DE3344079A1

DE3344079A1 - Ferromagnetischer resonator

Info

Publication number: DE3344079A1
Application number: DE19833344079
Authority: DE
Inventors: Yoshikazu Yokohama Kanagawa Murakami; Hiromi Chigasaki Kanagawa Yamada
Original assignee: Sony Corp
Current assignee: Sony Corp
Priority date: 1982-12-06
Filing date: 1983-12-06
Publication date: 1984-06-07
Also published as: GB2132822B; CA1204181A; FR2537346A1; DE3344079C2; US4547754A; GB8332472D0; FR2537346B1; GB2132822A; NL8304200A

Description

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BESCHREIBUNG

Die Erfindung betrifft einen ferromagnetischen Resonator gemäß dem Oberbegriff des Hauptanspruchs.

Durch Flüssigphasenepitaxie ist es möglich, magnetische Granatfilme auf ein Gadolinium-Gallium-Granat (GGG)-Substrat aufzuwachsen. Filme mit zufriedenstellender Kristallinität können aus Yttrium-Eisen-Granat (YIG) hergestellt sein. Bauelemente mit solchen Filmen sind für Magnetblasenspeicher entwickelt worden. Es können aber auch Mikrowellenbauelemente dadurch hergestellt werden, daß der YIG-Dünnfilm durch Selektivätz^prozesse mit kreisförmiger oder rechteckiger Form hergestellt wird. Mit herkömmlichen Fotolithografieprozessen ist ein solches Herstellen einfach und eine hohe Produktivität ist möglich, da aus einem GGG-Substrat viele Bauelemente hergestellt werden können. Da. ein DUnnfilm verwendet wird, können auch leicht integrierte Mikrowellenschaltungen (MIC = Microwave Integrated Cirouit) hergestellt werden mit Mikro streifenleitungen als Übertragungsleitungen.

Es ist bekannt, daß Mikrowellenbauteile mit ferromagnetischer Resonanz hohe Kompaktheit und scharfes Ansprechverhalten aufweisen. In der praktischen Anwendung sind einkristalline YIG-Bereiche für solche Mikrowellenbauteile verwendet worden. Der einkristalline YIG-Bereich hat den Vorteil, daß er kaum in magnetostatischen Moden erregt wird und daß eine einzige Resonanzmode durch einheitliche Präzessionsmoden erzielt werden kann. Der einkristalline YIG-Bereich ist jedoch nur mit geringem Wirkungsgrad herzustellen. Es bestand daher der Wunsch, ferromagnetische Resonatoren mit YIG-Dünnfilmen herzustellen. Bei YIG-Dünnfilmen besteht jedoch das Problem, daß diese selbst in einem gleichförmigen Hochfrequenz-Magnetfeld auf Grund des ungleichförmigen Internen Gleichmagnetfeldes in vielen magne-

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tostatischen Moden angeregt werden können. Die magnetostatischen Moden, die in einer scheibenförmigen ferrimagnetischen Probe mit einem Glelchmagnetfeld rechtwinklig zur Probe erregt werden können, sind in Journal of Applied Physics, Bd. 48, Juli 1977, S. 3001 - ^007 beschrieben. Jede Mode wird durch den Begriff (n, N) dargestellt, d. h. diese Mode weist η Knoten in Umfangsrichtung, N Knoten in radialer Richtung und m-1 Knoten in Dickenrichtung auf. Wenn ein Hochfrequenz-Magnetfeld gleichmäßig über die gesamte Probenfläche angelegt wird, wird die Serie (Ij, N), die magnetos tatische Hauptmode. In Pig. 1 sind Meßergebnisse für die ferromagnetische Resonanz in einer kreisförmigen Probe mit Dünnfilm dargestellt, die in einem 9 GHz Hohlraum gemessen wurden. Es ist ersichtlich, daß Anregung in vielen magnetostatischen Moden der Serie (1, N)₁ erfolgen. Wenn diese Probe als Mikrowellenbauteil, wie z. B. als Bandpassfilter, verwendet wird, wird ihre Hauptresonanzmode, d, h. die Mode (1, I)₁ verwendet, was dazu führt, daß alle anderen magnetostatischen Moden Fehlansprechen hervorrufen«

Eer Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen ferromagnetischen Resonator der eingangs genannten Art so auszubilden, daß Fehlansprechen verhindert werden kann.

Die erfindungsgemäße Lösung ist im Hauptanspruch gekennzeichnet. Vorteilhafte Ausgestaltungen und Weiterbildungen sind Gegenstand von Unterensprüchen.

Die Erfindung zeichnet sich dadurch aus, daß der ferromagnetische Dünnfilm, in dem die Resonanzen auftreten, an einer Stelle geschwächt wird, an der die Resonanzschwingung der Ha.uptmode einen Knoten aufweist. Durch diese Schwächung wird die Hauptmode in keiner Weise geschwächt und kann voll angeregt werden, während andere Moden, die an der entsprechenden

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Stelle einen Knoten aufweisen, geschwächt werden, wodurch Fehlansprechen durch andere Moden als die Hauptmode erheblich verringert ist.

Eine solche Schwächung der dünnen Schicht kann zum Beispiel in einem Graben oder in einem abgeflachten Gebiet in der Mitte des Resonatorelementes bestehen.

Der erfindungsgemäße Resonator hat den Vorteil, daß die vorteilhafte Dünnfilmtechnik ohne Einbuße an Ansprechqualität verwendet werden kann, so daß integrierte Mikrowellenschaltungen einfach hergestellt werden können.

Die Erfindung wird im folgenden an Hand von Figuren näher veranschaulicht, zu denen auch Diagramme über Messungen an herkömmlichen Bauelementen zählen. Es zeigen:

Fig. 1 ein Diagramm über das Auftreten magnetostatischer Moden in einem herkömmlichen kreisförmigen Reso

nator mit einem ferrimagnetischen Dünnfilm;

Fig. 2 den Feldverlauf des inneren Gleichma.gnetfeldes in dem kreisförmigen Resonator;

Fig. JA und 3B Diagramme über den Verlauf des inneren Gleichmagnetfeldes und den Verlauf der Hochfre

quenz magnetisierung für die magnetostatischen Moden im ferrimagnetischen Dünnfilm;

Fig. 4a und 4B Diagramme über den Verlauf des Entmagnetisierungsfeldes in einem kreisförmigen ferrimagnetischen Dünnfilm;

Fig. 5 eine perspektivische Ansicht eines anmeldegemäßen ferromagnetischen Resonators;

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Fig» β eine perspektivische Ansicht eines weiteren anmeldegemäßen ferromagnetischen Resonators!

Pig« 7 einen Querschnitt durch den ferrimagnetischen PiIm eines weiteren anmeldegemäßen ferromagnetisehen Resonators!

Figo 8 und 9 Diagramme über Meßergebnisse für die Einfügungsdämpfung bei anmeldegemäßen ferromagnetischen Resonatoren^

Figo 10 ein Diagramm entsprechend den Pig. 8 und 9* jedoch für einen nicht anmeldegemäßen Resonator;

Figo 11-15 schematische Schnitte zum Erläutern eines Herstellverfahrens für einen anmeldegemäßen Resonator! und

Figo 14a - 14c verschiedene Ansichten eines Filterbauteiles mit einem anmeldegemäßen ferromagnetischen Reso

nator«

Beim Untersuchen von ferromagnetischen Resonatoren mit ferrimagnetischen Dünnfilmen fiel den Erfindern auf, daß die Verteilung der Hochfrequenzmagnetisierung in der Probe von der magnetos ta.tischen Mode abhängt« Dies wird an Hand der Fig. 2 und 3 erläutert« In Figo 2 ist der Verlauf des inneren Gleichmagnetfeldes Hi unter der Bedingung dargesteilt, daß ein Gleichmagnetfeld rechtwinklig zur Oberfläche einer YIG-Schaibe mit einer Dicke t und einem Durchmesser D (oder Radius R) angelegt ist. Da.bei 1st das Seitenverhältnis t/D der Probe so klein* daß der Verlauf des Magnetfeldes in Dickenrichtung vernachlässigt werden kann= Da das Entmagnetisierungsfeld im Inneren der Scheibe groß ist und zu den Rändern hin stark

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abfällt, ist das Innere Gleichmagnetfeld in der Mitte der Probe gering und nimmt zu den Rändern hin stark zu. Entsprechend der Untersuchung der oben angegebenen Veröffentlichung führt dies zu magnetostatischen Moden in einem Bereich 0 ^ r/R -^, wobei J der Wert von r/R an der Stelle Hi =Cc/y-ist, wobei or die magnetische Kreisfrequenz der magnetostatischen Mode und >*-das gyromagnetische Verhältnis ist. Bei festgelegtem Magnetfeld nimmt die Resonanzfrequenz mit der Modenzahl N zu und der magnetostatische Modenbereich erstreckt sich nach außen, wie dies aus Pig. 3A ersichtlich ist. In Pig. 3B ist der Verlauf der Hochfrequenzmagnetisierung in der Probe für drei untere Moden der Serie (1, N), dargestellt, wobei der absolute Wert die relative Stärke der im Zentrum normalisierten Hochfrequenzmagnetisierung und die Polarität die Phasenbeziehung der Hochfrequenzmagnetisierung darstellt. Wie aus Flg. 3 ersichtlich ist, weisen die Hochfrequenz-Magnetisierungkomponenten abhängig von der magnetostatischen Mode unterschiedliche Formen auf. Durch Ausnutzen dieser Eigenschaft kann die Anregung magnetostatischer Moden, die zu Fehlansprechen führt, ohne deutlichen Effekt auf die Hauptresonanzmode unterdrückt werden.

Bei den Untersuchungen fiel auch auf, daß das interne Gleichmagnetfeld über einen großen Bereich im wesentlichen konstant wird, wenn der innere Bereich des ferrimagnetischen Dünnfilms dünner gemacht wird als der äußere Bereich.

Dies wird an Hand der Flg. Kk und 4B erläutert. Das Innere Gleichmagnetfeld Hi ist Hi = Ho-Hd(r/R)-Ha, wobei Hd das Entmagnetisierungsfeld und Ha das anisotrope Magnetfeld ist, wenn das Gleichmagnetfeld Ho rechtwinklig zur Hauptebene einer YIG-Scheibe mit einer Dicke d und einem DurchmesserD (oder Radius R) angelegt wird. Dabei ist das Seitenverhältnis t/D so gering, daß die Verteilung des Magnetfeldes in Dicken-

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richtung vernachlässigt werden kann« Fig. 4A ist eine Aufzeichnung,;, die auf Berechnungen des Entmagnetisierungsfeldes Hd für eine YIG-Schelbe mit einer Dicke von 20 pm und einem Radius von 1 mm basierte

Das Entmagnetisierungsfeld ist im inneren Bereich groß und fällt su den Rändern scharf ab, was dazu führt, daß das innere GXeichsnagnetfeld in der Mitte klein ist und zu den Rändern stark ansteigt» Pig» 4B ist eine Aufzeichnung für die Verteilung des EntmagnetisierungsfeldeSj, gestützt auf eine Berechnung für eine YXG-Scheibe mit einer Dicke von wiederum 20 pm und einem Radius von ebenfalls 1 mm, wobei jedoch ein innerer Bereich mit 0,8 mm Radius um 1 pm dünner ist. Das Diagramm läßt erkennen,, daß dadurch, daß der Innere Bereich des Filmes dünner gemacht wird, das Entmagnetisierungsfeld in einem direkt an den dünneren Bereich anschließenden Bereich angehoben wird, so daß sich der flache Bereich des Entmagnetisierungsfeldes nach außen erstreckt.

Der Anmeldegegenstand nutzt diese Erkenntnis zum Unterdrücken von magnetostatischen Moden, die zu Fehlansprechen führen» Dazu wird der ferr!magnetische DUnnfllm in seiner Form entsprechend behandelt., Insbesondere wird ein Graben an einer bestimmten Stelle des ferrimagnetischen Dünnfilmes eingebrachte so daß neben der Hauptmode existierende magnetische Moden., die zu Fehlansprechen führen, unterdrückt werden. Gemäß einem anderen Ausführungsbeispiel wird der Innere Bereich des ferrimagnetlschen Dünnfilms in gewissem Umfang dünner gemacht als der verbleibende äußere Bereich, wodurch der abgeflachte Bereich des inneren Magnetfeldes erweitert wird, was auch zum Unterdrücken von magnetostatischen Moden führt, die Fehlan-

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Eine Ausführungsform ist in Fig. 5 dargestellt. Auf einer Hauptflache la eines Substrates 1 ist eine ferrimagnetische Schicht 2 aufgebracht. Ein ringförmiger Graben 2a ist in der ferrimagnetischen Schicht 2 ausgebildet. Rechtwinklig zum Substrat 1 wird ein (nicht dargestelltes) Magnetfeld angelegt.

Das Substrat 1 kann zum Beispiel ein GGG sein, auf dem ein YIG-Dünnfilm durch Flüssigphasenepitaxie aufgebracht ist.

Die ferrimagnetische Schicht 2 wird dann durch Fotolithografleprozesse hergestellt. Die Ferrlmagnetschicht 2 kann auch durch Bearbeiten von Bulkmaterial hergestellt werden. Die Ferrimagnetschicht 2 kann kreisförmig, quadratisch, rechtwinklig usw. ausgebildet sein. Sie ist so dünn (mit kleinem Seitenverhältnis) hergestellt, daß die Verteilung des Magnetfeldes in Dickenrichtung gleichförmig ist. In diesem Fall ist die anregbare magnetostatische Modenserie (1,N),.

Der Graben 2a ist konzentrisch um die Mitte in der Entfernung angelegt, in der die Hochfrequenzmagnetisierung der Mode (1,1), null ist. Der Graben 2a kann durchgehend oder unterbrochen sein.

Bei einem derartigen ferromagnetischen Resonator wird Magnetisierung durch den Graben 2a begrenzt. Da der Graben 2a an einer solchen Stelle liegt, an der die Hochfrequenzmagnetisierung für die Mode (1,1 )^ null ist, ist die Anregung dieser Mode nicht beeinflußt. Für andere Moden ist die Hochfrequenzmagnetisierung an der Stelle des Grabens 2a jedoch nicht null, so daß die Magnetisierung für diese Moden teilweise begrenzt wird und die Anregung geschwächt ist. Dadurch kann Fehlansprechen unterdrückt werden> ohne die Hauptresonanzmode zu beeinflussen. ~_ ■-·-.- ■.:-■- ^;

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Die Verteilung der Hochfrequenzmagnetisierung in der ferrimagnetischen Schicht 2 (Fig. 3B) hängt von der Stärke der Sättigungsmagnetisierung in der Probe nicht a.b und hängt nicht sehr vom Seitenverhältnis ab. Beim anmeldegemäßen Resonator muß die Lage des Grabens 2A also nicht abhängig von möglichen Schwankungen in der Sättigungsmagnetisierung oder in der Dicke der ferrimagnetischen Schicht 2 verändert werden, was für Lithografieprozesse von Vorteil ist.

Bei der zweiten Ausführungsform gemäß Fig. 6 ist eine Vertiefung 2a in der oberen Fläche der ferrimagnetischen Schicht 2 auf dem Substrat 1 so ausgebildet, daß der innere Bereich dünner ist als der äußere. Ein (nicht dargestelltes) Magnetfeld wird rechtwinklig zum Substrat 1 angelegt.

Der Aufbau des Substrates 1 und der ferrimagnetischen Schicht und die Herstellung kann wieder so sein, wie dies an Hand von Fig. 5 erläutert worden ist.

Die Vertiefung 2 erstreckt sich so weit, daß die Anregung megnetostatischer Moden, die Fehlansprechen hervorrufen, ausreichend unterdrückt werden kann. Vorzugsweise erstreckt sich die Vertiefung 2 bis zu einer Lage, in der die Amplitude der Mode (1-,I)₁ null ist, d. h. bis in eine Entfernung von 0,75 - 0,85 des Durchmessers der Schicht 2, ausgehend von der Annahme, daß dies eine kreisförmige Scheibe ist.

Ein solcher ferromagnetischer Resonator weist eine im wesent- -5 liehen gleichförmige Entmagnetisierung über die ganze Fläche der Vertiefung 2a auf, wie dies.an Hand von Fig. 4B erläutert wurde. Daher kann das innere Gleichmagnetfeld über einen weiten Bereich gleichförmig sein, was zum Unterdrücken von magnetostatischen Moden führt, die Fehlansprechen hervor- »0 rufen.

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Der von dem Graben 2a eingeschlossene Bereich kann dünner sein als der äußere Bereich, wie dies in Pig. 7 dargestellt ist. In diesem Pail wird die Entmagnetisierung im inneren Bereich nahe dem Graben 2a angehoben, wodurch eine im wesentliehen gleichförmige Magnetisierung bis zu diesem Gebiet erhalten wird. Das interne Gleichmagnetfeld wird also in einem weiten Bereich in radialer Richtung im wesentlichen konstant, wie dies durch die strichpunktierte Linie in Pig. J>k dargestellt ist. Dies erlaubt eine noch bessere Unterdrückung der Anregung anderer magnetostatischer Moden als der Hauptresonanzmode .

Beim oben erwähnten Fotolithographieprozess kann Polyimid als Schutzfilm verwendet werden. Wie in Fig. HA dargestellt, wird ein Polyimid-Voriäufer auf das zu bearbeitende Material (Granat-DUnnfilm und Substrat) Ij5 gegeben und danach wird der Vorläufer gehärtet und bildet einen Polyimidfilm 14. Dann wird ein Potoresistmuster I5 auf dem Polyimidfilm 14 (Pig. HB) ausgebildet und danach wird der Polyimidfilm 14 mit einem Polyimid-Ätzmittel, z. B. Hydrazinhydrat, abgeätzt (Fig. HC).

Danach wird das Fotoresistmaterial I5 entfernt (Fig. HD). Geätzt wird in heißer Phosphorsäure (Fig. HE). Die Ä'tzgeschwindigkeit ist z. B. 0,5 um/min in Phosphorsäure von l60°C und etwa 1 pm/min in Phosphorsäure von l80°C. Schließlich wird der Polyimidfilm 14 durch ein Polyimid-A'tzmittel

25 entfernt (Fig. HF).

Bisher wurde ein durch CVD oder Sputtern aufgebrachter SiOp-PiIm als Schutzfilm beim chemischen Ätzen des Granat-Dünnfilms oder des Granatsubstrates verwendet. Dies macht es jedoch erforderlich, große Vorrichtungen zum Aufbringen des SiO₂-Filmes zu verwenden. Auch das Auftreten von Rissen und feinen Löchern war e_:in Problem. Darüberhinaus war es schwierig, einen SlOg-Film 16 über die ganze Oberfläche aufzubringen, wie dies in Pig. 12 dargestellt ist, wenn die Oberfläche

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für den Zweck der Vertiefung 2a wie in der anmeldegemäßen Struktur (Pig» 6) abgesetzt ist.

Durch die Verwendung des Polyimid-Schutzfilmes ist es möglich, eine kleine Vorrichtung zu verwenden, und das Auftreten von Löchern und Rissen kann fast vollständig vermieden werden. Die Pließeigenschaften des Polyimid-Vorläufers stellen sicher^, daß die Schutzschicht aus dem Polyimidfilm auch in den abgesetzten Bereichen hergestellt werden kann, wie dies in Fig. 15 dargestellt ist.

Um die Wärmeresistenz des Schutzfilmes noch weiter zu verbessern^, wird ein Polyimidharz mit Iso-Indochinazolindion-Struktur eingearbeitet„Darüberhinaus wird ein Polyimidfilm aus einem fotosensitiven Polyimid-Vorläufer, der ein Kopolymer aus einem fotosensitiven Polymer und einem Polyimid-Vorläufer ist,, eingeschlossen! in diesem Fall ka.nn das PoIyimidmuster ähnlich wie durch das herkömmliche Fotoresistverfahren hergestellt werden, wobei jedoch die Schritte des Hersteilens des Resistmusters und des 'itzens des Polyimidfilms zum Herstellen des Polyimidmusters entfallen, was den Herstellprozeß erheblich erleichtert.

Zum Ätzen kann Reaktionssputtern oder lonenätzen neben dem oben angegebenen chemischen Ätzen verwendet werden, was jedoch eine erheblich teurere Vorrichtung erfordert.

Die Erfindung wird im folgenden an Hand von quantitativen Ausführungsbeispielen erläutert.

Beispiel 1

Eine aus einem YIG-Dünnfilm ausgetrennte YIG-Scheibe von einer Dicke von 20 jum und einem Radius von 1 mm wurde mit einem ringförmigen Graben mit einer Tiefe von 2 um und

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einer Breite von 10 pm mit einer Entfernung von 0,8 mm um die Scheibenmitte angebracht. Ferromagnetische Resonanz wurde durch Anlegen einer elektromagnetischen Welle über Mikrostreifenleitungen gemessen, während ein äußeres Magnetfeld rechtwinklig zur Scheibenfläche angelegt war. Pig. 8 zeigt den gemessenen Einfügungsverlust. Der unbelastete Q-Wert war 775. Man beachte: Die Hochfrequenzmagnetisierung der Mode (1,I)₁ fällt in der Lage r/R = 0.8 auf der YIG-Scheibe auf null.

Beispiel 2

Eine aus einem YIG-Dünnfilm abgetrennte YIG-Scheibe mit einer Dicke von 20 IUm und einem Radius von 1 mm wurde mit einer kreisförmigen Vertiefung mit einer Tiefe von 1,7 μηι und einem Radius von 0,75 mm konzentrisch auf der Scheibe eingebracht und die ferromagnetische Resonanz wurde mit Hilfe von Mikrostreifenleitungen gemessen. Fig. 9 zeigt die Meßergebnisse des Einfügungsverlustes. Der unbelastete Q-Wert war 865.

Vergleiohsbeispiel

Eine aus einem YIG-Dünnfilm ausgeschnittene YIG-Scheibe mit einer Dicke von 20 pm und einem Radius von 1 mm wurde wie bei den Beispielen 1 und 2 hergestellt, aber ohne einen Graben oder eine Vertiefung einzubringen. Es wurde wieder die ferromagnetische Resonanz mit Hilfe von Mikrostreifenleitungen gemessen. Fig. 10 zeigt das Meßergebnis des Einfügungsverlustes. Der unbelastete Q-Wert war 660.

Durch Vergleich der Beispiele mit dem Vergleichsbeispiel ergibt sich, daß der anmeldegemäße Aufbau magnetostatische Moden neben der Mode (1,1), unterdrückt, wodurch Fehlansprechen unterdrückt werden kann. Darüberhinaus ist die Haupt-

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resonanzmode nicht beeinflußt, wodurch auch der unbelastete Q~Wert nicht beeinflußt ist.

Der anmeldegemäße ferromagnetische Resonator kann zum Beispiel für Bandpassfilter und Bandsperrfilter verwendet werdem In den Pig» 14A - I4c ist ein MIC-Bandpassfilter aus einem YIG-Dünnfilm dargestellt. Fig. 14A stellt eine perspektivische Ansicht* Pig. 14B eine Draufsicht und Pig. 14C einen Schnitt entlang der Linie A-A^! von Fig. 14B dar. Auf einem Substrat 21 aus Aluminiumoxid ist auf der Rückfläche ein Brdungsleiter 22 und auf der gegenüberliegenden Flähe sind Eingangs- und Ausgangs-Übertragungsleitungen (Mikrostreifenleitungen) 23 und 24 parallel zueinander aufgebracht. Jedes Ende der Übertragungsleitung 23 und 24 ist mit dem Erdungsleiter 22 verbunden.

Auf der oberen Fläche des Substrats 21 ist ein GGG-Substrat mit zwei kreisförmigen YIG-Dünnfilmen 25 und 26 aufgebracht. Das GGG-Substrat 27 weist auf seiner Oberfläche eine Verbindungsleitung 28 (Mikrostreifenleitung) zum Verbinden der YIG-Dünnfilme 25 und 26 auf. Die Verbindungsleitung 28 schneidet die Eingabe- und Ausgabe-Übertragungsleitungen 23 und 24 und ist an beiden Enden mit dem Erdungsleiter 22 verbunden. Der erste YIG-Dünnfilm 25 befindet sich an der Stelle, an der sich die Eingangs-Übertragungsleitung 23 und die Vertoindungsleitung 28 überkreusen« Der zweite YIG-Dünnfilm befindet sich an der Stelle, an der sich die Ausgangsübertragungsleitung 24 und die Verbindungsleitung 28 überkreuzen. Die Entfernung zwischen den beiden YIG-Dünnfilmen 25 und 26 entspricht einem Viertel der Wellenlänge (A/4) der Mittenfrequenz des Übertragungsbandes, so daß Einfügungsverluste außerhalb dem Übertragungsband stark ansteigen.

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Die beiden YIG-Dünnfilme sind mit Jochen eines Permanentmagnetes versehen, der ein äußeres Gleichmagnetfeld rechtwinklig zu den Hauptflächen der Filme anlegt, was jedoch nicht dargestellt ist.

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Claims

Priorität: 6. Dezember 1982, Japan, Ser.No. (P) 214426/82 6. Dezember 1982, Japan, Ser.No. (P) 214427/82

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PATENTANSPRÜCHE

Perromagnetischer Resonator mit einer Schicht (2) aus einem ferromagnetischen Material, der durch ein Gleichmagnetfeld rechtwinklig zur ferrimagnetischen Schicht und durch Anlegen eines Hochfrequenz-Magnetfeldes an die ferrimagnetische Schicht zu ferromagnetischer Resonanz erregbar ist,

dadurch gekennzeichnet, daß die ferrimagnetische Schicht (2) während der Herstellung so behandelt ist, daß Fehlansprechen auf Grund von magnetostatischen Moden außer einer einzigen Mode unterdrückt ist.

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2. Resonator nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die ferrimagnetische Schicht (2) so bearbeitet ist, daß sie einen Graben an einer vorgegebenen Position auf einer Oberfläche der Schicht aufweist.
3. Resonator nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die ferrimagnetische Schicht (2) so bearbeitet ist, daß sie einen vorgegebenen Bereich in ihrer Mitte aufweist, mit einer Dicke, die geringer ist als die Dicke der Randbereiche der Schicht, so daß das interne Qlelchmagnetfeld Im dünneren Teil gleichmäßig ausgebildet ist.
4. Resonator nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Graben (2a) um eine Lage herum ausgebildet ist, in der die Hochfrequenzmagnetisierung der einen ansprechenden Mode null ist.
5. Resonator nach Anspruch J>, dadurch gekennzeichnet, daß der dünnere Bereich der ferrimagnetischen Schicht ein Bereich ist, in dem die Hochfrequenzmagnetisierung der einen erregbaren Mode null ist.
6. Ferromagnetischer Resonator nach einem der Ansprüche 1-5, dadurch gekennzeichnet, daß auf der ferrimagnetischen Schicht (2) mindestens eine Mikrostreifenleitung (25, 24) zum Anlegen des Hochfrequenz-Magnetfeldes aufgebracht ist.
7. Resonator nach einem der Ansprüche 1-6, dadurch gekennzeichnet, daß die Einrichtung zum Anlegen des Magnetfeldes einen Permanentmagneten aufweist.

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8. Resonator nach einem der Ansprüche 1-7, dadurch gekennzeichnet, daß die ferrimagnetische Schicht (2) auf einer unmagnetischen Substanz aufgebracht ist.
9. Resonator naoh Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß die ferrimagnetische Schicht als dünner YIG-PiIm epitaktisch auf einem GGG-Substrat aufgebracht ist.