DE2460813C2 - Low pressure mercury vapor discharge lamp - Google Patents
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Description
worinwherein
0 < χ < 0.50
0,20 £ y £ 0.50
χ + y S 0,90
10 < π < !20 <χ <0.50
£ 0.20 y £ 0.50
χ + y S 0.90
10 <π <! 2
worinwherein
0 S xZ 030
0,20 £ yä 0,50
χ + y < 0,90
1Oi π < 120 S xZ 030
0.20 £ yä 0.50
χ + y <0.90
1Oi π <12
und wobei bis zu maximal 25 At1Vo des Aluminiums
durch Gallium und/oder Scandium und das Magnesium vollständig oder teilweise durch Zink und/oder
Beryllium ersetzt sein kann, und
der dritte Leuchtstoff ein mit dreiwertigem Europium aktiviertes Oxid der Seltenen Erden der Formel
Ln2Oj:EuJ+ ist, wobei Ln mindestens eines der Elemente
Yttrium, Gadolinium und Lutetium darstellt, »ach Patent 24 46 479,and where up to a maximum of 25 At 1 Vo of the aluminum can be replaced by gallium and / or scandium and the magnesium can be completely or partially replaced by zinc and / or beryllium, and
the third phosphor is a rare earth oxide activated with trivalent europium of the formula Ln2Oj: Eu J + , where Ln represents at least one of the elements yttrium, gadolinium and lutetium, »also patent 24 46 479,
in einer Niedcrdruckqiiecksilberdampfentladungslampe, deren Glaskolben (I) an der Innenseite mit zwei aufeinander angeordneten Schichten bedeckt ist, wobei die erste direkt auf dem Glaskolben aufliegende Schicht (5) einen ultraviolette und blaue Strahlung absorbierenden Stoff enthält, so daß die 436-nm-Quecksilberlinie zu mindestens 70% absorbiert und sichtbare Strahlung mit Wellenlängen über 480 nm im wesentlichen durchgelassen wird, und wobei die Leuchtstoffschicht (4) über der ersten Schicht (5) an der Entladungsseite aufgebracht ist.in a low pressure silver vapor discharge lamp, whose glass bulb (I) is covered on the inside with two layers arranged one on top of the other The first layer (5) lying directly on the glass bulb is an ultraviolet and a blue one Contains radiation absorbing material so that the 436 nm mercury line absorbs at least 70% and visible radiation having wavelengths above 480 nm is substantially transmitted, and wherein the phosphor layer (4) is applied over the first layer (5) on the discharge side.
2. Verwendung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die erste Schicht (5) zumindest einen Stoff aus der Gruppe Nickcltitanant, manganaktiviertes Magncsiumarscnat in einer Mischung mit Titandioxid und manganaktiviertes Magnesiumgermanat in einer Mischung mit Titandioxid enthält.2. Use according to claim 1, characterized in that the first layer (5) at least a substance from the group of nickel titanium, manganese-activated magnesium arsenic in a mixture with titanium dioxide and manganese-activated magnesium germanate in a mixture with titanium dioxide contains.
Die Erfindung betrifft die Verwendung einer Leuchtstoffschicht
für eine Niederdruckquecksilberdampfentladungslampe, die drei Leuchtstoffe enthält, wobei
der erste Leuchtstoff ein mit zweiwertigem Europium oder mit zweiwertigem Europium und mit zweiwertigem
Mangan aktiviertes Aluminat von Barium und/oder Strontium ist, wobei das Aluminat eine hcxagonalc Kristallstruktur
besitzt, die der Struktur der hcxagonalcn Ferrite verwandt ist,The invention relates to the use of a phosphor layer for a low-pressure mercury vapor discharge lamp which contains three phosphors, wherein
the first phosphor is an aluminate of barium and / or strontium activated with divalent europium or with divalent europium and divalent manganese, the aluminate having an angular crystal structure which is related to the structure of the angular ferrites,
der zweite Leuchtstoff mit Terbium aktiviert ist und einer der folgenden Formeln entspricht:the second phosphor is activated with terbium and corresponds to one of the following formulas:
und wobei bis zu maximal 25At% des Aluminiums durch Gallium und/oder Scandium und das Magnesium vollständig oder teilweise durch Zink und/oder Beryllium crsct/.t sein kann, undand wherein up to a maximum of 25at% of the aluminum by gallium and / or scandium and the magnesium may be completely or partially through zinc and / or beryllium crsct / .t, and
der dritte Leuchtstoff ein mit dreiwertigem Europium aktiviertes Oxid der Seltenen Erden der Formel
Ln2O1: Eu'' ist, wobei Ln mindestens eines der Elemente
Yttrium, Gadolinium und Lutetium darstellt,
nach Patent 24 46 479.the third phosphor is a rare earth oxide activated with trivalent europium of the formula Ln 2 O 1 : Eu '', where Ln represents at least one of the elements yttrium, gadolinium and lutetium,
according to patent 24 46 479.
Insbesondere betrifft die Erfindung die Verwendung der Lcuchtstoffschicht in für die Beleuchtung von Photolithographieräumen bestimmten Lampen.In particular, the invention relates to the use of the fluorescent layer in for the illumination of photolithography rooms certain lamps.
In der Technik, z. B. in der Halbleitertechnologie, wendet man in großem Umfang sogenannte photolithographische Verfahren an. Bei diesen Verfahren wird ein bestimmtes Muster auf ein Substrat gebracht, indem das Substrat mit einem photoempfindlichen Lack beschichtet und das beschichtete Substrat über eine Maske mit einer Strahlung belichtet wird, für die der benutzte LackIn technology, e.g. B. in semiconductor technology, so-called photolithographic processes are used on a large scale. In these procedures, a A specific pattern is applied to a substrate by coating the substrate with a photosensitive lacquer and the coated substrate is exposed via a mask to radiation for which the lacquer used
ίο empfindlich ist. Hierbei härtet der Lack an den belichteten Stellen aus. Danach kann der unbelichtete Lack entfernt und das erwünschte Muster, z. B. durch Ätzen, auf dem Substrat angebracht werden.ίο is sensitive. The lacquer hardens on the exposed Issues. Then the unexposed varnish can be removed and the desired pattern, e.g. B. by etching attached to the substrate.
härten unter dem Einfluß elektromagnetischer Strahlung mit bestimmten -Wellenlängen aus. Das Ausmaß der Aushärtung des Photolackcs als Funktion der Wellenlänge der auftretenden Strahlung wird mit einer limpfindltchkeitskurvc wiedergegeben. Das Maximum dieser Empfindlichkeitskurve befindet sich für die meisten Photolackc im blauen oder im nahen ultravioletten Bereich des Spektrums. Bei der Beleuchtung von Arbeitsräumen, in denen photolithographische Verfahren angewandt werden, sind Lichtquellen erforderlich, die keine oder eine möglichst nur geringe Strahlung ergeben, für die der Photolack empfindlich ist. Bisher hat man daher in derartigen Räumen gelbes Licht ausstrahlende Lampen wie Nicderdrucknatriumdampfentladungslampen oder Niederdruckquecksilberdampfentladungslampen verwendet, welche letzteren mit einem Leuchtstoff und einer im blauen Bereich des Spektrums stark absorbierenden Schicht versehen sind.harden under the influence of electromagnetic radiation with certain wavelengths. The extent to which the photoresist has hardened as a function of the wavelength the radiation that occurs is shown with a limpfindltchkeitskurvc. The maximum this sensitivity curve is for most photoresists in the blue or near ultraviolet Area of the spectrum. When lighting work rooms, in which photolithographic processes are used, light sources are required that result in no or as little radiation as possible, to which the photoresist is sensitive. So far has Therefore, yellow light emitting lamps such as nicder pressure sodium vapor discharge lamps are used in such rooms or low-pressure mercury vapor discharge lamps are used, the latter with a Phosphor and a layer that is strongly absorbing in the blue region of the spectrum.
Die erwähnten bekannten Lampen erfüllen durchaus die Bedingung einer niedrigen Intensität der ausgesandten blauen und nahen ultravioletten Strahlung. Sie weisen jedoch eine Anzahl wesentlicher Nachteile auf. Die Niederdrucknatriumdampfcntladungslampen liefern eine äußerst mangelhalfte Wiedergabe der Farben der von diesen Lampen beleuchteten Gegenstände. Außer-The known lamps mentioned meet the condition of a low intensity of the emitted blue and near ultraviolet radiation. However, they have a number of significant disadvantages. the Low pressure sodium vapor discharge lamps deliver extremely poor reproduction of the colors of the objects illuminated by these lamps. Except-
M> dem kann die Verwendung dieser Lampen verhältnismäßig hohe Installationskosten mit sich bringen. Die Nieclerclruckquecksilbcrdampfentladungslampen vom vorgenannten Typ weisen den Nachteil eines viel geringeren Uehtstromes im Vergleich zu den Natriumdampf-The use of these lamps can be proportionate to this entail high installation costs. The Nieclercl pressure mercury vapor discharge lamps from aforementioned type have the disadvantage of being much smaller Uehtstromes compared to the sodium vapor
hr) entladungslampen auf. Weiter ergeben diese Lampen eine mangelhafte Farbwicdcrgabc. Eine bisher für den erwähnten /weck oft angewandte Nicderdruckquccksilberdiimpfcniladiingslampe bcsit/.t eine Leuchtstoff-h r ) discharge lamps on. Furthermore, these lamps give poor color rendering. A low pressure mercury diminution lamp, which has been used so far for the wake-up mentioned, has a fluorescent lamp.
schicht aus antimon- und manganaktiviertem Calciumhalophosphat und eine Absorptionsschicht, die ein gelbes Pigment enthält, das unter dein Namen Niekelliianat (Titandioxid mit einigen Gcw.-% Nickeloxid und Antimonpentoxid) bekannt ist Die Absorp ionsschicht, die neben dem Nickeltitanat noch einen inerten, weißen Stoff wie Bariumsulfat, enthalten kann, ist derart gewählt, daß der bei der Beleuchtung von Photolithographieräumen zu stellenden Anforderungen eines Durchlasses der 436-nm-Quecksilberiinie bis zu höchstens 30% entsprochen wird. Diese bekannte Lampe (vom 40-W-Typ) liefert einen Lichtstrom von ungefähr 50 Im/W und besitzt folgende l.EC-Farbwiedergabeindizes: R, = 44. Rq =-130. Ri3 = 37, R14 (Durchschnittswert der Ffcrbwiedergabeindizes für 14 Testfarben) =■ 26.Layer of antimony and manganese-activated calcium halophosphate and an absorption layer that contains a yellow pigment known as Niekelliianat (titanium dioxide with a few% by weight of nickel oxide and antimony pentoxide) The absorption layer, which is an inert, white substance in addition to nickel titanate such as barium sulphate, is selected in such a way that the requirements for a passage of the 436 nm mercury line of up to a maximum of 30%, which must be made when lighting photolithography rooms, are met. This known lamp (of the 40 W type) delivers a luminous flux of approximately 50 Im / W and has the following 1.EC color rendering indices: R, = 44, Rq = -130. Ri 3 = 37, R 14 (average value of the color rendering indices for 14 test colors) = ■ 26.
Auch bei Niederdruckquecksilberdampfcntladungslampen mit einer guten Farbwiedergabe und für allgemeine Beleuchtungszwecke ist es bekannt eine blaue und nahe ultraviolette Strahlung absorbiere.ide Schicht zwischen der Leuchtttoffschicht und der Glaswand der Lampe anzuwenden (DE-AS 14 89448). Diese Lampen könnten durch Verstärkung der Absorptionsschicht für die Beleuchtung von Photolithographieräumen geeignet gemacht werden. Dabei kann der Bedingung des Durchlasses der 436-nm-Quecksilberlinie bis zu höchstens 30% entsprochen werden. Mit den auf diese Weise angeänderten Lampen wird zwar eine bessere Farbwiedergabe erreicht, aber dies geht in hohem Ausmaß auf Kosten des von der Lampe ausgesandten Lichtstroms. Es hat sich daher gezeigt, daß diese Lampen in der Praxis weniger gut brauchbar sind.Even with low-pressure mercury vapor discharge lamps with good color rendering and for general lighting purposes, it is known to use a blue and near ultraviolet radiation absorbing layer between the phosphor layer and the glass wall of the lamp (DE-AS 14 89448). These lamps could be made suitable for illuminating photolithography rooms by reinforcing the absorption layer. The condition for the 436 nm mercury line to pass through can be met up to a maximum of 30%. With the lamps modified in this way, a better color rendering is achieved, but this is to a large extent at the expense of the luminous flux emitted by the lamp. It has therefore been found that these lamps are less useful in practice.
Es ist die Aufgabe der Erfindung, eine Niederdruckquecksilberdampfentladungslampe zu schaffen, die nahezu keine ultraviolette und äußerst wenig blaue Strahlung aussendet und mit der sowohl ein hoher Lichtstrom als auch eine gute Farbwiedergabc erreicht wird. Unter »guter Farbwiedergabe« sei ein mittlerer Farbwiedergabeindex Ra von mindestens 80 verstanden.The object of the invention is to create a low-pressure mercury vapor discharge lamp which emits almost no ultraviolet and extremely little blue radiation and with which both a high luminous flux and good color rendering are achieved. A mean color rendering index R a of at least 80 is understood by “good color rendering”.
Die Lösung dieser Aufgabe besteht erfindungsgemäß in der Verwendung der im Patent 24 46 479 vorgeschlagenen Leuchtstoffschicht in einer Niederdruckquccksilberdampfentladungslampe, deren Glaskolben an der Innenseite mit zwei aufeinander angeordneten Schichten bedeckt ist, wobei die erste direkt auf dem Glaskolben aufliegende Schicht einen ultraviolette und blaue Strahlung absorbierenden Stoff enthält, so daß die 436-nm-Quecksilberlinie zu mindestens 70% absorbiert und sichtbare Strahlung mit Wellenlängen über 480 nm im wesentlichen durchgelassen wird, und wobei die Leuchtstoffschicht über der ersten Schicht an der Entladungsseite aufgebracht ist.This object is achieved according to the invention in the use of those proposed in patent 2,446,479 Fluorescent layer in a low-pressure mercury vapor discharge lamp, whose glass bulb is covered on the inside with two layers arranged one on top of the other, the first directly on the glass bulb overlying layer contains an ultraviolet and blue radiation absorbing substance, so that the 436 nm mercury line at least 70% absorbed and visible radiation with wavelengths above 480 nm im is substantially transmitted, and wherein the phosphor layer is over the first layer on the discharge side is upset.
Diese Niederdruckquecksilberdampfentladungslampe besitzt, wie die bekannten Lampen, eine Absorptionsschicht für ultraviolette und blaue Strahlung. Diese Absorptionsschicht ist derart gewählt, daß wenigstens 70% der blauen Quecksilbcrlinie bei 436 nm absorbiert und die sichtbare Strahlung mit Wellenlängen über 480 nm imwesentlichen (d. h. zu wenigstens 70%) durchgelassen wird. Eine gute Farbwiedergabe (Rü > 80) wird mit der Lampe erreicht, wenn in der auf der Absorptionsschicht aufliegenden Leuchistoffschicht mindestens ein Leuchtstoff aus jeder der vorgenannten Gruppen von Leuchtstoffen Anwendung findet, liinc Folge des Fehlens von ultravioletter und tiefblauer Strahlung ist, daß die Farbtemperatur der von der Lampe ausgesandten Strahlung niedrig ist, /.. B. 2500 K. Die Lampe kann daher vorteilhaft für allgemeine Bclcuchlungszwecke in jenen Fällen eingesetzt werden, in denen eine derartige niedrige Farbtemperatur erwünscht ist Die Lampen eignen sich besonders für die Beleuchtung von Räumen, in denen photolithographische Verfahren angewandt werden. Es hat sich gezeigt, daß die Lampen in derartigen Räumen ohne Gefahr eines unerwünschten Einflusses auf die üblichen Photolacke angewandt werden können. Der dabei mit diesen Lampen erhaltene Lichtstrom ist bedeutend höhar als der derThis low-pressure mercury vapor discharge lamp has, like the known lamps, an absorption layer for ultraviolet and blue radiation. This absorption layer is selected in such a way that at least 70% of the blue mercury line at 436 nm is absorbed and the visible radiation with wavelengths above 480 nm is essentially (ie at least 70%) transmitted. A good color rendering (R ü > 80) is achieved with the lamp if at least one phosphor from each of the aforementioned groups of phosphors is used in the phosphor layer resting on the absorption layer, the result of the lack of ultraviolet and deep blue radiation is that the color temperature the radiation emitted by the lamp is low, / .. B. 2500 K. The lamp can therefore be used advantageously for general purposes in those cases in which such a low color temperature is desired. The lamps are particularly suitable for lighting rooms, in which photolithographic processes are used. It has been shown that the lamps can be used in such rooms without the risk of undesirable effects on the usual photoresists. The luminous flux obtained with these lamps is significantly higher than that of the
ίο bekannten gelb emittierenden Niederdruckquecksilberdampfentladungslampen (z. B. 30% oder darüber). Diese Lichtstromvergrößerung wird von einer drastischen Verbesserung des Farbwiedergabevermögens begleitet Es wird eine Ausführungsform der Erfindung bevor-ίο well-known yellow-emitting low-pressure mercury vapor discharge lamps (e.g. 30% or above). This increase in luminous flux is drastic Accompanied improvement in color rendering. An embodiment of the invention is preferred.
ir. zugt, bei der die erste (absorbierende) Schicht zumindest einen Stoff aus der Gruppe Nickeltitanat (Titandioxid mit Nickeloxid und Antimonpentoxid), mit Mangan aktiviertes Magncsiumarsenat in einer Mischung mit Titanoxid und manganaktiviertes Magnesiumgermanai in einer Mischung mit Titandioxid enthält. Diese an sich bekannten Pigmente besitzen nämlich für den genannten Zweck besonders geeignete Absorptionseigenschaften, die auch beim Betrieb der Lampe für lange Zeit erhalten bleiben. Das Ausmaß der Absorption der Pig-i r . added, in which the first (absorbent) layer contains at least one substance from the group nickel titanate (titanium dioxide with nickel oxide and antimony pentoxide), magnesium arsenate activated with manganese in a mixture with titanium oxide and manganese activated magnesium germanai in a mixture with titanium dioxide. These pigments, which are known per se, have absorption properties which are particularly suitable for the stated purpose and which are retained for a long time even when the lamp is operated. The extent to which the pig-
2r> menie kann außerdem noch durch Mischung der erwähnten Pigmente mit einem inerten weißen Stoff, wie Bariumsulfat, geregelt werden. 2 r > menie can also be regulated by mixing the pigments mentioned with an inert white substance such as barium sulfate.
Die Erfindung wird nachstehend anhand einer Zeichnung, eines Beispiels und einer Anzahl Messungen nä-The invention is explained below with reference to a drawing, of an example and a number of measurements
m her erläutert.
Es zeigen m her explained.
Show it
Fi g. 1 schematisch und teilweise im Schnitt eine Niedcrdruckquecksilbcrdampfcntladungslampeund Fi g. 1 shows schematically and partially in section a low-pressure mercury vapor discharge lamp and
y-, Lampe ausgesanten Strahlung. y, lamp emitted radiation.
In Fi g. 1 ist 1 der zylindrische Glaskolben einer Niedcrdruckquccksilbcrdampfentladungslampe. An den Enden der Lampe sind Elektroden 2 und 3 angeordnet, zwischen denen die Entladung aufrechterhalten wird.In Fi g. 1 is the cylindrical glass bulb of a low-pressure mercury vapor discharge lamp. Electrodes 2 and 3, between which the discharge is maintained, are arranged at the ends of the lamp.
Der Kolben 1 ist an der Innenseite mit einer Absorptionsschicht 5 bedeckt, die die in der Niederdruckquecksilberdampfcntladung erzeugte 436-nm-Quecksilberiinic zu mindestens 70% absorbiert. Auf der Schicht 5 ist entladungsscitig eine Lcuchtstoffschicht 4 angebracht,The inside of the bulb 1 is covered with an absorption layer 5, which absorbs the low-pressure mercury vapor discharge 436 nm mercury inic produced is absorbed to at least 70%. On layer 5 is a layer of fluorescent material 4 attached to discharge,
4ri die aus einer Kombination von Leuchtstoffen gemäß Patent 24 46 479 besteht Die Lampe ist vom 40-W-Typ. Das nachfolgende Ausführungsbeispiel bezieht sich auf eine Lampe von dem anhand der F i g. 1 beschriebenen Typ. Die l.euchtstoffschicht enthält insgesamt 4 Gramm des im Beispiel erwähnten Gemisches von Leuchtstoffen; die Absorptionsschicht absorbiert 75% der 436-nm-Queeksilbcrlinie.4 r i which consists of a combination of phosphors according to patent 24 46 479. The lamp is of the 40 W type. The following exemplary embodiment relates to a lamp of the type illustrated in FIG. 1 described type. The first fluorescent layer contains a total of 4 grams of the mixture of phosphors mentioned in the example; the absorption layer absorbs 75% of the 436 nm Queek Silver line.
Ein Gemisch von 10Gew.-% Nickeltitanat und 90 Gew.-% Bariumsulfat.A mixture of 10% by weight nickel titanate and 90% by weight barium sulfate.
bo Erster Leuchtstoff:bo first phosphor:
Mit zweiwertigem Europium aktiviertes Stronitiummagnesiumaluminat der FormelStronitium magnesium aluminate activated with divalent europium the formula
/Ig11AIv1Om(II Gew.-%)./ Ig 11 AIv 1 Om (II wt%).
br> Zweiter Leuchtstoff:b r > Second phosphor:
Terbiumaktiviertes Ccrmagnesiumaluminat der Formel Ceii.?nTbii.i(iMgAliiOm(31 Gew.-%).Terbium-activated magnesium aluminate of the formula Ceii.?nTbii.i(iMgAliiOm(31% by weight).
Mit dreiwertigem Europium aktiviertes Yttriumoxid (58 Gew.-%).Yttrium oxide activated with trivalent europium (58% by weight).
Von der Lampe nach dem Beispiel wurden der Licht- r> strom LO in Im/W nach 100 Betriebsstunden, der allgemeine Farbwiedergabeindex R1, (Durchschnitt der Farbwiedergabeindizes für 8 Testfarben), Rq (Wiedergabeindex für tief rote Farben), Ri ι (Wiedergabeindex für die Hautfarbe) und schließlich der Durchschnittswert von to 14 Wiedergabeindizes Rh gemessen. Die Messungen sind in nachstehender Tabelle unter B zusammengefaßt. Zu Vergleichszwecken enthält die Tabelle unter A die Ergebnisse von Messungen an einer bekannten gelb emittierenden Niederdruckquecksilberdampfcntlii- r. dungslampe. Diese bekannte Lampe besitzt eine nickcltitanathaltige Absorptionsschicht (95% Absorption der 436-nm-Quecksilberlinie) und eine Lcuchtstoffschicht aus mit Antimon und Mangan aktiviertem Calciumhalophosphat (warmweiß). 2»From the lamp following the example of light r> current LO in lm / W after 100 hours of operation, the general color rendering index R 1 (average of the color rendering indices for 8 test colors), Rq were (rendering index for deep red colors), Ri ι (rendering index for skin color) and finally the average value of to 14 rendering indexes Rh was measured. The measurements are summarized under B in the table below. For comparison purposes, the table under A contains the results of measurements on a known yellow-emitting low-pressure mercury vapor vent. education lamp. This known lamp has an absorption layer containing nickel titanium (95% absorption of the 436 nm mercury line) and a fluorescent layer of calcium halophosphate activated with antimony and manganese (warm white). 2 »
2r>2 r >
JOJO
F i g. 2 zeigt die spektrale Energieverteilung des oben gegebenen Ausführungsbeispiels einer Lampe in Form einer graphischen Darstellung. Auf der horizontalen Achse ist die Wellenlänge A in nm und auf der vertikalen r> Achse die ausgesandte Strahlungsenergie L·' in beliebigen Einheiten aufgetragen. Mit Hg sind in der graphischen Darstellung die von der Lampe ausgesandten sichtbaren Quecksilberlinien bezeichnet.F i g. 2 shows the spectral energy distribution of the exemplary embodiment of a lamp given above in the form of a graphic representation. The wavelength A is plotted in nm on the horizontal axis and the emitted radiation energy L · 'is plotted in arbitrary units on the vertical r> axis. The visible mercury lines emitted by the lamp are denoted by Hg in the graphic representation.
4040
41S4 1 p
5555
6060
Claims (1)
der erste Leuchtstoff ein mit zweiwertigem Europium oder it zweiwertigem Europium und mit zweiwertigem Mangan aktiviertes Aluminat von Barium und/oder Strontium ist, wobei das Aluminat eine hcxagonale Kristallstruktur besitzt, die der Struktur der hexagon.alen Ferrite verwandt ist.
der zweite Leuchtstoff mit Terbium aktiviert ist und einer der folgenden Formeln entspricht:1. Use of a fluorescent layer for a low-pressure mercury vapor discharge lamp. which contains three phosphors, where
the first phosphor is an aluminate of barium and / or strontium activated with divalent europium or with divalent europium and with divalent manganese, the aluminate having a hexagonal crystal structure which is related to the structure of the hexagonal ferrites.
the second phosphor is activated with terbium and corresponds to one of the following formulas:
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