DE3323836A1 - Verfahren zur festlegung einer koordinate auf einer oberflaeche eines festkoerpers und vorrichtung zur durchfuehrung eines solchen verfahrens - Google Patents

Verfahren zur festlegung einer koordinate auf einer oberflaeche eines festkoerpers und vorrichtung zur durchfuehrung eines solchen verfahrens

Info

Publication number
DE3323836A1
DE3323836A1 DE19833323836 DE3323836A DE3323836A1 DE 3323836 A1 DE3323836 A1 DE 3323836A1 DE 19833323836 DE19833323836 DE 19833323836 DE 3323836 A DE3323836 A DE 3323836A DE 3323836 A1 DE3323836 A1 DE 3323836A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
solid
coordinate
lines
coordinates
grid
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
DE19833323836
Other languages
German (de)
English (en)
Inventor
Karl-Heinz Dr. 1000 Berlin Müller
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Siemens AG
Original Assignee
Siemens AG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Siemens AG filed Critical Siemens AG
Priority to DE19833323836 priority Critical patent/DE3323836A1/de
Priority to EP84106356A priority patent/EP0135673B1/de
Priority to DE8484106356T priority patent/DE3483193D1/de
Priority to JP59134986A priority patent/JPS6036902A/ja
Publication of DE3323836A1 publication Critical patent/DE3323836A1/de
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/002—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring two or more coordinates
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
    • G01B11/022—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness by means of tv-camera scanning
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
    • G01B11/024—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness by means of diode-array scanning

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
DE19833323836 1983-07-01 1983-07-01 Verfahren zur festlegung einer koordinate auf einer oberflaeche eines festkoerpers und vorrichtung zur durchfuehrung eines solchen verfahrens Withdrawn DE3323836A1 (de)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19833323836 DE3323836A1 (de) 1983-07-01 1983-07-01 Verfahren zur festlegung einer koordinate auf einer oberflaeche eines festkoerpers und vorrichtung zur durchfuehrung eines solchen verfahrens
EP84106356A EP0135673B1 (de) 1983-07-01 1984-06-04 Verfahren und Vorrichtung zur Festlegung einer Koordinate auf einer Oberfläche eines Festkörpers
DE8484106356T DE3483193D1 (de) 1983-07-01 1984-06-04 Verfahren und vorrichtung zur festlegung einer koordinate auf einer oberflaeche eines festkoerpers.
JP59134986A JPS6036902A (ja) 1983-07-01 1984-06-29 固体表面上の座標決定方法および装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19833323836 DE3323836A1 (de) 1983-07-01 1983-07-01 Verfahren zur festlegung einer koordinate auf einer oberflaeche eines festkoerpers und vorrichtung zur durchfuehrung eines solchen verfahrens

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE3323836A1 true DE3323836A1 (de) 1985-01-03

Family

ID=6202953

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19833323836 Withdrawn DE3323836A1 (de) 1983-07-01 1983-07-01 Verfahren zur festlegung einer koordinate auf einer oberflaeche eines festkoerpers und vorrichtung zur durchfuehrung eines solchen verfahrens
DE8484106356T Expired - Fee Related DE3483193D1 (de) 1983-07-01 1984-06-04 Verfahren und vorrichtung zur festlegung einer koordinate auf einer oberflaeche eines festkoerpers.

Family Applications After (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE8484106356T Expired - Fee Related DE3483193D1 (de) 1983-07-01 1984-06-04 Verfahren und vorrichtung zur festlegung einer koordinate auf einer oberflaeche eines festkoerpers.

Country Status (3)

Country Link
EP (1) EP0135673B1 (US06509559-20030121-M00005.png)
JP (1) JPS6036902A (US06509559-20030121-M00005.png)
DE (2) DE3323836A1 (US06509559-20030121-M00005.png)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1990009559A1 (en) * 1989-02-15 1990-08-23 Josef Zybert Position determination method and apparatus
US5061074A (en) * 1988-10-17 1991-10-29 Nippon Steel Corporation Apparatus for inspecting both sides of tape or sheet
EP0685709A3 (en) * 1994-05-31 1997-04-23 Japan Em Kk Apparatus and scale for measuring a dimension of an object.
EP0774645A2 (en) * 1995-11-15 1997-05-21 Japan Em Co., Ltd. Apparatus for measuring dimension of article and scale to be used in the same
WO1999064815A1 (de) * 1998-06-10 1999-12-16 Leica Microsystems Wetzlar Gmbh Verfahren zur bestimmung des abstandes p einer kante eines strukturelementes auf einem substrat

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB2197463B (en) * 1986-10-30 1990-10-31 Charles Thomas Austin Hardness testing machine
DE3909856A1 (de) * 1989-03-25 1990-10-31 Ems Technik Gmbh Verfahren zur bestimmung der lage eines bezugspunktes eines abtasters relativ zu einem inkrementalmassstab sowie bezugspunktgeber
DE4040794A1 (de) * 1990-12-17 1992-06-25 Ems Technik Gmbh Verfahren und lagegeber zur lagebestimmung eines positionierkoerpers relativ zu einem bezugskoerper
DE4104602C1 (US06509559-20030121-M00005.png) * 1991-02-12 1992-06-04 E.M.S. Technik Gmbh, 2950 Leer, De
US5148600A (en) * 1991-09-17 1992-09-22 Advanced Robotics (A.R.L.) Ltd. Precision measuring apparatus
FR2702277B1 (fr) * 1993-03-05 1995-04-07 Renault Plaque de contrôle notamment d'appareils optiques reliés à un système d'analyse d'images, et son procédé de mise en Óoeuvre.

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1042247B (de) * 1957-10-26 1958-10-30 Fernseh Gmbh Vorrichtung zur Messung von Werkstuecktoleranzen
GB1282632A (en) * 1968-08-14 1972-07-19 Nippon Steel Corp Method for measuring dimensions with an image pickup apparatus
US3752589A (en) * 1971-10-26 1973-08-14 M Kobayashi Method and apparatus for positioning patterns of a photographic mask on the surface of a wafer on the basis of backside patterns of the wafer
US3902811A (en) * 1973-06-27 1975-09-02 Vsi Corp Electro-optical scanning system for dimensional gauging of parts
CH643959A5 (de) * 1978-04-14 1984-06-29 Siemens Ag Verfahren und vorrichtung zur automatischen lageerkennung von halbleiterchips.

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5061074A (en) * 1988-10-17 1991-10-29 Nippon Steel Corporation Apparatus for inspecting both sides of tape or sheet
WO1990009559A1 (en) * 1989-02-15 1990-08-23 Josef Zybert Position determination method and apparatus
EP0685709A3 (en) * 1994-05-31 1997-04-23 Japan Em Kk Apparatus and scale for measuring a dimension of an object.
US5812265A (en) * 1994-05-31 1998-09-22 Japan Em Co., Ltd. Apparatus for measuring dimension of article and scale to be used in the same
US5933239A (en) * 1994-05-31 1999-08-03 Japan E.M. Co., Ltd. Scale for measuring dimension of article and scale to be used in the same
EP0774645A2 (en) * 1995-11-15 1997-05-21 Japan Em Co., Ltd. Apparatus for measuring dimension of article and scale to be used in the same
EP0774645A3 (en) * 1995-11-15 1998-05-20 Japan Em Co., Ltd. Apparatus for measuring dimension of article and scale to be used in the same
EP1089052A1 (en) * 1995-11-15 2001-04-04 Japan Em Co., Ltd. Apparatus for measuring dimension of article and scale to be used in the same
WO1999064815A1 (de) * 1998-06-10 1999-12-16 Leica Microsystems Wetzlar Gmbh Verfahren zur bestimmung des abstandes p einer kante eines strukturelementes auf einem substrat

Also Published As

Publication number Publication date
DE3483193D1 (de) 1990-10-18
EP0135673B1 (de) 1990-09-12
JPH0324965B2 (US06509559-20030121-M00005.png) 1991-04-04
JPS6036902A (ja) 1985-02-26
EP0135673A3 (en) 1986-10-01
EP0135673A2 (de) 1985-04-03

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE3512064C2 (de) Gerät zur Messung von Überdeckungsfehlern
EP1618426B1 (de) Verfahren und anordnung zur bestimmung der fokusposition bei der abbildung einer probe
DE69133544T2 (de) Vorrichtung zur Projektion eines Maskenmusters auf ein Substrat
DE3110287C2 (US06509559-20030121-M00005.png)
DE3337874C2 (US06509559-20030121-M00005.png)
DE2651430B2 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Ausrichten eines Maskenmusters in bezug auf ein Substrat
DE1919991A1 (de) Venfahren zur automatischen Ausrichtung von zwei aufeinander einzujustierenden Objekten
DE102008017645A1 (de) Vorrichtung zur mikrolithographischen Projektionsbelichtung sowie Vorrichtung zur Inspektion einer Oberfläche eines Substrats
DE10225423A1 (de) Fotomaske zur Fokusüberwachung, Verfahren zur Fokusüberwachung, Einheit zur Fokusüberwachung und Herstellungsverfahren für eine derartige Einheit
EP0135673B1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Festlegung einer Koordinate auf einer Oberfläche eines Festkörpers
DE102007049100B4 (de) Verfahren zur Bestimmung der Centrality von Masken
EP0040704B1 (de) Verfahren zur Moiré-metrischen Prüfung
DE3410885A1 (de) Fehlerkorrigierte korpuskularstrahllithographie
EP3298459B1 (de) Positionssensorvorrichtung und verfahren zum ermitteln einer position zumindest eines spiegels einer lithographieanlage
DE102008060293B4 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Messung des relativen lokalen Lagefehlers eines der Abschnitte eines abschnittsweise belichteten Objektes
EP0040700B1 (de) Verfahren und Einrichtung zur Prüfung optischer Abbildungssysteme
DE3343181C2 (US06509559-20030121-M00005.png)
WO1999054785A1 (de) Verfahren zur messung der lage von strukturen auf einer maskenoberfläche
DE102007036815B4 (de) Verfahren zur Bestimmung des durch die Substrattopologie und eine Koordinaten-Messmaschine bedingten systematischen Fehlers bei der Vermesung von Positionen von Kanten von Strukturen eines Substrats
DE102007017649A1 (de) Verfahren zum Bestimmen der Fokuslage von mindestens zwei Kanten von Strukturen auf einem Substrat
DE19949009A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zum gegenseitigen Ausrichten eines in einer Maske gebildeten Maskenmusters und eines Substrates
DE102016212462A1 (de) Vorrichtung zur Moiré-Vermessung eines optischen Prüflings
DE102005014794B4 (de) Verfahren zum Prüfen einer Halbleiterprobe mit mehreren Abtastungen
EP3414625B9 (de) Vorrichtung und verfahren zur moiré-vermessung eines optischen prüflings
DE10258423B4 (de) Verfahren zur Charakterisierung eines Linsensystems

Legal Events

Date Code Title Description
8130 Withdrawal