DE3300041A1 - Verfahren zum abtragen von metallschichten von traegern mit laserstrahlen - Google Patents

Verfahren zum abtragen von metallschichten von traegern mit laserstrahlen

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DE3300041A1
DE3300041A1 DE19833300041 DE3300041A DE3300041A1 DE 3300041 A1 DE3300041 A1 DE 3300041A1 DE 19833300041 DE19833300041 DE 19833300041 DE 3300041 A DE3300041 A DE 3300041A DE 3300041 A1 DE3300041 A1 DE 3300041A1
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Vladimir Dipl.-Chem. 8000 München Deyl
Reinhold Dipl.-Phys. 8031 Eichenau Penzl
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Description

  • Verfahren zum Abtragen von Metallschichten von Trägern
  • mit Laserstrahlen.
  • Bisher war nur ein mechanischer Abtrag von auf Trägern aufgebrachten metallischen Schichten möglich, der bei feinen Strukturen aber versagte. In der Dünnfilm- und Dickschichttechnik ist es bekannt, mit Laserstrahlen einen Widerstandsabgleich durchzuführen. Hierzu werden Dauerstrichlaser mit akusto-optischen Schaltern verwendet. Auf neue Anwendungen mit dickeren Schichten, zum Beispiel Leitertrennen auf Leiterplatten oder auf ICs oder bei Reparaturverfahren, bei denen Schichten, zum Beispiel Ätzreste, abgetragen werden sollen, ist das bekannte Verfahren nicht übertragbar.
  • Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren zum einseitigen Abtragen von Metallschichten von Trägern mit Laserstrahlen zu konzipieren, ohne daß der darunterliegende Aufbau beschädigt wird. Diese Aufgabe wird dadurch gelöst, daß extrem kurze, leistungsstarke Laserpulse Anwendung finden, die aus gepulsten Lasern mittels Schaltern erzeugt werden, deren Schaltzeit den Laserpulsen angepaßt ist.
  • Unter extrem kurzen, leistungsstarken Laserpulsen sind zum Beispiel Laserpulse zu verstehen, die 10 ns lang sind und Pulsenergien größer 10 m enthalten. Derartige Pulse sind mit akusto-optischen Schaltern nicht zu erzeugen.
  • Mit dem Verfahren nach der Erfindung ist es möglich, den Abtrag einer metallischen Schicht ohne Beschädigung des Trägers (Substrates) durchzuführen.
  • Nach der Erfindung finden vorzugsweise elektro-optische Güteschalter zur Erzeugung der extrem kurzen, leistungsstarken Laserpulse Verwendung.
  • Wenn die abzutragende Schicht auf einem für Laserstrahlen beidseitig beschichteten und dünnen transparenten Träger angeordnet ist, besteht aber die Gefahr, daß die Schicht auf der entgegengesetzten Seite beschädigt wird. Um das zu verhindern, werden nach der Erfindung zusätzlich extrem kurz brennweitige Objektive verwendet. Unter dünnen transparenten Trägern sind zum Beispiel Glassubstrate mit dicken kleiner 100 p zu verstehen. Für diese Substratdicken werden Objektive mit zum Beispiel 50 facher Vergrößerung eingesetzt.
  • Das Verfahren nach der Erfindung kann überall da eingesetzt werden, wo herkömmliche Verfahren wegen der Strukturfeinheit versagen.
  • 3 Patentansprüche

Claims (3)

  1. Patentansprüche fx #l.iVerfahren zum einseitigen Abtragen von Metallschichten von Trägern mit Laserstrahlen, d a d u r c h g e -k e n n z e i c h n e t , daß extrem kurze, leistungsstarke Laserpulse Anwendung finden, die aus gepulsten Lasern mittels Schaltern erzeugt werden, deren Schaltzeit den Laserpulsen angepaßt ist.
  2. 2. Verfahren nach Anspruch 1, d a d u r c h g e -k e n n z e i c h n e t , daß zur Erzeugung der Laserpulse elektro-optische Güteschalter Verwendung finden.
  3. 3. Verfahren nach Anspruch 1 zum einseitigen Abtragen von Metallschichten von auf beidseitig beschichteten, für die Laserwellenlänge transparenten Trägern, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß zusätzlich extrem kurzbrennweitige Objektive Verwendung finden.
DE19833300041 1983-01-03 1983-01-03 Verfahren zum abtragen von metallschichten von traegern mit laserstrahlen Withdrawn DE3300041A1 (de)

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