DE2549848B2 - - Google Patents

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DE2549848B2
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Charles Antibes Maerfeld
Pierre Cagnes-Sur-Mer Tournois
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Description

dadurch gekennzeichnet, daß die Vorrichtung außerdem Einrichtungen zum Lesen der Information enthält, die aus zweiten Einrichtungen (2, 3) bestehen zum Anregen eines zweiten elektromagnetischen Feldes quer durch das Substrat (1), wobei das zweite elektromagnetische Feld an Wechselwirkung mit den Bereichen tritt, um zum Lesen eine zweite elastische Welle (P) mit denselben Kenndaten wie die erste elastische Welle (S) zu erzeugen, die sich aber in umgekehrter Richtung 5:u dem Wandler (5) hin fortpflanztcharacterized in that the device also includes means for reading the information, which consist of second means (2, 3) for exciting a second electromagnetic field across the substrate (1), the second electromagnetic field interacting with the areas, to generate a second elastic wave (P) for reading with the same characteristics as the first elastic wave (S) , but which propagates in the opposite direction 5: u to the transducer (5)

2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die ersten Anregungseinrichtungen zwei Elektroden (2, 3) enthalten, die beiderseits des Substrats (1) angebracht sind, wobei wenigstens eine der Elektroden von dem Substrat durch eine Isolierschicht (4) getrennt ist und wobei an die Elektroden ein impulsförrr.iges elektrisches Signal (P) mit derselben Kreisfrequenz wie dia elastische Welle ^angelegt wird. ·2. Device according to claim 1, characterized in that the first excitation devices contain two electrodes (2, 3) which are attached to both sides of the substrate (1), at least one of the electrodes being separated from the substrate by an insulating layer (4) and a pulsed electrical signal (P) with the same angular frequency as the elastic wave ^ is applied to the electrodes. ·

3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die ersten Einrichtungen (2, 3) zum Anregen eines ersten elektromagnetischen Feldes und die zweiten Einrichtungen (2, 3) zum Anregen eines zweiten elektromagnetischen Feldes identisch sind.3. Apparatus according to claim 1 or 2, characterized in that the first devices (2, 3) for exciting a first electromagnetic field and the second devices (2, 3) for Exciting a second electromagnetic field are identical.

4. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Wandler (5) elastische Oberflächenwellen aussendet.4. Device according to one of claims 1 to 3, characterized in that the converter (5) emits elastic surface waves.

5. Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß es sich bei dem Wandler (5) um einen Wandlertyp mit interdigital angeordneten Kämmen (51, 52) handelt, welche ungeradlinige parallele Zinken (53) haben.5. Apparatus according to claim 4, characterized in that the transducer (5) is one Converter type with interdigitally arranged combs (51, 52), which are odd, parallel Have tines (53).

6. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Wandler (50) elastische Volumenwellen aussendet.6. Device according to one of claims 1 to 3, characterized in that the converter (50) emits elastic bulk waves.

7. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß der Wandler (50) Elektroden (54, 56) mit nichtebenen Oberflächen enthält.7. Apparatus according to claim 6, characterized in that the transducer (50) electrodes (54, 56) with non-planar surfaces.

8. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß die elastische Lesewelle (P) einer Wechselwirkung mit einer dritten elastischen Welle zum Einschreiben ausgesetzt ist, b5 die durch denselben Wandler (5) und mit der gleichen Kreisfrequenz wie die erste elastische Welle erzeugt wird, wobei durch diese Wechselwirkung zweite Bereiche erzeugt werden, die mit Hilfe der Festlegungseinrichtungen festgehalten werden.8. Device according to one of claims 1 to 7, characterized in that the elastic reading wave (P) is exposed to an interaction with a third elastic wave for writing, b5 by the same transducer (5) and with the same angular frequency as the first elastic Wave is generated, whereby second areas are generated by this interaction, which are held with the help of the fixing devices.

9. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1,4, 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Einrichtungen zum Festlegen der Bereiche aus einer dielektrischen Schicht (41) bestehen, die gegenüber der den Wandler (5) tragenden Oberfläche des Substrats (1) und ohne Berührung mit der Oberfläche angeordnet ist und nacheinander mit wenigstens einer Halbleiterschicht (42) und einer mit einem äußeren Vorspannungspotential verbundenen metallischen Schicht (43) bedeckt ist9. Device according to one of claims 1,4, 5, characterized in that the devices for Defining the areas consist of a dielectric layer (41) opposite the Transducer (5) bearing surface of the substrate (1) and arranged without contact with the surface is and successively with at least one semiconductor layer (42) and one with an outer Bias potential connected metallic layer (43) is covered

10. Vorrichtung nach den Ansprüchen 2 und 9, dadurch gekennzeichnet, daß eine (3) der Elektroden mittels eines elektrischen Isolators (44) auf die metallische Schicht (43) aufgebracht ist10. Device according to claims 2 and 9, characterized in that one (3) of the electrodes is applied to the metallic layer (43) by means of an electrical insulator (44)

11. Vorrichtung nach Anspruch 9. dadurch gekennzeichnet, daß sie außerdem eine zweite Halbleiterschicht, deren Leitfähigkeit sich von der der ersten Halbleiterschicht (42) unterscheidet enthält die zwischen der ersten Schicht (41) und der metallischen Schicht (43) angeordnet ist11. The device according to claim 9, characterized characterized in that they also have a second semiconductor layer, the conductivity of which is different from the the first semiconductor layer (42) differentiates between the first layer (41) and the metallic layer (43) is arranged

12. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet daß die Einrichtungen zum Festlegen der Bereiche durch das aus piezoelektrischer Keramik hergestellte Substrat (1) gebildet sind, wobei die Festlegung durch ferroelektrischen Effekte: folgt.12. Device according to one of claims 1 to 8, characterized in that the means for defining the areas by the piezoelectric Ceramic-made substrate (1) are formed, the definition by ferroelectric Effects: follows.

13. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Einrichtungen zum Festlegen der Bereiche durch das aus Cadmiumsulfid hergestellte Substrat (1) gebildet sind, wobei die Festlegung durch einen Fangstelleneffekt für die Ladungsträger erfolgt.13. Device according to one of claims 1 to 8, characterized in that the means for defining the areas are made of cadmium sulfide produced substrate (1) are formed, the definition by a trap effect for the Load carrier takes place.

14. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Festiegungseinrichtungen durch das Substrat (1) gebildet sind, welches aus Keramik vom Yttrium-Aluminium-Granat- oder Yttrium-Eisen-Granat-Typ hergestellt ist, wobei die Festlegung durch magnetoelastischen Effekt erfolgt.14. Device according to one of claims 1 to 8, characterized in that the fastening devices are formed by the substrate (1), which is made of ceramics of the yttrium-aluminum-garnet or yttrium-iron-garnet type, whereby the fixing takes place through the magnetoelastic effect.

15. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 14, dadurch gekennzeichnet, daß sie mehrere unabhängige elektromechanische Wandler (5; 50) enthält.15. Device according to one of claims 1 to 14, characterized in that there are several contains independent electromechanical transducers (5; 50).

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung der im Oberbegriff des Patentanspruchs 1 angegebenen Art zur Informationsspeicherung unter Verwendung von elastischen Wellen.The invention relates to a device of the type specified in the preamble of claim 1 for information storage using elastic waves.

Es sind bereits verschiedene Vorrichtungen vorgeschlagen worden, bei welchen die Wechselwirkungen zwischen elastischen Wellen, d. h. zwischen Druck- oder Scherschwingungsbewegungen unterschiedlicher Frequenzen zum Zwecke der Amplituden- und Frequenzanalyse von optischen oder elektrischen Bildern, die in elastische Wellen umgewandelt worden sind, ausgenutzt werden, bei welchen aber ohne Speichereffekt gearbeitet wird. Beispiele dieser Vorrichtungen sind insbesondere in den deutschen Patentanmeldungen P 24 51 590.9 und P 25 13 166.2 beschrieben.Various devices have been proposed in which the interactions between elastic waves, d. H. between pressure or shear vibration movements of different frequencies for the purpose of amplitude and frequency analysis of optical or electrical images that are stored in elastic waves have been converted, are exploited, but which worked without a memory effect will. Examples of these devices are in particular in German patent applications P 24 51 590.9 and P 25 13 166.2.

Weiter ist eine mit mechanischen Spannungswellen arbeitende magnetische Speichervorrichtung bekannt (DE-AS 14 74 455), die ein Magnetmaterial enthält. Eine elastische Welle oder Schallwelle ändert bekanntlich dieA magnetic storage device using mechanical stress waves is also known (DE-AS 14 74 455), which contains a magnetic material. It is well known that an elastic wave or sound wave changes them

magnetischen Eigenschaften des Magnetmaterials. Das Einschreiben in dieses Material erfolgt durch die gleichzeitige Einwirkung eines elektrischen .Stromimpulses und einer elastischen Welle, deren Wirkungen sich addieren und den Materialzustand ändern, d. h. die Richtung des magnetischen Flusses umkehren. Die Amplitude des elektrischen Suomimpulses reicht allein, d. h. ohne die elastische Welle nicht aus, um den magnetischen Fluß umzukehren, während sie dort, wo das magnetische Material unter mechanischer Spannung steht, ii h. wo die elastische Welle vorhanden ist, zur Umkehrung des magnetischen Flusses ausreicht. Diese bekannte Speichervorrichtung kann nur binäre Signale speichern und benötigt für diesen Zweck eine Anzahl von diskreten Speicherelementen in Form von Stäben. In diese Stäbe werden die Bits seriell eingeschrieben. Jeder Stab besteht dabei aus drei Elementen, nämlich einem magnetischen Material, einem Material, das die elastischen Wellen leiten kann (z. B. Glas oder Quarz), und einem elektrischen Leiter, der den elektrischen Stromimpuls weiterleitetmagnetic properties of the magnet material. This material is registered by the Simultaneous action of an electrical current pulse and an elastic wave, their effects add up and change the state of the material, d. H. reverse the direction of the magnetic flux. the The amplitude of the electric Suom impulse is sufficient d. H. without the elastic wave does not work to reverse the magnetic flux while it is there where the magnetic material is under mechanical tension, ii h. where the elastic wave is present, sufficient to reverse the magnetic flux. This known memory device can only be binary Store signals and require a number of discrete storage elements in the form of Rods. The bits are written serially into these bars. Each staff consists of three Elements, namely a magnetic material, a material that can guide the elastic waves (e.g. glass or quartz), and an electrical conductor, which transmits the electrical current impulse

Aufgabe der Erfindung ist es, eine Vorrichtung der im Oberbegriff des Patentanspruchs 1 angegebenen Art so auszubilden, daß sie sowohl binäre als auch analoge Signale speichern kann, ohne dabei diskrete Speicherelemente zu benötigen.The object of the invention is to provide a device of the type specified in the preamble of claim 1 train that it can store both binary and analog signals without using discrete storage elements to need.

Diese Aufgabe wird gemäß der Erfindung durch die im Kennzeichen des Patentanspruchs 1 angegebenen Merkmale gelöstThis object is achieved according to the invention by the features indicated in the characterizing part of claim 1 Features solved

Die Speichervorrichtung nach der Erfindung arbeitet statt mit einem magnetischen Material mit einem piezoelektrischen Material, an dessen Oberfläche eine elastische Welle erzeugt wird, die ein zu speicherndes Signal darstellt, das binär oder analog sein kann. Dieses Signal wird aufgrund des Piezoeffekts durch mechanische Spannungen und ein elektrisches Potentialrelief ausgedrückt Es wird ein impulsförmiges elektromagnetisches Feld erzeugt das nichtlinear mit diesem Potential piezoelektrischen Ursprungs in Wechselwirkung tritt und eine von der Zeit unabhängige räumliche Verteilung des elektrischen Potentials, die von der Form der elastischen Welle unabhängig ist, während der gesamten Dauer der Wechselwirkung erzeugt. Die räumlich unterschiedenen, periodischen Bereiche, die am Ende der Wechselwirkung vorliegen, stellen die Information dar, die durch Modifizieren der physikalischen Eigenschaften, beispielsweise mit Hilfe von ferroelektrischen, Halbleiter- oder magnetoelastischen Effekten, des Ausbreitungsmediums der elastischen Wellen in diesen Bereichen gespeichert wird. Das Lesen der auf diese Weise gespeicherten Information erfolgt durch Emission eines elektromagnetischen Feldes in dem Substrat, wobei dieses Feld in nichtlinearer Weise mit den Bereichen in Wechselwirkung tritt, um die elastische Anfangswelle wiederzuerzeugen, die von dem Wandler, der sie ausgesandt hat, empfangen wird. Die Speichervorrichtung nach der Erfindung hat dabei den Vorteil, daß sie auch die Speicherung von analogen Signalen gestattet und keine langgestreckten Speicherelemente in Form von Stäben benötigt, sondern mit einem durchgehenden Medium völlig auskommt.The memory device according to the invention works with a instead of a magnetic material Piezoelectric material, on the surface of which an elastic wave is generated, which is to be stored Represents signal that can be binary or analog. This signal is due to the piezo effect by mechanical Expressed voltages and an electrical potential relief It becomes a pulse-shaped electromagnetic The field generates the non-linear interaction with this potential of piezoelectric origin occurs and a time-independent spatial distribution of the electrical potential that depends on the shape of the elastic wave is independent, generated during the entire duration of the interaction. the spatially different, periodic areas that are present at the end of the interaction represent the Information obtained by modifying the physical properties, for example with the help of ferroelectric, semiconductor or magnetoelastic effects, the medium of propagation is elastic Waves in these areas is stored. The information stored in this way is read by emitting an electromagnetic field in the substrate, this field being in a non-linear manner interacts with the areas to regenerate the initial elastic wave generated by the Converter who sent it is received. The memory device according to the invention has the Advantage that it also allows the storage of analog signals and no elongated storage elements in the form of rods, but gets along completely with a continuous medium.

Mehrere Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in den Zeichnungen dargestellt und werden im folgenden näher beschrieben. Es zeigtSeveral exemplary embodiments of the invention are illustrated in the drawings and are described below described in more detail. It shows

F i g. I das Schema einer Vorrichtung nach der Erfindung, bei welcher elastische Oberflächenwellen ausgenutzt werden, dieF i g. I the scheme of a device according to the invention, in which elastic surface waves be exploited that

Fig. 2 und 3 die Form der bei dem Betrieb der Vorrichtung nach der Erfindung benutzten elektrischen Signale,Figures 2 and 3 show the shape of the electrical used in the operation of the device according to the invention Signals,

F i g. 4 eine abgewandelte Ausführung eines Teils der Vorrichtung von Fig. 1,F i g. 4 shows a modified embodiment of part of the device from FIG. 1,

F i g. 5 eine Ausführungsform des Schemas von Fig.! undF i g. 5 shows an embodiment of the scheme of FIG. and

Fig.6 das Schema einer Vorrichtung nach der Erfindung, bei welcher elastische Volumenwellen ausgenutzt werden.6 shows the scheme of a device according to the Invention in which elastic bulk waves are used.

ίο In den verschiedenen Figuren beziehen sich gleiche Bezugszeichen auf gleiche Teile und die Vorrichtung und die Signale sind zur besseren Übersichtlichkeit der Zeichnung in einem willkürlichen und insgesamt vergrößerten Maßstab dargestellt worden.ίο In the different figures the same references Reference numerals to the same parts and the device and the signals are for better clarity of the Drawing has been shown on an arbitrary and overall enlarged scale.

In dem Schema von Fig. 1 sind dargestellt: ein piezoelektrisches Substrat 1, beispielsweise in Form eines Plättchens, an dessen Oberfläche sich elastische Wellen ausbreiten können; mehrere elektromechanische Wandler, wie etwa der Wandler 5, die auf die Oberfläche des Substrats 1 aufgebracht sind; eine oder mehrere insgesamt mit der Bezugszahl 4 bezeichnete und aus einem Material, dessen Beschaffenheit und Aufgabe weiter unten näher erläutert werden, bestehende Schichten, die auf das Substrat 1 auf der Seite der Wandler 5 und um diese herum aufgebracht sind; Elektroden 2 und 3, welche die großen Seiten des Substrats 1 ganz oder teilweise bedecken, wobei öffnungen in der Elektrode 3 wie in der Schicht 4 an der Stelle der Wandler 5 vorgesehen sind. Die Elektroden 2 und 3 sind mit einem Generator 6 verbunden, der ein elektrisches Signal P erzeugt, dessen Form in F i g. 3 angegeben ist.The diagram of FIG. 1 shows: a piezoelectric substrate 1, for example in the form of a plate, on the surface of which elastic waves can propagate; a plurality of electromechanical transducers such as the transducer 5 applied to the surface of the substrate 1; one or more layers, denoted as a whole by the reference number 4 and made of a material, the nature and function of which will be explained in more detail below, which are applied to the substrate 1 on the side of the transducers 5 and around them; Electrodes 2 and 3 which completely or partially cover the large sides of the substrate 1, openings being provided in the electrode 3 as in the layer 4 at the location of the transducers 5. The electrodes 2 and 3 are connected to a generator 6 which generates an electrical signal P , the form of which is shown in FIG. 3 is specified.

Die Wandler 5 sind beispielsweise interdigital angeordnete Kämme. In dem Fall (in Fi g. 1 dargestellt),The transducers 5 are, for example, interdigitally arranged combs. In the case (shown in Fig. 1),

J5 in welchem die verschiedenen Schichten in zu der Ebene des Plättchens parallelen Ebenen isotrop sind, können diese Wandler mit einer beliebigen Orientierung auf der Oberfläche des Substrats angeordnet werden. Die Wandler 5 werden jeweils durch amplitudenmodulierte elektrische Signale S der Kreisfrequenz λ erregt. Ein Beispiel für ein solches Signal ist in F i g. 2 angegeben. Diese elektrischen Signale stellen die zu speichernde Information dar. Die auf diese Weise erregten Wandler erzeugen an der Oberfläche des Substrats 1 elastische Wellen, die sich derart ausbreiten, daß sie eine gewisse Zeit nach ihrer Aussendung im wesentlichen kreisförmige Flächen einnehmen, deren Zentrum in ihrem Ursprungswandler liegt.
Es ist anzumerken, daß die verschiedenen Wandler
J5 in which the various layers are isotropic in planes parallel to the plane of the wafer, these transducers can be arranged with any orientation on the surface of the substrate. The transducers 5 are each excited by amplitude-modulated electrical signals S of the angular frequency λ. An example of such a signal is shown in FIG. 2 specified. These electrical signals represent the information to be stored. The transducers excited in this way generate elastic waves on the surface of the substrate 1 which propagate in such a way that they occupy essentially circular surfaces a certain time after their transmission, the center of which is in their original transducer lies.
It should be noted that the various converters

so gleichzeitig erregt werden können und daß die vorgenannten Flächen sich überlappen und interferieren können, ohne daß sich eine nachteilige Auswirkung auf den korrekten Betrieb der Vorrichtung ergibt, wie es in der folgenden Beschreibung dargelegt ist.so can be excited at the same time and that the aforementioned surfaces overlap and interfere can without adversely affecting the correct operation of the device, such as is set out in the following description.

Zur Vereinfachung werden die von einem Wandler, wie etwa dem Wandler 5 ausgesandten elastischen Wellen mit 5 bezeichnet und durch das Paar («, It) For the sake of simplicity, the elastic waves emitted by a transducer, such as transducer 5, are denoted by 5 and are represented by the pair («, It)

gekennzeichnet, wobei k der der Wellenzahl k= - where k is the wave number k = -

bo zugeordnete Wellenvektor ist und wobei ν die Ausbreitungsgeschwindigkeit der elastischen Welle auf dem Substrat 1 ist.bo is associated wave vector and where ν is the speed of propagation of the elastic wave on the substrate 1.

Nach einer Zeit T, an deren Ende die von einem Signal 5 um seinen Ausgr.igswandler (beispielsweiseAfter a time T, at the end of which the signals from a signal 5 to its output converter (for example

fa5 den Wandler 5) herum eingenommene Fläche ausreichend groß ist, wird an die Elektroden 2 und 3 ein sehr kurzer Impuls P der Kreisfrequenz α angelegt. Die elektromagnetische Welle, die sich in dem SubstratIf the area occupied around the transducer 5) is sufficiently large, a very short pulse P of the angular frequency α is applied to the electrodes 2 and 3. The electromagnetic wave that is in the substrate

ausbreitet, wird — ebenfalls zur Vereinfachung — mit P bezeichnet und durch das Paar (a, O) gekennzeichnet, wobei das zweite Glied den Wellenvektor der Welle P darstellt, der ihrer Wellenzahl zugeordnet ist und gegenüber k als vernachlässigbar angesehen wird, da die Lichtgeschwindigkeit gegenüber der Ausbreitungsgeschwindigkeit vder elastischen Wellen sehr groß ist.spreads, is - also for the sake of simplicity - denoted by P and characterized by the pair (a, O), the second term representing the wave vector of the wave P , which is assigned to its wave number and is considered negligible compared to k , since the speed of light is compared to the velocity of propagation v of the elastic waves is very high.

Dieser Impuls erzeugt auf der gesamten Oberfläche des piezoelektrischen Substrats 1, die unter der Elektrode 3 liegt, ein elektrisches Feld, welches in nichtlinearer Weise mit dem Feld in Wechselwirkung tritt, das sich aufgrund des piezoelektrischen Effektes aus dem durch die elastische Welle 5 hervorgerufenen Raster von mechanischen Spannungen ergibt. Diese Wechselwirkung induziert Oberfiächenwellen, welche durch die Paare (Kreisfrequenz, Wellenvektor) gekennzeichnet werden können, die sich aus der Summe und der Differenz der Paare ergeben, die die in Wechselwirkung tretenden Wellen kennzeichnen. Man erhält so:This pulse generated on the entire surface of the piezoelectric substrate 1, which is below the Electrode 3 is an electric field which interacts in a non-linear manner with the field occurs, which is caused by the elastic wave 5 due to the piezoelectric effect Results grid of mechanical stresses. This interaction induces surface waves, which can be characterized by the pairs (angular frequency, wave vector), which result from the sum and the difference between the pairs that characterize the interacting waves. This is how you get:

(2a, t) (Q, t) (0, -t) (2a, t) (Q, t) (0, -t)

Die physikalische Interpretation dafür lautet:The physical interpretation for this is:

— der erste Fall entspricht der Bildung einer nichtfortschreitenden Schwingung (wobei k gleich- the first case corresponds to the formation of a non-progressive oscillation (where k is equal to

pst), d. h. einer Schwingung, die nur während derpst), d. H. a vibration that only occurs during the

Dauer der Wechselwirkung vorhanden ist, auf die Wechselwirkungszone begrenzt ist und sich zeitlich mit doppelter Kreisfrequenz 2oc der Signale 5und P ändert. Sie kann somit vernachlässigt werden.Duration of the interaction is present, is limited to the interaction zone and changes over time with double the angular frequency 2oc of the signals 5 and P. It can therefore be neglected.

— der zweite Fall entspricht einem Zustand von diskreten Potentialen, die von der Zeit unabhängig sind, mit dem Schritt 2nlk räumlich periodisch sind und während der Wechselwirkungsdauer der Signale S und P in der oben genannten Fläche um den Ausgangswandler des Signals 5 herum vorhanden sind;The second case corresponds to a state of discrete potentials which are independent of time, are spatially periodic with step 2nlk and are present during the interaction period of the signals S and P in the abovementioned area around the output transducer of the signal 5;

— der dritte Fall ist mit dem vorhergehenden identisch, denn man weiß, daß Jjei der hier verwendeten Schreibweise Paare (λ, Around ( — α, — k)d\e gleiche Oberflächenwelle darstellen, die sich in derselben Richtung :jusbreitet.- the third case is identical to the previous one, because we know that Jjei the notation used here pairs (λ, Around (- α, - k) d \ e represent the same surface wave, which propagates in the same direction: jus.

Es sind somit in dem zweiten Fall periodische und unterschiedene »Bereiche« erzielt worden, welche das Signal 5 darstellen. Weil sie nur während der Wechselwirkungsdauer vorhanden sind, ist es jedoch erforderlich, Einrichtungen zum Modifizieren der physikalischen Eigenschaften des Ausbreitungsmediums vorzusehen, damit diese Bereiche gespeichert werden. Diese Zustandsänderungen müssen eine Zeitkonstante haben, die gegenüber der Dauer des Impulses Pklein ist Zu diesem Zweck können ferroelektrische, magnetoelastische oder Halbleiter-Effekte ausgenutzt werden, je nach der Art des Substrats 1 und der Zusammensetzung der Schichten 4. Ausführungsbeispiele sind weiter unten angegeben.Thus, in the second case, periodic and different "regions" have been achieved which Represent signal 5. However, because they are only present during the interaction period, it is required facilities for modifying the physical properties of the propagation medium to be provided so that these areas are saved. These changes of state must have a time constant which is small compared to the duration of the pulse P For this purpose, ferroelectric, magnetoelastic or semiconductor effects can be used, depending on the type of substrate 1 and the composition of the layers 4. Exemplary embodiments are given below.

Zum Lesen der auf diese Weise gespeicherten Information läßt man eine elektromagnetische Welle mit den gespeicherten Bereichen in Wechselwirkung treten. Die elektromagnetische Welle wird, wie zuvor, durch Anlegen eines Impulses, wie etwa des Impulses P an die Elektroden 2 und 3 erzeugtTo read the information stored in this way, an electromagnetic wave is allowed to interact with the stored areas. The electromagnetic wave is generated by applying a pulse such as pulse P to electrodes 2 and 3 as before

Die nichtlineare Wechselwirkung ist durch die Paare (Kreisfrequenz, Wellenvektor) gekennzeichnet, die sich aus der Summe und der Differenz der Paare ergeben, die in Wechselwirkung treten, nämlich (Ο,ϊζ) für die gespeicherten Bereiche und (λ, 0) für das Signal P. Man erhält so:The non-linear interaction is characterized by the pairs (angular frequency, wave vector) that result from the sum and the difference of the pairs that interact, namely (Ο, ϊζ) for the stored areas and (λ, 0) for the signal P. One obtains:

— Der erste Fall stellt eine elastische Welle dar, die sich unter Entfernung von dem Ausgangswandler 5 zu der Peripherie des Substrats ausbreitet, wobei sie in der Struktur gedämpft wird; bei mehreren Hin- und Herläufen induziert sie nur Signale ohne Phasenkohärenz, die eventuell den Wandler erreichen können;The first case represents an elastic wave that moves away from the output transducer 5 spreads out the periphery of the substrate, being attenuated in the structure; with several outward and backward It only induces signals without phase coherence, which may possibly reach the converter;

— Das zweite und das dritte Paar entsprechen in Wirklichkeit ein und demselben Fall und stellen eine elastische Welle dar, die sich in kohärenter Weise an der Oberfläche des Substrats zurück zu dem Ausgangswandier fortpflanzt und dann zum Lesen benutzt wird.- The second and third pair actually correspond to one and the same case and constitute one elastic wave, which is reflected in a coherent manner on the surface of the substrate back to the Output wandier and then used for reading.

Man stellt deshalb fest, daß jeder der auf dem Substrat 1 angeordneten Wandler nach der nichtlinearen Lesewechselwirkung in kohärenter Weise nur das von ihm selbst ausgesandte Signal S empfängt, während die anderen Signale, die er empfangen kann, untereinander keine Kohärenz aufweisen und somit nur einen Rauschfaktor darstellen. Diese Rückkehr des gespeicherten Signals zu seinem Sendewandler erbringt den Vorteil, einen Wandler beliebiger Form zu gestatten (von welchem in F i g. 4 ein Beispiel dargestellt ist) und den gleichzeitigen Betrieb von mehreren Wandlern zu erlauben.It is therefore found that each of the transducers arranged on the substrate 1 after the non-linear Read interaction in a coherent manner only receives the signal S sent by itself while the other signals that it can receive do not have any coherence with one another and thus only one Represent noise factor. This return of the stored signal to its transmission transducer provides the Advantage of allowing a transducer of any shape (an example of which is shown in FIG. 4) and to allow the simultaneous operation of several converters.

Es ist anzumerken, daß das nach der Speicherung durch seinen Ausgangswandler 5 gelesene Signal 5 zeitlich umgedreht ist.It should be noted that the signal 5 read by its output transducer 5 after storage is reversed in time.

Bei einer abgewandelten Verwendung der Vorrichtung von F i g. 1 ist es möglich, das Signal 5 bei seiner Rückkehr zu seinem Ausgangswandler 5, das heißt nach einer ersten Speicherung zu speichern. Zu diesem Zweck läßt man das rückkehrende Signal 5, das durch das Paar («, —jy gekennzeichnet ist, und eine elastische Oberflächenwelle in Wechselwirkung treten, die durch den Ausgangswandler 5 des Signals S in Form eines Impulses der Kreisfrequenz « ausgesandt worden ist, dessen Form in F i g. 3 angegeben ist, und die durch das Paar (a, k) gekennzeichnet ist. Wie zuvor erhält man drei mögliche Fälle:In a modified use of the device from FIG. 1 it is possible to store the signal 5 on its return to its output transducer 5, that is to say after a first storage. For this purpose, the returning signal 5, which is characterized by the pair (, -jy, is allowed to interact with an elastic surface wave emitted by the output transducer 5 of the signal S in the form of a pulse of the angular frequency, whose Form is given in Fig. 3, and which is characterized by the pair (a, k) . As before, three possible cases are obtained:

(2λ,0) (0,2*) (0, -2t) (2λ, 0) (0.2 *) (0, -2t)

von denen der erste vernachlässigt werden kann und von denen die beiden anderen denselben Zustand von diskreten, zeitunabhängigen Potentialen der räumlichen Periodizität Tztllk darstellen.of which the first can be neglected and of which the other two represent the same state of discrete, time-independent potentials of spatial periodicity Tztllk .

Dieser Zustand, der aus unterschiedlichen Bereichen besteht, wird in der gleichen Weise gespeichert nämlich durch Zustandsänderung des Ausbreitungsmediums.This state, which consists of different areas, is saved in the same way, namely by changing the state of the propagation medium.

Das Lesen der Information erfolgt durch nichtlineare Wechselwirkung zwischen den gespeicherten Bereicher (0,2k) und einer in F i g. 3 dargestellten impulsförmiger elastischen Oberflächenwelle (pi,kj die von dem Wandler 5 ausgesandt wirdJMe Wechselwirkung liefen einen ersten Ausdruck («, Sk*), der, da er nichtfortschreitend ist vernachlässigt wird, und zwei weitere Ausdrücke (—ac, k) und (α, —k), bei welchen es sich um zwei äquivalente Ausdrücke derselben Oberflächenwelle handelt die bei ihrer Rückkehr zu dem Wandler 5, dei sie zuerst ausgesandt hat das Signal SdarstelltThe information is read through non-linear interaction between the stored area (0, 2k) and one in FIG. 3, the pulsed elastic surface wave (pi, kj emitted by the transducer 5JMe interaction ran a first expression («, Sk *), which, since it is not progressive, is neglected, and two further expressions (-ac, k) and (α , -K), which are two equivalent expressions of the same surface wave which represents the signal S on its return to the transducer 5, which it first sent out

Fi g. 4 zeigt eine abgewandelte Ausführungsform dei Wandler, wie etwa des Wandlers 5, die an dei Oberfläche des Substrats 1 (F i g. 1) angeordnet sind.Fi g. 4 shows a modified embodiment of the dei Transducers, such as transducer 5, disposed on the surface of substrate 1 (Fig. 1).

Er ist ebenfalls vom Interdigitaltyp, das heißt eiIt is also of the interdigital type, that is to say ei

enthält zwei Kämme 51 und 52, deren Zinken 53 parallel und ineinandergeschoben sind, wobei die Zinken 53 selbst aber die Form einer Kurve mit Wendepunkt annehmen.contains two combs 51 and 52, the prongs 53 of which are parallel and nested, the prongs 53 but even take the form of a curve with a turning point.

Die ungeradlinige Form der Zinken 53 ist dafür bestimmt, die eventuelle Kohärenz der elastischen Wellen zu zerstören, welche bei ihrer Ausbreitung auf dem Substrat ! nach Reflexion parasitäre Wege benutzen.The irregular shape of the prongs 53 is intended to reduce the possible coherence of the elastic Destroying the waves as they propagate on the substrate! parasitic paths after reflection use.

F i g. 5 zeigt eine Ausführungsform des in F i g. 1 dargestellten, mit elastischen Oberflächenwellen arbeitenden Speichern, bei der die Speicherung der durch nichtlineare Wechselwirkungen erzeugten Potentialbereiche durch MOS (Metall-Oxid-Halbleiter)-Effekt erfolgt. F i g. 5 shows an embodiment of the in FIG. 1, working with elastic surface waves Storage in which the storage of the potential areas generated by non-linear interactions by means of the MOS (metal-oxide-semiconductor) effect.

F i g. 5 zeigt wieder das Substrat 1, welches durch die mit dem Generator 6 verbundenen Elektroden 2 und 3 bedeckt ist, wobei die Elektrode 3 von dem Substrat durch eine dünne Luftschicht 40 und durch eine Gruppe von in ihrer Gesamtheit mit der Bezugszahl 4 bezeichneten Schichten getrennt ist. Die Wandler, wie etwa der Wandler 5, die an der Oberfläche des Substrats 1 angeordnet sind, sind der Übersichtlichkeit halber in Fig. 5 nicht sichtbar.F i g. 5 again shows the substrate 1, which is formed by the electrodes 2 and 3 connected to the generator 6 is covered, the electrode 3 from the substrate by a thin layer of air 40 and by a group is separated by layers designated in their entirety by the reference number 4. The converters like For example, the transducers 5, which are arranged on the surface of the substrate 1, are shown in FIG 5 not visible.

Das Substrat 1 besteht aus einem piezoelektrischen Material, wie beispielsweise Lithiumniobat LiNbO3 oder Blei-Zirkonat-Titanat PZT. Der Zwischenraum 40 hat die Aufgabe, die Schichten 4 von dem Substrat 1 zu trennen, damit sich die elastischen Wellen an der Oberfläche des Substrats frei ausbreiten können.The substrate 1 consists of a piezoelectric material such as lithium niobate or LiNbO3 Lead zirconate titanate PZT. The intermediate space 40 has the task of closing the layers 4 away from the substrate 1 separate so that the elastic waves can freely propagate on the surface of the substrate.

Die Gruppe von Schichten 4 besteht nacheinander und nach außen hin aus: einer Siliciumoxidschicht 41; einer Schicht 42 aus Silicium oder aus einem amorphen Halbleiter; einer metallischen Elektrode 43, die über einen Anschluß 45 mit einem äußeren Vorspannungspotential (nicht dargestellt) verbunden ist; und einer Isolierschicht 44.The group of layers 4 consists successively and outwardly of: a silicon oxide layer 41; a layer 42 of silicon or of an amorphous semiconductor; a metallic electrode 43, which over a terminal 45 is connected to an external bias potential (not shown); and one Insulating layer 44.

Zum Speichern der Bereiche wird, wenn die Siliciumschicht 42 N-Ieitend ist, die Elektrode 43 auf ein positives Potential gebracht. Sie erzeugt dann eine Verarmung an Majoritätsladungsträgern in der Siliciumschicht 42. Es existiert eine gewisse Schweilenpotentialdifferenz zwischen den beiden Seiten des Dielektrikums 41, oberhalb welcher Minoritätsladungsträger (in diesem Beispiel positive Minoritätsladungsträger) in der Siliciumschicht 42 sich an der Grenzfläche 41-42 ansammeln. Diese Erscheinung wird zum Speichern der Bereiche ausgenutzt, indem die Elektrode 43 derart (positiv) vorgespannt wird, wenn die Oberfläche des Substrats 1 auf einem gleichmäßigen Potential ist, daß sie gerade unter das Schwellenpotential gebracht wird. Wenn die Verteilung des Potentials an der Oberfläche des Substrats 1 ein positives Gebiet darstellt, bleibt die Potentialdifferenz zwischen den beiden Seiten der Schicht 41 unterhalb des Schwellenwertes und es erfolgt keine Besetzungsänderung der Ladungsträger. Dagegen wird einem negativen Gebiet gegenüber die Potentialdifferenz zwischen den beiden Seiten der Schicht 41 größer als der Schwellenwert und es findet eine Ansammlung von (positiven) Minoritätsladungsträgern an der Grenzfläche 41-42 statt, die das (negative) Potential des betreffenden Gebietes und, allgemeiner, die Verteilung des Potentials an der Oberfläche des Substrats 1 festhält, das auf diese Weise nach der Beendigung der nichtlinearen Wechselwirkung, von der sie erzeugt worden ist, fortbestehtTo store the regions, when the silicon layer 42 is N-conductive, the electrode 43 is brought to a positive potential. It then creates a depletion of majority charge carriers in the silicon layer 42. There is a certain welding potential difference between the two sides of the dielectric 41, above which minority charge carriers (in this example positive minority charge carriers) in the silicon layer 42 collect at the interface 41-42. This phenomenon is used to store the areas in that the electrode 43 is biased (positive) in such a way when the surface of the substrate 1 is at a uniform potential that it is brought just below the threshold potential. If the distribution of the potential on the surface of the substrate 1 represents a positive region, the potential difference between the two sides of the layer 41 remains below the threshold value and there is no change in the occupation of the charge carriers. In contrast to a negative area, the potential difference between the two sides of the layer 41 is greater than the threshold value and there is an accumulation of (positive) minority charge carriers at the interface 41-42 , which increases the (negative) potential of the area concerned and, more generally, maintains the distribution of the potential on the surface of the substrate 1, which thus persists after the termination of the non-linear interaction which produced it

Es ist zu bemerken, daß die Siliciumschicht 42 in zwei einander fiberlagerte Schichten mit unterschiedlichem spezifischem Widerstand von beispielsweise 10 000 Qcm bzw. 10 Dem zerlegt werden kann.It should be noted that the silicon layer 42 can be divided into two superimposed layers with different resistivities of, for example, 10,000 Ωcm and 10 Dem.

Selbstverständlich können die durch die Wechselwirkungen zwischen elastischer Welle und elektromagnetir) scher Welle erzeugten Bereiche durch andere Einrichtungen und insbesondere durch das Substrat selbst gespeichert werden. Es ist anzumerken, daß die Schicht 4 jedoch zur Isolierung der Oberfläche des Substrats 1 von der Elektrode 3 immer erforderlich ist. Als BeispielOf course, the areas generated by the interactions between the elastic wave and electromagnetic r) shear wave by other devices and are stored in particular, by the substrate itself. It should be noted that the layer 4 is always required to isolate the surface of the substrate 1 from the electrode 3. As an an example

κι kann die Ausnutzung von ferroelektrischen Effekten angeführt werden, die eine örtliche Verschiebung der Schwerpunkte der positiven bzw. negativen Ladungen hervorrufen, welche auf diese Weise den betreffenden Potentialbereich festhält, wobei das Substrat dann aus piezoelektrischer Keramik hergestellt ist. Weiter kann die Ausnutzung von magnetoelastischen Effekten angeführt werden, welche ein örtliches Kippen des Zustandes der Atome, insbesondere der Ausrichtung ihres Spins an der Stelle der zu speichernden Bereiche hervorrufen, wobei das Substrat 1 eine Keramik des YAG-Typs (Yttrium-Aluminium-Granat) oder des YlG-Typs (Yttrium-Eisen-Granat) ist, oder aber die Ausnutzung der Effekte der Erzeugung von Fangstellen für die Ladungsträger in einem piezoelektrischen und halbleitenden Substrat 1, beispielsweise aus Cadmiumsulfid, wobei die ausgenutzte Erscheinung dann der Übergang der bewußten Ladungsträger in die verbotenen Energiebänder ist, wodurch diese Ladungsträger eingefangen werden.κι the exploitation of ferroelectric effects can be cited, which cause a local shift in the The focus of the positive or negative charges, which in this way causes the relevant Holds potential range, wherein the substrate is then made of piezoelectric ceramic. Can continue the exploitation of magnetoelastic effects, which cause a local tilting of the State of the atoms, in particular the alignment of their spin at the location of the areas to be stored cause, the substrate 1 a ceramic of the YAG type (yttrium aluminum garnet) or the YIG type (Yttrium-iron-garnet) is, or the exploitation of the effects of the creation of trapping sites for the Charge carriers in a piezoelectric and semiconducting substrate 1, for example made of cadmium sulfide, where the exploited phenomenon is the transition from the conscious charge carriers to the forbidden ones Energy bands are what traps these charge carriers.

jo Die mit elastischen Oberflächenwellen arbeitende Speichervorrichtung, die oben beschrieben worden ist, weist noch weitere Vorteile auf, von denen ein relativ hoher Wirkungsgrad für die nichtlinearen Wechselwirkungen aufgrund der Tatsache, daß die Energie an der Oberfläche der Vorrichtung konzentriert ist, und außerdem die Möglichkeit genannt werden kann, verschiedene Verarbeitungen der Signale ausführen zu können, die, da sie sich an der Oberfläche fortpflanzen, auf diese Weise verfügbar und zugänglich sind.jo The surface elastic wave storage device described above has other advantages, one of which is a relatively high degree of efficiency for the nonlinear interactions due to the fact that the energy is concentrated on the surface of the device, and also the possibility of carrying out various processing of the signals can also be mentioned which, since they reproduce on the surface, are thus available and accessible.

Es ist außerdem möglich, einen mit elastischen Volumenwellen arbeitenden Speicher zu schaffen, der, wenn er nicht die oben genannten Vorteile aufweist, dagegen eine größere Kapazität gestattet. Das Schema eines solchen Speichers ist in F i g. 6 angegeben.It is also possible to create a storage system that works with elastic bulk waves that, if it does not have the advantages mentioned above, it allows a larger capacity. The scheme such a memory is shown in FIG. 6 specified.

Die Vorrichtung enthält ein piezoelektrisches Substrat 10, Wandler 50 für elastische Volumenwellen und zwei Elektroden 20 und 30, welche die Oberfläche des Substrats 10 um die Wandler 50 herum bedecken, ohne miteinander in Berührung zu sein. Die Elektroden 20The device includes a piezoelectric substrate 10, transducer 50 for bulk elastic waves and two electrodes 20 and 30 covering the surface of the substrate 10 around the transducers 50 without to be in touch with each other. The electrodes 20

so und 30 sind mit einem Generator 60 verbunden.so and 30 are connected to a generator 60.

Die Wandler 50 können beispielsweise aus einer Gegenelektrode 54 bestehen, die auf das Substrat 10 aufgebracht und mit einer piezoelektrischen Schicht 55 bedeckt ist, welche ihrerseits mit einer Elektrode 56 bedeckt ist Das zu speichernde elektrische Signal, das wie zuvor als Signal 5 bezeichnet wird, wird an die beiden Elektroden 54 und 56 angelegtThe transducers 50 can consist, for example, of a counter electrode 54 which is placed on the substrate 10 applied and covered with a piezoelectric layer 55, which in turn with an electrode 56 is covered The electrical signal to be stored, which is referred to as signal 5 as before, is sent to the both electrodes 54 and 56 applied

Dieses Signal wird in analoger Weise gespeichert, das heißt nach der Erzeugung von Bereichen durch eine nichtlineare Wechselwirkung zwischen der durch den Wandler 50 erzeugten elastischen Volumenwelle und der elektromagnetischen Welle, welche die gleiche Kreisfrequenz hat und impulsförmig ist (oben mit P bezeichnet) und zwischen den Elektroden 20 und 30 erzeugt wird. Ebenso erfolgt das Lesen wie bei der mit Oberflächenwellen arbeitenden Vorrichtung.This signal is stored in an analog manner, that is, after the generation of areas by a non-linear interaction between the elastic bulk wave generated by the transducer 50 and the electromagnetic wave, which has the same angular frequency and is pulse-shaped ( designated P above) and between the Electrodes 20 and 30 is generated. Reading takes place in the same way as with the device working with surface waves.

Diese Vorrichtung weist selbstverständlich die gleiche Charakteristik wie die von F i g. 1 auf: DieThis device, of course, has the same characteristics as that of FIG. 1 on: The

Wiedergewinnung des gespeicherten Signals erfolgt durch den Sendewandler mit den damit verbundenen Vorteilen.The stored signal is recovered by the transmitting transducer with the associated ones Advantages.

Es besteht indessen ein Unterschied gegenüber der mit Oberflächenwellen arbeitenden Vorrichtung. Die erzeugten Bereiche sind nämlich dreidimensional und können somit nicht durch eine oder mehrere Oberflächenschichten, wie beispielsweise die Schicht 4 in F i g. 1, gespeichert werden. Sie müssen somit in dem Substrat 10 selbst gespeichert werden, indem beispielsweise von magnetoelastischen oder ferroelektrischen Effekten oder aber von Effekten der Erzeugung von Fangstellen für die Ladungsträger Gebrauch gemacht wird, die weiter oben beschrieben worden sind.There is, however, a difference from the device operating with surface waves. the Areas created are namely three-dimensional and therefore cannot be covered by one or more surface layers, such as layer 4 in FIG. 1, can be saved. They must therefore be in the substrate 10 itself can be stored by, for example, magnetoelastic or ferroelectric effects or use is made of the effects of generating trapping points for the charge carriers that have been described above.

Es ist anzumerken, daß aus denselben Gründen wie oben, das heißt zur Zerstörung jeglicher eventuellen Kohärenz der elastischen Störwellen, die Wandler, wie etwa der Wandler 50, vorzugsweise eine unregelmäßige Form haben, das heißt nichteben sind.It should be noted that for the same reasons as above, that is, to destroy any eventual Coherence of the elastic interference waves, the transducers, such as the transducer 50, preferably an irregular one To have form, that is, to be non-flat.

Die Erfindung ist nicht auf die oben lediglich als Beispiel gegebene und nicht als Einschränkung zu verstehende Beschreibung beschränkt. So bildet auch eine Abwandlung einen Teil der Erfindung, bei welcher das Medium zum Festhalten der Bereiche von dem Schallausbreitungsweg getrennt ist. Eine solche Abwandlung kann durch ein piezoelektrisches undThe invention is not to be limited to the above given by way of example only understanding description limited. So a modification also forms part of the invention in which the medium for capturing the areas is separated from the sound propagation path. Such a variation can by a piezoelectric and

ίο halbleitendes Medium (CdS) realisiert werden, bei welchem die Speicherung durch Fangstellen erfolgt und welches mit dem Ausbreitungsweg der Schallwellen durch Leiterbahnen gekoppelt ist, die parallel zueinander mit einer Teilung angeordnet sind, die gegenüber der halben Wellenlänge der verwendeten elastischen Weilen klein ist.ίο semiconducting medium (CdS) can be realized with which the storage takes place through trapping and which with the propagation path of the sound waves is coupled by conductor tracks which are arranged parallel to one another with a pitch that is opposite half the wavelength of the elastic waves used is small.

Hierzu 2 Blatt ZeichnungenFor this purpose 2 sheets of drawings

Claims (1)

Patentansprüche:Patent claims: 1. Vorrichtung zur Informationsspeicherung unter Verwendung von elastischen Wellen, mit:1. Device for information storage under Use of elastic waves, with: — einem piezoelektrischen Substrat;- a piezoelectric substrate; — wenigstens einem elektromechanischen Wandler, der auf eine Oberfläche des Substrats aufgebracht ist, die Information in Form eines elektrischen Signals empfängt und eine ersne elastische Welle aussendet;- At least one electromechanical transducer which is applied to a surface of the substrate is applied, receives the information in the form of an electrical signal and a ersne emits elastic wave; — ersten Einrichtungen zum Anregen eines ersten elektromagnetischen Feldes quer durch das Substrat, wobei das elektromagnetische Feld mit der elastischen Welle in Wechselwirkung tritt, um die Information darstellende räumlich unterschiedene Bereiche zu erzeugen, welches Verteilungen elektrischen Potentials sind;- First means for exciting a first electromagnetic field across the Substrate, where the electromagnetic field interacts with the elastic wave, in order to generate spatially distinct areas representing the information, which distributions are electrical potential; — Einrichtungen zur Festlegung der Bereiche;- facilities for defining the areas;
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