DE2322456C3

DE2322456C3 - Device with a revolver holder

Info

Publication number: DE2322456C3
Application number: DE19732322456
Authority: DE
Inventors: Jürgen Dipl.-Ing. 7501 Forchheim Gast
Original assignee: Bruker Biospin GmbH
Current assignee: Bruker Biospin GmbH
Filing date: 1973-05-04
Publication date: 1977-03-24

Description

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung mit einer Revolverhalterung zum Auswechseln von Baueinheiten, wie optischen, in einem Strahlengang angeordneten Baueinheiten, die abwechselnd in eine genau bestimmte Arbeitsposition zu bringen bzw. aus ihr zu entfernen sind, insbesondere zum Wechseln von Strahlenteilern in Interferometern, mit einem Revolverteller, der die einzelnen Baueinheiten trägt und der um seine Achse drehbar ist und dem eine feststehende Gegenhaiterung gegenübersteht.The invention relates to a device with a turret holder for exchanging structural units, like optical units arranged in a beam path that alternate into a precisely defined one To be brought to the working position or to be removed from it, in particular for changing beam splitters in Interferometers, with a revolver plate that carries the individual structural units and that is around its axis is rotatable and facing a fixed Gegenhaiterung.

Bei bekannten derartigen Vorrichtungen, beispielsweise bei Objektivrevolvern von Mikroskopen, wird die nötige Genauigkeit des Einhaltens der Arbeitsposition dadurch erreicht, daß der Revolverteller sehr exakt geführt ist. Bei Revolverhalterungen für Strahlenteiler von Interferometern kommt als zusätzliche Schwierigkeit hinzu, daß der Strahlenteiler in einer unzugänglichen Kammer, insbesondere einer Vakuumkammer, untergebracht ist. Es ist dadurch eine Fernbetätigung erforderlich. Von Nachteil ist, daß die hohe Genauigkeit der Führung derartiger Revolverhalterungen und die erforderliche Spielfreiheit nur mit sehr großemIn known devices of this type, for example in objective turrets of microscopes, the The necessary accuracy of maintaining the working position is achieved by the fact that the turret plate is very precise is led. With turret mounts for beam splitters of interferometers comes an additional difficulty added that the beam splitter is in an inaccessible chamber, in particular a vacuum chamber, is housed. This means that remote control is required. The disadvantage is the high level of accuracy the leadership of such turret mounts and the required clearance only with a very large

Aufwand erreicht und aufrechterhalten werden können, und daß diese hohe Genauigkeit durch das Verwenden von Fernsteuerantrieben, die nickt so sanft arbeiten wie dies manuell möglich ist, wieder verloren geht Außerdem ist im allgemeinen bei Mikroskopen keine hohe Genauigkeit der Position der Baueinheit im Strahlengang erforderlich, weil nach jedem Objektivwechsel aufgrund der zwangsläufig damit verbundenen Focusänderung ohnedies ein Wiederscharfstellen des Bildes erforderlich ist Bei Revolveriagerungen der Objektive von Mikroskopen ist lediglich Bedingung, daß die optische Achse des Objektivs, das in den Strahlengang geschaltet wird, mit der Achse des Okulars exakt zusammenfällt Die Lage der optischen Baueinheit in Richtung dieser Achse ist wegen der ohnedies erforderlichen Verstellung und Verstellbarkeit unwichtig. Deshalb ist auch bei vinem Mikroskop die Genauigkeit der Revolverlagerung lediglich durch die weitgehend spielfreie Lagerung des Revolvertellers bedingt und es dient die Gegenhalterung lediglich zum Abschirmen gegen Staub und Fremdlicht sowie zur Aufnahme einer Rastung, die die Drehposition bei Erreichen der gewünschten Lage fixiert.Effort can be achieved and maintained, and that this high accuracy by using remote control drives that nod as gently as it is manually possible is lost again In addition, the position of the structural unit in microscopes is generally not very accurate Beam path required because after every change of objective due to the inevitably associated with it Change of focus anyway a re-focusing of the image is necessary The only condition for the objective of microscopes is that the optical axis of the objective inserted into the Beam path is switched, with the axis of the eyepiece exactly coincides The position of the optical Unit in the direction of this axis is due to the adjustment and adjustability required anyway unimportant. Therefore, even with a vinem microscope, the accuracy of the turret displacement is only due to the largely play-free storage of the turret plate and it is only used for the counter bracket Shielding against dust and extraneous light as well as for the inclusion of a detent that controls the rotary position Fixed to the desired location.

Aufgabe der vorliegenden Erfindung isi es, eine fernbedienbare Revolverhalterung zu schaffen, die mit wenig Aufwand eine hohe Positionsgenauigkeit auch in Längsrichtung der optischen Achse reproduzierbar zu erreichen und einzuhalten gestattet.The object of the present invention is to create a remotely controllable revolver holder that can be used with little effort to reproducible a high position accuracy also in the longitudinal direction of the optical axis allowed to reach and comply with.

Gelöst wird diese Aufgabe bei einer Vorrichtung der eingangs genannten Art erfindungsgemäß dadurch, daß jede der optischen Baueinheiten an ihrer der Gegenhalterung zugewandten Fläche mit einer in bezug auf ihr optisches Element ausgerichteten, definierten Anlagefläche versehen ist, daß die Gegenhalterung mit einer in bezug auf den Strahlengang ausgerichteten, definierten Bezugsfläche für die optischen Baueinheiten versehen ist, und daß die optischen Baueinheiten mit einer Komponente in Richtung der Drehachse des Revolvertellers relativ zu der Gegenha'terung bewegbar und mit ihrer Anlagefläche an der Bezugsfläche zur Anlage bringbar sind.This object is achieved according to the invention in a device of the type mentioned at the outset in that each of the optical structural units on its surface facing the counter support with one in relation to it Optical element aligned, defined contact surface is provided that the counter bracket with an in provided with respect to the beam path aligned, defined reference surface for the optical assemblies is, and that the optical assemblies can be moved with one component in the direction of the axis of rotation of the revolving plate relative to the counter-holder and with their contact surface can be brought into contact with the reference surface.

Von Vorteil ist bei der erfindungsgemäßen Vorrichtung, daß die Lagerung des Revolvertellers sehr einfach und preiswert aufgebaut werden kann, da sie nicht spielfrei sein braucht. Die an der feststehenden Gegenhalterung vorgesehene definierte Bezugsfläche kann mit praktisch beliebiger Genauigkeit hergestellt und positioniert werden. Diese Position ändert sich nicht, da die Gegenhalterung ihre Lage nicht ändert. Das exakte Einhalten der Arbeitsposition ist dadurch garantiert, daß die Baueinheiten Aniageflächen aufweisen, die an der Bezugsfläche zur Anlage kommen. Damit ist eine definierte und reproduzierbare Arbeitsposition der Baueinheiten sichergestellt, ohne daß die beweglichen Teile enge Passungen und genaue Führungen erfordern. Daß alle die Baueinheiten, die sich nicht in der Arbeitsposition befinden, keine exakte Lage einnehmen, ist ohne Bedeutung. Da die Baueinheiten während dc^r Wechsels sich mit dem Revolverteller frei bewegen können, tritt keinerlei Verschleiß an genau bearbeiteten Führungs- und Paßflächen auf. Die definierte Bezugsfläche der Gegenhalterung und die definierten Anlageflächen der Baueinheiten sind daher praktisch keinem Verschleiß unterworfen, da sie tatsächlich nur als Anlageflächen dienen und kein reibender Verschiebe-Vorgang mit einer Komponente in Flächenebene stattfindet. Die erfindungsgemäße Vorrichtung ist daher nicht nur sehr genau herstellbar, sondern sie behält diese Genauigkeit auch über lange Zeiträume hinweg bei. Schließlich ist die erfindungsgemäße Vorrichtung auch sehr preiswert herstellbar; sie ermöglicht darüber hinaus die Verwendung beliebiger Fernantriebssysteme, so daß sie auch an unzugänglichen Stellen, beispielsweise in Interferometerkammetn, vorteilhaft verwendbar istThe advantage of the device according to the invention is that the mounting of the turret plate can be constructed very simply and inexpensively, since it does not need to be free of play. The defined reference surface provided on the stationary counter bracket can be produced and positioned with practically any precision. This position does not change because the counter bracket does not change its position. The exact maintenance of the working position is guaranteed by the fact that the structural units have contact surfaces that come to rest on the reference surface. This ensures a defined and reproducible working position of the structural units without the moving parts requiring tight fits and precise guides. The fact that none of the structural units which are not in the working position do not take up an exact position is of no importance. Since the units during dc ^r exchange can move freely with the revolving plate, no wear occurs on accurately machined guiding and fitting surfaces. The defined reference surface of the counter bracket and the defined contact surfaces of the structural units are therefore practically not subject to wear, since they actually only serve as contact surfaces and there is no frictional displacement process with a component in the surface plane. The device according to the invention can therefore not only be manufactured very precisely, but it also maintains this accuracy over long periods of time. Finally, the device according to the invention can also be produced very inexpensively; it also enables any remote drive system to be used, so that it can also be used advantageously in inaccessible places, for example in interferometer chambers

Die Bezugsfläche der Gegenhalterung kann beispielsweise so angeordnet sein, daß die Drehachse des Revolvertellers senkrecht auf ihrer Ebene steht Bei bevorzugten Ausführungsformen nimmt das Lot auf die Bezugsfläche der Gegenhalterung einen spitzen Winkel zu der Drehachse des Revolvertellers ein. Dabei ist der Revolverteller vorzugsweise nicht plan sondern leicht kegelig ausgebildet wodurch sich in vielen Anwendungsfällen eine räumlich günstige und platzsparende Anordnung erzielen läßt weil es nicht erforderlich ist, daß die Revolvertellerachse zu der Achse des Strahlenganges, in den die Baueinheit zu bringen ist parallel sein muß. Es genügt dabei, wenn der Revolverteller zumindest in dem Bereich, in dem er der Bezugsfläche gegenübersteht, einen zu der Bezugsflächenebene parallelen Oberflächenbereich aufweist.The reference surface of the counter bracket can be arranged, for example, so that the axis of rotation of the Revolver plate is perpendicular to its plane. In preferred embodiments, the solder takes on the Reference surface of the counter bracket an acute angle to the axis of rotation of the turret plate. Here is the Turret plate preferably not planar but slightly conical, which is useful in many applications a spatially favorable and space-saving arrangement can be achieved because it is not necessary that the revolver plate axis to the axis of the beam path in which the assembly is to be brought must be parallel. It is sufficient if the revolver plate at least in the area in which it is the Opposite reference surface, has a surface area parallel to the reference surface plane.

Bei bevorzugten Ausführungsformen sind die Baueinheiten auf dem Revolverteller begrenzt bewegbar angebracht. Insbesondere sind die Baueinheiten in einer Richtung um einen gewissen, nicht sehr großen Betrag bewegbar, die senkrecht zur Bezugsflächenebene steht, wenn die betreffende Baueinheit der Bezugsfläche gegenübersteht.In preferred embodiments, the structural units can be moved to a limited extent on the turret plate appropriate. In particular, the structural units are unidirectional by some, not very large, amount movable, which is perpendicular to the reference surface plane, if the relevant structural unit of the reference surface facing.

Unabhängig davon, ob die Baueinheiten auf dem Revolverteller starr oder begrenzt bewegbar angebracht sind, ist bei bevorzugten Ausführungsformen der Revolverteller in Richtung seiner Drehachse verschiebbar. Da der Revoiverteller relativ weich bzw. mit Spiel gelagert sein kann, genügt in bestimmten Fällen die auf diese Weise erzielte Bewegbarkeit und es können die Baueinheiten auf dem Revolverteller fest angebracht sein. Es ist jedoch ebenso gut möglich, auch bei in Richtung seiner Drehachse verschiebbarem Revolverteller die Baueinheiten auf dem Revolverteller begrenzt bewegbar anzubringen.Regardless of whether the structural units are attached to the turret plate so that they can be moved in a rigid manner or to a limited extent are, in preferred embodiments, the turret plate is displaceable in the direction of its axis of rotation. Since the revolver plate can be stored relatively soft or with play, it is sufficient in certain cases Mobility achieved in this way and the structural units can be firmly attached to the turret plate being. However, it is just as possible to limit the structural units on the turret plate even when the turret plate is displaceable in the direction of its axis of rotation movable to attach.

In vielen Fällen ist es zwar erforderlich, daß die Baueinheit sehr exakt eine bestimmte Lage relativ zu der Bezugsflächenebene einnimmt, es spielt jedoch keine Rolle, ob sie in Richtung der Bezugsflächenebene eine Position exakt einhält. Das gilt beispielsweise bei dem Einschalten von planparallelen Spiegeln, Strahlenteilern oder Filtern, die über ihre Fläche hinweg optisch homogen sind. In vielen Fällen ist jedoch außerdem erwünscht, daß auch die Lage der Baueinheit in Richtung der Ebene der Bezugsfläche festgelegt ist, wobei häufig an die Exaktheit dieser Ausrichtung geringere Anforderungen gestellt werden als an die Genauigkeit der Position senkrecht zur Bezugsflächenebene. Bei bevorzugten Ausführungsformen ist daher die der Gegenhalterung gegenüberstehende Baueinheit relativ zur Ebene der Bezugsfläche durch Führungsmittel geführt bewegbar. Von Vorteil ist dabei, daß die Position der Baueinheit dreidimensional und nicht nur eindimensional festgelegt ist.In many cases it is necessary that the structural unit very precisely a certain position relative to occupies the datum plane, but it does not matter whether it is in the direction of the datum plane precisely maintains a position. This applies, for example, when switching on plane-parallel mirrors or beam splitters or filters that are optically homogeneous across their surface. However, in many cases it is also it is desirable that the position of the structural unit is also determined in the direction of the plane of the reference surface, whereby the exactness of this alignment is often less stringent than that of the Accuracy of the position perpendicular to the reference surface plane. In preferred embodiments, therefore, is the the counter bracket opposite structural unit relative to the plane of the reference surface by guide means guided movable. The advantage here is that the position of the structural unit is three-dimensional and not just is set one-dimensional.

Bei einer Ausführungsform sind die Führungsmittel an dem Revolverteller und der Baueinheit vorgesehen. Beispielsweise sind an dem Revolverteller Paßstifte befestigt, die in entsprechende Paßbohrungen der Baueinheit eingreifen, wobei die Achsrichtung der Paßstifte senkrecht zur Bezugsflächenebene steht. Oder es ist in den Revolverteller eine Bohrung eingearbeitetIn one embodiment, the guide means are provided on the turret plate and the structural unit. For example, dowel pins are attached to the turret plate, which are in corresponding fitting bores of the Engage the structural unit, the axial direction of the dowel pins being perpendicular to the plane of the reference surface. or there is a hole machined into the revolver plate

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und die Baueinheit als zylinderförmiger, in die Bohrung passender Körper ausgebildet. Bei diesen Ausführungsformen ist bevorzugt der Revolverteller in definierten Drehlagen arretierbar, um auf diese Weise die gewünschte Ausrichtung der Baueinheit in der Ebene der Bezugsfläche zu erzielen.and the assembly as a cylindrical, in the bore trained body. In these embodiments, the turret plate is preferably defined in Rotary positions can be locked in order to achieve the desired alignment of the structural unit in the plane to achieve the reference area.

Bei besonders bevorzugten Ausführungsformen sind die Führungsmittel an der Gegenhalterung und der Baueinheit vorgesehen. Soweit dabei die Führungsmittel zentrierend ausgebildet sind, ist auch ohne ?xakte Rastung des Revolvertellers in Drehrichtung eine dreidimensionale Ausrichtung der Baueinheit gegenüber der Gegenhalterung erzielbar. Besonders einfach wird die erfindungsgemäße Vorrichtung in ihrem Aufbau dann, wenn gemäß einer Ausführungsform Führungsmittel und Bezugsfläche als Kegelmantelfläche ausgebildet sind. Dabei weicht der Kegelwinkel nicht sehr stark von 180° ab, so daß Verformungen der Bezugsfläche und der Anlagefläche nicht auftreten bzw. keine Rolle spielen. Beispielsweise ist die Bezugsfläche als Hohlkegelmantelfläche ausgebildet und die Baueinheit mit einer Kegelmantelfläche versehen. Es wird dadurch einerseits die Baueinheit zentriert und in eine dreidimensional definierte Endlage geführt. Bei dieser Ausführungsform kann die Baueinheit beispielsweise in der Weise an dem Revolverteller angebracht sein, daß eine Befestigungsvorrichtung den Rand der Baueinheit übergreift, die Baueinheit aber innerhalb des so definierten Raumes sich weitgehend frei bewegen kann, ähnlich wie ein Bezeichnungsschild in einer rahmenartigen Halterung so gehalten ist, daß der größte Teil der Fläche des Bezeichnungsschildes sichtbar ist.In particularly preferred embodiments, the guide means are on the counter bracket and the Unit provided. To the extent that the guide means are designed in a centering manner, there is also no precise Latching of the turret plate in the direction of rotation creates a three-dimensional alignment of the structural unit opposite the counter bracket achievable. The device according to the invention is particularly simple in its Structure if, according to one embodiment, guide means and reference surface as a conical surface are trained. The cone angle does not deviate very much from 180 °, so that deformations of the Reference area and the contact area do not occur or play no role. For example, the reference area is designed as a hollow conical surface and provided the structural unit with a conical surface. It will as a result, on the one hand, the structural unit is centered and guided into a three-dimensionally defined end position. At this Embodiment, the structural unit can be attached to the revolving plate, for example, in such a way that a fastening device engages over the edge of the assembly, but the assembly within the so defined space can move largely freely, similar to a label in a frame-like Holder is held so that most of the area of the label is visible.

Bei der erfindungsgemäßen Vorrichtung sind ohne großen Aufwand die Positionen der einzelnen Baueinheiten in der Arbeitsstellung exakt reproduzierbar. Vielfach sollen sie jedoch nicht nur exakt reproduzierbar, sondern auch vorbestimmt und von Baueinheit zu Baueinheit gleich sein. Bei einer bevorzugten Ausführungsform weist daher die Optik jeder Baueinheit eine definierte Lage relativ zu der Anlagefläche auf und es ist insbesondere der Abstand der Optik zu der Anlagefläche bei allen Baueinheiten gleich. Diese Bedingung ist in der Fertigung relativ leicht dadurch zu erfüllen, daß zunächst eine definierte Lage für die Optik geschaffen wird und anschließend die Anlagefläche in ihrer gewünschten Lage relativ zu der Optik bearbeitet wird. Dient als Optik beispielsweise eine Filterplatte, so kann die Filterplatte in der Baueinheit montiert und danach die Anlagefläche der Baueinheit in Abhängigkeit von der Lage der Filterplatte geschliffen werden. Besonders einfach gestaltet sich, gemäß einer weiteren Ausführungsform, eine präzise Fertigung dann, wenn eine Referenzebene der Optik mit der Ebene der Anlagefläche zusammenfällt Ist gemäß einer weiteren Ausführungsform, als Optik eine Folie, insbesondere eine Filterfolie verwendet so ist diese über einen Ring gespannt dessen eine Stirnseite in der Ebene der Anlagefläche liegt und insbesondere zusammen mit ihr bearbeitet ist Dieser Ring ist beispielsweise einstückig mit der Baueinheit in der Nähe der jenigen Stirnfläche der Baueinheit vorgesehen, die als Anlagefläche dienen soll. Es wird dann die Stirnseite des Ringes und die Anlagefläche der Baueinheit im gleichen Arbeitsgang geschliffen und danach die Filterfolie über den Ring gespannt Die dem Ring zugewandte Filterfolienoberfläche befindet sich dann exakt in der Ebene der Anlagefläche. Soll die gegenüberliegende Seite oder die Mittelebene der gespannten Filterfolie mit der Ebene der Anlagefläche zusammenfallen, so wird in der gleichen Aufspannung, wodurch die Planparallelität gesichert ist, die Ringstirnseite um die halbe Dicke oder um die Dicke der Filterfolie zusätzlich abgeschliffen.In the device according to the invention, the positions of the individual structural units are easy Exactly reproducible in the working position. In many cases, however, they should not only be exactly reproducible, but also be predetermined and the same from unit to unit. In a preferred embodiment therefore, the optics of each structural unit have a defined position relative to the contact surface and it is in particular, the distance between the optics and the contact surface is the same for all structural units. This condition is in the production relatively easy to meet in that first a defined position is created for the optics and then the contact surface in their desired position is processed relative to the optics. If, for example, a filter plate serves as optics, it can the filter plate is mounted in the structural unit and then the contact surface of the structural unit as a function of the position of the filter plate can be sanded. According to a further embodiment, it is particularly simple a precise production when a reference plane of the optics with the plane of the contact surface coincides According to a further embodiment, a film, in particular a film, is used as the optics Filter film used so this is stretched over a ring, one end face of which in the plane of the Contact surface is and in particular is processed together with her. This ring is, for example, in one piece provided with the structural unit in the vicinity of those face of the structural unit that serve as a contact surface target. It is then the face of the ring and the contact surface of the structural unit in the same operation ground and then the filter film is stretched over the ring. The surface of the filter film facing the ring is then located exactly in the plane of the contact surface. Should the opposite side or the The center plane of the stretched filter film coincides with the plane of the contact surface, so in the same clamping, whereby the plane parallelism is ensured, the ring face by half the thickness or sanded down by the thickness of the filter film.

Nach dieser Methode lassen sich Baueinheiten mit hoher Präzision und wenig Aufwand herstellen.With this method, structural units can be manufactured with high precision and little effort.

Das Fixieren oder Festhalten der Baueinheit in der Arbeitsposition kann verschieden bewerkstelligt werden. Beispielsweise können mechanische Halterungen.The fixing or holding of the structural unit in the working position can be accomplished in different ways. For example, mechanical mounts.

wie Greiffinger, die Baueinheit festhalten, wenn sie an der Bezugsfläche zur Anlage gebracht worden ist. Oder es können in der Bezugsfläche mündende Bohrungen vorgesehen sein, die an eine Absaugeleitung geführt sind. Wird die Absaugeleitung an eine Saugpumpe angeschlossen, dann kann die Baueinheit nach dem Anliegen an der Bezugsfläche pneumatisch fixiert werden. Alle diese möglichen Ausführungsformen sind jedoch relativ aufwendig. Auch versagt eine pneumatische Halterung in einer Vakuumkammer, weil der die Baueinheit gegen die Bezugsfläche pressende äußere Luftdruck fehlt. Die erfindungsgemäße Vorrichtung soll jedoch gerade auch in Vakuumkammern bequem verwendbar sein. Bei einer bevorzugten Ausführungsform ist daher zum Festhalten der Baueinheit in der Arbeitsposition ein Permanentmagnet vorgesehen und vorzugsweise an der Gegenhalterung angebracht. Der Permanentmagnet kann gleichzeitig auch dazu dienen, um die Baueinheit in die Arbeitsposition zu ziehen, d. h. an der Bezugsfläche zur Anlage zu bringen. Es ist dann vorzugsweise ein schaltbarer Permanentmagnet verwendet. In gleicher Weise können auch, wie bei bevorzugten Ausführungsformen vorgesehen, zum Fixieren der Baueinheiten in Anlage an dem Revolverteller Permanentmagnete vorgesehen sein. Es wird durch die Verwendung dieser Permanentmagnete erreicht, daß die Baueinheiten während des Umlaufes des Rcvolvertellers sich nicht bewegen. Auch können diese Permanentmagnete eine mechanische Halterung der Baueinheiten auf dem Revolverteller ersetzen.like gripping fingers that hold the structural unit tightly when it has been brought into contact with the reference surface. or bores opening into the reference surface can be provided which lead to a suction line are. If the suction line is connected to a suction pump, then the unit can after Any concerns on the reference surface can be fixed pneumatically. All of these are possible embodiments but relatively complex. A pneumatic holder in a vacuum chamber also fails because of the External air pressure that presses the structural unit against the reference surface is missing. The device according to the invention should however, it can also be conveniently used in vacuum chambers. In a preferred embodiment is therefore to hold the structural unit in the A permanent magnet is provided in the working position and is preferably attached to the counter bracket. the Permanent magnet can also serve at the same time to pull the assembly into the working position, i. H. to be brought into contact with the reference surface. A switchable permanent magnet is then preferably used. In the same way, as provided in preferred embodiments, for Fixing the structural units in the system on the turret plate permanent magnets can be provided. It will through the use of these permanent magnets achieved that the structural units during the revolution of the reverse disk do not move. Also can these permanent magnets replace a mechanical mounting of the structural units on the turret plate.

Die Erzeugung der Bewegung der Baueinheiten senkrecht zur Bezugsfläche kann auf verschiedene Weise vorgenommen werden. Beispielsweise kommen hierfür mechanische Antriebe oder Antriebe mittels Pneumatik- oder Hydraulikelementen in Betracht. Diese Antriebe haben jedoch alle den Nachteil, daß sie relativ aufwendig sind. Bei einer bevorzugten Ausführungsform ist daher zum Erzeugen der Bewegung der der Bezugsfläche gegenüberstehenden Baueinheit senkrecht zur Bezugsfläche ein Elektromagnet vorgesehen und vorzugsweise an der Gegenhalterung angebracht Durch Erregen dieses Elektromagneten wird die gegenüberstehende Baueinheit an die Gegenhalterung herangezogen und gehalten. Nach dem Abschalten des Stromes des Elektromagneten kann die Baueinheit in der bereits beschriebenen Weise, beispielsweise durch einen Permanentmagneten, gehalten sein. Zum Zurückführen der Baueinheit an den Revolverteller kann der Elektromagnet ebenfalls verwendet werden, indem er umgepolt wird. Dabei ist entweder an der Baueinheit ein Permanentmagnet vorgesehen, der so gepolt ist daß er von dem umgepolten Elektromagnet abgestoßen wird, oder es ist an dem Revolverteller in bereits beschriebener Weise ein Permanentmagnet angebracht Durch das Umpolen des Elektromagneten wird die Wirkung des an der festen Halterung angebrachten Permanentmagneten neutralisiert und es kann der an dem Revolverteller angebrachte Permanentmagnet die Baueinheit von der Gegenhalterung ab- und an den Revolverteller heran-The generation of the movement of the structural units perpendicular to the reference surface can be carried out in various ways Way to be made. For example, mechanical drives or drives by means of Pneumatic or hydraulic elements into consideration. However, these drives all have the disadvantage that they are relatively are expensive. In a preferred embodiment, the is therefore for generating the movement An electromagnet is provided perpendicular to the reference surface opposite structural unit perpendicular to the reference surface and preferably attached to the counter bracket. By energizing this electromagnet, the opposing unit pulled to the counter bracket and held. After switching off the Current of the electromagnet can through the assembly in the manner already described, for example a permanent magnet. To return the assembly to the turret plate, the Electromagnet can also be used by reversing the polarity. There is either a Permanent magnet provided, which is polarized so that it is repelled by the reversed electromagnet, or a permanent magnet is attached to the turret plate in the manner already described Reversing the polarity of the electromagnet is the effect of the permanent magnet attached to the fixed bracket neutralized and the permanent magnet attached to the turret plate can remove the structural unit from the Remove the counter bracket and move it towards the turret plate

ziehen. Es sind also die verschiedenartigsten Kombinationen von Permanent- und Elektromagneten denkbar, die es in einfacher Weise ermöglichen, die Baueinheiten am Revolverteller und/oder der Gegenhalterung zu halten und sie von der jeweils einen in die andere Lage zu bewegen. Bevorzugt sind die Ausführungsformen jedoch so gewählt, daß der Elektromagnet feststehend, also an der Gegenhalterung, vorgesehen ist. Es lassen sich dadurch umständliche oder unzuverlässige Strom-Zuführungen an bewegte Teile vermeiden.draw. So there are the most varied combinations of permanent magnets and electromagnets conceivable, which make it possible in a simple manner, the structural units to hold on the revolving plate and / or the counter bracket and move it from one position to the other to move. However, the embodiments are preferably chosen so that the electromagnet is stationary, so on the counter bracket is provided. This can lead to cumbersome or unreliable power supplies avoid moving parts.

Bei den Ausführungsformen, bei denen der Revolverteller in Richtung seiner Drehachse bewegbar ist, ist in bevorzugter weiterer Ausgestaltung zum Erzeugen dieser Bewegung ein Elektromagnet vorgesehen. Insbesondere ist der Elektromagnet feststehend angebracht und es ist die Welle des Revolvertellers mit einer weichmagnetischen Scheibe versehen, die entgegen dei Kraft einer Feder bei erregtem Elektromagneten von diesem herangezogen wird. Oder es ist statt der weichmagnetischen Scheibe eine Permanentmagnetscheibe vorgesehen, die durch entsprechende Polung des Elektromagneten herangezogen oder weggeschoben wird.In the embodiments in which the turret plate can be moved in the direction of its axis of rotation, FIG In a preferred further embodiment, an electromagnet is provided for generating this movement. In particular, the electromagnet is fixed and it is the shaft of the turret plate with a soft magnetic disc provided, which opposes dei Force of a spring when the electromagnet is energized is used by this. Or it is instead of the soft magnetic disc a permanent magnet disc is provided by appropriate polarity of the electromagnet is drawn in or pushed away.

Ein besonderer Vorteil der beschriebenen Ausführungsformen einer Revolverhalterung liegt darin, daß sie sich gut dazu eignet, um fernbedient betätigt zu werden. Es ist daher in weiterer Ausgestaltung zum fernbedienbarew Verschwenken des Revolvertellers ein Motorantrieb und eine Rastung, insbesondere ein Schrittschaltmotor, vorgesehen. Der Schrittschaltmotor umfaßt also den Motorantrieb einschließlich Rastung. Die Übertragung der Bewegung von der Motorwelle auf den Revolverteller kann beliebig, insbesondere durch Zahnradgetriebe vorgenommen werden.A particular advantage of the embodiments described a revolver mount is that it lends itself well to being operated remotely will. It is therefore a further refinement for pivoting the turret plate that can be remotely controlled Motor drive and a detent, in particular a stepping motor, are provided. The stepper motor thus includes the motor drive including detent. The transmission of motion from the motor shaft on the turret plate can be carried out as desired, in particular by means of gear drives.

In der nachfolgenden Beschreibung in der Zeichnung dargestellter Ausführungsbeispiele wird die Erfindung erläutert. Es zeigen in vereinfachter, schematisierter Darstellung:The invention is described in the following description of the exemplary embodiments shown in the drawing explained. It shows in a simplified, schematic representation:

Fig. 1 einen Längsschnitt durch eine Revolverhalterung mit Gegenhalter, die1 shows a longitudinal section through a turret holder with counter holder that

Fig. 2 und 3 Längsschnitte durch andere Ausführungsformen, Fig. 2 and 3 longitudinal sections through other embodiments,

Fig.4 einen Längsschnitt durch eine nur teilweise dargestellte weitere Ausführungsform und4 shows a longitudinal section through an only partially illustrated further embodiment and

Fig. 5 einen teilweise dargestellten Längsschnitt durch eine an einem Gegenhalter anliegende Baueinheit, bei der Filterebene. Anlagefläche und Bezugsfläche in einer Ebene liegen.5 shows a partially illustrated longitudinal section through a structural unit resting on a counter holder, at the filter level. Contact surface and reference surface lie in one plane.

Auf einer Welle 1, die in einem Lager 2 drehbar gelagert ist ist ein Revolverteller 3 fest angebracht An dem anderen Ende der Welle 1 ist ein Zahnrad 4 aufgekeilt, das mit einem Ritzel 5 eines Antriebsmotors, insbesondere eines Schrittschaltmotors 6, kämmt Der Motor 6 ist ebenso wie das Lager 2 über entsprechende Träger an einem nicht dargestellten Gehäuse abgestützt A turret plate 3 is fixedly attached to a shaft 1 which is rotatably supported in a bearing 2 the other end of the shaft 1 is keyed to a gear 4, which is connected to a pinion 5 of a drive motor, in particular a stepping motor 6, the motor 6, like the bearing 2, meshes with corresponding Carrier supported on a housing, not shown

Der Revolverteller ist als Platte ausgebildet deren zentraler Bereich eine plane Scheibe ist auf deren Ebene die Achse der Welle 1 senkrecht steht An diese plane Scheibe schließt ein geneigter ringförmiger Bereich an, der die Gestalt eines Kegelmantelabschnittes mit sehr flachem Kegelwinkel aufweist Entlang dem Umfang des Revolvertellers 3 sind an einer Seite auf einem Teilkreis verteilt mehrere Baueinheiten 7 angebracht Jede Baueinheit 7 umfaßt einen Ring 8. dessen zentrale Aussparung konisch verläuft wobei in der Aussparung eine dünne Scheibe 9. bei der es sich um ein Filter, einen Strahlenteiler oder einen Spiegel handeln kann, befestigt ist. Der Ring 8 weist eine plan geschliffene, stirnseitige Auflagefläche 10 auf, zu der die Scheibe 9 planparallcl ausgerichtet ist. Außerdem ist der Abstand der Scheibe 9 von der Ebene der Auflagefläche s 10 durch die Herstellung auf einen genau vorgegebenen Wert gebracht.The turret plate is designed as a plate, the central area of which is a flat disk on top of it The axis of the shaft 1 is perpendicular to the plane Area that has the shape of a cone jacket section with a very flat cone angle along the A plurality of structural units 7 are distributed on one side on a pitch circle around the circumference of the turret plate 3 attached Each structural unit 7 comprises a ring 8, the central recess of which is conical, wherein in the recess a thin disk 9. which is a filter, a beam splitter or a mirror can act is attached. The ring 8 has a flat ground, end-face bearing surface 10, to which the Disk 9 is aligned planparallcl. In addition, the distance of the disc 9 from the plane of the support surface s 10 brought to a precisely specified value by manufacturing.

Im Bereich der Baueinheiten 7 ist der Rcvolvertellcr mit Aussparungen 11 versehen, die so angeordnet und bemessen sind, daß durch die Scheibe 9 hindurchtreten-The Rcvolvertellcr is in the area of the structural units 7 provided with recesses 11, which are arranged and are dimensioned that pass through the disc 9-

ro de Strahlen ungehindert den Rcvolverteller passieren können.ro de rays can pass the reverse disk unhindered.

An dem Revolverteller 3 sind für jede Baueinheit 7 drei Paßstifte 12 zueinander parallel eingesetzt, denen Paßbohrungen zugeordnet sind, die in den Ring 8 eingearbeitet sind. Dabei ist die Passung so gewählt, daß der Ring 8 in Achsrichtung der Paßstifte 12 leicht, jedoch nahezu spielfrei bewegbar ist. Die Achse der Paßstifte 12 ist dabei senkrecht zu der Auflagefläche 10 ausgerichtet.On the turret plate 3 three dowel pins 12 are used parallel to each other for each structural unit 7, which Fitting bores are assigned which are machined into the ring 8. The fit is chosen so that the ring 8 is easy to move in the axial direction of the dowel pins 12, but with almost no play. The axis of the Dowel pins 12 are aligned perpendicular to the support surface 10.

In geringem Abstand zu einer der Baueinheiten 7 ist an dem nicht dargestellten Gehäuse eine Halterung 13 feststehend angebracht. Die Halterung 13 weist eine auf der der Baueinheit 7 zugewandten Seite vorgesehene, plan geschliffene Bezugsfläche 14 auf. Die Achsen der Paßstifte 12 sind zu der Bezugsfläche 14 senkrecht ausgerichtet. Gegenüber der Bezugsfläche 14 versenkt sind in der festen Halterung 13 ein Permanentmagnet 15 und ein Elektromagnet 16 vorgesehen. Der Ring 8 besteht aus einem ferromagnetischen Material oder ist mit einer ferromagnetischen Einlage versehen. An der dem Ring 8 zugewandten Seite ist. die Aussparung 11 umgebend, ein Permanentmagnetring 17 vertieft eingebaut. At a short distance from one of the structural units 7 is a holder 13 on the housing (not shown) fixedly attached. The holder 13 has a provided on the side facing the structural unit 7, flat ground reference surface 14. The axes of the dowel pins 12 are perpendicular to the reference surface 14 aligned. A permanent magnet 15 is sunk in the fixed holder 13 opposite the reference surface 14 and an electromagnet 16 is provided. The ring 8 consists of a ferromagnetic material or is provided with a ferromagnetic insert. On the side facing the ring 8 is. the recess 11 surrounding, a permanent magnet ring 17 built in recessed.

Die Richtung einer Achse 18 des Strahles, in dessen Gang die Scheibe 9 zu bringen ist. verläuft senkrecht zu der Auflagefläche 10 und der Bezugsfläche 14.The direction of an axis 18 of the beam in the course of which the disk 9 is to be brought. runs perpendicular to the support surface 10 and the reference surface 14.

Zum Wechseln der in dem Strahlengang befindlichen Scheibe 9 gegen eine andere Scheibe 9. beispielsweise gegen ein Filter oder einen Strahlenteiler mit anderen optischen Eigenschaften, wird der Elektromagnet 16 in einer Richtung erregt, daß er die Wirkung des Permanentmagneten 15 neutralisiert. Dadurch wird der Ring 8 mit der Scheibe 9 von dem Permanentmagnetring 17 so stark angezogen, daß er von der Bezugsflächc 14 abhebt und sich entlang der Paßstifte 12 bis zur Anlage an den Revolverteller 3 bewegt. Anschließend wird der Schrittschaltmotor 6 in Betrieb gesetzt und der Revolverteller so weit gedreht, bis die Baueinheit 7 mil der gewünschten Scheibe 9 der Halterung 13 gegenübersteht In dieser Lage wird die Drehung des Revolvertellers beendet Danach wird der Elektromagnet 16 entgegengesetzt erregt so daß er das FeIc des Permanentmagneten 15 verstärkt, bis die Kraftein wirkung dieser beiden Magnete auf den Ring 8 größei ist als die von dem Permanentmagnetring 17 auf der Ring 8 ausgeübte Kraft, worauf der Ring 8 sich auf dif Halterung 13 zubewegt, bis die bearbeitete Auflageflä ehe 10 an der geschliffenen Bezugsfläche 14 zur Anlag« kommt Da der Abstand der wirksamen Fläche dei Scheibe 9 von der Auflagefläche 10 exakt unc unveränderbar festgelegt ist, und da die Oberfläche dei Scheibe 9 parallel zur Auflagefläche ausgerichtet ist, is somit die Position der Scheibe 9 genau definiert wem sie sich in Arbeitsposition befindet also wenn der Ring i an der festen Halterung 13 anliegtTo change the disk 9 located in the beam path for another disk 9, for example a filter or a beam splitter with different optical properties, the electromagnet 16 is excited in a direction that it neutralizes the effect of the permanent magnet 15. As a result, the ring 8 with the disk 9 is so strongly attracted by the permanent magnet ring 17 that it lifts off the reference surface 14 and moves along the dowel pins 12 until it rests on the turret plate 3. The stepping motor 6 is then put into operation and the turret plate is rotated until the structural unit 7 with the desired disk 9 faces the holder 13.In this position, the rotation of the turret plate is stopped Permanent magnets 15 reinforced until the Kraftein effect of these two magnets on the ring 8 is greater than the force exerted by the permanent magnet ring 17 on the ring 8, whereupon the ring 8 moves towards dif bracket 13 until the machined support surface before 10 on the ground Reference surface 14 comes into contact Since the distance between the effective surface of the disc 9 and the support surface 10 is precisely and unchangeably fixed, and since the surface of the disc 9 is aligned parallel to the support surface, the position of the disc 9 is precisely defined for whom it is located is in the working position when the ring i is in contact with the fixed bracket 13

Bei der in Fig.2 dargestellten Ausführungsform is ein dem Revolverteller 3 entsprechender Revolvertelle 23 auf einer Welle 21 angebracht, die in zwei Lagern 2, In the embodiment shown in FIG. 2, a turret shaft 23 corresponding to the turret plate 3 is attached to a shaft 21,

709 612/271709 612/271

drehbar gelagert ist, die ihrerseits an einem nicht dargestellten Gehäuse abgestützt sind. Die äußere Umfangsfläche des Rcvolvertellers 23 ist mil einer Verzahnung 24 versehen, in die ein Ritzel 25 eines Motors 26 eingreift. Auf dem Revolverteller 23 sind wieder entlang einem dem Umfang benachbarten Teilkreis mehrere Baueinheiten 27 angebracht. Die Baueinheiten 27 umfassen einen Ring 28, in dessen zentraler Aussparung eine Scheibe 29 befestigt ist, die der Scheibe 9 des Ringes 8 entspricht. Eine äußere Stirnfläche des Ringes 28 ist als plan geschliffene Auflagefläche oder Anlagefläche 30 ausgebildet.is rotatably mounted, which in turn are supported on a housing, not shown. The outer The circumferential surface of the rotary disk 23 is provided with a toothing 24 into which a pinion 25 of a Motor 26 engages. On the turret plate 23 are again along an adjacent one of the circumference Part circle several units 27 attached. The structural units 27 include a ring 28 in which A disk 29 is attached in the central recess, which disk corresponds to the disk 9 of the ring 8. An outer one The end face of the ring 28 is designed as a flat ground contact surface or contact surface 30.

Der Revolverteller 23 ist für jede Baueinheit 27 mit einer zylinderfönnigen Aussparung 3) versehen, in deren lichten Querschnitt ein Bund 39 ragt, der im Bereich derjenigen Oberfläche des Revolvertellers 23 vorgesehen ist, die einer an dem nicht dargestellten Gehäuse befestigten Halterung 33 gegenüberliegt. Der Ring 28 ist radial nach außen durch zwei zueinander konzentrische Zylindermantelflächen begrenzt: Die Zylindermantelfläche mit dem kleineren Durchmesser ist der Halterung 33 zugekehrt, die Zylindermantelfläche mit dem größeren Durchmesser dient als Führungsfläche, die in der Aussparung 31 geführt ist. Eine Schulter 32. die den Übergang zwischen den beiden Zylindermantelflächen bildet, bildet zusammen mit dem Bund 39 einen Anschlag, der die Bewegung des Ringes 28 in Richtung auf die Halterung 33 begrenzt. Dabei kommt jedoch die Anlagefläche 30 des Ringes 28 an einer Bezugsfläche 34 der Halterung 33 zur Anlage, ehe Schulter 32 und Bund 39 aneinander zur Anlage kommen.The turret plate 23 is provided with a cylindrical recess 3) for each structural unit 27, in the clear cross section of which protrudes a collar 39, which in the area of that surface of the revolver plate 23 is provided, which is opposite to a holder 33 attached to the housing (not shown). the Ring 28 is bounded radially outward by two concentric cylinder jacket surfaces: The The cylinder jacket surface with the smaller diameter faces the holder 33, the cylinder jacket surface with the larger diameter serves as a guide surface which is guided in the recess 31. One Shoulder 32. which forms the transition between the two cylinder jacket surfaces, forms together with the Bund 39 has a stop which limits the movement of the ring 28 in the direction of the holder 33. Included however, the contact surface 30 of the ring 28 comes to rest on a reference surface 34 of the holder 33 before Shoulder 32 and collar 39 come to rest against one another.

An dem dem Bund 39 abgewandten Ende der zylinderförmigen Aussparung 31 ist ein Permanentmagnetring 37 eingelassen. Der Ring 28 ist mit einem Permanentmagnetring 40 versehen, der so gepolt ist, daß er von dem Permanentmagnetring 37 angezogen wird.At the end of the cylindrical recess 31 facing away from the collar 39 is a permanent magnet ring 37 let in. The ring 28 is provided with a permanent magnet ring 40, which is polarized so that that it is attracted by the permanent magnet ring 37.

Die Halterung 33 ist mit einem in die Bezugsfläche 34 versenkten Elektromagnet 36 versehen. Die Halterung 33 ist, zumindest in dem Bereich der Bezugsfläche 34. aus ferromagnetische!!) Material hergestellt.The holder 33 is provided with an electromagnet 36 sunk into the reference surface 34. The bracket 33 is made of ferromagnetic !!) material, at least in the area of the reference surface 34.

Zum Wechseln der Baueinheit 27 wird der Elektromagnet 36 so erregt, daß er den Permanentmagnetring abstößt. Die Haftkraft des Permanentmagnetring 40 an der Halterung 33 wird dadurch überwunden und es bewegt sich der Ring 28 mit der Scheibe 29 bis zur Anlage an den Permanentmagnetring 37. Dadurch ist die Baueinheit 27 von der Halterung 33 abgehoben und es wird anschießend durch den Motor 26 der Revolverteller 23 so weit verschwenkt, bis die Baueinheit 27 mit derjenigen Scheibe 29 der Halterung gegenübersteht, die als nächste in den Strahlengang eingeschaltet werden soll. Zu diesem Zeitpunkt wird der Revolverteller 23 arretiert und es wird der Elektromagnet umgepolt erregt, wodurch der Ring 28 mit der Scheibe 29 unter Oberwindung der von dem Permanentmagnetring 37 auf ihn ausgeübten Kraft angezogen wird, bis die Auflagefläche 30 an der Bezugsfläche 34 zur Anlage kommt Dabei ist nicht nur die Planparallelität der Scheibe 29 zur Bezugsfläche 34 und der Abstand der wirksamen Oberfläche der Scheibe 29 von der Bezugsfläche 34 exakt eingehalten, sondern es ist auch durch die Führung des Ringes 28 in der Aussparung 31 sowie durch die positionsgenaue Drehwinkelarretierung des Revolvertellers 23 die Position des Ringes 28 in Richtung der Ebene der Bezugsfläche 34 exakt eingehalten. Durch Toleranzen der Lagerung bzw. To change the assembly 27, the electromagnet 36 is excited so that it repels the permanent magnet ring. The adhesive force of the permanent magnet ring 40 on the holder 33 is thereby overcome and the ring 28 moves with the disk 29 until it rests against the permanent magnet ring 37 Turret plate 23 is pivoted until the structural unit 27 with that disc 29 of the holder is opposite which is to be switched next into the beam path. At this point in time the revolving plate 23 is locked and the electromagnet is energized with reversed polarity, as a result of which the ring 28 with the disk 29 is attracted by overcoming the force exerted on it by the permanent magnet ring 37 until the contact surface 30 comes to rest on the reference surface 34 not only is the plane parallelism of the disk 29 to the reference surface 34 and the distance of the effective surface of the disk 29 from the reference surface 34 exactly maintained, but it is also due to the guidance of the ring 28 in the recess 31 and the precise position of the rotation angle locking of the turret plate 23 the The position of the ring 28 in the direction of the plane of the reference surface 34 is precisely maintained. Due to tolerances of the storage or

Lagerluft ist diese Genauigkeit nicht beeinträchtigt. Dk einen wesentlichen Einfluß aufweisende Toleranz de! Drehwinkels kann sehr klein gehalten werden, da dei Drehwinkel durch Eingriff in die Verzahnung 24 sehi genau definierbar ist. Es können daher auch anstelle einer Scheibe 29 opt. Systeme so in den Strahlengang gebracht werden, daß ihre Achse 2 der Achse des Strahlenganges exakt zusammenfällt.Bearing clearance, this accuracy is not affected. Dk a significant influence of tolerance de! Angle of rotation can be kept very small, since dei The angle of rotation can be precisely defined by engaging the toothing 24. It can therefore also take place a disk 29 opt. Systems are brought into the beam path so that their axis 2 is the axis of the The beam path coincides exactly.

Bei der in Fig.3 dargestellten Ausführungsform ist •° ein dem Revolverteller 23 weitgehend gleichender Revolverteller 43 auf einer Welle 41 befestigt, die in einem Lager 42 drehbar gelagert ist, das seinerseits an einem nicht dargestellten Gehäuse abgestützt ist. Die Welle 41 trägt ein Zahnrad 44, das mit einem Ritzel 45 '5 eines Antriebsmotors 46 kämmt.In the embodiment shown in FIG. 3, the turret plate 23 is largely the same Turret plate 43 mounted on a shaft 41 which is rotatably mounted in a bearing 42, which in turn is supported by a housing, not shown. The shaft 41 carries a gear 44 which is connected to a pinion 45 '5 of a drive motor 46 meshes.

An dem Revolverteller 43 sind Baueinheiten 47 starr befestigt. Die Baueinheiten 47 umfassen einen Ring 48, in dessen Aussparung eine Scheibe 49, die der Scheibe 9 bzw. 29 entspricht, befestigt ist. Die dem Revolverteller *> 43 abgewandte Stirnseite des Ringes 48 ist als geschliffene plane Anlagefläche 50 ausgebildet. Der Ring 48 besteht aus einem ferromagnetischen Material oder ist mit einer Einlage aus ferromagnetisch«!! Material versehen. Er ist in einer Aussparung des *5 Revo Verteilers 43 gehalten, die der Aussparung 31 des Kevolvertellers 23 gleicht. Anstelle des Permanentmagnetringes 37 ist die Aussparung 31 durch einen eingeschraubten Ring 57 abgeschlossen.Structural units 47 are rigidly attached to the turret plate 43. The structural units 47 comprise a ring 48, in the recess of which a disk 49, which corresponds to the disk 9 or 29, is fastened. The face of the ring 48 facing away from the turret plate 43 is designed as a ground, flat contact surface 50. The ring 48 consists of a ferromagnetic material or is made of ferromagnetic «!! Material provided. It is held in a recess of the Revo distributor 43, which is similar to the recess 31 of the Kevol plate 23. Instead of the permanent magnet ring 37, the recess 31 is closed by a screwed-in ring 57.

Eine an dem nicht dargestellten Gehäuse fest angebrachte Halterung 53 weist auf der dem Revolverteller 43 zugewandten Seite eine plan geschliffene Bezugsfläche 54 auf und ist mit einem eingelegten, ringförmigen Permanentmagnet 55 versehenA holder 53 fixedly attached to the housing, not shown, points to the turret plate 43 facing side has a flat ground reference surface 54 and is with an inlaid, annular permanent magnet 55 is provided

„ u- ^{Welle 41 ist in der} Lagerung 42 axial“U- ^{shaft 41 is} axial in the bearing 42

verschiebbar. Sie weist eine Verlängerung in Gestalt eines Wellenstummels 59 auf. der entweder in Längsrichtung magnetisiert ist oder einen entsprechenden Permanentmagnet trägt. Der Wellenstummel 59 ist Ao Tl ^e'u^{er Spuie Μ um}geben, die ein starkes in ^Acnsnchtung des Wellenstummels 59 verlaufendes Feld erzeugt. Je nach der Polung der Anschlüsse der Spule 60 wird die Welle 41 so bewegt, daß sich der Revolverteller «von der Halterung 53 entfernt oder auf sie zu bewegt /ium Wechseln der Baueinheit 47 wird die Spule 60 so ^erre^· ^daß sich die Welle 41 mit dem Revolverteller 43 und den auf dem Revolverteller 43 angebrachten Baueinheiten 47 von der Halterung 53 entfernt Danach wird durch den Motor 46 der Revolverteller 43 verschwenkt Befindet sich die gewünschte Baueinheit 47 gegenüber der Halterung 53, so wird die Spule 60 umgepolt, worauf der Revolverteller 43 in Richtung auf die Halterung 53 bewegt wird, bis die Anlagefläche 50 aer Detreffenden Baueinheit 47 an der Bezugsfläche 57 der Halterung 53 satt zur Anlage kommt In dieser Position wird die Baueinheit 47 auch nach Abschalten aer bpule 60 durch den Magneten 55 gehalten. Das ^ager 42 ist elastisch oder hat so viel Luft daß eine grobe Ausrichtung der Achse der Welle 41 genügt und aie exakte Positionierung der Scheibe 49 allein durch die erfd ^Anlag^efläche 50 an der Bezugsfläche 54 movable. It has an extension in the form of a shaft stub 59. which is either magnetized in the longitudinal direction or carries a corresponding permanent magnet. The stub shaft 59 is Ao Tl ^e 'and ^{he Spuie Μ to} give that generates strong in ^Acn of the shaft stub 59 extending snchtung field. Depending on the polarity of the terminals of the coil 60, the shaft 41 is moved so that the turret plate "to move from the holder 53 removed or she / ium changing the assembly 47, the coil 60 so ^erre ^ · ^that the shaft 41 with the turret plate 43 and the structural units 47 attached to the turret plate 43 are removed from the holder 53. The motor 46 then pivots the turret plate 43.If the desired structural unit 47 is located opposite the holder 53, the polarity of the coil 60 is reversed, whereupon the turret plate 43 is moved in the direction of the bracket 53 until the contact surface 50 of the target unit 47 comes to rest on the reference surface 57 of the bracket 53. In this position, the unit 47 is held by the magnet 55 even after the coil 60 has been switched off. The ^ carrier 42 is resilient or has so much air that a rough alignment of the axis of the shaft 41 and is sufficient aie exact positioning of the plate 49 solely by the erfd ^Appendices g ^efläc HE 50 against the reference surface 54

^Es..^IS' ^auch möglich, die Baueinheit 47 axial verschiebbar in dem Revolverteller 43 zu haltern, wenn beispielsweise der Ring 57 nicht so tief wie dargestellt in aie den Ring 48 haltende und führende Aussparung eingreift ^It .. ^IS ' ^also possible to hold the structural unit 47 axially displaceably in the turret plate 43 if, for example, the ring 57 does not engage as deeply as shown in a recess holding and guiding the ring 48

Be· der in Fig.4 nur teilweise dargestellten Ausrunrungsform weist ein Revolverteller 63 einenBe only partially shown in FIG A revolving plate 63 has a bulge shape

einen Ringbund 62 einer Baueinheit 67 übergreifenden Ring 61 auf, so daß die Baueinheit 67 innerhalb des durch den Ring 61 definierten Raumes weitgehend frei bewegbar ist. Um ein unerwünschtes loses Bewegen der nicht in Arbeitsposition befindlichen Baueinheiten 67 zu s verhindern, ist in den Revolverteller 63 ein Permanentmagnet 64 eingelassen, der einen in einen Ring 68 der Baueinheit 67 eingesetzten Permanentmagnet 65 anzieht.an annular collar 62 of a structural unit 67 overlapping ring 61 , so that the structural unit 67 is largely freely movable within the space defined by the ring 61. In order to prevent undesired loose movement of the structural units 67 which are not in the working position, a permanent magnet 64 is embedded in the turret plate 63, which magnet attracts a permanent magnet 65 inserted in a ring 68 of the structural unit 67.

Eine Halterung 73 ist in nicht dargestellter Weise an u> dem Gehäuse befestigt. Sie ist ebenfalls ringförmig ausgebildet und mit einem eingesetzten Elektromagneten 66 verschen. Auf der dem Revolverteller 63 zugewandten Seite ist die Halterung 73 mit einer prü/ise hergestellten Bezugsfläche 74 versehen, die die Gestalt is eines Hohlkegelstumpfmantels aufweist. Der Ring 68, der in seiner zentralen Aussparung eine Scheibe 69 trägt, die den Scheiben 9 bzw. 29 bzw. 49 entspricht, ist auf der der Halterung 73 zugewandten Seite mit einer Anlagefläche 70 versehen, die als Kcgelstunipfmantelfläche ausgebildet ist und den gleichen Kegelwinkel aufweist wie die Bezugsfläche 74. Die Scheibe 69 ist bei der Herstellung der Baueinheit 67 so eingesetzt worden, daß die Achse der Anlagefläche 70 auf der Ebene der Scheibe 69 senkrecht steht und die Scheibe 69 einen definierten Abstand von der Kegelspitze der Anlagefläche 70 einnimmt.A holder 73 is attached to the housing in a manner not shown. It is also designed in the shape of a ring and is given away with an inserted electromagnet 66. On the side facing the turret plate 63, the holder 73 is provided with a test-made reference surface 74 which has the shape of a hollow truncated cone jacket. The ring 68, which has a disk 69 in its central recess, which corresponds to the disks 9 or 29 or 49, is provided on the side facing the holder 73 with a contact surface 70 which is designed as a Kcgelstunipf jacket surface and has the same cone angle like the reference surface 74. The disk 69 was used in the manufacture of the structural unit 67 in such a way that the axis of the contact surface 70 is perpendicular to the plane of the disk 69 and the disk 69 is at a defined distance from the apex of the contact surface 70.

Das Heranführen der Baueinheit 67 an die Halterung 73 bzw. das Wegführen der Baueinheit von der Halterung geschieht mittels des Elektromagneten 66 und der Permanentmagnete 64 und 65 in bereits beschriebener Weise. Von Vorteil ist bei dieser Ausführungsform, daß die Kegelstumpfmantelflächen 70 bzw. 74 eine exakte dreidimensionale Positionierung der Scheibe 69 ermöglichen. Die Kegelflächen dienen sowohl als Anlage- bzw. Bezugsfläche ais auch als Führung, die eine koaxiale Fixierung des Ringes 68 relativ zu der Halterung 73 ergibt, weshalb sich diese Ausführung besonders zum Positionieren von optischen Systemen mit ausgeprägter Achse, beispielsweise von Wechselobjektiven, eignet.The assembly 67 is brought up to the holder 73 or the assembly is moved away from the holder by means of the electromagnet 66 and the permanent magnets 64 and 65 in the manner already described. The advantage of this embodiment is that the truncated conical surfaces 70 and 74 enable an exact three-dimensional positioning of the disk 69. The conical surfaces serve both as a contact or reference surface as a guide, which results in a coaxial fixation of the ring 68 relative to the holder 73, which is why this embodiment is particularly suitable for positioning optical systems with a pronounced axis, for example interchangeable lenses.

In Fig. 5 ist eine Ausführungsform in einem schematisierten, teilweise dargestellten Schnitt gezeigt, bei der drei Referenzebenen zusammenfallen. Auf einem Revolverteller 83 sind an einer Seite auf einem Teilkreis verteilt mehrere Baueinheiten 87 angebracht. Jede Baueinheit 87 umfaßt eir.en Ring 88, dessen zentrale Ausparung konisch verläuft, wobei in der Aussparung eine Strahlenteilerfolie 89 befestigt ist. Der Ring 88 weist eine plangeschliffene, stirnseitige Auflagefläche 90 auf, in deren Ebene die Strahlenteilerfolie 89 liegt Der Abstand zwischen der Strahlenteilerfolie 89 und der Ebene der Auflagefläche ist also, im Gegensatz zu den Ausführungen gemäß den F i g. 1 bis 4, durch die Herstellung auf den Wert Null gebracht. Dadurch ist eine exakte Herstellung sehr vereinfacht. In FIG. 5, an embodiment is shown in a schematic, partially illustrated section, in which three reference planes coincide. A plurality of structural units 87 are attached to one side of a turret plate 83, distributed on a pitch circle. Each structural unit 87 comprises a ring 88, the central recess of which runs conically, a beam splitter foil 89 being fastened in the recess. The ring 88 has a flat, end-face bearing surface 90, in the plane of which the beam splitter foil 89 lies. 1 to 4, brought to the value zero by manufacturing. This greatly simplifies an exact production.

Im Bereich der BaueinheitiMi 87 ist der Revolverteller 83 mit Aussparungen 91 versehen. In the area of the iMi 87 unit, the turret plate 83 is provided with recesses 91.

An dem Revolverteller 83 sind für jede Baueinheit 87 drei Paßstifte 92 zueinander parallel eingesetzt, denen Paßbohrungen zugeordnet sind, die in den Ring 88 eingearbeitet sind. Dabei ist die Passung so gewählt, daß der Ring 88 in Achsrichtung der Paßstifte 92 leicht, jedoch nahezu spielfrei, bewegbar ist. Die Achse der Paßstifte 92 ist senkrecht zu der Auflagefläche 90 ausgerichtet. In dem Bereich /wischen dem Ring 88 und dem Revolverteller 83 sind die Paßstifte 92 von kleinen Druckfedern 95 umgeben, die auf die Baueinheit 87 eine von dem Revolverteller 83 weggerichtete Kraft ausüben.On the turret plate 83 three dowel pins 92 are used parallel to each other for each structural unit 87, which Fitting bores are assigned, which are machined into the ring 88. The fit is chosen so that the ring 88 is easy to move in the axial direction of the dowel pins 92, but with almost no play. The axis of the Dowel pins 92 are aligned perpendicular to the support surface 90. In the area / wipe the ring 88 and the turret plate 83, the dowel pins 92 are surrounded by small compression springs 95, which on the assembly 87 a exert force directed away from the turret plate 83.

In geringem Abstand zu einer der Baueinheiten 87 ist an dem nicht dargestellten Gehäuse eine Halterung 93 fest angebracht. Diese Halterung 93 weist eine auf der der Baueinheit 87 zugewandten Seite vorgesehene plan geschliffene Bezugsfläche 94 auf. Die Achsen der Paßstifte 92 sind zu der Bezugsfläche 94 senkrecht ausgerichtet. Die Paßstifte 92 sind somit achsparallel zu einer Strahlachse 98, die zur Bezugsfläche 94 senkrecht ausgerichtet ist.At a short distance from one of the structural units 87 is a holder 93 is fixedly attached to the housing (not shown). This holder 93 has one on the the assembly 87 facing side provided flat ground reference surface 94 on. The axes of the Dowel pins 92 are aligned perpendicular to the reference surface 94. The dowel pins 92 are thus axially parallel to a beam axis 98 which is oriented perpendicular to the reference surface 94.

In die der Halterung 93 zugewandte Stirnfläche des Ringes 88 ist eine Kreisringnut 101 eingearbeitet, die zur Ringachse hin durch einen Haltering 102 begrenzt ist. Der Haltering 102 weist auf der der Kreisringnut 101 zugewandten Seite eine bogenförmige Rundung 103 auf; der Haltering 102 erstreckt sich axial bis zur Ebene der Auflagefläche 90, mit der er gemeinsam geschliffen ist.In the end face of the ring 88 facing the holder 93, a circular ring groove 101 is incorporated, which is delimited towards the ring axis by a holding ring 102 . The retaining ring 102 has an arcuate rounding 103 on the side facing the annular groove 101; the retaining ring 102 extends axially up to the plane of the support surface 90 with which it is jointly ground.

An dieser geschliffenen Stirnseite des Halteringes 102 liegt die Strahlenteilerfolie 89 unter Vorspannung an. Zu diesem Zweck ist die Strahlenteilerfolie 89 zwischen zwei Spannringe 104 geklemmt, die durch mehrere, in den Ring 88 im Bereich der Kreisnngnut 101 vorgesehene Halteschrauben 105 in der Kreisringnul 101 gehalten werden. Um eine elastische Halterung zi erzielen ist zwischen die Spannringe 104 und den Kopl der Halteschraube 105 je eine Schraubendruckfeder 106 eingesetzt. Durch diese Halterung ist erreicht, daß die Strahlenteilerfolie 89 sich bei an der Halterung 95 anliegender Baueinheit 87 stets in der Ebene dei Bezugsfläche 94 befindet.The beam splitter film 89 rests on this ground end face of the retaining ring 102 under prestress. For this purpose, the beam splitter film 89 is clamped between two clamping rings 104, which are held by a plurality of, in the ring 88 in the region of the Kreisnngnut 101 provided for retaining screws 105 in the Kreisringnul one hundred and first In order to achieve elastic retention zi, a helical compression spring 106 is inserted between the clamping rings 104 and the head of the retaining screw 105. This holder ensures that the beam splitter film 89 is always located in the plane of the reference surface 94 when the structural unit 87 rests against the holder 95.

Soll die der Halterung 93 zugewandte Oberfläche dei Strahlenteilerfolie 89 in der Ebene der Bezugsfläche 94 liegen, so wird dis Stirnseite des Halteringes 102 in dei gleichen Bearbeitungseinspannung, in der die Auflage fläche 90 hergestellt wurde, um die Dicke dei Strahlenteilerfolie 89 zurückgeschliffen. If the of the bracket 93 facing surface are dei beam splitter film 89 in the plane of the reference surface 94, as is dis end face of the retaining ring 102 in dei same Bearbeitungseinspannung, in which the support was prepared surface 90 by the thickness dei beam splitter film 89 back ground.

Der Wechsel der verschiedenen auf dem Revolvertel ler 83 vorgesehenen Baueinheiten 87 erfolgt analog zi den bereits beschriebenen Ausführungsformen durcl Permanent- und Elektromagnete, wobei mindesten einer der Permanentmagnete durch die Druckfedern 9! ersetzt ist.The change of the various units 87 provided on the Revolvertel ler 83 is carried out analogously to zi the embodiments already described by permanent magnets and electromagnets, with at least one of the permanent magnets through the compression springs 9! is replaced.

Hierzu 5 Blatt ZeichnungenIn addition 5 sheets of drawings

Claims

Patent claims:

1. Device with a turret holder for replacing structural units, such as optical, in Structural units arranged in a beam path, which alternate in a precisely defined working position to be brought or removed from it, in particular for changing beam splitters in Interferometers, with a revolver plate that carries the individual structural units and the one around his Axis is rotatable. And which has a fixed Opposite counter-bracket, characterized in that that each of the optical assemblies (7 or 27 or 47 or 67) at its «5 Gegenhaiterung (13 or 33 or 53 or 73) facing surface with a relation to it optical element (9 or 29 or 49 or 69 or ■ 9) aligned, defined contact surface (10 or 30 or 50 or 70) is provided that the μ Gegenhaiterung with a with respect to the Beam path aligned, defined reference surface (14 or 34 or 54 or 74) for the optical Assemblies is provided, and that the optical assemblies with a component in the direction of The axis of rotation of the turret plate (3 or 23 or 43 or 63) can be moved relative to the counter holder and can be brought into contact with their contact surface on the reference surface.

2. Device according to claim 1, characterized in that that the perpendicular to the drawing surface (14 or 34 or 54 or 74) makes an acute angle to the The axis of rotation of the turret plate (3 or 23 or 43 or 63) assumes.

3. Device according to claim 2, characterized in that that the revolver plate (3 or 23 or 43 or 63) at least in the area in which it is the Reference surface (14 or 34 or 54 or 74) faces one to the reference surface plane has approximately parallel surface area.

4. Device according to one of claims 1 to 3, characterized in that the Baueinhei'en (7 or 27 or 67) are attached to the turret plate (3 or 23 or 63) so that they can move to a limited extent.

5. Device according to one of claims 1 to 3, characterized in that the turret plate (43) is displaceable in the direction of its axis of rotation.

6. Apparatus according to claim 4 or 5, characterized in that the counter-holder (13 or 33 or 53 or 73) opposite structural unit (7 or 27 or 47 or 67) relative to the Level of the reference surface (14 or 34 or 54 or 74) by means of guide means (12 or 31 or 42 or 70, 74) is guided movable.

7. Apparatus according to claim 6, characterized in that the guide means (12 or 31) on the Turret plate (3 or 23) and the structural unit (7 or 27) are provided.

8. Apparatus according to claim 6, characterized in that the guide means (70 and 74) on the Gegenhaiterung (73) and the structural unit (67) are provided.

9. Apparatus according to claim 6 or 8, characterized in that the contact surface (70) and the Reference surface (74) serve as a guide means and are designed as conical surfaces.

10. Device according to one of the preceding claims, characterized in that the distance the optics to the plant area in all structural units attached to a turret plate is equal to.

11. Device according to one of the preceding Claims, characterized in that a reference plane of the optics with the .Ebene of Contact surface coincides

12. The device according to claim 11, characterized characterized in that a film (89) is used as optics, which is attached to a retaining ring (102) is tensioned, one end face of which lies in the plane of the contact surface (90) and in particular together is processed with her.

13. Device according to one of the preceding claims, characterized in that for Holding the unit (7 or 47) in the working position a permanent magnet (15 or 55) is provided and is preferably attached to the counter holder (13 or 53).

14. Device according to one of claims 4 to

13, characterized in that for fixing the structural units (7 or 27 or 67) in contact with the Turret plate permanent magnets (17 or 37 or 64) are provided.

15. Device according to one of claims 4 to

14, characterized in that for generating the movement of the reference surface (14 or 34 or 54 or 74) opposite structural unit (7 or 27 or 47 or 67) perpendicular to the reference surface Electromagnet (16 or 36 or 60 or 66) provided and preferably on the counter bracket is appropriate.

16. Device according to one of claims 5 to

15, characterized in that for moving the turret plate (43) in the direction of its axis of rotation an electromagnet (60) is provided.

17. Device according to one of the preceding claims, characterized in that for remote-controlled pivoting of the turret plate (3 or 23 or 43) a motor drive and a Latch, in particular a stepping motor (6 or 26 or 46) is provided.