DE3525199C2

DE3525199C2 -

Info

Publication number: DE3525199C2
Application number: DE3525199A
Authority: DE
Inventors: Reiner Dipl.-Ing. Bartholomaeus (Fh), 8780 Neuendorf, De; Rolf Dr.-Ing. 8770 Lohr De Neuhaus; Rainer Dipl.-Ing. 6110 Dieburg De Nowak
Original assignee: Mannesmann Rexroth AG
Current assignee: Bosch Rexroth AG
Priority date: 1985-07-15
Filing date: 1985-07-15
Publication date: 1988-09-08
Also published as: DE3525199A1

Description

Die Erfindung bezieht sich ganz allgemein auf ein Weg-Meßsystem und insbesondere auf einen induktiven Geber für ein solches Weg-Meßsystem.The invention relates generally to a displacement measuring system and in particular to an inductive transmitter for one Path measuring system.

Es gibt bereits zahlreiche Bauarten für induktive Geber, die im Prinzip darauf basieren, daß eine Meßinduktivität durch mecha nische Größen beeinflußt wird. Die induktiven Geber verhalten sich als sogenannte passive Geber, d. h. sie benötigen für ihren Betrieb eine Hilfs-Spannungsquelle.There are already numerous designs for inductive sensors that are used in Principle based on the fact that a measuring inductance by mecha African sizes is affected. The inductive sensors behave as a so-called passive donor, d. H. you need for yours Operation of an auxiliary voltage source.

Bei einem induktiven Weggeber mit veränderlicher Gegen-Induk tivität verwendet man zwei relativ zueinander bewegliche In duktivitäten, die miteinander in Serie geschaltet sind, wobei die gesamte Induktivität von der jeweiligen relativen Stellung der beiden Induktivitäten wegen des Vorhandenseins der Gegen- Induktivität abhängt. Auch eine Parallelschaltung dieser In duktivitäten ist möglich.With an inductive displacement sensor with variable counter induct tivity one uses two relatively movable In ductivities that are connected in series, whereby the total inductance from the relative position of the two inductors due to the presence of the opposite Inductance depends. A parallel connection of these In ductivities are possible.

Es sind ferner bereits induktiver Geber bekannt, deren In duktivität durch Verändern des Luftspalts eines magnetischen Kerns geändert wird. Vergleiche den Abschnitt "Induktive Geber" in "Handbuch für elektrisches Messen mechanischer Größen" (1967) von Christof Rohrbach, Seiten 167-189). Bei einem solchen Geber ist eine Spule auf einen beispielsweise U-förmigen magnetischen Kern aufgeschoben. Die magnetischen Feldlinien durchsetzen dabei den Kern und treten an dessen Stirnseiten in die Luft und schließen sich wieder durch den ebenfalls magnetischen Anker. Bei einer Bewegung des Ankers relativ zum Kern ändert sich der Luftpegel und damit die Induktivität, die somit ein Maß für den Weg des Ankers ist. Dabei ist nachteilig, daß sich ein relativ zur Länge des Meßsystems kleiner Meßweg ergibt. Bei einem weiteren bekannten induktiven Geber wird eine Induktivitätsveränderung einer Meßinduktivität durch Ver schieben eines weichmagnetischen Kerns bewirkt. Ein solcher Geber besteht im wesentlichen aus einer Meßspule eines be stimmten Querschnitts, einem verschiebbaren Anker eines be stimmten Querschnitts mit einer bestimmten Permeabilität sowie einem magnetischen Rückschluß ebenfalls mit einem bestimmten Querschnitt und einer bestimmten Permeabilität. In erster Nä herung verlaufen bei einem solchen Geber die magnetischen Feld linien durch den Luftstrom im Inneren der Spule, dem einge tauchten Teil des Ankers und schließen sich wieder durch den magnetischen Rückschluß. Durch mehr oder weniger tiefes Eintau chen des Ankers in die Meßspule ändert sich die Induktivität als Funktion des Weges. Große Meßwege machen dabei große Bau längen erforderlich. Um große Wege zu erfassen, müssen bei spielsweise mehrere Spulen verwendet werden, durch die nach einander der Tauchanker läuft. Es sei bemerkt, daß man durch eine entsprechende Gestaltung des Tauchankers, beispielswei se von konischer Gestalt, eine Induktivitätsänderung erhalten kann, die nach einer bestimmten Funktion vom Weg des Tauchan kers abhängt.There are also already known inductive sensors whose In ductivity by changing the air gap of a magnetic Kerns is changed. Compare the section "Inductive Encoder "in" manual for electrical mechanical measurement Sizes "(1967) by Christof Rohrbach, pages 167-189) such an encoder is a coil on one example U-shaped magnetic core slipped on. The magnetic Field lines penetrate the core and step on it End faces in the air and close again the also magnetic anchor. With a movement of the Anchor relative to the core changes the air level and therefore the inductance, which is therefore a measure of the path of the armature is. It is disadvantageous that there is a relative to the length of the Measuring system results in a small measuring path. Another known one inductive encoder is a change in inductance Measuring inductance by Ver push a soft magnetic core causes. Such a Encoder essentially consists of a measuring coil of a be agreed cross-section, a sliding anchor of a be agreed cross-section with a certain permeability as well a magnetic inference also with a certain one Cross-section and a certain permeability. First up With such an encoder, the magnetic field lines through the air flow inside the coil, the turned dipped part of the anchor and close again through the magnetic inference. Through more or less deep thawing Chen the armature in the measuring coil changes the inductance as a function of the way. Large measuring paths make big building lengths required. In order to grasp large distances, at for example, several coils can be used, by which each other the plunger runs. It should be noted that through a corresponding design of the diving anchor, for example se of conical shape, received an inductance change can, according to a certain function from the path of the dive kers depends.

Aus der DE-PS 9 08 921 ist eine durch eine mechanische Größe gesteuerte magnetische Brücke bekannt, die aus zwei Eisenkreisen besteht, welche ein gemeinsames, durch die mechanische Größe unter Bildung zweier gegenläufig veränderlicher Luftspalte bewegbares Eisenschlußstück enthalten, das vor einem magnetischen Kern mit mehreren parallelen Schenkeln gelagert ist. Aus der DE-AS 10 17 805 ist ferner eine Einrichtung zur kontaktlosen Umwandlung mechanischer Ausschläge in elektrische Größen auf induktiver Grundlage bekannt, wobei eine Tauchkernspule verwendet wird, wobei ein Meßluftspalt sowie Hilfsluftspalte durch den Tauchkern gebildet und verändert werden.From DE-PS 9 08 921 is by a mechanical size controlled magnetic bridge known to consist of two Iron circles exist, which is a common one through which mechanical size to form two opposing variable air gap movable iron end piece included that in front of a magnetic core with several parallel legs is stored. From DE-AS 10 17 805 also a device for contactless conversion mechanical deflections in electrical quantities on inductive Basis known, using a plunger coil, with a measuring air gap and auxiliary air gaps through the Diving core to be formed and changed.

Aus der DE-AS 19 51 201 ist eine Einrichtung zum Umsetzen einer mechanischen Verschiebung in eine elektrische Spannung bekannt. Im einzelnen wird hier eine Schwingspule verwendet, die einen Hohlraum umschließt, in dem ein ferromagnetischer Metallkörper verschiebbar angeordnet ist, wobei der mit der Schwingspule gekoppelte Volumenanteil des Metallkörpers sich bei Verschiebung ändert. Es wird also gleichzeitig mit der Bewegung des Metallkörpers bezüglich der Spule, die Teil des Oszillators ist, eine Änderung der Induktivität der Schwing spule und somit auch eine Änderung der gesamten Schwingkreis güte bewirkt. Auf die Ausbildung von Magnet-Flußleitmitteln für die Spule wird hier nicht eingegangen. Die DE-AS 29 14 195 beschreibt einen induktiven Meßumformer für ein fluidisches Stellglied unter Verwendung eines in drei Spulen angeordneten aus magnetischem Werkstoff bestehenden Spulenkerns. Aus der DE-OS 31 50 814 ist eine Vorrichtung zur berührungslosen Be stimmung der Schaltstellung eines Ankers eines Elektromagneten bekannt, wobei die Arbeitswicklung des Elektromagneten gleich zeitig eine Meßspule für die Stellungsanzeige des Magnetankers durch die Verwendung von Teilwicklungen bildet. Aus der DE-OS 32 27 245 ist ein Weggeber bekannt, bei dem das Meßorgan ein Magnet ist, der bezüglich einer ein Hall-Element enthaltenden Signalgebervorrichtung angeordnet ist. In der DE-OS 34 20 666 ist ein Niveau-Geber beschrieben, der unter Verwendung eines Hall-Sensors arbeitet.DE-AS 19 51 201 is a device for implementation a mechanical shift into an electrical voltage known. In particular, a voice coil is used here which encloses a cavity in which a ferromagnetic Metal body is slidably disposed, with the Voice coil coupled volume portion of the metal body itself changes with shift. So it is simultaneously with the Movement of the metal body with respect to the coil, which is part of the Oscillator is a change in the inductance of the oscillation coil and thus also a change in the entire resonant circuit goodness brings about. On the formation of magnetic flux guides the coil is not discussed here. DE-AS 29 14 195 describes an inductive transmitter for a fluidic Actuator using one arranged in three coils coil core made of magnetic material. From the DE-OS 31 50 814 is a device for non-contact loading mood of the switching position of an armature of an electromagnet known, the working winding of the electromagnet is the same timely a measuring coil for the position indicator of the magnet armature through the use of partial windings. From the DE-OS 32 27 245 a displacement sensor is known in which the measuring element Is a magnet with respect to a containing a Hall element Signaling device is arranged. In DE-OS 34 20 666 is described a level sensor that uses a Hall sensor works.

Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen induktiven Weggeber gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1 bzw. gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 2 derart auszubilden, daß bei kostengünstiger Herstellung eine kurze Baulänge erreicht wird.The present invention is based on the object inductive displacement sensor according to the preamble of claim 1 or in accordance with the preamble of claim 2 in such a way that achieves a short overall length with cost-effective production becomes.

Zur Lösung dieser Aufgabe sieht die Erfindung bei einem induktiven Weggeber gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1 bzw. gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 2 die im kennzeichnenden Teil des Anspruchs 1 bzw. des Anspruchs 2 genannten Maßnahmen vor. Bevorzugte Ausgestaltungen ergeben sich aus den Unteransprüchen.To achieve this object, the invention provides one inductive displacement sensor according to the preamble of claim 1 or according to the preamble of claim 2 in the characterizing Part of claim 1 or claim 2 measures mentioned in front. Preferred configurations result from the Subclaims.

Der induktive Weggeber gemäß Anspruch 1 ergibt sich praktisch aus einer Umkehr des induktiven Weggebers gemäß Anspruch 2, und umgekehrt.The inductive displacement sensor according to claim 1 results practically resulting from a reversal of the inductive displacement sensor Claim 2, and vice versa.

Vorzugsweise verlaufen die von der Meßspule erzeugten magneti schen Feldlinien an mindestens zwei Stellen in das Meßelement hinein, wobei Meßspule und Meßelement im wesentlichen senk recht an den an den beiden Stellen austretenden magnetischen Feldlinien relativ bewegbar sind.The magneti generated by the measuring coil preferably run field lines in at least two places in the measuring element into it, with the measuring coil and measuring element essentially lowering right at the magnetic exiting at the two points Field lines are relatively movable.

Weitere Vorteile und Ziele der Erfindung werden im folgenden anhand von in der Zeichnung dargestellten Aus führungsbeispiele beschrieben; in der Zeichnung zeigtFurther advantages and objects of the invention will become apparent in the following based on from shown in the drawing examples of management described; shows in the drawing

Fig. 1 eine schematische Darstellung des erfindungsgemäßen Weg-Meßsystems, wobei der erfindungsgemäße Weggeber teilweise im Schnitt gezeigt ist; Fig. 1 is a schematic representation of the displacement measuring system according to the invention, the displacement sensor according to the invention being partially shown in section;

Fig. 2 ein alternatives Ausführungsbeispiel des induktiven Gebers gemäß Fig. 1; FIG. 2 shows an alternative embodiment of the inductive transmitter according to FIG. 1;

Fig. 3 eine Auswertschaltung von an sich bekannter Bauart, wie sie beim erfindungsgemäßen Weg-Meßsystem ein setzbar ist; Fig. 3 is an evaluation circuit of per se known type, as is a settable in the inventive way measuring system;

Fig. 4 ein alternatives Ausführungsbeispiel des induktiven Gebers gemäß Fig. 1 und 2 (Innenmessung); FIG. 4 shows an alternative embodiment of the inductive sensor according to FIGS. 1 and 2 (internal measurement);

Fig. 5 ein Ausführungsbeispiel eines erfindungsgemäßen induk tiven Gebers, und zwar in einer Schnittdarstellung an geordnet an einem Proportionalmagneten von ansich be kannter Bauart, wobei in der oberen und unteren Hälfte der Schnittdarstellung abgewandelte Ausführungsformen gezeigt sind; Fig. 5 shows an embodiment of an inductive sensor according to the invention, namely in a sectional view of arranged on a proportional magnet of known design be, wherein in the upper and lower half of the sectional view modified embodiments are shown;

Fig. 6 einen Teilschnitt durch einen induktiven Weggeber an geordnet an einem an sich bekannten Schieberventil, wobei wiederum in der oberen und unteren Hälfte der Schnittdarstellung unterschiedliche Ausbildungen des induktiven Gebers gezeigt sind; Fig. 6 is a partial section through an inductive displacement sensor at said turn of the inductive sensor are shown ordered in a known spool valve, in the upper and lower half of the sectional view of different embodiments;

Fig. 7 eine schematische Darstellung eines induktiven Gebers gemäß der Erfindung, wobei der Schnitt längs Linie VIII-VIII in Fig. 8 verläuft; Fig. 7 is a schematic representation of an inductive transmitter according to the invention, the section along line VIII-VIII in Fig. 8;

Fig. 8 eine Seitenansicht des Gebers gemäß Fig. 7 ohne das Meßelement; FIG. 8 shows a side view of the sensor according to FIG. 7 without the measuring element;

Fig. 9 eine schematische Darstellung eines weiteren Ausführungs beispiels eines induktiven Gebers gemäß der Erfindung; Fig. 9 is a schematic representation of a further embodiment example of an inductive sensor according to the invention;

Fig. 10 eine abgewandelte Ausführungsform eines erfindungsge mäßen Gebers; Fig. 10 shows a modified embodiment of an encoder according to the invention;

Fig. 11 ein Ausführungsbeispiel eines erfindungsgemäßen Gebers zur Erläuterung des erfindungsgemäßen Meßprinzips; FIG. 11 is an embodiment of an encoder according to the invention for explaining the measuring principle according to the invention;

Fig. 12 eine schematische Ausschnittsdarstellung des erfindungs gemäßen induktiven Gebers zur Erläuterung von dessen Wirkungsweise; Fig. 12 is a schematic sectional view of the inductive sensor according to the invention to explain its mode of operation;

Fig. 13 eine schematische Ansicht ähnlich der Fig. 12, wobei der Feldlinienverlauf schematisch dargestellt ist; FIG. 13 is a schematic view similar to FIG. 12, the field line course being shown schematically;

Fig. 14 ein alternatives Ausführungsbeispiel eines erfindungsgemäßen Gebers, Fig. 14 shows an alternative embodiment of an encoder according to the invention,

Fig. 15 ein Ausführungsbeispiel eines erfindungsgemäßen Gebers zur digitalen Wegmessung. Fig. 15 an embodiment of a transmitter for digital displacement measurement.

Fig. 1 veranschaulicht das erfindungsgemäße Weg-Meßsystem in seinem grundsätzlichen Aufbau. Durch den Block 1 ist ein Meß objekt dargestellt. Diese Meßobjekt 1 kann beispielsweise der Stößel eines Proportionalmagneten, der Schieber eines Ven tils oder irgendein anderes Bauteil sein, welches im Betrieb einen gewissen Weg zurücklegt, der gemessen werden soll. Fig. 1 illustrates the displacement measuring system according to the invention in its basic structure. Block 1 shows a measurement object. This measurement object 1 can be, for example, the plunger of a proportional magnet, the slide of a valve or any other component that travels a certain distance during operation that is to be measured.

Der erfindungsgemäße induktive Weggeber ist speziell zur Messung geradliniger Wege geeignet. Er kann aber auch für die Messung krummliniger Wege angepaßt werden.The inductive displacement sensor according to the invention is specifically for Suitable for measuring straight lines. But it can also be used for Measurement of curvilinear paths can be adjusted.

Das Meßobjekt 1 ist über schematisch bei 3 gezeigte Kupplungs mittel mit dem erfindungsgemäßen induktiven Gebers 2 verbunden. Der induktive Geber 2 steht seinerseits mit einer Auswertschal tung 4 in Verbindung, die mit Anzeigemitteln 5 für den Weg in Verbindung steht. Die Anzeigemittel liefern beispielsweise eine Spannung deren Höhe für den zurückgelegten Weg des Meßob jekts repräsentativ ist.The device under test 1 is connected schematically to the inductive sensor 2 according to the invention by means of a coupling shown at 3 . The inductive transmitter 2 is in turn connected to an evaluation circuit 4 , which is connected to display means 5 for the path. The display means deliver, for example, a voltage whose height is representative of the distance traveled by the measurement object.

Der Geber 2 weist eine Meßinduktivität 8 auf, deren Induktivi tätswert durch ein Meßelement 7 veränderbar ist. Das Meßelement 7 ist im Ausführungsbeispiel gemäß Fig. 1 in der Form einer konischen Stange ausgebildet, die den eigentlichen Meßkonus 70 und daran anschließend einen kreiszylindrischen Abschnitt 71 aufweist. Die konische Stange, bzw. das Meßelement 7 ist ent lang ihrer Längsachse 15 in Axialrichtung gegenüber der Meßin duktivität 8 verschiebbar angeordnet. Umgekehrt konnte natürlich auch die Meßinduktivität 8 gegenüber dem Meßelement 7 in Rich tung der Längsachse 15 verschieblich sein, wobei dann natürlich das Meßobjekt 1 mit der Meßinduktivität 8 zu verbinden wäre. Ganz allgemein wird daher von einer Relativ-Beweglichkeit von Meßelement 7 und Meßinduktivität 8 gesprochen.The encoder 2 has a measuring inductance 8 , the inductance value of which can be changed by a measuring element 7 . In the exemplary embodiment according to FIG. 1, the measuring element 7 is designed in the form of a conical rod which has the actual measuring cone 70 and then a circular cylindrical section 71 . The conical rod or the measuring element 7 is arranged along its longitudinal axis 15 in the axial direction relative to the measuring ductility 8 . Conversely, of course, the measuring inductance 8 could be displaceable relative to the measuring element 7 in the direction of the longitudinal axis 15 , in which case, of course, the measuring object 1 would have to be connected to the measuring inductor 8 . In general, therefore, there is talk of a relative mobility of measuring element 7 and measuring inductor 8 .

Die Meßinduktivität weist eine Meßspule in der Form einer Ring spule 9 auf. Die Ringspule 9 ist von Flußleitmitteln 10 umschlos sen, also praktisch eingekapselt. Die Flußleitmittel 10 bilden Polschuhmittel 13, 14, welche die magnetischen Feldlinien in den Meß konus 70 einleiten und wieder daraus aufnehmen. Die Meßin duktivität 8 weist eine Axial- oder Mittelöffnung 16 auf, de ren Längsachse mit der Längsachse 15 des Meßkonus 70 vorzugs weise zusammenfällt. Zwischen den Polschuhmitteln und der Ober seite des Meßkonus 70 werden weiter unten noch näher zu erläu ternde Luftspalte gebildet.The measuring inductor has a measuring coil in the form of a ring coil 9 . The ring coil 9 is enclosed by flux guide means 10 , that is to say practically encapsulated. The flux guide means 10 form pole shoe means 13, 14 which initiate the magnetic field lines in the measuring cone 70 and take them up again. The Meßin ductivity 8 has an axial or central opening 16 , de ren longitudinal axis with the longitudinal axis 15 of the measuring cone 70 preferably coincides. Between the pole shoe means and the upper side of the measuring cone 70 air gaps to be explained in more detail below are formed.

Die Einbaulänge des Gebers 2 ist mit 12 bezeichnet und ist verhältnismäßig klein. Der Meßweg ist mit X bezeichnet. Die Breite der Meßinduktivität ist mit B bezeichnet.The installation length of the encoder 2 is designated 12 and is relatively small. The measuring path is labeled X. The width of the measuring inductance is designated B.

Fig. 2 zeigt ein Ausführungsbeispiel ähnlich Fig. 1, wobei aber hier der Konus 17 wesentlich kürzer ist als im Ausführungsbei spiel gemäß Fig. 1. Dadurch wird natürlich auch der Meßweg X kleiner und auch die Einbaulänge 19 verringert sich entsprechend. Im übrigen gelten die Ausführungen wie zu Fig. 1. Fig. 2 shows an embodiment similar to Fig. 1, but here the cone 17 is much shorter than in the game Ausführungsbei shown in FIG. 1. This of course, the measuring path X is smaller and the installation length 19 is reduced accordingly. Otherwise, the explanations as for FIG. 1 apply.

Fig. 3 zeigt eine Auswertschaltung 4 in der Form einer Brücken schaltung 20. In der Brückenschaltung 20 sind in bekannter Weise in zwei Zweigen die ohmschen Widerstände 23 und 24 ange ordnet und in weiteren zwei Zweigen liegt eine Vergleichsinduk tivität 25 sowie der erfindungsgemäße induktive Geber 2, der seinerseits mit seiner Meßinduktivität 8 in den Brückenzweig eingeschaltet ist. Ein Oszillator 21 speist die Brücke und ein Demodulator 22 verbindet den Verbindungspunkt von Wider stand 23 und 24 mit dem Verbindungspunkt von Vergleichsinduk tivität 25 und Meßinduktivität 8. Der Demodulator 22 steht mit Anzeigemitteln 5 in Verbindung, welche beispielsweise als Funk tion des vom Meßkonus 70 zurückgelegten Meßwegs X eine Meß spannung liefern. Durch die erfindungsgemäße Anordnung ist ein linearer Zusammenhang zwischen Meßweg und Meßspannung zu erhalten. Fig. 3 shows an evaluation circuit 4 in the form of a bridge circuit 20th In the bridge circuit 20 , the ohmic resistors 23 and 24 are arranged in a known manner in two branches and in another two branches there is a comparative inductance 25 and the inductive transmitter 2 according to the invention, which in turn is switched on with its measuring inductance 8 in the bridge branch. An oscillator 21 feeds the bridge and a demodulator 22 connects the connection point of resistors 23 and 24 with the connection point of comparison inductance 25 and measurement inductance 8th The demodulator 22 is connected to display means 5 , which supply a measurement voltage, for example, as a function of the measurement path X covered by the measurement cone 70 . The arrangement according to the invention provides a linear relationship between the measurement path and the measurement voltage.

Fig. 4 zeigt ein weiteres Ausführungsbeispiel eines erfindungs gemäßen Gebers bei dem das Meßelement, z. B. die Form eines Hohlkonus 26 besitzt. Der Hohlkonus nimmt in seinem Innenraum eine Meß induktivität 27 auf, die eine Ringspule wie in Fig. 1 verwen det, wobei aber hier die Flußleitmittel zur Innenwand des Hohlkonus 26 hinweisende Polschuhmittel bilden. Durch den Pfeil 29 wird angedeutet, daß eine Relativbewegung zwischen Meß induktivität 27 und Hohlkonus 26 stattfinden kann. Die Meßinduk tivität 27 steht ähnlich wie die Meßinduktivität 8 mit beispiels weise einer Auswertschaltung gemäß Fig. 3 in Verbindung. Der Hohlkonus 26 besteht ebenso wie der Meßkonus 70 aus magnetisch leitendem Material. Fig. 4 shows another embodiment of an encoder according to the Invention in which the measuring element, for. B. has the shape of a hollow cone 26 . The hollow cone receives in its interior a measuring inductance 27 which uses a toroidal coil as in FIG. 1, but here the flux guide means forming pole shoe means pointing towards the inner wall of the hollow cone 26 . Arrow 29 indicates that a relative movement between measuring inductor 27 and hollow cone 26 can take place. The measuring inductance 27 is similar to the measuring inductance 8 with, for example, an evaluation circuit according to FIG. 3. Like the measuring cone 70, the hollow cone 26 is made of magnetically conductive material.

Zur Arbeitsweise der bislang beschriebenen induktiven Geber sei bemerkt, daß bei einer auftretenden Relativbewegung zwischen Meßinduktivität und Meßelement in Axialrichtung (englang der Längsachse 15) eine Veränderung der Luftspalte auftritt. Die se Veränderung der Luftspalte (und ggf. noch andere den magnetischen Kreis beeinflussende Größen) führen zu einer Veränderung des Induktivitätswerts der Meßinduktivität, wobei diese Induktivi tätswertveränderung mit dem zurückgelegten Meßweg in Beziehung steht.Regarding the mode of operation of the inductive sensors described so far, it should be noted that if there is a relative movement between the measuring inductance and the measuring element in the axial direction (longitudinal axis 15 ), a change in the air gaps occurs. This change in the air gaps (and possibly other variables influencing the magnetic circuit) lead to a change in the inductance value of the measuring inductance, this change in inductance value being related to the measuring path covered.

Anhand der Fig. 1 bis 4 wurde zunächst das erfindungsgemäße Weg-Meßsystem in allgemeiner Form beschrieben. Anhand der Fig. 5 und 6 werden bevorzugte Anwendungsbeispiele des er findungsgemäßen Weg-Meßsystems erläutert. Schließlich werden anhand der Fig. 7 bis 15 weitere Ausführungsbeispiele beschrie ben und verallgemeinert. Referring to Figs. 1 to 4 according to the invention way measuring system was first described in general terms. Referring to Figs. 5 and 6, preferred application examples will be explained of he inventive way measuring system. Finally, with reference to FIGS. 7 to 15 further exemplary embodiments are described and generalized.

In Fig. 5 ist ein Teilschnitt durch einen gemäß der Erfindung aus gebildeten induktiven Geber 31 angebaut an einem Proportional magnet 30 gezeigt. Am Stößel 35 des Magneten 30 ist ein Meßkonus 32 befestigt, beispielsweise angeschraubt. In die Axialbohrung des Magnetdeckels 37 ist ein Umschließungstopf 36 eingeschraubt, in dessen Innenraum 42 der Meßkonus 32 hin- und herbeweglich an geordnet ist. Der Innenraum steht unter dem Druck, der auch im Inneren des Proportionalmagneten 30 herrscht. Der Umschließungs topf 36 liegt mit einer Ringauflage 38 auf der Außenseite des Deckels 37 unter Zwischenschaltung einer Dichtung auf. Sein Flansch 39 ist mit Gewinde versehen und in die ebenfalls mit Gewinde versehene Axialöffnung im Deckel 37 eingeschraubt.In Fig. 5 is a partial section through a magnet fitted in accordance with the invention consists of the formed inductive sensor 31 on a proportional 30 is shown. A measuring cone 32 is fastened, for example screwed, to the plunger 35 of the magnet 30 . In the axial bore of the magnetic cover 37 , a containment pot 36 is screwed, in the interior 42 of the measuring cone 32 is arranged to move back and forth. The interior is under the pressure that also prevails inside the proportional magnet 30 . The enclosure pot 36 lies with an annular support 38 on the outside of the cover 37 with the interposition of a seal. Its flange 39 is threaded and screwed into the axial opening in the cover 37 , which is also provided with a thread.

Die Fig. 5 stellt in der oberen Hälfte der Darstellung ein Aus führungsbeispiel und in der unteren Hälfte der Schnittdarstel lung ein weiteres Ausführungsbeispiel dar. Diese beiden Ausfüh rungsbeispiele unterscheiden sich dadurch, daß im ersten Beispiel neben der Meßspule 33 noch eine Kompensationsspule 34 vorgesehen ist. Beide Spulen 33, 34 sitzen auf einer durch den Topf 36 gebildeten Auflagefläche 43. Dadurch daß die Kompen sationsspule 34 benachbart zur Meßspule 33 angeordnet ist, be sitzen beide die gleiche Betriebstemperatur, so daß sich inso fern eine Temperaturkompensation ergibt. Daher der Name Kompen sationsspule für diese Spule 34, die eigentlich die Vergleichs spule 25 in Fig. 3 ist. Fig. 5 shows in the upper half of the illustration from an exemplary embodiment and in the lower half of the sectional representation another embodiment. These two exemplary embodiments differ in that, in the first example, a compensation coil 34 is provided in addition to the measuring coil 33 . Both coils 33, 34 are seated on a support surface 43 formed by the pot 36 . Characterized in that the Kompen sationsspule 34 is arranged adjacent to the measuring coil 33 , be both sitting at the same operating temperature, so that there is a temperature compensation. Hence the name Kompen sationsspule for this coil 34 , which is actually the comparison coil 25 in Fig. 3.

In der unteren Schnitthälfte der Fig. 5 ist die Konstruktion ohne Kompensationsspule 24 dargestellt. Es sei noch darauf hin gewiesen, daß die Kompensationsspule 34 ebenfalls von Flußmit teln umschlossen ist.The construction without compensation coil 24 is shown in the lower half of FIG. 5. It should also be pointed out that the compensation coil 34 is also surrounded by fluxes.

Ein Geberdeckel 40 umschließt den Geber 31 und ist am Ventildeckel 37 befestigt.A transmitter cover 40 encloses the transmitter 31 and is attached to the valve cover 37 .

Das Ausführungsbeispiel gemäß Fig. 6 zeigt einen erfindungsge mäßen Meßkonus 32 der einstückig mit einem Ventilschieber 45 ausgebildet ist. Das Ventil als solches ist nur mit seinem Ven tildeckel 46 angedeutet. In eine Bohrung des Ventildeckels 46 sitzt der Gewindeflansch 39 eines Umschließungstopfs 36 der in der gleichen Weise wie in Fig. 5 gezeigt ausgebildet ist. Auch hier umschließt der Topf 36 einen Druck- oder Innenraum 42. Auf der Auflagefläche 43 des Umschließungstopfes 36 sitzt gemäß der obe ren Hälfte der Schnittdarstellung eine Meßspule 33, die eine Kompensationsspule 47 an ihrem radial außen gelegenen Umfang trägt.The embodiment according to FIG. 6 shows a measuring cone 32 according to the invention which is formed in one piece with a valve slide 45 . The valve as such is only indicated with its Ven tildeckel 46 . In a bore of the valve cover 46 , the threaded flange 39 of a containment pot 36 is seated, which is designed in the same way as shown in FIG. 5. Here too, the pot 36 encloses a pressure or interior space 42 . On the support surface 43 of the containment pot 36 sits a measuring coil 33 , which carries a compensation coil 47 on its radially outer circumference, according to the upper half of the sectional view.

In der unteren Hälfte der Schnittdarstellung gemäß Fig. 6 ist nur eine Meßspule 48 ohne Kompensationsspule gezeigt. Ein Geber deckel 40 umschließt wiederum den Geber gemäß der Erfindung. Der Meßkonus 32 besteht sowohl bei der Darstellung gemäß Fig. 5 als auch bei der Darstellung gemäß Fig. 6 aus einem magnetisch lei tenden Material und ist hin- und herbeweglich entlang einer Längsachse 15 des Gebers, die auch mit der Längsachse des Magne ten bzw. Ventils zusammenfällt, angeordnet. Der Umschließungs topf 43 besteht aus magnetisch nicht leitendem Material.In the lower half of the sectional view according to FIG. 6, only one measuring coil 48 without a compensation coil is shown. A sensor cover 40 in turn encloses the sensor according to the invention. The measuring cone 32 consists both in the illustration according to FIG. 5 and also in the illustration according to FIG. 6 made of a magnetically conductive material and can be moved back and forth along a longitudinal axis 15 of the sensor, which also corresponds to the longitudinal axis of the magnet or Valve coincides, arranged. The enclosure pot 43 is made of magnetically non-conductive material.

Fig. 7 zeigt eine schematische Schnittdarstellung des erfindungs gemäßen induktiven Gebers 2, der eine Meßinduktivität 50 in der Form einer gekapselten, d. h. mit Flußleitmitteln 52 umgebenen Ringspule 9 und ein Meßelement in der Form eines Meßkonus 51 aufweist. Fig. 7 is a schematic sectional view showing the fiction, modern inductive sensor 2, which in the form of an encapsulated, that is surrounded by flow director 52 toroidal coil 9 and a measuring element in the form of a measuring inductance 51 Meßkonus 50th

Die Meßinduktivität 50 bildet eine Mittelöffnung 16, die sich entlang der Längsachse 15 erstreckt. Der Durchmesser dieser Mit telöffnung 16 wird mit "d" bezeichnet, wie dies aus Fig. 8 zu ersehen ist. Die Breite der Meßinduktivität ist mit B bezeich net, die Breite der Ringspule 9 ist mit S bezeichnet. Der Durch messer der Ringspule 50 ist mit "D" bezeichnet.The measuring inductance 50 forms a central opening 16 which extends along the longitudinal axis 15 . The diameter of this tel opening 16 is denoted by "d" , as can be seen from Fig. 8. The width of the measuring inductance is denoted by B , the width of the ring coil 9 is denoted by S. The diameter of the ring coil 50 is designated "D" .

Die Flußleitmittel 52 umschließen die Meß- oder Ringspule 9. Sie bilden an ihren Polschuhmitteln (die hier - anders als in Fig. 1 gezeigt - nicht radial vorstehen) zwei ringförmige Polschuhflächen 56, 57, die auch Länge und Durchmesser der Mittelöffnung 16 definieren. The flux guide means 52 enclose the measuring or ring coil 9 . They form on their pole piece means (which, in contrast to that shown in FIG. 1, do not project radially), two annular pole piece surfaces 56, 57 , which also define the length and diameter of the central opening 16 .

Die Flußleitmittel können beispielsweise aus einer radial ver laufenden Bodenwand 59 sowie einer parallel zur Längsachse 15 verlaufenden Seitenwand 54 und einem ebenfalls parallel zur Bo denwand 59 verlaufenden Deckel 55 bestehen. Bodenwand 59 und Seitenwand 54 können zusammen einen Topf 53 bilden. Die Fluß leitmittel bestehen natürlich aus magnetisch leitendem Material. Der Deckel 55 ist wie in Fig. 8 gezeigt mittels Schrauben 58 am Topf 53 befestigt. Die Dicke der Bodenwand wie auch des Deckels ist mit "a" bezeichnet.The Flußleitmittel can for example consist of a radially ver running bottom wall 59 and a parallel to the longitudinal axis 15 extending side wall 54 and also parallel to the Bo denwand 59 extending cover 55 . Bottom wall 59 and side wall 54 can together form a pot 53 . The flux guide means are of course made of magnetically conductive material. As shown in FIG. 8, the cover 55 is fastened to the pot 53 by means of screws 58 . The thickness of the bottom wall as well as the lid is designated with "a" .

In der Mittelbohrung 16 ist der Meßkonus 51 hin- und herverschieb lich angeordnet. Zwischen den Polflächen 56 und 57 sowie dem Meß konus 51 werden zwei Ringluftspalte gebildet. Der kleinste Durch messer des Konus ist mit k und der größte Durchmesser des Konus mit K bezeichnet. Mit X ist der Meßweg bezeichnet.In the central bore 16 , the measuring cone 51 is arranged back and forth Lich. Two ring air gaps are formed between the pole faces 56 and 57 and the measuring cone 51 . The smallest diameter of the cone is denoted by k and the largest diameter of the cone by K. X is the measuring path.

Gemäß der Erfindung gilt, daß die Länge M des Meßkonus 51 gleich oder größer ist als die Breite B der Meßinduktivität 50 plus dem maximalen Meßweg X. Die Breite B der Meßinduktivität 50 ist dabei die Breite S der Meßspule 9 plus zweimal die Stärke a der Boden wand 59 bzw. des Deckels 55 der Flußleitmittel 52.According to the invention, the length M of the measuring cone 51 is equal to or greater than the width B of the measuring inductor 50 plus the maximum measuring path X. The width B of the measuring inductance 50 is the width S of the measuring coil 9 plus twice the thickness a of the bottom wall 59 and the cover 55 of the flux guide 52 .

Der Durchmesser K ist geringfügig kleiner als der Durchmesser d der Mittelbohrung 16, so daß eine einwandfreie Bewegung des Meß konus 51 innerhalb der Mittelöffnung 16 gewährleistet ist.The diameter K is slightly smaller than the diameter d of the central bore 16 , so that a perfect movement of the measuring cone 51 is ensured within the central opening 16 .

Fig. 9 zeigt ein weiteres Ausführungsbeispiel der Erfindung in schematischer Darstellung. Der Meßkonus 61 besitzt hier einen An schlag 62 und hat eine etwas größere Länge als der Meßkonus 51 in Fig. 7. Fig. 9 zeigt, daß der Ringpolschuh 14 der beiden Ring polschuhe 13, 14 radial nach innen mit einer Radialverän gerung 63 ausgestattet sein kann. Die Radialdicke der Radialverlän gerung 63 ist so gewählt, daß auch dann die Radialverlängerung 63 den Außenumfang des Meßkonus 61 nicht berührt, wenn dieser mit seinem den größeren Durchmesser K aufweisenden Ende vollständig in der Mittelbohrung 16 sitzt. Durch diese Radialverlängerung ergeben sich bessere Flußverhältnisse und somit eine höhere Emp findlichkeit. Im übrigen sei auf die Beschreibung gemäß Fig. 7 und 8 verwiesen. Fig. 9 shows a further embodiment of the invention in a schematic representation. The measuring cone 61 here has an impact 62 and has a somewhat greater length than the measuring cone 51 in Fig. 7. Fig. 9 shows that the ring pole shoe 14 of the two ring pole shoes 13, 14 radially inward with a Radialverän supply 63 can. The radial thickness of the Radialverlän delay 63 is chosen so that even then the radial extension 63 does not contact the outer periphery of the Meßkonus 61 when this having the larger diameter with its end K is fully seated in the central bore sixteenth This radial extension results in better flow conditions and thus a higher sensitivity. For the rest, reference is made to the description according to FIGS. 7 and 8.

Fig. 10 zeigt im wesentlichen das gleiche Ausführungsbeispiel wie Fig. 9. Allerdings sind hier die Flußleitmittel in der Form eines im Querschnitt U-förmigen Ringes 66 ausgebildet, eines Rings der nach innen hin offen ist und die Ringspule 9 aufnimmt. Der Meßkonus 61 ist hier auf seinen Maximaldurchmesser K über seine ganze Länge hinweg mit einer Auffüllung 67 ausgestattet, so daß die mit 64 bezeichnete Stange insgesamt einen zylindri schen Außendurchmesser aufweist. Bei dieser Konstruktion kommt die Radialverlängerung 63 der in Fig. 9 gezeigten Art nicht in Frage. Die Auffüllung 67 besteht aus magnetisch nicht leitendem Material. Fig. 10 shows essentially the same embodiment as Fig. 9. However, here the flux guide are in the form of a U-shaped ring 66 in cross section, a ring which is open towards the inside and receives the ring coil 9 . The measuring cone 61 is here at its maximum diameter K over its entire length with a filling 67 , so that the rod designated 64 has a total cylindri's outer diameter. In this construction, the radial extension 63 of the type shown in Fig. 9 is out of the question. The filling 67 consists of magnetically non-conductive material.

Fig. 11 zeigt schematisch die Meßinduktivität 8 sowie ein Meßele ment 78, welches ausgehend vom größten Durchmesser K zum klein sten Durchmesser K hin einen veränderlichen, aber über den gesamten Meßweg X abnehmenden oder zunehmenden Durchmesser besitzt. Fig. 11 shows schematically the measuring inductance 8 and a Meßele element 78 which, starting from the largest diameter K to the smallest diameter K , has a variable but decreasing or increasing diameter over the entire measuring path X.

Fig. 12 veranschaulicht die Arbeitsweise des erfindungsgemäßen Gebers bei einer Verschiebung des Meßkonus 51 aus einer ersten ausgezogenen Position in eine zweite gestrichelte Position. Die Verschiebung erfolgt englang der Längsachse 15 des Meßkonus 51, wobei die Längsachse 15 gleichzeitig auch die Mittelachse der Meßinduktivität 50 ist. FIG. 12 illustrates the mode of operation of the sensor according to the invention when the measuring cone 51 is shifted from a first extended position to a second dashed position. The displacement takes place along the longitudinal axis 15 of the measuring cone 51 , the longitudinal axis 15 also being the central axis of the measuring inductor 50 .

In der ersten Position treten zwei ringförmige Luftspalte auf. Die Länge des ersten Ringspalts sei (angenähert) mit R 1 bezeich net und erstreckt sich zwischen der Polschuhringfläche 56 und dem Au ßenumfang des Meßkonus 51. Der zweite Luftspalt hat die ungefähre Länge R 2 und erstreckt sich zwischen der Polschuhringfläche 57 und dem Außenumfang des Meßkonus 51. Bei einer Verschiebung des Meßkonus 51 aus der ersten ausgezogenen in die zweite gestrichel te Position um den Weg Z erreicht man für den ersten Luftspalt eine Zunahme der Spaltbreite um den Radialabstand R 3 und beim zweiten Luftspalt erreicht man eine Zunahme um den Radialabstand R 4. Durch die rotationssymmetrische Ausbildung der Meßinduktivi tät wie auch des Konus erzielt man eine maximale Empfindlichkeit. In the first position there are two annular air gaps. The length of the first annular gap is (approximately) designated R 1 and extends between the pole ring surface 56 and the outer circumference of the measuring cone 51st The second air gap has the approximate length R 2 and extends between the pole ring surface 57 and the outer circumference of the measuring cone 51 . When the measuring cone 51 is shifted from the first extended position into the second dashed position by the path Z , an increase in the gap width by the radial distance R 3 is achieved for the first air gap and an increase by the radial distance R 4 is achieved in the second air gap. Due to the rotationally symmetrical design of the measuring inductance and the cone, maximum sensitivity is achieved.

Die Fig. 13 dient nochmals zur Erläuterung eines erfindungs gemäßen Merkmals, wonach das Meßelement 7 gegenüber den Pol schuhmitteln 13, 14 nicht etwa in Richtung der aus den Pol schuhflächen 56, 57 austretenden magnetischen Feldlinien, also etwa in Richtung des Pfeils 87 bewegt wird, sondern daß vielmehr die Relativbewegung zwischen den Polschuhmitteln 13, 14 und dem Meßelement 7 in Richtung des Pfeiles 88 erfolgt. Bei rotationssymmetrischen Aufbau erfolgt somit die Bewegung entlang der Mittelachse 15 des Meßelements 7 also im wesent lichen senkrecht zu den in die Polschuhflächen 56, 57 ein- bzw. austretenden magnetischen Feldlinien. FIG. 13 is used again for explaining a proper characteristic Invention, according to which the measuring element 7 shoe forward relative to the pole 14 is not approximately in the direction 13 of the pole shoe surfaces 56, 57 leaving the magnetic field lines, that is approximately in the direction of the arrow 87 moves, rather that the relative movement between the pole shoe means 13, 14 and the measuring element 7 takes place in the direction of the arrow 88 . In the case of a rotationally symmetrical structure, the movement along the central axis 15 of the measuring element 7 thus takes place essentially perpendicular to the magnetic field lines entering or leaving the pole shoe surfaces 56, 57 .

Obwohl konische Meßelemente bevorzugt werden, so sind doch wie in Fig. 11 angedeutet, unterschiedliche Formen für das Meß element abhängig auch von der Form der Meßspule denkbar.Although conical measuring elements are preferred, different shapes for the measuring element are also conceivable depending on the shape of the measuring coil, as indicated in FIG. 11.

Fig. 14 zeigt ein weiteres Ausführungsbeispiel eines er findungsgemäßen Gebers, bei dem das Meßelement 79 einen abnehmenden oder zunehmenden Durchmesser aufweist und bogen förmig ausgebildet ist. Durch den Pfeil 93 wird angedeutet, daß entlang einer gekrümmten Bahn (z. B. Kreisbahn) eine Relativbewegung zwischen Meßinduktivität 8 und dem gekrümmten Meßelement stattfinden kann. Der erfindungsgemäße Geber kann damit auch zur Messung von Drehwinkeln eingesetzt werden. Fig. 14 shows another embodiment of a sensor according to the invention, in which the measuring element 79 has a decreasing or increasing diameter and is arcuate. Arrow 93 indicates that a relative movement between measuring inductor 8 and the curved measuring element can take place along a curved path (e.g. circular path). The encoder according to the invention can thus also be used to measure angles of rotation.

Fig. 15 zeigt die Ausführung eines erfindungsgemäßen Gebers zur digitalen Wegmessung, bei dem das Meßelement 94 eine zylindrische Stange 94 ist, in der umlaufende Ringnuten 95 eingearbeitet sind. Die das Meßelement ringförmig umfassenden Polschuhe 96 sind zum Meßelement hin spitz ausgebildet. Durch den Pfeil 97 wird angedeutet, daß eine Relativbewegung zwi schen Meßinduktivität 98 und Meßelement 94 stattfinden kann. Die Meßinduktivität wird mit einem Impulszähler gekoppelt, so daß der erfindungsgemäße Geber als digitaler Weggeber eingesetzt werden kann. Fig. 15 shows the embodiment of an encoder for digital position measurement, wherein the measuring element 94 is a cylindrical rod 94, are incorporated in the circumferential annular grooves 95th The pole shoes 96 , which surround the measuring element in a ring shape, are pointed towards the measuring element. The arrow 97 indicates that a relative movement between measuring inductance 98 and measuring element 94 can take place. The measuring inductance is coupled to a pulse counter, so that the sensor according to the invention can be used as a digital displacement sensor.

Claims

1. Inductive displacement sensor with a measuring inductance ( 8 ) and a measuring element ( 7 ) which changes the inductance value of the measuring inductance, the relative movement of measuring inductance ( 8 ) and measuring element ( 7 ) perpendicular to the magnetic lines of force emerging from magnetic flux guiding means ( 10 ) under change the air gaps occur, and the measuring inductor ( 8 ) has a measuring or ring coil ( 9 ) forming a central opening ( 16 ), which is enclosed on its outer circumference by the magnetic flux guide means ( 10 ), characterized by the combination that

a) the magnetic flux guide means ( 10, 13, 14 ) at the central opening ( 16 ) end radially inwards towards the central opening ( 16 ) so that the magnetic field lines run in the radial direction via air gaps to the measuring element ( 7 ), and
b) the measuring element ( 7 ) consisting of magnetically conductive material is arranged in the central opening ( 16 ) and has a length corresponding at least to the width B of the measuring inductor ( 8 ).

2. Inductive displacement transducer with a measuring inductance ( 27 ) and a measuring element ( 26 ) which changes the inductance value of the measuring inductance, the relative movement of measuring inductance ( 27 ) and measuring element ( 26 ) perpendicular to the magnetic lines of force emerging from magnetic flux, changing the air gaps takes place, and the measuring inductor ( 27 ) is enclosed on its outer circumference by the magnetic flux guide means, characterized by the combination that

a) the measuring element ( 26 ) consisting of magnetically conductive material has a central opening in which the measuring inductor ( 27 ) is arranged, and
b) the magnetic flux guide means end at the central opening radially outward toward the central opening, so that the magnetic field lines run in the radial direction via air gaps to the measuring element ( 26 ) and
c) the inductor ( 27 ) is arranged in the central opening and has a length corresponding at least to the width of the measuring element ( 26 ).

3. Position sensor according to claim 1, characterized in that the measuring element ( 7 ) has a conical outer surface, ie forms a measuring cone ( 32 ).

4. Position sensor according to claim 2, characterized in that the measuring element is a hollow cone ( 26 ) in which the ring coil ( 9 ) is arranged.

5. encoder according to one of the preceding claims, characterized characterized in that the measuring inductance is stationary and that Measuring element are arranged movably.

6. Position sensor according to one of the preceding claims, characterized in that the magnetic flux conduction means form two annular pole shoe surfaces which run parallel to the central axis ( 15 ) of the toroidal coil.

7. Position sensor according to one of the preceding claims, characterized in that the width B of the ring coil ( 50 ) is substantially smaller than the length M of the measuring cone ( 51 ).

8. Position sensor according to one of the preceding claims, characterized in that the measuring cone is brought to the full circular cylinder shape by a filling ( 67 ) made of magnetically non-conductive material.

9. Position sensor according to one of the preceding claims, characterized in that when using a measuring cone ( 61 ) one of the pole pieces has a radial extension ( 63 ).

10. Position sensor according to one of the preceding claims, characterized in that a compensation coil ( 34 ) is provided adjacent to the measuring coil ( 33 ).

11. Position sensor according to the preceding claim, characterized in that the compensation coil is arranged in the radial direction outside on the measuring coil ( 33 ).

12. Position sensor according to one of the preceding claims, characterized in that the compensation coil ( 74 ) is replaced by an ohmic resistor.

13. encoder according to the preceding claim, characterized characterized that ohmic resistance is its resistance changes depending on the temperature so that the Temperature dependence of the measuring coil is compensated.

14. Position sensor according to one of the preceding claims for a proportional magnet ( 30 ) with a plunger ( 35 ), characterized in that the measuring cone ( 32 ) is attached to the plunger ( 35 ) of the magnet or is formed integrally therewith.

15. Position sensor according to the preceding claim, characterized in that a push button ( 36 ) surrounds the measuring cone ( 32 ) and forms a bearing surface ( 43 ) for the measuring coil ( 33 ), the wall of the pot ( 36 ) between the measuring coil ( 33 ) and measuring cone ( 32 ).

16. Position sensor according to one of the preceding claims for use in a valve having a valve slide ( 45 ), characterized in that the measuring cone ( 32 ) is attached to the valve slide ( 45 ) or is formed integrally therewith and from a pressure chamber ( 42 ) enclosing it pot is surrounded (36), and in that the measuring coil (33) sits on the support surface (43) of Umschließungstopfes (36).

17. Position sensor according to one of the preceding claims, characterized characterized in that the measuring element is arcuate and moves on a circular path for angle measurement.