DE3208195C2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- DE3208195C2 DE3208195C2 DE19823208195 DE3208195A DE3208195C2 DE 3208195 C2 DE3208195 C2 DE 3208195C2 DE 19823208195 DE19823208195 DE 19823208195 DE 3208195 A DE3208195 A DE 3208195A DE 3208195 C2 DE3208195 C2 DE 3208195C2
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- workpiece
- sonotrode
- abrasive suspension
- cleaned
- ultrasound
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B3/00—Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
- B08B3/04—Cleaning involving contact with liquid
- B08B3/10—Cleaning involving contact with liquid with additional treatment of the liquid or of the object being cleaned, e.g. by heat, by electricity or by vibration
- B08B3/12—Cleaning involving contact with liquid with additional treatment of the liquid or of the object being cleaned, e.g. by heat, by electricity or by vibration by sonic or ultrasonic vibrations
Landscapes
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19823208195 DE3208195A1 (de) | 1982-03-06 | 1982-03-06 | Ultraschall-reinigungsverfahren |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19823208195 DE3208195A1 (de) | 1982-03-06 | 1982-03-06 | Ultraschall-reinigungsverfahren |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE3208195A1 DE3208195A1 (de) | 1983-09-08 |
DE3208195C2 true DE3208195C2 (fr) | 1992-01-02 |
Family
ID=6157561
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19823208195 Granted DE3208195A1 (de) | 1982-03-06 | 1982-03-06 | Ultraschall-reinigungsverfahren |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE3208195A1 (fr) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4404473C2 (de) * | 1994-02-14 | 1998-01-15 | Gevi Gmbh | Verfahren zur Sanierung von Rohrleitungen |
DE19602917C2 (de) * | 1996-01-20 | 1998-10-08 | Hielscher Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zum Reinigen von fadenförmigen Erzeugnissen, insbesondere von Draht |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE743794C (de) * | 1940-02-29 | 1944-01-03 | Wacker Chemie Gmbh | Verfahren zum Reinigen von Gegenstaenden |
US3175567A (en) * | 1962-08-10 | 1965-03-30 | Elliott Brothers London Ltd | Apparatus for effecting ultrasonic cleaning of the interior of vessels |
US3985344A (en) * | 1975-06-02 | 1976-10-12 | Mccord James W | Ultrasonic cleaning apparatus |
US4064885A (en) * | 1976-10-26 | 1977-12-27 | Branson Ultrasonics Corporation | Apparatus for cleaning workpieces by ultrasonic energy |
-
1982
- 1982-03-06 DE DE19823208195 patent/DE3208195A1/de active Granted
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE3208195A1 (de) | 1983-09-08 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP0044567A1 (fr) | Procédé de décapage d'une face de tranches de semiconducteurs | |
AT512876A1 (de) | Werkzeug zur Reinigung von großen Flächen | |
AT411693B (de) | Elektrochemisches verfahren zum reinigen von oberflächen metallischer werkstücke | |
EP0420039B1 (fr) | Dispositif pour nettoyer la queue de fixation d'un outil ou d'un porte-outil | |
DE3208195C2 (fr) | ||
DE19546988A1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Bearbeitung von Halbleitermaterial | |
DE4012467C2 (fr) | ||
EP1255621A1 (fr) | Dispositif et procede de nettoyage de precision de pieces | |
DE10233277B4 (de) | Verfahren zum Entgraten und Reinigen von Werkstücken | |
EP0347462A1 (fr) | Dispositif d'usinage magneto-abrasif de surfaces cylindriques externes de pieces | |
EP3482877B1 (fr) | Procédé de traitement d'une surface d'un élément composite à fibre | |
DE19737854C2 (de) | Vorrichtung und Verfahren zum Reinigen von Polierpads, beispielsweise Poliertüchern, insbesondere für das Polieren von Wafern | |
DE69635534T2 (de) | Verbesserungen bei der oder in Bezug auf die Halbleiterverarbeitung | |
DE1962729A1 (de) | Verfahren zum Koernen von Oberflaechen fuer Flachdruckplatten | |
EP0436528B1 (fr) | Dispositif d'electropolissage de surfaces | |
DE3148499A1 (de) | Verfahren zum kleben von schleifmaterial auf einen schleifkoerper | |
EP1214173A1 (fr) | Procede et dispositif permettant de retirer des corps de poncage bloques ou des corps similaires sur des pieces a usiner metalliques | |
DE10232670B4 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Reinigung von Läppscheiben | |
DE19742665B4 (de) | Verfahren zum Schleifen mittels anhaftender Schleifmittel | |
EP1502971A2 (fr) | Procédé et dispositif améliorés destiné au nettoyage des surfaces metalliques | |
DE102004063857A1 (de) | Waferrandentfernen auf dem Werkstückaufspanntisch | |
DE102020122078A1 (de) | Verfahren und Anlage zur Fluidbearbeitung und Reinigung eines Werkstücks | |
DE3321741A1 (de) | Reinigungsvorrichtung fuer metallfilter | |
DE10359721B3 (de) | Verfahren zur Ablösung von Mikro- und Nanopartikeln von zu reinigenden Oberflächen | |
AT16196U1 (de) | Verfahren und einrichtung zum reinigen eines drahtbondingwerkzeugs |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
8120 | Willingness to grant licenses paragraph 23 | ||
8110 | Request for examination paragraph 44 | ||
8127 | New person/name/address of the applicant |
Owner name: TELEFUNKEN SYSTEMTECHNIK GMBH, 7900 ULM, DE |
|
D2 | Grant after examination | ||
8364 | No opposition during term of opposition | ||
8327 | Change in the person/name/address of the patent owner |
Owner name: SCHMIEG, RAINER, 7900 ULM, DE |
|
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |