DE2362825C2 - Pulling device for crystals - Google Patents

Pulling device for crystals

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DE2362825C2
DE2362825C2 DE19732362825 DE2362825A DE2362825C2 DE 2362825 C2 DE2362825 C2 DE 2362825C2 DE 19732362825 DE19732362825 DE 19732362825 DE 2362825 A DE2362825 A DE 2362825A DE 2362825 C2 DE2362825 C2 DE 2362825C2
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DE
Germany
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threaded sleeve
pulling device
pulling
pull rod
crystals
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Expired
Application number
DE19732362825
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German (de)
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DE2362825A1 (en
Inventor
Joachim 2000 Hamburg Schmidt
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Philips Intellectual Property and Standards GmbH
Original Assignee
Philips Patentverwaltung GmbH
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Publication date
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Expired legal-status Critical Current

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Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C30CRYSTAL GROWTH
    • C30BSINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
    • C30B15/00Single-crystal growth by pulling from a melt, e.g. Czochralski method
    • C30B15/30Mechanisms for rotating or moving either the melt or the crystal

Description

Die Erfindung bezieht sich auf eine Ziehvorrichtung nach dem Gattungsbegriff des Anspruches 1.The invention relates to a pulling device according to the preamble of claim 1.

Derartige Ziehvorrichtungen sind bekannt Bei ihnen wird aber zusätzlich noch ein dritter Antrieb eingesetzt, mit dem die Ziehstange schnell auf- oder abwärts bewegt werden kann. Die dazu eingesetzten Antriebseinrichtungen lassen sich aber umständlich handhaben und erfordern eine lange Bedienungszeit. Dies ergibt sich daraus, daß die Rotations- und Hubantriebsmotoren abgeschaltet und der üchnelkiitrieb eingeschaltet werden müssen, wozu mehrtre Handhabungen erforderlich sind.Such pulling devices are known. However, a third drive is also used with them, with which the pull rod can be quickly moved up or down. The drive devices used for this purpose can, however, be handled in a cumbersome manner and require a long service time. This results from the fact that the rotary and lifting drive motors switched off and switched on the üchnelkiittrieb must be, including several manipulations are required.

Es ist auch eine Ziehvorrichtung bekannt geworden, bei welcher nur zwei Antriebsmotoren eingesetzt werden, wobei einer den Schnell- und Langsamhub bewirkt, während der andere allein die Rotationsbewegung liefert. Diese Vorrichtung macht ein zusätzliches Vorgelegegetriebe erforderlich, welches umgeschaltet werden muß, wenn vom langsamen auf den schnellen Antrieb übergegangen werden soll oder umgekehrt.A pulling device has also become known in which only two drive motors are used with one effecting the fast and slow strokes, while the other is solely responsible for the rotary movement supplies. This device makes an additional countershaft transmission necessary, which shifts must be used if a change is to be made from the slow to the fast drive or vice versa.

Es ist Aufgabe der Erfindung, eine Ziehvorrichtung zu schaffen, welche nur mit zwei Antriebsmotoren arbeitet, jedoch auch ohne ein Zwischengetriebe auskommt.The object of the invention is to create a pulling device which only works with two drive motors, however, it can do without an intermediate gear.

Die gestellte Aufgabe ist bei einer Ziehvorrichtung mit den kennzeichnenden Merkmalen des Anspruches 1 gelöst.The task at hand is for a pulling device with the characterizing features of claim 1 solved.

Mit Hilfe der umschaltbaren Kupplung kann der Ziehmechanismus schlagartig auf ein schnelles Hochfahren der Ziehstange umgeschaltet werden. Dies ist günstig in Notfällen, wie beispielsweise bei einer Unfallgefahr oder beim Abziehen des Kristallstückes aus der Schmelze oder schließlich beim Ausfall der Wärmequelle der Schmelze, womit dann der bis dort hin gezogene Stück-Kristall noch erhalten bleibt. Weiterhin läßt sich die Ziehstange durch das schnelle Umschalten bequem und rasch in die gewünschte Stellung bringen, wie beispielsweise durch Abwärtsfahren vom Beginn des Ziehvorganges,With the help of the switchable clutch, the pulling mechanism can suddenly start up quickly the pull rod can be switched. This is useful in emergencies such as a Risk of accident or when pulling the piece of crystal from the melt or ultimately when the Heat source of the melt, with which the piece of crystal that has been pulled up to this point is still preserved. Farther the pull rod can be easily and quickly brought into the desired position by quickly switching over, such as by driving down from the beginning of the pulling process,

ϊ Weitere Merkmale der Erfindung ergeben sich aus dem Unteranspruch.ϊ Further features of the invention result from the subclaim.

Die Erfindung wird anhand des in der Zeichnung dargestellten Ausführungsbeispieles näher erläutert.
In einem Gehäuse, bestehend aus einer oberen
The invention is explained in more detail with reference to the embodiment shown in the drawing.
In a housing consisting of an upper

lü Lagerplatte 1, einer Hülse 2 und einer unteren Lagerplatte 3, ist eine Ziehstange 5 innerhalb einer Gewindehülse 7 gelagert Die Lagerung erfolgt in der unteren Lagerplatte 3 unmittelbar und in der oberen Lagerplatte 1 über eine Mutter 9, die über ein Schneckenrad 11 und eine Schnecke 13 in Umlauf versetzbar ist Die Welle 14 der Schnecke ist mit einem Antriebsmotor verbunden.lü bearing plate 1, a sleeve 2 and a lower bearing plate 3, is a pull rod 5 within a Threaded sleeve 7 stored The storage takes place in the lower bearing plate 3 directly and in the upper one Bearing plate 1 via a nut 9, which circulates via a worm wheel 11 and a worm 13 The shaft 14 of the worm is connected to a drive motor.

Zur seitlichen Aussteifung der Ziehstange 5 dient ein Querhaupt 15, welches in Führungen 17 und 19 auf- und abfahrbar ist. An dem Querhaupt 15 ist ein topfförmiges Gehäuse 2! befestigt, in dem sich zwischen zwei Elektromagneten 23,25 ein Flansch 26 der Gewindehülse 7 befindet
Zwischen der unteren Lagerplatte 3 und dem Querhaupt 15 sind noch Zahnräder 27 und 29 angeordnet. Das Zahnrad 29 ist dabei auf der Führung 19 in einer Längsnut mit einem Keil verschiebbar. An ihrem oberen Ende 30 ist die Führung mit einem nichtdargestellten Antriebsmotor verbunden. Das Zahnrad 27 weist einen die Ziehstange 5 umgebenden hülsenförmigen Teil 31 auf, welcher in das Innere der Magnetkupplung 25 hineinreicht
A crosshead 15, which can be moved up and down in guides 17 and 19, serves to reinforce the side of the pull rod 5. On the crosshead 15 is a cup-shaped housing 2! attached, in which a flange 26 of the threaded sleeve 7 is located between two electromagnets 23, 25
Gears 27 and 29 are also arranged between the lower bearing plate 3 and the crosshead 15. The gear 29 can be displaced on the guide 19 in a longitudinal groove with a wedge. At its upper end 30, the guide is connected to a drive motor, not shown. The gear wheel 27 has a sleeve-shaped part 31 which surrounds the pull rod 5 and extends into the interior of the magnetic coupling 25

Bei normalem Ziehbetrieb treibt die Welle 14 die Mutter 9 mit sehr geringer Geschwindigkeit an. Die Gewindehülse 7 wird dadurch innerhalb der Mutter 9 zusammen mit der Ziehstange 5 allmählich hochgezogen. Über die sich drehende, als Führung ausgebildete Welle 30 wird zugleich die Ziehstange in Rotation versetzt. Während dieses langsamen Ziehhubes ist die Magnetkupplung 23 eingeschaltet. Diese Magnetkupplung verbindet die Gewindehülse verdrehungssicher mit dem Gehäuse 21. Die Gewindehülse kann sich also nicht um ihre eigene Achse drehen.During normal pulling operation, the shaft 14 drives the nut 9 at a very low speed. the The threaded sleeve 7 is thereby gradually pulled up inside the nut 9 together with the pull rod 5. At the same time, the pull rod is in rotation via the rotating shaft 30, which is designed as a guide offset. During this slow pulling stroke, the magnetic coupling 23 is switched on. This magnetic coupling connects the threaded sleeve to the housing 21 in a torsion-proof manner. The threaded sleeve can therefore not move rotate on their own axis.

Für den Eilgang, d. h. für eine schnelle HubbewegungFor rapid traverse, i.e. H. for a quick lifting movement

der Ziehstange wird die Magnetkupplung 23 ausgeschaltet und dafür die Magnetkupplung 25 eingeschaltet. Die Gewindehülse 7 kann sich nunmehr gegenüber dem Gehäuse 21 drehen. Durch das Einschalten der Magnetkupplung 25 wird aber der Flansch 26 der Gewindehülse kraftschlüssig mit dem Zahnrad 27 verbunden. Damit dreht sich also die Gewindehülse 7 mit der Rotationsgeschwindigkeit der Ziehstange 5. Dies bewirkt, daß sich die Gewindehülse 7 in der Mutter 9 rasch nach oben bewegt.the pull rod, the magnetic coupling 23 is switched off and the magnetic coupling 25 is switched on. The threaded sleeve 7 can now rotate relative to the housing 21. By switching on the magnetic coupling 25, however, the flange 26 of the threaded sleeve is connected to the gear wheel 27 in a non-positive manner. Thus, the threaded sleeve 7 rotates at the speed of rotation of the pull rod 5. This causes the threaded sleeve 7 in the nut 9 to move rapidly upwards.

Die Umschaltung von langsamem Hub auf schnellen Hub erfolgt also allein mit den Elektromagneten 23 und 25.The switchover from slow stroke to fast stroke takes place solely with the electromagnets 23 and 25th

Hierzu 1 Blatt Zeichnungen1 sheet of drawings

Claims (1)

Patentansprüche:Patent claims: 1, Ziehvorrichtung for Kristalle mit einer Ziehstange, die in einer Gewindehölse drehbar gelagert und mit einem Rotatfonsantrieb und über die GewindehOlse mit einem mit dem Hülsengewinde kämmenden Hubantrieb verbunden ist, dadurch gekennzeichnet, daß der Rotationsantrieb über eine umschaltbare Kupplung (23, 25) mit der Gewindehülse (7) verbunden ist.1, pulling device for crystals with a pulling rod, which are rotatably mounted in a threaded sleeve and with a rotary drive and via the threaded sleeve with one with the sleeve thread meshing lifting drive is connected, characterized in that the rotary drive is connected to the threaded sleeve (7) via a switchable coupling (23, 25). 2, Ziehvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß zwei wechselweise erregbare Elektromagnetkupplungen (23,25) vorgesehen sind, von denen die eine bei ihrer Erregung ein drehgesichertes Gehäuse (21) mit der Gewindehülse (7) und die andere bei ihrer Erregung den Rotationsantrieb (30, 29, 27) mit der Gewindehülse (7) verbindet.2, pulling device according to claim 1, characterized in that two alternately excitable Electromagnetic clutches (23,25) are provided, one of which when energized rotationally secured housing (21) with the threaded sleeve (7) and the other when it is excited Rotary drive (30, 29, 27) connects to the threaded sleeve (7).
DE19732362825 1973-12-18 1973-12-18 Pulling device for crystals Expired DE2362825C2 (en)

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DE2362825A1 DE2362825A1 (en) 1975-06-19
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JPS6158883A (en) * 1984-08-31 1986-03-26 Gakei Denki Seisakusho:Kk Moving device for partition plate
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DE977636C (en) * 1954-02-07 1967-11-02 Siemens Ag Device for movably holding an elongated body made of crystalline material, in particular of semiconductor material, during crucible zone melting

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