DE2431496A1 - Elektronenstrahl-bildmustergenerator - Google Patents

Elektronenstrahl-bildmustergenerator

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DE2431496A1
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DE
Germany
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deflection
arrangement according
control
electron
target electrode
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Pending
Application number
DE2431496A
Other languages
German (de)
English (en)
Inventor
William Robert Livesay
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RADIANT ENERGY SYSTEMS
Original Assignee
RADIANT ENERGY SYSTEMS
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Publication date
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Pending legal-status Critical Current

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    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/30—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects
    • H01J37/304—Controlling tubes by information coming from the objects or from the beam, e.g. correction signals
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/30—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects
    • H01J37/302—Controlling tubes by external information, e.g. program control

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Electron Beam Exposure (AREA)
DE2431496A 1974-03-05 1974-07-01 Elektronenstrahl-bildmustergenerator Pending DE2431496A1 (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US448283A US3922546A (en) 1972-04-14 1974-03-05 Electron beam pattern generator

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE2431496A1 true DE2431496A1 (de) 1975-09-11

Family

ID=23779689

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE2431496A Pending DE2431496A1 (de) 1974-03-05 1974-07-01 Elektronenstrahl-bildmustergenerator

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JP (1) JPS50120095A (enExample)
DE (1) DE2431496A1 (enExample)
FR (1) FR2263600A1 (enExample)
IT (1) IT1015575B (enExample)
NL (1) NL7408820A (enExample)
SE (1) SE7408231L (enExample)
ZA (1) ZA744165B (enExample)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2805602A1 (de) * 1977-02-14 1978-08-17 Burroughs Corp Einrichtung zur bestrahlung einer zieloberflaeche mit einem variablen elektronenstrahl, insbesondere elektronenstrahlgenerator, zur herstellung von halbleiter-bauelementen

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2805602A1 (de) * 1977-02-14 1978-08-17 Burroughs Corp Einrichtung zur bestrahlung einer zieloberflaeche mit einem variablen elektronenstrahl, insbesondere elektronenstrahlgenerator, zur herstellung von halbleiter-bauelementen

Also Published As

Publication number Publication date
IT1015575B (it) 1977-05-20
FR2263600B3 (enExample) 1977-05-06
SE7408231L (enExample) 1975-09-08
ZA744165B (en) 1975-07-30
NL7408820A (nl) 1975-09-09
JPS50120095A (enExample) 1975-09-19
FR2263600A1 (en) 1975-10-03

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