DE2604672A1 - DEVICE FOR CONTROLLING THE CENTERING, THE INTENSITY, THE HOMOGENITY AND THE DIRECTIONAL CONVERSION OF AN IONIZING RADIATION BEAM - Google Patents

DEVICE FOR CONTROLLING THE CENTERING, THE INTENSITY, THE HOMOGENITY AND THE DIRECTIONAL CONVERSION OF AN IONIZING RADIATION BEAM

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DE2604672A1
DE2604672A1 DE19762604672 DE2604672A DE2604672A1 DE 2604672 A1 DE2604672 A1 DE 2604672A1 DE 19762604672 DE19762604672 DE 19762604672 DE 2604672 A DE2604672 A DE 2604672A DE 2604672 A1 DE2604672 A1 DE 2604672A1
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    • H01J2237/24578Spatial variables, e.g. position, distance

Description

13, Square Max Hytnans 75015 PARIS/ Frankreich 13, Square Max Hytnans 75015 PARIS / France

Unser Zeichen; C 5074Our sign; C 5074

Vorrichtung zur Kontrolle der Zentrierung, der Intensität, der Homogenität und der Richtungsbündelung eines ionisierendenDevice to control the centering, the intensity, the homogeneity and the directional focus of an ionizing

StrahlungsbündelsRadiation beam

Zusatz 2U Patent.Addition 2U patent.

(Patentanmeldung P 24 02 898.6-33)(Patent application P 24 02 898.6-33)

Die Erfindung bezieht sich auf eine weitere Ausbildung einer Vorrichtung zur Kontrolle der Lage, der Intensität, der Homogenität und der Richtungsbündelung eines ionisierenden StrahlungsbündelsThe invention relates to a further embodiment of a device for controlling the position, the intensity and the homogeneity and the directional concentration of an ionizing radiation beam

gemäß dem Patent (Patentanmeldung P 24 02 898.6-33) undaccording to the patent (patent application P 24 02 898.6-33) and

betrifft insbesondere die in den Ionisationskammern der Vorrichtung angeordneten Ionenfangelektroden.relates in particular to those in the ionization chambers of the device arranged ion trap electrodes.

Gemäß der vorliegenden Erfindung ist eine Vorrichtung zurAccording to the present invention is an apparatus for

609834/0728609834/0728

Kontrolle der Lage, der Intensität, der Homogenität und der Richtungsbündelung eines ionisierenden Strahlungsbündels nachCheck the position, the intensity, the homogeneity and the directional focus of an ionizing radiation beam

Anspruch 1 des Patents (Patentanmeldung P 24 02 898.6-33),Claim 1 of the patent (patent application P 24 02 898.6-33),

mit wenigstens einer ersten und einer zweiten Ionisationskammer, welche mit einer ersten kreisförmigen Elektrode bzw. mit einer zweiten kreisförmigen Elektrode versehen sind, wobei zumindest eine dieser Elektroden mehrere elektrisch leitende und elektrisch voneinander isolierte Elemente aufweist, dadurch gekennzeichnet, daß die Fläche S der zweiten Elektrode kleiner ist als die Fläche S. der ersten Elektrode, wobei die Fläche S im wesentlichen gleich dem Querschnitt des Strahlungsbündels ist, daß die Elektroden mit Verarbeitungsschaltungen für dis von ihnen erfaßten elektrischen Signale verbunden sind und daß ein durch die Verarbeitungsschaltungen gesteuertes Sicherheitssystem die Strahlungsbündelquelle regelt.with at least a first and a second ionization chamber, which with a first circular electrode and with a second circular electrode are provided, at least one of these electrodes several electrically conductive and electrically having elements isolated from one another, characterized in that the area S of the second electrode is smaller than the area S. the first electrode, the area S being substantially equal to the cross section of the radiation beam that the electrodes with processing circuitry for the electrical detected by them Signals are connected and that a security system controlled by the processing circuits controls the radiation beam source regulates.

Weitere Merkmale und Vorteile der Erfindung ergeben sich aus der folgenden Beschreibung von Ausführungsbeispielen der Erfindung. In den Zeichnungen zeigen:Further features and advantages of the invention emerge from the following description of exemplary embodiments of the invention. In the drawings show:

Fig. t k eine mit zwei IonsisationskammernFig. T k one with two ionization chambers

versehene Kontrollvorrichtung nach der Erfindung,provided control device according to the invention,

Fig. 2 schematisch zwei Elektroden, wie sieFig. 2 schematically shows two electrodes as they

in diesen beiden Ionisationskammern gemäß der Erfindung verwendet werden,are used in these two ionization chambers according to the invention,

Fig. 3 zwei Beispiele für die Verteilung derFig. 3 shows two examples of the distribution of the

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Strahlungsintensität über einer diametralen Achse xx dieser Elektroden,Radiation intensity over a diametrical axis xx of these electrodes,

Fig. 4 schematisch eine diesen Elektroden zu4 schematically shows one of these electrodes

geordnete Komparatorschaltung,ordered comparator circuit,

die Fig. 5, 6, 7 schematisch drei weitere Ausfuhrungs5, 6, 7 schematically three further execution

beispiele einer Vorrichtung nach der Erfindung, undexamples of a device according to the invention, and

die Fig. 8, 9 und 10 ein Schaltbild von VerarbeitungsschalFigures 8, 9 and 10 are a circuit diagram of a processing circuit

tungen bzw. zwei Komparatorschaltungen, welche die Kontrolle der Lage, der Intensität, der Homogenität und der Richtungsbündelung eines ionisierenden Strahlungsbündels gestatten.lines or two comparator circuits, which control the location, the Allow intensity, homogeneity and directional focus of an ionizing radiation beam.

Fig. 1 zeigt ein erstes Ausführungsbeispiel von zwei in einer Kontrollvorrichtung nach der Erfindung verwendeten Ionisationskammern. Diese Ionisationskammern 1 und 2 enthalten zwei kreiförmige Elektroden E . bzw. E , welche , wie schematisch in Fig. 2 dargestellt, beispielsweise aus einem Rahmen C bestehen, der eine unter dem Warenzeichen "MYLAR" bekannte Folie aus Polyäthylenterephtalat trägt, auf die durch Aufdampfen im Vakuum eine dünne Metallschicht aufgebracht worden ist, die für das ionisierende Bündel durchlässig ist. Die Elektrode E . hat einen Durchmesser d , der im wesentlichen gleich dem Durchmesser des ionisierenden Bündels ist, während die Elektrode E einenFig. 1 shows a first embodiment of two ionization chambers used in a control device according to the invention. These ionization chambers 1 and 2 contain two circular electrodes E. or E, which, as shown schematically in Fig. 2, for example, consist of a frame C made of a film known under the trademark "MYLAR" Polyethylene terephthalate carries, on which a thin metal layer has been applied by vapor deposition in a vacuum, which for the ionizing bundle is permeable. The electrode E. has a diameter d which is substantially equal to the diameter of the ionizing beam, while the electrode E is a

609834/0728609834/0728

-A--A-

Durchmesse d hat, der kleiner als der Durchmesser d ist.
Für ihre Flächen S bzw. S gilt:
Has diameter d which is smaller than diameter d.
The following applies to their areas S and S:

3OI > SO2 3 OI > S O2

Im Betrieb sind die ionisierenden Flüsse 0 und 0 , welche die Elektroden E . bzw. E durchqueren, proportional zu den Strömen V>1 unc* ^no* ^e von ^en ^e^troden E . und E erfaßt werden. Wenn der Fluß homogen ist, ist die GleichungIn operation, the ionizing flows are 0 and 0 , which the electrodes E. or cross E, proportional to the currents V> 1 unc * ^ no * ^ e of ^ en ^ e ^ troden E. and E are detected. If the flow is homogeneous, the equation is

0 =_°1_ 0 2 (1)0 = _ ° 1_ 0 2 (1)

1 ^ 1 ^

und entsprechendand accordingly

1Oi " -sj- 1O2 1 Oi "-sj- 1 O 2

erfüllt.Fulfills.

Die Kurve (a) in Fig. 3 zeigt die Änderung des Stroms I
(des Flusses 0ni) über einer zu der Elektrode E . diametralen Achse xx für ein Strahlungsbündel, das homogen und passend
zentriert ist, während die Kurve (b) in Fig. 3 die Änderung des Stroms I . über dieser Elektrode E zeigt, wenn das Strahlungsbündel inhomogen ist (das Bündel ist in der Mitte dichter als an der Peripherie). Die Ströme I und I sind dann nicht mehr proportional zu den Flächen S und S der Elektroden E
und E und die Gleichung (2) ist ersetzt durch:
The curve (a) in FIG. 3 shows the change in the current I
(of the flow 0 ni ) over one to the electrode E. diametrical axis xx for a radiation beam that is homogeneous and fitting
is centered, while curve (b) in FIG. 3 shows the change in current I. above this electrode E shows when the radiation beam is inhomogeneous (the beam is denser in the center than at the periphery). The currents I and I are then no longer proportional to the areas S and S of the electrodes E.
and E and equation (2) is replaced by:

(3)(3)

Eine Schaltung (Fig. 4), welche zwei Komparatoren C und CA circuit (Fig. 4) which has two comparators C and C

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■" O ™"■ "O ™"

enthält, gestattet, die den auf den Elektroden E und E gewonnenen Strömen I und I entsprechenden Spannungen V . und V miteinander zu vergleichen und das Sicherheitssystem S auszulösen, wenn gilt:
s
contains the voltages V corresponding to the currents I and I obtained on electrodes E and E. and V to be compared with each other and the safety system S to be triggered if:
s

VO2 > V Schwelle V O2 > V threshold

wobei V_, . ,, eine Sch well enspannung mit vorbestimmtem Schwellewhere V_,. ,, a threshold relaxation with a predetermined threshold

Wert ist, der von den Betriebsvorschriften oder den Kenndaten der Bestrahlungsvorrichtung abhängig ist.Is a value that depends on the operating rules or the characteristics of the irradiation device.

Die Ionisationskammern 1 und 2, die die Kontrolle der Intensität, der Homogenität und der Richtungsbündelung des Strahlungsbündels gestatten, können einer weiteren Ionisationskammer (in Fig. 1 nicht dargestellt) zugeordnet sein, welche beispielsweise mit Senden versehen ist oder eine unterteilte Elektrode bekannter Art aufweist, die die Kontrolle der Zentrierung des Bündels gestattet. In einem zweiten Ausführungsbeispiel enthält die Vorrichtung nach der Erfindung zwei Ionisationskammern, die mit zwei unterteilten kreisförmigen Elektroden E bzw. E versehen sind, welche in Fig. 5 schematisch dargestellt sind. Zwei isolierende Streifen S und 4, die beispielsweise aus der nicht mit einem Metallüberzug versehenen Polyäthylenterephtalat-Folie gebildet sind, trennen die Elektrode E. diametral in zwei Elemente e und e und die Elektrode E in zwei weitere Elemente e und e (Fig. 5), wobei dieseThe ionization chambers 1 and 2, which allow the intensity, the homogeneity and the directional focus of the radiation beam to be controlled, can be assigned to a further ionization chamber (not shown in FIG. 1), which is for example provided with transmission or has a subdivided electrode of a known type, which allows the centering of the bundle to be checked. In a second embodiment, the device according to the invention contains two ionization chambers which are provided with two subdivided circular electrodes E and E, which are shown schematically in FIG. Two insulating strips S and 4, which are formed, for example, from the polyethylene terephthalate film which is not provided with a metal coating, separate the electrode E. diametrically into two elements e and e and the electrode E into two further elements e and e (Fig. 5) , where these

21 22 v J 21 22 v J

isolierenden Streifen 3 und 4 unter einem Winkel von 90 zueinander angeordnet sind. Die Elektrode E. hat e ine Fläche S , die im wesentlichen gleich dem Querschnitt des ionisierenden Bündels ist, während die Elektrode E eine kleinere Fläche S hat.insulating strips 3 and 4 at an angle of 90 to each other are arranged. The electrode E. has an area S which is substantially equal to the cross-section of the ionizing beam, while the electrode E has a smaller area S.

60983^/072860983 ^ / 0728

Im Betrieb erfassen die Elemente e, , e und e , e der Elektroden E und E die Ströme I11, i1o bzw. i , i . Die ionisierenden Strahlungsflüsse 0 und 0 , die die Elektroden E bzw. E durchqueren, sind zu den Strömen I = i . + i und I = i . + i proportional, welche von den Elektroden E und E erfaßt werden. Wenn der Fluß homogen ist, ist die Gleichung During operation, the elements e,, e and e, e of the electrodes E and E detect the currents I 11 , i 1o and i, i, respectively. The ionizing radiation fluxes 0 and 0, which pass through the electrodes E and E, respectively, correspond to the currents I = i. + i and I = i. + i proportional, which are detected by the electrodes E and E. If the flow is homogeneous, the equation is

das heißt: ,That means: ,

erfüllt.Fulfills.

Im Betrieb, wenn man den ungünstigsten Fall eines Strahlungsbündels betrachtet, das dezentriert und inhomogen ist und eine Dezentrierung Ad auf der Achse des isolierenden Streifens 3 der Elektrode E aufweist, wobei für die Dezentrierung gilt:In operation, if you consider the worst case of a radiation beam that is decentered and inhomogeneous and one Has decentration Ad on the axis of the insulating strip 3 of the electrode E, where the following applies to the decentration:

Ad < (5)Ad <(5)

und wobei d und d die Durchmesser der Elektroden E bzw. E sind, ergibt der Vergleich der gewonnenen Ströme I und I folgende Informationen.and where d and d are the diameters of the electrodes E and E is a comparison of the currents I and I obtained following informations.

Ίι = S2Ίι = S2

I21 > i22 C8)I 21 > i 22 C8)

Die Ungleichungen (6) und (8) lösen dann den Betrieb einesInequalities (6) and (8) then solve the operation of a

609834/0728609834/0728

Alarm- oder Sicherheitssystems aus, welches das Strahlungsbündel abschaltet. Alarm or security system, which switches off the radiation beam.

In dem Fall eines Strahlungsbündels, das homogen, aber dezentriert ist, erhält man:In the case of a radiation beam that is homogeneous but decentered, one obtains:

1II = S 2 (9) 1 II = S 2 (9)

i21 = i22 (10)i 21 = i 22 (10)

1^s2- l2 CiD 1 ^ s 2 - l 2 CiD

Die Ungleichung (11) löst den Betrieb des Sicherheitssystems aus, welches das Aussenden des Strahlungsbündels unterbricht.Inequality (11) triggers the operation of the security system, which interrupts the emission of the radiation beam.

Es ist jedoch anzumerken, daß ein zentriertes und inhomogenes Bündel an dem Ausgang der Kontrollschaltungen Beziehungen liefert, die mit den Beziehungen (9), (10) und (11) identisch sind. Die Ungleichung (11) löst, wie in dem vorhergehenden Fall, den Betrieb des Sicherheitssystems und die Unterbrechung der Aussendung des Strahlungsbündels aus. In dem vorstehend beschriebenen Ausführungsbeispiel ist somit die Betriebssicherheit zwar gewährleistet, es gibt jedoch keine Anzeige über den Fehler, den das Strahlungsbündel aufweist.It should be noted, however, that a centered and inhomogeneous bundle at the output of the control circuits is related which are identical to the relationships (9), (10) and (11). As in the previous case, inequality (11) solves the operation of the security system and the interruption of the emission of the radiation beam. In the above described embodiment, the operational safety is guaranteed, but there is no display about the Defect exhibited by the radiation beam.

In zwei weiteren bevorzugten Ausführungsbeispielen (Fig. 6 und T) werden die Fehler, die das Bündel aufweist, sichtbar gemacht.In two further preferred exemplary embodiments (FIGS. 6 and T) the defects which the bundle has are made visible.

Fig. 6 zeigt schematisch zwei Elektroden E und E , die in der Vorrichtung nach der Erfindung verwendet werden.Fig. 6 shows schematically two electrodes E and E which are used in the device according to the invention.

609834/0728609834/0728

Die Elektrode E hat vier Elemente e , e , e und e ; 3 31 32' 33 34'The electrode E has four elements e, e, e and e; 3 31 32 '33 34'

die Elektrode E enthält ein einziges Element e . 4 =4the electrode E contains a single element e. 4 = 4

Im Betrieb gestattet die Messung des Stroms I_ = I0. + i + ioo + i die Kontrolle des Flusses 0, d.h. derDuring operation, the measurement of the current allows I_ = I 0 . + i + i oo + i the control of the flow 0, ie the

ο öl o2 oc> o4ο oil o2 oc> o4

Bestrahlungsdosis, die zu dem Strom I proportional ist, wobeiIrradiation dose proportional to the current I, where

dieser Fluß 0 auch durch die zweite Ionisationskammer kontrolliert wird, welche einen Strom I= (S VS^ I liefert. Außerdem:this flow 0 is also controlled by the second ionization chamber which supplies a current I = (S VS ^ I. In addition:

4 v 4 3r 34 v 4 3r 3

- die Zentrierung des Bündels ist erreicht, wenn gilt:- the bundle is centered when:

i~ = ^O2 = So = 1O4 (12)i ~ = ^ O 2 = So = 1 O 4 (12)

Ol »y (J(J O^rOl » y (J (JO ^ r

- die Homogenität des Bündels ist zufriedenstellend, wenn gilt:- the homogeneity of the bundle is satisfactory if:

wobei k ein Koeffizient in der Nähe von 1 ist, der die vorgeschriebenen Sicherheitsnormen berücksichtigt.where k is a coefficient close to 1 that is prescribed Safety standards taken into account.

Wenn das Bestrahlungsbündel ein Abtastbündel ist, kann die Kontrolle der Zentrierung dieses Bündels erreicht werden, indem der Ionisationskammer, die beispielsweise mit der Elektrode EIf the radiation beam is a scanning beam, control of the centering of this beam can be achieved by the ionization chamber, for example with the electrode E

mit vier Elementen e , e , e , e versehen ist, eine Zentriervorrichtung zugeordnet wird, wie sie beispielsweise in der deutschen Patentanmeldung P 25 25 406.2 vorgeschlagen ist, wobei diese Zentriervorrichtung auch zwei Elektroden zugeordnet sein kann, wie etwa den Elektroden E und E mit jeweils zwei Elementen, oder besser den beiden Elektroden E und E einer Kontrollvoi—is provided with four elements e, e, e, e, a centering device is assigned, as proposed for example in German patent application P 25 25 406.2, this Centering device can also be assigned to two electrodes, such as electrodes E and E each with two elements, or better the two electrodes E and E of a control voi—

5 65 6

richtung gemäß der vorliegenden Erfindung, wie sie in Fig. 7direction according to the present invention, as shown in FIG

609834/0728609834/0728

dargestellt ist. Dieses Ausfuhrungsbeispiel enthält drei Ionisationskammern 5, 6 und 7. Die Elektroden E und E habenis shown. This exemplary embodiment contains three ionization chambers 5, 6 and 7. Electrodes E and E have

5 D5 D

im wesentlichen den gleichen Durchmesser wie das Strahlungsbündel und enthalten jeweils zwei Elemente e , e__ bzw. e_ , essentially the same diameter as the radiation beam and each contain two elements e, e__ and e_,

51 52 6151 52 61

e . Die Elektrode E , die einen kleineren Durchmesser hat, ist mit einem einzigen Element e versehen.e. The electrode E, which has a smaller diameter, is provided with a single element e.

Die Elemente e , e der Elektrode E , die Elemente e , Ol 5<^ ο öl The elements e, e of the electrode E, the elements e, Ol 5 <^ ο oil

e der Elektrode E und das Element e der Elektrode Ee of the electrode E and the element e of the electrode E.

erfassen Ströme i , i bzw. i , i bzw. ιοί O2 01 6c 7detect currents i, i or i, i or ιοί O2 01 6c 7

In dem Fall eines inhomogenen Bündels, das beispielsweise durch das Fehlen eines Ausgleichfilters oder durch einen Fehler der Ablenkung des Bestrahlungsbündels hervorgerufen wird, erhält man die Beziehungen:In the case of an inhomogeneous bundle, caused for example by the lack of a compensation filter or by a The following relationships are obtained:

V > k+ WV> k c « + W

die ein Sicherheitssystem auslösen, welches den Betrieb der Quelle des Bestrahlungsbündels unterbricht.which trigger a safety system which interrupts the operation of the source of the radiation beam.

Fig. 8 zeigt schematisch ein Ausführungsbeispiel der Schaltungen zur Verarbeitung der Signale, die durch die Elektroden E_, E^Fig. 8 shows schematically an embodiment of the circuits for processing the signals generated by the electrodes E_, E ^

5 ο5 ο

und E gewonnen werden. Verstärker A . , A liefern Spannungen, 7 51 52and E can be obtained. Amplifier A. , A supply voltages, 7 51 52

die zu den Strömen i , i proportional sind. Der Operationsverstärker A liefert eine Spannung V__, die zu der Summe S5 S5which are proportional to the currents i, i. The operational amplifier A supplies a voltage V__, which leads to the sum S5 S5

der Ströme i + i proportional ist. Der veränderliche Wideröl o2is proportional to the currents i + i. The changeable oil o2

stand R gestattet« den gemessenen Wert so zu eichen, daß diese 51The position R allows «to calibrate the measured value in such a way that this 51

Summe die durch die Kammer 5 gemessene DosisleistungSum of the dose rate measured by the chamber 5

609834/0728609834/0728

- to -- to -

für einen gegebenen Maßstab darstellt.represents for a given scale.

Der Operationsverstärker A__ liefert eine Spannung V_ dieThe operational amplifier A__ supplies a voltage V_ die

Do Do,Thu Thu,

zu der Differenz der Ströme i - i proportional ist. Ein veränderlicher Widerstand R gestattet, eine geringe Un-is proportional to the difference in the currents i - i. A variable resistance R allows a small un-

symmetrie zu beseitigen, die zwischen den beiden Elementen e und e der Elektrode E vorhanden sein kann. Die gleicheneliminate symmetry that may exist between the two elements e and e of electrode E. The same

Ol O& OOl O & O

Elemente sind bei der sich auf die Elektrode E beziehenden Verarbeitungsschaltung mit den entsprechenden Indices bezeichnet. Der Verstärker A gibt eine Spannung V ab, die zu dem durch die Elektrode E gewonnenen Strom i und somit zu der Dosisleistung proportional ist.Elements are related to the electrode E. Processing circuit designated with the appropriate indices. The amplifier A outputs a voltage V that corresponds to the The current i obtained by the electrode E and is therefore proportional to the dose rate.

Die Spannungen V_,_ bzw. V__ bzw. V_ werden an Fehlerer-The voltages V _, _ or V__ or V_ are sent to the error

So So 7Sun Sun 7

fassungsschaltungen angelegt, welche Komparatoren C , C ; C , C ; C , C enthalten, wie in Fig. 9 gezeigt. Wider-sense circuits applied, which comparators C, C; C, C; C, C as shown in FIG. Contrary-

ι O ι 4 r O r"^Oι O ι 4 r O r "^ O

stände R bis R gestatten das Einstellen der Werte der an die Komparatoren angelegten Signale zur Berücksichtigung mechanischer Ungenauigkeiten bei der Herstellung.Stands R to R allow the values of the to be set Signals applied to comparators to take into account mechanical inaccuracies during manufacture.

Da die Fläche ,der Elektrode E größer ist als die Fläche derSince the area of the electrode E is larger than the area of the

Elektrode E , ist die Spannung V größer als die Spannung V , 7 boElectrode E, the voltage V is greater than the voltage V, 7 bo

und zwar in einem Verhältnis S /S der Flächen S und S der namely in a ratio S / S of the areas S and S of the

7 5 7 57 5 7 5

Elektroden E und E . Die Widerstände R , R und R werden so gewählt, daß die Spannung V folgende doppelte Ungleichung erfüllt:Electrodes E and E. The resistors R, R and R will be chosen so that the voltage V satisfies the following double inequality:

R1 R2 " R3 R 1 R 2 " R 3

V < V < VV <V <V

+ R3 S5 '7 R1 + R2 + Rg S5+ R 3 S5 '7 R 1 + R 2 + R g S5

6O983A/07286O983A / 0728

Wenn diese doppette Ungleichung nicht erfüllt ist, liefert der Komparator C . oder C (je nach der erhaltenen Ungleichung) eine positive Ausgangsspannung, die das Sicherheitssystem S oder ein Signal auslöst.If this double inequality is not satisfied, the comparator supplies C. or C (depending on the obtained inequality) a positive output voltage that triggers the safety system S or a signal.

Die Komparatoren C und C lösen das Sicherheitssystem S aus, wenn die Dosisleistung einen vorbestimmten WertThe comparators C and C solve the safety system S off when the dose rate has a predetermined value

V überschreitet, während die Komparatoren C^ und C1^V exceeds while the comparators C ^ and C 1 ^

max ' P5 P6max 'P5 P6

das Sicherheitssystem auslösen, wenn eine Ungleichheit zwischen den Spannungen V und V und somit zwischen den durch diethe safety system will trigger if there is an imbalance between the voltages V and V and thus between the through the

Elektroden E und E gemessenen Dosisleistungen besteht, ο ο Electrodes E and E measured dose rates, ο ο

In einem in Fig. 10 dargestellten weiteren AusfuhrungsbeispieL werden die durch die Elemente der Elektroden E , E und EIn a further exemplary embodiment shown in FIG are those by the elements of electrodes E, E and E.

oooo

gewonnenen Ströme einer Anordnung zugeführt, die aus einem Multiplexer M und aus einem Analog/Digital -Wandler C besteht, der mit einem Rechner C verbunden ist. Diese Anordnung führt die Überprüfungen der oben angegebenen Bedingungen aus und steuert ein Sicherheitssystem S , welches das Abschalten der Bestrahlungsbündelquelle gestattet, wenn diese Bedingungen nicht erfüllt sind.The currents obtained are fed to an arrangement consisting of a multiplexer M and an analog / digital converter C, which is connected to a computer C. This arrangement carries out the checks of the above conditions and controls a safety system S which allows the radiation beam source to be switched off if these conditions occur are not met.

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Claims (6)

Patentansprüche:Patent claims: ί 1 Vorrichtung zur Kontrolle der Lage, der Intensität, der Homogenität und der Richtungsbündelung eines ionisierenden ί 1 .ι device to control the position, the intensity, the homogeneity and the directional focus of an ionizing Strahlungsbündels nach Anspruch 1 des Patents Radiation beam according to claim 1 of the patent (Patentanmeldung P 24 02 898.6-33), mit wenigstens einer ersten und einer zweiten Ionisationskammer, die mit einer(Patent application P 24 02 898.6-33), with at least a first and a second ionization chamber with a , ersten bzw. mit einer zweiten kreisförmigen Elektrode versehen sind, wobei zumindest eine dieser Elektroden mehrere elektrisch leitende und elektrisch voneinander isolierte Elemente aufweist, dadurch gekennzeichnet, daß die Fläche S der zweiten Elektrode kleiner ist als die Fläche S der ersten Elektrode, wobei die Fläche S im wesentlichen gleich dem Querschnitt des Strahlungsbündels ist, daß die Elektroden mit Verarbeitungsschaltungen für die von ihnen erfaßten elektrischen Signale verbunden sind und daß ein durch die Verarbeitungsschaltungen gesteuertes Sicherheitssystem die Quelle des Strahlungsbündels regelt., first or with a second circular electrode are, at least one of these electrodes having a plurality of electrically conductive and electrically isolated elements characterized in that the area S of the second electrode is smaller than the area S of the first electrode, the area S being substantially equal to the cross-section of the radiation beam that the electrodes are connected to processing circuits for the electrical signals detected by them and that a safety system controlled by the processing circuits regulates the source of the radiation beam. 2. Vorrichtung nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, daß die beiden Elektroden jeweils zwei halbkreisförmige Elemente aufweisen, die durch einen elektrisch isolierenden diametralen Streifen voneinander getrennt sind, wobei der isolierende Streifen der ersten Elektrode orthogonal zu dem isolierenden Streifen der zweiten Elektrode angeordnet ist.2. Apparatus according to claim 1, characterized in that the two electrodes each have two semicircular elements which are separated from one another by an electrically insulating diametrical strip, the insulating strip of the first electrode is arranged orthogonally to the insulating strip of the second electrode. 3. Vorrichtung nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, daß die Elektrode mit größerer Abmessung in vier Elemente unterteilt ist, welche im wesentlichen die Form eines Viertelkreises3. Apparatus according to claim 1, characterized in that the larger-sized electrode is divided into four elements is which is essentially the shape of a quarter circle 609834/0728609834/0728 haben, und daß die andere Elektrode aus einem einzigen Element gebildet ist.and that the other electrode is formed of a single element. 4. Vorrichtung nach Anspruch 1 , gekennzeichnet durch drei Ionisationskammern, welche mit einer ersten Elektrode bzw. mit einer zweiten Elektrode versehen sind, die gleiche Abmessung haben und jeweils aus zwei halbkreisförmigen Elementen bestehen, welche durch einen elektrisch isolierenden diametralen Streifen voneinander getrennt sind, wobei der isolierende Streifen der ersten Elektrode orthogonal zu dem isolierenden Streifen der zweiten Elektrode angeordnet ist, bzw. welche mit einer dritten Elektrode versehen sind, deren Abmessung kleiner ist und die aus einem einzigen Element besteht.4. Apparatus according to claim 1, characterized by three ionization chambers which are provided with a first electrode or are provided with a second electrode, have the same dimensions and each consist of two semicircular elements, which are separated from one another by an electrically insulating diametrical strip, the insulating strip of first electrode is arranged orthogonally to the insulating strip of the second electrode, or which with a third Electrode are provided, the size of which is smaller and which consists of a single element. 5. Vorrichtung nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, daß jede Verarbeitungsschaltung für die von den Elementen jeder Elektrode gelieferten Signale5. Apparatus according to claim 1, characterized in that each processing circuit for the signals supplied by the elements of each electrode - einer Komparatorschaltung, welche für jede Elektrode den Vei— gleich der Summe und der Differenz der von ihren Elementen gelieferten Signale mit vorbestimmten Schwellenwerten gestattet, und- a comparator circuit, which for each electrode the Ve- equal to the sum and the difference of the signals supplied by their elements with predetermined threshold values, and — einem Sicherheitssystem, welches das Abschalten der Strahlungsquelle gestattet, wenn die gemessenen Signale Werte haben, die sich von den Schwellenwerten unterscheiden, zugeordnet ist.- a safety system that switches off the radiation source permitted if the measured signals have values that differ from the threshold values, assigned. 6. Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß Komparatoren gestatten, gleichzeitig das von der Elektrode mit der kleinsten Abmessung gelieferte Signal mit der Summe der von den Elementen der einen und der anderen Ionisationskammer gelieferten Signale zu vergleichen.6. Apparatus according to claim 4, characterized in that comparators allow the same time that of the electrode of the smallest dimension delivered signal with the sum of the delivered by the elements of one and the other ionization chamber Compare signals. 609834/0728609834/0728 LeerseiteBlank page
DE19762604672 1975-02-07 1976-02-06 Device for checking the homogeneity of the radial intensity distribution of an ionizing radiation beam Expired DE2604672C2 (en)

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
NL7804037A (en) * 1978-04-17 1979-10-19 Philips Nv ELECTRONIC MICROSKOP WITH UNDIFFERENTIATED PHASE IMAGE.
US4347547A (en) * 1980-05-22 1982-08-31 Siemens Medical Laboratories, Inc. Energy interlock system for a linear accelerator
GB8415709D0 (en) * 1984-06-20 1984-07-25 Dubilier Scient Ltd Scanning microscope
JPH0610001U (en) * 1992-07-14 1994-02-08 正雄 宮前 Trolley

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2218237A1 (en) * 1971-04-16 1972-11-02 Thomson-Csf, Paris Security system for an irradiation device
DE2402898A1 (en) * 1973-01-26 1974-08-01 Cgr Mev DEVICE FOR CONTROLLING THE CENTERING, THE INTENSITY, THE HOMOGENITY AND THE DIRECTION OF AN IONIZING RADIATION BEAM

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2218237A1 (en) * 1971-04-16 1972-11-02 Thomson-Csf, Paris Security system for an irradiation device
DE2402898A1 (en) * 1973-01-26 1974-08-01 Cgr Mev DEVICE FOR CONTROLLING THE CENTERING, THE INTENSITY, THE HOMOGENITY AND THE DIRECTION OF AN IONIZING RADIATION BEAM

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