DE29824180U1 - Vorrichtung zur Verringerung der Verschmutzung eines Fensters eines Gasentladungslasers - Google Patents
Vorrichtung zur Verringerung der Verschmutzung eines Fensters eines GasentladungslasersInfo
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Claims (14)
1. Vorrichtung zur Verringerung der Verschmutzung eines
Fensters (24) eines Gasentladungslasers mit einer Heizung zum
Heizen zumindest der inneren Oberfläche (66) des Fensters
(24) über die Temperatur des Lasergases in der Laserröhre
(10),
dadurch gekennzeichnet, daß die Heizung einen geschlossenen
Bereich aufweist, der über einen Einlaß (34) und einen Auslaß
(30) mit der Laserröhre (10) verbunden ist und ferner eine
Einrichtung zur Erzeugung einer Bewegung von Lasergas durch
den Einlaß (34) in den geschlossenen Bereich und an einer
Heizeinrichtung vorbei durch den Auslaß (30) in die Nähe des
Fensters (24) aufweist.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß
in dem geschlossenen Bereich auch eine Reinigungseinrichtung
(36) zur Reinigung des Lasergases angeordnet ist.
3. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß
die Reinigungseinrichtung (36) einen kryogenischen Gasreini
ger umfaßt, den das Lasergas vor Passage der Heizeinrichtung
durchströmt.
4. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß
die Heizeinrichtung auf einer Seite und der kryogenische Gas
reiniger auf der anderen Seite eines Wärmetauschers angeord
net sind.
5. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß
die Reinigungseinrichtung und die Heizeinrichtung zumindest
teilweise an einer vom Lasergas in dem geschlossenen Bereich
zu durchlaufenden Stelle baulich miteinander verbunden sind.
6. Vorrichtung nach Anspruch 2 oder Anspruch 5, dadurch ge
kennzeichnet, daß die Reinigungseinrichtung einen Staubab
scheider umfaßt.
7. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch
gekennzeichnet, daß die Heizeinrichtung Heizelemente (48) um
faßt, die an Rohren (42, 44, 46) angebracht sind, durch die
das Lasergas geführt wird.
8. Vorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß
die Heizelemente (48) und Rohre (42, 44, 46) zum Aufheizen
der Rohrinnenwände auf mindestens 50°C, vorzugsweise auf min
destens 80°C ausgelegt sind.
9. Vorrichtung nach Anspruch 7 oder Anspruch 8, dadurch ge
kennzeichnet, daß die Heizeinrichtung eine Beruhigungszone
(38) zur Verringerung der Lasergasgeschwindigkeit vor dem
Durchlaufen des Lasergases durch die Rohre (42, 44, 46) auf
weist, die vorzugsweise mit Heizelementen (40) versehen ist.
10. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch
gekennzeichnet, daß sie einen zweiten Auslaß (32) zur Führung
von geheiztem Lasergas in die Nähe eines zweiten Fensters
(22) aufweist.
11. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch
gekennzeichnet, daß jeder Auslaß (30, 32) eine ringförmige
Gasströmung erzeugt.
12. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß
die Heizung außerhalb der Laserröhre angeordnet ist und eine
Einrichtung zur Erzeugung eines Heißluftstroms umfaßt und ei
ne Führungseinrichtung zur Führung des Heißluftstroms zumin
dest in die Nähe der Außenseite des Fensters (24).
13. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß
eine Heizung zumindest teilweise an der Fassung des Fensters
(24) angeordnet ist.
14. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß
die Heizung zumindest teilweise in einer Umgebung der Fassung
des Fensters angeordnet ist, wobei diese Umgebung vorzugswei
se aus Metall besteht.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE29824180U DE29824180U1 (de) | 1998-08-17 | 1998-08-17 | Vorrichtung zur Verringerung der Verschmutzung eines Fensters eines Gasentladungslasers |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE29824180U DE29824180U1 (de) | 1998-08-17 | 1998-08-17 | Vorrichtung zur Verringerung der Verschmutzung eines Fensters eines Gasentladungslasers |
DE19837227A DE19837227A1 (de) | 1998-08-17 | 1998-08-17 | Vorrichtung und Verfahren zur Verringerung der Verschmutzung eines Fensters eines Gasentladungslasers |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE29824180U1 true DE29824180U1 (de) | 2000-07-13 |
Family
ID=26048202
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE29824180U Expired - Lifetime DE29824180U1 (de) | 1998-08-17 | 1998-08-17 | Vorrichtung zur Verringerung der Verschmutzung eines Fensters eines Gasentladungslasers |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE29824180U1 (de) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102011078892A1 (de) * | 2011-07-08 | 2013-01-10 | HighFinesse GmbH | Lasersystem mit Resonator |
-
1998
- 1998-08-17 DE DE29824180U patent/DE29824180U1/de not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102011078892A1 (de) * | 2011-07-08 | 2013-01-10 | HighFinesse GmbH | Lasersystem mit Resonator |
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R207 | Utility model specification |
Effective date: 20000817 |
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R081 | Change of applicant/patentee |
Owner name: LAMBDA PHYSIK AG, DE Free format text: FORMER OWNER: LAMBDA PHYSIK GESELLSCHAFT ZUR HERSTELLUNG VON LASERN MBH, 37079 GOETTINGEN, DE Effective date: 20010219 |
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