DE2655272A1 - SPECTRAL PHOTOMETER ARRANGEMENT - Google Patents
SPECTRAL PHOTOMETER ARRANGEMENTInfo
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" Spektralfotometeranordnung ""Spectrophotometer Arrangement"
Die Erfindung bezieht sich auf eine Spektralfotometeranordnung für die Messung der optischen Eigenschaften transparenter und reflektierender Objekte in Abhängigkeit von der Lichtwellenlänge, insbesondere für die Messung der Veränderung der optischen Eigenschaften während dar Erzeugung dünner Schichten in Vakuumanlagen, bestehend aus einer Lichtquelle, einem Objekthalter, einer spektralen Lichtzerlegungseinrichtung, einer Fotoempfängereinrichtung und einer elektronischen Auswerteanordnung, welche die Intensitätssignale der Fotoempfängereinrichtung in Abhängigkeit von der Lichtwellenlänge darstel 11^ und einen Analog-Digital-Konverter für die Signal umsetzung, und einen Taktgenerator für die Synchronisation eines Wellenlängensignals und des Intensitätssignals besitzt.The invention relates to a spectrophotometer arrangement for measuring the optical properties of transparent and reflective objects depending on the light wavelength, especially for the measurement of the change in the optical properties during the production of thin layers in vacuum systems, consisting of a light source, an object holder, a spectral light decomposition device, a photoreceiver device and an electronic evaluation arrangement, which the intensity signals of the photoreceiver device as a function of the light wavelength represent 11 ^ and an analog-to-digital converter for the signal conversion, and a clock generator for the synchronization of a wavelength signal and the Has intensity signal.
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Bei der Herstellung und/oder Qualitätskontrolle optischer Erzeugnisse wie Filter, Spiegel, Linsen, ist es häufig erforderlich, die optischen Eigenschaften in Abhängigkeit von der Lichtwellenlänge zu messen und grafisch darzustellen "bzw. durch Rechenprozesse zu verarbeiten. Ein Beispiel hierfür sind Entspiegelungsschichten, insbesondere für die Breitbandentspiegelung, die innerhalb des Bereichs sichtbaren Lichts eine möglichst geringe Reflexion aufweisen sollen. Solche Schichten bestehen im allgemeinen aus vielen Einzelschichten mit unterschiedlichen Brechungsindices (sogenannte Interferenzschichtsysteme). Bei der Herstellung ist der zeitliche Aufbau jeder Einzelschicht zu überwachen; beim Endprodukt ist die Einhaltung von Toleranzgrenzen zu überprüfen. Ein weiteres Beispiel sind Filterschichten, z.B.In the production and / or quality control optical Products such as filters, mirrors, lenses, it is often necessary to vary the optical properties to measure and graphically represent the light wavelength "or to be processed by computing processes. An example of this are anti-reflective coatings, especially for broadband anti-reflective coatings, which should have as little reflection as possible within the range of visible light. Such layers generally consist of many individual layers with different refractive indices (so-called interference layer systems). When it comes to production, the to monitor the temporal structure of each individual layer; Compliance with tolerance limits must be checked for the end product. Another example are filter sheets, e.g.
Infrarotfilter, die Wärmestrahlung zurückhalten, sichtbares Licht aber möglichst ungehindert durchlassen sollen. Auch hierbei ist während der Herstellung der Schichten und bei der Endkontrolle eine Messung der spektralen Abhängigkeit der Schichteigenschaften erforderlich.Infrared filters that hold back heat radiation, visible But should let light through as freely as possible. Here, too, is during the production of the layers and at the final inspection requires a measurement of the spectral dependence of the layer properties.
Für die Durchführung der Messung ist eine Lichtquelle erforderlich. Deren Licht besitzt ein eigenes Spektrum welches bei einer grafischen Darstellung der Intensität in Abhängigkeit von der Wellenlänge in der Mitte des sichtbaren Bereichs ein Maximum aufweist, welches nach beiden Seiten relativ stark abfällt. Der Kurvenverlauf ändert sich zudem noch mit der Betriebsdauer der Lichtquelle. Die Messung der optischen Eigenschaften von Objekten in Abhängigkeit von der Lichtwellenlänge ist mit solchen Lichtquellen ohne zusätzliche Maßnahmen nicht möglich; sie führt zu einer Verzerrung des Kurvenverlaufs, der dadurch für den Betrachter nicht mehr aussagekräftig ist. AußerdemA light source is required to carry out the measurement. Their light has its own spectrum which is shown in a graphic representation of the intensity depending on the wavelength in the middle of the visible range has a maximum, which after falls relatively sharply on both sides. The curve progression also changes with the operating time of the light source. The measurement of the optical properties of objects as a function of the light wavelength is with such Light sources not possible without additional measures; it leads to a distortion of the curve is no longer meaningful for the viewer. aside from that
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werden keine reproduzierbaren Werte erhalten.reproducible values are not obtained.
Zum Stande der Technik gehört ein eingangs beschriebenes Spektralfotometer, bei dem die Fotoempfängereinrichtung aus einer Fotodiode besteht, die durch eine mechanische, synchronisierte Abtasteinrichtung in Form eines geschlitzten, rotierenden Zylinders nacheinander mit einzelnen Ausschnitten aus dem Spektrum beaufschlagt wird. Zum Ausgleich von Fehlern muß ein Referenzlichtstrahl verwendet werden, der das zu messende Objekt nicht trifft. Die unterschiedliche Intensität der Lichtquelle bei verschiedenen Wellenlängen muß durch eine Vielzahl einzeln einstellbarer Potentiometer ausgeglichen werden. Abgesehen von der relativ langsamen Abtastung des Spektrums gestaltet sich der Potentiometerabgleich außerordentlich schwierig und zeitraubend. Für ein hohes Auflösungsvermögen über den zu messenden Wellenlängenbereich müßten mehrere Dutzend Potentiometer vorgesehen und abgestimmt werden. Dieser Aufwand verbietet sich, so daß im allgemeinen nur eine relativ grobe Auflösung des Spektrums vorgenommen wird. Aber auch hierbei ergeben sich Schwierigkeiten, da der Potentiometerabgleich wegen der Veränderung der Charakteristika der Lichtquelle von Zeit zu Zeit wiederholt werden muß.The prior art includes a spectrophotometer described at the outset, in which the photoreceiver device consists of a photodiode, which by a mechanical, synchronized scanning device in the form of a slotted, rotating cylinder is applied successively with individual sections from the spectrum. To compensate For errors, a reference light beam must be used that does not hit the object to be measured. the different intensity of light source at different Wavelengths must be individually adjustable through a large number Potentiometer to be compensated. Apart from the relatively slow scanning of the spectrum, the Adjusting the potentiometer is extremely difficult and time-consuming. For a high resolution over the to measuring wavelength range would have to be several dozen Potentiometer can be provided and tuned. This effort is out of the question, so that in general only a relative rough resolution of the spectrum is made. But even here there are difficulties because of the potentiometer adjustment must be repeated from time to time because of the change in the characteristics of the light source.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Spektralfotometeranordnung der eingangs beschriebenen Art anzugeben, die einen manuellen Potentiometerabgleich überflüssig macht und eine praktisch verzögerungsfreie Anzeige des Meßergebnisses erlaubt.The invention is based on the object of a spectrophotometer arrangement of the type described above, which makes manual potentiometer adjustment superfluous and allows a practically instantaneous display of the measurement result.
Die Lösung der gestellten Aufgabe erfolgt bei der eingangs angegebenen Spektralfotometeranordnung erfindungsgemäß dadurch, daß die Fotoempfängereinrichtung aus einer Reihenan-In the case of the spectrophotometer arrangement specified at the outset, the object is achieved according to the invention in that that the photoreceiver device from a series
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Ordnung von einzelnen Meßzellen besteht, die im Strahlenweg des Spektrums angeordnet sind, daß die Ausgänge der Meßzellen einem Analog-Digital-Konverter aufgeschaltet sind, dessen Ausgang wahlweise mit einem Direktzugriffspeicher und mit einem Eingang einer Dividiereinrichtung verbindbar ist, daß der Direktzugriffspeicher einem zweiten Eingang der Dividiereinrichtung aufgeschaltet ist, und daß der Ausgang der Dividiereinrichtung mit einer Anzeige- oder Rechenschaltung verbunden ist.Order of individual measuring cells, which are arranged in the beam path of the spectrum, that the outputs of the measuring cells are connected to an analog-digital converter, the output of which can optionally be connected to a random access memory and to an input of a dividing device is that the random access memory is connected to a second input of the dividing device, and that the output the dividing device with a display or arithmetic circuit connected is.
Mit einer solchen Anordnung sind folgende Vorteile verbunden: Durch die Reihenanordnung einzelner Meßzellen, die über ein Vielfachkabel mit dem Analog-Digital-Konverter verbunden sind, ist es möglich, die Meßwerte der einzelnen Zellen mit einer außerordentlich hohen Frequenz von beispielsweise 16 kHz abzutasten bzw. abzufragen und die Anzeige entsprechend häufig zu wiederholen, so daß der Augenblickswert der Messung Jederzeit zur Verfügung steht. Durch die Reihenanordnung entsprechend kleiner Meßzellen, vorzugsweise in Form eines Dioden-Arrays wird eine hohe spektrale Auflösung von einem Nanometer ermöglicht, so daß beispielsweise die beiden gelben QuecksiIber-Spektral1inien noch gut getrennt werden können. Die Auswertung der Messung kann durch einfache Sichtkontrolle auf dem Bildschirm eines Katodenstrahloszi11ographen oder in einem nachgeschalteten Rechner erfolgen und erlaubt die Herstellung komplizierter optischer Vielschichtsysteme. In der Dividiereinrichtung wird laufend der Quotient aus dem augenblicklichen spektralen Meßergebnis mit den vorh.er in den Direktzugri.ffspeicher eingespeicherten Meßwerten gebildet, wodurch es möglich ist, den Einfluß der spektralen Charakteristik der Lichtquelle völlig auszuschalten und eine sogenannte ideale Lichtquelle mit konstanter IntensitätThe following advantages are associated with such an arrangement: The series arrangement of individual measuring cells, which have a Multiple cable connected to the analog-digital converter it is possible to use the measured values of the individual cells an extremely high frequency of 16 kHz, for example to scan or interrogate and to repeat the display correspondingly often so that the instantaneous value of the measurement Is available at any time. Due to the series arrangement of correspondingly small measuring cells, preferably in the form of a Diode arrays will have a high spectral resolution of one Nanometer, so that, for example, the two yellow mercury spectral lines are still well separated can. The evaluation of the measurement can be done by simple visual inspection on the screen of a cathode ray scanner or in a downstream computer and allowed the production of complex optical multilayer systems. The quotient from the instantaneous spectral measurement result is continuously included in the dividing device the previous measured values stored in the direct access memory formed, whereby it is possible to completely eliminate the influence of the spectral characteristic of the light source and a so-called ideal light source with constant intensity
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liber den gesamten Wellenlängenbereich vorzutäuschen. Die sich ergebende Kurvendarstellung ist in diesem Falle ein getreues Abbild der optischen Eigenschaften des Objekts über den gewünschten Spektralbereich. Eine solche Betriebsweise eignet sich besonders gut für eine Verfahrensüberwachung während der Erzeugung dünner Schichten auf Substraten im Vakuum. Andererseits ist es aber auch möglich, eine bestimmte spektrale Abhängigkeit beispielsweise eines speziellen Filters in den Direktzugriffspeicher einzugeben und mit den Meßwerten weiterer Objekte zu vergleichen. Aufgrund der Quotientenbi1 dung in der Dividiereinrichtung erscheinen hier in der Anzeige nur die Abweichungen. Bei vollkommener Übereinstimmung mit der Speichereingabe, die beispielsweise durch ein Normfilter bewirkt werden kann, ergibt sich in der Anzeige eine horizontale Linie. Eine solche Betriebsweise eignet sich besonders gut für die Qualitätskontrolle von Endprodukten.to pretend over the entire wavelength range. Which The resulting curve display is a true one in this case Image of the optical properties of the object over the desired spectral range. Such a mode of operation is suitable is particularly good for process monitoring during the production of thin layers on substrates in a vacuum. On the other hand, however, it is also possible to determine a specific spectral dependency, for example of a special one Enter filters in the direct access memory and compare them with the measured values of other objects. Because of the quotient formation appear in the dividing device here in the display only the deviations. If there is a perfect match with the memory entry, for example can be effected by a standard filter, the display shows a horizontal line. Such a mode of operation is particularly suitable for quality control of End products.
Zum Verständnis dieser Vorgänge sei auf die Wirkungsweise der Anordnung verwiesen, die nachfolgend in Verbindung mit der einzigen Figur näher erläutert wird.To understand these processes, refer to the mode of operation of the Reference arrangement, which is explained in more detail below in connection with the single figure.
In der Figur ist mit 1 eine Lichtquelle bezeichnet, die von einer Glühlampe gebildet wird und mit einer nicht dargestellten, spannungsstabi1isierten Stromquelle in Verbindung steht. Der in Pfeilrichtung ausgesandte Meßlichtstrahl geht durch eine Abbildungsoptik 2, ein Vakuumfenster 3, einen Objekthalter 4 mit einem nicht näher bezeichneten Objekt und durch eine weiteres Vakuumfenster 5 hindurch. Die Vakuumfenster 3 und 5 sowie der Objekthalter 4 sind im Zusammenhang mit einer Vakuumaufdampfvorrichtung 6 dargestellt, die eine Verdampferblende 7 zur Unterbrechung bzw. Beendigung des Aufdampfvor-In the figure, 1 denotes a light source, which is formed by an incandescent lamp and with a not shown, voltage stabilized power source is connected. Of the A measuring light beam emitted in the direction of the arrow passes through an imaging optics 2, a vacuum window 3, an object holder 4 with an unspecified object and through a further vacuum window 5. The vacuum windows 3 and 5 and the object holder 4 are shown in connection with a vacuum evaporation device 6 which has an evaporator diaphragm 7 to interrupt or terminate the vapor deposition
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ganges und eine Verdampferquelle 8 besitzt. Die Teile 3 und 5 bis 8 sind für die Funktion der Spektralfotometeranordnung nicht unbedingt erforderlich, sie sollen nur ein besonders bevorzugtes Anwendungsgebiet des Erfindungsgegenstandes erläutern. Beispielsweise ist es auch möglich, den Objekthalter 4 mit einem Objekt allein in dem bisher beschriebenen Teil des Strahlengangs anzuordnen« Es ist auch nicht erforderlich, den durch den Objekthalter 4 hindurchgehenden Teil des Meßlichtstrahls, sondern den am Objekt reflektierten Anteil des Meßlichtstrahls zu erfassen, wozu der bisher beschriebene Teil der. Anordnung gemäß bekannten Yorhildern abzuändern ist.ganges and an evaporator source 8 has. Parts 3 and 5 to 8 are not absolutely necessary for the function of the spectrophotometer arrangement, they are only intended to be a special one explain the preferred field of application of the subject matter of the invention. For example, it is also possible to use the object holder 4 with an object alone in the part described so far of the beam path "It is also not necessary to place the part of the measuring light beam passing through the specimen holder 4, but rather to detect the portion of the measuring light beam reflected on the object, including the one previously described Part of. Arrangement is to be modified according to known Yorhildern.
Nach/dem Durchtritt durch das Vakuumfenster 5 tritt der Meßlichtstrahl in einen Lichtleiter 9 ein und wird durch diesen einem Spektrografen 10 zugeführt, der einen Spiegel 11, eine spektrale Lichtzerlegungseinrichtung 12 in Form eines konkaven Gitters, einen Eintrittsspalt 13 und eine Fotoempfängereinrichtung 14 besitzt, die aus einer bekannten Reihenanordnung von Meßzellen in Form eines Dioden-Arrays besteht. Es handelt sich hierbei um ein sogenanntes selbst-scannendes, lineares Dioden-Array mit 256 Dioden. Die Fotoempfängereinrichtung 14 ist über ein entsprechendes Vielfachkabel mit einem Analog-Digital-Konverter 16 verbunden, in dem die zunächst noch analogen Meßwerte für die einzelnen Spektralbereiche in digitale Signale umgesetzt werden. Der Ausgang des Analog-Digital-Konverters 16 ist in der ausgezogenen Stellung eines Schalters 17 einem Direktzugriffspeicher 18 mit einer Kapazität von 256 · 16 Bit aufgeschaltet, der seinerseits mit einer Dividiereinrichtung 19 verbunden ist. Der Schalter 17 läßt sich jedoch in die gestrichelt dargestellte Position 17a bringen, so daß der Ausgang des Analog-Digital'-Konverters 16 unmittelbar mit der Dividiereinrichtung 19 verbunden ist. Der Aus-After / after passing through the vacuum window 5, the measuring light beam occurs into a light guide 9 and is fed through this to a spectrograph 10, which has a mirror 11, a spectral light splitting device 12 in the form of a concave grating, an entrance slit 13 and a photoreceiver device 14 has, which consists of a known series arrangement of measuring cells in the form of a diode array. It deals is a so-called self-scanning, linear one Diode array with 256 diodes. The photo-receiving device 14 is connected to an analog-digital converter via a corresponding multiple cable 16 connected, in which the initially still analog measured values for the individual spectral ranges in digital Signals are implemented. The output of the analog-to-digital converter 16 is in the extended position of a switch 17 a random access memory 18 with a capacity of 256 × 16 bits, which in turn is connected to a dividing device 19. The switch 17 can however, bring it into the position 17a shown in dashed lines, so that the output of the analog-digital converter 16 is immediate is connected to the dividing device 19. The Aus
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gang dieser Dividiereinrichtung führt ein sogenanntes Intensitätssignal und ist entweder über eine Leitung 20 einer digitalen Auswerteeinrichtung, beispielsweise einer Rechenschaltung aufgeschaltet, oder über einen Digital-Analog-Konverter 22 und eine Leitung 23 einem Sichtgerät, beispielsweise einem Oszilloskopen, aufgeschaltet.This dividing device carries a so-called intensity signal and is either connected via a line 20 to a digital evaluation device, for example a computing circuit, or via a digital-to-analog converter 22 and a line 23 to a display device, for example an oscilloscope, activated.
Die Scanfrequenz für die Fotoempfängereinrichtung 14 wird durch einen Taktgenerator 15 vorgegeben, dessen Ausgang außerdem einem Digita!zähler 24 zur Adressenansteuerung aufgeschaltet ist. Der Ausgang des Digitalzählers 24 ist mit einem Festwertspeicher 25 verbunden, in dem Informationen für die einzelnen Wellenlängen gespeichert sind. Dieser Festwertspeicher steht entweder über eine Leitung 26 mit einer digitalen Verwertungseinrichtung, beispielsweisemder gleichen Rechenschaltung verbunden, zu der auch die Leitung 20 führt, oder über einen Digital-Analog-Konverter 27 und eine Leitung 28 mit einem Sichtgerät, beispielsweise dem gleichen Oszilloskop, zu dem auch die Leitung 23 führt. Die Leitungen 20/26 und 23/28 liefern im Prinzip die Koordinaten für eine Sichtanzeige bzw. die rechnerische Verarbeitung der Signale.The scanning frequency for the photoreceiver device 14 is specified by a clock generator 15, the output of which is also connected to a digital counter 24 for address control. The output of the digital counter 24 is connected to a read-only memory 25 in which information for the individual wavelengths is stored. This read-only memory is either connected via a line 26 with a digital processing device, for example m the same computing circuit, leads to the line 20, or via a digital-to-analog converter 27 and a line 28 to a display device, for example the same oscilloscope, to which the line 23 also leads. The lines 20/26 and 23/28 in principle provide the coordinates for a visual display or the computational processing of the signals.
Die Betriebs- und Wirkungsweise der dargestellten Anordnung ist folgende: Vor Beginn der Messung befindet sich der Schalter in der ausgezogen dargestellten Position. Der Objekthalter 4 enthält zunächst kein Objekt, so daß die spektrale Charakteristik des von der Lichtquelle 1 ausgehenden Meßlichtstrahls, nur verändert durch die optischen Eigenschaften der Optik 2, der Vakuumfenster 3 und 5 und des Lichtleiters 9 in den Direktzugriffspeicher 18 eingespeichert wird. Hierauf wird der Schalter 17 in die Position 17a gebracht, wodurch sich in der Anzeige· zunächst eine horizontale gerade Linie einstellt, daThe operation and effect of the arrangement shown is the following: Before starting the measurement, the switch is in the extended position. The object holder 4 initially does not contain an object, so that the spectral characteristics of the measuring light beam emanating from the light source 1 only changed by the optical properties of the optics 2, the vacuum window 3 and 5 and the light guide 9 in the random access memory 18 is stored. Then the switch 17 is brought into position 17a, whereby in the Display · first sets a horizontal straight line since
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die Meßwerte mit den im Direktzugriffspeicher befindlichen Werten übereinstimmen, so daß sich über den gesamten WeIlenlängenbereich der Quotient 1 ergibt. Wird nunmehr in den Objekthalter 4 ein Objekt mit bestimmter Absorptionscharakteristik eingeführt, so ändert sich der Quotient am Ausgang der Dividiereinrichtung 19, da der Intensitätsverlauf I in Abhängigkeit von der Wellenlänge sich vom Intensitätsverlauf IO (in Abwesenheit eines Objekts) unterscheidet. Mittels der Ausgänge der Digital-Analog-Konverter 22 und 27 und der Signale auf den Leitungen 23 und 28 läßt sich mittels eines Oszilloskopen eine Kurvendarstellung erzeugen, welche die exakte spektrale Charakteristik des Objekts wiedergibt. Der Meßwert ist von der spektralen Charakteristik der Lichtquelle 1, der Optik 2, der Vakuumfenster 3 und 5, des Lichtleiters 9, des Spektrografen 10 mit der Fotoempfängereinrichtung 14 vollständig befreit und infolgedessen fehlerfrei. Selbst eine in Vakuumaufdampfanlagen unvermeidbare Veränderung der Durchlässigkeit der Vakuumfenster 3 und 5 läßt sich auf einfache Weise kompensieren, in dem nämlich der Schalter 17 in die ausgezogene Stellung gebracht wird, wodurch im Direktzugriffspeicher 18 Informationen gespeichert werden, in denen die Veränderung der Durchlässigkeit der Vakuumfenster 3 und 5 berücksichtigt ist. Aufgrund der Quotientenbildung wird die Veränderung der Durchlässigkeit der Fenster wieder eliminiert.the measured values with those in the direct access memory Values agree, so that the quotient 1 results over the entire wavelength range. Will now in the object holder 4 an object with certain absorption characteristics introduced, the quotient changes at the output of the dividing device 19, since the intensity profile I depends on the wavelength Intensity curve IO (in the absence of an object) differs. Using the outputs of the digital-to-analog converter 22 and 27 and the signals on lines 23 and 28 can be graphed by means of an oscilloscope which reproduces the exact spectral characteristics of the object. The measured value is of the spectral Characteristics of the light source 1, the optics 2, the vacuum windows 3 and 5, the light guide 9, the spectrograph 10 with the photo-receiving device 14 completely freed and consequently error-free. Even one in vacuum evaporation systems unavoidable change in the permeability of vacuum windows 3 and 5 can be compensated for in a simple manner, namely, in which the switch 17 is brought into the extended position, whereby in the random access memory 18 Information is stored in which the change in the permeability of the vacuum windows 3 and 5 is taken into account is. Due to the formation of the quotient, the change in the permeability of the window is eliminated again.
Bei der weiter oben beschriebenen Qualitätskontrolle ist die Vakuumaufdampfvorrichtung 6 mit den zugehörigen Einrichtungen nicht vorhanden. In den Qhjekthalter 4 wird nunmehr ein Referenzobjekt eingesetzt, welches zur Eichung dient. In ausgezogener Stellung des Schalters 17 wird nunmehr die spektrale Charakteristik des Referenzobjekts (zusammen mit den Störgrößen) in den Direktzugriffspeicher 18 eingegeben.The quality control described above is the vacuum evaporation device 6 with the associated devices does not exist. In the Qhjekthalter 4 is now a Reference object used, which is used for calibration. In undressed When the switch 17 is set, the spectral characteristics of the reference object (together with the disturbance variables) entered into the random access memory 18.
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AOAO
Nachfolgend wird der Schalter 17 in die Position 17a gebracht. Wird nunmehr an die Stelle des Referenzobjekts in den Objekthalter 4 ein zu kontrollierendes Objekt gebracht, so zeigt sich solange keine Abweichung am Ausgang der Dividiereinrichtung 19, wie die spektrale Charakteristik des Objekts mit der des Referenzobjekts übereinstimmt. Sind jedoch Abweichungen vorhanden, so können am Ausgang der Dividiereinrichtung 19 ausschließlich diese Abweichungen sichtbar gemacht werden, und zwar beispielsweise durch Darstellung auf dem Bildschirm eines Oszilloskopen.The switch 17 is then moved to position 17a. If an object to be checked is now placed in the place of the reference object in the object holder 4, so as long as there is no deviation at the output of the dividing device 19, such as the spectral characteristic of the object matches that of the reference object. Are However, if there are deviations, only these deviations can occur at the output of the dividing device 19 can be made visible, for example by displaying them on the screen of an oscilloscope.
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