DE3337776A1 - Luftlagerspindel aus kegelrotor und frei nivellierender planscheibe - Google Patents

Luftlagerspindel aus kegelrotor und frei nivellierender planscheibe

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DE3337776A1
DE3337776A1 DE19833337776 DE3337776A DE3337776A1 DE 3337776 A1 DE3337776 A1 DE 3337776A1 DE 19833337776 DE19833337776 DE 19833337776 DE 3337776 A DE3337776 A DE 3337776A DE 3337776 A1 DE3337776 A1 DE 3337776A1
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bearing
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Ulrich 7777 Salem Wagensommer
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KUGLER FEINMECHANIK und OPTIK
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KUGLER FEINMECHANIK und OPTIK
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    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
    • F16C32/06—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings
    • F16C32/0681—Construction or mounting aspects of hydrostatic bearings, for exclusively rotary movement, related to the direction of load
    • F16C32/0696—Construction or mounting aspects of hydrostatic bearings, for exclusively rotary movement, related to the direction of load for both radial and axial load
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D11/00—Component parts of measuring arrangements not specially adapted for a specific variable
    • G01D11/02—Bearings or suspensions for moving parts
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
    • G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
    • G02B26/10—Scanning systems
    • G02B26/12—Scanning systems using multifaceted mirrors
    • G02B26/121—Mechanical drive devices for polygonal mirrors
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
    • G02B7/18—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors
    • G02B7/182—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors for mirrors
    • G02B7/1821—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors for mirrors for rotating or oscillating mirrors

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Description

  • BESCHREIBUNG
  • =~===========~==~====== Luftlagerspindel aus Eegelrotor und frei nivellierender Planscheibe.
  • Die Erfindung betrifft eine Luftlagerspindel für Präzisionsrotationen nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1.
  • Luftgelagerte Spindeln haben minimale Reibungsverluste, maximale Laufruhe und höchste Laufgenauigkeite.
  • Bekannt sind Luftlagerspindeln mit einfach bestimmten Drehachsen, die in Feinstbearbeitung mit Diamant oder als Träger optischer Laser-Scanner erfolgreich Verwendung finden.
  • Diese Luftlagerspindeln haben aus mindestens zwei Teilen zusammengesetzte Rotoren, die sehr aufwendig im Hinblick auf den geeigneten Luftspalt zwischen Stator und Rotor herzustellen sind.
  • Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, durch Einteiligkeit des Rotors seine Rotationssymmetrie zu garantieren und somit ein nachträgliches Auswuchten zu ersparen.
  • Außerdem soll die Form von Rotor und Stator so beschaffen sein, daß der Luftspalt nicht durch Fertigmaße von Rotor und Stator bestimmt werden muß.
  • Diese Aufgabe wird bei einer Herstellung laut Anspruch 1 und 2 gelöst.
  • Eine Luftlagerspindel nach Anspruch 1 und 2 läßt eine nicht gepaarte Fertigung von Stator und Rotor zu.
  • Mit lediglicher Vorgabe des Kegelwinkels lassen sich leicht Massenfertigungen erzielen, was bei bisheriger Bauart nicht möglich war.
  • Im selben Werkstück mit dem Kegelrotor läßt sich an der großen Plandeckfläche des Kegels ein Spiegel-Polygon anarbeiten, auf dessen freie Plandeckfläche das Planluftlager wirkt. Solche Präzisions-Spiegel-Polygone dienen zur Ablenkung von Laserstrahlen.
  • - Leerseite -

Claims (2)

  1. PATENTANSPRÜCHE 1. Buftlagerspindel mit einteiligem Rotor und einfach bestimmter Drehachse für hochpräzise Rotationsbewegungen, gekennzeichnet durch einen Kegelrotor, dessen Mantelfläche zu der radial und in Richtung der Kegelverbreiterung wirkenden Axiallagerung dient. Die axiale Gegenlagerung wird durch ein winkelbeweglich aufgehängtes Planluftlager, wirkend auf die große Plandeckfläche des Kegels, hergestellt. Durch die winkelbewegliche Aufhängung des Planluftlagers wird nur die Längsachse des Kegels für die Rotationsbewegung wirksam.
  2. 2. Luftlagerspindel nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der gesamte Luftspalt an der Kegelmantelfläche und der Plandeckfläche mit einer Einstellschraube, wirkend über eine Kugel auf das Tragkraftzentrum des Planluftlagers, eingestellt wird.
DE19833337776 1983-10-18 1983-10-18 Luftlagerspindel aus kegelrotor und frei nivellierender planscheibe Withdrawn DE3337776A1 (de)

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