DE265534C

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Publication number: DE265534C
Application number: DENDAT265534D
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Description

KAISERLICHESIMPERIAL

PATENTAMT.PATENT OFFICE.

Es ist bereits bekannt, durch Anwendung außerordentlich hochtouriger Trommeln die Gasmoleküle aus dem zu entlüftenden Raum in einen Vorvakuumraum zu befördern. Diese sogenannten Molekularluftpumpen wirken somit mittelbar als Entlüftungsvorrichtungen, indem den Gasmolekülen die Gelegenheit genommen ist, nach dem Hochvakuum raum zurückzugelangen. Ein Nachteil solcher MoIekularluftpumpen besteht darin, daß die ungewöhnlich hohe Tourenzahl auf die Dauer die Betriebssicherheit gefährdet. Wünschenswert ist daher eine solche Einrichtung, bei welcher als Träger der Gasmoleküle nicht eine mit vielen Touren umlaufende Trommel dient, sondern womöglich ohne dem Auge sichtbare bewegliche Teile der gleiche Effekt erzielt wird. Nun haben bekanntlich die negativen Ionen oder Elektronen die Eigenschaft, ebenfalls mit sehr großer Geschwindigkeit den Raum zu durchfliegen, wobei in Anwesenheit von Gasmolekülen diese von den Elektronen mitgerissen werden. Es ergibt sich daher eine Einrichtung, bei welcher an Stelle des mechanisch bewegten Teiles der Molekularluftpumpe ein scheinbar unbewegliches System von Elektronen tritt.It is already known that by using extremely high-speed drums the To convey gas molecules from the space to be vented into a fore-vacuum space. These so-called molecular air pumps thus act indirectly as venting devices, by depriving the gas molecules of the opportunity to return to the high vacuum space. A disadvantage of such molecular air pumps is that the unusual high number of tours endangers operational safety in the long run. Such a device is therefore desirable in which a drum rotating with many revolutions does not serve as a carrier for the gas molecules, rather, the same effect may be achieved without moving parts that are visible to the eye will. As is well known, negative ions or electrons also have the property to fly through space at a very high speed, in the presence of gas molecules these electrons get carried away. The result is a device in which, instead of the mechanical moving part of the molecular air pump creates an apparently immobile system of electrons occurs.

In der beiliegenden Figur stellt beispielsweise ν eine Entlüftungsvorrichtung dar, bei welcher die Röhre h nach dem Hochvakuumraum, die Röhre η hingegen nach dem Vorvakuum führt. Der Anschluß der Kathode k bzw. der Anode a an irgendeine geeignete Stromquelle ermöglicht die Erzeugung von freien Elektronen, die den Innenraum ν durchfliegen, sich hierbei mit den aus h zuströmenden Gasmolekülen mischen und somit bei h einen niedrigeren Druck erzeugen als bei n. In the accompanying figure, for example, ν represents a venting device in which the tube h leads to the high vacuum space, while the tube η leads to the fore-vacuum. The connection of the cathode k or the anode a to any suitable power source enables the generation of free electrons, which fly through the interior ν, mix with the gas molecules flowing in from h and thus generate a lower pressure at h than at n.

Statt die negativen Elektronen durch direkte Entladung zu erzeugen, kann beispielsweise auch eine mit glühendem Metalloxyd versehene Elektrode k Anwendung finden. Schließlich können auch positive Ionen als Träger der Gasmoleküle in Betracht kommen, sofern die entgegengesetzt verlaufenden negativen Ionen die Wirkung derselben nicht wieder aufheben. Instead of generating the negative electrons by direct discharge, an electrode k provided with a glowing metal oxide can also be used, for example. Finally, positive ions can also be considered as carriers of the gas molecules, provided that the negative ions running in the opposite direction do not cancel out their effect again.

Das vorliegende Verfahren zur Erzeugung von Hochvakuum ist nicht zu verwechseln mit der bekannten Eigenschaft von Hoch-Spannungsentladungen, die ebenfalls mit Gasabsorption verbunden sind, indem bei gewöhnlichen Gasentladungen die positiven und negativen Ionen sich in ihrer Wirkung zum größten Teil aufheben. Die vorliegende Erfindung unterscheidet sich von den bekannten Hochspannungsaugvorrichtungen noch dadurch, daß durch die gewählte Bauart die Wirkung der einen oder der anderen oder beider gleichzeitig ungestört zur Geltung kommen kann.The present method for generating high vacuum should not be confused with the well-known property of high-voltage discharges, which also involve gas absorption are connected by the effect of the positive and negative ions in their effect on normal gas discharges pick up most of it. The present invention differs from the known ones High-voltage suction devices by the fact that the selected design has the effect one or the other or both can come into their own at the same time.

Claims

Patent claim:

Method for venting vacuum vessels, characterized in that the Removal of the gas molecules from the high vacuum space exclusively by moving Ions takes place.

1 sheet of drawings.