DE2928301A1 - ARRANGEMENT FOR POWER CONTROLLING A HIGH VOLTAGE ELECTRONIC RADIATOR - Google Patents

ARRANGEMENT FOR POWER CONTROLLING A HIGH VOLTAGE ELECTRONIC RADIATOR

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Description

3. Juli 1979 79506July 3, 1979 79506

LEYBOLD-HERAEUS GmbH
Bonner Straße 504
LEYBOLD-HERAEUS GmbH
Bonner Strasse 504

5000 Köln - 515000 Cologne - 51

" Anordnung zur Leistungssteuerung eines Hochsρannungs-Elektronenstrahl erzeuge rs ""Arrangement for the power control of a high-voltage electron beam generate rs "

Die Erfindung betrifft eine Anordnung zur Leistungssteuerung eines Hochspannungs-Elektronenstrahlerzeugers mit einer Katode und einer der Katode zugeordneten Steuerelektrode, mit einem auf Erdpotential liegenden Regler und Impulsgenerator zur Erzeugung von zur Nullinie symmetrisch verlaufenden Reckteck-Spannungsimpulsen, für deren übertragung in den auf Hochspannungspotential liegenden Teil der Anordnung ein Hochspannungs-Isoliertransformator mit einer im wesentlichen auf Erdpotential liegenden Primärwicklung und einer auf Hoch-Spannungspotential liegenden Sekundärwicklung vorhanden ist, die an einen Zweiweggleichrichter angeschlossen ist, der über eine als Filter wirkende Schaltungsanordnung mit passiven Elementen mit der Katode und der Steuerelektrode verbunden ist.The invention relates to an arrangement for power control of a high-voltage electron gun with a cathode and a control electrode assigned to the cathode, with a controller and pulse generator at ground potential for generation of Reckteck voltage pulses running symmetrically to the zero line, for their transfer to the high voltage potential lying part of the arrangement is a high-voltage isolating transformer with a primary winding essentially at ground potential and one at high voltage potential lying secondary winding is present, which is connected to a full-wave rectifier that has a circuit arrangement acting as a filter with passive Elements is connected to the cathode and the control electrode.

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Steueranordnungen der vorstehend beschriebenen Art werden auf vielen Gebieten der Elektronenstrahltechnik, vornehmlich aber zum Schmelzen, Schweißen, Bearbeiten und Verdampfen von Werkstoffen aller Art mittels Elektronenstrahlen» vorzugsweise unter Vakuum verwendet. Um die Intensität eines Elektronenstrahls zu verändern, kann entweder die Heizleistung der Glühkatode, die Vorspannung der Steuerelektrode u.nd/oder die angelegte Beschleunigungsspannung variiert werden. Control arrangements of the type described above are in many areas of electron beam technology, primarily but for melting, welding, processing and evaporation of all kinds of materials using electron beams » preferably used under vacuum. To change the intensity of an electron beam, either the heating power of the hot cathode, the bias voltage of the control electrode and / or the applied acceleration voltage can be varied.

Bei HochspannurigselektronenstrahTerzeugern, die im-allgemein e.ti mi.t eiüef Aoodenspannung oberhalb ZO Kilovolt betrieben werden und die daher bei gegebener Leistung einen relativ geringen Strahls'tröm aufweisen, ist in der Nähe der Katode eine zyHnde^fOrmige Steuerelektrode angeordnet, die häufig auch als Wehnelt-Zylinder bezeichnet wird. Mit dieser Steuerelektrode ist es möglich, den Strahlstrom zwischen 0 und 100% zu verändern. Zu diesem Zweck wird an die Steuerelektrode eine gegenüber der Katode in ihrer Amplitude variable, negative S'partnung angelegt, die das Austreten der Elektronen in Richtung zur Anöde je nach Größe dieser Steuerspannung mehr oder we.niger unterdrückt. Die Spannungshöhe zur sicheren Sperrung des Elektronenstrahlerzeuger liegt je nach Ausführung der Steuerelektrode bei 1 - 2 kV. Bei nahezu gleichem Potential von Katode und Steuerelektrode wird der maximale Strahlstrom erreicht.In the case of high-voltage electron beam generators, which in general e.ti operated with an Aooden voltage above ZO kilovolts and which are therefore a relative for a given performance have low Strahls'tröm is in the vicinity of the cathode a zyHnde ^ -shaped control electrode is arranged, which frequently is also referred to as a Wehnelt cylinder. With this control electrode it is possible to change the beam current between 0 and 100%. For this purpose, a variable amplitude compared to the cathode is applied to the control electrode, negative S'partnung applied, the escape of the electrons in the direction of the anode depending on the size of this control voltage more or less suppressed. The voltage level for the safe blocking of the electron gun is depending on the design of the control electrode at 1 - 2 kV. With almost the same potential of cathode and control electrode the maximum beam current is reached.

Durch die DE*AS 11 31 760 ist eine Anordnung der eingangs beschriebenen Art bekannt, bei der die Steuerelektrode periodischBy DE * AS 11 31 760 an arrangement is that described above Kind of known in which the control electrode is periodic

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mit Impulsen beaufschlagt wird, die einer Gleichvorspannung überlagert sind. Hierdurch soll erreicht werden, daß der Elektronenstrahl intermittierend eingeschaltet wird. Es handelt sich mithin um ein ständiges Aus- und Einschalten eines Elektronenstrahles jeweils konstanter Leistung, wobei der Leistungspegel allerdings veränderbar ist. Die Leistung kann dabei auch durch die relative Einschaltdauer des Elektronenstrahls beeinflußt werden. Bei dem vorbekannten System wird jedoch keine Gleich-Spannungskomponente der Steuerspannung auf die Steuerelektrode übertragen, so daß keine kontinuierliche Leistungssteuerung des Elektronenstrahlerzeuger möglich ist. Eine kontinuierliche Leistungssteuerung ist jedoch für verschiedene Zwecke erforderlich, z.B. für das Hochfahren der Leistung beim Schweißen am Beginn und am Ende einer Schweißnaht, beim Schweißen von Werkstücken mit unterschiedlichen Material stärken beim Verdampfen etc.is applied with pulses that have a DC bias are superimposed. This is intended to ensure that the electron beam is switched on intermittently will. It is therefore a constant switching off and on of an electron beam, each time more constant Power, although the power level can be changed. The performance can also be determined by the relative Duty cycle of the electron beam can be influenced. In the previously known system, however, there is no DC voltage component the control voltage transferred to the control electrode, so that no continuous Power control of the electron gun is possible. However, there is continuous power control required for various purposes, e.g. for startup the performance when welding at the beginning and at the end of a weld seam, when welding workpieces with different material strength during evaporation etc.

Eine kontinuierlich sich ändernde oder konstante Gleichspannung kann auch durch die vorzeichengerechte Aneinanderreihung von rechteck- und/oder trapezförmigen Impulsen erreicht werden, bei denen dann die Hüllkurve der Impulse maßgebend ist.A continuously changing or constant DC voltage can also be achieved by stringing together rectangular and / or trapezoidal pulses with the correct sign can be achieved, in which the envelope curve of the impulses is decisive.

Durch die DE-OS 25 14 805 ist eine Anordnung zur Leistungssteuerung von Hochspannungs-Elektronenstrahlerzeugern nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1 bekannt, die von dem Prinzip der Aneinanderreihung von Rechteckimpulsen auf der Sekundärseite des Hochspannungstransformators Gebrauch machtDE-OS 25 14 805 provides an arrangement for power control of high-voltage electron guns according to the preamble of claim 1 known from the Makes use of the principle of stringing square pulses on the secondary side of the high-voltage transformer

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Dort ist der Trenntransformator auf der Niederspannungsseite mit einer Tdrtiärwicklung ausgestattet, und die auf der Hochspannungsseite liegende, als Filter wirkende Schaltungsanordnung ist als RC-Glied ausgeführt. Die Tertiärspule hat den Nachteil, daß sie nur für Frequenzen bis maximal etwa 1 kHz geeignet ist. Das RC-Glied hat ein zu langsames Zeitverhalten, was darauf zurückzuführen ist, daß sich zwei Forderungen diametral entgegenstehen. £inmal wird eine geringe Restwel1igkeit der Hochspannung gefordert, die eine große Kapazität des Kondensatdr's bedingt. Auf der anderen Seite wird eine geringe* Ansprechzeit bezüglich des Regel vernal tens verlangf, eine Forderung, die nur durch eine kleine Kapazität des- Kondensators verwirklicht werden kann. Das Filter bestimmt in jedem Falle die Restwel1igkeit der Hochspannung. Für die geforderten hohen Regelgeschwindigkeiten bzw. zu übertragenden Frequenzen ist die bekannte Anordnung ungeeignet. There the isolation transformer is equipped with a Tdrtiärwickung on the low voltage side, and the on the high voltage side, acting as a filter Circuit arrangement is designed as an RC element. The tertiary coil has the disadvantage that it only works for frequencies up to a maximum of about 1 kHz is suitable. The time behavior of the RC element is too slow, what is on it is due to the fact that two demands are diametrically opposed. Sometimes there is a slight residual ripple the high voltage required, which requires a large capacitance of the condensate. On the other hand there will be a Requires a short * response time with regard to the rule a requirement that can only be met by a small capacitance of the capacitor. The filter determines in any case the residual ripple of the high voltage. For the required high control speeds or to The known arrangement is unsuitable for transmitting frequencies.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine schnell ansprechende Anordnung mit geringer Restwel1igkeit der Spannung für die kontinuierliche Steuerung der Leistung eines Hochspannungs-Elektronenstrahlerzeugers anzugeben, bei der die als Stellgröße dienende Steuerspannung über einen Isoliertransformator übertragen werden kann, ohne daß aktive Bauelemente wie Transistoren, Röhren oder Hi1 fs spannungen auf der Hochspannungsseite erforderlich sind.The invention is based on the object of providing a quickly responding Arrangement with low residual ripple of the Voltage for continuous power control specify a high-voltage electron gun, in which the control voltage serving as the manipulated variable can be transmitted via an isolating transformer without that active components such as transistors, tubes or Hi1 fs voltages are required on the high voltage side.

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Die Lösung der gestellten Aufgabe erfolgt bei der eingangs beschriebenen Anordnung gemäß der vorliegenden Erfindung dadurch, daß die Schaltungsanordnung eine LC-Kombination aus mindestens zwei in Reihe geschalteten LC-Gliedern in Verbindung mit mindestens zwei parallel zur Strecke Katode-Steuerelektrode bzw. Zweiweggleichrichter gelegten Kondensatoren ist, wobei sich die Resonanzfrequenzen der LC-Glieder etwa wie 2:1 verhalten.The object set is achieved with the arrangement according to the present invention described at the outset in that the circuit arrangement is an LC combination of at least two series-connected LC elements in connection with at least two parallel to the line Cathode control electrode or full-wave rectifier laid Capacitors is, with the resonance frequencies of the LC elements behave like 2: 1.

Mit der erfindungsgemäßen Lösung werden aktive Bauelemente wie Transistoren, Röhren und etwaige Hi1fsspannungen auf der Hochspannungsseite überflüssig. Die Größe des abgeschirmten, auf Katodenpotential liegenden Gehäuses für die Steuerungsanordnung wird minimal. Dies ist ein nicht zu unterschätzender Vorteil, da es häufig an dem erforderlichen Räum für die Unterbringung voti elektrischen Einricn tungsten Ten fehlt. -With the solution according to the invention, active components such as transistors, tubes and any auxiliary voltages on the high-voltage side are superfluous. The size of the shielded, Housing for the control arrangement lying at cathode potential is minimal. This is a no Advantage to be underestimated, as it is often the space required for the accommodation of voti electrical Furnishing tungsten ten is missing. -

Die erfindungsgemäße Lösung gestattet dabei nicht nur eine kontinuierliche Steuerung der Leistung eines Hochspannungsei ektronenstrahlerzeugers , sondern wahlweise auch eine impulsartige Steuerung, falls beispielsweise beim Schweißen mittels Elektronenstrahl ein Impulsbetrieb gefordert wird. Die übertragung sowohl kontinuierlicher als auch einzelner Impulse erfolgt dabei schnell und verzerrungsfrei Das erzeugte Steuersingal weist dabei im allgemeinen eine extrem geringe Welligkeit auf.The solution according to the invention does not allow just one continuous control of the performance of a high voltage egg electron beam generator, but optionally also a pulsed one Control if, for example, pulsed operation is required when welding with an electron beam. The transmission both continuous and single The impulses are fast and without distortion. The generated control signal generally has a extremely low ripple.

Die Auslegung des Impulsgenerators gemäß GattungsbegriffThe design of the pulse generator according to the generic term

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in der Weise, daß die Impulse zur NuI linie symmetrisch verlaufende Rechteckimpulse sind, hat den Zweck, daß die einzelnen Impulse sich lückenlos aneinanderreihen. Durch den Zweiweg-Gleich riehter wird erreicht, daß die auf der Sekundärseite des Transformators erscheinenden Impulse abwechselnd positiver und negativer Polarität zu der ununterbrochenen Impulsreihe gleicher Polarität umgewandelt wi rd.in such a way that the pulses run symmetrically to the NuI line The purpose of being square pulses is that the individual pulses are strung together without gaps. By the two-way equality is achieved that the on pulses appearing on the secondary side of the transformer alternating positive and negative polarity converted to the uninterrupted pulse series of the same polarity will.

Die vom Impulsgenerator gelieferten Rechteckimpulse werden vor ihrer Eingabe in den Verstärker zweckmäßig mit einem Wert multipliziert, der in einer Vergleichsschaltung durch Vergleich des Sollwertes mit einem Istwert gewonnen wird. Hierdurch ergibt sich eine amplitudenmodulierte Trägerfrequenz, die auf die vorstehend angegebene Weise auf der Hochspannungsseite des Isoliertransformators wiedergewonnen wird und nach Gleichrichtung und Glättung die Steuerspannung für die Steuerzylinder bildet.The square-wave pulses supplied by the pulse generator are expediently multiplied by a value in a comparison circuit before being input to the amplifier obtained by comparing the setpoint with an actual value will. This results in an amplitude-modulated Carrier frequency determined in the manner indicated above is recovered on the high voltage side of the isolating transformer and after rectification and smoothing the Forms control voltage for the control cylinder.

Die dabei auftretenden Lücken zwischen den Einzelimpulsen werden durch die erfindungsgemäße, als F i 1 terAvi rkende Schaltungsanordnung geschlossen. Die verwendeten Schaltungselemente sind dabei so ausgelegt, daß zwar eine Glättung der Steüerspannung erfolgt, jedoch keine wesentliche Ein--_ büße der Steuergeschwindigkeit des Strahlstromes auftritt. Da die Lücken in der Impulsreihe im wesentlichen die doppelte Frequenz der Frequenz des Impulsgenerators aufweisen, ist das Filter als Sperrfilter aufgebaut.The resulting gaps between the individual pulses are by the invention, as F i 1 terAvi rkende Circuit arrangement closed. The circuit elements used are designed in such a way that although the control voltage is smoothed, there is no significant input --_ attenuation of the control speed of the jet stream occurs. Since the gaps in the pulse train are essentially twice the frequency of the pulse generator, the filter is designed as a blocking filter.

Ein Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen Anordnung undAn embodiment of the arrangement according to the invention and

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ihre Wirkungsweise wird nachfolgend anhand der Figur näher erläutert.their mode of operation is explained in more detail below with reference to the figure explained.

In der Figur ist mit 10 ein Hochspannungs-Elektronenstrahlerzeuger bezeichnet, der aus einem an Masse liegenden Gehäuse 11, einer Katode (Glühkatode) 12 und einer Steuerelektrode (Wehnelt-Zylinder) 13 besteht. Die Katode 12 wird über die Klemmen 14 mit einem Heizstrom versorgt. Die Zuleitungen sind mittels eines Durchführungsisolators durch das Gehäuse 11 hindurchgeführt. Die Zuleitung zur Steuerelektrode 13 ist mittels eines Durchführungsisolators 17 durch das Gehäuse 11 hindurchgeführt. Eine Beschleunigungsanode 18 ist Teil des Gehäuses. Aufgrund der dargestellten - bekannten - Anordnung wird bei entsprechender Spannungsbeaufschlagung ein Elektronenstrahl gebildet, der für die einleitend beschriebenen Zwecke verwendet werden kann.In the figure, 10 is a high-voltage electron gun denotes, which consists of a grounded housing 11, a cathode (hot cathode) 12 and a control electrode (Wehnelt cylinder) 13 exists. The cathode 12 is supplied with a heating current via terminals 14. The leads are by means of a bushing insulator passed through the housing 11. The lead to the control electrode 13 is by means of a bushing insulator 17 passed through the housing 11. An accelerating anode 18 is part of the housing. Due to the - known - arrangement shown, the corresponding When voltage is applied, an electron beam is formed, which is used for the purposes described in the introduction can be.

Die Anordnung zur Leistungssteuerung besitzt einen Impulsgenerator 20, der in der Weise ausgeführt ist, daß die Impulse zur Nullinie symmetrisch verlaufende Recktimpulse von konstanter Amplitude und konstanter Frequenz sind. Die Frequenz liegt beispielsweise bei 20 kHz. Dem Impulsgenerator ist über eine Leitung 21 ein Multiplizierer 22 nachgeschaltet, der über die Leitung 30 ein Gleichspannungssignal erhält, welches von einer" !Compensationseinrichtung 33 geliefert wird.The arrangement for power control has a pulse generator 20, which is designed in such a way that the pulses to the zero line symmetrically extending stretching pulses are of constant amplitude and constant frequency. The frequency is, for example, 20 kHz. The pulse generator is followed by a multiplier 22 via a line 21, which is connected via line 30 DC voltage signal received, which is from a "! Compensation device 33 is delivered.

Der Kompensationseinrichtung 33 wird über die Leitung 23 eine Steuerspannung und über die Leitung 34 die Regelab-The compensation device 33 is via the line 23 a control voltage and the control output via line 34

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weichung der Hochspannung zugeführt. Diese wird aufgrund eines Spannungsteilers 52 mit dem Fußwiderstand 53 über eine Additionsstelle 56a und einen Verstärker 56b gebildet. Auf die Additionsstelle wird über die Klemme 56c der Hochspannungssollwert aufgeschaltet. Die Teile 56a, 56b und 56c können entfallen, wenn die Wenigkeit der Hochspannung gering ist. Die Kompensationseinrichtung 33 besteht im wesentlichen aus der Zusammenschaltung einer Summierstelle 54 und einem Regel verstärker 55 mit Proportional-Verhalten. Aufgabe dieser Kompensationseinrichtung ist die Erfassung einer evtl. gegebenen Hochspannungswel1igkeit und eine damit verbundene Störwertaufschaltung zur Beeinflussung des Strahlstromes. Dadurch wird erreicht, daß eine durch die Hochspannung verursachte Welligkeitsoftening of the high voltage supplied. This is due to of a voltage divider 52 with the foot resistor 53 via an addition point 56a and an amplifier 56b. The addition point is connected to the terminal 56c High voltage setpoint applied. The parts 56a, 56b and 56c can do not apply if the small amount of high voltage is low. The compensation device 33 consists in essentially from the interconnection of a summing point 54 and a control amplifier 55 with proportional behavior. The task of this compensation device is the detection of a possibly given high voltage ripple and an associated disturbance value activation for Influencing the beam current. It is thereby achieved that a ripple caused by the high voltage

des Strahlstromes vermindert wird. ;the beam current is reduced. ;

Die Steuerspannung wird von einer Regeleinrichtung 24 geliefert, die ähnlich aufgebaut ist, wie die Kompensatiönseinrichtung 33, d.h. eine Summierstelle 54a und einen Regel verstärker 55a besitzt, der jedoch ein PI- oder PID-Verhalten aufweist. Der Regeleinrichtung ist über eine Anschlußklemme 26 eine von einem Potentiometer gelieferte Sollwertspannung aufgeschaltet, während der Istwert des Strahlstromes an eine Eingangsklemme 27 gelegt ist. Die Erfassung des Strahlstromes erfolgt durch eine der bekannten Methoden und ist in der Figur nicht näher dargestellt. An die Eingangsklemme 25 können wahlweise Sollwerte und Impulse aus externen Funktionsgeneratoren gelegt werden. Durch einen Vergleich der EingangsgrößenThe control voltage is supplied by a control device 24, which is constructed similarly to the compensation device 33, i.e. a summing point 54a and a Usually amplifier 55a has, but which has a PI or PID behavior. The control device is over a terminal 26 one supplied by a potentiometer The setpoint voltage is applied while the actual value of the beam current is applied to an input terminal 27. The beam current is recorded by one of the known methods and is not shown in detail in the figure. You can optionally connect to input terminal 25 Setpoints and pulses from external function generators can be set. By comparing the input variables

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der Regeleinrichtung 24 entsteht eine stetig variable Steuerspannung, welche die spätere Hüllkurve für die Impulsreihe bildet. Im Multiplizierer 22 wird ein amplitudenmoduliertes Steuersignal gebildet, welches über eine Leitung 28 einem Verstärker 29 aufgeschaltet ist..Die Höhe der an der Leitung 28 liegenden Rechteckspannung ist dabei stets so groß, daß Stromsollwert und Stromistwert des Strahlstromes übereinstimmen. In dem Verstärker 29 wird die erforderliche Leistung erzeugt, die der Primärwicklung 31 eines Iso-1iertransformators 32 über einen Trenntransformator 49 aufgeschaltet ist. Der Trenntransformator 49 hat die Aufgabe, Überspannungsimpulse, die bei Kurzschlüssen im Strahlerzeuger 10 erzeugt werden, vom Verstärker 29 fernzuhalten.the control device 24 produces a continuously variable control voltage, which later forms the envelope curve for the pulse series. In the multiplier 22 is an amplitude-modulated Control signal is formed, which is connected to an amplifier 29 via a line 28. The level of the on the line 28 lying square-wave voltage is always so large that the current setpoint and current actual value of the beam current to match. In the amplifier 29 is the required Power generated by the primary winding 31 of an isolating transformer 32 is connected via an isolating transformer 49. The isolation transformer 49 has the task of Overvoltage pulses, which are generated in the case of short circuits in the beam generator 10, are to be kept away from the amplifier 29.

Der Isoliertransformator 32 besitzt eine Sekundärwicklung 35, die über Leitungen 36 mit einem Zweiweg-Gleichrichter 37 verbunden ist. In dieser werden die Ausgangsimpulse des Isoliertransformators 32 gleichgerichtet, wobei aufgrund der Auslegung des Impulsgenerators 20 eine Reihe von Impulsen entsteht, deren Hüllkurve dem Ausgangssignal ''O der Regeleinrichtung 24 bzw. Kompensationseinrichtung 33 entspricht. Das Ausgangss.i gnal des Zweiweg-Gleichrichters wird über die Leitung 16 als Filter wirkenden Schaltungsanordnung 39 zugeführt, die eine LC-Kombination aus mindestens zwei in Reihe geschalteten LC-Gliedern 40/45 und 43/44 in Verbindung mit mindestens zwei parallel zur Strecke Katode-Steuerelektrode 12/13 bzw. Zweiweg-Gleichrichter 37 gelegten Kondensatoren 41/42 ist, wobei sich die Resonanz-The insulating transformer 32 has a secondary winding 35, via lines 36 with a two-way rectifier 37 connected is. In this the output pulses of the Isolation transformer 32 rectified, due to the design of the pulse generator 20 results in a series of pulses, the envelope of which corresponds to the output signal '' O of the control device 24 or compensation device 33 is equivalent to. The output signal of the full wave rectifier is fed via the line 16 acting as a filter circuit arrangement 39, which is an LC combination of at least two series-connected LC elements 40/45 and 43/44 in connection with at least two parallel to the cathode-control electrode line 12/13 or two-way rectifier 37 placed capacitors 41/42, the resonance

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frequönzeri der LC-Gl feder etwa wie 2:1 verhalten.The frequency response of the LC-Gl spring is roughly 2: 1.

Der Kondensator 45 und die Drossel 40, die beide eines der .LC-Slieder bilden, stellen einen Sperrkreis für die Grundwelle dar, die trotz Zweiweg-Gleichrichtung durch Unsymmetrien auftritt.The capacitor 45 and the reactor 40, both of which are one the .LC slieder form a lock-out circuit for the The fundamental wave that occurs despite two-way rectification due to asymmetries.

Der Kondensator 44 und die Drossel 43, die beide das andere LC-Glied bilden, stellen einen Sperrkreis für die erste Oberwelle dar. Der Kondensator 42 am Ausgang dient lediglich zum Abkappen von Überspannungsspitzen, die van Strahlerzeuger 10 kommen, wohingegen der Kondensator 41 ein sogenannter Ladekondensator ist. Parallel zur Schaltungsanordnung 39 liegt ein Widerstand 47, der im Zusammenhang mit dem Kondensator 42 die Einschalt- bzw. Impulsflanken-Zeit bestimmt. Parallel zum Widerstand 47 ist eine schnei 1-schaltende Schutzdiode 46 in Sperrichtung geschaltet, die bei einem Kurzschluß in der Kanone - hierbei liegt an der Steuerelektrode 13 Massepotential - die Anordnung 39 und den Zweiweg-Gleichrichter 37 schützt. Der Widerstand 48 dämpft und begrenzt in diesem Fall den Diodenstrom. Die Widerstände 47 und 48 bewirken weiterhin, daß die Steuerspannung für-die Steuerelektrode 13 des Strahlerzeugers mit einem niedrigen Innenwiderstand auftritt, wodurch die elektrostatische Aufladung der Steuerelektrode 13 verhindert wird. Das Ausgangssignal der Schaltungsanordnung ist über den Widerstand 48 und eine Leitung 50 sowie eine weitere Leitung 38 der Steuerelektrode 13 einerseits und der Katode 12 andererseits aufgesehaltet. : The capacitor 44 and the choke 43, which both form the other LC element, represent a blocking circuit for the first harmonic. The capacitor 42 at the output is only used to cut off overvoltage peaks that come from the beam generator 10, whereas the capacitor 41 is a so-called one Charging capacitor is. In parallel with the circuit arrangement 39 there is a resistor 47 which, in conjunction with the capacitor 42, determines the switch-on or pulse edge time. In parallel with the resistor 47, a fast 1-switching protective diode 46 is connected in the reverse direction, which protects the arrangement 39 and the two-way rectifier 37 in the event of a short circuit in the cannon - in this case ground potential is applied to the control electrode 13. The resistor 48 attenuates and limits the diode current in this case. The resistors 47 and 48 also have the effect that the control voltage for the control electrode 13 of the beam generator occurs with a low internal resistance, as a result of which the electrostatic charging of the control electrode 13 is prevented. The output signal of the circuit arrangement is applied to the control electrode 13 on the one hand and the cathode 12 on the other hand via the resistor 48 and a line 50 and a further line 38. :

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Der Erfindungsgegenstand eignet sich in hervorragender Weise auch für die Beaufschlagung der Anordnung mit impulsbreitenmodulierten Rechteck-Spannungsimpulsen mit konstanter Wiederholungsfrequenz, zumal bei diesen die Grundwelle besonders stark ausgebildet ist.The subject matter of the invention is also ideally suited for acting on the arrangement pulse-width modulated square-wave voltage pulses with constant repetition frequency, especially with these Fundamental wave is particularly strong.

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Claims (2)

3. Juli 1979 79506July 3, 1979 79506 PATENTANSPRÜCHE:PATENT CLAIMS: Anordnung zur Leistungssteuerung eines Hochspannungs-ETektronenstrahlerzeugers mit einer Katode und einer der Katode zugeordneten Steuerelektrode, mit_einem auf -Erdpotential liegenden■ .Regler-und Impulsgenerator zur Erzeugung von zur NuI linie symmetrisch verlaufenden Rechteck-Spannungsimpulsen, für deren übertragung i n· deri auf Hochspannungspotential liegenden Teil der Anordnung ein Hochspannungs-Isoliertransformator mit einer im wesentlichen auf Erdpotential liegenden Primärwicklung und einer auf Hochspannungspotential liegenden Sekundärwicklung vorhanden ist, die an einen Zweiweggleichrichter angeschlossen ist, der über eine als Filter wirkende Schaltungsanordnung mit passiven Elementen mit der Katode und der Steuerelektrode verbunden ist, dadurch gekennzeichnet, daß die Schaltungsanordnung (39) eine LC-Kombination aus mindestens zwei in Reihe geschalteten LC-Gliedern (40/45 und 43/44) in Verbindung mit mindestens zwei parallel zur Strecke Katode-Steuerelektrode (12/13) bzw. Zweiweggleich-. richter (37) gelegten Kondensatoren (41/42) ist, wobei sich die Resonanzfrequenzen der LC-Glieder etwa wie 2:1 verhalten.Arrangement for power control of a high-voltage electron beam generator with a cathode and a control electrode assigned to the cathode, with a regulator and pulse generator at ground potential for generating square-wave voltage pulses symmetrically to the zero line, for their transmission in the part at high voltage potential the arrangement of a high voltage isolation transformer with a there is substantially at ground potential lying primary winding and a lying at high voltage secondary winding connected to a full wave rectifier, which is connected by a force acting as a filter circuit with passive elements to the cathode and the control electrode, characterized characterized in that the circuit arrangement (39) is an LC combination of at least two series-connected LC members (40/45 and 43/44) in connection with at least two parallel to the cathode-control electrode (12/13) or two path equal-path. Richter (37) placed capacitors (41/42), the resonance frequencies of the LC elements being roughly 2: 1. 2. Anordnung nach Anspruch I5 dadurch gekennzeichnet, daß parallel zu den Ladekondensatoren (41/42) eine Schutzdiode (46) angeordnet ist.2. Arrangement according to claim I 5, characterized in that a protective diode (46) is arranged parallel to the charging capacitors (41/42). "030066/0105"030066/0105
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Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4551606A (en) * 1983-05-26 1985-11-05 Inoue-Japax Research Incorporated Beamed energy radiation control method and apparatus
US4727292A (en) * 1986-03-04 1988-02-23 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force High voltage power supply fault isolation system
DE3737691A1 (en) * 1987-11-06 1989-05-18 Leybold Ag CIRCUIT ARRANGEMENT FOR CONTROLLING AN ELECTRONIC RADIATOR
DE4031286C2 (en) * 1990-10-04 1995-05-11 Leybold Ag Device for the power supply of a hot cathode

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1131760B (en) * 1958-07-14 1962-06-20 Zeiss Carl Fa Broadband isolation transformer
DE2514805A1 (en) * 1975-04-04 1976-10-07 Leybold Heraeus Gmbh & Co Kg ARRANGEMENT FOR POWER CONTROL OF HIGH-VOLTAGE ELECTRON BEAM GENERATORS

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SU490099A1 (en) * 1968-07-17 1975-10-30 Московский Ордена Ленина Энергетический Институт Device for automatic regulation of the electric mode of an electrothermal installation with an electron gun
US3614422A (en) * 1969-08-01 1971-10-19 Hitachi Ltd Surge reduction resistors between a high-voltage source and an electron microscope electron gun
US3810025A (en) * 1971-04-20 1974-05-07 Jeol Ltd Field emission type electron gun
US3838313A (en) * 1973-05-21 1974-09-24 United Aircraft Corp Beam current regulator for electron beam machines

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1131760B (en) * 1958-07-14 1962-06-20 Zeiss Carl Fa Broadband isolation transformer
DE2514805A1 (en) * 1975-04-04 1976-10-07 Leybold Heraeus Gmbh & Co Kg ARRANGEMENT FOR POWER CONTROL OF HIGH-VOLTAGE ELECTRON BEAM GENERATORS

Non-Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Otto Leunig "Elektrotechnik in der Praxis", 6. Aufl., Georg Wertermann Verlag Braunschweig, 1965, S. 221 u. 222 *
Philips Lehrbriefe Elektrotechnik und Elektronik, Bd. 2, Technik und Anwendung, 6. Aufl., Philips GmbH Hamburg, 1976, S. 25-30 *

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