DE2532048A1 - METHOD OF MANUFACTURING AN OPENED WORKPIECE - Google Patents
METHOD OF MANUFACTURING AN OPENED WORKPIECEInfo
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RCA 68 334.G. / Ne
RCA 68 334
U.S. Ser. No. 489 393
Filed: July 17,-US Ser. No. 489 393
Filed: July 17, -
RCA Corporation, New York, N.I. (V.St.A.)RCA Corporation, New York, N.I. (V.St.A.)
Verfahren zum Herstellen eines mit öffnungen versehenen Werkstücks Method for producing a workpiece provided with openings
Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen eines mit Öffnungen versehenen Werkstückes der im Oberbegriff des Anspruchs 1 angegebenen Art. Die Erfindung betrifft insbesondere ein Verfahren zum Herstellen von Schattenmasken für Farbfernseh-Bildröhren.The present invention relates to a method for manufacturing an apertured workpiece as described in the preamble of claim 1. The invention relates in particular to a method for producing shadow masks for color television picture tubes.
Eine Schattenmasken-Farbfernseh-Bildröhre enthält eine Farbwahlelektrode, die vom Bildschirm nur wenig beabstandet ist. Diese Farbwahlelektrode hat die Form einer mit Öffnungen versehenen Maske, die Teile des Bildschirmes abdeckt, so dass während des Betriebs der Bildröhre diese abgedeckten Bereiche des Bildschirmes nicht von den Elektronenstrahlen getroffen werden. Um die während der Elektronenstrahlabtastung auftretende Streuung der Elektronen an den Rändern der Schattenmaskenöffnungen zu verringern, verjüngen sich die Öffnungen von der Bildschirmseite zur Seite hin, auf der sich das Elektronenstrahl-Erzeugungssystem befindet. Der engste TeilA shadow mask color television picture tube contains a color selection electrode, which is only slightly spaced from the screen. This color selection electrode is in the form of an apertured one Mask that covers parts of the screen so that these areas are covered during operation of the picture tube of the screen are not hit by the electron beams. To that during the electron beam scan To reduce the scattering of electrons occurring at the edges of the shadow mask openings, the openings are tapered from the side of the screen to the side on which the electron beam generation system is located. The narrowest part
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jeder öffnung wird als sogenannte Messerkante bezeichnet, die sich mit einem kurzen Abstand unterhalb der Maskenf lache befindet. Dieser kurze Abstand wird als Stufenhöhe der Messerkante bezeichnet.each opening is referred to as the so-called knife edge, the is a short distance below the mask area. This short distance is called the step height of the knife edge.
In den US-Patentschriften 2 750 524 und 3 679 500 sind Verfahren zum Herstellen von Schattenmasken mit öffnungen beschrieben, die eine kleine Stufenhöhe aufweisen. Beide bekannten Verfahren benutzen jedoch zwei getrennte Verfahrensschritte für das Ätzen und zwei getrennte Verfahrensschritte zum Beschichten des Metallbleches mit einem vom Ätzmittel nicht angreifbaren Material.In U.S. Patents 2,750,524 and 3,679,500 are methods for the production of shadow masks with openings that have a small step height. Both known However, methods use two separate process steps for etching and two separate process steps for coating the metal sheet with a material that cannot be attacked by the etchant.
Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren anzugeben, bei dem nur ein einziger BeSchichtungsvorgang und auch nur ein einziger Ätzvorgang erfoderlich ist.The invention is therefore based on the object of specifying a method in which only a single coating process and only a single etching process is required.
Diese Aufgabe wird durch <±e im kennzeichnenden Teil des Anspruchs 1 angegebene Erfindung gelöst.This task is indicated by <± e in the characterizing part of the claim 1 specified invention solved.
Vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen angegeben.Advantageous refinements of the invention are set out in the subclaims specified.
Bei dem erfindungsgemässen Verfahren wird eine bestimmte Gruppierung an konischen öffnungen in einem Metallblech dadurch hergestellt, dass die gegenüberliegenden Flächen des Metallblechs mit von Ätzmitteln nicht angreif-baren Mustern beschichtet werden. Das eine Muster besitzt grössere, nicht beschichtete Bereiche, die von dem von Ätzmitteln nicht angreifbaren Material umgeben sind. Das andere Muster besitzt die gleiche Form, weist jedoch kleinere, nicht beschichtete Bereiche auf, die zu den grösseren Bereichen ausgerichtet sind. In jedem kleineren nicht beschichteten Bereich befindet sich ein noch kleinerer, mit dem vom Ätzmittel nicht angreifbaren Material beschichteten Bereich. Wenigstens in einer Dimension sollte der noch kleinere beschichtete Bereich eine Breite von wenigstens 0,025 ^m (1 mil) aufweisen und wenig-In the method according to the invention, a specific grouping of conical openings in a metal sheet is thereby created manufactured so that the opposite surfaces of the sheet metal with etchant-not attackable patterns be coated. One pattern has larger, uncoated areas that cannot be attacked by the etchant Material are surrounded. The other pattern is the same shape but has smaller, uncoated ones Areas that are aligned with the larger areas. Located in every smaller uncoated area an even smaller area covered with the material that cannot be attacked by the etchant. At least in one dimension the even smaller coated area should have a width of at least 0.025 ^ m (1 mil) and little-
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steris 0,05 mm (2 mils) kleiner sein als der kleinere nicht beschichtete Bereich. Beide Seiten des nicht beschichteten Bleches werden gleichzeitig solange geätzt, bis die gewünschten, konischen Öffnungen darin - ausgebildet sind. Dann wird der Ätzvorgang beendet und das vom Ätzmittel nicht angreifbare Muster von beiden Flächen entfernt.sterile 0.05 mm (2 mils) smaller than the smaller one coated area. Both sides of the uncoated sheet are etched at the same time until the desired, conical openings therein - are formed. Then the etching process is ended and that which cannot be attacked by the etchant Pattern removed from both faces.
Auf Grund der Tatsache, dass innerhalb der kleinen nicht beschichteten Bereiche noch kleinere, mit dem vom Ätzmittel nicht angreifbaren Material beschichteten Bereiche liegen, kann im Vergleich zu den bekannten Verfahren die Stufenhöhe verringert und eine gleichmässigere Messerkante erreicht werden. Die Öffnungen, die durch das Zusammenwirken der Muster erzeugt werden, ermöglichen das Ätzen des Metallbleches von beiden Seiten her, wobei jedoch der Ätzvorgang auf der Fläche, die das Muster mit den kleineren nicht beschichteten Bereichen trägt, gesteuert und begrenzt werden kann. Das erfindungsgemässe Verfahren kommt mit nur einem einzigen Beschichtungsvorgang und nur mit einem einzigen Ätzvorgang aus, wogegen die bekannten Verfahren hierzu jeweils zwei Verfahrensschritte benötigen.Due to the fact that inside the small is not coated Areas that are even smaller, are coated with the material that cannot be attacked by the etchant, can reduce the step height compared to the known methods and achieve a more even knife edge will. The openings created by the interaction of the patterns enable the metal sheet to be etched from both sides, but with the etching process on the area that the pattern with the smaller not coated Areas contributes, can be controlled and limited. The method according to the invention comes with only a single coating process and only with a single etching process, whereas the known methods for this purpose two each Need procedural steps.
Die Erfindung wird nachstehend anhand der Zeichnungen beispielsweise näher erläutert. Es zeigen:The invention is explained below with reference to the drawings, for example explained in more detail. Show it:
Fig. 1 ein gemäss der Erfindung hergestelltes Metallblech in Aufsicht,1 shows a metal sheet produced according to the invention under supervision,
Fig. 2 bis 6 Querschnitte durch eine Metallblechöffnung, wodurch die Verfahrensschritte bei einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung dargestellt werden,Fig. 2 to 6 cross sections through a sheet metal opening, whereby the method steps in one embodiment the present invention are illustrated,
Fig. 7 in Aufsicht die übereinander angeordneten, vom Ätzmittel nicht angreifbaren Muster bzw. Vorlagen, um entsprechend einem Ausführungsbeispiel der Erfindung kreisförmige Öffnungen herzustellen,Fig. 7 is a plan view of the superposed, of the etchant non-vulnerable patterns or templates in order according to an embodiment of the invention make circular openings,
Fig. 8 in Aufsicht die übereinanderliegenden, vom Ätzmittel nicht angreifbaren Muster, um gemäss einem weiteren8 shows a plan view of the patterns lying one above the other, which cannot be attacked by the etchant, in order, according to a further
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Ausführungsbeispiel der Erfindung schlitzförmige Öffnungen herzustellen, undEmbodiment of the invention to produce slot-shaped openings, and
Fig. 9 in Aufsicht die übereinanderliegenden, vom Ätzmittel nicht angreifbaren Muster, um gemäss einem weiteren Ausführungsbeispiel der Erfindung Schlitzöffnungen herzustellen.Fig. 9 in a plan view of the superimposed, from the etchant non-attackable pattern to, according to a further embodiment of the invention, slot openings to manufacture.
In Fig. 1 ist in Aufsicht eine geätzte Rohmaske 21 dargestellt, wie sie aus einer Ätzvorrichtung herausgenommen wird, die bei einem Beispiel des erfindungsgemässen Verfahrens benutzt wird. Die Rohmaske 21, die in eine Ifarbfernseh-Bildröhre eingesetzt werden soll, befindet sich in einem Metallblech 2J1 in dem die Rohmaske^ia, 21 und 21b nebeneinander liegen. Die Rohmasken 21a, 21 und 21b sind an den Rändern 25 mit Ausnahme bestimmter (nicht dargestellter) Stellen durchgeätzt, die die Rohmasken im Metallblech 23 haltern. Die Rohmaske 21 besteht aus einem mit Löchern versehenen Mittelbereich 27» der durch die gestrichelte Linie 28 begrenzt wird, sowie einem Rand- oder Aussenbereich 29, der zwar keine öffnungen aufweist, jedoch teilweise durchgeätzt sein kann. Die Öffnungen können kreisförmige Löcher sein, die in einer sechseckigen oder rautenförmigen Anordnungsweise, oder in einer sonstigen Anordnung vorliegen können. Die öffnungen können auch in senkrechten Reihen angeordnete Rechteckschlitze sein, die beispielsweise Kantenlängen von 0,152 mm (6 mil) χ 0,762 mm (30 mil) besitzen und einen Mittelpunktabstand von 0,762 mm (30 mil) haben. Es können jedoch auch andere Öffnungsformen und andere Anordnungen und Zusammenstellungen der öffnungen verwendet werden. Die Breiten der öffnungen können — wie dies allgemein bekannt ist ~ über den Maskenbereich hinweg gleichförmig oder-auch abgestuft und veränderlich sein.In FIG. 1, an etched raw mask 21 is shown in a plan view, as it is removed from an etching device which is used in an example of the method according to the invention. The raw mask 21, which is to be inserted into a color television picture tube, is located in a metal sheet 2J 1 in which the raw mask ^ ia, 21 and 21b lie next to one another. The raw masks 21a, 21 and 21b are etched through at the edges 25 with the exception of certain locations (not shown) which hold the raw masks in the sheet metal 23. The raw mask 21 consists of a central region 27, which is provided with holes and is delimited by the dashed line 28, as well as an edge or outer region 29 which, although it does not have any openings, can be partially etched through. The openings can be circular holes, which can be in a hexagonal or diamond-shaped arrangement, or in some other arrangement. The openings can also be rectangular slots which are arranged in vertical rows and have, for example, edge lengths of 0.152 mm (6 mil) χ 0.762 mm (30 mil) and have a center-to-center distance of 0.762 mm (30 mil). However, other opening shapes and other arrangements and combinations of the openings can also be used. As is generally known, the widths of the openings can be uniform over the mask area, or they can also be graduated and variable.
Die Rohmaske 21 wird in einen kalt gewalzten, einen normalen Kohlenstoffgehalt oder einen niedrigen Kohlenstoffgehalt aufweisenden Stahlblech von etwa 1 mm (40 mils) bis 0,254 mm (10 mils) Dicke geätzt. Es können auch Bleche ausThe raw mask 21 is cold rolled into a normal one Carbon or low carbon steel sheet from about 1 mm (40 mils) to Etched 0.254 mm (10 mils) thick. It can also be made of sheet metal
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anderen Materialien, beispielsweise aus Invar-Legierung oder einer Kupfer-Nickel-Legierung geätzt werden. Das Metallblech 23 wird von einer ersten Rolle abgewickelt, und verschiedenen Behandlungs- und Bearbeitungsvorgangen unterworfen. Es wird gereinigt, beschichtet, getrocknet, belichtet, entwickelt, geätzt, gewaschen und getrocknet (wie dies im weiteren noch beschrieben werden wird). Danach wird das Metallblech auf eine zweite Holle aufgewickelt. Danach wird die zweite Rolle abgewickelt und die Maskenrohlinge 21a, 21 und 21b werden aus dem Metallblech ■ abgestreift oder abgetrennt. Die Rohmasken werden dann einer Wärmebehandlung unterzogen (geglüht), flach gewalzt,in einer Presse geformt und danach geschwärzt. Durch diese in bekannter Weise durchgeführten Verfahrensschritte erhält man dann die fertigen Masken, die in die Bildröhre eingesetzt werden.other materials, such as Invar alloy or a copper-nickel alloy. The metal sheet 23 is unwound from a first roll, and various Subject to treatment and processing operations. It is cleaned, coated, dried, exposed, developed, etched, washed and dried (as will be described below). After that the sheet metal wound up in a second hell. Then the second roll is unwound and the mask blanks 21a, 21 and 21b are stripped or separated from the metal sheet. The raw masks are then subjected to a heat treatment (annealed), rolled flat, shaped in a press and thereafter blackened. These process steps carried out in a known manner then give the finished masks, which be inserted into the picture tube.
In den Fig. 2 bis 6 werden nacheinander die Verfahrensschritte wiedergegeben, die durchgeführt werden, um einen sechseckigen Bereich aus kreisförmigen öffnungen im Mittelteil 27 eines 0,152 mm (6 mil) dicken Metallbleches 23 aus kalt gewalztem Stahl (wie in Fig. 1 dargestellt) herzustellen. Das Metallblech 23 wird auf beiden Flächen mit geeigneten, lichtempfindlichen Beschichtungen 31 und 33 aus einem Material, beispielsweise aus in zwei Farben lichtempfindlichem Fischleim, versehen, das vom Ätzmittel nicht angegriffen wird (vgl. Fig. 2). Nachdem die Schichten getrocknet sind, wird das beschichtete Metallblech in einem Rahmen zwischen zwei lichtundurchlässigen Mastervorlagen (beispielsweise wie es in der US-PS 3 751 250 dargestellt ist) gebracht. Auf der einen Fläche des Metallblechs 23 befindet sich die Mastervorlage 35 für die Schicht 31 und auf der anderen Fläche befindet sich die Mastervorlage 37 für die andere Schicht 33, wie dies in Fig. 3 dargestellt ist. Die lichtundurchlässigen Vorlagen können beispielsweise aus Chrom- oder Nickelschichten auf den dem Metallblech zugewendeten Flächen von Glasplatten 39 und 41 sein, so dass die Vorlagen 35 und 37 aufIn FIGS. 2 to 6, the method steps are shown one after the other, which are carried out in order to create a hexagonal Area of circular openings in the central part 27 of a 0.152 mm (6 mil) thick metal sheet 23 made of cold rolled Steel (as shown in Fig. 1) to produce. The metal sheet 23 is on both surfaces with suitable, photosensitive Coatings 31 and 33 made of one material, for example, made of isinglass, which is light-sensitive in two colors and is not attacked by the etchant (see Fig. 2). After the layers have dried, the coated metal sheet is placed in a frame between two opaque master templates (for example as shown in US Pat. No. 3,751,250). On the One surface of the metal sheet 23 is the master template 35 for the layer 31 and is on the other surface the master template 37 for the other layer 33, as shown in FIG. 3. The opaque Templates can, for example, consist of chrome or nickel layers on the surfaces of glass plates facing the metal sheet 39 and 41 so that templates 35 and 37 are on
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Schichten 31 bzw. 33 aufliegen. Die eine Mastervorlage 35 besteht aus einem Kreisring mit einem Aussendurchmesser von etwa 0,13 ran (5 mils) und einem Innendurchmesser von 0,06 mm (3 mils). Die andere Mastervorlage 37 liegt in Form einer Scheibe oder eines Vollkreises mit einem Durchmesser von etwa 0,41 mm (16 mils) vor. Die Mittelachsen der beiden Mastervorlagen decken sich, sie können jedoch auch gewünschtenfalls zueinander versetzt sein.Layers 31 and 33 rest. The one master template 35 consists of a circular ring with an outside diameter of about 0.13 ran (5 mils) and an inside diameter of 0.06 mm (3 mils). The other master template 37 is in the form a disk or full circle about 0.41 mm (16 mils) in diameter. The central axes of the two Master templates are the same, but they can also be offset from one another if desired.
Wie in Fig. 3 dargestellt ist, werden die Schichten 31 und 33 mit einer Aushärtstrahlung (die über und unter den Glasplatten 39 und 41 durch Pfeile angedeutet wird) von beispielsweise einer Kohlenbogenlampe belichtet, wobei die Strahlung durch die Glasplatten 39 und 41 hindurchgeht und auf die Schichten 31 und 33 fällt. Durch die Strahlung werden die Schichten 31 und 33 unlöslich mit Ausnahme der Schichtbereiche, die von den Mastervorlagen 35 und 37 abgedeckt wurden. Wenn die Schichten genügend lang belichtet worden sind, wird die Belichtung beendet und die Mastervorlagen entfernt.As shown in Fig. 3, the layers 31 and 33 with a curing radiation (the above and below the glass plates 39 and 41 indicated by arrows) of for example exposed to a carbon arc lamp, the radiation passes through the glass plates 39 and 41 and falls on the layers 31 and 33. The radiation causes the Layers 31 and 33 insoluble with the exception of the layer areas, which were covered by master templates 35 and 37. When the layers have been exposed for a sufficiently long time, the exposure is terminated and the master templates are removed.
Die Schichten werden dann entwickelt, beispielsweise durch Abspülen mit Wasser oder anderen wässrigen Lösungen und die nicht belichteten, abgedeckten Bereiche der Schichten 31 und 33 entfernt. Wie aus Fig. 4 zu ersehen ist, besitzt die eine Fläche nach der Entwicklung des Blechs 23 eine vom Ätzmittel nicht angreifbare Schicht mit einer darin befindlichen ringförmigen Öffnung 43· Die vom Ätzmittel nicht angreifbare Schicht 33 auf der anderen Fläche des Bleches besitzt eine Kreis- oder Scheibenöffnung 45-The layers are then developed, for example by rinsing with water or other aqueous solutions and the unexposed, covered areas of layers 31 and 33 removed. As can be seen from Fig. 4, one surface after the development of the sheet 23 has one of the etchant non-attackable layer with an annular opening 43 located therein · the non-attackable layer by the etchant Layer 33 on the other surface of the sheet has a circular or disk opening 45-
Das Metallblech 23 mit den dem Ätzmittel widerstehenden Schichten wird danach in einem einzigen Verfahrensschritt einer Ätzlösung ausgesetzt, so dass die gewünschten, konischen Öffnungen entstehen. Fig. 5 zeigt das beschichtete Metallblech 23 in einem frühen Ätzzustand und Fig. 6 dann am Ende des Ätzvorgangs. Das Ätzen wird in bekannter WeiseThe metal sheet 23 with the resisting the etchant Layers is then exposed to an etching solution in a single process step, so that the desired, conical Openings arise. FIG. 5 shows the coated metal sheet 23 in an early etching state and FIG. 6 then at the end of the etching process. The etching is done in a known manner
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mit einer Eisenchlorid-Hydrochlorid-Säure als Ätzflüssigkeit durchgeführt. Zu Beginn des Ätzvorganges löst die Ätzflüssigkeit (vgl. Fig. 5) einen kleinen Teil der Blechflächen 23 an den unbeschichteten Bereichen. In Fig. 5 sind weiterhin durch gestrichelte Linien die verschiedenen, nacheinander auftretenden Ätzflächen dargestellt, wie sie durch die Ätzflüssigkeit vermutlich während des Ätzvorganges gebildet werden. with an iron chloride hydrochloride acid as the etching liquid carried out. At the beginning of the etching process, the etching liquid (cf. FIG. 5) dissolves a small part of the sheet metal surfaces 23 on the uncoated areas. In Fig. 5 are still by dashed lines the different, successively occurring etching areas are shown as they are caused by the etching liquid presumably be formed during the etching process.
Dadurch, dass eine ringförmige Öffnung 43 anstelle einer scheibenförmigen Öffnung der Schicht auf der einen Fläche verwendet wird, wird das Ausätzen von dieser Fläche her stark eingeschränkt, so dass sich nur - wie in Fig. 6 dargestellt ist - eine kleine Stufenhöhe 47 ausbildet. Wenn statt der ringförmigen öffnung 43 eine kreisförmige Öffnung verwendet werden würde, wäre die Stufenhöhe wesentlich grosser. Am Ende des Ätzvorganges werden die Schichten 31 und 33 auf den Flächen des Blechs 23 entfernt, so dass danach die Rohmaske weiter verarbeitet werden kann.By having an annular opening 43 instead of a disk-shaped opening of the layer is used on one surface, the etching from this surface becomes strong limited, so that only - as shown in FIG. 6 - a small step height 47 is formed. If instead of the annular opening 43 uses a circular opening would be, the step height would be much greater. At the end of the etching process, the layers 31 and 33 are on the surfaces of the sheet 23 removed, so that then the raw mask can be processed further.
In Fig. 7 sind in Aufsicht und übereinander die Mastervorlagen der Platten dargestellt. Die wesentlichen Abmessungen der Hingöffnung der einen Mastervorlage 35 sind der Innendurchmesser 53» der Aussendurchmesser 55 und die Ringbreite 59» die die Hälfte der Differenz von Aussen- und Innendurchmesser ist. Aus praktischen Erwägungen heraus sollte der Innendurchmesser 53 0,025 mm (1 mil) bis 0,20 mm (8 mils), und der Aussendurchmesser 55 etwa 0,076 mm (3 mils) bis 0,25 mm (10 mils) betragen. Die Differenz zwischen Aussen- und Innendurchmesser sollte wenigstens 0,05 mm (2 mils) betragen, so dass die Ringbreite 59 wenigstens 0,025 mm (1 mil) ist. Die wesentliche Abmessung der Kreisöffnung der andern Mastervorlage 37 ist der Durchmesser 57» der im praktischen Falle etwa 0,30 mm (12 mils) bis 0,50 mm (20 mils) beträgt.In Fig. 7 the master templates are in a plan view and one above the other of the plates shown. The essential dimensions of the opening of one master template 35 are the inside diameter 53 »the outside diameter 55 and the ring width 59 »which is half the difference between the outside and inside diameter. For practical reasons, the Inner diameter 53 0.025 mm (1 mil) to 0.20 mm (8 mils), and the outside diameter 55 is about 0.076 mm (3 mils) to 0.25 mm (10 mils). The difference between outside and inside diameter should be at least 0.05 mm (2 mils) so that the ring width 59 is at least 0.025 mm (1 mil) is. The essential dimension of the circular opening of the other master template 37 is the diameter 57 »that in practice Trap is about 0.30 mm (12 mils) to 0.50 mm (20 mils).
Wenn die öffnungen von der Mitte zum Rand des mit ÖffnungenWhen the openings from the center to the edge of the with openings
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versehenen Bereiches 27 hin abgestufte Abmessungen haben, so sind die Durchmesser der Ringöffnungen ebenfalls abgestuft. Der Aussendurchmesser der Ringöffnung 35 kann für öffnungen in der Mitte der Maske 0,24 mm (9»5 mils) betragen und zum Rand des mit öffnungen versehenen Bereiches 27 der Maske zu auf etwa 0,19 mm (7»5 mils) abnehmen. Der Innendurchmesser der Ringöffnung 53 kann ebenfalls abgestuft sein, jedoch sollten die Breiten 59 "bei den vorliegenden, vom Ätzmittel nicht angreifbaren Mustern wenigstens 0,025 mm (1 mil) betragen. (Wenn die Ringbreite 59 kleiner wird, nimmt auch die Stufenhöhe bis zu einem kleinsten Wert von etwa 0,025 ™ (1 mils) ab und nimmt danach wieder zu.) Bei diesem Beispiel beträgt der Durchmesser 57 des kreisförmigen Bereiches auf der anderen Seite etwa 0,41 mm (16 mils). Dieser Wert ist jedoch nicht kritisch und kann zwischen etwa 0,30 mm (12 mils) und 0,5 mm (20 mils) liegen. Wenn die Öffnungen in ihrer Grosse abgestuft sind, können die grösseren Kreisbereiche in ihren Abmessungen entweder abgestuft oder auch nicht abgestuft sein. Der Abstand der öffnungen von Mittelpunkt zu Mittelpunkt ist in einem typischen Beispiel etwa 0,63 mm (25 mils).provided area 27 have graduated dimensions, the diameter of the ring openings are also graduated. The outside diameter of the ring opening 35 can be 0.24 mm (9 »5 mils) for openings in the center of the mask and for Reduce the edge of the apertured area 27 of the mask to about 0.19 mm (7 »5 mils). The inside diameter of the ring opening 53 can also be stepped, however the widths 59 "in the present case should be of the etchant non-attackable patterns should be at least 0.025 mm (1 mil). (As the ring width 59 becomes smaller, the step height also increases to a minimum value of about 0.025 ™ (1 mils) and then increases again.) In this example, the diameter of the circular area is 57 the other side about 0.41 mm (16 mils). However, this value is not critical and can range from approximately 0.30 mm (12 mils) and 0.5 mm (20 mils). When the openings in their Larger areas of the circle can either be graded or not graded in their dimensions be. The distance between the openings from center to center is approximately 0.63 mm in a typical example (25 mils).
Mit dem erfindungsgemässen Verfahren ist es auch möglich, rechteckige Schlitzöffnungen herzustellen, wie dies durch die übereinander liegenden Mastervorlagen in !"ig. 8 dargestellt ist. Die eine Mastervorlage 35' (ausgezogene Linien) und die andere Mastervorlage 371 (gestrichelte Linie) sind rechteckig und haben abgerundete Ecken. Bei einem Beispiel beträgt die Aussenbreite 65 der einen Mastervorlage 35' etwa 0,127 mm (5 mils) und die Aussenlänge etwa 0,76 mm (30 mils). Die Innenbreite 63 beträgt etwa 0,05 mm (2 mils) und die Innenlänge etwa 0,69 mm (27 mils). Bei anderen Bemessungsbeispielen kann die Aussenbreite zwischen 0,076 mm (3 mils) und 0,5 mm (20 mils), und die Innenbreite 63 zwischen 0,025 mm (1 mil) und 0,25 mm (10 mils) liegen. Die Differenz zwischen Auesen- und Innenbreite sollte jedochWith the method according to the invention it is also possible to produce rectangular slotted openings, as shown by the master templates lying one above the other in Fig. 8. One master template 35 '(solid lines) and the other master template 37 1 (dashed line) are rectangular and have rounded corners. In one example, the outside width 65 of one master master 35 'is about 0.127 mm (5 mils) and the outside length is about 0.76 mm (30 mils). The inside width 63 is about 0.05 mm (2 mils) and the inside length about 0.69 mm (27 mils). In other sizing examples, the outside width can be between 0.076 mm (3 mils) and 0.5 mm (20 mils), and the inside width 63 between 0.025 mm (1 mil) and 0.60 25 mm (10 mils), but the difference between the outer and inner widths should be
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wenigstens 0,05 mm (2 mils) betragen, so dass die Breite des Ringes 69, 61 wenigstens 0,25 mm (1 mil) beträgt. Die andere Mastervorlage 37' kann eine Breite zwischen 0,3 mm (12 mils) und 0.6 mm (24 mils) und eine Länge zwischen 0,51 nun (20 mils) und 1,27 mm (50 mils) aufweisen; die Längen- unddie Breitenabmessungen dieser anderen Mastervorlage 37' sollten jedoch grosser sein, als die entsprechenden Abmessungen der einen Mastervorlage 35'·be at least 0.05 mm (2 mils) so that the width of the Ring 69,61 is at least 0.25 mm (1 mil). The other master template 37 'can have a width between 0.3 mm (12 mils) and 0.6 mm (24 mils) and a length between 0.51 now (20 mils) and 1.27 mm (50 mils); however, the length and width dimensions of this other master template 37 'should be larger than the corresponding dimensions of a master template 35 '
In Fig. 9 ist eine weitere Anwendungsform des erfindungsgemässen Verfahrens zur Herstellung eines Bereiches aus rechteckigen Schlitzen dargestellt. Die in Fig. 9 dargestellten Mastervorlagen für die Schlitzöffnungen unterscheiden sich von den in Fig. 8 dargestellten dadurch, dass bei der einen Mastervorlage 35" die Länge des noch kleineren, beschichteten Bereichs gleich der Lange des kleineren nicht beschichteten Bereichs ist. Der an der schmaleren Seite liegende Hingteil 61 bei der einen Mastervorlage gemäss Fig. 8 kann auch weggelassen werden, wodurch im wesentlichen dieselbe Vorlage wie bei den in Fig. 9 dargestellten Mastervorlagen erzielt wird. Bei den in Fig. 9 dargestellten Beispiel ist es nur in einer Dimension, beispielsweise der horizontalen Dimension der einen Mastervorlage erforderlich, dass der noch kleinere beschichtete Bereich wenigstens 0,051 mm (2 mils) kleiner ist als der kleinere unbeschichtete Bereich.In Fig. 9 is a further application form of the invention Process for producing an area from rectangular slots shown. Those shown in FIG Master templates for the slot openings differ from those shown in FIG. 8 in that in one Master template 35 "the length of the even smaller, coated area equals the length of the smaller, uncoated area Area is. The hanging part 61 lying on the narrower side in the one master template according to FIG. 8 can can also be omitted, whereby essentially the same template as in the master templates shown in FIG is achieved. In the example shown in FIG. 9, it is only in one dimension, for example the horizontal one Dimension of a master template required that the even smaller coated area be at least 0.051 mm (2 mils) smaller than the smaller uncoated area.
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Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE2942047A1 (en) * | 1978-10-18 | 1980-04-30 | Dainippon Printing Co Ltd | MANUFACTURING METHOD FOR A HOLE MASK OF A BROWN COLOR TELEVISION TUBE |
| DE4434689A1 (en) * | 1993-09-28 | 1995-03-30 | Dainippon Printing Co Ltd | Slit mask and method of making the same |
Families Citing this family (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4105493A (en) * | 1975-07-05 | 1978-08-08 | The Gillette Company | Production of shaving foil |
| US4094678A (en) * | 1976-12-07 | 1978-06-13 | Zenith Radio Corporation | Method of making curved color cathode ray tube shadow masks having interregistrable electron beam-passing aperture patterns |
| US4061529A (en) * | 1977-02-28 | 1977-12-06 | Rca Corporation | Method for making etch-resistant stencil with dichromate-sensitized casein coating |
| JPS5579025A (en) * | 1978-12-09 | 1980-06-14 | Higashine Shigai Nishi Itsuchiyou Kyoritsu Eisei Shiyori Kumiai | Exhaust gas deodorizing apparatus for excretion tank truck |
| US4303466A (en) * | 1980-06-19 | 1981-12-01 | Buckbee-Mears Company | Process of forming graded aperture masks |
| JPS5748491Y2 (en) * | 1980-11-13 | 1982-10-25 | ||
| CA1204143A (en) * | 1982-08-27 | 1986-05-06 | Kanemitsu Sato | Textured shadow mask |
| US4632726A (en) * | 1984-07-13 | 1986-12-30 | Bmc Industries, Inc. | Multi-graded aperture mask method |
| US5348825A (en) * | 1991-07-02 | 1994-09-20 | Dai Nippon Printing Co., Ltd. | Method for manufacturing shadow mask and shadow mask manufactured by said method |
| JP3282347B2 (en) * | 1993-09-07 | 2002-05-13 | ソニー株式会社 | Etching method, color selection mechanism and manufacturing method thereof, and cathode ray tube |
| JPH07320652A (en) * | 1994-05-27 | 1995-12-08 | Toshiba Corp | Manufacture of color picture tube and shadow mask |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US2437228A (en) * | 1943-08-05 | 1948-03-02 | Buckbee Mears Co | Reticle |
| US2750524A (en) * | 1951-11-15 | 1956-06-12 | Mergenthaler Linotype Gmbh | Perforate mask for multicolor television apparatus and method of producting same |
| US3329541A (en) * | 1960-05-20 | 1967-07-04 | Buckbee Mears Co | Method of forming fine mesh screens |
| US3609033A (en) * | 1969-08-15 | 1971-09-28 | Buckbee Mears Co | Mask for etching enlargement |
| US3679500A (en) * | 1970-08-07 | 1972-07-25 | Dainippon Screen Mfg | Method for forming perforations in metal sheets by etching |
-
1974
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- 1975-07-17 DE DE19752532048 patent/DE2532048A1/en not_active Withdrawn
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE2942047A1 (en) * | 1978-10-18 | 1980-04-30 | Dainippon Printing Co Ltd | MANUFACTURING METHOD FOR A HOLE MASK OF A BROWN COLOR TELEVISION TUBE |
| DE4434689A1 (en) * | 1993-09-28 | 1995-03-30 | Dainippon Printing Co Ltd | Slit mask and method of making the same |
| DE4434689C2 (en) * | 1993-09-28 | 2003-06-12 | Dainippon Printing Co Ltd | Method of making a slit mask |
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