DE2526600A1 - PRESSURE SENSITIVE RESISTANCE - Google Patents

PRESSURE SENSITIVE RESISTANCE

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    • H01ELECTRIC ELEMENTS
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    • H01C10/00Adjustable resistors
    • H01C10/10Adjustable resistors adjustable by mechanical pressure or force
    • H01C10/106Adjustable resistors adjustable by mechanical pressure or force on resistive material dispersed in an elastic material

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  • Chemical & Material Sciences (AREA)
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  • Engineering & Computer Science (AREA)
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Description

Patentanwalt·Patent attorney

sw a graftsw a graft

13.6.1975June 13, 1975

Inoue-Japax Research IncorporatedInoue-Japax Research Incorporated

5289 Aza Michimasa, Nagatsudamachi, Midoriku5289 Aza Michimasa, Nagatsudamachi, Midoriku

Yokohamashi, Kanagawaken (Japan)Yokohamashi, Kanagawaken (Japan)

Druckempfindlicher WiderstandPressure sensitive resistance

Die vorliegende Erfindung betrifft einen druckempfindlichen Widerstand bzw. einen elastischen Leiter, d.h. einen elektrisch leitenden, elastisch deformierbaren Körper, dessen elektrischer Widerstand bzw. dessen elektrische Leitfähigkeit als Punktion des angewendeten Drucks variieren.The present invention relates to a pressure sensitive resistor or an elastic conductor, i.e. an electrical one conductive, elastically deformable body, its electrical resistance or its electrical conductivity as the puncture of the applied pressure vary.

Bisher sind druckempfindliche Widerstände, die als Umsetzer oder Wandler und Schaltglieder in verschiedenen Vorrichtungen nützlich sind, aus feinen Teilchen eines Metalls, wie Gold, Platin, Palladium, Silber, Aluminium, Kupfer oder Nickel, hergestellt worden, die durch ein elektrisch nicht-leitendes Bindemittel gebunden sind, das ein elastisch deformierbares Substrat bildet. Alternativ werden die Metallteilchen mit einem Kautschukmaterial gemischt und danach mit diesem mit Hilfe eines Vulkanisiermittels vulkanisiert. Bei den verwendeten Metallteilchen, deren Größe 0,5 bis 50 Mikron, im all- ; gemeinen einige Mikron oder weniger beträgt, handelt es sich üblicherweise um solche, die durch mechanisches Pulverisieren und anschließendes Klassieren oder Sieben hergestellt werden,Heretofore, pressure-sensitive resistors useful as converters or transducers and switching elements in various devices have been made from fine particles of a metal such as gold, platinum, palladium, silver, aluminum, copper or nickel, supported by an electrically non-conductive binder are bound, which forms an elastically deformable substrate. Alternatively, the metal particles are mixed with a rubber material and then vulcanized therewith with the aid of a vulcanizing agent. In the case of the metal particles used, the size of which is 0.5 to 50 microns, in general ; generally a few microns or less, they are usually those made by mechanical pulverization followed by classifying or sieving,

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so daß die Teilchengröße auf die gewünschte Größe eingestellt wird. Die Oberflächenenergie der mechanisch hergestellten Metallteilchen, die im allgemeinen kugelförmig, säulenförmig oder schuppig sind, ist charakteristischerweise groß genug, um das elastische nicht-leitende Substrat nachteilig zu beeinflussen, wodurch seine Eigenschaften im Verlauf der Zeit verloren gehen, während die Teilchen selbst rasch oxydiert werden. Dementsprechend ist die Betriebsdauer eines üblichen druckempfindlichen Widerstandselements unerwünscht kurz.so that the particle size is adjusted to the desired size. The surface energy of the mechanically produced Metal particles, which are generally spherical, columnar, or flaky, are characteristically large enough to to adversely affect the elastic non-conductive substrate, thereby losing its properties over time go while the particles themselves are rapidly oxidized. Accordingly, the service life of an ordinary pressure sensitive Resistance elements undesirably short.

Ferner sind die leitenden Teilchen, die bisher zur Herstellung von druckempfindlichen Widerständen verwendet wurden, wie vorstehend ausgeführt wurde, kugelförmig, säulenförmig oder schuppig, und sie weisen eine gleichmäßige Teilchengröße auf ,so daß de nicht in dichter Packung im nicht-leitenden elastischen Substrat vorliegen. Dementsprechend besitzt die Leitfähigkeit eines üblichen druckempfindlichen Widerstandselements einen unbefriedigend begrenzten Wert, der nicht durch die Erhöhung des Anteils der Metallteilchen verbessert werden kann.Further, the conductive particles which have heretofore been used in the manufacture of pressure-sensitive resistors are as above spherical, columnar or scaly, and they have a uniform particle size on, so that de not packed tightly in the non-conductive elastic Substrate. Accordingly, it has the conductivity of an ordinary pressure-sensitive resistance element an unsatisfactorily limited value which cannot be improved by increasing the proportion of metal particles can.

Es ist versucht worden, die im Verlauf der Zeit eintretende Es ist versucht worden, die im Verlauf der Zeit eintretende Herabsetzung der druckempfindlichen und elektrischen Eigenschaf ten des Elements dadurch zu vermeiden, daß man Teilchen aus einem derartigen Metall beschichtet waren. Edelmetalle besitzen jedoch den Nachteil, daß sie das Kautschuksubstrat im Verlauf der Zeit infolge ihrer hohen Oberflächenenergie nachteilig beeinflussen, abgesehen von der Tatsache, daß sie das Produkt teuer machen.Attempts have been made to avoid the deterioration in the pressure sensitive and electrical properties of the element which occurs over time by coating particles of such a metal. Noble metals, however, have the disadvantage that they adversely affect the rubber substrate over time due to their high surface energy, apart from the fact that they make the product expensive.

Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, einen verbesserten druckempfindlichen Widerstand mit einer ausgezeichneten Druckempfindlichkeit, ausgezeichneten elektrischen Eigenschaften, geringer Zerstörung im Verlauf der Zeit und großer Dauerbeständigkeit vorzusehen, der wirtschaftlich hergestellt werden kann.The object of the present invention is to provide an improved pressure-sensitive resistor with an excellent pressure sensitivity, excellent electrical properties, little deterioration over time and great durability that can be produced economically.

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Ein druckempfindliches Widerstandselement gemäß der Erfindung umfaßt einen elektrisch nicht-leitenden, elastisch deformierbaren Körper und elektrisch leitende Metallteilchen, die in dem Körper verteilt sind, wobei jedes Teilchen viele Vorsprünge und Vertiefungen auf seiner Oberfläche aufweist und wobei ein Vorsprung eines Teilchens mit einem Vorsprung oder einer Vertiefung eines benachbarten Teilchens beim Anwenden von Druck auf das Element in Eingriff kommen kann.A pressure-sensitive resistance element according to the invention comprises an electrically non-conductive, elastically deformable one Body and electrically conductive metal particles distributed in the body, each particle having many protrusions and having depressions on its surface and wherein a protrusion of a particle having a protrusion or a depression of a neighboring particle can engage when pressure is applied to the element.

Die Metallteilchen besitzen eine Teilchengröße im Bereich von 0,5 bis 200 Mikron, vorzugsweise 1 bis 50 Mikron, und machen eine Menge von 10 bis 80 Volumen-* aus.The metal particles have a particle size in the range of 0.5 to 200 microns, preferably 1 to 50 microns, and make an amount of 10 to 80 volume * out.

Der nicht-leitende elastische Körper, in dem die Metallteilchen verteilt werden, kann aus Naturkautschuk, synthetischem Kautschuk, Nylon, Neopren, Vinylchlorid, Tetrafluoräthylen, Harnstoff, Polyäthylen, Polyisobutylen, Polyacrylnitril oder irgendeinem anderen harzartigen oder flexiblen dielektrischen Material bestehen, das üblich ist.The non-conductive elastic body in which the metal particles are distributed can be made of natural rubber, synthetic rubber, Nylon, neoprene, vinyl chloride, tetrafluoroethylene, urea, polyethylene, polyisobutylene, or polyacrylonitrile any other resinous or flexible dielectric material that is common.

Die Metallteilchen, die erfindungsgemäß verwendet werden, werden nach irgendeiner der nachstehend beschriebenen Methoden hergestellt, so daß sie jeweils eine Vielzahl von Vorsprüngen und Vertiefungen auf ihrer Oberfläche besitzen, wie vorstehend beschrieben wurde. So können die Teilchen dendritisch bzw. baumförmig, blumenblattförmig, klettenförmig oder kakteenförmig im Unterschied von kugelförmigen, säulenförmigen und schuppigen, mechanisch pulverisierten feinteiligen Materialien mit glatter Oberfläche sein, die bisher verwendet wurden.The metal particles used in the present invention are made by any of the methods described below so that they each have a plurality of protrusions and have depressions on their surface as described above. The particles can be dendritic or tree-shaped, petal-shaped, burr-shaped or cactus-shaped in contrast to spherical, columnar and flaky, mechanically pulverized finely divided materials be with smooth surface that have been used so far.

Die Metallteilchen mit unregelmäßiger Oberfläche für Mischungen mit dem nicht-leitenden elastischen Material zur Herstellung eines gewünschten druckempfindlichen leitenden Elements gemäß der Erfindung besitzen vorteilhafterweise ein erhöhtes Oberflächen/Volumen-Verhältnis (cm2/cm·^) und daher eine herabgesetzte Oberflächenenergie, so daß die Metallteilchen wenigerThe metal particles with irregular surface for mixtures with the non-conductive elastic material to produce a desired pressure-sensitive conductive element according to the invention advantageously have an increased surface area / volume ratio (cm 2 / cm · ^) and therefore a decreased surface energy, so that the Metal particles less

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anfällig gegen eine Oxydation sind und weniger die elastischen Eigenschaften des Elements beeinflussen. Dementsprechend werden die Lebensdauer und die Dauerbeständigkeit des Elements verbessert. Ferner ist es nicht erforderlich, ein Edelmetall für die Teilchen zu verwenden, so daß billigere Metalle, wie Eisen, Nickel oder Chrom, vorteilhaft verwendet werden können. Mangan, Kupfer, Aluminium und Magnesium können in gleicher Weise verwendet werden.are susceptible to oxidation and have less of an effect on the elastic properties of the element. Be accordingly the service life and durability of the element are improved. Furthermore, it is not necessary to use a noble metal for the particles so that cheaper metals such as iron, nickel or chromium can advantageously be used. Manganese, copper, aluminum and magnesium can be used in the same way.

Die Verwendung der vorstehend angeführten Teilchen gemäß der Erfindung bringt den weiteren Vorteil einer dichteren Packung der leitenden Teilchen im nicht-leitenden, elastisch deformierbaren Körper mit sich. Dementsprechend kann der minimale Widerstandswert des Elements im Vergleich mit üblichen Elementen beträchtlich herabgesetzt werden. Ferner wird eine allmähliche Änderung des Widerstandswerts bezüglich des angewendeten Drucks infolge der Tatsache erzielt, daß ein Kontakt zwischen Vorsprüngen oder zwischen einem Vorsprung und einer Vertiefung benachbarter Metallteilchen vor einem vollständigen Teilchenkontakt eintritt, wobei sich dieser Bereich vergrößern kann, wenn der Druck zunimmt. Die Möglichkeit, eine dichtere Packung vorzusehen, kann auch zu einer Verkleinerung des Metallanteils im Element führen.The use of the above-mentioned particles according to the invention brings the further advantage of closer packing of the conductive particles in the non-conductive, elastically deformable body with it. Accordingly, the minimum Resistance value of the element can be reduced considerably as compared with conventional elements. Furthermore, a gradual change in resistance with respect to the pressure applied due to the fact that a contact between projections or between a projection and a recess of adjacent metal particles before a complete Particle contact occurs, which area can increase as the pressure increases. The possibility of a denser Providing packing can also lead to a reduction in the metal content in the element.

Die Metallteilchen, die erfindungsgemäß verwendet werden, können durch elektrochemische Reduktion, chemische Reduktion, Dampfkondensation oder thermische Zersetzung hergestellt werden.The metal particles that are used according to the invention can be obtained by electrochemical reduction, chemical reduction, Steam condensation or thermal decomposition can be produced.

Zur elektrochemischen Reduktion gehört die elektrochemische Abscheidung eines Metalls auf einer Kathode, die gedreht werden kann, aus einer wässerigen Elektrolytlösung oder einem geschmolzenen Salzelektrolyten, die Ionen des Metalls enthalten. Durch Regeln der Temperatur, der Konzentration und der Strömungsrate des flüssigen Elektrolyten und der Elektrolysespannung und des Elektrolysestroms in bekannter Weise ist es möglich, eine pulverige Metallabscheidung oder einen Niederschlag von Teilchen mit baumförmigen, Whisker-artigen undElectrochemical reduction involves the electrochemical deposition of a metal on a cathode that is rotated may contain the ions of the metal from an aqueous electrolyte solution or a molten salt electrolyte. By regulating the temperature, concentration and flow rate of the liquid electrolyte and the electrolytic voltage and the electrolysis current in a known manner, it is possible to produce a powdery metal deposit or a precipitate of particles with tree-shaped, whisker-like and

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kugelförmigen Kristallwachstumsbildungen in gewünschter Weise zu erhalten. Z.B. führt eine Elektrolyse mit Wasserstoffbildung zur Abscheidung von Teilchen mit baumförmigen Vorsprüngen. Wenn die Bildung von Wasserstoff gesteuert wird, resultieren Teilchen mit Whisker-artigen Vorsprüngen. Beim völligen Vermeiden der Wasserstoffbildung werden Teilchen mit kugelförmigen Vorsprüngen erhalten.to obtain spherical crystal growth formations in a desired manner. E.g. electrolysis leads to the formation of hydrogen for the deposition of particles with tree-shaped projections. When the generation of hydrogen is controlled, particles with whisker-like protrusions result. With total avoidance the formation of hydrogen, particles with spherical projections are obtained.

Die chemische Reduktion umfaßt die chemische oder stromlose Fällung von Metallteilchen aus einer Lösung, bei der es sich entweder um eine wässerige Lösung oder um ein geschmolzenes Salz mit einem Gehalt an einer Metallverbindung handelt, die thermische Reduktion oder Zersetzung einer Metallverbindung zur Herstellung von Metallteilchen, das chemische Ätzen und die kryotechnologische Zersetzung. Nach diesen Verfahren, die sämtlich gleichfalls übliche Verfahren darstellen, können durch Regeln der Temperatur, der Konzentration, des Drucks und der Strömungsrate des Reduktionsmittels und anderer Verfahrensparameter in bekannter Weise Metallteilchen mit baumförmigen und anderen kristallinen Vorsprüngen in gewünschter Weise hergestellt werden.Chemical reduction involves the chemical or electroless precipitation of metal particles from a solution at which it is either an aqueous solution or a molten salt containing a metal compound which thermal reduction or decomposition of a metal compound for the production of metal particles, chemical etching and the cryogenic decomposition. According to these procedures, all of which are also common procedures, you can by controlling the temperature, concentration, pressure and flow rate of the reducing agent and other process parameters in a known manner metal particles with tree-shaped and other crystalline protrusions in the desired manner Way to be made.

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Bei einer bevorzugten Ausführungsform wird die Oberfläche jedes Teilchens (mit einer "Vielzahl von Vor Sprüngen und Vertiefungen) mit einem Zinnfilm (Sn) überzogen. Die*Filmstärke liegt in der Größenordnung von Sngströß-Einheiten oder Mikrons. Man kann übliche Spritz-, Verdampfungs- bzw. Aufdampfungs-, Schmelzsprühplattierungs- oder Plattierungstechniken anwenden. Zinn besitzt eine ausgezeichnete Antikorrosions- bzw. Schutzeigenschaft, so daß Metallgegenstände, die mit ihm überzogen sind, und ein nicht-leitendes elastisches Substrat geringen Veränderungen im Verlauf der Zeit unterliegen. Ferner ist Zinn ein weiches und viskoses Metall und es ist anzunehmen, daß Zinnüberzüge einen innigen Kontakt zwischen den Teilchen ermöglichen, wenn Druck angewendet wird.In a preferred embodiment, the surface each particle (with a "multitude of cracks and pits") coated with a tin film (Sn). The * film thickness is of the order of magnitude of Sngströß units or microns. Conventional spray, vapor deposition, melt spray plating or plating techniques can be used use. Tin has excellent anti-corrosion and protective properties, so that metal objects, which are coated with it, and a non-conductive elastic substrate little changes in the course of the Time subject. Furthermore, tin is a soft and viscous metal and tin coatings are believed to be intimate Allow contact between particles when pressure is applied.

Beispiel 1example 1

Es wurden Nickelteilchen mit blumenblattartigen kristallinen Vorsprüngen auf ihren Flächen durch elektrochemische Abscheidung hergestellt. Bei der Abscheidungslösung handelte es sich um eine wässerige Lösung mit einem pH-Wert von 3 und einer Temperatur von 25 0C, die 200 g/l Nickelsulfat (NiSO4), 5 g/l Nickelchlorid (NiCl?) und 25 g/l Borsäure (Η,ΒΟ,) enthielt, wobei der Abscheidungsstrom eine Stromdichte von 4,5 A/cm besaß. Man ließ die Lösung auf eine Kathode zu strömen, auf der die Teilchen abgeschieden wurden.Nickel particles with petal-like crystalline protrusions on their faces were produced by electrodeposition. In the deposition solution it was an aqueous solution having a pH of 3 and a temperature of 25 0 C, 200 g / l nickel sulfate (NiSO 4), 5 g / l Nickel chloride (NiCl?) And 25 g / l Boric acid (Η, ΒΟ,), the deposition current having a current density of 4.5 A / cm. The solution was allowed to flow onto a cathode on which the particles were deposited.

Nach dem Klassieren der Nickelteilchen ihrer Größe nach wurde ein gemischtes Nickelpulver hergestellt, das 20 % TeilchenAfter classifying the nickel particles by size, a mixed nickel powder containing 20 % particles was prepared

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mit 30 Mikron, 50 % Teilchen mit 25 Mikron und 15 % Teilchen mit 10 Mikron enthielt, wobei der Rest Teilchen mit 5 Mikron waren. Das gemischte Nickelpulver wurde in einem Verhältnis von 80 Gew.-? mit einem Butylkautsohuk-Material mit einem Gehalt an Vulkanisiermittel gemischt; die Mischung wurde zur Herstellung des gewünschten druckempfindlichen leitenden Elements vulkanisiert.30 micron particles, 50% 25 micron particles, and 15 % 10 micron particles with the remainder being 5 micron particles. The mixed nickel powder was in a ratio of 80 wt.? mixed with a butyl rubber material containing a vulcanizing agent; the mixture was vulcanized to produce the desired pressure-sensitive conductive member.

Ein Betrieb des erhaltenen Elements ist in Fig. 1 wiedergegeben, in der der elektrische Widerstand (Ohm cm) als Ordinate und der angewandte Druck (kg/cm ) als Abszisse aufgetragen sind.Es ist zu erkennen, daß das Element einen Widerstand von 3 x 10^ Ohm cm besitzt, wenn kein Druck angewendet wird, und daß der Widerstand auf 1 χ 10 0hm cm abfällt. Wenn man den Druck wegnimmt, besitzt das Element einen Widerstand von 2 χ 10·^ Ohm cm, wobei der Widerstand dann allmählich auf den Ausgangswert zurückkehrt.An operation of the obtained element is shown in Fig. 1, in which the electrical resistance (ohm cm) as the ordinate and the applied pressure (kg / cm) are plotted as the abscissa. Es it can be seen that the element has a resistance of 3 x 10 ^ Ohm cm when no pressure is applied and that the resistance drops to 1 χ 10 0hm cm. If you can take the pressure takes away, the element has a resistance of 2 χ 10 · ^ Ohm cm, the resistance then gradually returning to the initial value.

Die Metallteilchen mit der gewünschten Oberflächenstruktur, die in den elastisch deformierbaren, nicht-leitenden Körper einverleibt werden, können auch durch Dampfkondensation hergestellt werden. Bei der bekannten Dampfkondensationstechnik wird ein Metall mit einem hohen Dampfdruck verwendet, das in Teilchen in einem Vakuum oder in einem inerten Gasmedium oder durch Kontakt mit einer gekühlten Metallfläche oder einer .anderen gekühlten Fläche übergeführt wird. Durch Regeln der Heiztemperatur und des Drucks des den Dampf tragenden Mediums ist es möglich, Metallteilchen mit gewünschten kristallinen Vorsprüngen zu erhalten.The metal particles with the desired surface structure, which are in the elastically deformable, non-conductive body incorporated can also be produced by steam condensation will. In the known steam condensation technique, a metal with a high vapor pressure is used, the in particles in a vacuum or in an inert gas medium or by contact with a cooled metal surface or a . is transferred to another cooled surface. By regulating the heating temperature and the pressure of the medium carrying the steam it is possible to obtain metal particles with desired crystalline protrusions.

Beispiel 2Example 2

Es wurden Magnesiumteilchen mit einer Teilchengröße von etwa 1 Mikron durch Kondensation von Magnesiumdampf mit einem Dampfdruck von 2 Torr hergestellt. Wenn unterschiedliche Heiztempe-Magnesium particles with a particle size of about 1 micron were obtained by condensation of magnesium vapor with a vapor pressure made of 2 torr. If different heating temperatures

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raturen von 1000, 1200 und l400 0C angewendet wurden, besaßen die resultierenden Teilchen baumförmige, Whisker-artige bzw. kugelförmige kristalline Vorsprünge.were applied temperatures of 1000, 1200 and l400 0 C, the resulting particles had tree-shaped, whisker-like or spherical crystalline projections.

Eine andere geeignete Methode zum Herstellen von Metallteilchen mit gewünschter Oberflächenstruktur stellt die thermische Zersetzung von Metallverbindungen in der Gasphase oder in Form von Dampf dar. Bestimmte Metallverbindungen, wie Metallcarbonyle, liegen in flüssiger Phase bei Raumtemperatur vor und sind bei erhöhter Temperatur zersetzbar, wobei das Metall reduziert wird und Teilchen bildet. So zersetzen sich Eisencarbonyl Fe(CO)5 und Nickelcarbonyl Ni(CO)I1 unterhalb 103 bzw. 43 0C, wobei Eisen bzw. Nickel in Form von Teilchen mit 0,5 bis 50 Mikron abgeschieden werden. Form und Größe der Teilchen kann durch Regeln der Heiztemperatur bei der Zersetzung bzw. Zerlegung eingestellt werden, wobei Teilchen mit gewünschten Vorsprüngen auf diese Weise leicht erhalten werden.Another suitable method for producing metal particles with the desired surface structure is the thermal decomposition of metal compounds in the gas phase or in the form of vapor. Certain metal compounds, such as metal carbonyls, are in the liquid phase at room temperature and are decomposable at elevated temperature, whereby the metal is reduced and forms particles. Iron carbonyl Fe (CO) 5 and nickel carbonyl Ni (CO) I 1 decompose below 103 and 43 0 C, respectively, with iron and nickel being deposited in the form of particles with 0.5 to 50 microns. The shape and size of the particles can be adjusted by controlling the heating temperature at the time of decomposition, and particles with desired projections are easily obtained in this way.

Beispiel 3Example 3

Es wurde Nickelcarbonyl Ni(CO)1J bei 80 0C erhitzt; die durch Zersetzung gebildeten Nickelteilchen besaßen eine Größe von 1 bis 5 Mikron und eine Vielzahl von Whisker-artigen Vorsprüngen auf ihren Flächen, wobei die Vorsprünge um 40 % des Durchmessers des Teilchenzentrums vorragten.Nickel carbonyl Ni (CO) 1 J was heated at 80 ° C .; the decomposed nickel particles were 1 to 5 microns in size and had a plurality of whisker-like protrusions on their faces, the protrusions protruding by 40% of the diameter of the center of the particle.

So wie andere Carbonyle, wie Fe(CO)11, W(CO)g, Mo(CO)6 und (PtCl2)2(CO)3, sind Metallchloride, wie CuCl3, BeCl3, TiCl1,, ZrCl4, AlCl2, SnCl4, TaCl5, SbCl3, NbCl5, BCl3, TaCl^NbCl5, und Metalljodide, wie GeJ3, CrJ2 und SiJ1J thermisch zersetzbar; sie können zur Herstellung gewünschter Metallteilchen herangezogen werden.Like other carbonyls like Fe (CO) 11 , W (CO) g, Mo (CO) 6 and (PtCl 2 ) 2 (CO) 3 , metal chlorides like CuCl 3 , BeCl 3 , TiCl 1 , ZrCl 4 are , AlCl 2 , SnCl 4 , TaCl 5 , SbCl 3 , NbCl 5 , BCl 3 , TaCl ^ NbCl 5 , and metal iodides, such as GeJ 3 , CrJ 2 and SiJ 1 J, thermally decomposable; they can be used to produce desired metal particles.

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Beispiel 4Example 4

Es wurden Nickelteilchen, die wie in Beispiel 3 hergestellt wurden, in einem Gewichtsanteil von 70 % mit Siliconkautschuk gemischt; die Mischung wurde zur Herstellung eines druckempfindlichen leitenden Elements vulkanisiert. Das resultierende Element besaß einen Widerstand von 5 x ICr Ohm cm im drucklosen Zustand. Wenn ein Druck von 6 kg/cm angewendet wurde, fiel der Widerstand auf 2 χ 1O~* Ohm cm ab; es konnte ein elektrischer Strom einer Stromdichte von 5 A/cm durch das Element fließen. Das bedeutet eine mehr als 30 %-ige Verbesserung beim Betrieb gegenüber üblichen Elementen mit kugelförmigen Teilchen. Die Widerstandselemente gemäß der Erfindung zeigten stabile Druckempfindlichkeitseigenschaften beim wiederholten Einsatz und eine geringe Veränderung beim Betrieb im Verlauf der Zeit.Nickel particles prepared as in Example 3 were mixed with silicone rubber in a proportion by weight of 70%; the mixture was vulcanized to make a pressure-sensitive conductive member. The resulting element had a resistance of 5 x ICr ohm cm when depressurized. When a pressure of 6 kg / cm was applied, the resistance dropped to 2 χ 10 ohm cm; an electric current having a current density of 5 A / cm could flow through the element. This means a more than 30 % improvement in operation over conventional elements with spherical particles. The resistance elements according to the invention exhibited stable pressure-sensitive characteristics in repeated use and little change in operation with the lapse of time.

In Fig. 2 ist schematisch eine Vorrichtung zur Herstellung von Metallteilchen gewünschter Ausbildung zur Verwendung gemäß der Erfindung dargestellt, wobei diese Vorrichtung zur elektrochemischen oder chemischen "Herstellung für Zwecke der vorliegenden Erfindung dient. Die Vorrichtung weist einen Behälter 1 auf, der einen flüssigen Elektrolyten 2 enthält, aus dem ein gewünschtes Metall elektrochemisch oder chemisch zu feinteiliger Form auf eine Trommel 3 reduziert wird. Wenn eine elektrochemische Reduktion durchgeführt wird, bildet die Trommel 3 eine Kathode, während eine anodische GegenelektrodeIn Fig. 2 is a device for the production of Metal particles of the desired design for use according to the invention shown, this device for electrochemical or chemical "manufacture is used for purposes of the present invention. The device comprises a container 1, which contains a liquid electrolyte 2, from which a desired metal is electrochemically or chemically finely divided Shape is reduced to a drum 3. When an electrochemical reduction is carried out, the Drum 3 has a cathode, while an anodic counter electrode

4 benachbart im Elektrolyten 2 vorgesehen ist, wobei ein Elektrolysestrom über die Gegenelektrode aus einer Stromquelle4 is provided adjacent in the electrolyte 2, with an electrolysis current via the counter electrode from a current source

5 fließt, deren beide Pole mit der Kathode 3 und der Anode 4 mit der dargestellten Polarität verbunden sind. Wenn eine chemische Reduktion durchgeführt wird, werden die Anode 4 und die Stromquelle 5 weggelassen.5 flows, the two poles of which are connected to the cathode 3 and the anode 4 with the polarity shown. When a chemical reduction is performed, the anode 4 and the power source 5 are omitted.

Die Trommel 3 kann in Richtung des Pfeils rotieren, wobei sie einen feinteiligen Metallniederschlag mit baumförmigen oderThe drum 3 can rotate in the direction of the arrow, whereby they a finely divided metal deposit with tree-shaped or

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anderen kristallinen Vorsprüngen trägt, der elektrochemisch oder chemisch gebildet wurde. Ein Abstreifer 6 ist oberhalb des. Spiegels des Elektrolyten 2 zum Entfernen und Sammeln von abgeschiedenen Metallteilchen von der rotierenden Fläche der Trommel 3 vorgesehen.carries other crystalline protrusions formed electrochemically or chemically. A scraper 6 is above des. Mirror of the electrolyte 2 for removing and collecting deposited metal particles from the rotating surface the drum 3 is provided.

Im Elektrolyten und in der Nähe der Zone, in der die Abscheidung stattfindet, ist ein Vibrator 7 vorgesehen, der von einer Wandlervorrichtung 8 durch eine übliche Wechselstromquelle 9 einer Frequenz (output frequency) von z.B. 50 Hz betrieben wird, um den Elektrolyten 2 in eine Vibration gleicher Frequenz zu versetzen. Wenn eine elektrochemische Reduktion durchgeführt wird, kann eine derartige Vibration alternativ an der Anode 4 vorgesehen werden.In the electrolyte and in the vicinity of the zone in which the deposition takes place, a vibrator 7 is provided, which is of a Converter device 8 operated by a conventional alternating current source 9 with an output frequency of, for example, 50 Hz is to set the electrolyte 2 in a vibration of the same frequency. When an electrochemical reduction is carried out such a vibration can alternatively be provided on the anode 4.

In Fig. 3, die schematisch eine andere Vorrichtung zur Durchführung der elektrochemischen Teilchenherstellung zeigt, ist eine Kathode 10 benachbart zu einer Anode 11 mit einer zentralen Bohrung 11a angeordnet, durch die ein flüssiger Elektrolyt einer gegebenen Zusammensetzung in den Spalt G zwischen den Flächen der Kathode 10 und der Anode 11 strömt. Eine Stromquelle 12 ist mit der Anode 11 und der Kathode 10 derart verbunden, daß ein elektrochemischer Abscheidungsstrom zwischen ihnen durch den Elektrolyten fließt, der den Spalt G passiert, und ein feinteiliger Metallniederschlag mit baumförmigen kristallinen Vorsprüngen auf der Fläche der Kathode 10 erzeugt wird. Die Teilchenherstellung des Beispiels 1 wurde unter Verwendung eines Systems auf Basis dieses Typs durchgeführt.In Fig. 3, which schematically shows another device for implementation of the electrochemical particle production shows, a cathode 10 is adjacent to an anode 11 with a central one Bore 11a arranged through which a liquid electrolyte of a given composition in the gap G between the Areas of the cathode 10 and the anode 11 flows. A power source 12 is such with the anode 11 and the cathode 10 connected that an electrochemical deposition current flows between them through the electrolyte passing through the gap G, and a finely divided metal deposit with tree-shaped crystalline projections is produced on the surface of the cathode 10 will. The particle preparation of Example 1 was carried out using a system based on this type.

Wie beim System der Fig. 2 kann der Elektrolyt in eine Schallvibration versetzt werden; dies wird, wie in Fig. 3 angegeben ist, durch Hin- und Herbewegen der Anode 11 in Längsrichtung mit einer Frequenz von z.B. 50 Hz bewirkt.As in the system of FIG. 2, the electrolyte can be made to vibrate sonically; this becomes as in Fig. 3 is caused by reciprocating the anode 11 in the longitudinal direction at a frequency of 50 Hz, for example.

Wenn es auch für die erfindungsgemäßen Zwecke nicht wesentlich ist, den Elektrolyten in eine Schallvibration zu versetzen,Even if it is not essential for the purposes of the invention is to set the electrolyte in a sonic vibration,

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so führt diese Hilfsmaßnahme zu dem Vorteil, daß die Bildung der gewünschten Kristallteilchen erleichtert wird und die Wirksamkeit der Teilchenbildung erhöht wird.so this auxiliary measure leads to the advantage that the formation of the desired crystal particles is facilitated and the Effectiveness of particle formation is increased.

Teilchen, die erfindungsgemäß verwendet werden können, können auch durch chemisches oder elektrochemisches Ätzen von Teilchen mit glatter Oberfläche, z.B. von kugelförmigen Teilchen hergestellt werden. Beim elektrochemischen Ätzen können diese Teilchen zwischen einem Elektrodenpaar gehalten werden, wobei man einen flüssigen Elektrolyten durch die Zwischenräume der Teilchen fließen läßt und ein Elektrolytstrom zwischen den Elektroden durch die Teilchen und den Elektrolyten fließt. Als Ergebnis der elektrochemischen Korrosion wird die Oberfläche jedes Teilchens unregelmäßig, wobei eine Vielzahl von Vorsprüngen und Vertiefungen auf der Oberfläche gebildet wird. Beim chemischen Ätzen können die Teilchen einfach in Form einer Masse in Berührung mit einem Strom eines korrosiven Fluids in einer Behandlungskammer gehalten werden.Particles that can be used according to the invention can also be produced by chemical or electrochemical etching of particles with a smooth surface, e.g. made of spherical particles. In the case of electrochemical etching, these Particles are held between a pair of electrodes, passing a liquid electrolyte through the spaces between the Allows particles to flow and an electrolyte current flows between the electrodes through the particles and the electrolyte. As a result of electrochemical corrosion, the surface of each particle becomes irregular, with a multitude of Projections and depressions are formed on the surface. With chemical etching, the particles can simply be in Form of a mass are kept in contact with a stream of a corrosive fluid in a treatment chamber.

Beispiel 5Example 5

Es wurde eine Masse aus kugelförmigen Kupferteilchen einer Teilchengröße von 35 Mikron unter einem Druck von 1,5 kg/cm in einer Behandlungskammer gehalten. Es wurde Luft, die auf eine Temperatur von 450 0C erhitzt worden war, durch die Masse geleitet, wobei sie durch die Zwischenräume der Teilchen 25 Minuten lang strömte. Die behandelten Teilchen wiesen unregelmäßige Oberflächen mit Vertiefungen einer Tiefe bis zu 8 bis 10 Mikron auf, und die Oberfläche je Volumen (cm2/cm5) jedes Teilchens war auf den dreifachen Wert gegenüber unbehandelten Teilchen angestiegen.A mass of spherical copper particles with a particle size of 35 microns was held under a pressure of 1.5 kg / cm in a treatment chamber. Air which had been heated to a temperature of 450 ° C. was passed through the mass, flowing through the spaces between the particles for 25 minutes. The treated particles had irregular surfaces with depressions as deep as 8 to 10 microns, and the surface area per volume (cm 2 / cm 5 ) of each particle was three times that of untreated particles.

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Beispiel 6Example 6

Die Kupferteilchen von Beispiel 5 wurden ferner einer Reduktionsbehandlung unterworfen, wobei gasförmiger Wasserstoff, der auf eine Temperatur von 450 0C erhitzt worden war, durch die Teilchenmasse 30 Minuten lang geleitet wurde. Dadurch wurden die Vorsprünge, die in Beispiel 5 hergestellt worden waren, spitz gemacht; die Oberfläche je Volumen jedes Teilchens stieg auf den 3,3-fachen Wert gegenüber unbehandelten kugelförmigen Teilchen an.The copper particles from Example 5 were further subjected to a reduction treatment, with gaseous hydrogen, which had been heated to a temperature of 450 ° C., being passed through the particle mass for 30 minutes. This made the protrusions made in Example 5 pointed; the surface area per volume of each particle increased 3.3 times that of untreated spherical particles.

Beispiel 7Example 7

Es wurden Nickelteilchen (5 Mikron), die jeweils eine Vielzahl von Vorsprüngen einer Länge von etwa 0,3 Mikron aufwiesen, in ein Vakuum von 30 Torr gebracht, wo sie durch Aufdampfen mit einem Zinn-IPilm einer Stärke von etwa 100 Angstrom auf den Einzelflächen überzogen wurden. Diese Teilchen wurden mit einem Volumenanteil von 74- % in ein Siliconkautschukmaterial einverleibt. Der elektrische Widerstand des resultierenden Körpers, der ΙΟ-5 0hm cm ohne Druck betrug, fiel auf 0,01 0hm cm ab, wenn ein Druck von 1,5 kg/Nickel particles (5 microns) each having a plurality of protrusions about 0.3 microns in length were placed in a 30 torr vacuum where they were deposited on the facets by vapor deposition with a tin-I film about 100 angstroms thick were coated. These particles were incorporated into a silicone rubber material in a volume fraction of 74%. The electrical resistance of the resulting body, which was ΙΟ- 5 ohm cm without pressure, dropped to 0.01 ohm cm when a pressure of 1.5 kg /

ρ
cm angewandt wurde.
ρ
cm was applied.

Die Metallteilchen (die jeweils eine Vielzahl von Vorsprüngen besitzen) können vorzugsweise auch zusammen mit einer metallorganischen Verbindung einverleibt werden, z.B. einer zinnorganischen Verbindung, bei der es sich um Methylzinnisooctylthioglykolat, Dioctylzinnmercaptid oder Dibutylzinnmercaptid handelt. Metallorganische Verbindungen mit Halbleitereigenschaften sind als Antioxydationsmittel für das Metall wirksam und sind in den Kautschukmaterialien löslich.The metal particles (each having a plurality of projections) can preferably also be combined with an organometallic Compound, e.g. an organotin compound which is methyl tin isooctyl thioglycolate, Dioctyltin mercaptide or dibutyltin mercaptide. Organometallic compounds with semiconductor properties are effective as antioxidants for the metal and are soluble in the rubber materials.

Beispiel 8Example 8

Es wurden Nickelteilchen (5 Mikron), die jeweils eine Viel-There were nickel particles (5 microns), each with a multitude of

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zahl von Vorsprüngen aufwiesen, in einem Volumenverhältnis von 78 % in eine Mischung aus 100 Teilen Kautschukmaterial, 20 Teilen Methylzinnisooctylthioglykolat, 5 Teilen Wärmestabilisator und 40 Teilen Weichmacher einverleibt. Der elektrische Widerstand des resultierenden Körpers, der 10-7 Ohm cm ohne Druck betrug, fiel auf 0,01 0hm cm ab, wenn ein Druck von 1 kg/cm angewandt wurde. Der Körper zeigte keine merkliche Veränderung im Verlauf der Zeit, nachdemnumber of projections had, incorporated in a volume ratio of 78 % in a mixture of 100 parts of rubber material, 20 parts of methyl tin isooctyl thioglycolate, 5 parts of heat stabilizer and 40 parts of plasticizer. The electrical resistance of the resulting body, the 10 7 ohm cm, excluding any pressure fell to 0.01 cm from 0hm, when a pressure of 1 kg / cm was applied. The body showed no noticeable change over time afterwards

die Tests 2 χ 10' mal durchgeführt worden waren.the tests were carried out 2 × 10 times.

Die Verwendung einer metallorganischen Verbindung ist gleichfalls vorteilhaft, um dem Produkt eine größere Linearität der Druck/Widerstands-Beziehung zu verleihen.The use of an organometallic compound is also advantageous in order to give the product a larger To give linearity to the pressure / resistance relationship.

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Claims (8)

PatentansprücheClaims V 1.J Druckempfindlicher Widerstand, gekennzeichnet durch einen elektrisch nicht-leitenden, elastisch deformierbaren Körper und elektrisch leitende Metallteilchen, die in dem Körper verteilt sind, wobei jedes Teilchen eine Vielzahl von Vorsprüngen und Vertiefungen auf seiner Oberfläche aufweist und wobei die Vorsprünge der Teilchen an Vorsprüngen oder Vertiefungen benachbarter Teilchen beim Ausüben von Druck auf den Körper angreifen.V 1. J Pressure-sensitive resistor, characterized by an electrically non-conductive, elastically deformable body and electrically conductive metal particles distributed in the body, each particle having a plurality of protrusions and depressions on its surface, and the protrusions of the particles at Attack protrusions or depressions of adjacent particles when pressure is applied to the body. 2. Druckempfindlicher Widerstand nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Teilchen eine Teilchengröße im Bereich von 0,5 bis 200 Mikron besitzen und in einer Menge von 10 bis 80 Volumen-# enthalten sind.2. Pressure-sensitive resistor according to claim 1, characterized in that the particles have a particle size in the range of 0.5 to 200 microns and contained in an amount of 10 to 80 volume- #. 3. Druckempfindlicher Widerstand nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Teilchen eine Teilchengröße im Bereich von 1 bis 50 Mikron besitzen.3. Pressure-sensitive resistor according to claim 2, characterized in that the particles have a particle size in the range of 1 to 50 microns. 4. Druckempfindlicher Widerstand nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Vorsprünge der Teilchen dendritische, Whisker-förmige oder kugelförmige kristalline Ausbildungen darstellen.4. Pressure-sensitive resistor according to claim 2, characterized in that the projections of the particles represent dendritic, whisker-shaped or spherical crystalline formations. 5· Druckempfindlicher Widerstand nach Anspruch H3 dadurch gekennzeichnet, daß die Teilchen aus Eisen, Nickel oder Chrom bestehen.5 · Pressure-sensitive resistor according to claim H 3, characterized in that the particles consist of iron, nickel or chromium. 6. Druckempfindlicher Widerstand nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Teilchen aus Mangan, Kupfer, Aluminium oder Magnesium bestehen.6. Pressure-sensitive resistor according to claim 4, characterized in that the particles consist of manganese, copper, aluminum or magnesium. 509851 /0459509851/0459 7. Druckempfindlicher Widerstand nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Metallteilchen mit einem Zinnfilm überzogen sind.7. Pressure-sensitive resistor according to one of the preceding claims, characterized in that the metal particles with are coated with a tin film. 8. Druckempfindlicher Widerstand nach einem der vorhergehenden" Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß er zusätzlich eine metallorganische Verbindung enthält.8. Pressure-sensitive resistor according to one of the preceding "claims, characterized in that it additionally has a contains organometallic compound. 9· Druckempfindlicher Widerstand nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß er eine zinnorganische Verbindung enthält.9 · Pressure sensitive resistor according to claim 8, characterized in characterized in that it contains an organotin compound. 509851 /0459509851/0459
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