DE2739711C3

DE2739711C3 - Process for the production of a channel structure for X-ray photocathodes

Info

Publication number: DE2739711C3
Application number: DE19772739711
Authority: DE
Inventors: Dipl.-Phys. Rudolf 8520 Erlangen Bäuerlein
Original assignee: Siemens AG
Current assignee: Siemens AG
Priority date: 1977-09-02
Filing date: 1977-09-02
Publication date: 1981-03-12
Also published as: DE2739711B2; DE2739711A1

Description

Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zur Herstellung einer Kanalstruktur für Röntgen-Fotokathoden, insbesondere für elektrofluoroskoptsche und elektroradiographische Geräte, bei dem zunächst ein zusammenhängender Körper, der aus dem für die Kanalstruktur vorgesehenen Material und darin eingelagerten Drähten besteht, hergestellt wird und anschließend dieser Körper senkrecht zur Richtung der Drähte zu mindestens einem Vorprodukt zerteilt wird und schließlich die in dem Vorprodukt vorhandenen Drähte aus diesem herausgelöst werden.The invention relates to a method for producing a channel structure for X-ray photocathodes, especially for electrofluoroscopic and Electroradiographic devices, in which initially a coherent body, which consists of the for the Channel structure provided material and embedded therein wires is made and then this body is divided perpendicular to the direction of the wires to at least one intermediate product and finally the wires present in the preliminary product are detached from it.

Auf dem Gebiet der medizinischen Technik ist man bestrebt, den in der Diagnostik allgemein noch verwendeten Röntgenfilm durch ein kostengünstigeres und rohstoffschonenderes Aufnahmeverfahren zu ersetzen. Dieses Verfahren muß dabei dem bereits sehr empfindlichen Verfahren mit Röntgenfilmen und Verstärkerfolien vergleichbar sein, da dem Patienten keine höhere Strahlungsdosis als die der bekmnten Geräte zugemutet werden sohlte.Efforts are being made in the field of medical technology, as well as those in diagnostics in general to replace the X-ray film used by a more cost-effective and resource-saving recording method. This procedure has to be compared to the already very sensitive procedure with X-ray films and intensifying screens be comparable, since the radiation dose to the patient is not higher than that of the known devices should be expected.

Ein Verfahren, das diese Forderungen erfüllen kann, ist die sogenann;e Niederdruck-Ionographie (Phys. Med. Biol. 18 (1973). Seiten 695 bis 703). Bei diesem Verfahren wird der äußere Röntgen-Fotoeffekt einer Festkörper-Fotokathode zur Erzeugung von elektrischen Ladungsträgern ausgenutzt Die emittierten Fotoelektronen werden anschließend im Gasraum einer entsprechenden Kammer mittels einer Townsend-Entladung so stark vervielfacht, daß ein entwickelbares elektrostatisches Bild auf einer Papier- oder Kunststofffolie entsteht. Die entsprechende Verfahrenstechnik wird als Elektroradiograpbie bezeid.iet. Wenn anstelle dieser Folien zum Sammeln der Ladungen ein Elektrolumineszenz-l.euchtschirm verwendet wird, ist es mit diesem Verfahren auch möglich. Bildfolgen, d. h. bewegte Bilder, darzustellen. Die entsprechende Verfahrenstechnik wird als Elektrofluoroskopie bezeichnet. Ein bekanntes Λ isführungsbeispiel hierfür ist der Röntgen-Bildverstarker. In einem solchen Verstärker wird die bei der Absorption der Röntgenstrahlung in einem geeigneten Kristall erzeugte, sichtbare l.umincs zcn/strahlung auf eine Fotokathode gegeben und die dort ausgelösten Fotoelektronen zur Bilderzeugung verwendet. Für den sichtbaren Wcllenlängenbereich werden im allgemeinen C'acsium-Fotokathodcn ver wendet, die aufgrund ihrer Sauerstoffcmpfindlichkeit nur im Hochvakuum betrieben werden könnenOne method that can meet these requirements is so-called low-pressure ionography (Phys. Med. Biol. 18 (1973). Pages 695 to 703). With this one Process uses the external X-ray photo-effect of a solid-state photocathode to generate electrical Charge carriers exploited The emitted photoelectrons are then in the gas space of a corresponding chamber is multiplied so much by means of a Townsend discharge that a developable electrostatic image is created on a paper or plastic film. The corresponding process engineering will bezeid.iet as Elektroradiograpbie. If instead An electroluminescent fluorescent screen is used on these foils to collect the charges it is also possible with this procedure. Image sequences, d. H. to display moving images. The corresponding process engineering is known as electrofluoroscopy. A well-known example of this is the X-ray image intensifier. In such an amplifier, the absorption of the X-rays in Visible l.umincs produced by a suitable crystal zcn / radiation given on a photocathode and the Photoelectrons released there are used for image generation. For the visible toilet length range C'acsium-Fotokathodcn are generally used ver, because of their oxygen sensitivity can only be operated in a high vacuum

Solche Geräte sind im Aufbau wesentlich vereinfacht, wenn man den durch die Röntgenstrahlung in einem Körper ausgelösten Fotoeffekt direkt, d. h. ohne den Umweg über das l.iimines/enzlicht, ausnutzen kann. F.bcne Schichten besitzen jedoch im Röntgcngebiet nur eine Quantenausbeute von einigen Promille Unter der Quantenausbeute ist dabei die Zahl der emittierten Fotoelektronen pro einfallendes Röntgcnquant zu verstehen. Mit einer Quanlenausbeuie in dieser Größenordnung lassen sich aber die an die Empfindlichkeit und das Auflösungsvermögen gestellten Anforderungen der medizinischen Technik nicht erfüllen. Es sind deshalb Folokathodcn entwickelt worden, deren Quan-Such devices are significantly simplified in structure, if one directly, d. H. without the Detour via the l.iimines / enzlicht. In the X-ray region, however, only thin layers have a quantum yield of a few per thousand. Below the quantum yield is the number of emitted To understand photoelectrons per incident X-ray quantum. With a Quanlenausbeuie in this However, the requirements placed on the sensitivity and the resolving power can be in the order of magnitude of medical technology do not meet. Folocathodes have therefore been developed whose quantum

tenausbeute dadurch erhöht ist, daß ihre effektive Oberfläche vergrößert wurde. Das Elektronenemissionsvermögen einer solchen Kathode nimmt nämlich proportional mit der vergrößerten Oberfläche zu, solange eine Schwächung der Röntgenstrahlung in diesen Strukturen noch von untergeordneter Bedeutung ist Eine entsprechende Fotokathode ist aus der Zeitschrift »Philips technische Rundschau, Nr. 8/9/10 (1969/70), Seiten 259 bis 263, bekannt Diese Fotokathode enthält eine sogenannte Vielkanalplatte aus einem Glas. Diese Platte ist beispielsweise auf einer Fläche von 1600 mm² mit 64 · 10⁴ Kanälen mit jeweils einem Durchmesser von etwa 40μτη versehen. Zur Herstellung einer solchen Vielkanalplatte kann von einem Glasrohr ausgegangen werden, in das ein fester Kern aus einem Metalldraht eingebracht ist. Dieses Rohr wird dann in einem Ofen erhitzt und soweit heruntergezogen, bis es den Metalldraht fest umschließt und die Wanddicke bis zu einem vorbestimmten Wert abgenommen hat Das so erhaltene, erhitzte Rohr wird, solange es noch plastisch verformbar ist, direkt auf eine Trommel gewickelt, wobei sich die nebeneinarnierhegenden Windungen berühren müssen. Diese so entstandene Wicklung wird dann nach Abkühlung in mehrere Teile zerschnitten, die zu einem rechteckigen Block zusammengefügt werden. Dieser Bleck wird dann bei hoher Temperatur und unter hohem Druck so zusammengepreßt, daß die Röhrchen an ihren Berührungsstellen miteinander verschmelzen. Anschließend wird der so hergestellte Körper in dünne Scheiben geschnitten, welche jeweils ein Vorprodukt mit den Maßen der gewünschten Kanalplatten darstellen. Zuletzt wird aus diesem Vorprodukt das in jedem seiner aneinandergefügten Röhrchen vorhandene Metall auf chemischem oder elektrolytischem Wege wieder entfernt. Dieses Herstellungsverfahren ist jedoch insbesondere aufgrund des erforderlichen Ziehschrittes verhältnismäßig aufwendig und auf bestimmte Glassorten beschränktten yield is increased by the fact that its effective surface has been increased. The electron emitting capacity of such a cathode increases proportionally with the enlarged surface, as long as a weakening of the X-rays in these structures is still of minor importance ), Pages 259 to 263, known This photocathode contains a so-called multi-channel plate made of a glass. This plate is provided, for example, on an area of 1600 mm ² with 64 · 10 ⁴ channels, each with a diameter of approximately 40 μm. To produce such a multi-channel plate, a glass tube into which a solid core made of a metal wire is inserted can be assumed. This tube is then heated in an oven and pulled down until it tightly encloses the metal wire and the wall thickness has decreased to a predetermined value the adjacent coils must touch. The resulting winding is then cut into several parts after cooling, which are then put together to form a rectangular block. This sheet is then compressed at high temperature and under high pressure so that the tubes fuse with one another at their points of contact. The body produced in this way is then cut into thin slices, each of which represents a preliminary product with the dimensions of the desired channel plates. Finally, the metal present in each of its joined tubes is removed again from this preliminary product chemically or electrolytically. However, this manufacturing process is relatively complex and limited to certain types of glass, in particular because of the drawing step required

Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es deshalb, dieses bekannte Verfahren zur Herstellung einer Kanalstruktur für Fotokathoden zu vereinfachen.The object of the present invention is therefore to provide this known method for producing a Simplify channel structure for photocathodes.

Diese Aufgabe wird für ein Verfahren der eingangs genannten Art erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß zur Herstellung des zusammenhängenden Korpers ein Drahtbündel mit untereinander geringfügig, jedoch definiert bejbstandeten Drähten in eine Schmelze aus dem Material der Kanalstruktur eingebracht, mit dem Material der Schmelze getränkt, aus der Schmelze entnommen und langsam abgekühlt wird.This object is achieved according to the invention for a method of the type mentioned in that for Manufacture of the coherent body a bundle of wires with each other slightly, however defines spaced wires in a melt introduced into the material of the channel structure, impregnated with the material of the melt, from the melt is removed and slowly cooled.

Die Vorteile dieses Verfahrens bestehen insbesondere darin, daß der zusammenhängende Körper mit einzelnen n, dem Material der Kanalstruktur eingelagerten Drähten verhältnismäßig leicht und entspre chend kostengünstig herzustellen ist. we'l ein Ziehen von einzelnen Rohren unter Erhitzung und eine sich daran anschließende Bündelung und ein Zusammcnfu gen dieser Rohre zu einem zusammenhängenden Körper vermieden werden kann.The advantages of this method exist in particular in that the coherent body with individual n, the material of the channel structure embedded Wires are relatively easy and inexpensive to manufacture accordingly. we'l have a drag of individual tubes under heating and a subsequent bundling and amalgamation gen these pipes to a coherent body can be avoided.

Zweckmäßig können die Drähte des in die Schmelze einzubringenden Drahtbundels auf eine Wickelform unter Zug aufgewickelt werden und nach dem Wickeln der so entstandene Drahtwickel entspannt werden. Es bilden sich so zwischen den einzelnen Drähten die erforderlichen geringen Abstände aus, die sich dann mit dem flüssigen Material der Schmelze ausfüllen können.The wires of the can expediently in the melt Wire bundles to be introduced are wound onto a winding form under tension and after winding the wire coil created in this way can be relaxed. This is how the required small distances, which can then be filled with the liquid material of the melt.

Ferner wird vorteilhaft das Drahtbündel in eine Schmelze eingebracht, S.s ein Material hoher Ord-Furthermore, the wire bundle is advantageously introduced into a melt, Ss a material of high order

nungszahl enthält. Durch die Verwendung einer solchen Schmelze kann eine verhältnismäßig starke Absorption von Röntgenstrahlung und somit eine entsprechend hohe Quantenausbeute erreicht werden. Die Quantenausbeute, d. h. die Zahl der von einem Röntgenquant erzeugten Fotoelektronen, ist nämlich im wesentlichen das Produkt aus dem Fotoabsorptionskoeffizienten und der Elektronenreichweite in dem absorbierenden Material und hängt von der Energie der Strahlung und der Ordnungszahl des Kathodenmaterials ab. Als Material hoher Ordnungszahl kann beispielsweise Bleiglas mit einem hohen Bleigehalt oder Uranglas vorgesehen werden. Eine entsprechende Fotokathode ist deshalb insbesondere für Apparate der medizinisehen Röntgen-Diagnostik geeignet.contains number. The use of such a melt enables a relatively strong absorption of X-rays and thus a correspondingly high quantum yield can be achieved. The quantum yield d. H. namely, the number of photoelectrons generated by an X-ray quantum is essentially the product of the photo absorption coefficient and the electron range in the absorbing one Material and depends on the energy of the radiation and the atomic number of the cathode material. as Material with a high atomic number can for example be lead glass with a high lead content or uranium glass are provided. A corresponding photocathode is therefore particularly useful for medical devices Suitable for X-ray diagnostics.

Zur weiteren Erläuterung der Erfindung und deren in den Unteransprüchen gekennzeichneten Weiterbildungen wird auf die Zeichnung Bezug genommen, in deren F i g. 1 bis 3 einzelne Verfahrensschritte zur Herstellung einer Vielk:',nalstruktur für Fotokathoden angedeutet sind. F i g. 4 zei^t einen Teil einer na '; dem Verfahren gemäß der Erfindung hergestellten Vielkaralstruktur.To further explain the invention and its further developments characterized in the subclaims reference is made to the drawing in which FIG. 1 to 3 individual process steps for production a variety of ', nal structure for photocathodes indicated are. F i g. 4 zei ^ t part of a na '; the procedure multi-caral structure produced according to the invention.

Eine gemäß dem Verfahren nach der Erfindung herzustellende Kanalstruktur soll eine Vielkanalplatte für eine Röntgen-Fotokathode sein, die hinreienena feine Krnäle und dünne Stege hat. Die Platte wird vorteilhaft aus einem Materia! mit einer hohen Ordnungszahl, beispiel .weise aus Bleiglas mit einem hohen Bleigehalt herge« teilt. Hierzu kann eine Vorrichtung verwendet werden, die in F i g. 1 a's Längsschnitt schematisch veranschaulicht ist. Diese Vorrichtung enthält eine langgestreckte, ebene Wickelform 2 mit zwei geraden Längsseiten 3 und 4 und zwei Wickelköpfen 5 und 6. Die Wickelform besteht aus einem entsprechend geformten, zentralen Wickelkern 7, der an seinen Flachseiten zwischen zwei parallelen Deckplatten eingespannt ist. Da die Schnittebene der Figur parallel zu diesen Platten durch diesen Wickelkern gelegt ist, kann nur eine Deckplatte 8 ersehen wenden. In den von den beiden Deckplatten und dem Wickelkern 7 begrenzten Wickelraum wird zunächst ein Drahiwikkel ^c aus dünnem Draht gewickelt, dessen Durchmesser dem Durchmesser der Kanäle der herzustellenden Platte entspricht und der unter einem vorbestimmten Zug um den Wickelkern 7 gelegt wird. Nach der Bewicklung der Wickelform 2 wird der auf ihr aufgebrachte Wickel dadurch entspannt, daß er an einem der Wickelköpfe 5, 6 senkrecht zur Richtung der Drahte aufgeschnitten wird. Die entsprechende Schnitt ebene an dem Wickelkopf 5 ist in der Figur durch eine gestrichelte Linie 10 angedeutet. Gegebenenfalls kann auch an dem gegenüberliegenden Wickelkopf 6 ein entsprechender Schnitt vorgenommen werden Aiii grund dieses Schnittes zieht sich dann die Wicklung geringfügig zusammen, d. h. an der Schnittlinie 10 entsteht ein Spalt 11. Auf diese Weise kennen sich zwischen den einzelnen Drähten des Wickels 4 geringe Zwischenräume bilden. Anschließend wird die Wickel form? mit dem auf ihr aufgebrachten, aufgeschnittenen Wickel 9 in einen rr < einer heißen Schmelze 12 aus dom Bleiglas gefüllten Trog 13 eingebracht. In dieser Schmelze tränkt sich der Drahtwickel 9 mit dem flüssigen Bleiglas, wobei die zwischen den einzelnen Drähten des Drahtwickels ausgebildeten Hohlräume aufgrund der geringen Viskosität der Schmelze vollständig ausgefüllt werden. Anschließend wird der getränkte Wickel mit der Wickelform aus der Schmelze herausgenommen und so langsam abgekühlt, daßA channel structure to be produced according to the method according to the invention is intended to be a multi-channel plate for an X-ray photocathode which has fine channels and thin webs. The plate is advantageously made of a materia! with a high atomic number, for example from lead glass with a high lead content. For this purpose, a device can be used which is shown in FIG. 1 a's longitudinal section is illustrated schematically. This device contains an elongated, flat winding form 2 with two straight longitudinal sides 3 and 4 and two winding heads 5 and 6. The winding form consists of a correspondingly shaped, central winding core 7, which is clamped on its flat sides between two parallel cover plates. Since the sectional plane of the figure is laid parallel to these plates through this winding core, only one cover plate 8 can be seen. In the winding space delimited by the two cover plates and the winding core 7, a wire winding ^c made of thin wire is first wound, the diameter of which corresponds to the diameter of the channels of the plate to be produced and which is placed around the winding core 7 under a predetermined tension. After the winding form 2 has been wound, the winding applied to it is relaxed in that it is cut open at one of the winding heads 5, 6 perpendicular to the direction of the wires. The corresponding sectional plane at the end winding 5 is indicated in the figure by a dashed line 10. If necessary, a corresponding cut can also be made at the opposite end winding 6. Because of this cut, the winding then contracts slightly, ie a gap 11 arises at the cutting line 10. In this way, small spaces are formed between the individual wires of the winding 4 . Then the winding form? with the cut-open winding 9 applied to it, is introduced into a trough 13 filled with a hot melt 12 made of lead glass. In this melt, the wire coil 9 is saturated with the liquid lead glass, the cavities formed between the individual wires of the wire coil being completely filled due to the low viscosity of the melt. Then the soaked roll with the roll form is removed from the melt and cooled so slowly that

Spannungen und Schrumpfungsunterschiede innerhalb des Wickels weitgehend vermieden werden.Tensions and differences in shrinkage within the coil are largely avoided.

In Fig. 2 ist als Draufsicht ein erstarrter, mit dem Material der Schmelze getränkter Drahtwickel 15 veranschaulicht, der vorsichtig aus der Wickelform gemäß Fig. I entfernt worden ist. Dieser Wickel wird dann in einzelne, plattenförmige Teilstücke 16 bis 18 zerschnitten. Die Schnittebenen, die in der Figur durch gestrichelte Linien 19 bis 22 angedeutet sind, werden dabei zweckmäßig in den geraden Teil 23 oder 24 des Wickels senkrecht zur Drahtrichtung gelegt.In Fig. 2 is a top view of a solidified, with the Material of the melt impregnated wire winding 15 is illustrated, which is carefully removed from the winding form according to Fig. I has been removed. This roll is then divided into individual, plate-shaped sections 16 to 18 cut up. The cutting planes, which are indicated in the figure by dashed lines 19 to 22, are expediently placed in the straight part 23 or 24 of the coil perpendicular to the wire direction.

Lines dieser so erhaltenen Vorprodukte einer Vielkanalplatte ist in F i g. 3 als Draufsicht dargestellt. Das rechteckige Vorprodukt 26 enthält eine Vielzahl von untereinander beabstandeten Drähten 27. /wischen denen das erstarrte Grundmaterial 28 der Vielkanalplatte angeordnet ist. Zur Verdeutlichung sind in der Figur nur einige dieser Drähte vergrößert dargestellt. Das plattenförmige Vorprodukt kann dann gegebenenfalls noch auf die gewünschten Maße der Kanalstruktur 'bgearbeitet, beispielsweise geschliffen, werden. Sollen Iμ -lalstrukturen mit größeren Flächen als denen der t n/elnen Vorprodukte hergestellt werden, so können nehrere dieser Vorprodukte auch aneinandergeschmol /en werden. Das so entstandene, plattenförmige Vorprodukt 26 einer Vielkanalplatte wird dann anschließend in einen Trog 29 mit einer Ätzlösung 30 eingebracht, mit der das Material der Drähte 27 herausgelöst wird.Lines of these preliminary products of a multi-channel plate obtained in this way are shown in FIG. 3 shown as a top view. The rectangular preliminary product 26 contains a multiplicity of mutually spaced wires 27. / between which the solidified base material 28 of the multi-channel plate is arranged. For the sake of clarity, only some of these wires are shown enlarged in the figure. The plate-shaped pre-product can then optionally also be machined, for example ground, to the desired dimensions of the channel structure. If Iμ -lal structures with larger areas than those of the individual preliminary products are to be produced, several of these preliminary products can also be melted together. The plate-shaped preliminary product 26 of a multichannel plate that is produced in this way is then subsequently introduced into a trough 29 with an etching solution 30 with which the material of the wires 27 is removed.

Man erhält so die gewünschte Kanalstruktur der Vielkanalplatte, von der in F ι g. 4 ein Teil 32 als Draufsicht schematisch veranschaulicht ist. Die nach dem Verfahren gemäß der Erfindung erzeugten Kanäle 33. von denen in der Figur zur Verdeutlichung nur einige vergrößert dargestellt sind, sind ausreichend gleichmäßig verteilt und die zwischen ihnen ausgebildeten Stege 34 aus dem Grundmaterial der Vielkanalplatte sind zwar hinreichend dünn, haben jedoch eine ausreichende Festigkeit.The desired channel structure of the multichannel plate is obtained in this way, of which FIG. 4 a part 32 is illustrated schematically as a plan view. The channels 33 produced by the method according to the invention, of which only some are shown enlarged in the figure for clarity, are sufficiently evenly distributed and the webs 34 formed between them from the base material of the multi-channel plate are sufficiently thin, but have sufficient strength .

Die so hergestellte Kanalstruktur läßt sich dann noch weiter bearbeiten. So können an ihrer Ober- und Unterseite Kontakte angebracht werden, damit eineThe channel structure produced in this way can then be processed further. So can on their upper and Bottom contacts are attached so that a

diesem Zweck werden ihre Flachseiten beispielsweise mit Gold bedampft oder mit einem Graphit enthaltenden Leitfähigkeitsspray besprüht.For this purpose, their flat sides are vapor-coated with gold, for example, or with a graphite-containing one Conductivity spray sprayed.

Gemäß einem Ausführungsbeispiels des Verfahrens nach der Erfindung läßt sich eine Vielkanalplatte dadurch herstellen, daß zunächst ein zusammensetzbarer Wickelkörper aus Kupfer mit blanken Kupferdraht, der einen Drahtdurchmesser von 60 μτη hat, bewickelt wird. Die Quen-.hnittsfläche des von dem Wickelkörper ausgebildeten Wickelraums beträgt etwa 1 cm². Nachdem der Drahtwickel auf die Wickelform aufgebracht worden ist, wird er durch einseitiges Aufschneiden entspannt, so daß sich die erforderlichen geringen Abstände zwischen benachbarten Drähten ausbilden können. Anschließend wird die Wickclform in eine zwischen 45OT und 650 C. vorzugsweise etwa 55O"C, heiße Schmelze getaucht. Diese Schmelze kann vorteilhaft 87 Gew.-% Bleioxid (PbO) und 13 Gcw.-% Bortrioxid (B?O,) oder 92 Gew. % Bleioxid und 8 Gew.-% Bortrioxid enthalten. Nachdem die Wickelform mit dem getränkten Drahtwickel langsam abgekühlt und von diesem entfernt worden ist, wird der Drahtwickel an seinen Längsseiten in etwa 3 mm dicke Plättchen zerschnitten. Diese Plättchen werden darauf zu einem Vorprodukt mit den Maßen der fertigen Kaniilstruktiir geschliffen. Das Vorprodukt, das beispielsweise 2.2 mm dick ist. taucht man dann in eine At/Iösung. die aus 300 g Kaliumbichromat, 300 g Schwefelsäure und 2'Λ>| Wasser zusammengesetzt ist. In dieser Lösung lösen sich die Kupferdrähte innerhalb von drei Tagen aus der Glasschmelze heraus, ohne daß die Glasschmelze von der Ät/Iösung wesentlich angegriffen wird. Man erhält so die gewünschte Kanaistru'ktur. ihre parallel zueinander, senkrecht verlaufenden Kanäle sind ausreichend gleichmäßig verteilt. Im Mittel befinden sich 190 Kanäle auf einem mni2 der Plane. Die Platte hat damit im Vergleich zu einer massiven Platte eine um einen Faktor von etwa 79 vergrößerte Oberfläche.According to an embodiment of the method according to the invention, a multi-channel plate can be produced by first winding an assemblable winding body made of copper with bare copper wire, which has a wire diameter of 60 μm. The cross-sectional area of the winding space formed by the winding body is approximately 1 cm ² . After the wire winding has been applied to the winding form, it is relaxed by cutting it open on one side, so that the required small distances between adjacent wires can be formed. The winding form is then immersed in a hot melt between 45 ° and 650 ° C., preferably about 550 ° C. This melt can advantageously contain 87% by weight lead oxide (PbO) and 13% by weight boron trioxide (B? O,) or 92% by weight After the winding form with the soaked wire lap has been slowly cooled and removed from it, the long sides of the wire lap are cut into about 3 mm thick plates The intermediate product, which is 2.2 mm thick, for example, is then immersed in an atomic solution composed of 300 g of potassium dichromate, 300 g of sulfuric acid and 2% water. Dissolve in this solution the copper wires within three days from the glass melt out without the glass melt from the Ät / Iösung is considerably affected., thus obtaining the desired Kanaistru'ktur. their parallel to each other, perpendicular end channels are sufficiently evenly distributed. On average there are 190 channels on one mni2 of the tarpaulin. Compared to a solid plate, the plate has a surface area that is approximately 79 times larger.

Gernäß dem Ausführungsbeispiel wurde als Material der Kanalstruktur ein Bleiglas mit hohem ßlcigehalt verwendet. Ebensogut können jedoch auch andere Materialien mit hoher Ordnungszahl, beispielsweise Urangläser, als Material für die Kanalstruktur vorgesehen werden.According to the exemplary embodiment, a lead glass with a high ßlcigehalt was used as the material of the channel structure. However, other materials with a high atomic number, for example uranium glasses, can just as well be provided as the material for the channel structure.

Statt eines au^ eine Wicktiform aufgewickelten, nachträglich gelockerten Wickels aus Drähten können für das Verfahren nach der Erfindung auch andere Drahtbündel in eine Schmelze aus dem die Kanalstruk tur zu bildenden Material vorgesehen werden. Es muß dabei lediglich gewährleistet sein, daß die einzelnen Drähte entsprechender Drahtbündel untereinander geringfügig beabstandet sind. Unter einer solchen geringfügigen Beabstandung ist dabei ein Abstand zwischen benachbarten Drähten zu verstehen, der in der Größenordnung des Durchmessers der einzelnen Drähte lieftInstead of a subsequently loosened coil of wires wound onto a winding form, other wire bundles can also be provided in a melt from the material to be formed from the material to be formed for the method according to the invention. It must in this case be only guaranteed that the individual wires of wire bundle corresponding to each other are slightly spaced apart. Such a slight spacing is to be understood as a spacing between adjacent wires which is of the order of magnitude of the diameter of the individual wires

Ein entsprechendes Drahtbündel kann beispielsweise dadurch hergestellt werden, daß man auf eine Wickelform zunächst einen Drahtwickel aufbringt und dann ein Ende dieses Drahtwickels in ein Hohlrohr einzieht. Durch das Verhältnis der Hohlrohrquerschnittsfläche zu der Querschn ittsfläche aller Drähte des Bündels können dabei die mittleren Abstände der Drähte des Drahtbündels festgelegt werden. Vorteilhaft wird die Querschnittsfläche des Hohlrohres höoistens doppelt so groß wie die der Drähte gewählt Das Rohr mit dem in ihm eingebrachten Drahlbündel wird dann in die Schmelze aus dem Grundmaterial der Kanalstruktur eingetaucht. Als Rohrmaterial ist beispielsweise Alumi niumoxid geeignet.A corresponding wire bundles can for example be prepared by first applying a winding wire on a coil form and then feeding the end of a wire coil into a hollow tube. Through the ratio of the hollow tube cross-sectional area to the cross-sectional area of all the wires in the bundle, the mean distances between the wires in the wire bundle can be determined. The cross-sectional area of the hollow tube is advantageously chosen to be more than twice as large as that of the wires. The tube with the bundle of wires introduced into it is then immersed in the melt of the base material of the channel structure. Alumi nium oxide, for example, is suitable as the pipe material.

Hierzu 1 Blatt Zeichnungen1 sheet of drawings

Claims

Patent claims:

1. A method for producing a channel structure for X-ray photocathodes, in particular for electrofluoroscopic ones and electroradiographic devices, in which initially a coherent Body made from the material intended for the channel structure and embedded in it Wires is made, is made and then this body is perpendicular to the direction of the wires too at least one pre-product is divided and finally those present in the pre-product Wires are detached from this, characterized in that for the production of the coherent body a wire bundle with each other slightly, but defined spaced Wires introduced into a melt (12) made of the material of the channel structure, with the Material of the melt (12) soaked, removed from the melt j 12) and slowly cooled will.

2. The method according to claim 1, characterized in that the wires on a winding form (2) untei train are wound and after winding the resulting wire winding (9) is relaxed.

3. The method according to claim 2, characterized in that that to relax the wire coil (9) this is cut.

4. The method according to any one of claims 1 to 3, characterized in that the wire bundle in a melt (12) is introduced, which is a material contains high atomic number.

5. The method according to Ansp-Tich 4, characterized in that that the wire bundle is introduced into a melt (12) made from a lead glass with a high lead content will.

b. Process according to Claim 5, characterized in that a melt (12) composed of 87% by weight of lead oxide (PbO) and 13% by weight of boron trioxide (B ₂ O ₁ ) is used.

7. The method according to claim 5, characterized in that a melt (12) of 92 wt .-% lead oxide (PbO) and 8 wt .-% boron trioxide (B ₂ O ₁ ) is used

8. The method according to any one of claims 5 to 7, characterized in that the melt (12) a temperature / wipe 45 (FC and 650 C. preferably to 550 C. is heated

9 The method according to any one of claims 1 to 8. dadjrch marked that a bundle of wires bare copper wire is used.

10 The method according to claim 9, characterized indicates that the copper wires (27) from the intermediate product (26) by means of an etching solution Potassium dichromate. Sulfuric acid and water to be drawn (Fig. i).

11. The method according to claim 4, characterized in that that the wire bundle is introduced into a melt (12) from a glass.

12. The method according to any one of claims I to 11, characterized in that the wire bundle is initially inserted into a hollow body of predetermined cross-sectional area drawn in and this hollow body is then introduced into the melt.

13. The method according to claim 12, characterized in that the wire bundle in a tube from aluminum oxide is drawn in, its cross-sectional area is at most twice as large as the total cross-sectional area of all the wires in the wire bundle.