DE2914618A1 - Laminated friction material - has friction layer of pulverised particles of materials of differing frictional characteristics (J5 18.6.80) - Google Patents

Laminated friction material - has friction layer of pulverised particles of materials of differing frictional characteristics (J5 18.6.80)

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DE2914618A1 DE19792914618 DE2914618A DE2914618A1 DE 2914618 A1 DE2914618 A1 DE 2914618A1 DE 19792914618 DE19792914618 DE 19792914618 DE 2914618 A DE2914618 A DE 2914618A DE 2914618 A1 DE2914618 A1 DE 2914618A1
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Abstract

The laminated material is for use in a friction component, having a friction layer applied to a supporting one by the wire-explosion or cathode or sputtering process. The friction layer comprises a solid mixt. of particles pulverised onto it in a static sequence and distribution pattern and of materials having differing frictional characteristics, together with, if desired, other particles improving these characteristics. Some at least of the materials combined in the layer in particle form are not mutually soluble and cannot bond together in the solid state. Friction layer and other layer(s) may comprise particles of PTFE, FEP, PVF and/or PO.

Description

Schichtwerkstoff bzw. Gleit- oder Reibelement Layer material or sliding or friction element

und Verfahren zu ihrer Herstellung Die Erfindung bezieht sich auf Schichtwerkstoff bzw. and method of making them. The invention relates to Layer material or

Gleit- oder Reibelemente mit auf einer Trägerschicht in Drahtexplosionsverfahren oder durch Kathodenzerstäubung (Sputtering) aufgebrachter Gleit- bzw. Reibschicht.Sliding or friction elements with on a carrier layer in a wire explosion process or a sliding or friction layer applied by cathode atomization (sputtering).

Aus DE-AS 25 21 286 ist die Anwendung des Drahtexplosionsverfahrens, bei dem durch Stromstossentladung ein Draht versprüht wird1 zur Beschichtung der inneren Gleitfläche eines aus einer Aluminium-Legierung bestehenden Zylinders eines Verbrennungsmotors bekannt. Es ist auch bekannt, Gleitschichten aus PTFE durch Kathodenzerstäubung (Sputtering) zu erzeugen (THIN SOLID FILMS, 3 (1969) 109 bis 117 - Elseviert Lausanne).From DE-AS 25 21 286 the application of the wire explosion process is in which a wire is sprayed by a surge discharge1 to coat the inner sliding surface of a cylinder made of an aluminum alloy Internal combustion engine known. It is also known to produce sliding layers made of PTFE by cathodic sputtering (Sputtering) (THIN SOLID FILMS, 3 (1969) 109 to 117 - Elseviert Lausanne).

Es ist auch bereits von der Anmelderin in einer älteren Patentanmeldung (P 28 53 724.8) vorgeschlagen worden, Gleit- bzw. Reibschichten aus metallischem Gleit- bzw.It is also already from the applicant in an older patent application (P 28 53 724.8) has been proposed, sliding or friction layers made of metallic Sliding resp.

Reibwerkstoff unter Verfestigung durch Oxide der metallischen Bestandteile in Art von dispersionsverfestigten Schichten mittels Drahtexplosionsverfahren oder durch Kathodenzerstäubung aufzubauen.Friction material with solidification by oxides of the metallic components in the form of dispersion strengthened layers by means of a wire explosion process or build up by cathode sputtering.

Bei allen bekannten Verfahren wird aber eine Schicht praktisch nur aus gleichartigem Material im Drahtexplosionsverfahren bzw. durch Kathodenzerstäubung aufgebaut.In all known processes, however, there is practically only one layer Made of the same material in the wire explosion process or by cathode sputtering built up.

Demgegenüber liegt der Erfindung die Aufgabe zugrunde, auch solche Schichtwerkstoffe bzw. Gleit- und Reibelemente verfügbar zu machen, bei denen die im Drahtexplosionsverfahren oder durch Kathodenzerstäubung aufgebaute Gleit- bzw. Reibschicht gewünschte Werkstoffkombinationen enthält.In contrast, the invention is based on the object, including such To make layer materials or sliding and friction elements available, in which the in the wire explosion process or by cathode sputtering built-up sliding or Friction layer contains desired material combinations.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäss dadurch gelöst, dass - die Gleit- bzw. Reibschicht aus einem fest zusammengefügten Gemisch von in statistischer Folge und Verteilung aufgestäubten Teilchen verschiedener Gleit-bzw. Reibwerkstoffe und ggf. Teilchen von die Gleit-bzw. Reibeigenschaften verbessernden Zusätzen besteht; und - zumindest ein Teil der in Teilchenform in der Gleit-bzw. Reibschicht vereinigten Gleit- bzw. Reibwerkstoffe in festem Zustand nicht miteinander löslich bzw.This object is achieved according to the invention in that - the sliding or friction layer from a firmly assembled mixture of in statistical sequence and distribution of dusted particles of different sliding or. Friction materials and possibly particles of the sliding or. Improving friction properties Additives; and - at least some of the in particle form in the sliding or. The friction layer did not unite sliding or friction materials in the solid state soluble or

nicht miteinander verbindunysfähig sind. are not able to connect with each other.

Der Erfindung liegt einerseits die Erkenntnis zugrunde, dass sich Gleit- und Reibwerkstoffe verschiedener Art und die Gleit- bzw. Reibeigenschaften verbessernde Zusätze gleichzeitig und damit in statistischer Folge und Verteilung in Drahtexplosionsverfahren und durch Kathodenzerstäubung auf eine zu beschichtende Oberfläche aufbringen lassen. Zlsm anderen liegt der Erfindung die überraschende Feststellung zugrunde, dass Gleit- und Reibwerkstoffe sowie die Gleit- und Reibeigenschaften verbessernde Zusätze, die gemeinsam einem Drahtexplosionsverfahren oder der Kathodenzerstäubung unterworfen werden, beim Einbau der entsprechenden Teilchen in statistischer Folge und Verteilung innerhalb einer aufzubauenden Schicht derart fest zusammengefügt und auch unter Beanspruchung der aufgebauten Gleit- bzw. Rcibschicht derart fest zusammenhalten, dass nicht nur eine brauchbare sondern eine in ihrem Zusammenhalt und in ihrer Bindungsfestigkeit auf der Oberfläche eines Substrats wesentlich verbesserte Gleit- bzw. Reibschicht erzeugt wird.The invention is based on the one hand on the knowledge that Sliding and friction materials of various types and the sliding or frictional properties improving additives at the same time and thus in a statistical sequence and distribution in wire explosion processes and by cathode sputtering onto a surface to be coated Let the surface apply. Among other things, the invention is surprising Determination based on the fact that sliding and friction materials as well as the sliding and frictional properties Improving additives that work together in a wire explosion process or cathode sputtering are subjected to the incorporation of the corresponding particles in a statistical sequence and distribution within a layer to be built up so firmly joined together and even under stress on the built-up sliding or rubbing layer hold together that not only one useful but one in their cohesion and substantially improved in their bond strength on the surface of a substrate Sliding or friction layer is generated.

Eine bevorzugte Anwendung der Erfindung besteht in der Schaffung einer Gleit- bzw. Reibschicht, die in statistischer Folge und Verteilung aufgestäubte Teilchen aus einem oder mehreren metallischen, eine Matrix bildenden Gleit- bzw. Reibwerkstoffen und Teilchen aus Kunststoff mit Gleit- bzw. Reibeigenschaften enthält. Erfindungsgemäss soll dabei solcher Kunststoff eine Dielektrizitätskonstante mit maximalem Wert bei 2,6 aufweisen. Bevorzugte Beispiele für solche Kunststoffe sind PTFE und bzw. oder FEP und bzw. oder PVF und bzw. oder PO.A preferred application of the invention is to provide one Sliding or friction layer that is sputtered in a statistical sequence and distribution Particles made of one or more metallic sliding or sliding materials that form a matrix Contains friction materials and particles made of plastic with sliding or friction properties. According to the invention, such plastic should have a dielectric constant have a maximum value of 2.6. Preferred examples of such plastics are PTFE and / or or FEP and / or or PVF and / or or PO.

Es sind zahlreiche Versuche bekannt, reibungsmindernde Zusätze wie Polytetrafluoräthylen (PTFE) durch Kathodenzerstäubung auf Gleit- oder Reibelemente aufzubringen (verg. "TBI SOLID FILMS', 3,'1969, 109 bis 113, Elsevier, Lausannc). Es handelt sich hierbei aber ständig um eigene auf einer Gleitschicht aufgebrachte dünne Filme mit dem Nachteil, dass solche Filme beim Starten und Anhalten einer Lagerstelle schnell verschleissen und der zunächst aufgrund des antiadhäsiven Verhaltens des PTFE niedere Reibwert der Lagerstelle wieder ansteigt. Man hat auch versucht, mittels elektrochemischer Verfahren Partikel aus PTFE in eine metallische Matrix einzubetten (vergl. GB-PS 1 032 899).There are numerous attempts known, friction-reducing additives such as Polytetrafluoroethylene (PTFE) by cathode atomization on sliding or friction elements to apply (ver. "TBI SOLID FILMS ', 3,' 1969, 109 to 113, Elsevier, Lausannc). However, this is always a matter of its own applied to a sliding layer thin films with the disadvantage that such films when starting and stopping a The bearing point wears out quickly, initially due to its anti-adhesive behavior of the PTFE low coefficient of friction of the bearing increases again. They also tried by means of electrochemical processes, particles made of PTFE in a metallic matrix to be embedded (see GB-PS 1 032 899).

Dauerfestigkeitsversuche haben jedoch gezeigt, dass infolge innerer Kerbwirkung der PTFE-Partikel eine Erniedrigung der Dauer festigkeit bei solchen elektrochemisch aufgebauten Schichten gegenüber einer reinen metallischen Gleitschicht eintritt. Dies ist dadurch zu erklären, dass die inkorperierten PTFE-Partikel - obgleich in Dimensionen von ca. 1 um bis 2 um - noch zu gross sind. Darüberhinaus ist ihre Verteilung aufgrund der angewendeten galvanischen Verfahren sehr ungleich.However, fatigue strength tests have shown that as a result of internal Notch effect of the PTFE particles Reduction of the permanent strength in the case of such electrochemically built-up layers, compared to a purely metallic one Sliding layer occurs. This can be explained by the fact that the incorporated PTFE particles - although in dimensions of approx. 1 µm to 2 µm - are still too large. Furthermore their distribution is very uneven due to the galvanic processes used.

Metallographische Schliffe zeiten, dass Stellen mit groben Partikel-Anhäufungen vorliegen. Alle diese Nachteile werden bei der Anwendung des erfindungsgemässen Verfahrens zum Einbetten von Kunststoffpartikel in eine Metallmatrix vermieden bzw. überwunden. Durch das gleichzeitige Zerstäuben von metallischer Substanz und Kunststoff, insbesondere mit Hilfe der HF-Kathodenzerstäubung konnte eine ausserordentlich feine Verteilung von Kunststoffteilchen, beispielsweise Polytetrafluoräthylen-Teilchen in einer metallischen Matrix, beispielsweise einer solchen aus Aluminium-Zinn-Legierung, erzielt werden. Hierdurch wurde erreicht, dass sowohl in der An- und Auslaufphase von Lagerstellen, also im Mischreibungsgebiet, genügend als Festschmiermittel wirkender Kunststoff, beispielsweise PTFE, zur Verfügung steht, als auch der Reibbeiwert generell gesenkt wird und im Betrieb der Lagerstelle praktisch gleichbleibt, Überraschenderweise hat sich gezeigt, dass ein Kunststoffanteil von maximal 20 Volumenprozent ein optimales Ergebnis bringt. Darüberhinaus wurde festgestellt, dass bei Anwendung eines llochfrequenz-Kathodenzerstäubungsverfahrens diejenigen Kunststoffe die gleichmässigste Verteilung in der metallischen Matrix bringen, deren Dielektrizitätskonstante nach DIN 53483 (50 Hz) den Wert von 2,6 nicht überschreitet. Es sind dies beispielsweise nachfolgend aufyeführte Thermoplaste: Kunststoff Dielektrizitätszahl nach DIN 53483 (50 Hz) Polytetrafluoräthylen < 2,1 Tetrafluoräthylen/ ) Hexafluorpropylen ) 2,1 Polytrifluorchloräthylen 2,3 Äthylen/Tetrafluoräthylen 2,6 Poly-4-methylpenten-1 2,12 Polypropylen 2,25 Hochdruckpolyäthylen 2,29 Niederdruckpolyäthylen 2,35 Eine andere Anwendungsmöylichkeit der Erfindung besteht in der Schaffung von Gleit- bzw. Reibschichten, die in statistischer Folge und Verteilung aufgestäubte Teilchen aus mindestens einem metallischen, eine Matrix bildenden Gleit- bzw. Reibwerkstoff und aus einem oder mehreren keramischen Werkstoffen mit Gleit- bzw. Reibeigenschaften enthält. Auch derartige Verbundwerkstoffe haben für Schichtwerkstoff bzw. Gleit- oder Reibelemente durchaus hohe Bedeutung und waren bisher nicht oder nur mit grössten Schwierigkeiten und nur mit bedingter Qualität erreichbar. Schliesslich lässt sich die Erfindung auch zur Erzeugung solcher Gleit- bzw. Reibschichten anwenden, die in statistischer Folge und Verteilung aufgestäubte Teilchen aus verschiedenen metallischen Gleit-bzw. Reibwerkstoffen enthalten, die in festem Zustand nicht ineinander lösbar sind, von denen aber mindestens einer zur Bildung einer metallischen Matrix geeignet ist.Metallographic sections show that there are places with coarse particle accumulations. All these disadvantages are avoided or overcome when using the method according to the invention for embedding plastic particles in a metal matrix. The simultaneous sputtering of metallic substance and plastic, in particular with the help of HF cathode sputtering, made it possible to achieve an extremely fine distribution of plastic particles, for example polytetrafluoroethylene particles, in a metallic matrix, for example one made of aluminum-tin alloy. In this way, it was achieved that both in the run-up and run-down phase of bearing points, i.e. in the mixed friction area, sufficient plastic acting as a solid lubricant, for example PTFE, is available, and the coefficient of friction is generally reduced and remains practically the same during operation of the bearing point has shown that a plastic content of a maximum of 20 percent by volume brings an optimal result. In addition, it was found that when a pinhole frequency cathode sputtering process is used, those plastics produce the most even distribution in the metallic matrix whose dielectric constant according to DIN 53483 (50 Hz) does not exceed the value of 2.6. These are, for example, the thermoplastics listed below: Plastic permittivity according to DIN 53483 (50 Hz) Polytetrafluoroethylene <2.1 Tetrafluoroethylene /) Hexafluoropropylene) 2.1 Polytrifluorochloroethylene 2,3 Ethylene / tetrafluoroethylene 2,6 Poly-4-methylpentene-1 2.12 Polypropylene 2.25 High pressure polyethylene 2.29 Low pressure polyethylene 2.35 Another possible application of the invention is the creation of sliding or friction layers, the randomly atomized particles of at least one metallic, matrix-forming sliding or friction material and one or more ceramic materials with sliding or friction properties contains. Composite materials of this type are also of great importance for layer material or sliding or friction elements and were previously not achievable or could only be achieved with great difficulty and only with limited quality. Finally, the invention can also be used to produce such sliding or friction layers which, in a statistical sequence and distribution, consist of dusted-on particles from various metallic sliding or friction layers. Contain friction materials that are not soluble in one another in the solid state, but at least one of which is suitable for the formation of a metallic matrix.

Ein besonderes Beispiel sind Gleit- bzw. Reibschichten, die Teilchen aus Aluminium-Legierung auf AlPb-Basis oder AlSn-Basis und Teilchen aus Blei und bzw. oder Zinn und bzw. oder Blei-Zinn-Legierung als eine metallische Matrix bildenden Bestandteil enthalten. Z.B. kann ein solcher Werkstoff in seiner Zusammensetzung in der Gleit- bzw. Reibschicht im wesentlichen einem Verhältnis AlSn20Cu oder einer AlPb-Legierung entsprechen.A special example are sliding or friction layers, the particles made of aluminum alloy based on AlPb or AlSn and particles made of lead and or or tin and / or lead-tin alloy forming a metallic matrix Part included. E.g. such a material can be in its composition in the sliding or friction layer essentially a ratio of AlSn20Cu or one AlPb alloy.

Die erfindungsgemässen Schichtwerkstoffe bzw. Gleit-oder Reibelemente lassen sich noch dadurch wesentlich verbessern, dass - die Gleit- bzw. Reibschicht als dispersionsverfestigter Verbundwerkstoff mit in einer Matrix aus metallischem Material anyeordricten, wesentlich härteren Teilchen in feiner Suspension gebildet ist, - die härteren Teilchen in statu nascendi bei der Drahtexplosion bzw. der Kathodenzerstäubung in die Matrix der Gleit- bzw. Reibschicht eingelagerte Oxide von metallischen Bestandteilen der Matrix sind, wobei - als zu oxidierende metallische Bestandteile der Matrix solche ausgewählt sind, für die gilt: Volumen des Oxids >1.The coating materials or sliding or friction elements according to the invention can be significantly improved by the fact that - the sliding or friction layer as a dispersion-strengthened composite material with a matrix of metallic material anyeordricten, much harder particles are formed in a fine suspension, the harder particles in statu nascendi with the wire explosion or the cathode sputtering Oxides of metallic components embedded in the matrix of the sliding or friction layer of the matrix, where - as metallic components of the matrix to be oxidized those are selected for which the following applies: Volume of the oxide> 1.

Volumen des etalls Hierdurch lässt sich für alle oben angeführten Anwendungsmöglichkeiten eine wesentlich verfestigte metallische Matrix der Gleit- bzw. Reibschicht erzielen, was auch der Lagerung und der Befestigung der in die Matrix eingelagerten Teilchen anderer Art zustatten kommt. Volume of the metal This allows for all of the above Possible applications a substantially solidified metallic matrix of the sliding Achieve or friction layer, which also the storage and attachment of the in the Matrix embedded particles of a different kind comes into play.

Die Matrix kann dabei aus gebräuchlicher Gleitlagerlegierung, beispielsweise aus einer solchen mit einem oder mehreren der Metalle aus der Gruppe von Aluminium, Blei, Kadmium, Zinn, Zink, Nickel, Kupfer gebildet sein. Ein bevorzugtes Beispiel äst eine metallische Matrix aus Aluminium-Legierung mit in feiner Suspension eingelagerten Al 2O3-Teilchen.The matrix can be made of a common plain bearing alloy, for example from one with one or more of the metals from the group of aluminum, Lead, cadmium, tin, zinc, nickel, copper. A preferred example a metallic matrix made of aluminum alloy with embedded in fine suspension Al 2O3 particles.

Die Gleit- bzw. Reibschicht kann eine Dicke zwischen etwa 0,005 mm und 0,050 mm, vorzugsweise 0,010 mm bis 0,030 mm aufweisen.The sliding or friction layer can have a thickness between approximately 0.005 mm and 0.050 mm, preferably 0.010 mm to 0.030 mm.

Die erfindungsgemässe Glcit- oder Reibschicht kann unmittelhar auf eine Trägerschicht, beispielsweise eine solche aus Stahl aufgebracht sein. Es ist aber auch möglich, bei Schichtwerkstoff bzw. Gleit- oder Reibelementen zwischen der Trägerschicht eine Zwischenschicht aus Notlaufeigenschaften aufweisendem Material, beispielsweise Bleibronze oder Zinnbronze anzuordnen.The inventive Glcit or friction layer can directly a carrier layer, for example one made of steel, can be applied. It is but also possible with layer material or sliding or friction elements between the carrier layer has an intermediate layer made of material exhibiting emergency running properties, for example, to arrange lead bronze or tin bronze.

In solchem Fall empfiehlt es sich, zwischen der Zwischenschicht und der Gleit- bzw. Reibschicht bzw. deren metallischen matrix eine dünne Diffusionssperrschicht aus Chrom oder einer Nickel-Chrom-Legierung, insbesondere einer solchen mit etwa 20% (Gew.) Chromgehalt anzubringen. Diese Diffusionssperrschicht kann auch durch Kathodenzerstäubung aufgebracht werden.In such a case it is advisable to place between the intermediate layer and the sliding or friction layer or its metallic matrix is a thin diffusion barrier layer made of chromium or a nickel-chromium alloy, especially one with about 20% (wt.) Chromium content to be applied. This diffusion barrier layer can also through Cathodic sputtering can be applied.

Zur Erzeugung der erfindungsgenässen Schichtwerkstoffe bzw. Gleit- oder Reibelemente eignet sich insbesondere ein Verfahren, dass sich durch die folgenden Schritte kennzeichnet: - die Gleit- bzw. Reibschicht wird im Drahtexplosionsverfahren oder durch Kathodenzerstäubung eines oder mehrerer Targets gebildet; - das Target enthält bzw. die Targets enthalten in die Matrix der Gleit- bzw. Reibschicht bildenden Gleit- bzw. Reibwerkstoff; und - iii dem Target bzw. in den Targets werden vorher - den gewünschten ßeigabeverhältnissen in der Glcit- bzw. Reibschicit entsprechend - Gleit- bzw.To produce the inventive layer materials or sliding or friction elements, a method that is characterized by the following is particularly suitable The following steps are identified: - The sliding or friction layer is produced in a wire explosion process or formed by sputtering one or more targets; - the target contains or contains the targets in the matrix of the sliding or friction layer forming Sliding or friction material; and - iii the target or in the targets are beforehand - the desired distribution ratios in the Glcit- or Reibschicit corresponding - sliding resp.

Reibwerkstoff anderer Art und bzw. oder die Gleit-bzw. Reibeigenschuften verbessernde Werkstoffe als Teilchen oder Stücke eingefügt. Friction material of a different type and / or the sliding or. Grapple improving materials inserted as particles or pieces.

Beispielsweise können im erfindungsgemässen Verfahren in einem aus dem einen Gleit- bzw. Reibwerkstoff geformten Target für Kathodenzerstäubung Bohrungen angebracht und in diese Bohrungen dem gewünschten Volumengehalt entsprechend Pfropfen aus dem anderen Gleit- bzw. Reibwerkstoff bzw. den anderen Gleit- bzw. Reibwerkstoffen, sowie Festschmiermittell u.d(31. eingepresst werden. Dieses Einbringen von Pfropfen in ein Target für Kathodenzerstäubung empfiehlt sich beispielsweise, wenn das Target aus metallischem Gleit- bzw. Reibwerkstoff, beispielsweise einer Aluminium-Legierung auf AlPb-Basis oder AlSn-Basis besteht und die Pfropfen aus Gleit- bzw.For example, in the method according to the invention, in one off the target formed by a sliding or friction material for cathode sputtering bores attached and in these holes according to the desired volume content plug from the other sliding or friction material or the other sliding or friction materials, as well as solid lubricant and d (31st. This introduction of plugs in a target for cathode sputtering is recommended, for example, if the target made of metallic sliding or friction material, for example an aluminum alloy is based on AlPb or AlSn and the plugs are made of sliding or

Reibeigenschaften aufweisenden Kunststoff mit einer Dielektrizitätskonstante von maximalem Wert bei 2,6, beispielsweise PTFt-Pfropfen. Eine andere vorteilhafte Anwendungsmöglichkeit des mit Pfropfen versehenen Targets ergibt sich, wenn ein Target aus Aluminium-Legierung, vorzugsweise auf AlPb-Basis oder AlSn-Basis besteht und die Pfropfen aus Blei und bzw. oder Zinn und bzw. oder Blei-Zinn-Legierung bestehen.Plastic having friction properties with a dielectric constant of maximum value at 2.6, e.g. PTFt plug. Another beneficial one The possibility of using the target provided with a plug arises when a Target made of aluminum alloy, preferably based on AlPb or AlSn and the plugs are made of lead and / or tin and / or lead-tin alloy.

Es hat sich bei der tierstellung der mit Pfropfen versehenen metallischen Targets als zweckmässig erwiesen, solche Pfropfen nach dem ii<jiß-Isostatischen-Pressverfahren herzustellen, insbesondere wenn die Pfropfen aus Kunststoff bestehen. Das Einpressen der Pfropfcn kann beispielsweise derart erfolcjen, dass das z.B. runde Target in 20 Segmente aufgeteilt und in jedes dieser Segmente ein dem gewünschten Volumengehalt entsprechender Pfropfen, beispielsweise Kunststoffpfropfen eingepresst wird.It has been found in the animal position of the metallic ones provided with plugs Targets proven to be useful, such plugs after the ii <jiss isostatic pressing process produce, especially if the plugs are made of plastic. Pressing in the grafting can take place, for example, in such a way that the e.g. round target is in 20 segments divided and in each of these segments a desired volume content corresponding plug, for example plastic plug is pressed.

Eine andere Möglichkeit einer einem gewünschten Volumenverhältnis in der herzustellenaen Gleit- bzw. Reibschicht entsprechenden Zusammensetzung eines Targets besteht darin, dass ein Target fir Kathodenzerstäubung dem gewünschten Volumengehalt entsprechend aus Sektoren aus verschiedenen Gleit- bzw. Reibwerkstoffen und ggf.Another possibility of a desired volume ratio in the composition of the sliding or friction layer to be produced Targets consists in the fact that a target fir cathode sputtering has the desired volume content accordingly from sectors made of different sliding or friction materials and possibly

die Gleit- bzw. Reibeigenschaften verbessernden Zusätzen wie Festschmiermittel u.dyl. zusammengesetzt wird.additives such as solid lubricants that improve the sliding or frictional properties u.dyl. is put together.

Schliesslich ergibt sich eine Möglichkeit zur Herstellung eines solchen Targets dadurch, dass das Target für Drahtexplosionsverfahren oder Kathodenzerstäubung durch Mischen von Teilchen der gewünschten Gleit- bzw. Reibwerkstoffe und ggf. die Gleit- bzw. Reibeigenschaften verbessernde Zusätze, wie Festschmiermittel u.dgl. in gewünschten Volumenverhältnissen und durch Pressformen aus diesem Teilchengemisch rjebildet wird. Um eine möglichst gleichmässige Abtragung der verschiedenen, in dem Target enthaltenen Bestandteile zu gewährleisten, hat es sich im Rahmen Äer Erfindung als besonders vorteilhaft erwiesen, die verschiedenen Werkstoffe aus mindestens einem Target durch Flochfrequenz-Kathodellzerstäubung gleichzeitig auf ein Substrat, beispielsweise eine Stahlschicht zur Bildung der Gleit- bzw.Finally, there is a possibility of producing one Targets by being the target for wire explosion processes or cathode sputtering by mixing particles of the desired sliding or friction materials and possibly the Additives that improve sliding or friction properties, such as solid lubricants and the like. in the desired volume ratios and by compression molding from this Particle mixture is formed. In order to remove the various, To ensure components contained in the target, it has to be within the scope of Äer Invention proved to be particularly advantageous, the different materials from at least a target by flick frequency cathodic sputtering simultaneously onto a substrate, for example a steel layer to form the sliding or

Reibschicht in gewünschter Dicke aufzubringen. Man kann die lonendichte und damit die Gleichmässigkeit der Zerstäubung der verschiedensten Bestandteile noch dadurch verbessern, dass Magnetkathoden bei der Kathodenzerstäubung, insbesondere der Jjochfrequenz-Kathodenzerstäubung benutzt werden.Apply friction layer in the desired thickness. One can see the ion density and thus the evenness of the atomization of the various components still improve by the fact that magnetic cathodes in sputtering, in particular the yoke frequency cathode sputtering can be used.

Will man eine metallische Matrix der herzustellenden Gleit- bzw. Reibschicht durch fein verteilte Oxidteilchen verfestigen, so empfiehlt sich die Herstellung des Targets bzw. eines noch mit anderen Werkstoffen zu pfropfenden oder mit anderen Targetteilen zusammenzusetzenden Targetkörpers von eine im wesentlichen von Oxiden freien metallischen Gleic- bow. Reibwerkstoff zur Bildung einer metallischen Matrix auszugehen, von dem gilt: Volumen des Oxids Volumen des Metalls und gasförmigen Sauerstoff entsprecllelld dem gewünschten Oxidteilchen-Gehalt der herzustellenden Gleit- bzw. Reibschicht geregelter Menge vor dem Drahtexplosionsverfallren bzw. vor dem Kathodenzerstäuben dem Target bzw. den Targets oder einen. der Targets und bzw. oder während des Drahtexplosionsverfahrens bzw. der Kathodenzerstäubung dem dabei benutzten Plasmagas zuzugeben. Als Plasmagas kann dabei bevorzugt Argon benutzt werden.If you want a metallic matrix of the sliding or friction layer to be produced solidify by finely divided oxide particles, production is recommended of the target or one to be grafted with other materials or with others Target body to be assembled from one essentially of oxides free metallic equilibrium. Friction material to form a metallic matrix start from which applies: Volume of the oxide Volume of the metal and gaseous oxygen corresponds to the desired oxide particle content of the Sliding or friction layer of regulated amount before the wire explosion decay or before the sputtering of the target or the targets or one. the targets and or or during the wire explosion process or the cathode sputtering add plasma gas used in the process. Argon can preferably be used as the plasma gas will.

Will man auf ein Substrat mit einer kupferhaltigen Zwischen schicht eine zinnhaltige Gleit- bzw. Reibschicht auflegen, so kann zunächst eine dünne Diffusionssperrschicht auf der kupferhaltigen Schicht durch Drahtexplosionsverfahren oder Kathodenzerstäubung aufgebracht und dann die zinnhaltige Gleitschicht unter gesteuerter Sauerstoffbeigabe zum Target oder Plasmagas durch Drahtexplosionsverfahren oder Kathodenzerstäubung auf der Diffusionssperrschicht aufgebracht werden. Als besonders vorteilhaft kommt in diesem Zusammenhang die Herstellung einer Diffusionssperrschicht aus Chrom oder einer Nickel-Chrom-Legierung beispielsweise einer solchen von etwa 20% (Gew.) Chromgehalt in Betracht. Das Aufbringen der Diffusionssperrschicht und der Gleit- bzw. Reibschicht kann in demselben Plasmagas unmittelbar aufeinanderfolgend nur unter Benutzung verschiedener Targets erfolgen.If you want to use a substrate with a copper-containing intermediate layer Apply a tin-containing sliding or friction layer, so a thin diffusion barrier layer can be applied first on the copper-containing layer by wire explosion or cathode sputtering applied and then the tin-containing sliding layer with controlled addition of oxygen to the target or plasma gas by wire explosion or cathode sputtering are applied to the diffusion barrier layer. Comes in as particularly beneficial in this context the production of a diffusion barrier layer made of chromium or a nickel-chromium alloy, for example, one with a chromium content of around 20% (by weight) into consideration. The application of the diffusion barrier layer and the sliding or friction layer can be used in direct succession in the same plasma gas only using different Targets take place.

Ausführungsbeispiele der Erfindung werden im folgenden anhand der Zeichnung näher erläutert. Es zeigen: Fig. 1 einen Schichtwerkstoff bzw. ein Zweischicht-<Jleitlager mit erfindungsgemässer Gleitschicht im Schnitt, vergrössert; Fig. 2 einen nochmals stark vergrösserten Ausschnitt 2-2 der Gleitschicht nach Fig. 1; Fig. 3 einen Schichtwerkstoff bzw. ein Mehrschicht-Gleitlager mit erfindungsgemässer und dispersionsverfestigter Gleitschicht im Schnitt, vergrössert; Fig. 4 eins nochmals stark vergrösserten Ausschnitt 4-4 der Gleitschicht nach Figur 3; und Fig. 5 bis 10 verschiedene Ausführungsformen von vorbereiteten Targets in Draufsicht.Embodiments of the invention are described below with reference to Drawing explained in more detail. They show: FIG. 1 a layer material or a two-layer sliding bearing with sliding layer according to the invention in section, enlarged; Fig. 2 again greatly enlarged detail 2-2 of the sliding layer according to FIG. 1; 3 shows a layer material or a multi-layer plain bearing with a dispersion strengthened according to the invention Sliding layer in section, enlarged; 4 shows a section which is again greatly enlarged 4-4 of the sliding layer according to Figure 3; and FIGS. 5 to 10 different embodiments of prepared targets in plan view.

Im Beispiel der Figuren 1 und 2 ist eine Gleitschicht 1 durch Kathodenzerstäubung unmittelbar auf einem Stahlrücken 6 aufgebracht. Diese Gleitschicht 1 enthält, wie dargestellt, eine Matrix 2, aus Aluminium-Blei-Legierung.In the example of FIGS. 1 and 2, a sliding layer 1 is produced by cathode sputtering applied directly to a steel back 6. This sliding layer 1 contains how shown, a matrix 2, made of aluminum-lead alloy.

In dieser Matrix 2 sind Aluminium-Oxid-Teilchen 3 in feiner Verteilung angeordnet, die bei der Kathodenzerstäubung in statu nascendi in diese Matrix eingefügt worden sind und dadurch eine beträchtliche Dispersionsverfestigung der Matrix 2 hervorruft. Ferner enthält die Gleitschicht 1 in die Matrix 2 eingegliederte Bleiteilchen 4, also Teilchen aus einem Metall, das in festem Zustand nicht im Metall der Matrix 2 lösbar ist. Ferner enthält die Gleitschicht 1 in die Matrix eingegliederte PTFE-Teilchen 5, die als zusätzliches Festschmiermittel wirken.In this matrix 2, aluminum oxide particles 3 are finely distributed arranged, which are inserted into this matrix during cathode sputtering in statu nascendi and thereby a considerable dispersion strengthening of the matrix 2 evokes. The Sliding layer 1 incorporated into the matrix 2 Lead particles 4, ie particles made of a metal which, in the solid state, are not in the metal the matrix 2 is solvable. Furthermore, the sliding layer contains 1 incorporated into the matrix PTFE particles 5, which act as an additional solid lubricant.

Die Gleitschicht 1 kann beispielsweise unter Benutzung eines Targets hergestellt werden, wie es n Figur 5 gezeigt ist, und weiter unten erläutert wird.The sliding layer 1 can, for example, using a target can be produced as shown in FIG. 5 and explained further below.

Im Beispiel der Figuren. 3 und 4 ist ein Mehrschicht-Gleitlager bzw. ein Schichtwerkstoff zur Herstellung eines Mehrschichtgletlagers gezeigt, bei dem eine dispersionsverfestigte, erfidungsgemässe Gleitschicht 11 durch Kathodenzerstäubung auf einem Substrat angebracht ist, das aus einem Stahlrücken 16 einer Zwischenschicht 17 aus einer Gleitlager-Legierung mit Notlaufeigenschaften, beispielsweise CuPb22Sn, und einem Diffusionssperrdamrn 18 aus Nickel-Chrom-Lcgicrung mit 20 Gew.% Chromgehalt gebildet ist.In the example of the figures. 3 and 4 is a multi-layer slide bearing or a layer material for the production of a multilayer glacier bearing is shown in which a dispersion-strengthened sliding layer 11 according to the invention by cathode sputtering is mounted on a substrate consisting of a steel back 16 of an intermediate layer 17 made of a plain bearing alloy with emergency running properties, for example CuPb22Sn, and a diffusion barrier dam 18 made of nickel-chromium alloy with 20% by weight of chromium content is formed.

In diesem Beispiel enthält die Gleitschicht 11 eine Metallmatrix aus Weißmetall-Lagerlegierung auf Zinr-Blei-Basis. Diese Matrix ist durch Kathodenzerstäubung auf der Diffusionssperrschicht 18 aufgetragen. Gleichzeitig mit dem Auftragen der Weißmetallmatrix sind auch in diese fein vcrteiltesehr kleine P'?FE-Teilchen 14 durch die Kathodenzerstäubung eingelagert. Zusätzlich sind bei der Kathodenzerstäubung die Gleiteigenschaften verbessernde Teilchen 15 aus Molybdänsulfid oder Bornitrid in die Gleitschicht 11 eingelagert. Auch diese zusätzlichen, die Gleiteigenschaften verbessernden Teilchen sind aus dem gleichen Target wie die PTFE-Teilchen 14 und die die Matrix 12 bildenden Weißmetallteilchen zerstäubt und in die Gleitschicht eingefügt worden.In this example, the sliding layer 11 contains a metal matrix Zinr-lead based white metal bearing alloy. This matrix is by sputtering applied to the diffusion barrier layer 18. Simultaneously with the application of the White metal matrix are also in this finely divided very small P '? FE particles 14 stored by the sputtering. In addition, are in the case of cathode sputtering the sliding properties improving particles 15 made of molybdenum sulfide or boron nitride embedded in the sliding layer 11. These additional ones, the sliding properties Enhancing particles are from the same target as the PTFE particles 14 and 14 the white metal particles forming the matrix 12 are atomized and into the sliding layer has been inserted.

Die Gesamtheit der in der Gleitschicht 11 enthaltenen Teilchen von dreierlei verschiedener Art sind durch die Kathodenzerstäubung fest und sicher ineinander verhaftet, so dass die Gleitschicht in sich fest zusammenhält und ausserdem auch fest auf der Oberfläche der Diffusionssperrschicht 18 haftet. Die Diffusionssperrschicht 18 ist im dargestellten Beispiel unmittelbar vor der Erzeugung der Gleitschicht 11 durch Kathodenzerstäubung auf die Zwischenschiciit 1 7 aufgebracht worden, und zwar in ein und demselben Plasma wie die Gleitschicht 11, jedoch unter Benutzung eines anderen Targets. Das für die Erzeugung der Gleitschicht 11 zu benutzende Target kann beispielsweise entsprechend der Darstellung der Ezigur 8 ausgebildet sein.The entirety of the particles contained in the sliding layer 11 of three different types are firmly and securely in one another through cathode sputtering arrested, so that the sliding layer holds together and also firmly adheres to the surface of the diffusion barrier layer 18. The diffusion barrier 18 is in the example shown immediately before the production of the sliding layer 11 has been applied to the intermediate layer 1 7 by cathode sputtering, and although in one and the same plasma as the sliding layer 11, but using it another target. The target to be used for the production of the sliding layer 11 can for example be designed according to the illustration of the Ezigur 8.

L e e r s e i t eL e r s e i t e

Claims (28)

p atentansprüche 11) Schichtwerkstoff bzw. Gleit- oder Reibelement mit auf einer Trägerschicht in Drahtexplosionsverfahren oder durch Kathodenzerstäubung (Sputtering) aufgebrachter Gleit- bzw. Reibschicht, gekennzeichnet durch die Merkmale: - die Gleit- bzw. Reibschicht (1, 11) besteht aus einem fest zusammengefügten Gemisch von in statistiA scher Folge und Verteilung aufgestäub.en Teilchen (2, 4; 12, 14) verschiedener Gleit- bzw. Reibwerkstoffe und ggf. Teilchen (5; 15) von die Gleit-bzw. Reibeigenschaften verbessernden Zusätzen; und - zumindest ein Teil der in Teilchenform in der Gleit- bzw. Reibschicht (1;11) vereinigten Gleit-bzw. Reibwerkstoffe sind in festem Zustand nicht ineinander löslich bzw. nicht miteinander bindungsfähig. patent claims 11) Layer material or sliding or friction element with on a carrier layer in a wire explosion process or by cathode sputtering (Sputtering) applied sliding or friction layer, characterized by the following features: - The sliding or friction layer (1, 11) consists of a firmly assembled mixture of particles atomized in a statistical sequence and distribution (2, 4; 12, 14) various sliding or friction materials and possibly particles (5; 15) from the sliding or. Additives improving friction properties; and - at least a part of the in particulate form in the sliding or friction layer (1; 11) combined sliding or. Friction materials are in the solid state not soluble in one another or not capable of binding with one another. 2) Schichtwerkstoff bzw. Gleit- oder Reibelement nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Gleit-bzw. Reibschicht (1;11) in statistischer Folge und Verteilung aufgestäubte Teilchen {5, 14) aus einem oder mehreren metallischen, eine Matrix bildenden Gleit- bzw. Reibwerkstoffen und Teilen aus solchem Kunststoff mit Gleit- bzw. Reibeigenschaften enthält, dessen Dielektrizitätskonstante maximal den Wert 2,6 hat.2) layer material or sliding or friction element according to claim 1, characterized in that the sliding or. Friction layer (1; 11) in statistical Episode and Distribution of dusted particles (5, 14) from one or several metallic sliding or friction materials and parts that form a matrix made of such a plastic with sliding or frictional properties, whose dielectric constant has a maximum value of 2.6. 3) Schichtwerkstoff bzw. Gleit- oder Reibelement nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Gleit-bzw. Reibschicht (1; ii) aufgestäubte Teilchen aus PTFE und bzw. oder FEP und bzw. oder PVF und bzw.3) layer material or sliding or friction element according to claim 2, characterized in that the sliding or. Friction layer (1; ii) dusted particles made of PTFE and / or FEP and / or PVF and / or oder PO enthält. or contains PO. 4) Schichtwerkstoff bzw. Gleit- oder Reibelement nach Anspruch 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Gleit- bzw. Relbscliicht (1; 11) aufgestäubte Kunststoffteilchen in einem Anteil von maximal etwa 20 Vol-% enthält.4) layer material or sliding or friction element according to claim 2 or 3, characterized in that the Gleit- or Relbscliicht (1; 11) dusted on Contains plastic particles in a proportion of a maximum of about 20% by volume. 5) Schichtwerkstoff bzw. Gleit- oder Reibelement nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Gleit-bzw. Reibschicht (1; 11) in statistischer Folge und Verteilung aufgestaubte Teilchen aus mindestens einem metallischen, eine Matrix bildenden Gleit-bzw. Reibwerkstoff und aus einem oder mehreren keramischen Werkstoffen mit Gleit- bzw. Reibeigenschaften enthält.5) layer material or sliding or friction element according to claim 1, characterized in that the sliding or. Friction layer (1; 11) in statistical Sequence and distribution of dusty particles from at least one metallic, one Matrix-forming sliding or. Friction material and one or more ceramic ones Contains materials with sliding or friction properties. 6) Schichtwerkstoff bzw. Gleit- oder Reibelement nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Gleit-bzw. Reibschicht (1; 11) in statistischer Folge und Verteilung aufgestäubte Teilchen aus verschiedenen metallischen Gleit- bzw. Reibwerkstoffen enthält, die in festem Zustand nicht ineinander lösbar sind, von denen aber einer zur Bildung einer metallischen Matrix geeignet fest.6) layer material or sliding or friction element according to claim 1, characterized in that the sliding or. Friction layer (1; 11) in statistical Sequence and distribution of dusted particles from various metallic sliding or contains friction materials that cannot be dissolved in one another in a solid state, but one of which is suitable for forming a metallic matrix. 7J Schichtwerkstoff bzw. Gleit- oder Reibelement nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet7 dass die Gleit-bzw. Reibschicht Teilchen aus Aluminiumlegierung auf AlPb- oder AlSn-Basis und Teilchen aus Blei und bzw. oder Zirm-und bzw. oder Blei-Zinn-Legierung als eine metallische Itatrix bildenden Bestandteil enthält.7J layer material or sliding or friction element according to claim 6, characterized7 that the sliding or. Friction layer particles made of aluminum alloy based on AlPb or AlSn and particles made of lead and / or or pine and / or or Contains lead-tin alloy as a component forming a metallic itatrix. 8) Schichtwerkstoff bzw. Gleit- oder Reibelement nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet , dass die Werkstoff-Zusammensetzung der Gleit- bzw. Reibschicht (I; II) im wesentlichen einem Verhältnis AlSn20Cul oder einer klPh-Legierung entspricht.8) layer material or sliding or friction element according to claim 7, characterized in that the material composition of the sliding or friction layer (I; II) essentially corresponds to a ratio of AlSn20Cul or a klPh alloy. 9) Schichtwerkstoff bzw. Gleit oder Reibelement nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass - die Gleit- bzw. Reibschicht als dispersionsverfestigter Verbundstoff mit in einer Matrix (2) aus metallischem Material angeordneten, wesentlich härteren Teilchen (3) in feiner Suspension ausgebildet ist, - die härteren Teilchen (3) in statu nascendi bei der Drahtexplosion bzw. der Kathodenzerstäubung in die Matrix (2) der Gleit- bzw. ReibschiSt eingelagerte Oxide von metallischen Bestandteilen der Matrix sind, wobei - als zu oxidierende metallische Bestandteile der Matrix solche ausgewählt sind, für die gilt: Volumen des Oxids Volumen des Metalls 1.9) layer material or sliding or friction element according to one of the claims 1 to 8, characterized in that - the sliding or friction layer as a dispersion-strengthened composite with a matrix (2) made of metallic Material arranged, substantially harder particles (3) formed in a fine suspension is, - the harder particles (3) in statu nascendi with the wire explosion or the Cathode sputtering of oxides embedded in the matrix (2) of the sliding or friction pads of metallic components of the matrix are, where - as metallic to be oxidized Components of the matrix are selected for which the following applies: Volume of the oxide Volume of the metal 1. 10) Schichtwerkstoff bzw. Gleit- oder Reibelement nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass die Gleit- bzw. Reibschicht eine metallische Matrix (2) aus gebräuchlicher Gleitlagerlegierung, beispielsweise einer solchen mit einem oder mehreren der Metalle aus der Gruppe von Aluminium, Blei, Kadmium, Zinn, Zink, Nickel, Kupfer enthält.10) layer material or sliding or friction element according to one of the claims 1 to 9, characterized in that the sliding or friction layer is a metallic one Matrix (2) made of a common plain bearing alloy, for example one with one or more of the metals from the group of aluminum, lead, cadmium, Contains tin, zinc, nickel, copper. 11) Schichtwerkstoff bzw. Gleit- oder Reibelement nach Anspruch 9 und 10, dadurch gekennzeichnet, dass der metallischen Matrix (2) Teilchen aus Oxiden eines oder mehrerer der in der Matrix enthaltenden Metalle, beispielsweise A1203-Teilchen in feiner Suspension eingelagert sind.11) layer material or sliding or friction element according to claim 9 and 10, characterized in that the metallic matrix (2) is made up of particles of oxides one or more of the metals contained in the matrix, for example A1203 particles are embedded in a fine suspension. 12) Schichtwerkstoff bzw. Gleit- oder Reibelement nach einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, dass die Gleit- bzw. Reibschicht (1; 11) eine Dicke zwischen etwa 0,005 mm und 0,050 mm, vorzugsweise 0,010 mm bis 0,030 mm aufweist.12) layer material or sliding or friction element according to one of the claims 1 to 11, characterized in that the sliding or friction layer (1; 11) a Thickness between about 0.005 mm and 0.050 mm, preferably 0.010 mm to 0.030 mm. 13) Schichtwerkstoff bzw. Gleit- oder Reibelement nach einem der Ansprüche 1 bis 12, mit einer das Substrat bildenden Metallschicht, beispielsweise Stahlschicht, einem Notlaufeigenschaften aufweisenden Material, beispielsweise Bleibronze oder Zinnbronze als Zwischenschicht und der Gleit- bzw. Reibschicht, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen der Zwischenschicht (17) und der Gleit- bzw. Reibschicht (11) eine dünne Diffusionssperrschicht (18) aus im Drahtexplosionsverfahren oder durch Kathodenzerstäubung aufgebrachtem Chrom oder einer Nickel-Chrom-Legierung, insbesondere einer solchen mit etwa 20% (Gew.) Chromgehalt, aufgebracht ist.13) layer material or sliding or friction element according to one of the claims 1 to 12, with a metal layer forming the substrate, for example a steel layer, a material having emergency running properties, for example lead bronze or Tin bronze as an intermediate layer and the sliding or friction layer, characterized in that that between the intermediate layer (17) and the sliding or friction layer (11) a thin diffusion barrier layer (18) made in the wire explosion process or by cathode sputtering applied chromium or a nickel-chromium alloy, in particular such with about 20% (wt.) Chromium content is applied. 14) Verfahren zum Herstellen von Schichtwerkstoff bzw.14) Process for the production of coating material or Gleit- oder Reibelementen nach einem der Ansprüche 1 bis 13, gekennzeichnet durch die Merkmale: - die Gleit- bzw. Reibschicht wird imDrahtexplosionsverfahren oder durch Kathodenzerstäubung eines oder mehrerer Targets gebildet; - das Target enthält bzw. die Targets enthalten den die Matrix der Gleit- bzw. Reibschicht bildenden Gleit- bzw. Reibwerkstoff, und - in dem Target bzw. in den Targets werden vorher den gewünschten Beigabeverhältnissen in der Gleit-bzw. Reibschicht entsprechend, Gleit- bzw. Reibwerkstoffe anderer Art und bzw. oder die Gleit- bzw. Sliding or friction elements according to one of Claims 1 to 13, characterized by the features: - The sliding or friction layer is made in the wire explosion process or formed by sputtering one or more targets; - the target contains or the targets contain the matrix of the sliding or friction layer forming Sliding or friction material, and - in the target or in the targets are beforehand the desired addition ratios in the sliding or. Friction layer accordingly, Sliding or friction materials of a different type and / or the sliding or Reibeigenschaften verbessernde Werkstoffe als Teilchen oder Stücke eingeführt. Materials that improve friction properties in the form of particles or pieces introduced. 15) Verfahren nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, dass in einem aus dem einen Gleit- bzw. Reibwerkstoff geformten Target für Kathodenzerstäubung Bohrungen angebracht und in diese Bohrungen dem gewünschten Volumengehalt entsprechend Pfropfen aus dem anderen Gleit- bzw. Reibwerkstoff bzw. den anderen Gleit-bzw. Reibwerkstoffen, sowie Festschmiermittel u.dgl eingepresst werden.15) Method according to claim 14, characterized in that in one cathode sputtering target formed from a sliding or friction material Drilled holes attached and in these holes according to the desired volume content Plug from the other sliding or friction material or the other sliding or. Friction materials, as well as solid lubricants and the like are pressed in. 16) Verfahren nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, dass in einem Target aus metallischem Gleit- bzw. 16) The method according to claim 15, characterized in that in one Target made of metallic sliding or Reibwerkstoff, beispielsweise einer Aluminiumlegierung auf AlPb-Basis oder AlSn-Basis, Pfropfen aus Gleit- bzw Reibeigenschaften aufweisenden Kunststoff mit einer Dielektrizitätskonstante von maximalem Wert bei 2,6, beispielsweise PTFE-Pfropfen, eingepresst werden. Friction material, for example an aluminum alloy based on AlPb or AlSn-based, plug made of Having sliding or frictional properties Plastic with a dielectric constant of maximum value at 2.6, for example PTFE plug to be pressed in. 17) Verfahren nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, dass in einen Target aus Aluminiumlegierung, vorzugsweise auf AlPb-Basis ode AlSn-Basis Pfropfen aus Blei und bzw. oder Zinn und bzw. oder Blei-Zinn-Legierung eingepresst werden.17) The method according to claim 15, characterized in that in one Target made of aluminum alloy, preferably based on AlPb or AlSn-based plug made of lead and / or tin and / or lead-tin alloy are pressed in. 18) Verfahren nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, dass ein Target für Kathodenzerstäubung dem gewünschten1 Volumengehalt entsprechend aus Sektoren aus verschiedenen Gleit- bzw. Reibwerkstoffen und ggf. die Gleit-bzw. Reibeigenschaften verbessernden Zusätzen, wie Festschmiermittel u.dgl., zusammengesetzt wird.18) Method according to claim 14, characterized in that a target for cathode sputtering according to the desired1 volume content from sectors of different sliding or friction materials and possibly the sliding or. Frictional properties improving additives, such as solid lubricants and the like., Is composed. 19) Verfahren nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, dass ein Target für Drahtexplosionsverfahren oder Kathodenzerstäubung durch Mischen von Teilchen der gewünschten Gleit- bzw. Reibwerkstoffe und ggf. die Gleit- bzw. Reibeigenschaften verbessernden Zusätze, wie Festschmiermittel u.dgl. in gewünschten Volumen verhältnissen, und Pressformen aus diesem Teilchengemisch gebildet wird.19) Method according to claim 14, characterized in that a target for wire explosion processes or cathode sputtering by mixing particles the desired sliding or friction materials and, if applicable, the sliding or frictional properties improving additives, such as solid lubricants and the like. in the desired volume ratios, and molding is formed from this mixture of particles. 20) Verfahren nach einem der Ansprüche 14 bis 19, dadurch gekennzeichnet, dass die verschiedenen Werkstoffe aus mindestens einem Target durch Hochfrequenz-Kathodenzerstäubung gleichzeitig atif ein Substrat, beispielsweise eine Stahlschicht, zur Bildung der Gleit-bzw. Reibschicht in gewünschter Dicke aufgebracht werden.20) Method according to one of claims 14 to 19, characterized in that that the different materials from at least one target by high-frequency cathode sputtering at the same time atif a substrate, for example a steel layer, to form the Sliding or Friction layer can be applied in the desired thickness. 21) Verfahren nach einem der Ansprüche 14 bis 20, gekennzeichnet durch die Benutzung von Magnetkathoden bei der Kathodenzerstubuwj 22) Verfahren nach einem der Ansprüche 14 bis 21, dadurch gekennzeichnet, dass - dem Target im wesentlichen von Oxiden freier metallischer Gleit- bzw. Reibwerkstoff zur Bildung einer metallischen Matrix in der zu bildenden Gleit- bzw. Reibschicht beigegeben wird, für den gilt: Volumen des Oxids > 1, und Volumen des Metalls - gasförmiger Sauerstoff entsprechend dem gewünschten Oxidteilchengehalt der herzustellenden Gleit- bzw.21) Method according to one of claims 14 to 20, characterized by the use of magnetic cathodes in the cathode atomization 22) method according to a of claims 14 to 21, characterized in that - the target essentially Oxide-free metallic sliding or friction material to form a metallic one Matrix is added to the sliding or friction layer to be formed, for which the following applies: Volume of the oxide> 1, and volume of the metal - gaseous oxygen accordingly the desired oxide particle content of the sliding or Reibschicht in geregelter Menge vor dem Drahtexplosionsverfahren bzw. vor der Kathodenzerstäubung dem Target bzw. den Targets oder einem der Targets und bzw. oder während des Drahtexplosionsverf ahrens bzw. der Kathodenzerstäubung dem dabei benutzten Plasmagas zugeyeben wird. Friction layer in a regulated amount before the wire explosion process or before the sputtering of the target or the targets or one of the targets and or or during the wire explosion process or cathode sputtering plasma gas used is added. 23) Verfahren nach einem der Ansprüche 14 bis 22, dadurch gekennzeichnet, dass Argon als Plasmagas benutzt wird.23) Method according to one of claims 14 to 22, characterized in that that argon is used as a plasma gas. 24) Verfahren nach einem der Ansprüche 14 bis 23, dadurch gekennzeichnet, dass auf ein Substrat mit einer kupferhaltigen, mit einer zinnhaltigen Gleit- bzw.24) Method according to one of claims 14 to 23, characterized in that that on a substrate with a copper-containing, with a tin-containing sliding or Reibschicht zu belegenden Zwischenschicht zunächst eine dünne Diffusionssperrschicht auf der kupferhaltigen Schicht durch Drahtexplosionsverfahren oder Kathodenzerstäubung aufgebracht und die zinnhaltige Gleitschicht unter gesteuerter Sauerstoffbeigabe zum Target oder Plasmagas durch Drahtelosion oder Kathodenzerstäubung auf der Diffusionssperrschicht angebracht wird. Friction layer to be covered intermediate layer first a thin diffusion barrier layer on the copper-containing layer by wire explosion or cathode sputtering applied and the tin-containing sliding layer with controlled addition of oxygen to the target or plasma gas by wire erosion or cathode sputtering on the diffusion barrier layer is attached. 25) Verfahren nach Anspruch 24, dadurch gekennzeichnet, dass eine Nickel-Chrom-Legierung durch Drahtxplosion oder Kathodenzerstäubung als Diffusionssperrschicht auf der kupferhaltigen Schicht aufgebracht wird.25) Method according to claim 24, characterized in that a Nickel-chromium alloy by wire explosion or cathode sputtering as a diffusion barrier layer is applied to the copper-containing layer. 26) Verfahren nach Anspruch 25, dadurch gekennzeichnet, dass eine Nickel-Chrom-Leyierung mit einem Chromgehalt von etwa 20% (Gew.) benutzt wird.26) Method according to claim 25, characterized in that a Nickel-chromium leying with a chromium content of about 20% (weight) is used. 27) Verfahren nach Anspruch 24, dadurch gekennzeichnet, dass praktisch reines Chrom durch Drahtexplosionsverfahren oder KathodenzerstCiubung als Diffusionssperrschicht auf der kupferhaltigen Schicht aufgebracht wird.27) Method according to claim 24, characterized in that practical pure chromium by wire explosion process or cathode destruction as a diffusion barrier layer is applied to the copper-containing layer. 28) Verfahren nach einem der Ansprüche 24 bis 27, dadurch gekennzeichnet, dass das Aufbringen der Diffusionssperrschicht und der Gleit- bzw. Reibschicht in demselben Plasmagas unmittelbar aufeinanderfolyend nur unter Benutzung verschiedener Targets erfolgt.28) Method according to one of claims 24 to 27, characterized in that that the application of the diffusion barrier layer and the sliding or friction layer in the same plasma gas in immediate succession only using different ones Targets takes place.
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