DE2640282A1

DE2640282A1 - Scanning mirror for optical instruments - has one swivel axis in direction of incident beam bundle and other perpendicular to it

Info

Publication number: DE2640282A1
Application number: DE19762640282
Authority: DE
Inventors: Hans Dipl Phys Dr Determann
Original assignee: Ernst Leitz Wetzlar GmbH
Current assignee: Ernst Leitz Wetzlar GmbH
Priority date: 1976-09-08
Filing date: 1976-09-08
Publication date: 1978-03-09

Abstract

Scanning mirror for optical instruments or arrangement for optical scanning of microscopic objects for determining surface components of single object phases. One (4a) of the two swivel axes lies in the direction of the incident beam bundle and the other swivel axis (3a) is perpendicular to it. The incident light beam (1) is delfected on the mirror (2) by 90 degrees. One axis of the mirror lies in the incidenc eplane of beams as well as in the plane of the mirror (2). The mirror can also swivel about the second axis which lies perpendicular to it in the plane of the mirror.

Description

Scanningspiegel für optische Geräte Scanning mirrors for optical devices

Die Erfindung betrifft einen Scanningspiegel für optische Geräte, insbesondere für eine Anordnung zur optischen Abtastung mikroskopischer Objekte, bei der Flächananteile einzelner Objektphasen ermittelt werden.The invention relates to a scanning mirror for optical devices, especially for an arrangement for optical scanning of microscopic objects, in which the area proportions of individual object phases are determined.

Es ist bereits eine Abtastmethode bekannt, bei der auf der Eeleuchtungsseite das Meßfeld ausgeblendet und durch das Objekt bewegt wird. Als Mittel hierzu wird ein Kippspiegel mit feststehender Leuchtfeldblende verwendet. Er ist vorzugsweise so ausgebildet, daß zugleich auch eine synchrone Abtastung auf der Beobachtungsseite e rfolgen kann. Die notwendige Kippung des SpiegeLs wird dadurch erreicht, daß er zusätzlich zu einer oszillierenden Bewegung eine weitere kontinuierliche Winkelbewegung senkrecht dazu ausführt. Zu diesem Zweck wird er einmal um eine in der Spiegel- und Strahleneinfalisebene befindliche Achse und zum anderen in eine senkrecht dazu in der Spiegelebene liegende Achse drehbar gelagert.A scanning method is already known in which on the lighting side the measuring field is hidden and moved through the object. As a means of doing this, a tilting mirror with a fixed field diaphragm is used. He is preferably designed so that at the same time synchronous scanning on the observation side e can succeed. The necessary tilting of the mirror is achieved by the fact that it in addition to an oscillating movement, another continuous angular movement executes perpendicular to it. For this purpose, he is once around a mirror in the and the plane of incidence of rays and on the other hand in an axis perpendicular to it The axis lying in the mirror plane is rotatably mounted.

Es hat sich gezeigt, daß diese bisher angewandte Art der Spiegellagerung gewisse Nachteile mit sich bringt.It has been shown that this previously used type of mirror mounting brings with it certain disadvantages.

So sind die Strahlenablenkungen in den beiden senkrecht zueinander liegenden Richtungen nicht proportional den Spiegeldrehungen um die entsprechenden Achsen. Die Bildzeilen und -spalten werden dadurch einseitig verzerrt und ergeben insgesamt ein Bild, bei dem die gegenüber- liegenden Kanten des einen Kantenpaares zueinander geneigt liegen und bei dem die Kanten des anderen Kantenpaares unterschiedliche Länge haben.So the beam deflections in the two are perpendicular to each other lying directions are not proportional to the mirror rotations around the corresponding Axles. The lines and columns of the image are thereby distorted on one side and result overall a picture in which the opposite lying edges of the one pair of edges are inclined to each other and in which the edges of the other Edge pairs have different lengths.

Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, eine Anordnung zu schaffen, bei der die genannte Verzerrung weitgehend ausgeschaltet wird. Zu diesem Zweck wird ein Scanningspiegel der vorgenannten Art vorgeschlagen, dessen eine Achse in Richtung des einfallenden Strahlenbündels und dessen andere Achse senkrecht dazu in der Spiegelebene verläuft.The object of the present invention is to create an arrangement in which the aforementioned distortion is largely eliminated. To this end, will proposed a scanning mirror of the aforementioned type, one axis of which in the direction of the incident beam and its other axis perpendicular to it in the mirror plane runs.

Die Erfindung ist in der Zeichnung dargestellt. Es zeigen: Fig. la die bisher übliche Drehlagerung des Scanningspiegels, Fig. lb das zugehörige Bild der Lichtflecke in schematischer Darstellung, Fig. 2a die erfindungsgemäße Lagerung des Scanningspiegels, Fig. 2b das zugehörige Lichtfleckbild.The invention is shown in the drawing. They show: Fig. La the previously customary rotary bearing of the scanning mirror, Fig. Lb the associated image the light spots in a schematic representation, Fig. 2a the storage according to the invention of the scanning mirror, Fig. 2b the associated light spot image.

0 Der einfallende Lichtstrahl 1 wird am Spiegel 2 um 90 abgelenkt. Gemäß Fig. la verläuft die eine Spiegelachse 4 in der Strahleneinfallsebene sowie in der Ebene des Spiegels 2. Die zweite Achse 3, um die der Spiegel ebenfalls schwingen kann, liegt senkrecht dazu in der Spiegelebene. Fig. ib zeigt die bei der Lagerung nach Fig. 0 The incident light beam 1 is deflected by 90 at mirror 2. According to FIG. 1 a, the one mirror axis 4 runs in the plane of incidence of rays as well in the plane of the mirror 2. The second axis 3, around which the mirror also oscillate can, lies perpendicular to it in the mirror plane. Fig. Ib shows the storage according to Fig.

la entstehende Verzerrung des Bildes der Lichtflecke.la resulting distortion of the image of the light spots.

Demgegenüber wird bei dem erfindungsgemäßen Spiegel nach Fig. 2a, dessen eine Achse 4a sich in Richtung der einfallenden Strahlen erstreckt und dessen andere Achse 3a in gleicher Weise wie die Achse 3 verläuft, eine wesent- liche Verbesserung der Symmetrie des Lichtfleckbildes (Fig. 2b) erzielt. Die obere und untere Begrenzungskante sind ebenso wie die seitlichen Kanten gleich lang.In contrast, in the mirror according to the invention according to FIG. 2a, one axis 4a of which extends in the direction of the incident rays and of which other axis 3a runs in the same way as axis 3, an essential liche Improvement of the symmetry of the light spot image (Fig. 2b) achieved. The top and The lower boundary edge, like the side edges, are of the same length.

Letztere sind allerdings leicht gekrümmt, was sich jedoch wegen des geringeren Ausmaßes und wegen der Symmetrie weniger nachteilig und nur außerhalb des Bildzentrums auswirkt, im Gegensatz zu der Verzerrung nach der Ausführung gemäß Fig. 1a und 1b.The latter are slightly curved, however, because of the to a lesser extent and because of the symmetry less disadvantageous and only outside of the image center, in contrast to the distortion after the execution according to Figures 1a and 1b.

Claims

Scanning mirror for optical devices, characterized in that that one (4a) of the two pivot axes in the direction of the incident beam and the other pivot axis (3a) runs perpendicular thereto in the mirror plane (2).