DE3020044C2 - - Google Patents

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DE3020044C2
DE3020044C2 DE19803020044 DE3020044A DE3020044C2 DE 3020044 C2 DE3020044 C2 DE 3020044C2 DE 19803020044 DE19803020044 DE 19803020044 DE 3020044 A DE3020044 A DE 3020044A DE 3020044 C2 DE3020044 C2 DE 3020044C2
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DE19803020044
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German (de)
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DE3020044A1 (de
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Klaus Dr.-Ing. Habil. 7257 Ditzingen De Leonhardt
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LEONHARDT, KLAUS, DR.-ING., 7257 DITZINGEN, DE
Original Assignee
Fraunhofer Gesellschaft zur Forderung der Angewandten Forschung eV
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    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/30Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces

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