DE3581659D1 - Photolackentferner und verfahren zum entfernen von photolacken. - Google Patents

Photolackentferner und verfahren zum entfernen von photolacken.

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DE3581659D1 DE8585105992T DE3581659T DE3581659D1 DE 3581659 D1 DE3581659 D1 DE 3581659D1 DE 8585105992 T DE8585105992 T DE 8585105992T DE 3581659 T DE3581659 T DE 3581659T DE 3581659 D1 DE3581659 D1 DE 3581659D1
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paint remover
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English (en)
Inventor
Robert Martin
Majorie Perkins
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Shipley Co Inc
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Shipley Co Inc
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    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/26—Processing photosensitive materials; Apparatus therefor
    • G03F7/42—Stripping or agents therefor
    • G03F7/422—Stripping or agents therefor using liquids only
    • G03F7/425—Stripping or agents therefor using liquids only containing mineral alkaline compounds; containing organic basic compounds, e.g. quaternary ammonium compounds; containing heterocyclic basic compounds containing nitrogen
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