. Vorgehensweise verarbeitet werden. Der einzige Unterschied in Fig. 3 besteht darin, daß ein Wechselsignal resultiert, dem ein Gleichpegel überlagert ist. Dieser störende Gleichpegel wird durch einen Hochpaß abgetrennt. Das Detetorsignal ist vor und nach dem Hochpaß in Fig. 4 undter A, G und C dargestellt. Azeigt den Signal-Zeitverlauf vom Meßstrahl 8 und Referenzstrahl 8 a vor dem NullpunktabgleichBzeigt die Verhältnisse nach Durchführung des Nullpunktabgleiches, d. h. nach entsprechender Schwächung der Intensität des stärkeren Teilstrahles durch den Abschwächer 13.Czeigt das Signal nach Durchlaufen des Hochpasses, d. h. nach Abtrennung des Gleichanteils.In Fig. 5 ist das Blockschaltbild der elektrischen Signalverarbeitung wiedergegeben. Das am Detektor 4 direkt anstehende Differenzsignal I Meß -I Ref gelangt über einen Hochpaß 18 zum Schmalbandverstärker 19, dessen Ausgangssignal über einen Umschalter 22 einem ersten Eingang 24 eines Dividierers 20 zugeführt wird. Alternativ wird das Signal über den Umschalter 22 auf ein Sample-Hold-Glied 23 gegeben, das mit dem zweiten Eingang 25 des Dividierers 20 verbunden ist. Solange der Umschalter 22 mit dem Sample-Hold-Glied 23 verbunden ist, befindet sich die Strahlblende 11 im Strahlengang des Meßstrahls während der Referenzstrahl 8 a durch die Lochblende 12 entsprechend abgeschwächt bzw. der Verstärkungsfaktor des Schmalbandverstärkers 19 entsprechend angepaßt wird. Gemäß Formel (5) erfolgt die Addition des Wertes +1,00 durch den Addierer 21, dessen Ausgangssignal auf eine Logarithmierer 26 gegeben wird. Durch Multiplikation des logarithmierten Wertes mit einem stoffabhängigen Faktor K (Eichfaktor) mit Hilfe des Verstärkers 27 wird ein Ausgangssignal erreicht, das zahlenmäßig mit der Konzentration 28 des zu messenden Stoffes übereinstimmt und am Konzentrationsanzeiger 28 ablesbar ist. Die phasenrichtige Steuerung des Schmalbandverstärkers 19, der ein Lock-in-Verstärker ist erfolgt über eine Lichtschranke 29, welche die Öffnungen 7, 7 a des π-Choppers durchstrahlt. Die Steuerung der Strahlblende 11 und des Umschalters 22 erfolgt durch eine Ablaufsteuerung 30, die hier digital ausgeführt ist und ebenfalls von der Lichtschranke 29 synchronisiert wird. I MESS = I REF e - α n · l or .: or and thus The partial density n sought can thus be determined from the known absorption coefficient α of the medium, the optical path length l of the cuvette 2 , the detector signal (I MEAS - I REF ) and the known intensity I REF of the reference signal according to equation ( 5 ). In order to drift the reference signal over time, e.g. B. due to drifts in the light source or the detector or by contamination of the optical windows, I REF is measured at predetermined time intervals by pivoting the beam aperture 11 into the beam path of the measuring beam 8 and taken into account in accordance with the current value in equation ( 5 ). In order to prevent overdriving of the detector 4 , the reference beam 8 a is simultaneously weakened accordingly by a pinhole 12 . Since the radiation intensities and the optical transmissions of the filters are different at the measurement and reference wavelengths, the more intensive radiation channel is weakened with a first beam attenuator 13 until the resulting signal at the detector 4 disappears ("zero point adjustment"). While the beam stop 11 temporarily swiveled into predeterminable time intervals for the determination of I ref, the first beam attenuator 13 remains after completion of zero point adjustment constantly in the beam. In a specific embodiment of the invention is a second beam attenuator 13 a instead of the first Strahlabschwächers 13 as adjustable unit directly on the filter 5 a is introduced. The second beam attenuator 13 a is rotatably mounted about a pivot point 14 and can be determined by means of an elongated hole 15 and screw 16 . A second special embodiment of the f- chopper is shown in Fig. 2A. The other π chopper 5 b consists of a round disk which has a π / 2 segment cutout 17 . After rectification, the resulting detector signal is passed to an A / D converter and processed further. Alternatively, further processing can be carried out using a lock-in amplifier. It is expedient to use the first and second harmonics as reference signals instead of the fundamental frequency. Instead of thermal (z. B. pyroelectric) detectors, which deliver signals proportional to the time quotient of the temperature of the radiation-sensitive element according to FIG. 3, photoelectric detectors, z. As silicon or PbS detectors can be used. The latter have output signals that are directly proportional to the temporal intensity profile I of the radiation at the detector. The resulting alternating signal can be processed according to the above procedure. The only difference in Fig. 3 is that an alternating signal results, on which a DC level is superimposed. This disturbing DC level is separated by a high pass. The detector signal is shown before and after the high-pass filter in Fig. 4 under A, G and C. A shows the signal-time profile of the measuring beam 8 and reference beam 8 a before the zero point adjustment B shows the situation after the zero point adjustment has been carried out, ie after the intensity of the stronger partial beam has been correspondingly weakened by the attenuator 13 . C shows the signal after passing through the high pass, ie after the DC component has been separated . FIG. 5 shows the block diagram of the electrical signal processing. The differential signal I meas - I Ref present directly at the detector 4 reaches the narrowband amplifier 19 via a high-pass filter 18 , the output signal of which is fed via a switch 22 to a first input 24 of a divider 20 . Alternatively, the signal is passed via the changeover switch 22 to a sample hold element 23 which is connected to the second input 25 of the divider 20 . As long as the switch 22 is connected to the sample-hold member 23, is the beam stop 11 in the beam path of the measuring beam while the reference beam 8 a through aperture 12 corresponding to attenuated or the gain of the narrow-band amplifier is adjusted according to the nineteenth According to formula (5), the value +1.00 is added by the adder 21 , the output signal of which is fed to a logarithmizer 26 . By multiplying the logarithmic value by a substance-dependent factor K (calibration factor) with the aid of the amplifier 27 , an output signal is obtained which corresponds numerically to the concentration 28 of the substance to be measured and can be read off from the concentration indicator 28 . The in-phase control of the narrow-band amplifier 19, which is a lock-in amplifier takes place via a light barrier 29 which, 7a of the π -Choppers radiated through the openings. 7 The beam diaphragm 11 and the switch 22 are controlled by a sequence control 30 , which is digital here and is also synchronized by the light barrier 29 .
Claims (13)
einer Strahlquelle (1),
einem Detektor (4),
einem im Strahlgang zwischen der Strahlenquelle und dem Detektor angeordneten, die Gase und/oder die flüssigen Substanzen enthaltenden Meßraum (2),
einer Chopperscheibe (5),
einem Filterrad (5 a) und
einer Auswerteeinrichtung (14) für die vom Detektor (4) gelieferten Meßsignale,
dadurch gekennzeichnet, daß
eine π-Chopperscheibe (5) vorhanden ist, die mindestens eine einen Meßstrahl definierende erste Öffnung (7 a) und mindestens eine einen Referenzstrahl definierende zweite Öffnung (7 b) aufweist und die Öffnungen so angeordnet sind, daß der Meßstrahl (8) und der Referenzstrahl (8 a) alternierend zum Detektor (4) gelangen, dessen Ausgangssignal der Differenz zwischen der Intensität des Meßstrahles und der Intensität des Referenzstrahles entspricht und das Filterrad (5 a) mehrere in den Meßstrahlgang einbringbare Küvetten (9, 10), die jeweils eine die Strahlung absorbierende gasförmige Komponente enthalten und/oder optische Interferenzfilter (9 a, 10 a) aufweist.5. Device for performing the method according to claims 1 to 4 with
a radiation source ( 1 ),
a detector ( 4 ),
a measuring space ( 2 ) arranged in the beam path between the radiation source and the detector and containing the gases and / or the liquid substances,
a chopper disc ( 5 ),
a filter wheel ( 5 a) and
an evaluation device ( 14 ) for the measurement signals supplied by the detector ( 4 ),
characterized in that
a π- chopper disc ( 5 ) is present, which has at least one first opening ( 7 a) defining a measuring beam and at least one second opening ( 7 b) defining a reference beam and the openings are arranged so that the measuring beam ( 8 ) and the Reference beam ( 8 a) alternate to the detector ( 4 ), the output signal of which corresponds to the difference between the intensity of the measuring beam and the intensity of the reference beam and the filter wheel ( 5 a) has a number of cuvettes ( 9, 10 ) that can be inserted into the measuring beam path, each one contain the radiation-absorbing gaseous component and / or have optical interference filters ( 9 a , 10 a) .
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19863623345 DE3623345A1 (en) | 1986-07-11 | 1986-07-11 | Method for selectively measuring the concentrations of IR to UV radiation-absorbing gaseous and/or liquid components in gases and/or liquid substances, and device for carrying out the method |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19863623345 DE3623345A1 (en) | 1986-07-11 | 1986-07-11 | Method for selectively measuring the concentrations of IR to UV radiation-absorbing gaseous and/or liquid components in gases and/or liquid substances, and device for carrying out the method |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE3623345A1 true DE3623345A1 (en) | 1988-01-21 |
Family
ID=6304910
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19863623345 Ceased DE3623345A1 (en) | 1986-07-11 | 1986-07-11 | Method for selectively measuring the concentrations of IR to UV radiation-absorbing gaseous and/or liquid components in gases and/or liquid substances, and device for carrying out the method |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE3623345A1 (en) |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3900562A1 (en) * | 1989-01-11 | 1990-07-12 | Ic Haus Gmbh | Monolithic circuit arrangement for amplifying and evaluating pulsating light signals with integrated light sensor |
DE3942375A1 (en) * | 1989-12-21 | 1991-06-27 | Guenter Knapp | DEVICE FOR SIMULTANEOUS DETECTION OF SEVERAL WAVELENGTH RANGES |
DE4109014A1 (en) * | 1991-03-20 | 1992-09-24 | Uwe Paetzold | Hardness testing using stamper of defined surface profile - applying light beam to optical fibre conveying light to transparent stamper and receiving light reflected from impressed surface |
EP0555508A1 (en) * | 1990-10-01 | 1993-08-18 | Krieg, Gunther, Prof.Dr.Ing. | Method and device for simultaneous determination of concentrations of molecular compounds in gases and liquids |
DE19616245A1 (en) * | 1996-04-15 | 1997-10-16 | Zam Zentrum Fuer Angewandte Mi | Non-destructive contactless testing method for sample substances in suspension |
DE29800213U1 (en) | 1998-01-09 | 1998-03-05 | Jeske, Uwe, 73635 Rudersberg | Device for calibration and calibration control for photometer process measurement technology |
DE10005923A1 (en) * | 2000-02-10 | 2001-08-23 | Draeger Sicherheitstech Gmbh | Infrared optical gas measuring device and gas measuring method |
DE102006016855A1 (en) * | 2006-04-07 | 2007-10-11 | Emerson Process Management Gmbh & Co. Ohg | Method and device for measuring the optical absorption of samples |
DE102008063463A1 (en) * | 2008-12-17 | 2010-07-01 | Siemens Aktiengesellschaft | Measuring- and reference signals detecting method for determine spectrum of e.g. conveyor belt, involves modulating reference and measuring signals by medium e.g. micro electromechanical system |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE1598467B1 (en) * | 1967-07-26 | 1972-03-16 | Frieseke & Hoepfner Gmbh | DEVICE FOR CONTACTLESS MEASUREMENT OF HUMIDITY OR THE CONCENTRATION OF OTHER SUBSTANCES IN MOVING BALANCES |
DE2320252B2 (en) * | 1972-04-21 | 1974-10-24 | Office National D'etudes Et De Recherches Aerospatiales, Chatillon-Sousbagneux, Hauts-De-Seine (Frankreich) | Method and device for the quantitative determination of a gaseous component |
DE2350004A1 (en) * | 1973-07-20 | 1975-04-17 | Uranit Gmbh | METHOD AND DEVICE FOR MEASURING THE CONTENT OF A COMPONENT OF A RADIANT MIXTURE |
DE2403368B2 (en) * | 1973-01-31 | 1976-01-15 | Wilks Scientific Corp., South Norwalk, Conn. (V.St.A.) | PHOTOMETRIC DEVICE |
DE2334964B2 (en) * | 1971-09-07 | 1978-10-12 | Chrysler Corp., Highland Park, Mich. (V.St.A.) | Spectrophotometer |
DE2856162A1 (en) * | 1978-12-27 | 1980-07-24 | Draegerwerk Ag | ARRANGEMENT FOR DETERMINING A MEDIUM |
DE3137658C2 (en) * | 1981-09-22 | 1985-06-05 | H. Maihak Ag, 2000 Hamburg | Device for measuring the concentration of an IR, NIR, VIS or UV radiation absorbing gas in a gas matrix |
DE3402800A1 (en) * | 1984-01-27 | 1985-08-01 | Hartmann & Braun Ag, 6000 Frankfurt | Photometer operating according to the gas filter correlation method |
-
1986
- 1986-07-11 DE DE19863623345 patent/DE3623345A1/en not_active Ceased
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE1598467B1 (en) * | 1967-07-26 | 1972-03-16 | Frieseke & Hoepfner Gmbh | DEVICE FOR CONTACTLESS MEASUREMENT OF HUMIDITY OR THE CONCENTRATION OF OTHER SUBSTANCES IN MOVING BALANCES |
DE2334964B2 (en) * | 1971-09-07 | 1978-10-12 | Chrysler Corp., Highland Park, Mich. (V.St.A.) | Spectrophotometer |
DE2320252B2 (en) * | 1972-04-21 | 1974-10-24 | Office National D'etudes Et De Recherches Aerospatiales, Chatillon-Sousbagneux, Hauts-De-Seine (Frankreich) | Method and device for the quantitative determination of a gaseous component |
DE2403368B2 (en) * | 1973-01-31 | 1976-01-15 | Wilks Scientific Corp., South Norwalk, Conn. (V.St.A.) | PHOTOMETRIC DEVICE |
DE2350004A1 (en) * | 1973-07-20 | 1975-04-17 | Uranit Gmbh | METHOD AND DEVICE FOR MEASURING THE CONTENT OF A COMPONENT OF A RADIANT MIXTURE |
DE2856162A1 (en) * | 1978-12-27 | 1980-07-24 | Draegerwerk Ag | ARRANGEMENT FOR DETERMINING A MEDIUM |
DE3137658C2 (en) * | 1981-09-22 | 1985-06-05 | H. Maihak Ag, 2000 Hamburg | Device for measuring the concentration of an IR, NIR, VIS or UV radiation absorbing gas in a gas matrix |
DE3402800A1 (en) * | 1984-01-27 | 1985-08-01 | Hartmann & Braun Ag, 6000 Frankfurt | Photometer operating according to the gas filter correlation method |
Non-Patent Citations (2)
Title |
---|
DD-Z.: Feingerätetechnik 35, 1986, 3, S. 115-117 * |
DE-Z.: Siemens Forsch.- u. Entwickl.-Berichte 15, 1986,3, S.105-114 * |
Cited By (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3900562A1 (en) * | 1989-01-11 | 1990-07-12 | Ic Haus Gmbh | Monolithic circuit arrangement for amplifying and evaluating pulsating light signals with integrated light sensor |
DE3942375A1 (en) * | 1989-12-21 | 1991-06-27 | Guenter Knapp | DEVICE FOR SIMULTANEOUS DETECTION OF SEVERAL WAVELENGTH RANGES |
US5206708A (en) * | 1989-12-21 | 1993-04-27 | Knapp Guenter | Apparatus for the simultaneous detection of ranges of wavelengths |
EP0555508A1 (en) * | 1990-10-01 | 1993-08-18 | Krieg, Gunther, Prof.Dr.Ing. | Method and device for simultaneous determination of concentrations of molecular compounds in gases and liquids |
DE4109014A1 (en) * | 1991-03-20 | 1992-09-24 | Uwe Paetzold | Hardness testing using stamper of defined surface profile - applying light beam to optical fibre conveying light to transparent stamper and receiving light reflected from impressed surface |
DE19616245C2 (en) * | 1996-04-15 | 1998-06-18 | Zam Zentrum Fuer Angewandte Mi | Method and arrangement for non-destructive, non-contact testing and / or evaluation of solids, liquids, gases and biomaterials |
DE19616245A1 (en) * | 1996-04-15 | 1997-10-16 | Zam Zentrum Fuer Angewandte Mi | Non-destructive contactless testing method for sample substances in suspension |
DE29800213U1 (en) | 1998-01-09 | 1998-03-05 | Jeske, Uwe, 73635 Rudersberg | Device for calibration and calibration control for photometer process measurement technology |
DE10005923A1 (en) * | 2000-02-10 | 2001-08-23 | Draeger Sicherheitstech Gmbh | Infrared optical gas measuring device and gas measuring method |
DE10005923C2 (en) * | 2000-02-10 | 2002-06-27 | Draeger Safety Ag & Co Kgaa | Infrared optical gas measuring device and gas measuring method |
US6583417B2 (en) | 2000-02-10 | 2003-06-24 | Drager Sicherheitstechnik Gmbh | Infrared optical gas-measuring device and gas-measuring process |
DE102006016855A1 (en) * | 2006-04-07 | 2007-10-11 | Emerson Process Management Gmbh & Co. Ohg | Method and device for measuring the optical absorption of samples |
DE102008063463A1 (en) * | 2008-12-17 | 2010-07-01 | Siemens Aktiengesellschaft | Measuring- and reference signals detecting method for determine spectrum of e.g. conveyor belt, involves modulating reference and measuring signals by medium e.g. micro electromechanical system |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE2727976C3 (en) | Device for measuring the concentration of at least one component of a gas mixture and method for calibrating the same | |
DE69127670T2 (en) | Optical analyzer | |
EP0076356B1 (en) | Method and device for the measurement of a component absorbing an infrared, near infrared, visible or ultraviolet radiation in a mixture | |
DE2324049C3 (en) | Photoelectric analysis device | |
DE102009021829A1 (en) | NDIR dual-jet gas analyzer and method for determining the concentration of a sample gas component in a gas mixture by means of such a gas analyzer | |
DE3912708A1 (en) | CORRELATION GAS ANALYZER | |
DE3615259C2 (en) | ||
DE3524368A1 (en) | INFRARED GAS ANALYZER WITH CALIBRATION DEVICE | |
DE69315015T2 (en) | Spectrophotometric method and spectrophotometer to carry out the method | |
DE3623345A1 (en) | Method for selectively measuring the concentrations of IR to UV radiation-absorbing gaseous and/or liquid components in gases and/or liquid substances, and device for carrying out the method | |
EP0218213B1 (en) | Method and device for the on-line measurement of transmission or reflection by moving objects in the field of detectable electromagnetic radiation | |
DE3541165C2 (en) | ||
DE3524189C2 (en) | Infrared gas analyzer | |
DE4111187C2 (en) | Method for measuring the optical absorbency of samples while eliminating the display error with regard to gas-physical properties and device for carrying out the method | |
DE3238179C2 (en) | ||
DE3784206T2 (en) | GAS ANALYZER. | |
EP0555508B1 (en) | Method and device for simultaneous determination of concentrations of molecular compounds in gases and liquids | |
DE3743684A1 (en) | DEVICE FOR MEASURING THE GAS OR CONCENTRATION. VAPOR COMPONENTS OF A FLUID MIXTURE | |
DE3544015C2 (en) | ||
DE3008345C2 (en) | Spectrophotometer for determining the concentration of a sought-after component of a sample | |
EP0076886A1 (en) | Method and device for the measurement of the concentration ratio of 2 components in a mixture, absorbing infrared, near infrared, visible or ultraviolet radiation | |
DE10258713B4 (en) | Method and device for determining characteristic layer parameters at high temperatures | |
DE3633916C2 (en) | ||
EP0020801A1 (en) | Double-beam infrared spectrometer | |
DE2903328B1 (en) | Method and device for pyrometric measurement of the graphite tube temperature in a graphite tube envelope |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OP8 | Request for examination as to paragraph 44 patent law | ||
8131 | Rejection |