DE3401086A1

DE3401086A1 - PRECISION BEVEL GRINDERS

Info

Publication number: DE3401086A1
Application number: DE19843401086
Authority: DE
Inventors: Shigehiro Fuwa; Toshikazu Tokorozawa Saitama Hatsuse; Sosaku Kimura; Fumio Maeno
Original assignee: Citizen Watch Co Ltd
Current assignee: Citizen Watch Co Ltd
Priority date: 1983-01-14
Filing date: 1984-01-13
Publication date: 1984-07-19
Also published as: GB2135607A; JPS59129649A; GB2135607B; DE3401086C2; GB8400873D0

Description

Die Erfindung betrifft einen Präzisions-rFasenschleif er zum Schleifen einer schrägen Fläche aus hartem, sprödem Material, insbesondere einen Präzisions-Fasenschleifer zum Schleifen einer schrägen Fläche angrenzend an die Spurfläche eines Magnetkopfes einer Magnetplatteneinheit.The invention relates to a precision bevel grinder For grinding an inclined surface made of hard, brittle material, especially a precision bevel grinder for grinding an inclined surface adjacent to the track surface of a magnetic head of a magnetic disk unit.

Fig. 1 der beigefügten Zeichnung zeigt einen Ferritkern eines Magnetkopfes. Bei der Herstellung eines Magnetkopfes mit einem derartigen Ferritkern ist ein Maß an Schleif-Präzision und Qualität erforderlich, das beträchtlich größer ist, als bei anderen Anwendungsfällen. Dies kann auf folgende Faktoren zurückgeführt werden:Fig. 1 of the accompanying drawings shows a ferrite core of a magnetic head. In the manufacture of a magnetic head with such a ferrite core, a level of grinding precision and quality that is considerably greater is required than in other use cases. This can be due to the following Factors are attributed:

1) Die zu bearbeitende Fläche besteht aus einem harten, spröden Material wie Ferrit.1) The surface to be machined consists of a hard, brittle material such as ferrite.

2) Die von den beiden an die Spurfläche 2 angrenzenden abgeschrägten Flächen 3 definierte Spurbreite H ist sehr gering und muß mit sehr hoher Präzision bei sehr engen Toleranzen gefertigt werden.2) The track width H is defined by the two beveled surfaces 3 adjoining the track surface 2 very small and must be manufactured with very high precision with very tight tolerances.

3) Die bearbeitete Fläche muß von hoher Qualität sein.3) The worked surface must be of high quality.

Diese Art von Bearbeitung wird im allgemeinen durch Schleifen oder Läppen durchgeführt. Wegen der Sprödigkeit des Materials führt jedoch schon die geringste Vibration des Schleifwerkzeugs oder dgl. zu einem Splittern der bearbeiteten Fläche. Es ist daher erforderlich, eine hohe Rotationsgenauigkeit des Schleifwerkzeugs sicherzustellen und den Vorschub des Werkstücks mit größter Gleichmäßigkeit ohne jede Störungen auf den Führungsflächen zu bewirken.This type of machining is generally carried out by grinding or lapping. Because of the brittleness of the material However, even the slightest vibration of the grinding tool or the like leads to splintering of the machined surface. It is therefore required to have high rotational accuracy of the grinding tool and the feed rate of the Workpiece with the greatest uniformity without causing any disturbances on the guide surfaces.

Die Besonderheiten des Stirnschleifens sind folgendermaßen:The special features of face grinding are as follows:

1) Die Antriebskraft zum Drehen des Schleifwerkzeugs wirkt in der radialen Richtung der Werkzeugspindel und hat1) The driving force for rotating the grinding tool acts in the radial direction of the tool spindle and has

daher wenig Wirkung in der axialen Richtung. Da deshalb wenig Vibration an der Schleiffläche des Schleifwerkzeugs erzeugt wird, ist es möglich, eine bearbeitete Oberfläche von hoher Qualität zu erhalten.therefore little effect in the axial direction. As a result, there is little vibration on the grinding surface of the grinding tool is generated, it is possible to obtain a machined surface of high quality.

2) Die Anzahl der Durchläufe des Schleifwerkzeugs über ein vorgegebenes Einheitsgebiet der Fläche ist gering, so daß eine hohe Qualität der bearbeiteten Fläche einfach durch Reduzierung der Vorschubgeschwindigkeit des Werkstücks bewirkt werden kann.2) The number of passes of the grinding tool over a The predetermined unit area of the surface is small, so that a high quality of the machined surface is easy can be effected by reducing the feed rate of the workpiece.

Zusätzlich zu der Tatsache, daß der erfindungsgemäße Präzisions-Fasenschleifer diese charakteristischen Eigenschaften des herkömmlichen Stirnschleifers in vorteilhafter Weise übernimmt, ermöglicht er es, die geforderte hohe Qualität und Genauigkeit in der Anordnung der beschliffenen Fläche dadurch zu erreichen, daß die Spindel eines Stirnschleifwerkzeugs mittels hydrostatischer Lager derart getragen wird, daß sich das Schleifwerkzeug hochgenau drehen kann, und daß weiterhin druckbeaufschlagte hydrostatische Führungseinrichtungen und druckbeaufschlagte hydrostatische Vorschubspindeln in den Vorschubeinheiten der X- und der Y-Achse verwendet werden, so daß eine hochgenaue Lagesteuerung erreicht wird.In addition to the fact that the precision bevel grinder of the invention these characteristic properties of the conventional face grinder in an advantageous manner takes over, it enables the required high quality and accuracy in the arrangement of the ground surface to be achieved in that the spindle of a face grinding tool is supported in this way by means of hydrostatic bearings is that the grinding tool can rotate with high precision, and that further pressurized hydrostatic guide devices and pressurized hydrostatic feed spindles can be used in the feed units of the X- and Y-axes, so that a highly accurate position control is achieved.

Bei derartigen Schleifarbeiten wurde bisher ein Schleifer verwendet, welcher ein horizontal oder vertikal angeordnetes Schleifwerkzeug und eine Steuerschaltung umfaßt, welche in der Lage ist die vertikale Stellung des Schleifwerkzeugs (der Schleifscheibe) relativ zu dem Werkstück mit hoher Genauigkeit zu steuern und,welche weiterhin in der Lage ist eine X-Y-Vorschubeinheit, die das Werkstück trägt, genau entlang der X- und Y-Achse vorwärts zu bewegen. Der Schleif Vorgang wurde bisher derart durchgeführt, daß das Werkstück in einem vorgegebenen Winkel zu der Schleiffläche des Schleif-A grinder has hitherto been used for such grinding work used, which comprises a horizontally or vertically arranged grinding tool and a control circuit which is shown in the position is the vertical position of the grinding tool (the grinding wheel) relative to the workpiece with high Accuracy control and which is still able to accurately control an X-Y feed unit that carries the workpiece move forward along the X and Y axes. The grinding process has so far been carried out in such a way that the workpiece is at a predetermined angle to the grinding surface of the grinding

Werkzeugs mittels einer auf der X-Y-Vorschubeinheit befestigten Werkstückspanneinrichtung gehalten wurde.Tool was held by means of a workpiece clamping device attached to the X-Y feed unit.

Da die Führung der X-Y-Vorschubeinheit bei den üblichen Schleifern durch. Berührung von Rollen oder Gleitflächen mit den Führungsflächen bewirkt wird, ist es unmöglich, ständig eine präzise Positionierung wegen zwischen den Führungsflächen und den Rollen auftretenden Vibrationen oder wegen rückweisen Vorschubs der Gleitflächen oder Änderungen der Schmierung zu erreichen. Da die üblicherweise für eine genaue Positionierung verwendeten Kugelumlaufspindeln schlechte Dämpfungseigenschaften haben, und auch zu Vibrationen im Bereich zwischen Spindel und Kugeln neigen, war es bisher schwierig, mit einer derartigen Vorrichtung eine mit hoher Genauigkeit hergestellte Fläche zu erhalten. Da weiterhin die Spindellager des Schleifwerkzeugs bisher Gleit- oder Rollenlager waren und daher, wie gezeigt, zu geringen Vibrationen neigen, bestand eine Tendenz zum Splittern gerade bei dem Schleifen eines spröden Werkstücks .Because the guidance of the X-Y feed unit is carried out by the usual grinders. Contact with rollers or sliding surfaces is effected with the guide surfaces, it is impossible to constantly a precise positioning because of between the Guide surfaces and the rollers occurring vibrations or due to reverse advancement of the sliding surfaces or changes in lubrication. Since the usually recirculating ball screws used for precise positioning have poor damping properties, and also tend to vibrate in the area between the spindle and balls, it was previously difficult to use such a Device to obtain a surface produced with high accuracy. There continue to be the spindle bearings of the grinding tool There was a tendency for them to have been plain or roller bearings up to now and therefore, as shown, tend to have low vibrations for splintering, especially when grinding a brittle workpiece.

Bei einem Schleifer mit Longitudinal- und Quervorschub ist es nicht nur erforderlich, den Vorschub des Tisches bei der Bewegung des Werkstücks entlang der X- und Y-Achse zu steuern, sondern auch den Vorschub des Schleifwerkzeugs in der vertikalen Richtung. Allgemein gesagt ist es daher schwierig, einen präzise Vorschub in der vertikalen Richtung zu bewirken, weil die Vorschubeinheit dem Einfluß des Gewichts des Schleifwerkzeugs, seiner Welle und anderen Teilen des Vorschubsystems, sowie einem Spiel zwischen den Bauelementen dieses Systems unterworfen ist.With a grinder with longitudinal and transverse feed, it is not only necessary to feed the table to control the movement of the workpiece along the X and Y axes, but also the feed rate of the grinding tool in the vertical direction. Generally speaking, therefore, it is difficult to precisely feed in the vertical direction to cause because the feed unit is influenced by the weight of the grinding tool, its shaft and others Parts of the feed system, as well as a game between the components of this system is subject.

Fig. 2 zeigt die Beziehung zwischen der üblichen Vorschubeinheit und dem durch diese zugeführten Werkstück. Um eine Spurfläche von der erforderlichen GenauigkeitFig. 2 shows the relationship between the usual feed unit and the workpiece fed thereby. To get a track area of the required accuracy

, ϊΐ » m, w >ΰ , ϊΐ » m, w > ΰ

in der Anordnung herzustellen, wird das Werkstück in eine geeignete Stellung zu dem Schleifwerkzeug durch Bewegen des Vorschubschlittens entlang der Y-Achse und vertikal'" Vorschub des Schleifwerkzeuges gebracht. Bei dieser Anordnung wird jedoch unabhängig wie exakt die Positionierung ent¹ --^ der Y-Achse ist ein Positionierungsfehler durch den vertikalen Vorschub des Schleifwerkzeugs auftreten, was zu einer Abweichung der Herstellungsgenauigkeit führt. Weiter ist es erforderlich, nach Herstellung der Flache 7a des Werkstücks 7 in der in Fig. 2 gezeigten Stellung des Supportes 5, zur Herstellung der nächsten Fläche 7b das Schleifwerkzeug 8 quer um die Strecke Y₁ und vertikal um die Höhe h_? zu bewegen. Dabei wird, auch bei einem Vorschub des Supportes 5 um die Strecke Y₁ , gemessen auf der linearen Skala 6, jede Abweichung,aufgrund von Unregelmäßigkeiten der Gleitflächen oder eines Spiels in dem System,um den Betrag der Höhendifferenz (h„ - h₁) vergrößert, was eine Bearbeitung mit hoher Genauigkeit unmöglich macht. Es versteht sich daher, daß jeder Versuch, die Anzahl der derart in einem Winkel gehaltenen Werkstücke zu erhöhen, lediglich zu einer Erhöhung der Streuung der Bearbeitungsgenauigkeit unter den bearbeiteten Werkstücken führen wird. Die Anzahl der Werkstücke, die in einem Arbeitsgang bearbeitet werden können, ist daher begrenzt, so daß die Effizienz gering ist. produce in the assembly, bringing the workpiece into an appropriate position relative to the grinding tool, by moving the feed slide along the Y-axis and vertically '"feed of the grinding tool in this arrangement, the positioning is independent of how accurate ent ¹ -. ^ Y -Axis is a positioning error due to the vertical advance of the grinding tool, which leads to a deviation in the manufacturing accuracy.Furthermore, after the surface 7a of the workpiece 7 has been produced in the position of the support 5 shown in FIG Surface 7b to move the grinding tool 8 transversely by the distance Y ₁ and vertically by the height h _? Here, even when the support 5 is advanced by the distance Y ₁ , measured on the linear scale 6, any deviation due to irregularities of the sliding surfaces or a play in the system, increased by the amount of the height difference (h "- h ₁ ), which means machining with high accuracy makes impossible. It is therefore understood that any attempt to increase the number of workpieces thus held at an angle will only result in an increase in the spread of the machining accuracy among the machined workpieces. The number of workpieces that can be machined in one operation is therefore limited, so that the efficiency is low.

Aufgabe der Erfindung ist es, einen Präzisions-Fasenschleifer zu schaffen*' der die genannten Nachteile der üblichen Schleifer überwindej:, und insbesondere geeignet ist, die schrägen Flächen eines harten, spröden Materials mit hoher Genauigkeit zu beschleifen, ohne daß das Material dabei zersplittert.The object of the invention is to provide a precision bevel grinder to create * 'which overcomes the mentioned disadvantages of the usual grinder, and is particularly suitable, to grind the inclined surfaces of a hard, brittle material with high accuracy without removing the material splintered in the process.

Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe gelöst durch-einen Präzisions-Fasenschleifer, bestehend aus einem Sockel, einem auf den Sockel in einem Neigungswinkel zu diesem angeord-According to the invention, this object is achieved by a precision bevel grinder, consisting of a base, one on the base at an angle of inclination to this

neten Schleifwerkzeugträger, einem auf eine Schleifwerkzeugspindel aufgesetzten Stirnschleifwerkzeug, wobei die Spindel in dem Schleifwerkzeugträger von Flüssigkeitsdruck-Lagern getragen wird, einem in X-Richtung geführten Vorschubschlitten , welcher von einer Flüssigkeitsdruck-Vorschubspindel angetrieben ist und von in X-Richtung verlaufenden, auf den Sockel aufgebrachten Flüssigkeitsdruck-Führungsflächen geführt ist, einem in Y-Richtung angeordneten Support, welcher von einer Flüssigkeitsdruck-Vorschubspindel angetrieben ist und in Flüssigkeitsdruck-Führungsflächen eingreift, welche in Y-Richtung angeordnet sind, und auf dem in X-Richtung beweglichen Vorschubschlitten aufgebracht sind, und einer Werkstückspannvorrichtung, welche auf der Oberseite des in Y-Richtung geführten Supportes befestigt ist.neten grinding tool carrier, one on a grinding tool spindle mounted face grinding tool, with the spindle in the grinding tool holder of fluid pressure bearings is carried, a feed slide guided in the X direction , which is driven by a liquid pressure feed screw and from extending in the X-direction, fluid pressure guide surfaces applied to the base is guided, a support arranged in the Y-direction, which is driven by a fluid pressure feed spindle is and engages in liquid pressure guide surfaces which are arranged in the Y direction, and on the Movable in the X-direction feed slide are applied, and a workpiece clamping device, which on the Top of the guided in the Y-direction support is attached.

Ein besonderer Vorteil des erfindungsgemäßen Präzisions-Fasenschleifers ist es, daß er dafür geeignet ist die schrägen Flächen von Magnetköpfen zu beschleifen.A particular advantage of the precision bevel grinder according to the invention it is that it is suitable for grinding the inclined surfaces of magnetic heads.

Die Unteransprüche kennzeichnen vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung.The subclaims characterize advantageous embodiments of the invention.

Die Erfindung wird nachfolgend beispielsweise anhand der Zeichnung beschrieben; in dieser zeigen:The invention is described below, for example, with reference to the drawing; in this show:

Fig. 1 eine perspektivische Ansicht eines Ferritkerns als ein Beispiel eines mit der erfindungsgemäßen Vorrichtung bearbeitbaren Werkstücks;Fig. 1 is a perspective view of a ferrite core as an example of one with the device according to the invention machinable workpiece;

Fig. 2 eine die bekannte Herstellungsweise erläuternde Darstellung, 2 shows a representation explaining the known production method,

Fig. 3 eine perspektivische Ansicht der ganzen erfinderischen Vorrichtung;Figure 3 is a perspective view of the whole of the inventive Contraption;

Fig.4 eine Ansicht der Vorrichtung nach Fig. 3 von links;4 shows a view of the device according to FIG. 3 from the left;

Fig. 5 einen Querschnitt, welcher den wesentlichen Teil der Spindel eines Schleifwerkzeugs zeig:;Fig. 5 is a cross section showing the essential part of the spindle of a grinding tool :;

Fig. 6 eine perspektivische Ansicht des wesentlichen Teiles einer X-Y-Vorschubeinheit;Fig. 6 is a perspective view of the essential part an X-Y feed unit;

Fig. 7 (A) einen Querschnitt, welcher den wesentlichen Teil einer Flüssigkeitsdruck-Vorschubspindel zeigt;Fig. 7 (A) is a cross section showing the essential part of a liquid pressure feed screw;

Fig. 7 (B) einen Querschnitt, welcher den wesentlichen Teil einer Flüssigkeitsdruck-Mutter zeigt;Fig. 7 (B) is a cross section showing the essential part of a fluid pressure nut;

Fig. 7 (C) einen Querschnitt, welcher den wesentlichen Teil eines Flüssigkeitsdruck-Supports zeigt;Fig. 7 (C) is a cross section showing the essential part of a fluid pressure support;

Fig. 8 eine perspektivische Ansicht einer Werkstückaufspannvorrichtung ;8 is a perspective view of a workpiece clamping device ;

Fig. 9 eine perspektivische Ansicht eines Magnetkern-Rohlings;9 is a perspective view of a magnetic core blank;

Fig. TO (A) und (B) Darstellungen, welche das Schleifen mit der erfindungsgemäßen Vorrichtung erläutern.FIGS. TO (A) and (B) representations which explain the grinding with the device according to the invention.

Die Fig. 3 und 4 zeigen ein Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen Vorrichtung. Dieses Ausführungsbeispiel hat einen Sockel 10 mit einer oberen Ebene 12, auf dem ein Schleifwerkzeugträger 11 befestigt ist. Der Sockel 10 ist weiter mit Führungsflächen 13a, 13b in X-Richtung versehen, die mit einem in X-Richtung geführten Vorschubschlitten 14 in Eingriff stehen, welcher in X-Richtung von einer Flüssigkeitsdruck-Vorschubspindel 16 geführt ist, die auf Steuerbefehle von einer Steuerschaltung 15 hin rotiert. Die Oberseite des in X-Richtung geführten Vorschubschlittens 14 ist mit Führungsflächen in Y-Richtung versehen, die später erläutert werden. Diese Führungsflächen in Y-Richtung wirken mit einem Support 17 zusammen, der bei Rotation einer Flüssigkeitsdruck-Vorschubspindel in Y-Richtung gleitet. Auf einer Seitenfläche des in Y-Richtung geführten Supports3 and 4 show an embodiment of the invention Contraption. This embodiment has a base 10 with an upper level 12 on which a Grinding tool carrier 11 is attached. The base 10 is also provided with guide surfaces 13a, 13b in the X direction, which are in engagement with a feed slide 14 guided in the X direction, which is guided in the X direction by a fluid pressure feed spindle 16 is performed, which rotates in response to control commands from a control circuit 15. the The top of the feed slide 14, which is guided in the X direction, is provided with guide surfaces in the Y direction, which later explained. These guide surfaces in the Y direction cooperate with a support 17 which, when a fluid pressure feed spindle is rotated slides in the Y direction. On a side surface of the support guided in the Y direction

17 ist eine lineare Skala 19 vorgesehen, die zur Abgabe eines Impulses zu der Steuerschaltung 15 eingerichtet ist, jedesmal wenn sich der in Y-Richtung geführte Support 17 um eine Strecke von 0,1 um bewegt. Die Steuerschaltung 15 empfängt so eine Anzahl von Impulsen, welche der von dem in Y-Richtung geführten Support 17 zurückgelegten Strecke entspricht.17 is a linear scale 19 is provided for the delivery of a pulse to the control circuit 15 is set up each time the support guided in the Y direction 17 moved a distance of 0.1 µm. The control circuit 15 thus receives a number of pulses which corresponds to that of the Support 17 guided in the Y direction corresponds to the distance covered.

Auf der Oberseite des in Y-Richtung geführten Supports 17 ist eine Aufspanneinrichtung 21 zum Halten einer Vielzahl von Werkstücken 20 befestigt.On the upper side of the support 17, which is guided in the Y direction, there is a clamping device 21 for holding a large number of workpieces 20 attached.

Der Schleifwerkzeugträger 11 ist, wie Fig. 4 zeigt, in einem vorgegebenen Winkel oC in Bezug auf die obere Fläche der Werkstücke 20 angeordnet (dieser Winkel entspricht dem Winkel der abgeschrägten Oberfläche eines Ferritkerns). Er tragt mittels Flüssigkeitsdruck-Lager eine Schleifwerkzeug-Spindel 22, an die ein Schleifwerkzeug 23 angebracht ist. In der Nähe des Schleifwerkzeugs 23 ist eine Mikroskop-Einheit 24 zur Beobachtung der geschliffenen Fläche vorgesehen. Die Bezugsziffer 25 bezeichnet eine Abzieheinrichtung zum Schärfen des Schleifwerkzeugs 23. Das Bezugszeichen 26 bezeichnet einen Antriebsmotor zum Drehen der Schleifwerkzeug-Spindel 22. Weiter ist eine - nicht gezeigte - Hydraulik-Einheit zur Versorgung der Flüssigkeitsdruck-Vorschubspindeln mit hydraulischem Druck vorhanden.The grinding tool holder 11 is, as FIG. 4 shows, in one given angle oC in relation to the upper surface of the workpieces 20 (this angle corresponds to the angle of the beveled surface of a ferrite core). It carries a grinding tool spindle by means of a fluid pressure bearing 22 to which a grinding tool 23 is attached. In the vicinity of the grinding tool 23 is a microscope unit 24 provided for observing the sanded surface. The reference numeral 25 denotes a pulling device for sharpening the grinding tool 23. The reference number 26 denotes a drive motor for rotating the grinding tool spindle 22. Further one is - not shown - hydraulic unit for supplying the fluid pressure feed spindles with hydraulic pressure available.

Fig. 5 zeigt den Aufbau der Lager der Schleifwerkzeug-Spindel 22. Die Werkzeug-Spindel 22 hat eine Riemenscheibe 27 an einem Ende und eine Welle 28 für die Anbringung des Schleifwerkzeugs 23 am anderen Ende. Sie ist an dem geneigten Schleifwerkzeugträger 11 mittels eines Paares von Flüssigkeitsdruck-Lagern gehalten, welche aus einem Radiallager 31 und einem Axiallager 30 bestehen. Die Riemenscheibe 27 undFig. 5 shows the structure of the bearings of the grinding tool spindle 22. The tool spindle 22 has a pulley 27 at one end and a shaft 28 for the attachment of the Grinding tool 23 at the other end. She is at the inclined Grinding tool carrier 11 by means of a pair of fluid pressure bearings which consist of a radial bearing 31 and an axial bearing 30. The pulley 27 and

β α <* «ι * β α <* «ι *

der Antriebsmotor 26 sind über einen Riemen 29 verbunden. In dem gezeigten Ausführungsbeispiel ist das Axiallager 30 als Mehrfach-Flüssigkeitsdruck-Dampfungslager ausgebildet, so daß eine thermische Verschiebung in axialer Richtung minimiert werden kann, obwohl das Axiallager so weit wie möglich zur Seite des Schleifwerkzeugs hin angeordnet ist .the drive motor 26 are connected via a belt 29. In the embodiment shown, the thrust bearing is 30 designed as a multiple liquid pressure vapor storage, see above that thermal displacement in the axial direction can be minimized, although the thrust bearing as much as possible is arranged towards the side of the grinding tool.

Durch die Verwendung von Flüssigkeitsdruck-Lagern für das Radiallager 31 und das Axiallager 30 in dieser Weise ist es möglich, eine vibrationsfreie Schleifwerkzeug-Spindel mit hoher Drehgenauigkeit zu verwirklichen.By using fluid pressure bearings for the radial bearing 31 and the thrust bearing 30 in this way it is possible to use a vibration-free grinding tool spindle to realize high turning accuracy.

Das Radiallager 31 ist mit einem Paar von Flüssigkeitsdruck-Taschen 31a, 31b um seinen inneren Umfang versehen, während das Axiallager 30 mit einem Paar von Flüssigkeitsdruck-Taschen 30a, 30b versehen ist, die so angeordnet sind, daß ein Flansch 22a der Schleifwerkzeug-Spindel 22 umgriffen wird. Die genannten Flüssigkeitsdruck-Taschen 31a, 31b und' 30a, 30b sind mit einer (nicht gezeigten) hydraulischen Einheit über Hydraulik-Druckleitungen 32a, 32b verbunden.The radial bearing 31 is provided with a pair of fluid pressure pockets 31a, 31b provided around its inner periphery, while the thrust bearing 30 is provided with a pair of fluid pressure pockets 30a, 30b, which are arranged so that a flange 22a of the grinding tool spindle 22 encompasses will. Said fluid pressure pockets 31a, 31b and 30a, 30b are provided with a hydraulic one (not shown) Unit connected via hydraulic pressure lines 32a, 32b.

Obwohl in der Zeichnung nicht gezeigt, basiert die Vorschubeinheit des Schleifwerkzeuges in der Z-Richtung in diesem Ausführungsbeispiel auf dem sogenannten Spindelvorschub-System, wobei die Gleitbewegung auf das Schleifwerkzeug 23 durch die Drehung einer Leitspindel, die mit einem Bedienungsgriff verbunden ist, übertragen wird. Diese Art der Vorschubeinheit wird zum Vorschub in der Z-Richtung verwendet, da für die Präzisions-Fasenschleifmaschine nach dieser Erfindung die Vorschubeinheit für die Z-Achse lediglich bei Beginn eingestellt zu werden braucht und danach innerhalb gewisser Grenzen fixiert bleibt. Die Erfin-r dung ist jedoch nicht auf eine derartige Anordnung begrenzt,Although not shown in the drawing, the feed unit is based of the grinding tool in the Z-direction in this embodiment on the so-called spindle feed system, the sliding movement on the grinding tool 23 by the rotation of a lead screw that rotates with is connected to an operating handle. This type of feed unit becomes the feed in the Z direction used as for the precision bevel grinding machine According to this invention, the feed unit for the Z-axis only needs to be set at the beginning and thereafter remains fixed within certain limits. The inventor application is not limited to such an arrangement,

es kann stattdessen auch eine Flüssigkeitsdruck-Vorschubspindeleinheit verwendet werden, wie die zum Vorschub in der X-Richtung und der Y-Richtung. Damit wird sowohl die Genauigkeit, als auch der Anwendungsbereich des Schleifers vergrößert.a liquid pressure feed screw assembly can be used instead can be used, such as those for feeding in the X-direction and the Y-direction. So that both the accuracy as well as the range of application of the grinder increases.

Fig. 6 zeigt eine perspektivische Ansicht des wesentlichen Teiles der X-Y-Vorschubeinheit bei diesem Ausführungsbeispiel.Der Sockel 10 ist mit Führungsflächen 13a in X-Richtung versehen, die mit Gleitflächen 141 des in X-Richtung geführten Vorschubschlittens 14 zusammenwirken,und mit Führungsflächen 13b in X-Richtung versehen, die mit Gleitflächen 143 zusammenwirken, welche an beiden Seiten eines vorstehenden Bauteiles 142 des in X-Richtung geführten Supportes 14 vorgesehen sind. Das vorstehende Bauteil 142 ist integral an dem in X-Richtung geführten Vorschubschlitten 14 befestigt und ist in seinem Mittelteil mit einer Flüssigkeitsdruck-Mutter zur Aufnahme der Flüssigkeitsdruck-Vorschubspindel 16 versehen. Die Flüssigkeitsdruck-Vorschubspindel 16, die im Gewindeeingriff mit der Flüssigkeitsdruck-Mutter 147 steht, dreht nach Eingang von Befehlsignalen der Steuerschaltung 15 und bewirkt dadurch eine Bewegung des in X-Richtung geführten Vorschubschlittens 14 in X-Richtung, welcher durch die Führungsflächen 13a, 13b geführt wird.Fig. 6 is a perspective view of the essential part of the X-Y feed unit in this embodiment Base 10 has guide surfaces 13a in the X direction provided, which cooperate with sliding surfaces 141 of the feed slide 14 guided in the X direction, and with Guide surfaces 13b provided in the X direction with sliding surfaces 143 cooperate, which on both sides of a protruding component 142 of the guided in the X direction Supportes 14 are provided. The protruding component 142 is integral to the feed slide guided in the X direction 14 and is in its central part with a liquid pressure nut for receiving the liquid pressure feed screw 16 provided. The fluid pressure feed screw 16 threadedly engaged with the fluid pressure nut 147 stands, rotates upon receipt of command signals from the control circuit 15 and thereby causes a Movement of the feed slide 14 guided in the X direction in the X direction, which is guided by the guide surfaces 13a, 13b is performed.

Der in X-Richtung geführte Vorschubschlitten 14 ist mit einem quer zur Vorschubrichtung angeordneten Paar von Führungsabschnitten 144 für den in Y-Richtung geführten Support 17 versehen. Er hat weiter ein Paar von Stützteilen 145, 146 auf beiden Seiten zur Halterung einer Flüssigkeitsdruck-Vorschubspindel 18 zum exakten Vorschub des in Y-Richtung geführten Vorschubschlittens 17 in Y-Richtung.The feed slide 14, which is guided in the X direction, has a pair of guide sections arranged transversely to the feed direction 144 for the support 17 guided in the Y direction. It also has a pair of support parts 145, 146 on both sides for holding a fluid pressure feed spindle 18 for the exact feed of the in the Y direction guided feed slide 17 in the Y direction.

Der Vorschub des derart aufgebauten in X-Richtung geführten Vorschubschlittens 14 kann mit außerordentlich hoher Stabilität vibrationsfrei mittels der Führungsflächen 13a, 13b gesteuert werden, und die Flüssigkeitsdruck-Vorschubspindel 16 kann mit Vorschubgeschwindigkeiten von annähernd 20 mm/min bewegt werden, bei der bei den bekannten Vorschubeinheiten wegen kleiner Vibrationen Probleme auftreten.The advance of the so constructed guided in the X-direction Feed carriage 14 can be vibration-free with extremely high stability by means of the guide surfaces 13a, 13b can be controlled and the liquid pressure feed screw 16 can be operated at feed speeds of approximately 20 mm / min are moved, in which problems occur with the known feed units because of small vibrations.

Andererseits ist, wie oben erwähnt, der in Y-Richtung geführte Support 17 auf dem in X-Richtung geführten Vorschubschlitten 14 im Eingriff mit dem Führungsprofil 144, welches in diesem vorgesehen ist. Der in Y-Richtung geführte Support 17 besteht aus gleitenden Bauteilen 171 zum Eingreifen mit den Führungsabschnitten 144, einer Flüssigkeitsdruck-Mutter 172, welche im Gewindeeingriff mit der Flüssigkeitsdruck-Vorschubspindel 18 steht und aus einem flachen Abschnitt zur Befestigung der Aufspanneinrichtung 21,On the other hand, as mentioned above, the one guided in the Y direction Support 17 on the feed slide guided in the X direction 14 in engagement with the guide profile 144, which is provided in this. The one guided in the Y direction Support 17 consists of sliding components 171 for Engaging with guide portions 144, a fluid pressure nut 172 which is threadedly engaged with the Liquid pressure feed spindle 18 is and consists of a flat section for fastening the clamping device 21,

Eine Seitenfläche des in Y-Richtung geführten Supports 17 ist, wie oben erwähnt, mit einer linearen Skala 19 versehen, die zur Abgabe eines Impulses bei jedem Vorschub des Tisches um 0,1 um eingerichtet ist.A side surface of the support 17 guided in the Y direction is, as mentioned above, provided with a linear scale 19, which is used to deliver a pulse with each advance of the table is set at 0.1 µm.

Der Aufbau der Flüssigkeitsdruck-Vorschubeinheit, die für die Vorschubeinheit in Y-Richtung verwendet wird, ist in Fig. 7 erläutert. Wie aus dieser Figur hervorgeht, beinhaltet die Flüssigkeitsdruck-Vorschubeinheit die Flüssigkeitsdruck-Mutter 172, die an dem in Y-Richtung geführten Support 17 befestigt ist. Die Flüssigkeitsdruck-Mutter 172 besteht aus einem Paar von Muttern 33, 34^Ie an und entlang der Flüssigkeitsdruck-Vorschubspindel 18 befestigt sind, welche wiederum an dem in X-Richtung geführten Vorschubschlitten 14 befestigt ist, und aus Flüssigkeitsdruck-Taschen 331, 341, die sich zu gegenüberliegenden Schraubenflanken der Flüssigkeitsdruck-Vorschubspindel 18 hin öffnen. Die Flüssigkeits-The structure of the liquid pressure feed unit used for the Y-direction feed unit is shown in FIG. 7 explained. As can be seen from this figure, the liquid pressure feeding unit includes the liquid pressure nut 172, which are attached to support 17 is attached. The fluid pressure nut 172 consists of a pair of nuts 33, 34 ^ Ie on and along the Liquid pressure feed spindle 18 are attached, which in turn on the feed slide guided in the X direction 14 is attached, and from fluid pressure pockets 331, 341, which are to opposite screw flanks of the fluid pressure feed screw 18 open. The liquid

druck-Mutter 172 ist integral an dem in Y-Richtung geführten Support 17 befestigt und wird mittels Rotation der Flüssigkeitsdruck-Vorschubspindel 18 angetrieben. Die Flüssigkeitsdruck-Taschen 331, 341 werden mittels einer (nicht gezeigten) hydraulischen Druckeinheit über hydraulische Druckleitungen 332, 342 mit hydraulischem Druck versorgt. Die Bezugszeichen 38a und 38b bezeichnen Flüssigkeitsdruck-Taschen, die zusammen ein Flüssigkeitsdruck-Axiallager zur Stabilisierung der Flüssigkeitsdruck-Vorschubspindel 18 bilden.pressure nut 172 is integrally guided in the Y-direction Support 17 is attached and is driven by rotation of the liquid pressure feed screw 18. the Fluid pressure bags 331, 341 are by means of a (not shown) hydraulic pressure unit via hydraulic Pressure lines 332, 342 supplied with hydraulic pressure. The reference numerals 38a and 38b denote liquid pressure bags, which together form a fluid pressure thrust bearing to stabilize the fluid pressure feed screw 18 form.

Weiter ist das gleitende Bauteil 171 des in Y-Richtung geführten Supports 17 auf dem in X-Richtung geführten Vorschubschlitten 14 befestigt, welcher eine erste trapezförmige Ausnehmung derart hat, daß das gleitende Bauteil 171 von den geneigten seitlichen Flächen 144a, 144b der ersten trapezförmigen Ausnehmung geführt wird. Der in Y-Richtung geführte Support 17 wird also von vier Flächen des in X-Richtung geführten Vorschubschlittens 14 geführt. In den Bereichen des Eingriffs zwischen dem in X-Richtung geführten Vorschubschlittens 14 und dem in Y-Richtung geführten Support 17 ist eine oder sind mehrere Reihen von Flüssigkeitsdruck-Taschen 17a, 17b, 17c und 17d angeordnet. Eine Flüssigkeit, welche unter Druck von einer (nicht gezeigten) externen Flüssigkeitsdruck-Quelle in den in X-Richtung geführten Vorschubschlitten 14 angeliefert wird, eine pantographenartig ausgebildete Flüssigkeits-Druckleitung, die sich entlang dem Weg des gleitenden Bauteiles 1 71 ausdehnt oder zusammenzieht_f und eine Flüssigkeits-Druckleitung 17e in dem Support 17 versorgen die Flüssigkeitsdruck-Lager, wodurch Kraft auf jede der Oberflächen 144a, 144b, 144c und 144d aufgebracht wird.Furthermore, the sliding component 171 of the support 17 guided in the Y direction is attached to the feed slide 14 which is guided in the X direction and has a first trapezoidal recess such that the sliding component 171 is separated from the inclined lateral surfaces 144a, 144b of the first trapezoidal recess to be led. The support 17 guided in the Y direction is therefore guided by four surfaces of the feed slide 14 guided in the X direction. In the areas of engagement between the feed slide 14 guided in the X direction and the support 17 guided in the Y direction, one or more rows of fluid pressure pockets 17a, 17b, 17c and 17d are arranged. A liquid which is supplied under pressure from an external liquid pressure source (not shown) in the feed carriage 14 guided in the X direction, a pantograph-like liquid pressure line which expands or contracts along the path of the sliding component 1 71 _f and a fluid pressure line 17e in the support 17 feed the fluid pressure bearings, whereby force is applied to each of the surfaces 144a, 144b, 144c and 144d.

Da die in Bezug auf die Flüssigkeitsdruck-Vorschubeinheit für den in Y-Richtung geführten Support gemachten Erläuterungen auch für den in X-Richtung geführten Vorschub-Since the explanations made in relation to the liquid pressure feed unit for the support guided in the Y direction also for the feed rate guided in the X direction

schlitten gelten, wird hier zur Vermeidung von Wiederholungen auf eine Erläuterung insoweit verzichtet.apply, an explanation is dispensed with here in order to avoid repetition.

Die Flüssigkeitsdruck-Vorschubspindeln 16 und 18 werden über zugehörige Übertragungseinheiten über Antriebsmotore 36 bzw. 37 angetrieben. Beide Spindeln werden mit hoher Genauigkeit in Radial- und Axialrichtung durch Flüssigkeitsdruck-Lager gehalten.The fluid pressure feed spindles 16 and 18 are driven via associated transmission units via drive motors 36 or 37 powered. Both spindles are driven with high accuracy in the radial and axial directions by fluid pressure bearings held.

Eine perspektivische Ansicht der wesentlichen Teile der Aufspanneinrichtung 21, die auf der Oberseite des in Y-Richtung geführten Supports 17 zum Aufspannen der Werkstücke befestigt ist, ist in Fig. 8 gezeigt. Bei der gezeigten Ausführungsform ist eine Vielzahl von Ferritkern-Rohlingen von der in Fig. 9 gezeigten Art auf einem Basistisch 211 ausgerichtet befestigt, welcher relativ zu Bezugsflächen 212 auf der Aufspanneinrichtung 21 durch eine (nicht gezeigte) Vakuumspanneinrichtung befestigt ist, wodurch die herzustellenden abgeschrägten Flächen 3 in einer festen Stellung in Bezug auf das Schleifwerkzeug 23 gehalten werden.A perspective view of the essential parts of the jig 21, which are on the top of the in the Y-direction guided supports 17 for clamping the workpieces is shown in FIG. In the embodiment shown, there is a plurality of ferrite core blanks of the type shown in Fig. 9 mounted in alignment on a base table 211 which, relative to reference surfaces 212 on the clamping device 21 by a (not shown) Vacuum clamping device is attached, whereby the to be produced beveled surfaces 3 are held in a fixed position with respect to the grinding tool 23.

Es versteht sich, daß vor dem Anfasen durch den erfindungsgemäßen Schleifer die Rohlinge 35 mit einer Vielzahl von Kerben 351 versehen worden sind und bezüglich Ihrer Bodenflächen und ihren sonstigen äußeren Abmessungen vereinheitlicht worden sind. Bei dem gezeigten Ausführungsbeispiel werden aus jedem Rohling sechs Magnetköpfe hergestellt.It goes without saying that before beveling by the grinder according to the invention, the blanks 35 with a plurality of Notches 351 have been provided and standardized with regard to their bottom surfaces and their other external dimensions have been. In the embodiment shown, six magnetic heads are made from each blank.

Die Arbeitsweise des Präzisions-Fasenschleifers nach der Erfindung wird jetzt unter Bezugnahme auf ein konkretes Beispiel erläutert.The way the precision bevel grinder works according to the The invention will now be explained with reference to a concrete example.

Zunächst wird eine Anzahl von Rohlingen 35, die bezüglich ihrer Genauigkeit in den vorangegangenen Herstellungsschritten geprüft worden sind, auf der Aufspanneinrichtung First, a number of blanks 35, which have been checked for their accuracy in the previous manufacturing steps, on the jig

21 ausgerichtet. Aus Gründen der (unten beschriebenen) Herstellungsweise wird die Mehrzahl von Rohlingen 35 auf dem Basistisch 211 vorab mittels Wachs oder dergleichen befestigt, die Basisplatte 211 wird sodann anliegend an die Bezugsflächen 212 der Aufspanneinrichtung 21 mittels der Vakuumspanneinrichtung befestigt.21 aligned. For reasons of production method (described below), the plurality of blanks 35 on the base table 211 is fixed in advance by means of wax or the like, the base plate 211 is then secured to the adjacent reference surfaces 212 of the clamping device 21 by the vacuum chuck.

Figur 10 (A) ist ein erläuterndes Diagramm, welches die gegenseitige Lage zwischen dem Rohling 35 auf der Aufspanneinrichtung 25 und dem Schleifwerkzeug 23 (einer Schleifscheibe) zeigt. Das Schleifwerkzeug 23 wird entlang der Z-Richtung bewegt, um dieses in die gewünschte Position zu bringen. Das Zustellmaß für das Schleifen wird sodann durch Bewegen des in Y-Richtung bewegbaren Supports eingestellt, wodurch der Rohling 35 in die gewünschte Stellung gebracht wird. Nachdem so das Zustellmaß für das Schleifen eingestellt wurde, wird das Schleifen entsprechend dem folgenden Verfahren durchgeführt.Figure 10 (A) is an explanatory diagram showing the mutual position between the blank 35 on the jig 25 and the grinding tool 23 (a grinding wheel). The grinding tool 23 is along moves in the Z direction to bring it into the desired position. The infeed for grinding is then set by moving the support movable in the Y direction, whereby the blank 35 is in the desired position is brought. After the infeed for grinding has been set in this way, grinding is carried out according to the following Procedure carried out.

Durch das anfängliche Einstellen des Zustellmaßes für das Schleifen werden das Schleifwerkzeug 23 und der Rohling 35 zunächst in eine Stellung zum Probeschleifen durch Bewegung entlang der Z-Richtung bzw. der Y-Richtung gebracht. Sodann wird das Probeschleifen durchgeführt. Das Zustellmaß dieses Probeschleifens wird durch mikroskopische Beobachtung unter Verwendung der Mikroskop-Einheit 24 oder der linearen Skala 19 gemessen, woraufhin der Betrag der erforderlichen Kompensation von dem gemessenen Wert bestimmt wird (Y.. in Fig. 10 (A) zeigt den Betrag des Vorschubs entlang der Y-Richtung bei dem Probeschleifen). Der Betrag des Kompensationsvorschubs (bezeichnet durch Y_) wird sodann bestimmt und der in X-Richtung geführte Vorschubschlitten 14 entlang der X-Richtung geführt (also senkrecht zu der Ebene von Fig. 10 (A)) zur Ausführung des Schleifens einer Mehrzahl νοη Rohlingen 35. Durch weiteren Vorschub des inBy initially setting the infeed for grinding, the grinding tool 23 and the blank 35 first in a position for trial grinding by movement brought along the Z-direction or the Y-direction. Then the trial grinding is carried out. The infeed dimension this trial grinding is carried out by microscopic observation using the microscope unit 24 or the linear Scale 19 measured, after which the amount of compensation required is determined from the measured value (Y .. in Fig. 10 (A) shows the amount of feed along the Y direction in the trial grinding). The amount of compensation feed (denoted by Y_) is then determined and the feed slide 14 guided in the X direction guided along the X direction (that is, perpendicular to the plane of Fig. 10 (A)) to carry out the grinding of a plurality νοη blanks 35. By further advancing the in

Y-Richtung geführten Supports 17 um die Strecken Υ.,Υ., werden die abgeschrägten Flächen auf einer Seite fortschreitend beschliffen. Die Vorschubzustellung entlang der X- und Y-Achse wird elektrisch durch Ausgangssignale von der Steuerschaltung 15 gesteuert.Y-direction guided supports 17 around the lines Υ., Υ., the beveled surfaces are ground progressively on one side. Along the infeed the X and Y axes are electrically controlled by output signals from the control circuit 15.

Nach Beendigung des Schleifens der abgeschrägten Fläche auf einer Seite wird die Basisplatte 211 mit den darauf befestigten Rohlingen 35 umgekehrt, in Bezug auf die Bezugsfläche 212 der Einspanneinrichtung 21 neu eingestellt (Fig. 10 (B) ), und der SchleifVorgang wird in der beschriebenen Weise wiederholt.After finishing the grinding of the beveled surface on one side, the base plate 211 with the thereon is made fixed blanks 35 reversed, with respect to the The reference surface 212 of the jig 21 is readjusted (Fig. 10 (B)), and the grinding process is described in FIG Way repeated.

Die vorstehende Erklärung macht deutlich, daß bei Verwendung des erfindungsgemäßen Präzisions-Fasenschleifers ein Vorschub entlang der Z-Richtung zur anfangs zum Einstellen des Zustellmaßes für das Schleifen erforderlich ist. Zum Einstellen des Zustellmaßes für das Schleifen daran anschließend ist es ausreichend, einfach den in Y-Richtung geführten Support 1 7 entlang der Y-Richtung um Beträge entsprechend dem Abstand zwischen den Nuten 351 des Rohlings 35 zuzustellen. Da dadurch weniger Fehlermöglichkeiten gegeben sind als bei dem üblichen, in Fig. 2 gezeigten bekannten System, ist es möglich, das Schleifen mit hoher Genauigkeit durchzuführen. Da der in X-Richtung geführte Vorschubschlitten und der in Y-Richtung geführte Support auf denen die Werkstücke befestigt sind, beide durch Einheiten angetrieben werden, welche Flüssigkeitsdruck-Vorschubspindeln verwenden, können Vibrationen auch während der Vorschubgeschwindigkeiten zum Feinschleifen vermieden werden. Darüberhinaus kann die Positionierung mit hoher Genauigkeit gesteuert werden. Da Flüssigkeitsdruck-Lager auch für die Schleifwerkzeug-Spindel verwendet werden, wird die Drehgenauigkeit des Schleifwerkzeuges (Schleifscheibe)The above explanation makes it clear that when using the precision bevel grinder according to the invention Feed along the Z-direction is initially required to set the infeed dimension for grinding. To the Setting the infeed dimension for the grinding then it is sufficient to simply move the in the Y-direction guided support 1 7 along the Y-direction by amounts corresponding to the distance between the grooves 351 of the blank 35 to be delivered. Since this results in fewer possibilities for errors than in the case of the usual one shown in FIG. 2 known system, it is possible to carry out the grinding with high accuracy. Since the one guided in the X direction Feed carriage and the support guided in the Y-direction on which the workpieces are attached, are both driven by units, which fluid pressure feed spindles use, vibrations can also be avoided during the feed speeds for fine grinding will. In addition, the positioning can be controlled with high accuracy. Because fluid pressure bearings can also be used for the grinding tool spindle, the turning accuracy of the grinding tool (grinding wheel)

verbessert und dessen Vibration verhindert, so daß ein Präzisionsschleifen von sehr spröden Materialien unter optimalen Bedingungen durchgeführt werden kann. Da die Spindel des Schleifwerkzeuges in einem bestimmten Neigungswinkel gehalten wird, kann die Auflagefläche der Werkstücke horizontal ausgerichtet sein. Aus diesem Grunde und aufgrund der Tatsache, daß die Intervalle auf der linearen Skala und zwischen den Schleifpunkten konstant ist, ist es möglich, Fehler aufgrund von Kippen und Drehen auch bei Vergrößerung der Anzahl von Werkstücken zu minimieren. Da die Werkstücke parallel zu der an dem in Y-Richtung geführten Support vorgesehenen linearen Skala angeordnet sind, kann das Zustellmaß für den Vorschub direkt abgelesen werden. Das Zustellmaß für das Schleifen kann daher leicht gesteuert werden, darüberhinaus wird, da die räumliche Beziehung zwischen der linearen Skala und dem Werkstück gleich bleibt, jede Verschiebung, die in dem in Y-Richtung geführten Support auftreten kann, nicht vergrößert werden, was von der Stellung abhängt, an der das Werkstück geschliffen wird. Der erfindungsgemäße Prazisions-Fasenschleifer weist so vom praktischen Standpunkt aus betrachtet bedeutsame Vorteile auf.improved and its vibration prevented, so that a precision grinding of very brittle materials below optimal conditions can be carried out. Because the spindle of the grinding tool is at a certain angle of inclination is held, the support surface of the workpieces be aligned horizontally. For this reason, and due to the fact that the intervals on the linear scale and is constant between the grinding points, it is possible to Minimize errors due to tilting and rotating even when the number of workpieces is increased. Because the workpieces are arranged parallel to the linear scale provided on the support guided in the Y direction, the infeed dimension for the feed can be read directly. The infeed for grinding can therefore be easily controlled, moreover since the spatial relationship between the linear scale and the workpiece remains the same, any shift, which can occur in the support guided in the Y direction cannot be increased, which depends on the position which the workpiece is ground. The precision bevel grinder of the present invention is so from the practical point of view from considered to have significant advantages.

Bei dem beschriebenen Ausführungsbeispiel wird ein Riemenantrieb zwischen der Spindel des Schleifwerkzeuges und dem Motor, welcher dieses antreibt, verwendet, um die Einwirkung von Hitze und Vibration des Motors auszuschließen. Es versteht sich jedoch daß auch eine direkte Verbindung zwischen dem Motor und der Spindel möglich ist, für die Fälle, in denen Vibration und Hitze nicht berücksichtigt zu werden brauchen.In the embodiment described, a belt drive between the spindle of the grinding tool and the The motor that drives it is used to eliminate the effects of heat and vibration from the motor. It understands however, that a direct connection between the motor and the spindle is possible for the cases in where vibration and heat do not need to be considered.

Claims

J Precision bevel grinder, characterized by a Base (10), a grinding tool carrier (11) arranged on the base (10) at an angle of inclination to this, "one on a grinding tool spindle (22) attached face grinding tool (23), the spindle (22) in the grinding tool carrier (11) of fluid pressure bearings is held, a feed slide (14) guided in the X direction, which is driven by a fluid pressure feed spindle (16) driven, and formed on the base (10) arranged in the X direction Liquid pressure guide surfaces (13a, 13b) is guided, a support (17) which can be moved in the Y direction and which is driven by a liquid pressure feed screw (18), and arranged in the Y-direction, in which fluid pressure guide surfaces (144a, 144b, 144c, 144d) engages, and a clamping device (21) for fastening workpieces on the top of the in Y-direction movable supports (17).

2. Precision bevel grinder according to claim 1, characterized that the fluid pressure bearings for holding the spindle (22) in the grinding tool carrier (11) as a fluid pressure thrust bearing (30) and a fluid pressure radial bearing (31) are formed, which are provided in the grinding tool carrier (11).

3. Precision bevel grinder according to claim 1 or 2, characterized characterized in that the radial bearing (31) has a pair of fluid pressure pockets (31a, 31b) which the Surrounding the spindle (22), and that the axial bearing (30) is designed as a plurality of fluid pressure damping bearings, and a flange (22a) engages around the spindle (22).

4. Precision bevel grinder after one or more of the preceding claims, characterized in that the grinding tool carrier (11) with a fluid pressure feed spindle is provided for infeed of the spindle *] (22) in its axial direction.

5. Precision bevel grinder according to one or more of the preceding claims, characterized in that one side surface of the movable in the Y direction Supports (17) is provided with a linear scale (19) that generates an impulse with every movement of the table Gives off 0.1 µm.

6. Precision bevel grinder according to one or more of the The preceding claims, characterized in that the liquid pressure feed spindles (16, 18) for driving of the feed slide (14) which can be moved in the X direction and of the support (17) which can be moved in the Y direction in Engage fluid pressure nuts (172) which on attached to the feed slide (14) and the support (17) the liquid pressure nuts (172) comprising a pair of nuts (33,34) each with liquid pressure pockets (331,341) are provided, which open to their opposite flanks of the spindles and supplied with fluid pressure.