DE2542904A1 - Verfahren zum pruefen eines gegenstandes - Google Patents
Verfahren zum pruefen eines gegenstandesInfo
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Priority Applications (5)
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Applications Claiming Priority (1)
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|---|---|---|---|
| DE19752542904 DE2542904A1 (de) | 1975-09-26 | 1975-09-26 | Verfahren zum pruefen eines gegenstandes |
Publications (1)
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Family
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Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
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Families Citing this family (4)
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| JP3435326B2 (ja) * | 1997-10-29 | 2003-08-11 | ペンタックス株式会社 | 光学部材検査装置 |
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- 1976-09-21 DK DK424576A patent/DK424576A/da unknown
Cited By (2)
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|---|---|---|---|---|
| EP0238247A1 (en) * | 1986-03-10 | 1987-09-23 | Fujitsu Limited | Method for measuring dimensions of fine pattern |
| US4790023A (en) * | 1986-03-10 | 1988-12-06 | Fujitsu Limited | Method for measuring dimensions of fine pattern |
Also Published As
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| CH601770A5 (enrdf_load_stackoverflow) | 1978-07-14 |
| JPS5245954A (en) | 1977-04-12 |
| DK424576A (da) | 1977-03-27 |
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