DE2904984C3 - Measuring arrangement for determining the spectral sensitivity of photodetectors - Google Patents

Measuring arrangement for determining the spectral sensitivity of photodetectors

Info

Publication number
DE2904984C3
DE2904984C3 DE2904984A DE2904984A DE2904984C3 DE 2904984 C3 DE2904984 C3 DE 2904984C3 DE 2904984 A DE2904984 A DE 2904984A DE 2904984 A DE2904984 A DE 2904984A DE 2904984 C3 DE2904984 C3 DE 2904984C3
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
photodetectors
spectral sensitivity
measuring
measuring arrangement
photodetector
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
DE2904984A
Other languages
German (de)
Other versions
DE2904984B2 (en
DE2904984A1 (en
Inventor
Vladimir Dr.-Ing. 5100 Aachen Blazek
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Individual
Original Assignee
Individual
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Individual filed Critical Individual
Priority to DE2904984A priority Critical patent/DE2904984C3/en
Publication of DE2904984A1 publication Critical patent/DE2904984A1/en
Publication of DE2904984B2 publication Critical patent/DE2904984B2/en
Application granted granted Critical
Publication of DE2904984C3 publication Critical patent/DE2904984C3/en
Expired legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/26Testing of individual semiconductor devices
    • G01R31/2607Circuits therefor
    • G01R31/2632Circuits therefor for testing diodes
    • G01R31/2635Testing light-emitting diodes, laser diodes or photodiodes
    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03FAMPLIFIERS
    • H03F2200/00Indexing scheme relating to amplifiers
    • H03F2200/261Amplifier which being suitable for instrumentation applications

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Spectrometry And Color Measurement (AREA)
  • Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)

Description

a) der Lichtverteiler ist eine an sich bekannte strahlungsintegrierende, photometrische Meßkugel (9) mit einem quasüdeal diffus reflektierenden weißen Innenbelag,a) the light distributor is a known radiation-integrating, photometric measuring sphere (9) with a quasüdeal, diffusely reflective white interior covering,

b) die Meßkugel (9) weist eine Eintrittsöffnung (12) auf, durch die der quasimonochromatische Lichtstrahl (2) von der außerhalb der Meßkugel angeordneten Lichtquelle (1) auf einen der Eintrittsöffnung (12) gegenüberliegenden Innenwandbereich (13) gerichtet ist,b) the measuring ball (9) has an inlet opening (12) through which the quasi-monochromatic Light beam (2) from the light source (1) arranged outside the measuring sphere onto one of the Inlet opening (12) opposite inner wall region (13) is directed,

c) symmetrisch zu der .Eintrittsöffnung (12), vorzugsweise in ihrer Mittelebene, weist die Meßkugel (9) weitere, im allgemeinen unterschiedlich große Wandöffnungen (11) auf, an denen die Prüflinge (4.1 bis 4.5) sowie der Standarddetektor (3) angebracht werden können.c) symmetrically to the. inlet opening (12), preferably in its central plane, the Measuring ball (9) further wall openings (11), generally of different sizes, on to which the test items (4.1 to 4.5) and the standard detector (3) can be attached.

2. Meßanordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß zum Abdecken von für Prüflinge (4.1 bis 4.5J zweitweise nicht benötigten Wandöffnungen (11) der Meßkugel (9) diffus reflektierende, weiße Scheiben vorgesehen sind. Ebenfalls sind derartige weiße, annähernd idealdiffus reflektierende Scheibenringe zur Verkleinerung der Wandöffnungen (11) und damit zur Anpassung der Räche dieser Wandöffnungen auf die aktive Fläche der Photodetektoren (3,4.1 bis 43) vorgesehen.2. Measuring arrangement according to claim 1, characterized in that diffusely reflective, white disks are provided to cover wall openings (11) of the measuring ball (9) that are not required for test objects (4.1 to 4.5J) for reducing the wall openings (11) and thus for adapting the area of these wall openings to the active area of the photodetectors ( 3, 4, 1 to 4, 3).

3. Meßanordnung nach Anspruch 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Standarddetektor Π) unmittelbar mit einem zugehörigen Verstärker (19) verbunden ist, während die Prüflinge (4.1 bis 4.5) über einen Schrittschalter (18) wahlweise an einen anderen Verstärker (20) anschließbar sind.3. Measuring arrangement according to claim 1 and 2, characterized in that the standard detector Π) is directly connected to an associated amplifier (19), while the test items (4.1 to 4.5) can optionally be connected to another amplifier (20) via a step switch (18).

4. Meßanordnung nach Anspruch 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß zur Pulsmodulation des quasimonochromatischen Lichtstrahls (2) ein Chopper (6) vorgesehen ist und daß die Verstärker (19, 20) selektive Verstärker sind, die nur die mit der. Frequenz des Choppers (6) modulierten Ausgangssignale der Photodetektoren (3 bzw. 4.1 bis 4.5) verstärken.4. Measuring arrangement according to claim 1 to 3, characterized in that the pulse modulation of the quasi-monochromatic Light beam (2) a chopper (6) is provided and that the amplifiers (19, 20) are selective amplifiers that only those with the. Frequency of the chopper (6) modulated output signals of the photodetectors (3 or 4.1 to 4.5) strengthen.

5. Meßanordnung nach Anspruch I bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Ausgänge der Verstärker (19 und 20) zu einer Dividiereinheit (21) geführt sind, in der der Quotient der beiden Ausgangssignale gebildet und analog oder digital angezeigt bzw. aufgezeichnet wird.5. Measuring arrangement according to claim I to 4, characterized in that the outputs of the amplifier (19 and 20) are led to a dividing unit (21) in which the quotient of the two output signals is formed and displayed or recorded in analog or digital form.

6. Meßanordnung nach Anspruch ' bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß der quasimonochromatische Lichtstrahl (2) über einen biegsamen Lichtleiter (8) zu der Eingangsöffnung (12) der Meßkugel (9) gelangt.6. Measuring arrangement according to claim 'to 5, characterized in that the quasi-monochromatic Light beam (2) via a flexible light guide (8) to the inlet opening (12) of the measuring ball (9) got.

Photodetektoren sind photoelektronische Bauelemente, Nach DIN-Norm 44020, Blatt 1, ist ein photoelektronisches Bauelement ein elektronisches Bauelement, bei dem sich elektrische Größen bei der Bestrahlung mit Photonen ändern. Die üblichen Photodetektoren sind in dem genannten Normblatt aufgeführt und kurz erläutertPhoto detectors are photoelectronic components, according to DIN standard 44020, sheet 1, is a photoelectronic component an electronic component, in which electrical quantities are at the Change exposure to photons. The usual photodetectors are in the standard sheet mentioned listed and briefly explained

Eine der wichtigsten Größen jedes Photodetektors ist die Empfindlichkeit. Sie ist definiert als der-Quotient aus der Ausgangsgröße (z. B. der Photostrom) und der Eingangsgröße (z. B. die Strahlungsleitung). In diesem Fall wird die Empfindlichkeit in A/W ausgedrückt. Die Angabe einer Empfindlichkeit ist jedoch nur dann eindeutig, wenn die Wellenlänge der Strahlung, bei der die Empfindlichkeit gemessen worden ist, mit angegeben wird.One of the most important parameters of any photodetector is its sensitivity. It is defined as the quotient of the output variable (e.g. the photocurrent) and the input variable (e.g. the radiation conduction). In this case, the sensitivity is expressed in A / W. However, the indication of a sensitivity is only unambiguous if the wavelength of the radiation at which the sensitivity was measured is also stated.

Die Abhängigkeit der Empfindlichkeit eines Photodetektors von der Wellenlänge wird spektrale Empfindlichkeit genannt. Es wird zwischen absoluter und relativer spektraler Empfindlichkeit unterschieden. Die absolute spektrale Empfindlichkeit 5 (A) ist nach DIN-Norm 44020, Blau !, bei der Wellenlänge A im infinitesimalen Wellenlängenbereich άλ um λ definiert als Quotient aus der Ausgangsgröße (Photostrom /ρ/, (A)) und der strahlungsphysikalischen Eingangsgröße (Strahlungsleistung bzw. Strahlungsfluß Φ (A)):The dependence of the sensitivity of a photodetector on the wavelength is called spectral sensitivity. A distinction is made between absolute and relative spectral sensitivity. The absolute spectral sensitivity 5 (A) is defined according to DIN standard 44020, blue!, At wavelength A in the infinitesimal wavelength range άλ around λ as the quotient of the output variable (photocurrent / ρ /, (A)) and the physical radiation input variable (radiation power or radiation flux Φ (A)):

φ(λ)φ (λ)

Die relative spektrale Empfindlichkeit 5(A)re/ ist definiert als das Verhältnis der absoluten spektralen Empfindlichkeit 5(A) bei der Wellenlänge A zu der absoluten spektralen Empfindlichkeit 5(Ao) bei einer Bezugswellenlänge Ao:The relative spectral sensitivity 5 (A) re / is defined as the ratio of the absolute spectral sensitivity 5 (A) at wavelength A to the absolute spectral sensitivity 5 (Ao) at a reference wavelength Ao:

_ SU) _ SU)

Es wird meistens 5(Ao) = 5(A)maj gewählt, d. h. Ao ist dann die Wellenlänge, bei der die absolute spektrale Empfindlichkeit maximal ist. S(A)re/wird als dimensionslose Zahl oder in Prozenten angegeben. Usually 5 (Ao) = 5 (A) ma j is chosen, ie Ao is then the wavelength at which the absolute spectral sensitivity is maximum. S (A) re / is given as a dimensionless number or as a percentage.

Bei der praktischen Anwendung von Photodetektoren in der lichtmeßtechnischen Praxis wird meistens eine maximale spektrale Empfindlichkeit im interessierenden Strahlungsbereich gefordert. Zum eindeutigen Vergleich der spektralen Empfindlichkeiten verschiedener Photodetektoren müssen deshalb unbedingt die absoluten spektralen Empfindlichkeitskurven bekannt sein.In the practical application of photodetectors in light measurement practice, mostly a maximum spectral sensitivity in the radiation range of interest is required. To be clear Comparison of the spectral sensitivities of different photodetectors must therefore necessarily be the absolute spectral sensitivity curves must be known.

Die Erfindung betrifft eine Meßanordnung zum Bestimmen der spektralen Empfindlichkeit von Photodetektoren nach dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1. Bei einer bekannten Meßanordnung für diesen Zweck wird gemäß der Fig. la ein monochromatischer Lichtstrahl am Ausgang eines Monochromators 1 zuerst auf die aktive Fläche eines Photodetektors 3 mit bekannten spektralen Empfindlichkeitseigenschaften abgebildet, danach auf die Fläche des zu messenden Photodetektors 4. Da dabei die Lichtausbeute der Lichtquelle des Monochromators und auch andere Faktoren zeitabhängig sind, zeigt dieses Nacheinanderverfahren unter Umständen große Meßfehler. Auch aus der Tatsache, daß der monochromatische Lichtstrahl ständig mit seiner gesamten Fläche auf die aktive Fläche des Photodetektors fallen muß, können MeßfehlerThe invention relates to a measuring arrangement for determining the spectral sensitivity of photodetectors according to the preamble of claim 1. In a known measuring arrangement for this purpose a monochromatic light beam at the output of a monochromator 1 is first according to FIG onto the active surface of a photodetector 3 with known spectral sensitivity properties mapped, then on the surface of the photodetector to be measured 4. Since the light output of the This sequential process shows that the light source of the monochromator and also other factors are time-dependent possibly large measurement errors. Also from the fact that the monochromatic light beam must constantly fall with its entire surface on the active surface of the photodetector, measurement errors can

entstehen, insbesondere dann, wenn diese Flächen sich erneblich in ihrer Größe unterscheiden. Da die Intensitätsverteilung im Strahl 2 nicht homogen ist ist folglich die Photodetektorfläche auch nicht gleichmäßig beleuchtet Außerdem ist dieses Verfahren zeitaufwen- s dig, da die Photodetektoren nacheinander untersucht werden müssen.arise, especially when these areas differ significantly in size. Since the If the intensity distribution in beam 2 is not homogeneous, the photodetector surface is also not uniform illuminated In addition, this process is time-consuming as the photodetectors are examined one after the other Need to become.

Eine andere bekannte Meßanordnung (Zweistrahlmeßmethode) zeigt Fig. Ib. Hier wird der quasimonochromatische Strahl 2 durch einen Strahlungsteiler 5 ι ο halbiert Die zwei Teilstrahlen 2a und 26 beleuchten jeweils den Standarddetektor 3 und den zu messenden Photodetektor 4. Da aber auch hier die Strahlfokussierung auf die aktiven Photodetektorflächen, insbesondere bei Detektorwechse! schwierig ist bzw. nur ein π Photodetektor mit dem Standarddetektor gleichzeitig gemessen werden kann, gelten die vorher genannten Nachteile auch hier.Another known measuring arrangement (two-beam measuring method) is shown in Fig. Ib. This is where the quasi-monochromatic Beam 2 halved by a beam splitter 5 ι ο The two partial beams 2a and 26 illuminate in each case the standard detector 3 and the photodetector to be measured 4. But here, too, the beam focusing on the active photodetector surfaces, especially when changing detectors! is difficult or only a π Photodetector can be measured simultaneously with the standard detector, the aforementioned apply Disadvantages here too.

Die Erfindung geht aus von der zuletzt angegebenen Meßanordnung. Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Meßanordnung der im Oberbegriff des Patentanspruchs 1 genannten Art anzugeben, welche die gleichzeitige Bestimmung der soektrale^ Empfindlichkeit mehrerer Photodetektoren in Bezug auf einen Standard-Photodetektor erlaubt wobei alle aktiven Photodetektorflächen vollständig und gleichmäßig beleuchtet werden.The invention is based on the last-mentioned measuring arrangement. The invention has the task based on specifying a measuring arrangement of the type mentioned in the preamble of claim 1, which the simultaneous determination of the social ^ sensitivity multiple photodetectors in relation to a standard photodetector allowed with all active Photodetector surfaces are completely and evenly illuminated.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch die kennzeichnenden Merkmale des Patentanspruchs 1 gelöst Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung sind w in den Unteransprüchen angegeben.According to the invention, this object is achieved by the characterizing features of claim 1 solved Advantageous further developments of the invention are specified in the subclaims.

Durch die Anwendung einer photometrischen Meßkugel als Lichtverteiler, als optischen Integrator und als Instrument zur Erzeugung der diffusen Beleuchtung wird das bei den bekannten Meßanordnungen schwieri- j> ge Problem der exakten Abbildung des Meßstrahles auf die aktiven Flächen aller Photodetektoren mit einfachen Mitteln gelöst.By using a photometric measuring ball as a light distributor, as an optical integrator and as The instrument for generating diffuse illumination is difficult with the known measuring arrangements ge problem of the exact mapping of the measuring beam on the active surfaces of all photodetectors with simple Funds resolved.

Eine größere Räche mittels einer photometrischen Meßkugel, die einen quasi ideal diffus reflektierenden weißen Inrmbelag besitzt, gleichmäßig zu beleuchten, ist bereits aus »Grimsehl's Lehrbuch der Physik«, Band II, Teil I18. Auflage (1938), Seite 602 bis 604 bekannt. Die dort beschriebene Meßanordnung benutzt eine Ulbricht'sche Kugel und dient zur Ermittlung der « Gesamtlichtausbeute einer Lichtquelle. Im folgenden ist ein Ausführungsbeispiel der Erfindung anhand der Zeichnungen beschrieben. Es zeigenEvenly illuminating a larger area by means of a photometric measuring ball, which has a quasi-ideally diffusely reflective white in-arm coating, is already known from "Grimsehl's Textbook of Physics", Volume II, Part I 1 8th Edition (1938), pages 602 to 604 . The measuring arrangement described there uses an integrating sphere and serves to determine the total light yield of a light source. In the following an embodiment of the invention is described with reference to the drawings. Show it

Fig. la und Ib bekannte, in der Beschreibungseinleitung erwähnte Meßanordnungen, F i g. Ic eine erfindungagemäße Meßanordnung,Fig. La and Ib known, in the introduction to the description mentioned measuring arrangements, F i g. Ic a measuring arrangement according to the invention,

F i g. 2 die photometrische Meßkugel gemäß der Fig. Ic in größerem Maßstab mit den Verstärkern und der Dividiereinrichtung,F i g. 2 the photometric measuring ball according to FIG. Ic on a larger scale with the amplifiers and the dividing device,

Fig.3 ein Diagramm mit Kurven der spektralen Empfindlichkeit verschiedener Photodioden.3 shows a diagram with curves of the spectral Sensitivity of different photodiodes.

Bei der Meßanordnung gemäß der Fig. Ic wird der aus dem Monochromator 1 austretende Lichtstrahl 2 durch einen Chopper 6 pulsmoduliert. Dadurch wird die Messung unempfindlich gegen Störlicht Der modulierte Lichtstrahl wird mittels einer Fokussieroptik 7 in einen flexiblen Lichtleiter eingeführt, der mit seinem anderen Ende an einer Photometerkugel 9 befestigt ist. Das Licht fällt durch eine Eintrittsöffnung 12 in die Kugel ein und beleuchtet die Kugelwand im Wandbereich 13. Die f.5 Kugel ist an ihrer Innenwand mit einem weißen, aselektiv diffus reflektierenden Belag 10 beschichtet. Bei ideal diffuser Reflexicr, herrscht dann an beliebiger Stelle der Kugelwand (mit Ausnahme des bestrahlten Kugelwandbereiches 13), also auch an weiteren Wandöffnungen 11 die gleiche Bestrahlungsstärke, wenn diebe öffnungen gleich groß sind. Die Anzahl der Wandöffnungen 11 kann der jeweiligen Anwendung angepaßt sein und z. B. zwischen 2 und 100 betragen. An eine der Wandöffnungen 11 wird der Standarddetektor befestigt an den weiteren Wandöffnungen 11 die jeweiligen, zu untersuchenden Photodetektoren (Prüflinge), die bezüglich ihrer Art (Ge-, Si-Dioden, Photomultiplier usw.) und Größe ihrer aktiven Fläche unterschiedlich sein können. Die Größe der Wandöffnungen 11 kann auch den jeweiligen Flächen des Photodetektors angepaßt sein. Auf Grund der Biegsamkeit des Lichtleiters 8 ist die photometrische Meßkugel 9 beweglich, was das Anbringen der Photodetektoren erleichtertIn the measuring arrangement according to FIG The light beam 2 emerging from the monochromator 1 is pulse-modulated by a chopper 6. This will make the Measurement insensitive to interfering light The modulated light beam is converted into one by means of focusing optics 7 flexible light guide introduced, which is attached at its other end to a photometer ball 9. The light falls through an inlet opening 12 into the sphere and illuminates the sphere wall in the wall area 13. The f.5 The ball is coated on its inner wall with a white, aselectively diffuse reflective coating 10. at ideally diffuse reflexicr, then prevails at any Place of the spherical wall (with the exception of the irradiated spherical wall area 13), i.e. also at other Wall openings 11 have the same irradiance if the openings are the same size. The number of Wall openings 11 can be adapted to the respective application and z. B. be between 2 and 100. At One of the wall openings 11 is attached to the standard detector on the other wall openings 11 the respective photodetectors to be examined (test items), which are related to their type (Ge, Si diodes, Photomultiplier etc.) and size of their active area can be different. The size of the wall openings 11 can also be adapted to the respective areas of the photodetector. Because of its flexibility of the light guide 8, the photometric measuring ball 9 is movable, what the attachment of the photodetectors relieved

Die in der F i g. 2 dargestellte photometrische Meßkugel weist 6 Wandöffnungen mit angesetzten Photodetektoren 3 und 4.1 bis 4S auf. Der Ausgang des Standarddetektors 3 ist unmittelbar mit einem Verstärker 19 verbunden.The in the F i g. The photometric measuring ball shown in FIG. 2 has 6 wall openings with attached photodetectors 3 and 4.1 to 4 S. The output of the standard detector 3 is directly connected to an amplifier 19.

Die Ausgänge der Prüflinge 4.1 bis 4.5 können über einen Schalter 18 wahlweise bzw. nacheinander mit einem weiteren Verstärker 20 verbunden werden. Bei den Verstärkern 19 und 20 handelt es sich um selektive Verstärker, die nur die mit Chopper 6 modulierten Photodetektorsignale verstärken. Das dazu benötigte Referenzsignal 22 wird den Verstärkern vom Chopper 6 geliefert Ein etwa ourch irgendeine Öffnung in die Meßkugel 9 fallendes Fremdlicht kann infolge dieser Maßnahme die Meßergebnisse nicht verfälschen.The outputs of the test items 4.1 to 4.5 can be via a switch 18 can be optionally or successively connected to a further amplifier 20. at the amplifiers 19 and 20 are selective amplifiers that only modulate those with chopper 6 Amplify photodetector signals. The reference signal 22 required for this is sent to the amplifiers from the chopper 6 Any extraneous light falling through any opening in the measuring ball 9 can as a result of this Measure not to falsify the measurement results.

In einer einfacheren und billigeren Anordnung kann auf die Lichtmodulation verzichtet werden. Dann entfällt der Chopper 6. Die Verstärker 19 und 20 werden als Gleichspannungsverstärker ausgeführt Es muß jedoch darauf geachtet werden, daß nun kein Fremdbzw. Störiicht in die Meßkugel 9 gelangen kann. Auch auf den biegsamen Lichtleiter kann zur Vereinfachung verzichtet werden. Der Lichtstrahl 2 wird dann auf fest vorgegebenen Wegen in die Meßkugel 9 geleitet. Dann ist aber dieser starr mit dem Monochromator verbunden, was das Anbringen bzw. ein schnelles Wechseln von Photodetektoren erschweren kann.In a simpler and cheaper arrangement, the light modulation can be dispensed with. then the chopper 6 is omitted. The amplifiers 19 and 20 are designed as DC voltage amplifiers. It must however, care must be taken that no foreign or Störiicht can get into the measuring ball 9. Even the flexible light guide can be dispensed with for the sake of simplicity. The light beam 2 then becomes solid predefined paths passed into the measuring ball 9. But then this is rigid with the monochromator connected, which can make it difficult to attach or quickly change photodetectors.

Das Verhältnis Vx (X) beider Signale am Ausgang der Verstärker 19 und 20 wird in einer D-vidiereinheit 21 gebildet und analog oder digital angezeigt:The ratio V x (X) of the two signals at the output of the amplifiers 19 and 20 is formed in a D-video unit 21 and displayed in analog or digital form:

yM) = -Jl y M) = -Jl

S(X)x S (X) x

χ = \ ... η; η ... Anzahl der gemessenen
Photodetektoren.
χ = \ ... η; η ... number of measured
Photodetectors.

Da S(X)standard als bekannt vorausgesetzt ist, ist damit die spektrale Empfindlichkeit der zu messenden Photodetektoren durch folgende Umrechnung bestimmt: Since S (X) standard is assumed to be known, the spectral sensitivity of the photodetectors to be measured is determined by the following conversion:

S(X)x = S (X) x =

■ SU)S ■ SU) S

Gleichung (4) gilt nur dann, wenn alle Wandöffnungen 11 einen kleineren durchmesser als die aktiven Flächen der photodetektoren haben, bzw. wenn alle aktiven Flächen gleich groß sind (as = a,). Equation (4) only applies if all wall openings 11 have a smaller diameter than the active areas of the photodetectors, or if all active areas are the same size (a s = a,).

Wenn diese Randbedingungen nicht erfüllt sind, gilt statt Gl. (4) die Gl. (5):If these boundary conditions are not met, the following applies instead of Eq. (4) Eq. (5):

(5)(5)

a, ... aktive Fläche des Standarddetektors, «v ... aktive Flächen der gemessenen Photodetektoren. a, ... active area of the standard detector, «v ... active areas of the measured photodetectors.

Diese Ergebnisse können entweder direkt abgelesen bzw. gedruckt an einem Λ- V·Schreiber in Abhängigkeit von λ dargestellt werden oder einer Recheneinheit übergeben werden. These results can either be read off directly or displayed on a Λ- V · recorder as a function of λ, or they can be transferred to an arithmetic unit.

Die Wellenlänge Ä. an der S(A)1 gemessen wird, kann durch den Monochromator so eingestellt werden, daß der gesamte Empfindlichkeitsbercich des Detektors in J/.-Abständen (z.B. <J/.= IOnm) untersucht werden kann. Bei Si-Photodioden erstreckt sich dieser Bereich von 290 nm bis llOOnm, bei Ge-Photodioden von 300 ηm bis 1800 nm, bei Se-Photodetektoren zwischen 300 ηm und 700nm. In der Fig.3 sind Kurven der spektralen Empfindlichkeit für verschiedene Arten von Photodioden beispielsweise dargestellt. The wavelength Ä. at which S (A) 1 is measured, can be adjusted by the monochromator so that the entire sensitivity range of the detector can be examined in J /. intervals (e.g. <J /. = 10 nm). In the case of Si photodiodes, this range extends from 290 nm to 100 nm, in the case of Ge photodiodes from 300 μm to 1800 nm, in the case of Se photodetectors between 300 μm and 700 nm. 3 shows curves of the spectral sensitivity for different types of photodiodes, for example.

Es muß darauf hingewiesen werden, daß die Gesamtfläche aller Meßkugelöffnungen etwa 4% der Meßkugelinnenfläche nicht überschreiten soll, damit die optische Integration gewährleistet bleibt. Bei einer Meßkugel mit einem Innendurchmesser von D=80 mm bedeutet dies, daß maximal 10 öffnungen mit je einem Durchmesser von 10 mm angebracht werden dürfen. Bei einem Kugeldurchmesser von 250 mm können etwa 100 Offnungen der gleichen Größe angebracht werden, d. h. in diesem Falle können z. B. etwa 100 Photodetektoren mit je einer aktiven Fläche von 0.78 cm2 gleichzeitig durchgemessen werden. It must be pointed out that the total area of all measuring ball openings should not exceed about 4% of the inner area of the measuring ball, so that the optical integration is guaranteed. In the case of a measuring ball with an inside diameter of D = 80 mm , this means that a maximum of 10 openings, each with a diameter of 10 mm, may be made. With a ball diameter of 250 mm, about 100 openings of the same size can be made. B. about 100 photodetectors with an active area of 0.78 cm 2 each can be measured simultaneously.

HI;illHI; ill

Claims (1)

1010 2020th 3030th Patentansprüche;Claims; J, Meßanordnung zum Bestimmen der spektralen Empfindlichkeit von Photodetektoren, bestehend aus einer Lichtquelle zur Erzeugung eines quasimonochromatischen Lichtstrahls einstellbarer Wellenlänge und aus einem Lichtverteiler, der das quasimonochromatische Licht gleichmäßig und diffus auf mindestens einen der zu untersuchenden Pbotodetektoren (Prüflinge) und auf einen Photodetektor mit bekannter spektraler Empfindlichkeit (Standarddetektor) zu leiten gestattet, gekennzeichnetdurch die Kombination der folgenden Merkmale:J, measuring arrangement for determining the spectral sensitivity of photodetectors, consisting from a light source to generate a quasi-monochromatic light beam of adjustable wavelength and from a light distributor that distributes the quasi-monochromatic light evenly and diffuse on at least one of the Pbotodetectors to be examined (test items) and on a photodetector with known spectral sensitivity (standard detector) allowed to conduct, characterized by the combination of the following features:
DE2904984A 1979-02-09 1979-02-09 Measuring arrangement for determining the spectral sensitivity of photodetectors Expired DE2904984C3 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE2904984A DE2904984C3 (en) 1979-02-09 1979-02-09 Measuring arrangement for determining the spectral sensitivity of photodetectors

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE2904984A DE2904984C3 (en) 1979-02-09 1979-02-09 Measuring arrangement for determining the spectral sensitivity of photodetectors

Publications (3)

Publication Number Publication Date
DE2904984A1 DE2904984A1 (en) 1980-08-14
DE2904984B2 DE2904984B2 (en) 1981-10-01
DE2904984C3 true DE2904984C3 (en) 1982-05-13

Family

ID=6062584

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE2904984A Expired DE2904984C3 (en) 1979-02-09 1979-02-09 Measuring arrangement for determining the spectral sensitivity of photodetectors

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE2904984C3 (en)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19636229B4 (en) * 1996-08-27 2005-11-03 Forschungsverbund Berlin E.V. Method and device for determining degradation processes in semiconductor lasers
DE19648659B4 (en) * 1996-08-27 2007-04-26 Forschungsverbund Berlin E.V. Method for determining degradation processes in semiconductor lasers
DE10240083A1 (en) 2002-08-30 2004-03-11 Austriamicrosystems Ag Method of calibrating a photodiode, semiconductor chip and operating method

Also Published As

Publication number Publication date
DE2904984B2 (en) 1981-10-01
DE2904984A1 (en) 1980-08-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE3034544C2 (en)
DE2902776C2 (en)
DE2739585C2 (en) spectrophotometer
DE3726524C2 (en)
EP0683384B1 (en) Apparatus for measuring the colour valve of a luminous flux
DE4434168A1 (en) Device and method for measuring and evaluating spectral radiation and in particular for measuring and evaluating color properties
DE2638398A1 (en) PROCEDURE FOR CALIBRATING SPECTRAL PHOTOMETERS
DE10008517C2 (en) Optical measuring system
DE2049716B2 (en) Method and device for measuring absorption in blood
EP0458223A2 (en) Apparatus for measuring the absorption of transparent probes having an unfavourable form
DE19950588B4 (en) Apparatus and method for quality control of especially painted surfaces
EP0174496B1 (en) Procedure for measuring the radiation wavelength and the wavelength-corrected radiation power of monochromatical light-sources and arrangement for carrying out this procedure
CH618266A5 (en) Spectrophotometer.
DE1472081B1 (en) Arrangement for comparative spectral, especially flame photometric analysis
DE2757196C3 (en) Photometric arrangement
CH621869A5 (en)
CH682846A5 (en) Optical detector for capillary chromatography.
DE2904984C3 (en) Measuring arrangement for determining the spectral sensitivity of photodetectors
DE2738564C3 (en) Spectrophotometer for measuring the light transmittance of a sample in the visible spectral range
DD208670A1 (en) DEVICE FOR QUICKLY MEASURING THE GLOSS OF ANY SURFACE
DE102005024271A1 (en) Grating spectrometer system and method for measured value acquisition
DE3844651C2 (en)
DD203632A1 (en) FAST METHOD AND DEVICE FOR PHOTOMETRIC BLOOD TESTING
DE3030210C2 (en)
DE3631032A1 (en) Spectrometer, method for calibrating a spectrometer and method for measuring the remission spectrum of an object under analysis by means of a spectrometer

Legal Events

Date Code Title Description
OAP Request for examination filed
OD Request for examination
C3 Grant after two publication steps (3rd publication)
8339 Ceased/non-payment of the annual fee