DE29824180U1 - Vorrichtung zur Verringerung der Verschmutzung eines Fensters eines Gasentladungslasers - Google Patents

Vorrichtung zur Verringerung der Verschmutzung eines Fensters eines Gasentladungslasers

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Claims (14)

1. Vorrichtung zur Verringerung der Verschmutzung eines Fensters (24) eines Gasentladungslasers mit einer Heizung zum Heizen zumindest der inneren Oberfläche (66) des Fensters (24) über die Temperatur des Lasergases in der Laserröhre (10), dadurch gekennzeichnet, daß die Heizung einen geschlossenen Bereich aufweist, der über einen Einlaß (34) und einen Auslaß (30) mit der Laserröhre (10) verbunden ist und ferner eine Einrichtung zur Erzeugung einer Bewegung von Lasergas durch den Einlaß (34) in den geschlossenen Bereich und an einer Heizeinrichtung vorbei durch den Auslaß (30) in die Nähe des Fensters (24) aufweist.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß in dem geschlossenen Bereich auch eine Reinigungseinrichtung (36) zur Reinigung des Lasergases angeordnet ist.
3. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Reinigungseinrichtung (36) einen kryogenischen Gasreini­ ger umfaßt, den das Lasergas vor Passage der Heizeinrichtung durchströmt.
4. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Heizeinrichtung auf einer Seite und der kryogenische Gas­ reiniger auf der anderen Seite eines Wärmetauschers angeord­ net sind.
5. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Reinigungseinrichtung und die Heizeinrichtung zumindest teilweise an einer vom Lasergas in dem geschlossenen Bereich zu durchlaufenden Stelle baulich miteinander verbunden sind.
6. Vorrichtung nach Anspruch 2 oder Anspruch 5, dadurch ge­ kennzeichnet, daß die Reinigungseinrichtung einen Staubab­ scheider umfaßt.
7. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Heizeinrichtung Heizelemente (48) um­ faßt, die an Rohren (42, 44, 46) angebracht sind, durch die das Lasergas geführt wird.
8. Vorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Heizelemente (48) und Rohre (42, 44, 46) zum Aufheizen der Rohrinnenwände auf mindestens 50°C, vorzugsweise auf min­ destens 80°C ausgelegt sind.
9. Vorrichtung nach Anspruch 7 oder Anspruch 8, dadurch ge­ kennzeichnet, daß die Heizeinrichtung eine Beruhigungszone (38) zur Verringerung der Lasergasgeschwindigkeit vor dem Durchlaufen des Lasergases durch die Rohre (42, 44, 46) auf­ weist, die vorzugsweise mit Heizelementen (40) versehen ist.
10. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß sie einen zweiten Auslaß (32) zur Führung von geheiztem Lasergas in die Nähe eines zweiten Fensters (22) aufweist.
11. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß jeder Auslaß (30, 32) eine ringförmige Gasströmung erzeugt.
12. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Heizung außerhalb der Laserröhre angeordnet ist und eine Einrichtung zur Erzeugung eines Heißluftstroms umfaßt und ei­ ne Führungseinrichtung zur Führung des Heißluftstroms zumin­ dest in die Nähe der Außenseite des Fensters (24).
13. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß eine Heizung zumindest teilweise an der Fassung des Fensters (24) angeordnet ist.
14. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Heizung zumindest teilweise in einer Umgebung der Fassung des Fensters angeordnet ist, wobei diese Umgebung vorzugswei­ se aus Metall besteht.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102011078892A1 (de) * 2011-07-08 2013-01-10 HighFinesse GmbH Lasersystem mit Resonator

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