DE3125150C2

DE3125150C2 - Process for producing a foil with a porous metal layer

Info

Publication number: DE3125150C2
Application number: DE19813125150
Authority: DE
Inventors: Miles Patrick Harlow Essex Drake
Original assignee: International Standard Electric Corp
Current assignee: International Standard Electric Corp
Priority date: 1980-08-08
Filing date: 1981-06-26
Publication date: 1983-07-21
Also published as: DE3125150A1

Abstract

Verfahren zur Herstellung einer Folie mit einer porösen Ventilmetallschicht für gewickelte elektrolytische Kondensatoren. Zur Herstellung der porösen Ventilmetallschicht wird Ventilmetall im Vakuum aufgedampft und dabei der Metalldampfstrahl unter einem kleinen Winkel bezüglich der zu bedampfenden Substratoberfläche auf das Substrat gerichtet. Als Substrat kann eine Aluminiumfolie oder eine Kunststoffolie verwendet werden. Die Bedampfung kann auch unter unterschiedlichen Winkeln erfolgen, so daß eine Schicht unterschiedlicher Porosität längs der Schichtdicke entsteht, die von dem bedampften Substrat abgelöst werden kann. (Fig.1). Die Vorrichtung zur Ausführung des Verfahrens enthält eine oder mehrere Metalldampfquellen sowie eine in deren Nähe angeordnete drehbare Trommel.Process for the production of a foil with a porous valve metal layer for wound electrolytic capacitors. To produce the porous valve metal layer, valve metal is vapor-deposited in a vacuum and the metal vapor jet is directed onto the substrate at a small angle with respect to the substrate surface to be vapor-deposited. An aluminum foil or a plastic foil can be used as the substrate. The vapor deposition can also take place at different angles, so that a layer of different porosity is created along the layer thickness, which can be detached from the vaporized substrate. (Fig.1). The apparatus for carrying out the method contains one or more metal vapor sources and a rotatable drum arranged in their vicinity.

Description

Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zum Herstellen einer Folie mit einer porösen Ventilmetallschicht zur Verwendung in gewickelten elektrolytischen Kondensatoren, bei dem das Ventilmetall unter einem kleinen Winkel .-jif ein Substrat aufgedampft wird.The invention relates to a method for producing a foil with a porous valve metal layer for use in wound electrolytic capacitors in which the valve metal is under a small angle.-jif a substrate is evaporated.

In der als DC-OS 30 29 171 veröffentlichten älteren Patentanmeldung ist bereits ein Verfahren zum Herstellen einer Folie mit einer porösen Ventilmetallschicht zur Verwendung in gewickelten elektrolytischen Kondensatoren beschrieben, bei dem das Ventilmetall unter einem kleinen Winkel, vorzugsweise kleiner als 60", auf ein Substrat aufgedampft wird. Hierdurch wird das übliche Ätzverfahren zum Herstellen poröser Ventilmetallschichten mit seinen vielen Nachteilen vermieden.In the earlier patent application published as DC-OS 30 29 171 there is already a method for Manufacture of a foil with a porous valve metal layer for use in wound electrolytic Capacitors described in which the valve metal at a small angle, preferably less than 60 ", is evaporated onto a substrate. This makes the usual etching process for manufacturing more porous Valve metal layers with its many disadvantages avoided.

Bei dem bekannten Verfahren werden Ventilmetallschichten mit gleicnmaßiger Porosität über die gesamte Schichtdicke erhalten.In the known method valve metal layers with uniform porosity over the entire Maintain layer thickness.

In vielen Fällen ist es jeooch vorteilhaft, wenn die Porosität der Ventilmetallschicht übi .· die Schichtdicke unterschiedlich ist. Durch größere Poren an der Oberfläche ist das Eindringen des Elektrolyten in die Schicht erleichtert, so daß keine ungefüllten Hohlräume verbleiben, was die Kapazität des fertigen Kondensators erheblich vermindert. Dies ist insbesondere wesentlich bei Kondensatoren mit festem Elektrolyten.In many cases, however, it is advantageous if the Porosity of the valve metal layer over the layer thickness is different. The electrolyte can penetrate through larger pores on the surface Layer eased so that no unfilled cavities remain, which is the capacitance of the finished capacitor considerably reduced. This is particularly important for capacitors with solid electrolytes.

Aufgabe der Erfindung ist es, das bekannte Verfahren so weiterzubilden, daß die Herstellung von Schichten mit über die Schichtdicke unterschiedlicher Porosität ermöglicht wird.The object of the invention is to develop the known method so that the production of layers with different porosity over the layer thickness is made possible.

Diese Aufgabe wird durch die im Kennzeichen des Patentanspruchs 1 angegebene Maßnahme gelöst.This object is achieved by the measure specified in the characterizing part of claim 1.

Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung gehen aus den Unteransprüchen hervor.Advantageous further developments of the invention emerge from the subclaims.

Mit den Verfahren gemäß der Erfindung ist es sogar möglich. Schichten zu erzeugen, die auf einer Seite im wesentlichen unporös sind, so daß sie von der Unterlage als selbständige Folie abgezogen werden können, so daß sich eine gesonderte Trägerfolie erübrigt.With the method according to the invention it is even possible. Create layers that are on one side in the are essentially non-porous, so that they can be pulled off the base as an independent film, so that a separate carrier film is not required.

Durch Formierung wird auf der Ventilmetallschicht ein dielektrischer Film erzeugt. Das Ventilmetall wird durch folgende Verfahrensschritte in ein Oxid umgewandelt: Formation creates a dielectric film on the valve metal layer. The valve metal will converted into an oxide by the following process steps:

1. Das Ventilmetall wird mit einer inerten Kathode in einen geeigneten Elektrolyten eingebracht.1. The valve metal is placed in a suitable electrolyte with an inert cathode.

2. Es wird zwischen Anode und Kathode ein elektrischer Strom fließen gelassen, wobei das Ventilmetall die Anode bildet, bis sich eine Ventilmetall-Oxidschicht von der gewünschten Dicke gebildet hat.2. An electric current is allowed to flow between the anode and cathode Valve metal forms the anode until a valve metal oxide layer separates from the desired one Thickness has formed.

3. Das Oxid wird bei bestimmten Spannungsbereichen und Temperaturbereichen in Elektrolyten behandelt, damit sich ein gutes Dielektrikum ergibt, wie dies dem Fachmann bekannt ist.3. The oxide becomes in electrolytes at certain voltage and temperature ranges treated so that a good dielectric results, as is known to those skilled in the art.

Die Spannung, welche an das Ventilmetall bei diesem Formierverfahren angelegt ist, bestimmt sich nach der Betriebsspannung des Kondensators, wodurch die Dicke der dielektrischen Oxidschicht gesteuert wird.The voltage that is applied to the valve metal during this forming process is determined by the Operating voltage of the capacitor, whereby the thickness of the dielectric oxide layer is controlled.

Für jedes Ventilmetall gibt es eine Beziehung zwischen der Formierspannung und der Oxiddicke, und zwar to=0i_o ■ Voder f_m=a_m · V, wobei iodieOxidschichtdikke ist. Οίο die Formierkonstante (Oxid), V die Spannung, t_m die verbrauchte Metalldicke, a_m die Anodisierungs-For each valve metal there is a relationship between the forming voltage and the oxide thickness, namely to = 0i _o · V or f _m = a _m · V, where iodine is the oxide layer thickness. Οίο the forming constant (oxide), V the voltage, t _m the metal thickness used, a _m the anodizing

jo konstante (Metall) und Vdie Spannung.jo constant (metal) and V the voltage.

Für Aluminium beträgt ot_ra=l,l Nanometer/Volt, so daß also 1,1 Nanometer/Volt an Aluminium-Metall verbraucht werden. Ein poröses Material muß daher eine gewisse minimale Dicke haben, so daß bei derFor aluminum, ot _ra = 1.1 nanometers / volt, so that 1.1 nanometers / volt of aluminum metal is consumed. A porous material must therefore have a certain minimum thickness, so that when

S5 Formierung das Oxid nicht vollständig das poröse Metall verbraucht. Bei einer Kolonnenstruktur der porösen Schicht muß der Kolonnendurchmesser d entsprechen: d> 2 a._m · V. S5 formation of the oxide does not completely consume the porous metal. In the case of a column structure of the porous layer, the column diameter d must correspond to: d> 2 a. _m · V.

Für Aluminium, welches beispielsweise auf eine Spannung von 100 V formiert werden soll, muß der Kolonnendurchmesser größer sein als 220 Nanometer. Kolonnen, die dünner sind, werden vollständig in Oxid umgewandelt, so daß kein aktiver Kondensator entstehen kann.For aluminum, which is to be formed to a voltage of 100 V, for example, the Column diameter must be greater than 220 nanometers. Columns that are thinner will be entirely in oxide converted so that no active capacitor can arise.

Es wird daher für jede Betriebsspannung des Kondensators eine bevorzugte Kolonnengröße geben, da Kolonnen, die kleiner sind, als das oben angegebene Verhältnis besagt, vollkommen durchformiert werden, während die, die wesentlich größer sind, unwirksamesThere will therefore be a preferred column size for each operating voltage of the capacitor, since columns that are smaller than the ratio given above are completely formed, while those that are much larger are ineffective

V) Ventilmetall enthal.-en, da die maximale Oberfläche durch die kleinsten Kolonnen bestimmt ist. Es wurde gefunden, daß durch Aufdampfen von Metall auf eine Substratoberfläche unter geeigneten Bedingungen ein poröser dendritischer Oberzug erhalten wird. DerV) contain valve metal, since the maximum surface is determined by the smallest columns. It has been found that by vapor deposition of metal on a Substrate surface a porous dendritic coating is obtained under suitable conditions. Of the

>■> Überzug hat das Aussehen einer Reihe von Borsten und ergibt eine große Oberfläche für die nachfolgende Formierung.> ■> Coating has the appearance of a series of bristles and results in a large surface for the subsequent formation.

Die Erfindung wird anhand der Figuren näher beschrieben.The invention is described in more detail with reference to the figures.

Fig. 1 zeigt schematisch eine Aufdampfvorrichtung für kontinuierliche Beschichtung.Fig. 1 shows schematically a vapor deposition apparatus for continuous coating.

Fig. 2 zeigt eine andere Ausführungsform für kontinuierliche Beschichtung.
Fig.3 zeigt das typische Verhältnis zwischen der Formierspannung und der spezifischen Kapazität fü^r formierte Metallüberzüge.Fig. 2 shows another embodiment for continuous coating.
3 shows the typical relationship between the forming voltage and the specific capacity fo ^r-formed metal coatings.

Fig.4 zeigt die Einwirkung der Substrattemperatur auf die Folieneigenschaften.4 shows the effect of the substrate temperature on the film properties.

Fig. 1 zeigt eine Vorrichtung zum Herstellen von Metallschichten, die in einer Vakuumkammer angeordnet wird und mit der ein kontinuierliches Beschichten einer Substratfolie erzielt werden kann. Die Folie 21, typischerweise Aluminium, die beschichtet werden soll, wird von der Rolle 22 zugeführt und außen um die Trommel 23 geführt, wobei sie an der Metalldampfquelle 25 vorbeikommt.Fig. 1 shows an apparatus for producing metal layers, which are arranged in a vacuum chamber and with which a continuous coating of a substrate film can be achieved. The slide 21, typically aluminum to be coated is fed from roller 22 and out around the Drum 23 guided, where it comes to the metal vapor source 25.

Der Metalldampf tritt von der Dampfquelle im wesentlichen senkrecht zur Flüssigkeitsoberfläche der MetalldampfqueUe aus, jedoch tritt Metalldampf in geringer Menge auch in einem anderen Winkel aus. Die MetalldampfqueUe wird so angeordnet, daß der stärkste Metalldampfstrahl die Folie in dem erwünschten Winkel bezüglich der Folienoberfläche trifft Wenn sich die Folie von der MetalldampfqueUe an diesem Punkt wegbewegt, wie dies in F i g. \ dargestellt ist, so fällt der letzte Teil des Metalldampfes auf jeden Teil der Folie mit einem größeren Einfallswinkel ein, so daß die Porosität gegen die Oberfläche der aufgebrachten Schicht hin größer wird.The metal vapor emerges from the vapor source essentially perpendicular to the liquid surface of the metal vapor source, but metal vapor also emerges in a small amount at a different angle. The metal vapor source is positioned so that the strongest jet of metal vapor strikes the foil at the desired angle with respect to the foil surface. If the foil moves away from the metal vapor source at that point, as shown in FIG. \ is shown, so the last part of the metal vapor falls on each part of the foil with a larger angle of incidence, so that the porosity towards the surface of the applied layer is greater.

Fig.2 zeigt eine Vorrichtung zum kontinuierlichen Niederschlagen, bei der keine Substratfoüe benötigt wird. Ein Metallzylinder 31 dreht sich an einer MetalldampfqueUe 32 vorbei. Die Zylinderoberfläche wurde zuvor mit einer haftverhindernden Schicht von einer Quelle 33 überzogen. Die Trommel 31 und die MetalldampfqueUe 32 sind so angeordnet, daß das anfängliche Niederschlagen von Metall in kompakter Form gefolgt wird von einer oberen porösen Überzugsschicht, so daß eine selbsttragende Folie erhalten wird. Diese Folie wird von der Trommel abgezogen und zu einem Vorratswickel 34 aufgewickelt.FIG. 2 shows an apparatus for continuous deposition in which no substrate film is required will. A metal cylinder 31 rotates past a metal vapor source 32. The cylinder surface was previously coated with an anti-stick layer from a source 33. The drum 31 and the Metal vapor source 32 are arranged so that the initial deposition of metal in more compact Form is followed by an upper porous coating layer so that a self-supporting sheet is obtained. This film is pulled off the drum and wound up to form a supply roll 34.

Es können auch mehrere Metalldampfquellen 25 verwendet werden, wodurch sich entweder ein dickerer Überzug ergibt, und/oder aufeinanderliegende Überzüge von verschiedenen Metallen erhalten werden.A plurality of metal vapor sources 25 can also be used, which results in either a thicker one Coating results, and / or superimposed coatings of different metals can be obtained.

Das Verfahren ist nicht auf das Niederschlagen von Aluminium beschränkt. So können beispielsweise andere Ventilmetalle, insbesondere Tantal, in poröser und für die nachfolgende Formierung geeigneter Form niedergeschlagen werden. Für manche solcher Metalle ist es vorteilhafter, eine Elektronenstrahlverdampfung oder eine Zerstäubungstechnik anstelle der thermischen Verdampfung zu verwenden. Es können auch Legierungen von zwei oder mehreren Metallen niedergeschlagen werden.The process is not limited to the deposition of aluminum. For example other valve metals, in particular tantalum, in a porous form suitable for the subsequent forming get knocked down. For some such metals it is more advantageous to use electron beam evaporation or to use an atomization technique instead of thermal evaporation. Alloys can also be used be deposited by two or more metals.

Das Substrat kann aus demselben Metall bestehen oder aus einem anderen Metall. Für bestimmte Anwendungen kann auch ein Niederschlagen auf einem isolierenden Substrat erfo'^en, wie z. B. einer Kunststofffolie oder einem Keramikkörper.The substrate can be made of the same metal or a different metal. For certain Applications can also be deposition on an insulating substrate, such as B. a plastic film or a ceramic body.

Die beschriebenen niedergeschlagenen porösen Metallschichten werden zur Herstellung von elektrolytischen Kondensatoren verwendet. Die große Oberfläche ' ist besonders vorteilhaft für die Herstellung von elektrolytischen Kondensatoren. Bei dieser Anwendung wird die Metallschicht zunächst in einem üblichen Formierelektrolyten bis auf eine Spannung formiert, die üblicherweise um 30% über der Betriebsspannung des >■ fertigen Kondensators liegt, wenn es sich um Kondensatoren mit flüssigem Elektrolyten handelt, und 4 bis 5mal größer ist als die Betriebsspannung, wenn es sich um Festelektrolyt-Kondensatoren mit Mangandioxid-Elektroden handelt. Die Kap;*zitätsausbeute einer formier- » ten Metallschicht hängt Natürlich von der angewendeten Formierspannung aP. In Fig. 3 ist die typische KaDazitätsausbeute für ii'i Vakuum niedergeschlagene Aluminiumfilme, verglichen mit den bekannten geätztenThe deposited porous metal layers described are used to manufacture electrolytic capacitors. The large surface area is particularly advantageous for the manufacture of electrolytic capacitors. In this application, the metal layer is first formed in a conventional Formierelektrolyten to a voltage that typically 30% higher than the operating voltage of> ■ finished capacitor is, if it is to capacitors with liquid electrolyte, and 4 to 5 times greater than the Operating voltage for solid electrolyte capacitors with manganese dioxide electrodes. The capacity yield of a formed metal layer naturally depends on the applied forming voltage aP. In Fig. 3 the typical capacitance yield for vacuum deposited aluminum films is compared to the known etched ones

Aluminiumfilmen, dargestellt.
Es wurde auch gefunden, daß die Eigenschaften derAluminum films.
It was also found that the properties of the

niedergeschlagenen Metallschichten von der Tempera-■ tür abhängen, bei der das Metall niedergeschlagen wird.deposited metal layers from the tempera- ■ door where the metal is knocked down.

Die optimale Temperatur hängt von der Formierspannung ab, der die Schicht anschließend unterworfen wird.The optimal temperature depends on the forming voltage to which the layer is then subjected.

Dieser Effekt ist in F i g. 4 dargestellt.This effect is shown in FIG. 4 shown.

Nachfolgend werden Ausführungsbeispiele der Erfindung beschrieben:Exemplary embodiments of the invention are described below:

example 1

Unter Verwendung der Vorrichtung, die in Fig.2 > dargestellt ist, mit einer MetalldampfqueUe, wie sie anhand von F i g. 1 beschrieben wurde, wurden Aluminiumfolien hergestellt, bei folgenden Niederschlagsparametern: Using the apparatus shown in Figure 2>, g with a metal vapor queue as based on F i. 1, aluminum foils were produced with the following precipitation parameters:

ι Trommelgeschwindigkeit: 1 Umdrehung inι Drum speed: 1 turn in

20 min20 min

Trommel-Durchmesser: 30 .mDrum diameter: 30 m

Zugeführter Draht: 0,14 Gramm/Min.Feed wire: 0.14 grams / min.

Strom im Verdampfungsstab: 120 A bei 12 V
Trommeltemperatur: 30⁰C bis 300° CCurrent in the evaporation rod: 120 A at 12 V.
Drum temperature: 30 ⁰ C to 300 ° C

gemäß Fi g. 4according to Fi g. 4th

Bei Trommeltemperaturep. über 50°C ist es vorteilhaft, die Trommel mit einem Haftverhinderungsmittel zu beschichten, um ein Ablösen der Folie zu erleichtern. Als Haftverhinderungsmittel kann ein handelsübliches Benetzungsmittel verwendet werden, das als dünne Schicht aufgebracht wird, oder eine aufgebrachte Oxidschicht, oder eine dünne Aluminiumschicht, die auf die kalte Trommel zuvor niedergeschlagen wurde.At drum temperatureep. above 50 ° C it is advantageous to coat the drum with an anti-stick agent to facilitate removal of the film. As an anti-adhesion agent, a commercially available wetting agent can be used as a thin Layer is applied, or an applied oxide layer, or a thin aluminum layer that is on the cold drum was knocked down beforehand.

Der Niederschlagsraum wurde auf ein Vakuum von 1,3 · 10"³ N/m² gebracht und das Bedampfen während einer ganzen Umdrehung der Trommel durchgeführt. Nach dem Belüften des Systems wurde die Folie von der Trommel abgezogen und dann in einer 3%igen Ammoniumtartrat-Lösung bei Raumtemperatur formiert. Die Kapazität pro Volumeneinheit der Folie wurde bestimmt und in Kapazitätsausbeute umgerechnet, d. h. dem Produkt der Kapazität und der Formierspannung pro Volumeneinheit.The precipitation chamber was brought to a vacuum of 1.3 x 10 " ³ N / m ² and the steaming was carried out for a full revolution of the drum. After venting the system, the film was peeled from the drum and then placed in a 3% ammonium tartrate Solution formed at room temperature The capacity per unit volume of the film was determined and converted into capacity yield, ie the product of the capacity and the forming voltage per unit volume.

In Fig.4 sind so hergestellte Folien verglichen mit sehr stark geätzten Folien, und es kann aus der Figur entnommen werden, daß in dem Temperaturbereich zwischen 20 und 300° C die gemäß der Erfindung hergestellten Folien eine höhere Kapazitätsausbeute bei 200 V haben, als geätzte Folien und daß von 20 bis 160°C die Folien gemäß der Erfindung eine höhere Kapazitätsausbeute bei 30 V haben, als geätzte Folien. Wie bereits eingangs erwähnt wurde, gibt es ein Optimvii! für die Substrattemperatur von 120°C für Folien, die bis 200 V formiert werden, wobei die optimale Temperatur unter 20° C liegt.In FIG. 4, foils produced in this way are compared with very heavily etched foils, and it can be seen from the figure that in the temperature range between 20 and 300 ° C the films produced according to the invention have a higher capacity yield 200 V have, as etched foils and that from 20 to 160 ° C the foils according to the invention have a higher Capacity yield at 30 V than etched foils. As mentioned at the beginning, there is a Optimvii! for the substrate temperature of 120 ° C for Foils that are formed up to 200 V, the optimal temperature being below 20 ° C.

Bei dem Verfahren mit der rotierenden Trommel ergibt sich eine vorteilhafte Eigenschaft der Folie dadurch, daß der Einfallswinkel des Dampfstrahles vom Punkt A zum Punkt B in F i g. 3 sich ändert, so daß eine mehr dichte Schicht in der Anfangsstufe und sine mehr poröse Schicht in der späteren Stufe (B) des Niederschlagen erhalten wird. Dies bedeutet, daß die Schichtanordnungen selbsttragend sind und durch Aufwickeln verarbeitet werden können, wobei die Festigkeit durch den dichteren Teil und die hohe Kapazität durch den weniger dichten Teil erzeugt wird.In the method with the rotating drum, an advantageous property of the film results from the fact that the angle of incidence of the steam jet from point A to point B in FIG. 3 changes so that a more dense layer is obtained in the initial stage and a more porous layer is obtained in the later stage (B) of the deposition. This means that the layer arrangements are self-supporting and can be processed by winding, the strength being produced by the denser part and the high capacity by the less dense part.

Example 2

Unter Verwendung der Vorrichtung nach F i g. 2 wurde eine Aluminiumfolie hergestellt mit folgenden Parametern:Using the device of FIG. 2, an aluminum foil was made with the following Parameters:

Tromrnelgesch windigkeit:Drum speed:

Trommel-Durchmesser:
Strom durch den
Dampfquellcnstab:
Trommeltemperatur:
Sauerstoffdruck:Drum diameter:
Current through the
Steam source rod:
Drum temperature:
Oxygen pressure:

1 Umdrehung in 20 min
30 cm1 rotation in 20 min
30 cm

120 A bei 12 V120 A at 12 V.

30° C30 ° C

1.3 · 1O-²N/m² 1.3 · 10- ² N / m ²

währenddesmeanwhile

NiederschiagensPrecipitation

lorniierspannuni: W₁) lorniierspannuni: W ₁ )

Die Folie wurde von der Trommel abgezogen, und nach der Formierung in Ammoniumtartrat hatte sie folgende Eigenschaften:The film was peeled off the drum, and After being formed in ammonium tartrate, it had the following properties:

Kapa/iliitsaushculL-(·;.!·' V/cm')Kapa / iliitsaushculL- (·;.! · ' V / cm ')

220 000220,000

141 000141,000

89 00089,000

Die Kapazitätsausbeute ist so vergleichbar bei 30 V mit Schichten, die im Vakuum bei 30⁰C niedergeschlagen wurden, jedoch höher bei 200 V als Schichten, die bei der gleichen Temperatur in Abwesenheit von Sauerstoff niedergeschlagen wurden.The capacity yield is thus comparable at 30 V with layers that were deposited in a vacuum at 30 ^° C., but higher at 200 V than layers that were deposited at the same temperature in the absence of oxygen.

Es können auch dicke poröse Schichten von Ventilmetall auf einem Draht des gleichen Materials zur Herstellung von kompakten kleinen Elektrolyt-Kondensatoren erzeugt werden.There can also be thick porous layers of valve metal on a wire of the same material Manufacture of compact small electrolytic capacitors are produced.

Hierzu 4 Blatt ZeichnungenFor this purpose 4 sheets of drawings

Claims

Patent claims:

1. A method of making a foil having a porous valve metal layer for use in coiled electrolytic capacitors in which the valve metal is at a small angle is evaporated onto a substrate, thereby characterized in that the substrate is used to change the vapor deposition angle during the layer build-up is moved during the vaporization with respect to the L ampfquelle.

2. The method according to claim 1, characterized in that that a drum is used as the substrate and the vapor-deposited layer from the drum is replaced.

3. The method according to claim 1 or 2, characterized in that the substrate during the Steaming at a temperature defined by the achievable m.iximal capacity per unit volume is held.