DE2362484A1

DE2362484A1 - PLASMA DISPLAY DEVICE

Info

Publication number: DE2362484A1
Application number: DE2362484A
Authority: DE
Inventors: John Louis Janning
Original assignee: NCR Corp
Current assignee: NCR Voyix Corp
Priority date: 1972-12-26
Filing date: 1973-12-15
Publication date: 1974-07-11
Also published as: GB1410866A; JPS4991577A; CA993540A; US3801852A

Description

PLASMA DISPLAY DEVICE

Die Erfindung betrifft eine Plasmaanzeigevorrichtung mit ionisierbarem Gas_s das zwischen zwei Wänden eingeschlossen ist, die Elektrodenmittel aufweisen₈ so daß in dem Gas ein sichtbares Glimmen bzw_o Glühen erzeugt werden kann. Ferner betrifft die Erfindung ein Verfahren zur Herstellung solcher Plasmaanzeigevorrichtungen_o The invention relates to a plasma display device with ionizable gas _s is enclosed between two walls, the electrode means having ₈ so that in the gas or a visible glow _o annealing can be produced. The invention also relates to a method for producing such plasma display devices _o

Bei bekannten Plasmaanzeigevorrichtungen dieser Art .ist ein ionisierbares Gas in einer aus identischen Zellen bestehenden Matrix eingeschlossen und es sind Elektroden vorgesehen, so daß einzelne Zellen wahlweise derart aktiviert werden können, daß in den gewählten Zellenkombinationen ein Plasmaglimmen erzeugt wird₀ wodurch gewählte GlimmMuster angezeigt werden. Solche Vorrichtungen haben den Nachteil, daß eine große Anzahl von einzeln erregbaren Elektroden vorhanden sein muß, wenn Bilder beliebiger Kompliziertheit angezeigt werden sollen.In prior art plasma display devices of this type an ionizable gas .is in a group consisting of identical cells matrix included and there are electrodes provided so that individual cells can be selectively activated such that in the selected cell combinations, a plasma glow is generated ₀ whereby selected GlimmMuster display. Such devices have the disadvantage that a large number of individually excitable electrodes must be present if images of any complexity are to be displayed.

Durch die Erfindung soll die Aufgabe gelöst werden, mit geringerem Aufwand auch kompliziertere Bilder anzuzeigen.The object is to be achieved by the invention, even more complicated ones with less effort Display images.

Diese Aufgabe wird gemäß der Erfindung dadurch gelöst, daß zwischen den genannten Wänden Bildmuster bildende Slasmittel angeordnet sind* die ein Hohlraumniuster enthalten, das mindestens ein anzuzeigendes Halbtonbild definiert.This object is achieved according to the invention in that image patterns between the walls mentioned Forming Slasmittel are arranged * which a Hohlraumniuster that defines at least one halftone image to be displayed.

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Es ist ersichtlich, daß eine solche Plasmaanzeigevorrichtung nach der Erfindung derart konstruiert sein kann, daß mit einem Minimum an elektrischem Schaltungsaufwand auch verhältnismäßig komplexe Bilder angezeigt werden können. Es hat sich gezeigt, daß eine Bildauflösung von mindestens 26 Linien pro Zentimeter (65 Linien pro Inch) erreicht werden kann. Weiter kann die Vorrichtung so ausgebildet sein, daß wahlweise eine Vielzahl verschiedenartiger Bilder angezeigt v/erden kann, wie dies nachstehend noch im einzelnen beschrieben wird,,It can be seen that such a plasma display device according to the invention is so constructed it can be that with a minimum of electrical circuitry even relatively complex images can be displayed. It has been shown that an image resolution of at least 26 lines per centimeter (65 lines per inch) can be achieved. Next, the device can be designed so that optionally one A large number of different images can be displayed, as will be described in detail below,

Die Herstellung und Funktion der erfindungsgemäßen Plasmaanzeigevorrichtung wird im folgenden an Hand von Zeichnungen beschrieben. Diese zeigen:The manufacture and function of the plasma display device according to the invention is described below Hand described by drawings. These show:

Figur 1 eine allgemeine perspektivische Vorderansicht einer erfindungsgemäßen Plasmaanzeigevorrichtung mit einem festen Bild darauf₈ FIG. 1 is a general perspective front view of a plasma display device according to the invention with a solid image _{8 thereon}

Figur 2 eine Schnittdarstellung längs der Ebene 2-2 von Figur 1, welche einzelne Details der Plasmaanzeigevorrichtung und insbesondere die zur Bildmusterbildung dienenden Mittel zeigt,Figure 2 is a sectional view along the Level 2-2 of FIG. 1, which shows individual details of the plasma display device and in particular that for Shows means serving the formation of patterns,

Figur 3 ein schematisches Diagramm zur Erläuterung des Herstellungsverfahrens eines Halbton-Transparentfilms, wie er zur Erzeugung des Hohlraummusters in den Muster bildenden Mitteln verwendet werden kann,Fig. 3 is a schematic diagram for explaining the manufacturing process of a halftone transparent film used to create the cavity pattern in the pattern forming means can,

Figur 4 eine perspektivische schematische Darstellung eines Teiles eines Huster bildenden Mittels, welches bei einer bevorzugten Ausführungs form der Erfindung verwendet wird, wobei ein Muster aus Hohlräumen dargestellt ist, deren Durchmesser entsprechend einem Muster von Datenpunkten variieren, die sich auf dem passenden Halbton-Transparentfilm befinden,FIG. 4 is a perspective schematic representation of part of a cough-forming agent, which is used in a preferred embodiment of the invention, wherein a pattern of cavities the diameters of which vary according to a pattern of data points located on the matching halftone transparent film are located,

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Figur 5. eine schematische perspektivische Darstellung ähnlich Figur 4 von Muster bildenden Mitteln, die bei einer weiteren Ausführungs form der Erfindung verwendet werden, bei welcher das. Bild durch ein Muster von Pfosten erzeugt wird, die dem aus Datenpunkten gebildeten Muster auf dem passenden Halbton-Transparentfilm entsprechen, wobei das Plasmaglimmen in den rund um die Pfosten herum liegenden Bereichen erzeugt wird,.FIG. 5 is a schematic perspective illustration similar to Figure 4 of pattern-forming means used in a further embodiment of the invention in which the image is generated by a pattern of posts corresponding to the pattern formed from data points on the matching halftone transparent film, with the plasma glow in the around the posts lying areas is generated.

Figur 6 eine vergrößerte, modifizierte Form eines Siebes bzw. Rasters, das zur Herstellung eines Halbton-Transparentfilms zur Bildung der Muster formenden Mittel verwendet wird,FIG. 6 shows an enlarged, modified form of a screen or grid which is used for the production of a Halftone transparent film is used to form the pattern forming agent,

Figur 7 eine abgebrochene Schnittdarstellung ähnlich Figur 2, welche weitere Einzelheiten der erfindungsgemäßen Plasmaanzeigevorrichtung zeigt,Figure 7 is a broken sectional view similar to Figure 2, which further details of the invention Plasma display device shows

Figur 8 eine schematische Schnittdarstellung ähnlich Figur 2, die weitere Einzelheiten der erfindungsgemäßen Plasmaanzeigevorrichtung für eine Ausführungsform zeigt, bei welcher eine Vielzahl von Bildern wahlweise angezeigt werden können,FIG. 8 a schematic sectional illustration similar to FIG. 2, the further details of the plasma display device according to the invention for one embodiment shows in which a variety of images can be optionally displayed,

Figur 9 eine schematische Darstellung zur Erläuterung, wie die Hohlräume eines bestimmten festen Bildes bestimmten Stellen auf den Muster bildenden Mitteln zugeordnet sind,Figure 9 is a schematic illustration to explain how the cavities of a particular solid Image are assigned to certain points on the pattern-forming means,

Figur 10 eine vergrößerte Darstellung eines Halbton-Transparentfilms, der entsprechend dem in Figur 3 dargestellten Verfahren hergestellt wurde,FIG. 10 is an enlarged illustration of a halftone transparent film which corresponds to that in FIG process shown has been established,

Figur 11 das Schema einer Schablone_s die zur Hohlraumbildung der Muster bildenden Vielbild-Mittel an bestimmten Stellen verwendet werden kann, undFIG. 11 shows the diagram of a stencil _s which can be used at certain points for the formation of cavities in the multi-image means that form the pattern, and FIG

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Figur 12 ein Schema ähnlich Figur 9 zur Darstellung, wie die Hohlräume bestimmten Stellen in den Muster bildenden Mitteln einer erfindungsgemäßen Vorrichtung zugeordnet sind, bei welcher bis zu neun feste Bilder wahlweise angezeigt werden können.Figure 12 is a scheme similar to Figure 9 for illustration, like the cavities, specific locations in the pattern-forming means of a device according to the invention are assigned, in which up to nine fixed images can be optionally displayed.

Die Figuren 1 und 2 zeigen, daß die erfindungsgemäße Plasmaanzeigevorrichtung 10 eine hintere Wand bzw. ein hinteres Substrat 12 und eine vordere Wand bzw. ein vorderes Substrat 14 aufweist, die jeweils Elektrodenmittel tragen. Zwischen den beiden Platten ist eine mit Hohlräumen versehene Platte 20 (Figur 2) angeordnet. Das hintere Substrat 12 besteht aus einem Isolationsmaterial, z. B. Glas, und trägt eine erste Elektrode 16 (Figur 2). Die Elektrode 16 ist ein Leiter, z. B. eine dünne Schicht aus Silber, der sich über einen Bereich erstreckt, der mindestens so groß ist wie der von den Hohlräumen eingenommene Bereich in der Hohlraumplatte 20. Diese Platte ist auch als Muster bildende Mittel 20 bezeichenbar.Figures 1 and 2 show that the plasma display device 10 according to the invention has a rear wall or a back substrate 12 and a front wall or substrate 14 each having electrode means wear. A plate 20 (FIG. 2) provided with cavities is arranged between the two plates. That rear substrate 12 consists of an insulating material, z. B. glass, and carries a first electrode 16 (Figure 2). The electrode 16 is a conductor, e.g. B. a thin layer made of silver extending over an area at least as large as that occupied by the cavities Area in the cavity plate 20. This plate can also be referred to as a pattern-forming means 20.

Das vordere Substrat 14 besteht aus einem transparenten Isolationsmaterial, z. B. Glas, und trägt eine zweite Elektrode 18, die aus einer dünnen Schicht eines geeigneten elektrisch leitenden, transparenten Materials, z. B. Zinnoxid, besteht, das sich über einen Bereich erstreckt, der mindestens gleich groß ist wie der von den Hohlräumen eingenommene Bereich, entsprechend dem vorgenannten Falle. Die Elektrodenmittel können eine dünne Schicht aus Glas mit einer Dicke von ungefähr 0,0127 mm (nicht dargestellt) aufweisen, das auf die Elektrode 18 aufgebracht ist, um diese Elektrode von einem ionisierbaren Gas zu isolieren, das die Hohlräume füllt.The front substrate 14 is made of a transparent insulating material, e.g. B. Glass, and carries a second electrode 18 made of a thin layer of a suitable electrically conductive, transparent Materials, e.g. B. tin oxide, which extends over an area that is at least as large as the area occupied by the cavities, corresponding to the aforementioned case. The electrode means can be a have a thin layer of glass approximately 0.0127 mm thick (not shown) that is placed on the Electrode 18 is applied to isolate this electrode from an ionizable gas that the cavities fills.

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Die Hohlraumplatte 20 besteht aus einer Glasschicht, die entsprechend Figur 2 zwischen das vordere und hintere Substrat 14 und 12 eingefügt ist. Die Hohlraumplatte 20 ist vorzugsweise aus undurchsichtigem schwarzen Glas gebildet. Dieses undurchsichtige Glas kann entsprechend der Darstellung beispielsweise aus Corning powdered glass =//=7570 gebildet werden₈ welches von der Corning Glass Company hergestellt wird. Dieses Glaspulver kann mit Drakenfeld powdered dye =//■1795 gemischt werden, das von ,Hercules, Ine, Washington, Pennsylvania.!, hergestellt wird,, Eine bestimmte Gewichtsmenge des Farbstoffes (-dye)«welche fünf Prozent an Gewicht des puiverförmi gen Glases ausmacht, ergibt ein zufriedenstellendes undurchsichtiges Gl as ο Die Platte 20 ist mit einer Vielzahl von öffnungen bzw* Hehl räumen 22, 24 versehen. Das Verfahren zur Herstellung dieser Hohlräume wird hierin später beschrieben.The cavity plate 20 consists of a glass layer which, as shown in FIG. 2, is inserted between the front and rear substrates 14 and 12. The cavity plate 20 is preferably formed from opaque black glass. This opaque glass can be formed from Corning powdered glass = // = 7570, for example _8, which is manufactured by the Corning Glass Company, as shown. This glass powder can be mixed with Drakenfeld powdered dye = // ■ 1795 made by Hercules, Ine, Washington, Pennsylvania Glass makes up a satisfactory opaque glass ο The plate 20 is provided with a large number of openings or cavities 22, 24. The method for making these voids is described later herein.

Die Ränder der forrichtwng können in üblicher Weise -durch Aufbringen einer ISlasfHttescihicht 26 rund Wn diese bänder und anschließen des Erwärmen, der Vorrichtung in einem Öfen, so daß die Siasfritte aufschmilzt» abgedichtet werden* Jtacn dem Abdichten der Sander wird über einen Stutzen 2S* der anit den ttoh'l räumen 24,, 22 in Verbindung steht, die luft abigezogen und diese Hohlräume mit einem ionisi^rbaren £as gefüllt. Nach dem füllen v/ird der Stutzen .£8 aibigedichtfet» 'Normale*rwsise feaben die BerührungsfläiGhieai zwischen der ioliiratimplatte IO und der zweiten Elektrode 18 |oder dter gegebenenfalls verwendeten, die Elektrode 12 abdeckenden dasschicht) :k!<e1ne Unre-geimäSigkeiteni, d^rch welche hindurch sich der ^Gasdruck zwischen den einzelnen iHonlräiamen aus-Alternativ nieriza können a;ucli tbiieheThe edges of the forrichtwng can be sealed in the usual way - by applying an insulating layer 26 around these tapes and then heating the device in an oven so that the glass frit melts on anit den ttoh'l spaces 24 ,, 22 is in connection, the air is drawn off and these cavities are filled with an ionizable as. After filling, the nozzle is sealed. Normally, the contact area between the ioliiratimplatte IO and the second electrode 18 | or the layer covering the electrode 12 , which may be used, is noticeable. through which the gas pressure between the individual iHonlräiamen is exerted - alternatively nieriza can a; ucli tbiehe

Druckausgleichskanäle (nicht dargestellt) vorgesehen sein, · welche die Hohlräume miteinander verbinden, um zwischen ihnen einen Gasdruckausgleich zu ermöglichen. Ein mit der ersten Elektrode 16 verbundener Anschluß 30 und ein mit der zweiten Elektrode 18 verbundener Anschluß 32 können an eine Wechselstromquelle angeschlossen werden und dienen dadurch zur Erregung der Vorrichtung. Pressure equalization channels (not shown) can be provided which connect the cavities to one another in order to enable gas pressure equalization between them. A connection 30 connected to the first electrode 16 and a connection 32 connected to the second electrode 18 can be connected to an alternating current source and thereby serve to excite the device.

Ein Verfahren zur Bildung der Hohlräume in der Platte 20 wird nun mit Bezug auf Figur 3 beschrieben, die schematisch einen fotografischen Vergrößerungsprozeß zeigt. Ein Filmnegativ 34, das dem auf der Vorrichtung .10 (Figur 1) anzuzeigenden Bild entspricht, wird in einem Vergrößerungsgerät positioniert, das eine Lichtquelle 36, eine Linse 38 und eine Platte 40 mit veränderlicher Blendenöffnung enthält. Zur Herstellung eines Halbton-Transparentfilmes von dem Negativ 34 muß ein Sieb 42 verwendet werden, welches in seiner Art den Sieben entspricht, wie sie beim Drucken von Zeitungen zur Herstellung von Halbton-Transparenten verwendet werden. Bei der dargestellten Ausführungsform weist das Sieb ungefähr 26 Linien pro Zentimeter (€5 Linien pro Inch) auf, wobei die Linien des Siebes in üblicher Weise rechtwinklig zueinander angeordnet sind* Der TJffnungsdurchmesser in der Platte 40 ist gleich dem Abstand "d^JI und das Sieb 42 ist ebenfalls mit dem Abstand "d" von dem unbelichteten fotografischen Film 44 angeordnet. Aus dem Film 44 wird nach dem Belichten und Entwickeln der Halbton-Transparentfilm. Das Sieb 42 wird mit einem Abstand "D" von der Platte 40 angeordnet, wobei der Abstand ¹¹D* gleich dem Abstand ^Hd" multipliziert mit der Anzahl von Linien pro Inch in dem Sieb 42 ist. Wenn zum Beispiel der Abstand "d" ein halbes Inch beträgt und das Sieb .42 insgesamtA method of forming the voids in plate 20 will now be described with reference to Figure 3 which schematically shows a photographic enlargement process. A film negative 34 corresponding to the image to be displayed on the apparatus 10 (Figure 1) is positioned in an enlarger which includes a light source 36, a lens 38 and a variable aperture plate 40. In order to produce a halftone transparent film from the negative 34, a screen 42 must be used which corresponds in its type to the screens used in the printing of newspapers for the production of halftone transparencies. In the illustrated embodiment, the screen is approximately 26 lines per centimeter (€ 5 lines per inch) with the lines of the screen being perpendicular to one another in the usual manner. The opening diameter in plate 40 is equal to the distance "d ^JI" and the screen 42 is also arranged at a distance "d" of the unexposed photographic film 44, the halftone transparency film, after exposure and development. from the film 44, the screen 42 is arranged at a distance "D" from the disc 40, wherein the Distance ¹¹ D * is equal to distance ^H d "times the number of lines per inch in screen 42. For example, if the distance "d" is one-half inch and the screen is .42 in total

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65 Linien pro Inch aufweist, dann ist der Abstand "D" gleich ein halb mal 65 bzw. 32,5 Inches. Wenn das Negativ 34 in der in Figur 3 dargestellten Anordnung . mit den gerade genannten Abmessungen verwendet wird, so wird auf dem Film 44 ein Halbtonmuster beleuchtet, und wenn dieser Film entwickelt wird, dann enthält er dem im Negativ 34 enthaltenen Bild entsprechende Punkte bzw. Flecken. Beispielsweise zeigt Figur 10 das vergrößerte Halbtonmuster eines Frauengesichtes. Das Bildnegativ, von welchem der Halbton-Transparentfilm gemacht wurde, weist einen im wesentlichen hellen Teil für den Bereich auf, wo die Haare der Frau sind, die tatsächlich eine dunkle Farbe haben. Da dieser Bereich hell ist, erscheint er auf dem Halbton-Transparentfilm (dargestellt in Figur 10) als eine Vielzahl von schwarzen Datenpunkten bzw. Datenflecken, Im Gegensatz hierzu erscheinen die Bereiehe,-die auf dem Bildnegativ (wie 34) für die stark beleuchteten Wangenbereiche dunkel sind, als im Durchmesser kleine Datenpunkte auf dem Halbton-Transparentfilm von Figur 10.65 lines per inch, then the spacing "D" is equal to one half by 65 or 32.5 inches. If that Negative 34 in the arrangement shown in FIG. is used with the dimensions just mentioned, thus a halftone pattern is illuminated on the film 44, and when this film is developed it will contain dots corresponding to the image contained in negative 34 or stains. For example, Figure 10 shows the enlarged halftone pattern of a woman's face. The image negative from which the halftone transparent film has a substantially light part for the area where the woman's hair is that actually be dark in color. Since this area is bright, it will appear on the halftone transparent film (shown in Figure 10) as a plurality of black data points or data spots, in contrast For this purpose, the areas appear on the negative image (such as 34) for the strongly illuminated cheek areas are dark than small diameter data points on the halftone transparent film of Figure 10.

Bei Verwendung eines Halbton-Transparentfilmes ähnlich dem in Figur 10 dargestellten werden die das Bildmuster bildenden Mittel für die Plasmaleuchtanzeigevorrichtung vorzugsweise wie folgt hergestellt: Die Platte 20 wird vor ihrem Zusammenbau in die in Figur 2 gezeigte Vorrichtung in an sich bekannter Weise mit den ersten Elektrodenmitteln 16 verbunden. Die Oberfläche 45 wird zu einer glatten flachen Ebene von ungefähr 9,5 bis 22,5 Mikro-Inch geschliffen. Die fertiggestellte Dicke der Platte 20 beträgt ungefähr 0,1524 mm (0,006 Inch).When using a halftone transparent film similar to that shown in Figure 10, the Pattern forming means for the plasma luminous display device preferably made as follows: The Before it is assembled into the device shown in FIG. 2, plate 20 is incorporated in a manner known per se connected to the first electrode means 16. The surface 45 becomes a smooth flat plane of Ground approximately 9.5 to 22.5 micro-inches. The finished thickness of the plate 20 is approximately 0.1524 mm (0.006 inches).

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Wenn Bildmuster bildende Mittel mit öffnungen bzw. Hohlräumen darin hergestellt v/erden sollen, wie dies in Figur 4 dargestellt ist, dann wird auf die flach geschliffene Platte eine Schicht aus negativem Fotoresistmaterial aufgebracht. Der Halbton-Transparentfilm (wie der in Figur 10 dargestellte Film) zur Erzeugung des gewünschten Bildes wird dann in bekannter Weise auf dem Fotoresistmaterial belichtet, das Fotoresistmaterial wird in an sich bekannter Weise behandelt, und die Platte wird dann chemisch bis auf eine Tiefe von beispielsweise 0,1016 mm (0,004 Inch) geätzt. Infolge des negativen Fotoresistmaterials ergeben sich aus den Bereichen des Halbton-Transparentfilms, die als schwarze Punkte erschienen sind, Hohlräume in der Platte 20. Beispielsweise erscheint ein großer schwarzer Punkt des Halbton-Transparentfilms als eine im Durchmesser große Kammer bzw. Ausnehmung 46 in Figur 4, während ein kleiner schwarzer Punkt des Halbton-Transparentfilms als ein im Durchmesser kleiner Hohlraum 48 erscheint. Die Hohlräume, wie beispielsweise 46 und 48, haben verschiedene Durchmesser entsprechend den Durchmessern der Datenpunkte auf dem zugehörigen Halbton-Transparentfilm. Der in Figur 4 dargestellte Teil der Platte 20 ist nicht maßstäblich dargestellt und dient nur zur Erläuterung des Verfahrens zur Bildung der Hohlräume bzw. Ausnehmungen dieser Platte. Die horizontalen Linien wie cü und 52 und die vertikalen Linien 54 und 56 korrespondieren zwecks korrekter Ausrichtung mit den horizontalen und vertikalen Linien des Siebes 42 (Figur 3),If image pattern-forming means with openings or cavities are to be produced therein, as shown in FIG. 4, then a layer of negative photoresist material is applied to the flat ground plate. The halftone transparent film (such as the film shown in Figure 10) for producing the desired image is then exposed on the photoresist material in a known manner, the photoresist material is treated in a manner known per se, and the plate is then chemically treated to a depth of, for example 0.1016 mm (0.004 inch) etched. As a result of the negative photoresist material, voids in the plate 20 result from the areas of the halftone transparent film that appeared as black dots. For example, a large black dot of the halftone transparent film appears as a large diameter chamber or recess 46 in FIG while a small black point of the halftone transparent film appears as a cavity 48 small in diameter. The cavities, such as 46 and 48, have different diameters corresponding to the diameters of the data points on the associated halftone transparent film. The part of the plate 20 shown in FIG. 4 is not shown to scale and only serves to explain the method for forming the cavities or recesses in this plate. The horizontal lines such as cü and 52 and the vertical lines 54 and 56 correspond for the purpose of correct alignment with the horizontal and vertical lines of the screen 42 (Figure 3),

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das zur Herstellung des zugehörigen Halbton-Transparentfilms verwendet wurde. Nachdem die Hohlräume in der Platte 20 gebildet sind₉ wird die Plasmaleuchtanzeigevorrichtung in der vorstehend beschriebenen Weise entsprechend Figur 2 zusammengesetzt« Die in Figur 2 dargestellten Hohlräume 22 und 24 sind analog zu den in Figur 4 dargestellten Hohlräumen,, Nach dem Zusammen = bau können die Anschlüsse 30 und 32 von Figur 2 bekannter= weise erregt Werden_s um ein Bild öder eine Anzeige entsprechend Figur 1 zu erzeugen» which was used to make the associated halftone transparent film. After the cavities are formed in the plate 20 _9, the plasma light-emitting display device is assembled in the manner described above according to figure 2, "The cavities illustrated in Figure 2 22 and 24 are analogous to those shown in Figure 4 cavities can ,, = construction After assembling the If ports 30 and 32 known from Figure 2 = as excited _s to produce an image dreary display corresponding to Figure 1 "

Wenn bei einer Plasmaanzeigevorrichtung nach der Erfindung die das Muster bildenden Mittel durch Herstellen von Pfosten bzw_o Noppen entsprechend Figur 5 entwiekelt, werden sollen₈ anstelle von Hohlräumen der beschriebenen Art₀ dann ist anstelle des genannten negativen Fotoresistmaterials positives Fotoresistmaterial auf die Plattenfläche aufzubringen«, Der Halbton-TransparentfiIm (dargestellt in Figur 10) zur Herstellung des gewünschten Bildes wird dann in an sich bekannter Weise belichtet, wie zuvor auf dem Fotoresistmaterial, das Fotoresistmaterial wird in an sich bekannter Weise behandelt, und die Platte wird dann chemisch geätzt bis auf eine Tiefe von beispielsweise 0,1016 mm (0,004 Inch). Infolge des positiven Fotoresistmaterials werden durch die Bereiche des Halbton-Transparentfilms, die als schwarze Punkte erscheinen, Pfosten bzw. Noppen» wie beispielsweise 60 und 62, gebildet, die eine Höhe* von 0,1016 mm (0,004 Inch) haben. Angenommen, daß der gleiche Halbton-Transpare-ntfilm zur Herstellung der fn den Figuren 4 und 5 dargestellten Muster bildenden Mittel verwendetIf, in a plasma display device according to the invention, the pattern forming means by making post or _o knobs corresponding to FIG 5 escape disgusted, should be ₈ instead of cavities of the kind ₀ described then be applied instead of said negative photoresist material a positive photoresist material on the plate area, "The Halftone transparency film (shown in Figure 10) for producing the desired image is then exposed in a manner known per se, as before on the photoresist material, the photoresist material is treated in a manner known per se, and the plate is then chemically etched to a depth for example 0.1016 mm (0.004 inches). As a result of the positive photoresist, the areas of the halftone transparent film that appear as black dots are formed into posts or nubs such as 60 and 62 that are 0.1016 mm (0.004 inches) high. Assume that the same halftone transparent film is used to make the pattern-forming agents shown in Figs

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worden ware, dann ist ersichtlich, daß ein schwarzer, im Durchmesser großer Datenpunkt auf dem Halbton-Transparentfilm einen im Durchmesser großen Hohlraum 46 (Figur 4) erzeugen wird, wenn negatives Fotoresistmaterial verwendet wird, und daß der gleiche Datenpunkt einen im Durchmesser großen Pfosten 60 (Figur 5) erzeugen würde, wenn ein positives Fotoresistmaterial verwendet würde. In gleicher Weise erzeugt ein schwarzer» im- Durchmesser kleiner Datenpunkt eine im Durchmesser kleine Ausnehmung bzw. kleinen Hohlraum 48 in der Platte 20„ wie dies in Figur 4 dargestellt ist, und einen im Durchmesser kleinen Pfosten 62 auf der Platte 58, wie dies in Figur 5 dargestellt ist. Wenn die Platte 58 in die in Figur 7 dargestellte Plasmaanzeigevorrichtung 64 nach der Erfindung eingebaut wird, dann glimmen die um die Pfosten 60 und 62 (Figur 5) und die Pfosten 66 und 68 (Figur 7) herum vorhandenen Hohlräume, wenn die Vorrichtung erregt wird. Die in Figur 7 dargestellte Plasmaanzeigevorrichtung 74 nach der Erfindung ist gleich wie die in Figur 2 dargestellte erfindungsgemäße Plasmaanzeigevorrichtung.10, mit Ausnahme der beschriebenen Platte 58, wodurch eine negative Kopie des von der Vorrichtung 10 gezeigten Bildes erzeugt wird. Der Füllstutzen 28 befindet sich zwischen Pfosten 66 und 68 (ähnlich den in Figur 5 dargestellten Pfosten), damit das ionisierbare Gas innerhalb der Vorrichtung sich frei verteilen kann.then it can be seen that a black, im Large diameter data point on the halftone transparent film a large diameter cavity 46 (Figure 4) when negative photoresist is used and that the same data point is an im Large diameter post 60 (Figure 5) would produce if a positive photoresist material was used. In the same way, a black "i" creates a diameter small data point a recess or small cavity 48 with a small diameter in the plate 20 “as shown in FIG 4, and a small diameter post 62 on the plate 58, as shown in FIG is. When the plate 58 in the plasma display device 64 shown in Figure 7 according to the invention is installed, then the glow around the posts 60 and 62 (Figure 5) and the posts 66 and 68 (Figure 7) voids present when the device is energized. The plasma display device 74 shown in FIG according to the invention is the same as the plasma display device according to the invention shown in FIG. with the exception of the plate 58 described, whereby a negative copy of the image displayed by the device 10 is produced. The filler neck 28 is located between posts 66 and 68 (similar to the posts shown in Figure 5) to allow the ionizable gas can freely distribute within the device.

Der in Figur 10 dargestellte Ha1b.to.n-Transparentfilm zeigt einen Teil eines Frauenkopfes, wobei der Film vergrößert wiedergegeben ist, um zu zeigen, wie die Datenpunkte entsprechend dem darzu-The Halb.to.n transparent film shown in FIG FIG. 13 shows part of a woman's head, the film being enlarged to show FIG show how the data points according to the

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stellenden Bild unterschiedliche Durchmesser haben« Zu beachten ist, daß die Datenpisnkte in Zeilen und Spalten angeordnet sind, die rechtwinkelig zueinander verlaufen« Da die Datenpunkte.in dem Transparentfilm unter Verwendung eines groben Siebes (wie 42 in Figur 3) gebildet wurden,, ist das sich ergebende Gesicht bzw. Bild nicht so deutlich, wie dies der Fall ist, wenn ein feineres Sieb mit einer Auflösung von beispielsweise 26 Linien pro Zentimeter (65 Linien pro Inch) verwendet wird. Das Gesicht in dem Transparentfilm kann jedoch deutlicher wahrgenommen werden, indem man den.Film, beim Betrachten auf Armeslänge weghält. Bei der Herstellung der Halbton-Transparentfilme sollte der gewünschten endgültigen Form des Bildes, wie es in der Plasmaanzeigevorrichtung erscheinen soll, Beachtung geschenkt werden, da dies dafür entscheidend ist, ob für die Herstellung der das Muster bildenden Mittel positives Fotoresistmaterial oder negatives Fotoresistmaterial zu verwenden ist«different diameters note that the data points are arranged in rows and columns that run at right angles to each other « As the data points are formed in the transparent film using a coarse screen (such as 42 in Figure 3) were ,, the resulting face or image is not as clearly as is the case with a finer sieve with a resolution of, for example, 26 lines per centimeter (65 lines per inch) is used. However, the face in the transparent film can be more distinct be perceived by watching the film keeps away at arm's length. In making the halftone transparent films should be the desired final shape of the image as it is in the plasma display device should appear, attention should be paid, as this is decisive for whether or not for the production of the Pattern forming agent positive photoresist material or negative photoresist material is to be used «

Die beiden in den Figuren 2 und 7 dargestellten grundsätzlichen Ausführungsformen nach der Erfindung erzeugen jeweils ein einzelnes festes Bild bzw. eine einzige feste Aufzeichnung, das bzw. die dem zugehörigen Halbton-Transparentfilm entspricht. Die Erfindung ist selbstverständlich nicht hierauf begrenzt, sondern umfaßt auch Plasmaanzeigevorrichtungen, mit welchen mehr als ein festes Bild wahlweise in einer einzigen Anzeigeebene dargestellt werden kann.The two shown in Figures 2 and 7 basic embodiments according to the invention each generate a single fixed image or record that is associated with the Halftone transparent film. The invention is of course not limited to this, but rather also includes plasma display devices with which more than one fixed image can optionally be displayed in a single display level.

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Das Verfahren zur Bildung einer Plasmaanzeigevorrichtung nach der Erfindung zur wahlweisen Anzeige einer Vielzahl von festen Bildern kann mit Bezug auf Figur 9 beschrieben werden, die eine Hohlraum-Platte und erste und zweite Elektrodenmittel zeigt. Die Platte 70 ist mit einer Vielzahl von Hohlraumbereichen versehen, die analog zu den Bereichen sind, die durch die horizontalen Linien 50 und 52 und die vertikalen Linien 54 und 56 entsprechend Figur 4 miteinander ver-j bunden bzw. einander zugeordnet sind. Eine Oberflächenausnehmung bzw. ein Hohlraum kann sich bei jedem dieser Bereiche befinden, wenn dies durch das Design des anzuzeigenden Bildes erforderlich ist.The process of forming a plasma display device according to the invention for selectively displaying a plurality of fixed images can be made with reference to FIG Figure 9 will be described showing a cavity plate and shows first and second electrode means. The plate 70 has a plurality of cavity areas which are analogous to the areas indicated by the horizontal lines 50 and 52 and the vertical Lines 54 and 56 according to FIG. 4 are connected to one another bound or assigned to each other. A surface recess or a cavity can be in each of these Areas if required by the design of the image to be displayed.

Grundsätzlich, wenn beispielsweise vier feste Bilder von einer Plasmaanzeigevorrichtung nach der Erfindung angezeigt werden sollen, dann ist ein Viertel der vorhandenen Hohlraumbereiche jeweils dem ersten, zweiten, dritten und vierten festen anzuzeigenden Bild zugeordnet und die einem betreffenden Bild zugeordneten Bereiche sind gleichmäßig zwischen den Bereichen verstreut angeordnet, die den jeweiligen anderen Bildern zugeordnet sind, um periodisch voneinander getrennte Spalten und Zeilen der Hohlraumbereiche zu bilden.Basically, if, for example, four fixed Images are to be displayed by a plasma display device according to the invention, then is a quarter of the existing void areas to the first, second, third and fourth fixed image to be displayed, respectively assigned and the areas assigned to a relevant image are evenly scattered between the areas arranged, which are assigned to the respective other images, to be periodically separated from one another To form columns and rows of the void areas.

Entsprechend der Darstellung sind die in Figur 9 mit "1" bezeichneten Hohlräume einem ersten Bild zugeordnet und in entsprechender Weise sind die mit "2", "3" und "4" bezeichneten Hohlräume einem zweiten, einem dritten und einem vierten festen Bild zugeordnet. Zu beachten ist, daß die Hohlräume für das erste Bild dem regelmäßigen Muster aus alternativenCorresponding to the illustration, the cavities labeled "1" in FIG. 9 are a first Associated with the image and in a corresponding manner are the cavities labeled "2", "3" and "4" associated with a second, a third and a fourth fixed image. It should be noted that the cavities for the first picture the regular pattern of alternatives

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Zeilen und alternativen Spalten von Hohlraumbereichen folgen, die mit Beziig auf Figur 4 beschrieben wurden. Die Hohlräume für das zweite, dritte und vierte anzuzeigende Bild folgen einem ähnlichen Muster.Rows and alternative columns of void areas follow which were described with reference to FIG. The cavities for the second, third and fourth images to be displayed follow a similar pattern.

Die ersten Elektrodenmittel enthalten nunmehr einen Satz von mit Abstand parallel zueinander angeordneten Elektroden 72 und 74, die unter rechten Winkeln zu zweiten Sätzen von mit Abstand parallel zueinander verlaufenden Elektroden 76 und 78 der zweiten Elektrodenmittel angeordnet sind. Jeder der Hohlräume befindet sich an einem Kreuzungspunkt zwischen einer horizontal verlaufenden Elektrode und einer vertikal verlaufenden Elektrode, wie dies dargestellt ist. Die Relation zwischen den ersten und zweiten Elektrodenelementen und der Hohlraumplatte zeigt Figur 8. · - .The first electrode means now contain a set of spaced parallel to each other arranged electrodes 72 and 74 spaced at right angles to second sets of parallel mutually extending electrodes 76 and 78 of second electrode means are arranged. Each of the cavities is at a crossing point between a horizontally extending electrode and a vertically extending electrode as shown is. The relation between the first and second electrode elements and the cavity plate shows Figure 8. · -.

Die in Figur 8 dargestellte Ausfünrungsform einer Plasmaanzeigevorrichtung 80 nach der Erfindung ist ähnlich der in Figur 2 gezeigten Vorrichtung 10. Demzufolge sind die Elemente, die bei der Vorrichtung 80 und bei der Vorrichtung 10 die gleichen sind, jeweils mit gleichen Bezugszahlen versehen. Die Plasmaanzeigevorrichtung 80 enthält eine Glasträgerplatte 12 mit daran befestigten Elektroden 72 und 74. Diese Elektroden können aus Leitermaterial, wie zum Beispiel Silber, bestehen und eine Dicke von 0,04 mm (0,00015 Inch) haben. Die mit Hohlräumen versehene Platte 70 ist in an sich bekannter Weise mit dem Substrat 12 verbunden.The embodiment of a plasma display device 80 shown in FIG Invention is similar to device 10 shown in Figure 2. Accordingly, the elements that in device 80 and device 10 are the same, each with the same reference numerals Mistake. The plasma display device 80 includes a glass support plate 12 with attached thereto Electrodes 72 and 74. These electrodes can be made of conductive material such as silver and 0.04 mm (0.00015 inches) thick. The voided plate 70 is on is connected to the substrate 12 in a known manner.

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Die Hohlräume dieser Platte 70 werden später mit Bezug auf Figur 9 erörtert. An dem zweiten Glassubstrat 14 sind vertikal ausgerichtete Elektroden 76 und 78 befestigt. Diese Elektroden bestehen aus einem Leitermaterial, wie beispielsweise Zinnoxid, und können eine Dicke von ungefähr 0,0025 ram (0,00001 Inch) haben. Eine dünne Glasschicht 82 ist auf die Elektroden 76, 78 aufgebracht und dient zu deren Isolierung gegenüber dem ionisierbaren Gas, das sich in den Hohlräumen befindet, wie dies vorstehend erklärt wurde. Zum Abdichten der Vorrichtung 80 dient Glasfritte 26 und ein Stutzen 28 dient zum Evakuieren der Luft aus den Hohlräumen und dem anschließenden Füllen derselben mit einem ionisierbaren Gas.The cavities of this plate 70 will be referred to later discussed on Figure 9. Vertically aligned electrodes 76 and 78 are attached to the second glass substrate 14. These electrodes are made of a conductor material such as tin oxide and can be a Approximately 0.0025 ram (0.00001 inch) thick. A thin layer of glass 82 is on the electrodes 76,78 applied and serves to isolate them from the ionizable gas that is in the cavities as explained above. Glass frit 26 and are used to seal the device 80 a nozzle 28 is used to evacuate the air from the cavities and the subsequent filling of the same with an ionizable gas.

Im folgenden wird ein Verfahren zur Zuordnung von Hohlräumen zu den verschiedenen Hohlraumbereichen auf der Platte 70 für jedes feste anzuzeigende Bild beschrieben. Jedes feste anzuzeigende Bild weist seinen eigenen Halbton-Transparentfilm, zum Beispiel 44, auf, der nach der mit Bezug auf Figur 3 beschriebenen. Techni k hergestellt wird. Der Halbton*TransparentfiIm, zum Beispiel 44, für das beispielsweise erste Bild enthält alle Datenpunkte für das zugehörige Bild, wie dies auf dem Halbton-Transparentfilm in Figur 10 dargestellt ist. Wenn vier feste Bilder anzuzeigen sind, dann würde nur ein Viertel der Datenpunkte für jedes feste Bild als Hohlräume in der Platte 70 gebildet. Von den in Figur 9 dargestellten Hohlräumen "1","2", "3" und "4" dienen nur die dem ersten festen Bild zugeordneten Datenpunkte zurThe following is a method of assigning cavities to the various cavity areas on the plate 70 for each fixed image to be displayed. Every fixed picture to be displayed has its own own halftone transparent film, for example 44, after that described with reference to FIG. Technology will be produced. The halftone * transparent film, for Example 44, for the example first image, contains all the data points for the associated image, such as this on the halftone transparent film is shown in FIG. If there are four fixed images to be displayed, then only a quarter of the data points for each fixed image would be considered Cavities are formed in the plate 70. Of the cavities "1", "2", "3" and "4" shown in FIG. 9 only serve the data points associated with the first fixed image for

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Bildung der mit "1" bezeichneten Hohlräume. In gleicher Weise werden die den zweiten, dritten und vierten festen Bildern zugeordneten Datenpunkte zur Bildung der mit "2", "3" und "4" bezeichneten Hohlräume verwendet. Bei einer Technik zur Bildung der Hohlräume in der Platte 70 für jedes der vier Bilder wird eine Schablone 84 oder ein Sieb oder dergleichen verwendet, wie dies Figur 11 zeigt.Formation of the cavities marked "1". In the same In this way, the data points assigned to the second, third and fourth fixed images are used to form the "2", "3" and "4" designated cavities are used. At a Technique for forming the cavities in the plate 70 for a stencil 84 or a screen or the like is used for each of the four images, as shown in FIG.

Die in Figur 11 gezeigte Schablone 84 besteht aus einem dünnen undurchsichtigen Material und ist mit einer Vielzahl von rechteckigen öffnungen 86 versehen. Jede Öffnung 86 befindet sich in der Schablone 84 an einer solchen Stelle, daß sie mit einer der Hohlraumbereiche der Hohlraumplatte 70 fluchtet. Bei der dargestellten Schablone 84 ist für abwechselnd folgende Hohlraumstellen in horizontaler und vertikaler Richtung jeweils eine öffnung 86 vorgesehen, so daß zwischen benachbarten Öffnungen jeweils ausreichend Platz für die Unterbringung einer weiteren solchen Öffnung ist. Auf die Praxis angewandt, wenn die Hohlräume für vier Bilder auf der Platte 70 untergebracht werden sollen, dann dient die Schablone 84 als Maske derart, daß jeweils nur jeder vierte Datenpunkt von jedem Bild hindurchragen und die wechselweise vorhandenen Hohlraumbereiche treffen kann.The template 84 shown in Figure 11 consists of a thin opaque material and is with a plurality of rectangular openings 86 are provided. Each opening 86 is located in the template 84 such a location that it is flush with one of the cavity areas of the cavity plate 70. In the illustrated Template 84 is for alternately following cavity locations an opening 86 is provided in the horizontal and vertical directions, so that between Adjacent openings each have sufficient space to accommodate a further such opening. Applied to practice when the cavities for four images are to be accommodated on the plate 70, then the template 84 serves as a mask in such a way that only every fourth data point of each image protrudes through it and can hit the alternately existing cavity areas.

Die Schablone 84 wird wie folgt verwendet. Eine Schicht aus Fotoresistmaterial wird über die Glasschicht gelegt, aus der die Platte 70 gebildet werden soll, und danach wird darauf die Schablone 84 angeordnet«, In jeder Ecke der Schablone 84 sind Fixieröffnungen 88 vorgesehen, die zum Ausrichten derThe template 84 is used as follows. A layer of photoresist material is applied over the The layer of glass from which the plate 70 is to be formed is laid, and then the template 84 is placed thereon Arranged ", In each corner of the template 84 fixing openings 88 are provided, which are used for aligning the

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Schablone mit der Platte 70 dienen. Die öffnungen 86 in der Schablone 84 sind auf die in Figur 9 mit "1" bezeichneten Hohlraumbereiche ausgerichtet und der Halbton-Transparentt film für das gewünschte Bild, entsprechend dem in Figur gezeigten, wird mit der Schablone 84 ausgerichtet, so daß die Spalten und Zeilen der aufzuzeichnenden Datenpunkte auf die öffnungen 86 ausgerichtet sind. Die Platte 70, die Schablone 84 und der in Figur 10 dargestellte Halbton-Transparentfilm haben in den Zeichnungen zwar verschiedene Größen, jedoch sind in der Praxis alle drei gleich groß, damit man eine genaue Ausrichtung der Datenpunkte des Halbton-Transparentfilms mit den zugehörigen Hohlraumbereichen der Hohlraumplatte erhält. Nachdem der Halbton-Transparentfilm und die Schablone 84 auf die in Figur 9 mit "1" bezeichneten Hohlraumbereiche ausgerichtet sind, wird das Fotoresistmaterial belichtet und der Halbton-Transparentfilm des ersten festen Bildes wird dann entfernt. Mit dem über der Platte 70 angeordneten Fotoresistmaterial wird die Schablone 84 entsprechend Figur 11 seitlich verschoben bis die öffnungen 86 davon über den in Figur 9 mit "2" bezeichneten Hohlraumbereichen zu liegen kommen. Bei dieser Ausrichtung fluchten die dem Halbton-Transparentfilm für das zweite Bild zugeordneten Datenpunkte mit den öffnungen 86 der Schablone 84 und das Fotoresistmaterial wird unter Verwendung des zweiten Halbton-Transparentfilms wieder belichtet, so daß man auf dem Fotoresistmaterial wiederum ein Muster von Hohlräumen erhält. Danach wird der zweite Halbton-Transparentfilm weggenommen und der eben beschriebene Vorgang wird auch mit dem dritten und vierten Halbton-Transparentfilm durchgeführt, die ebenfalls auf das Fotoresistmaterial zu belichten sind. Zur Belichtung des FotoresistmaterialsServe template with the plate 70. The openings 86 in the Stencil 84 are aligned with the cavity areas labeled "1" in FIG. 9 and the halftone transparency film for the desired image, corresponding to that shown in Figure, is aligned with the template 84 so that the columns and rows of the data points to be recorded are aligned with the openings 86. The plate 70, the Stencil 84 and the halftone transparent film shown in FIG have different sizes in the drawings, but in practice all three are the same size, so that one can accurately align the data points of the halftone transparent film with the associated void areas the cavity plate receives. After the halftone transparent film and the template 84 are aligned with the cavity areas designated by "1" in FIG. 9, the photoresist material is exposed and the halftone transparent film the first solid image is then removed. With the photoresist material placed over the plate 70 the template 84 is shifted laterally in accordance with FIG. 11 until the openings 86 of it the cavity areas designated by "2" in FIG come to rest. In this orientation, those associated with the halftone transparent film for the second image are aligned Data points with the openings 86 of the stencil 84 and the photoresist material is made using the second Re-exposed halftone transparent film so that one can look at the photoresist material in turn receives a pattern of cavities. After that, the second halftone transparent film becomes removed and the process just described is also carried out with the third and fourth halftone transparent film, which are also to be exposed on the photoresist material. For exposure of the photoresist material

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für das dritte Bild wird die Schablone 84 derart markiert, daß die ffffnurigen 86 darin- mit den in Figur.9 mit "3·" bezeichneten Hohlraumbereichen fluchten. In ähnlicher Weise ist die Schablone 84 auch derart markiert, daß die Öffnungen 86 darin mit den mit "4" bezeichneten Hohlraumbereichen fluchten, wenn der vierte Halbton-Transparentfilm zur Anwendung kommt«for the third image the template 84 is marked in such a way that that the five-numbered 86 therein with those marked with "3 ·" in Figure 9 Align cavity areas. Similarly, the template 84 is also marked so that the Openings 86 therein with the cavity areas labeled "4" align when the fourth halftone transparent film is used «

Nachdem das Fotoresistmaterial in der eben beschriebenen Weise unter Verwendung der vier HalbtoR-Transparentfilme belichtet wurde» wird es in an sich bekannter Weise chemisch behandelt und die Hohlraumplatte, wie die in Figur 8 mit 70 bezeichnete Platte _a wird-geätzt» so daß sich Hohlräume mit einer Tiefe von beispielsweise 0,1026 mm ergeben. Die auf diese Weise gebildeten Kohlräume (entsprechend den in Figur 9 gezeigten) haben Durchmesser» die den Durchmessern der öatenpurikte ihrer zugehörigen Halbton-Transparentfilme entsprechen.After the photoresist material in the manner just described using the four HalbtoR-transparency film was exposed "chemically treating it in a known manner and the cavity plate, as designated in Figure 8 with 70 plate _a is etched" so that cavities result in a depth of, for example, 0.1026 mm. The carbon spaces formed in this way (corresponding to those shown in FIG. 9) have diameters which correspond to the diameters of the oatenpurikte of their associated halftone transparent films.

Zur wahlweisen Erregung eines bestimmten der vier festen anzuzeigenden Bilder der in den Figuren 8 und 9 dargestellten Plasmaanzeigevorrichtung 80 wird folgende Technik verwendet. Die Elektroden 72 der ersten Elektrodenmittel werden mit einem gemeinsamen Anschluß "A" verbunden und die Elektroden 74 werden in ähnlicher Weise mit einem zweiten gemeinsamen Anschluß ¹¹B" verbunden. Die Elektroden 76 der zweiten Elektrodenmittel sind mit einem ersten gemeinsamen Anschluß "1" verbunden und die Elektroden 78 sind mit einem zweiten gemeinsamen Anschluß ^ll2" in Figur 9 verbunden. Wie vorstehend erwähnt, sind die horizontal positionierten Elektroden 72 auf die in Figur ? mit "Γ¹ bezeichneten Hohlräume ausgerichtetThe following technique is used to selectively excite a particular one of the four fixed images to be displayed in the plasma display device 80 shown in FIGS. 8 and 9. The electrodes 72 of the first electrode means are connected to a common terminal "A" and the electrodes 74 are similarly connected to a second common terminal ¹¹ B ", respectively. The electrode 76 of the second electrode means are connected to a first common terminal" connected 1 "and the electrodes 78 are connected to a second common terminal ¹¹ 2 ″ in FIG. As mentioned above, are the horizontally positioned electrodes 72 on those shown in FIG. with "Γ ¹ designated cavities aligned

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und die vertikal positionierten Elektroden 76 sind ebenfalls auf die mit "1* bezeichneten Hohlräume ausgerichtet» so daß diese Hohlräume an den Kreuzungspunkten der Elektroden 72 und 76 liegen. Zur Auswahl des ersten anzuzeigenden Bildes werden der Anschluß "A" und der Anschluß ¹¹I" (Figur 9) mit einer Wechsel Stromquelle verbunden. Wenn die Anschlüsse "Α" und "1" in an sich bekannter Weise erregt werden, dann werden auch die an den niit "1" bezeichneten Kreuzungspunkten liegenden Hohlräume erregt, wodurch das erste feste Bild angezeigt wird. Die folgende. Tabelle zeigt, welches Bild dargestellt wird, wenn ein Erregungspotential an bestimmte Anschlüsse der in den Figuren 8 und 9 dargestellten Plasmaanzeigevorrichtung^ angelegt wird.and the vertically positioned electrodes 76 are also "aligned * designated 1 cavities" so that these cavities are located at the intersections of the electrodes 72 and 76. The choice of the first image to be displayed, the terminal will be "on with A" and the terminal ¹¹ I " (Figure 9) connected to an alternating power source. If the connections "Α" and "1" are excited in a manner known per se, then the cavities lying at the intersection points not designated "1" are also excited, whereby the first fixed image is displayed. The following. The table shows which image is displayed when an excitation potential is applied to certain connections of the plasma display device shown in FIGS. 8 and 9.

Spannung angelegt an
die AnschlüsseVoltage applied to
the connections Angezeigtes BildDisplayed image A und 1A and 1 11 A und 2A and 2 ■ 2■ 2 B und 1B and 1 33 B und 2B and 2 44th

Während die in Figur 9 schematisch dargestellte Plasmaanzeigevorrichtung für die Anzeige von vier verschiedenen festen Bildern verdrahtet ist, kann die Verdrahtung auch so ausgelegt sein, daß eine kleinere Anzahl von festen Bildern angezeigt werden kann· Beispielsweise können die horizontal positionierten Elektroden 72 und 74 von Figur 9 durch eine einzige Elektrode ersetzt werden, beispielsweise durch die in Figur 2 gezeigte Elektrode 16, und die vertikal positionierten Elektroden 76 und 78 können in der in Figur 9 dargestellten Weise verbleiben. While the plasma display device shown schematically in FIG. 9 is wired for the display of four different fixed images, the wiring can also be designed so that a smaller number of fixed images can be displayed. For example, the horizontally positioned electrodes 72 and 74 of FIG can be replaced by a single electrode, for example electrode 16 shown in FIG. 2, and the vertically positioned electrodes 76 and 78 can remain in the manner shown in FIG.

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Alle einem ersten Bild zugeordneten Hohlräume würden sich dann in Ausrichtung mit den Elektroden 76 befinden und alle einem zweiten Bild zugeordneten Hohlräume befinden sich in Ausrichtung mit den Elektroden 78. Durch Erregung der gemeinsamen Elektrode und der Elektroden 76 wird dann das erste Bild erzeugt, während durch Erregung der gemeinsamen Elektrode und der Elektroden 78 das zweite Bild erzeugt wird. Diese Ausführungsform ist nicht in den Zeichnungen dargestellt, da ihre Konstruktion an Hand der Beschreibungen und Zeichnungen der vorstehend erörterten Ausführungsformen leicht verständlich ist.All of the cavities associated with a first image would then be in alignment with the electrodes 76 and all cavities associated with a second image are located into alignment with electrodes 78. By energizing the common electrode and electrodes 76, then the first image is generated while energizing the common electrode and electrodes 78 generates the second image is produced. This embodiment is not shown in the drawings, as its construction is based on hand The descriptions and drawings of the embodiments discussed above can be readily understood.

Wenn mehr als vier feste Bilder mit der erfindungsgemäßen Plasmaanzeigevorrichtung wahlweise angezeigt werden sollen, dann kann eine Verdrahtung nach der in Figur 12 dargestellten Art verwendet werden. Diese Figur ist analog zu Figur 9 und zeigt Glimmbereiche, weiche sich an den Kreuzungspunkten zwischen den horizontal ausgerichteten Elektroden und den vertikal ausgerichteten Elektroden befinden. Die Glimmbereiche sind mit 1 bis einschließlich 9 in Figur 12 bezeichnet und in einem sich wiederholenden Muster ähnlich dem in Figur 9 gezeigten angeordnet, mit der Ausnahme, daß das sich wiederholende Muster in Figur 12 auf einem Vielfachen von drei basiert, während das sich wiederholende Muster in Figur 9 auf einem Vielfachen von zwei basiert. Folglich-können bei Verwendung der in Figur 12 dargestellten Verdrahtung mit der Plasmaanzeigevorrichtung nach der Erfindung . neun feste Bilder wahlweise angezeigt werden.If more than four fixed images are to be optionally displayed with the plasma display device according to the invention, then a wiring according to the type shown in FIG. 12 can be used. This figure is analogous to FIG. 9 and shows glow areas which are located at the intersection points between the horizontally aligned electrodes and the vertically aligned electrodes. The glow areas are labeled 1 through 9 inclusive in Figure 12 and are arranged in a repeating pattern similar to that shown in Figure 9, except that the repeating pattern in Figure 12 is based on a multiple of three while the repeating pattern is based on a multiple of three in Figure 9 is based on a multiple of two. Consequently, when the wiring shown in FIG. 12 is used with the plasma display device according to the invention. nine fixed images can be optionally displayed.

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In Figur 12 ist nur ein Teil des Verdrahtungsmusters dargestellt, jedoch ist daraus das allgemeine Verdrahtungsprinzip der gesamten Anzeigevorrichtung verständlich. Horizontal positionierte Elektroden 92, 94 und 96 sind jeweils an die Anschlüsse A₉ ß und C angeschlossen. Jede dritte horizontal positionierte Elektrode (wie 92) ist mit dem gleichen Anschluß verbunden, beispielsweise sind die Elektroden 92 mit dem Anschluß A verbunden. .Vertikal positionierte Elektroden 98, 100 und 102 sind jeweils an die mit "1", "2" und "3" bezeichneten Anschlüsse angeschlossen. Jede dritte vertikal positionierte Elektrode ist mit dem gleichen Anschluß verbunden» beispielsweise sind die Elektroden 98 an den Anschluß "1" angeschlossen. Die Glimmstellen bzw. Glimmbereiche zur Erzeugung des ersten Bildes in der Plasmaanzeigevorrichtung könnten an den Kreuzungspunkten der horizontalen und vertikalen Elektroden liegen, die mit "1" bezeichnet sind. In gleicher Weise könnten die dem neunten Bild zugeordneten Hohlräume an den mit "9" bezeichneten Kreuzungspunkten liegen. Beispielsweise würden zur Anzeige des neunten Bildes die Anschlüsse "3" und C mit einer Wechselspannungsquelle verbunden und in gleicher Weise wurden zur Anzeige des sechsten Bildes die Anschlüsse "3" und B erregt,,Only a part of the wiring pattern is shown in FIG. 12, but the general wiring principle of the entire display device can be understood from this. Horizontally positioned electrodes 92, 94 and 96 are connected to terminals A ₉ β and C, respectively. Every third horizontally positioned electrode (such as 92) is connected to the same terminal, for example electrodes 92 are connected to terminal A. Vertically positioned electrodes 98, 100 and 102 are connected to the terminals labeled "1", "2" and "3", respectively. Every third vertically positioned electrode is connected to the same terminal - for example, electrodes 98 are connected to terminal "1". The glow points or glow areas for generating the first image in the plasma display device could lie at the intersection points of the horizontal and vertical electrodes, which are designated with "1". In the same way, the cavities assigned to the ninth image could lie at the intersection points labeled “9”. For example, to display the ninth image, terminals "3" and C would be connected to an AC voltage source and, in the same way, terminals "3" and B would be energized to display the sixth image.

Die tatsächliche Konstruktion der Plasmaanzeigevorrichtung mit dem in Figur 12 dargestellten Verdrahtungsrnuster ist ähnlich der in Figur 8 dargestellten Vorrichtung und bei einer solchen Vorrichtung können die Muster bildenden Mittel mit öffnungen verschiedener Durchmesser verwendet werden, wie dies vorstehend mit Bezug auf Figur 9 erklärt wurde. Die Technik zur Herstellung einer Plasmaanzeigevorrichtung mit einem VerdrahtungsmusterThe actual construction of the plasma display device with the wiring pattern shown in Fig. 12 is similar to the device shown in Fig. 8, and in such a device, the pattern forming means having openings of different diameters can be used, as explained above with reference to Fig. 9. The technique of manufacturing a plasma display device with a wiring pattern

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nach Figur 12 ist identisch mit der bereits beschriebenen, Jedoch würde die Schablone (wie 84 in Figur 11), die zur Belichtung des Fotoresistmaterials verwendet wurde₉ mit öffnungen versehen sein, die derart angeordnet sind,, daß jeweils nur ein Neuntel der von der Vorrichtung anzuzeigenden Datenpunkte von jedem Halbton-Transparentfilm gedruckt wird. Wenn nur ein Neuntel der Datenpunkte eines Halbton-Transparentfilms als Hohlräume für jedes feste anzuzeigende Bild der Vorrichtung verwendet wird, dann ist die sich ergebende Auflösung des festen Bildes naturgemäß nicht so scharf wie bei einem BiId₈ das von einer erfindungsgemäßen Vorrichtung entsprechend Figur 9 angezeigt wird, bei der ein Viertel der Datenpunkte jeweils verwendet werden,,according to FIG. 12 is identical to that already described. However, the stencil (such as 84 in FIG. 11) which was used to expose the photoresist material ₉ would be provided with openings which are arranged in such a way that only one ninth of those from the device data points to be displayed is printed from each halftone transparent film. If only one ninth of the data points of a halftone transparent film are used as cavities for each fixed image to be displayed in the device, then the resulting resolution of the fixed image is naturally not as sharp as in an image ₈ that is displayed by a device according to the invention according to FIG where a quarter of the data points are used,

Figur 6 zeigt in vergrößertem Maßstab eine abgewandelte Form eines Teiles eines Siebes.104, das zur Herstellung eines Halbton-Transparentfilms zur Erzeugung der gewünschten Bilder in einer Plasmaanzeigevorrichtung nach der Erfindung verwendet werden kann« Das Sieb 104 hat Drähte 106 und 108₉ die mit Abstand parallel zueinander und mit Bezug auf die Zeichnung vertikal angeordnet sind,und Drähte 110 und 112, die parallel mit Abstand zueinander und mit Bezug auf die Zeichnung horizontal angeordnet sind, derart, daß die Drähte zusammen die zur Herstellung von Halbton-Transparentfilmen erforderlichen Siebmaschen ergeben. Das Sieb 104 ist jedoch andersartig ausgebildet als die üblichen Siebe, indem jedes zweite "Loch" des Sid>es (in horizontalen und vertikalen Richtungen betrachtet) mit undurchsichtigem Material verschlossen ist, damitFIG. 6 shows, on an enlarged scale, a modified form of part of a screen 104 which can be used to produce a halftone transparent film for producing the desired images in a plasma display device according to the invention. The screen 104 has wires 106 and 108 ₉ which are spaced apart parallel to each other and vertically with respect to the drawing, and wires 110 and 112 spaced parallel to each other and horizontally with respect to the drawing such that the wires together provide the screen mesh required for making halftone transparency films. The sieve 104, however, is designed differently than the usual sieves in that every second "hole" of the sid> es (viewed in horizontal and vertical directions) is closed with opaque material, with it

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außer durch die freien Bereiche 114 kein Licht hindurchfallen kann. Das Sieb 104 kann eine Maschengröße von beispielsweise 26 Linien pro Zentimeter. (65 Linien pro Inch) haben und, wenn es anstelle des in Figur 3 dargestellten Siebes 42 verwendet wird, kann mit ihm ein Halbton-Transparentfilm mit einem Viertel der Datenpunkte für jedes Bild hergestellt werden, wobei Licht jeweils durch die freien Bereiche 114 hindurch kann.except through the free areas 114, no light can pass through can. The screen 104 can have a mesh size of, for example, 26 lines per centimeter. (65 lines per inch) have and if it is used in place of the screen 42 shown in Figure 3, a halftone transparent film with a Quarter of the data points are made for each image, with light passing through the vacant areas 114, respectively can.

Die Betriebsspannungen, Gasgemische und -drücke können an sich bekannte Werte haben. Beispielsweise kann bei den dargestellten Ausführungsformen der Erfindung als ionisierbares Gas in den Hohlräumen ein Gemisch ays 99,7% Neon, 0,2% Stickstoff und 0,1% Argon verwendet werden und in diesen Hohlräumen kann ein.Gasdruck von ungefähr 160 Torr herrschen. Die zur Erregung der gewählten Anschlüsse erforderliche Erregerspannung kann 240 Volt Wechselstrom sein, der die Form von zwei bis sechs Mikrosekunden langen Impulsen hat, die im Abstand von ungefähr fünfzig MikroSekunden auftreten«,The operating voltages, gas mixtures and pressures can have values known per se. For example, can in the illustrated embodiments of the invention, a mixture ays as the ionizable gas in the cavities 99.7% neon, 0.2% nitrogen and 0.1% argon can be used and a gas pressure of about 160 torr. The excitation voltage required to excite the selected connections can be 240 volts Alternating current, which is in the form of two to six microsecond pulses spaced approximately occur for fifty microseconds «,

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Claims

Claims;

IJ plasma display device rait! © nisierb ^ r -em gas that is enclosed between two walls ₀ the electrode means have _s so that a visible glow or glow is generated in the "gas. Can ₀ characterized e that between the named walls Glass means forming image patterns are arranged _B which drew a hollow space pattern ₀ which defines at least one halftone image to be displayed »

2. A plasma display apparatus according to claim I ₀ characterized in that the _D .Bildmuster glass forming said means have the form of a plate having a plurality of cavities ,, the halftone image mentioned in each case the individual points or de-s "of said halftone images correspond ,,

Of which has 3o plasma display device according to claim 2 ₀ characterized in that said cavities corresponding to the points of a plurality of separate continuous-tone images and sfnd arranged in rows and columns such ₀ that they form an array of compact groups ,, each group respectively from each image a cavity ,, wherein the associated one image voids occupy in the groups each have the same relative positions ,, that at least one of said walls having a plurality of selectively energizable electrode sets ,, each set of which is assigned to the associated a particular frame cavities _s and that the arrangement it is made in such a way that when any one of the mentioned sentences is excited, the desired image is optionally displayed.

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4. Plasmaanzeigevorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die das bzw. die Bildmuster bildenden Glasmittel die Form einer Platte mit einer Vielzahl von Pfosten bzw. Vorsprüngen haben, die jeweils mit den Punkten eines Halbtonbildes korrespondieren.4. Plasma display device according to claim 1, characterized characterized in that the forming the image pattern or patterns Glass means have the shape of a plate with a plurality of posts or protrusions, each with the points of a halftone image correspond.

5. Plasmaanzeigevorrichtung nach einem der Ansprüche bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Hauptflächen der genannten Platte jeweils mittelbar or unmittelbar an den genannten Wänden anliegen.5. Plasma display device according to one of the claims to 4, characterized in that the main surfaces of said plate each directly or indirectly to the mentioned walls.

6. Verfahren zur Herstellung einer Plasmaanzeigevorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß das genannte Hohlraummuster dadurch gebildet wird, daß auf die Oberfläche einer Glasplatte Fotoresistmaterial aufgebracht wird, dieses Fotoresistmaterial durch ein Halbtontransparent hindurch belichtet wird, das dem anzuzeigenden Halbtonbild entspricht,, wobei das Transparent als eine Strahlenmaske wirkt„ daß anschließend entweder die bestrahlten oder die unbestrahlten Teile des Fotoresistmaterials entfernt und dadurch ein Muster von Fotoresistmaterial zurückgelassen wird» das6. A method for producing a plasma display device according to any one of claims 1 to 5, characterized characterized in that said cavity pattern is thereby is formed that photoresist material is applied to the surface of a glass plate, this photoresist material is exposed through a halftone transparency corresponding to the halftone image to be displayed ,, where the transparency acts as a radiation mask “that then either the irradiated or the non-irradiated parts of the photoresist material removed and thereby a Pattern of photoresist material is left behind »that auf der Glasplatte als Ätzmaske wirkt₉ und daß anschließend die nicht durch die Maskenteile abgedeckten Bereiche der Platte weggeätzt werden.acts on the glass plate as an etching mask ₉ and that then the areas of the plate not covered by the mask parts are etched away.

7. Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet daß das genannte Hohlraummuster durch aufeinanderfolgendes Bestrahlen bzw. Belichten des genannten Fotoresistmaterials derart gebildet wird, daß es eine Vielzahl von getrennten7. The method according to claim 6, characterized that said cavity pattern by successively irradiating or exposing said photoresist material is formed so that there are a plurality of separate

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Halftone images before the photoresist is removed, the exposure being through a variety of different halftone transparencies such that the exposure through each transparency is individually confined to a separate plurality of discrete areas of the photoresist and those areas in lines and columns are arranged _»s so that an array of compact groups _s results in each of which one of the irradiated passing through each transparent and includes exposed regions and irradiated therethrough by any transparent or exposed areas in the individual groups" is the jewei occupy the same relative positions.

8. The method according to claim 7, characterized in that

that the irradiation or exposure through each transparency onto the discrete areas of the photoresist in question is limited by a mask with a plurality of regularly spaced-apart identical Openings used with the said discrete Areas correspond.

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