DE3542121A1 - MEASURING DEVICE FOR ELECTRONIC COMPONENTS - Google Patents

MEASURING DEVICE FOR ELECTRONIC COMPONENTS

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Description

TER MEER · MÜLLER · STEINMEISTFK 3542121TER MEER MÜLLER STEINMEISTFK 3542121

Meßvorrichtung für elektronische BauelementeMeasuring device for electronic components

Beschreibungdescription

Die Erfindung betrifft eine Meßvorrichtung für elektronische Bauelemente gemäß dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1.The invention relates to a measuring device for electronic components according to the preamble of the patent claim 1.

Die Erfindung bezieht sich allgemein auf eine Vorrichtung zur Messung von charakteristischen Daten bzw. Kennlinien von elektronischen Bauelementen, wie Transistoren, Dioden usw.The invention relates generally to a device for measuring characteristic data or characteristic curves of electronic components such as transistors, diodes, etc.

Eine Meßvorrichtung für elektronische Bauelemente, allgemein auch als Kennlinienschreiber bezeichnet , wird zur Messung der Kennlinien von elektronischen Bauelementen wie Transistoren, Dioden usw. eingesetzt. Eine typische konventionelle Meßvorrichtung für elektronische Bauelemente ist in Fig. 1 dargestellt, bei der eine Wechselspannung aus einem Stromnetz über einen Schalter 10 zu einer Stromversorgungsschaltung 12 und einem Stelltransformator 14 geführt wird. Die Stromversorgungsschaltung 12 erzeugt Gleichspannungen für jeden Schaltkreis der Meßvorrichtung und der Stelltransformator 14 liefert eine Wechselspannung mit geregelter Amplitude an die Primärwicklung eines Transformators 16. Eine große Anzahl von Anzapfungen sind auf einer Sekundärwicklung des Transformators 16 vorgesehen und eine dieser Anzapfungen, ausgenommen der unterste Anschluß, ist mit einem Schalter 18 ausgewählt. Eine Diode 20 ist ein Einweggleichrichter, der die Wechselspannung, dieA measuring device for electronic components, generally also referred to as a characteristic curve recorder, is used to measure the characteristics of electronic components such as transistors, diodes, etc. One typical conventional measuring device for electronic Components is shown in Fig. 1, in which an alternating voltage from a power grid via a switch 10 to a power supply circuit 12 and a variable transformer 14 is performed. The power supply circuit 12 generates DC voltages for each circuit the measuring device and the variable transformer 14 supplies an alternating voltage with a regulated amplitude to the primary winding of a transformer 16. A large number of taps are on a secondary winding of the transformer 16 is provided and one of these taps, with the exception of the lowest connection, is selected with a switch 18. A diode 20 is a half-wave rectifier, which the AC voltage, the

TER MEER ■ MÜLLER · STE1NMEISTFR Q C / O Λ Ο Λ TER SEA ■ MÜLLER · STE1NMEISTFR QC / O Λ Ο Λ

vom Schalter 18 kommt, gleichrichtet. Diese Elemente 10 bis 20 bilden eine Schaltung 21 für eine gleitende Kollektorversorgungsspannung. Die Kathodenspannung der Diode 20 wird einem ersten Anschluß des Testbauelementes (DüT), im allgemeinen dem Kollektor eines Transistors 26 über einen Lastwiderstand 24, der mit einem Schalter 22 gewählt wird, zugeführt. Die Basis des Transistors 26 erhält ein abgestuftes Vorspannungssignal von einer Vorspannungsversorgungsschaltung 28 und der Emitter desselben als zweiter Anschluß ist geerdet. Der unterste Anschluß der Sekundärwicklung des Transformators 16 ist mit dem Emitter des Transistors 26 über einen Widerstand zur Kollektorstrommessung 32, der mit einem Schalter gewählt wird, verbunden. Ein Spannungsteiler 36, der mit einem Schalter 34 gewählt wird, teilt die Kollektorspannung Vp des Transistors 26, und die geteilte Spannung wird den horizontalen Ablenkplatten einer Kathodenstrahlröhre (GRT) 40 über einen Verstärker 38 mit einer hohen Eingangsimpedanz zugeführt. Ein Differentialverstärker 42 arbeitet als ein Spannungsmesser mit einem hohen Eingangswiderstand, der eine Spannung über dem Widerstand 32 (die proportional dem Kollektorstrom Ic ■ ist) mißt und diese den vertikalen Ablenkplatten der GRT 40 zuführt. Die GRT 40 kann daher die Vc-Ic-Kennlinie des Transistors 26 anzeigen. In Fig. 1 ist das DUT 26 ein Transistor in Emitterschaltung. Letztlich kann jede Elektrode des Transistors an Erde gelegt werden und das DUT kann auch ein anderes elektronisches Bauteil, wie z.3. eine Diode, sein. In jedem Fall kann die Spannung-Strom-Kennlinie des DUT auf der CRT 40 dargestellt werden.comes from switch 18, rectifies. These elements 10 to 20 constitute a floating collector supply voltage circuit 21. The cathode voltage of the Diode 20 is a first terminal of the test device (DUT), generally the collector of a transistor 26 via a load resistor 24, which is selected with a switch 22, supplied. The base of the transistor 26 receives a graduated bias signal from a bias supply circuit 28 and the emitter the same as the second connection is earthed. The lowermost connection of the secondary winding of the transformer 16 is to the emitter of transistor 26 via a resistor for collector current measurement 32, which is connected to a switch is selected, connected. A voltage divider 36, which is selected with a switch 34, divides the collector voltage Vp of transistor 26, and the divided voltage is applied to the horizontal baffles of a cathode ray tube (GRT) 40 is supplied through an amplifier 38 having a high input impedance. A differential amplifier 42 works as a voltmeter with a high input resistance showing a voltage above the Resistor 32 (which is proportional to the collector current Ic ■) measures and this the vertical deflection plates of the GRT 40 feeds. The GRT 40 can therefore use the Vc-Ic characteristic of transistor 26 show. In Fig. 1, DUT 26 is a common-emitter transistor. Ultimately each electrode of the transistor can be connected to ground and the DUT can also use another electronic one Component, such as 3. a diode. In any case, the voltage-current characteristic of the DUT on the CRT 40 being represented.

Die Schalter 30 und 34 werden andererseits entsprechend einem gewünschten Meßbereich eingestellt. Eine horizontale Ausdehnung auf dem Bildschirm wird durch das Teilerverhältnis des Spannungsteilers 36, das mit demThe switches 30 and 34, on the other hand, are set according to a desired measurement range. A horizontal one Expansion on the screen is determined by the division ratio of the voltage divider 36, which is with the

Tf'R MEER ■ MÖLLER · STHNMEISTrRTf'R MEER ■ MÖLLER · STHNMEISTrR

34-4^4-24-34-4 ^ 4-24-

Schalter 34 gewählt wird, festgelegt, die vertikale Ausdehnung dagegen wird durch einen Wert des Widerstandes 32, der mit dem Schalter 30 gewählt wird, bestimmt. Die höchste Spannung, die dem DUT zugeführt wird, oder der Meßbereich wird durch Einstellen des veränderbaren Transformators 14 und die Wahl des Schalters 18 bestimmt. Es ist daher notwendig, als Widerstand 32 den kleinen Wert zu wählen, wenn ein hoher Stromfluß durch das DUT gemessen wird und es ist notwendig, den Spannungsteiler 36 so einzustellen, daß man ein großes Teilerverhältnis hat, wenn eine hohe Spannung über dem DUT gemessen wird.Switch 34 is selected, determined, the vertical extent, however, is determined by a value of the resistor 32, which is selected with the switch 30 is determined. The highest voltage fed to the DUT or the measuring range is determined by setting the variable transformer 14 and the choice of switch 18. It it is therefore necessary to select the small value as resistor 32 when a high current flow through the DUT is measured and it is necessary to set the voltage divider 36 so that one has a large division ratio, when a high voltage is measured across the DUT.

Wie oben beschrieben, ist der Spannungsteiler 36 notwendig, um den Meßbereich einzustellen. Wegen des Spannungsteilers 36 ist der Strom der durch den gewählten Widerstand 32 fließt, gleich der Summe des Kollektorstromes des Transistors 26 und des Stromes, der durch den Spannungsteiler 36 fließt. Es sollte festgehalten werden, daß der Basisstrom des Transistors 26 nach Masse zu der Vorspannungsversorgungsschaltung 28 und nicht durch den Widerstand 32 fließt, da der Betrag des Ausgangsstroms der Kollektorspannungsversorgungsschaltung 21 (an der Kathode der Diode 20) gleich dem Betrag des Eingangstrom (am untersten Anschluß des TransformatorsAs described above, the voltage divider 36 is necessary to set the measuring range. Because of the voltage divider 36 is the current flowing through the selected resistor 32, equal to the sum of the collector current of transistor 26 and the current flowing through voltage divider 36. It should be held on that the base current of the transistor 26 to ground to the bias supply circuit 28 and not flows through the resistor 32 as the amount of the output current of the collector voltage supply circuit 21 (at the cathode of the diode 20) equal to the amount of the input current (at the lowest connection of the transformer

16) ist. Die Spannung über dem Widerstand 32 ist daher nicht direkt dem Kollektorstrom des Transistors 26 proportional und führt daher zu einem Fehler im Meßergebnis. 16) is. The voltage across resistor 32 is therefore not directly proportional to the collector current of transistor 26 and therefore leads to an error in the measurement result.

Eine andere konventionelle Meßvorrichtung, die diesen Meßfehler vermeidet, ist der Tektronix-Kennlinienschreiber Modell 576, und ein vereinfachtes Blockschaltbild ist in Fig. 2 dargestellt. Fig. 2 zeigt nur die verbesserten Teile des Blockschaltbildes Fig. 1. In Fig. 2 liegt ein erster Spannungsteiler 36, bestehend aus den Widerständen 44 und 46, zwischen dem Kollektor des Tran-Another conventional measurement device that avoids this measurement error is the Tektronix chart recorder Model 576 and a simplified block diagram is shown in FIG. Fig. 2 shows only the improved ones Parts of the block diagram of FIG. 1. In FIG. 2, there is a first voltage divider 36, consisting of the Resistors 44 and 46, between the collector of the tran-

TER MEER · MÜLLER · STEINMEISTE^TER MEER · MÜLLER · STEINMEISTE ^

sistors 26 und der Seite des Widerstandes zur Strommessung 32, die der Kollektorspannungsquelle zugewandt ist und ein zweiter Spannungsteiler 52 bestehend aus den Widerständen 48 und 50, parallel zum Widerstand 32. Die Teilerausgänge des ersten und zweiten Spannungsteilers 36 und 52 werden einem Differentialverstärker 54 zugeführt. Es sollte festgehalten werden, daß der Wert des Widerstandes 32 und das Teilerverhältnis des ersten Spannungsteilers 36 veränderbar ist. Da ein Strom, der durch den Spannungsteiler 36 fließt, nun auch durch den Spannungsteiler 52 anstatt nur durch den Widerstand 32 fließt, und da die Werte der Widerstände 48 und 50 sehr groß sind, führt dieser Teilstrom nicht zu einem Meßfehler. Eine Spannung über dem ersten Spannungsteiler 36 entspricht nicht der Spannung zwischen dem Kollektor und dem Emitter des Transistors 26 (dem ersten und dem zweiten Anschluß des DUT) wegen dem Spannungsabfall am Widerstand 32, die Ausgangsspannung des Differentialverstärkers 54 ist jedoch von der Spannung über dem Widerstand 32 nicht beeinflußt, da das Teilerverhältnis des zweiten Spannungsteilers 52 dem des ersten Spannungsteilers 36 gleichgesetzt ist. Bei dieser Ausführung sind die Werte der Widerstände 48 und 50 mit Rücksicht auf den Wert des Widerstandes 32 sehr groß eingesetzt worden. Wie auch immer, wenn als Widerstand 32 ein großer Widerstand mit dem Schalter 30 gewählt wurde,um einen kleinen Strom zumessen, so wird ein kleiner Teil des Kollektorstromes des Transistors 26 in den zweiten Spannungsteiler 52 abgeleitet. Daher erscheintsistor 26 and the side of the resistor for current measurement 32 facing the collector voltage source and a second voltage divider 52 consisting of resistors 48 and 50, parallel to resistor 32. It should be noted that the value of the resistor 32 and the division ratio of the first voltage divider 36 are variable. Since a current flowing through the voltage divider 36 now also flows through the voltage divider 52 instead of just through the resistor 32, and since the values of the resistors 48 and 50 are very large, this partial current does not lead to a measurement error. A voltage across the first voltage divider 36 does not correspond to the voltage between the collector and emitter of transistor 26 (the first and second terminals of the DUT) because of the voltage drop across resistor 32, but the output voltage of differential amplifier 54 is of the voltage across the resistor 32 is not influenced, since the division ratio of the second voltage divider 52 is set equal to that of the first voltage divider 36. In this embodiment, the values of the resistors 48 and 50 have been used very large in view of the value of the resistor 32. However, if a large resistance with the switch 30 was selected as the resistor 32 in order to measure a small current, a small part of the collector current of the transistor 26 is diverted into the second voltage divider 52. Hence appears

30 der Fehler im Meßergebnis.30 the error in the measurement result.

Dieser Meßfehler wurde beim Tektronix-Kennlinienschreiber Modell 577 beseitigt, dessen wesentlicher Teil in Fig. 3 dargestellt ist. In Fig. 3 ist der Kollektor von Transistor 26 (der erste Anschluß des DUT) mit einem Trennverstärker 56 verbunden und dessen Ausgangsspan-This measurement error has been eliminated in the Tektronix model 577 chart recorder, the major part of which is described in Fig. 3 is shown. In Fig. 3, the collector of transistor 26 (the first terminal of the DUT) is with one Isolation amplifier 56 connected and its output voltage

TER MEER · MÜLLER · STEINMEISTER o TER MEER · MÜLLER · STEINMEISTER o

— σ —- σ -

nung an den Spannungsteiler 36 gelegt. Da die Eingangsimpedanz des Trennverstärkers 56 sehr hoch ist, fließt nur der Kollektorstrom des Transistors 26 durch den Widerstand 32 zur Strommessung. Darüberhinaus ist die geteilte Ausgangsspannung des Spannungsteilers 36 genau proportional zur Kollektorspannung des Transistors 26. Ss gibt verschiedene Arten von DUTs einschließlich eines Hochspannungstransistors, so daß die Eingangsspannung des Trennverstärkers 56 in einem großen Bereich vari- -10 iert. Deswegen sollte der Trennverstärker 56 potentialfrei sein. Der potentialfreie Verstärker erfordert eine besondere Stromversorgung, einen Schaltverstärker usw., und die Meßvorrichtung wird komplex und teuer in ihrer Konstruktion.voltage applied to the voltage divider 36. As the input impedance of the isolation amplifier 56 is very high, only the collector current of the transistor 26 flows through the resistor 32 for current measurement. In addition, the divided output voltage of voltage divider 36 is accurate proportional to the collector voltage of transistor 26. Ss are several types of DUTs including one High voltage transistor, so the input voltage of the isolation amplifier 56 varies over a wide range. Therefore the isolation amplifier 56 should be potential-free be. The potential-free amplifier requires a special power supply, a switching amplifier, etc., and the measuring device becomes complex and expensive to construct.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Meßvorrichtung zu schaffen, die die Eigenschaften elektronischer Bauteile genau mißt, die ferner in der Lage ist, einen Strom, der durch ein DUT fließt, genau zu messen, ungeachtet eines Spannungsteilers, der mit dem DUT verbunden ist und die keinen komplexen und teueren potentialfreien Trennverstärker erfordert.The invention is based on the object of creating a measuring device which has the properties of electronic Accurately measures components that is also able to accurately measure a current flowing through a DUT, regardless of a voltage divider connected to the DUT that does not have complex and expensive floating Isolation amplifier required.

Andere Formen und Vorteile der Erfindung sind in Ver-5 bindung mit den begleitenden Zeichnungen möglich, ohne den Rahmen der Erfindung zu verlassen.Other forms and advantages of the invention are possible in conjunction with the accompanying drawings without to leave the scope of the invention.

Die Lösung der gestellten Aufgabe ist im kennzeichnenden Teil des Patentanspruches 1 angegeben. Vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind den Unteransprüchen zu entnehmen.The solution to the problem posed is given in the characterizing part of claim 1. Advantageous configurations the invention can be found in the subclaims.

Die Meßvorrichtung für elektronische Bauelemente nach der Erfindung besitzt eine Stromversorgung, um eine Spannung zwischen dem ersten und zweiten Anschluß des DUT anzule-The measuring device for electronic components according to the Invention has a power supply to apply a voltage between the first and second terminals of the DUT.

TER MEER · MÜLLER · STEINMEISTER ^ R Λ ? 1 9TER MEER · MÜLLER · STEINMEISTER ^ R Λ? 1 9

gen, einen Widerstand zur Strommessung, der zwischen der Stromversorgung und dem zweiten Anschluß des DUT liegt, einen Spannungsteiler, der zwischen der Seite des Widerstandes zur Strommessung, die zur Stromversorgung führt und dem ersten Anschluß des DUT liegt, einen ersten Trennverstärker, der mit seinem Eingang am Ausgang des Spannungsteilers liegt, einen zweiten Trennverstärker, der mit seinem Eingang mit dem zweiten Anschluß des DUT verbunden ist, einen dritten Trennverstärker, der mit seinem Eingang mit der Seite des Widerstandes zur Strommessung, die zur Stromversorgung führt, verbunden ist und einen Operationsverstärker, um die Signale von dem ersten, zweiten und dritten Trennverstärker zu empfangen.gen, a resistor for measuring current, which is placed between the Power supply and the second connection of the DUT, a voltage divider between the side of the resistor to measure the current that leads to the power supply and the first connection of the DUT, a first isolation amplifier, which has its input at the output of the Voltage divider, a second isolation amplifier, which has its input connected to the second terminal of the DUT is, a third isolation amplifier, whose input is connected to the resistor side for current measurement, which leads to the power supply, is connected and an operational amplifier to receive the signals from the first, to receive second and third isolation amplifiers.

Da der Spannungsteiler, der die Spannung zwischen dem ersten und zweiten Anschluß des DUT teilt, nicht mit der gemeinsamen Verbindung des zweiten Anschlusses des DUT und des Widerstandes zur Strommessung verbunden ist und da die Eingangsimpedanzen der Trennverstärker sehr hoch sind, fließt nur der Strom, der zwischen dem ersten und zweiten Anschluß des DUT fließt, auch durch den Widerstand zur Strommessung und daher kann dieser Strom genau bestimmt werden. Weil der erste Trennverstärker die Spannung des ersten Anschlusses geteilt durch den Spannungsteiler erhält, empfängt dieser erste Trennverstärker nicht die hohe Spannung und muß daher nicht potentialfrei sein. Wenn der Spannungsteiler die Spannung zwischen dem ersten und zweiten Anschluß des DUT teilt, entsteht eine fehlerhafte Spannung wegen des Spannungsabfalls am Widerstand zur Strommessung. Diese fehlerhafte Spannung wird dadurch kompensiert, daß die Ausgangssignale des ersten, zweiten und dritten Trennverstärkers zur Operationsschaltung geleitet werden. Der zweite Trennverstärker verhindert, daß der Strom am zweiten Anschluß des DUT in die Operationsschaltung fließt und der dritte Trennverstärker verhindert, daß der StromBecause the voltage divider, which divides the voltage between the first and second terminal of the DUT, does not communicate the common connection of the second connection of the DUT and the resistor for current measurement is connected and since the input impedances of the isolation amplifiers are very high, only the current flows between the first and second terminal of the DUT flows, also through the resistor for current measurement and therefore this current can can be precisely determined. Because the first isolation amplifier divides the voltage of the first connection by the Receives voltage divider, this first isolating amplifier does not receive the high voltage and therefore does not have to be potential-free be. When the voltage divider divides the voltage between the first and second terminals of the DUT, a faulty voltage occurs due to the voltage drop at the resistor for current measurement. This incorrect voltage is compensated for by the output signals of the first, second and third isolation amplifiers are fed to the operational circuit. Of the Second isolating amplifier prevents the current from flowing into the operational circuit at the second terminal of the DUT and the third isolation amplifier prevents the current

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von der Spannungsquelle des zweiten Trennverstärkers durch dessen Ausgangsanschluß und die Operationsschaltung zur Spannungsquelle des DUT fließt. So kann die Messung genau durchgeführt werden.flows from the voltage source of the second isolation amplifier through its output terminal and the operational circuit to the voltage source of the DUT. So can the measurement can be carried out accurately.

Die Zeichnung zeigt ein Ausführungsbeispiel der Erfindung. Es zeigenThe drawing shows an embodiment of the invention. Show it

i?ig. 1 ein Blockschaltbild einer üblichen MeßT i? ig. 1 is a block diagram of a conventional measuring T

vorrichtung für elektronische Bauelemente, device for electronic components,

Fig. 2 ein vereinfachtes Blockschaltbild einer anderen üblichen Meßvorrichtung für elekFig. 2 is a simplified block diagram of another conventional measuring device for elek

tronische Bauelemente,tronic components,

Pig. 3 ein vereinfachtes Blockschaltbild einer dritten üblichen Meßvorrichtung für elektronische Bauelemente undPig. 3 is a simplified block diagram of a third conventional measuring device for electronic components and

Pig. 4 ein Schaltbild eines Teils einer elektronischen Meßvorrichtung für elektronische Bauelemente gemäß der Erfindung. 25Pig. 4 is a circuit diagram of part of an electronic measuring device for electronic Components according to the invention. 25th

In Fig. 4 ist ein Schaltbild eines Teils einer bevorzugten Ausführung der Erfindung gezeigt, mit dem Spannungsmesser zur Abtastung der Spannung über dem DUT. Diese Ausführung benutzt die Kelvin-Abtasttechnik, um zu vermeiden, daß das Meßergebnis durch Kontaktwiderstände beeinträchtigt ist, wenn das DUT mit der Meßvorrichtung für elektronische Bauelemente verbunden ist. Der Kollektor des Transistors 26 als DUT berührt die Kontakte 58 undReferring to Figure 4, there is shown a circuit diagram of a portion of a preferred embodiment of the invention, including the voltmeter to sample the voltage across the DUT. This version uses the Kelvin scanning technique to avoid that the measurement result is impaired by contact resistances when the DUT with the measuring device for electronic components is connected. The collector of transistor 26 as a DUT touches contacts 58 and

TER MEER · MÜLLER ■ STEiNMEISTER O C / J Λ J -1TER MEER · MÜLLER ■ STEiNMEISTER O C / J Λ J -1

und der Emitter desselben die Kontakte 62 und 64. Dies wird bewerkstelligt, indem die Elektrode des Transistors zwischen die beiden Kontakte geklemmt wird. Die Kontakte 58 und 60 gehören zum ersten Anschluß des DUT und die Kontakte 62 und 64 zu dem zweiten Anschluß desselben. Der Kontakt 58 ist über den gewählten Lastwiderstand 24 mit einer Elektrode der potentialfreien Kollektorstromversorgung 21 und der Kontakt 62 über den gewählten Widerstand zur Strommessung 32 mit der anderen Elektrode der potentialfreien Kollektorstromversorgung 21 verbunden. Die Kollektorstromversorgung 21 kann die Schaltung sein, die aus dem Transformator 16, dem Umschalter 18 und der Diode 20 nach Pig. 1 besteht. Der Kontakt 62 ist geerdet für den Basiskreis-Stromverlauf.and its emitter has contacts 62 and 64. This is done by clamping the electrode of the transistor between the two contacts. the Contacts 58 and 60 belong to the first terminal of the DUT and contacts 62 and 64 belong to the second terminal of the same. The contact 58 is via the selected load resistor 24 with an electrode of the potential-free collector power supply 21 and the contact 62 via the selected resistance for current measurement 32 with the other Electrode of floating collector power supply 21 connected. The collector power supply 21 can Be the circuit that consists of the transformer 16, the changeover switch 18 and the diode 20 according to Pig. 1 exists. The contact 62 is grounded for the base circuit current flow.

Der Spannungsteiler 36, der aus den Widerständen 44 und 4 6 besteht, liegt zwischen Kontakt 60 und der Kollektorstromversorgungsseite des Widerstandes 32. Die Widerstände 44 und 46 können mit dem Umschalter 34 nach Fig. geändert werden. Das Teilerverhältnis des Spannungsteilers 36 ist veränderbar und als η definiert. Daher ist R44 = (n-1)R46, wobei R44 und R46 die Zahlenwerte der Widerstände 44 bzw. 46 darstellen.The voltage divider 36, which consists of the resistors 44 and 46, lies between contact 60 and the collector power supply side of the resistor 32. The resistors 44 and 46 can be switched with the switch 34 according to FIG. to be changed. The division ratio of the voltage divider 36 can be changed and is defined as η. thats why R44 = (n-1) R46, where R44 and R46 are the numerical values of the Represent resistors 44 and 46, respectively.

Ein Ausgangsanschluß des Spannungsteilers 36 ist mit einem Eingangsanschluß eines ersten Trennverstärkers 66, der Kontakt 64 mit einem Elngangsanschluß eines zweiten Trennverstärkers 68 und die Kollektorstromversorgungsseite des Widerstandes 32 mit dem Eingangsanschluß eines dritten Trennverstärkers 70 verbunden. Diese Trennverstärker sind z.B. Operationsverstärker, die als Spannungsfolger geschaltet sind. Da Ströme, die durch die Kontakte 60 und 64 fließen, viel geringer sind, als die, die durch die Kontakte 58 und 62 fließen, weil der Spannungsteiler 36 einen hohen Widerstand und die Trennverstärker einen hohen Eingangswiderstand haben, können a i ο .'.p.'mmmron über dem PUT ermittelt werden, ohne durchAn output terminal of the voltage divider 36 is with an input connection of a first isolation amplifier 66, the contact 64 with an input connection of a second Isolation amplifier 68 and the collector power supply side of the resistor 32 to the input terminal of a third isolation amplifier 70 connected. These isolating amplifiers are e.g. operational amplifiers that act as voltage followers are switched. Since currents flowing through contacts 60 and 64 are much lower than those which flow through contacts 58 and 62 because voltage divider 36 has a high resistance and the isolation amplifier have a high input resistance, a i ο. '. p.'mmmron can be determined over the PUT without going through

BAD ORIGINALBATH ORIGINAL

TCR WEER ■ MULLIiR · STEINMKiISTETPi O C / O 1 O Λ TCR WEER ■ MULLIiR · STEINMKiISTETPi OC / O 1 O Λ

die Kontaktwiderstände beeinträchtigt zu werden. Eine Auagangssparmung des Trennverstärkers 66 wird durch die Widerstände 72 und 74 geteilt und zu einem nicht invertierenden Eingangsanschluß eines Trennverstärkers 76 geführt. Die Ausgangsspannungen der Trennverstärker 68 und 70 werden zu einem invertierenden Eingangsanschluß des Trennverstärkers 76 über die Widerstände 78 bzw. 80 geleitet. Ein Rückkopplungswiderstand 82 liegt zwischen einem Ausgangsanschluß und dem invertierenden Eingangsanschluß des Trennverstärkers 76. Die Widerstandswerte der Widerstände 78 und 80 werden in Übereinstimmung mit dem Teilerverhältnis des Spannungsteilers 36 geändert, wie später beschrieben wird. Diese Widerstände 72, 74, 78 bis 82 und der Operationsverstärker 76 bilden eine Operationsschaltung. Die Widerstände 84 und 86 liegen zwischen den Kontakten 58 und 60 bzw. zwischen den Kontakten 62 und 64, wobei die Zahlenwerte der Widerstände 84 und 86 viel größer, als der Kontaktwiderstand ist. Daher sind die Spannungspegel der Kontakte 58 und 60 einander gleich und die Spannungspegel der Kontakte 62 und 64 einander gleich, selbst wenn das DUT nicht angeschlossen ist. Der Ausgangsanschluß des Verstärkers 76 kann mit dem Verstärker 38 in Fig. 1 und beide Anschlüsse des Widerstandes J2 mit dem Differentialverstärker 42 in Fig. 1 verbunden sein.the contact resistances to be affected. An output saving of the isolation amplifier 66 is divided by the resistors 72 and 74 and fed to a non-inverting input terminal of an isolation amplifier 76. The output voltages of isolation amplifiers 68 and 70 are applied to an inverting input terminal of isolation amplifier 76 through resistors 78 and 80, respectively. A feedback resistor 82 is connected between an output terminal and the inverting input terminal of the isolation amplifier 76. The resistance values of the resistors 78 and 80 are changed in accordance with the dividing ratio of the voltage divider 36, as will be described later. These resistors 72, 74, 78 to 82 and the operational amplifier 76 constitute an operational circuit. The resistors 84 and 86 lie between the contacts 58 and 60 and between the contacts 62 and 64, the numerical values of the resistors 84 and 86 being much greater than the contact resistance. Therefore, the voltage levels of contacts 58 and 60 are equal to each other and the voltage levels of contacts 62 and 64 are equal to each other even when the DUT is not connected. The output terminal of amplifier 76 can be connected to amplifier 38 in FIG. 1 and both terminals of resistor J2 can be connected to differential amplifier 42 in FIG.

Ein Strom des Spannungsteilers 36 fließt von der Kollektorstromversorgung 21 über die Kontakte 58 und 60 (ein kleiner Teil des Stroms fließt über den widerstandA current of the voltage divider 36 flows from the collector power supply 21 through contacts 58 and 60 (a small part of the current flows through the resistor

84) und den Spannungsteiler 36 zur Kollektorstromversorgung 21. Ein Strom für das DUT 26 fließt von der Kollektorstromversorgung 21 über Kontakt 58, das DUT 26 (die Kollektor-Emitter-Strecke des Transistors 26), den Kontakt 62 und den Widerstand 32 sur Kollektorstromversorgung 21. Der Strom, der durch den Widerstand 32 fließt, wird daher nicht durch den Spannungsteiler 36 beein-84) and the voltage divider 36 for the collector power supply 21. A current for the DUT 26 flows from the collector power supply 21 via contact 58, the DUT 26 (The collector-emitter path of the transistor 26), the contact 62 and the resistor 32 on the collector power supply 21. The current flowing through resistor 32 is therefore not influenced by voltage divider 36.

TER MEER · MÜLLER ■ STEINMEiSTER 3542121TER MEER · MÜLLER ■ STEINMEiSTER 3542121

flußt. Da der Strom von der Vorspannungsversorgungsschaltung 28 über die B_Ls-Emitter-otrecke des Transistors 26, den Kontakt 62 und Masse zur Vorspannungsversorgungsschaltung 28 fließt, fliei3t dieser Strom nicht durch den Widerstand 32. Infolgedessen ist der Strom, der durch den Widerstand 32 fließt, nur der Strom, der zwischen dem ersten und zweiten Anschluß des DUT 26 fließt, so daß der Strom des DUT genau gemessen werden kann.flows. As the current from the bias supply circuit 28 via the B_Ls emitter section of the transistor 26, the contact 62 and ground to the bias supply circuit 28 flows, this current does not flow through resistor 32. As a result, the Current flowing through resistor 32 is only the current flowing between the first and second terminals of the DUT 26 flows so that the current of the DUT can be measured accurately.

Die Spannung am oberen Anschluß des Spannungsteilers 36 entspricht der Spannung am ersten Anschluß des DUT (dem Kollektor des Transistors 26) und die Spannung am unteren Anschluß des Spannungsteilers 36 entspricht der Spannung am zweiten Anschluß des DUT (dem Emitter des Transistors 26), beeinflußt durch die Spannung über dem Kontaktwiderstand des Kontaktes 62 und der Spannung über dem Widerstand 32. Unter der Annahme, daß die Spannungen an den oberen und unteren Anschlüssen des Spannungsteilers 36 V-, bzw. Vn sind und die Spannung am zweiten Anschluß des DUT V., ist, so Deträgt die geteilte Ausgangsspannung VD des Spannungsteilers 36:The voltage at the upper terminal of the voltage divider 36 corresponds to the voltage at the first terminal of the DUT (the collector of the transistor 26) and the voltage at the lower terminal of the voltage divider 36 corresponds to the voltage at the second terminal of the DUT (the emitter of the transistor 26), influenced by the voltage across the contact resistance of contact 62 and the voltage across resistor 32. Assuming that the voltages at the top and bottom terminals of the voltage divider are 36 V- and V n , respectively, and the voltage at the second terminal of the DUT is V. , is, then the divided output voltage V D of the voltage divider 36 is:

Da die Verstärkungsfaktoren aller Trennverstärker 66, und 70 +1 betragen, ist die Ausgangs spannung "V0:Since the gain factors of all isolation amplifiers are 66, and 70 +1, the output voltage is "V 0 :

= [R74/(R72+R74)}[ R82/(R78//R80)·= [R74 / (R72 + R74)} [R82 / (R78 // R80) ·

- (R82/R78)V£ - (R82 / R78) V £

- (R82/RS0)Vr - (R82 / RS0) V r

wobei R72 durch R82 den Wert des Widerstandes 72 durch den 'Wert des Widerstandes 82 und R78//R80 den Wert der Parallelschaltung der Widerstände 78 und 80 darstellen.where R72 through R82 the value of resistor 72 through the 'value of resistor 82 and R78 // R80 represent the value of the parallel connection of resistors 78 and 80.

Nimmt man an, daß R72=R74=R82, R78=nR72 und R80=[n/(n-1)] ΙΓ/2,Assuming that R72 = R74 = R82, R78 = nR72 and R80 = [n / (n-1)] ΙΓ / 2,

TER MEER · MÜLLER · STEINMEISTE1"-*TER MEER · MÜLLER · STEINMEISTE 1 "- *

~7~~ 7 ~

so ist V,-.:so is V, - .:

Die Spannung V,-. entspricht also der Spannung zwischen dem ersten und zweiten Anschluß, geteilt durch n. Die Operationsschaltung (72 - 82) kompensiert die Spannungen über dem Kontakt und dem Widerstand 32. Der Trennverstärker 70 ist statt einer direkten Verbindung des unteren Endes des Widerstandes 80 mit der rechten Seite des Widerstandes 32 vorgesehen, so daß der Strom vom Leistungsanschluß des Trennverstärkers 68 daran gehindert wird, durch den Widerstand 32 zu fließen. Daher können die Spannung zwischen dem ersten und zweiten Anschluß des DUT und tier Strom, der durch das DUT fließt, mit einer einfachen Konstruktion genau gemessen werden. Es sollte angemerkt werden, daß die Trennverstärker Emitterfolgeroder Spannungsfolger-Verstärker sein können.The voltage V, -. thus corresponds to the voltage between the first and second terminals divided by n. The operational circuit (72-82) compensates for the voltages across the contact and resistor 32. The isolation amplifier 70 is instead of a direct connection of the lower End of resistor 80 provided with the right side of resistor 32, so that the current from the power connection of isolation amplifier 68 is prevented from to flow through resistor 32. Therefore, the voltage between the first and second terminals of the DUT and the current flowing through the DUT can be accurately measured with a simple construction. It should It should be noted that the isolation amplifiers can be emitter follower or voltage follower amplifiers.

Während hier die bevorzugte Ausführungsform der Erfindung gezeigt und beschrieben wurde, sind viele Änderungen und Varianten möglich, ohne den Rahmen der Erfindung zu verlassen.While here is the preferred embodiment of the invention shown and described, many changes and variants are possible without departing from the scope of the invention to leave.

Claims (5)

3542121 TER MEER-MÜLLER-STE1NME ISTER PATENTANWÄLTE - EUROPEAN PATENT ATTORNEYS Dipl.-Chem. Dr. N. ter Meer Dipl. Ing. H. Steinmeister Dipl. Ing. F.E. Müller Artur-Ladebeck-Strasse 51 Mauerkircherstrasse 45 D-8000 MÜNCHEN 80 D-4800 BIELEFELD 1 S/T 183 G 9 MÜ/Ur/Dr.B/b *& NüV, SONY/TEKTRONIX CORPORATION 9-31 Kitashinagawa 5-chome, Shinagawa-ku, Tokyo, Japan MEßVORRICHTUNG FÜR ELEKTRONISCHE BAUELEMENTE Priorität: 5. Dezember 1984, Japan, Ser.No. 59-257196 (P) Patentansprüche3542121 TER MEER-MÜLLER-STE1NME ISTER PATENTANWÄLTE - EUROPEAN PATENT ATTORNEYS Dipl.-Chem. Dr. N. ter Meer Dipl. Ing. H. Steinmeister Dipl. Ing. F.E. Müller Artur-Ladebeck-Strasse 51 Mauerkircherstrasse 45 D-8000 MÜNCHEN 80 D-4800 BIELEFELD 1 S / T 183 G 9 MÜ / Ur / Dr.B / b * & NüV, SONY / TEKTRONIX CORPORATION 9-31 Kitashinagawa 5-chome, Shinagawa-ku, Tokyo, Japan MEASURING DEVICE FOR ELECTRONIC COMPONENTS Priority: December 5, 1984, Japan, Ser.No. 59-257196 (P) claims 1. Meßvorrichtung für elektronische Bauelemente, mit1. Measuring device for electronic components, with - einer Spannungsversorgungseinrichtung (21) zum Anlegen einer Spannung zwischen einem ersten und einem zweiten Anschluß eines elektronischen Testbauelementes (26),- A voltage supply device (21) for applying a voltage between a first and a second Connection of an electronic test component (26), - einem Widerstand zur Strommessung (32), der zwischen der Spannungsversorgungseinrichtung (21) und dem zweiten Anschluß des elektronischen Testbauelementes (26) eingefügt ist, und mit- A resistor for current measurement (32) between the voltage supply device (21) and the second Connection of the electronic test component (26) is inserted, and with - einem Spannungsteiler (36), der zwischen dem einen Anschiuß des Widerstandes zur Strommessung (32), der an der Spannungsversorgungseinrichtung (21) liegt und dem ersten Anschluß des elektronischen Testbauelementes (26) liegt,- A voltage divider (36) connected between one connection of the resistor for current measurement (32), which is connected to the voltage supply device (21), and the first connection of the electronic test component (26) is located, TER MEER · MÜLLER · STEINMEISTFR 3542121TER MEER MÜLLER STEINMEISTFR 3542121 gekennzeichnet durchmarked by - einen ersten Trennverstärker (66), der einen Eingangsanschluß besitzt, der mit einem Ausgangsanschluß des Spannungsteilers (36), verbunden ist, - einen zweiten Trennverstärker (68), der einen Eingangsanschluß besitzt, der mit dem zweiten Anschluß des elektronischen Bauelementes (26) verbunden ist, und durch- A first isolation amplifier (66) which has an input connection which is connected to an output connection of the Voltage divider (36), - a second isolation amplifier (68) which has an input terminal which is connected to the second terminal of the electronic component (26) is connected, and through - eine Operationsschaltung, die Ausgangssignale vom ersten Trennverstärker (66) und vom zweiten Trennverstärker- An operational circuit, the output signals from the first isolation amplifier (66) and from the second isolation amplifier (68) sowie ein Signal von dem einen Anschluß des Widerstandes (32) zur Strommessung empfangt , wobei eine Kennlinie des elektronischen Bauelementes (26) in Übereinstimmung mit einer Spannung über dem Widerstand zur Strommessung (32) und einem Ausgangssignai von der Operationsschaltung gemessen wird.(68) and a signal from one terminal of the resistor (32) for current measurement received, one Characteristic curve of the electronic component (26) in accordance with a voltage across the resistor for Current measurement (32) and an output signal from the operational circuit is measured. 2. Meßvorrichtung für elektronische Bauelemente nach Anspruch 12. Measuring device for electronic components according to claim 1 dadurch gekennzeichnet, daß ein dritter Trennverstärker (70) zwischen dem genannten einen Anschluß des Widerstandes zur Strommessung (32) und der Operationsschaltung eingefügt ist.characterized in that a third isolation amplifier (70) between said a terminal of the resistor for current measurement (32) and the operation circuit is inserted. 3. Meßvorrichtung für elektronische Bauelemente nach Anspruch 13. Measuring device for electronic components according to claim 1 dadurch gekennzeichnet, daß die Operationsschaltung eine Operationsverstärkerschaltung ist, die einen Operationsverstärker (76), einen Rückkopplungswiderstand (82) zwischen dem Ausgangsanschiaß und dem invertierenden Eingangsanschluß des Operationsverstärkers (76), einen Spannungsteiler (72, 74), der zwischen einem Ausgangsanschluß des ersten Trennverstärkers (66) und einem nichtinvertierenden Eingangsanschluß dieses Operationsverstärkers (76) liegt, einen ersten Eingangswiderstand (78), der zwischen einem Ausgangsanschluß des zweiten Trennverstärkers (68) und dem invertierendencharacterized in that the operational circuit is an operational amplifier circuit which has an operational amplifier (76), a feedback resistor (82) between the output terminal and the inverting input terminal of the operational amplifier (76), a voltage divider (72, 74) connected between an output terminal of the first isolation amplifier (66) and a non-inverting input terminal of this operational amplifier (76) has a first input resistor (78) connected between an output terminal of the second isolating amplifier (68) and the inverting TER MEER · MÜLLER · STEINMEISTER Q P / O -j <J -1TER MEER · MÜLLER · STEINMEISTER QP / O -j <J -1 ——_ . ■——_. ■ Eingangsanschluß des Operationsverstärkers (76) liegt, und einen zweiten Eingangswiderstand (80), der zwischen dem genannten Anschluß des Widerstandes zur Strommessung (32) und dem invertierenden Anschluß des Operations-Verstärkers (76) liegt, enthält.Input terminal of the operational amplifier (76) is, and a second input resistor (80) between the said connection of the resistor for current measurement (32) and the inverting connection of the operational amplifier (76) contains. 4. Meßvorrichtung für elektronische Bauelemente nach Anspruch 24. Measuring device for electronic components according to claim 2 dadurch gekennzeichnet, daß die Operationsschaltung eine Operationsverstärkerschaltung ist, die einen Operationsverstärker (76), einen Rückkopplungswiderstand (82) zwischen dem Ausgangsanschluß und dem invertierenden Eingangsanschluß des Operationsverstärkers (76), einen Spannungsteiler (72, 74), der zwischen einem Ausgangsanschluß des ersten Trennverstärkers (66) und einem nichtinvertierenden Eingangsanschluß dieses Operationsverstärkers (76) liegt, einen ersten Eingangswiderstand (78), der zwischen einem Ausgangsanschluß des zweiten Trennverstärkers (68) und dem invertierenden Eingangsanschluß des Operationsverstärkers (76) liegt und einen zweiten Eingangswiderstand (80), der zwischen einem Ausgangsanschluß des dritten Trennverstärkers (70) und dem invertierenden Eingangsanschluß des Operationsverstärkers (76) liegt, enthält.characterized, that the operational circuit is an operational amplifier circuit comprising an operational amplifier (76), a feedback resistor (82) between the output terminal and the inverting input terminal of the Operational amplifier (76), a voltage divider (72, 74) connected between an output terminal of the first isolation amplifier (66) and a non-inverting input terminal of this operational amplifier (76) is one first input resistor (78) between an output terminal of the second isolation amplifier (68) and the inverting input terminal of the operational amplifier (76) and a second input resistor (80), between an output terminal of the third isolation amplifier (70) and the inverting input terminal of the Operational amplifier (76) is included.
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