DE2309371A1

DE2309371A1 - PROCEDURES AND TEST DEVICES FOR TESTING VOLTAGE SIZE ELECTRICAL TEST OBJECTS

Info

Publication number: DE2309371A1
Application number: DE19732309371
Authority: DE
Inventors: Franz Dipl Ing Drescher
Original assignee: STEREMAT VEB
Current assignee: STEREMAT VEB
Priority date: 1972-03-01
Filing date: 1973-02-24
Publication date: 1973-09-27
Also published as: DD100564A1

Description

Verfahren und Prüfeinrichtungen zur Prüfung von Spannungsgrößen elektrischer Prurobjekte. Processes and test equipment for testing voltage values of electrical Test objects.

Die Erfindung betrifft Verfahren und Prüfeinrichtungen zur Prüfung von Spannungsgrößen für unter Betriebs- und/ oder Prüfbedingungen stehende elektrische Prüfobjekte, vorzugsweise Kartenbausteine und Schaltkreise, wobei die Prüfung nach einem vorgegebenen Prüfprograan schrittweise erfolgt.The invention relates to methods and test devices for testing of voltage values for electrical ones under operating and / or test conditions Test objects, preferably card modules and circuits, the test according to a given test program is carried out step by step.

Im elektronischen Gerätebau werden heute weitestgehend Kartenbausteine und Schaltkreise mit einem sehr hohen Integrationsgrad von Funktionen verwendet. Mit der Entwicklung vorteilhafter Herstellungstechnologien f(ir solche Baugruppen macht sich aber auch in zunehmendem Maße die Entwicklung einer ebenso vorteilhaften Prüftechnologie und der hierfür benötigten Prüfgeräte erfordelich.In electronic device construction, card modules are largely used today and circuits with a very high degree of integration of functions are used. With the development of advantageous manufacturing technologies for such assemblies but is also increasingly making the development of an equally advantageous one Test technology and the test devices required for this are required.

Es ist bereits bekannt, für die Prüfung und Fehlerortung von Kartenbausteinen, Schaltkreisen und Verdrahtungseinheiten, Prüfautomaten einzusetzen. Hierbei ist es üblich, des Prüfautomaten ein bestimmtes Prüfprogramm vorzugeben, das dann schrittweise abläuft. Bei Jeden Prüfschritt aird eine bestimmte Funktion, eine Leiterbahn, ein Zustand usw. überprüft, indem die Daten aller adaptierten Infiormationsein-und ausgänge des jeweiligen Prüfobjektes in einem Informationsspeicher erfaßt werden. Stimmt bei eines Prüfschrit das entsprechend dem Eingangssignal zu erwartende @usgangssignal nicht mit dem tatsächlich erhaltenen Ausgangssignal überein, so wird der weitere Ablauf des Prüfprogramms gestoppt und der Fehler signalisiert. Mit Hilfe verschiebdener bekannter Fehlerortungsmittel (z.B.It is already known for the testing and fault location of card modules, Circuits and wiring units to use test machines. Here is It is customary to specify a specific test program for the test machine, which is then carried out step by step expires. A certain function, a conductor path, is activated for each test step State, etc. checked by the data of all adapted information input and outputs of the respective test object are recorded in an information memory. Is correct in the case of a test step, the output signal to be expected according to the input signal does not match the output signal actually received, the further The test program is stopped and the error is signaled. With the help of shifters known fault location means (e.g.

Fehlerbäume) und der bereits abgelaufenen Prüfschritte muß dann gegebenenfalls anhand eines Analyseprogramms der genaue Fehlerort ausfindig gemacht werden.Error trees) and the test steps that have already been completed must then, if necessary the exact location of the fault can be found using an analysis program.

Der wesentlichste Nachteil derartiger Prüfmethoden resultiert aus dem sehr intensiven, aber wenig effektiven Verkehr des Menschen mit dem Prüfautomaten, da denen Informationsausgabesysteme an die menschlichen Sinnesorgane (Informationseingabesasteme) schlecht angepaßt sind.The main disadvantage of such test methods results from the very intensive but ineffective human interaction with the testing machine, since they have information output systems to the human sensory organs (information input systems) are poorly adapted.

Im krassen Gegensatz zur seriellen, digitalen und schnellen Arbeitsweise der Prüfautomaten steht die analoge, parallele und langsame Informationsverarbeitung des Menschen. Deshalb erden gegenwärtig beim konplizierten Verkehr zwischen Mensch und Prüfautomat viele teuer erkaufte Vorteile des Prüfautomaten nicht voll wirksam. Bin weiterel wesentlicher Nachteil dieser Prüfmethode besteht noch in dem relativ geringen Umfang und Inhalt der vom Prüfautomaten ausgegebenen Informationen. Es erfolgt zwar eine sehr schnelle serielle Einzelinformation zu jede; Schritt des Prüfprogramms, also fehlerfrei oder fehleihaft, aber bei Vorliegen eines Fehlers bleibt es dann sehr oft wieder dem Menschen überlassen, den Fehler genau zu orten und seine Ursache festzustellen. Hieraus resultieren umfangreiche Fehlerortungszeiten. wobei mit steigender Integrantion der Prüfobjekte, also hohe Funktionsdichte bei nur geringer Anzhl von Anschlüssen, ein wesentliches Ansteigen der Fehlerortungszeiten in Kauf genommen werden auß.In stark contrast to serial, digital and fast working methods the test automat stands the analog, parallel and slow information processing of the human. That is why we are currently grounding in the implied intercourse between people and test machine many of the expensive advantages of the test machine are not fully effective. Another major disadvantage of this test method is that it is relative small scope and content of the information output by the testing machine. It there is indeed a very fast serial individual information for each; Step of the Test program, i.e. error-free or incorrect, but if an error is present It is then very often up to the human being to locate the fault precisely and determine its cause. This results in extensive fault location times. with increasing integration of the test objects, i.e. high functional density only a small number of connections, a significant increase in fault location times be accepted.

Zur teilweisen Behebung di@ser Mängel bei der Prüfung von integrierten Schaltkroisen ist ein Verfahren bekannt geworden, daß auf Eloktrowenstrahlabtastung besiert. Dieses bekannte Verfahren ist daduroh gekeanzeichnet, daß der zu prüfenden Schnltung eine plusierende Spannung zugeführt wird, daß ein Eloktronenstrahl mit einer Energie, die ausreicht, eine vorbestimmte Menge von Sekundärmissionselektroden zu erzeugen, auf vorbestimmte Stellen der Schaltung gerichtet wird und dann Änderungen der Rate oder Häufigkeit, @it der Sekundärelektronen aus der Schaltung utraten als Anzeichen für die Arbeitsweise der Schaltung festgestellt werden. To partially remedy these deficiencies when testing integrated Circuitry, a method has become known that based on electric beam scanning besieged. This known method is marked because the one to be tested Connection a plusizing voltage is supplied that an electron beam with of energy sufficient, a predetermined amount of secondary emission electrodes to generate, is directed to predetermined locations in the circuit and then changes the rate or frequency @it of the secondary electrons from the circuit are used as Signs of the operation of the circuit are found.

Typisch dafür ist also - daß das Verfahren zur Untersuchung zeitlich sich ändernder Spannungen dient, - daß die Hberwachung der Schaltung durch Richtungsänderung der Sekundörelektronen bzw. deren Verteilung zwischen zwei Detektoren und die davon abhängige Elektrononstrahlablenkung erfolgt. So typical of this is - that the procedure for the investigation is temporal changing voltages is used, - that the monitoring of the circuit by changing direction the secondary electrons or their distribution between two detectors and those of them dependent electron beam deflection takes place.

Aus diesen Funktionsprinzipien resultieren folgende flachteile: - keine Erfassung statischer Potentiale möglich - Vergleiche zwischen Präfobjekten und Referenamustern sind nicht bzw. nur sehr schlecht möglich.The following flat parts result from these functional principles: - no recording of static potentials possible - comparisons between prefabricated objects and reference patterns are not possible or only very poorly possible.

- störender Einflu des Primärstrahles, - in analogen Bereichen sind keine Anwendungen möglich, - eine indirekt@ Abtastung von Prüfobjekten außerhalb des Vakuumgefäßes ist nicht mölich, - die Erfassung der gesamten Prüfobjektoberfläche ist sehr kompliziert, - das Verfahren ist für die Prüfung und Fehlerlokalisierung von Karteneinschüben nicht geeignet.- disturbing influence of the primary beam, - are in analog areas no applications possible, - indirect @ scanning of test objects outside of the vacuum vessel is not possible, - the detection of the entire test object surface is very complicated - the procedure is for testing and fault location not suitable for card slots.

@it der Erfindung wird bezweckt, effektivere Prüfungen von elektrischen Prüfobjekten zu ermöglichen.The aim of the invention is to provide more effective testing of electrical To enable test objects.

@ufgabe der Erfindung ist es, Präfverfahren und Prüfeinrichtungen zu schaffen, die einen wesentlich größeren Informationsumfang über den Zustand der Prüfobjekte liefern und eine leichtere und schnellere Auswertung das erhaltenen Informationsumfanges durch den Menschen gestatten.The task of the invention is to provide prefabrication and testing equipment to create a much larger amount of information about the state of the Deliver test objects and an easier and faster evaluation of the obtained Allow people to provide a large amount of information.

Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe dadurch gelöst, daß das elektrische Potentialbild eines Prüfobjektes je Prüfschritt seines Prüfprogramms it einen Elektronenstrahl zeilenweise abgetastet wird, daß dabei den elektrischen Potentialen der einzelnen Rasterpunkte proportionale elektrische Signale erzeugt und entsprechend ihrer geometrischen Lage sichtbar gemacht werden und ein optisches Potentialbild des dem jeweiligen Prüfschritt zugehörigen elektrischen Potentialbildes der Leitungselemente des gesamten oder eines bestimmten Teiles des Prüfobjektes wiedergegeben wird und /oder die elektrisohen Signale automatisch ausgewertet werden.According to the invention this object is achieved in that the electrical Potential image of a test object per test step of its test program with an electron beam is scanned line by line that the electrical potentials of the individual Grid points generated proportional electrical signals and according to their geometric Location can be made visible and an optical potential image of the respective Test step associated electrical potential image of the line elements of the entire or a certain part of the test object is reproduced and / or the electrical Signals are evaluated automatically.

Ein weiteres Verfahren zur Lösung der der Erfindung zugrundeligenden Aufgabe ist d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, daß eine das elektrische Potentialbild des Prüfobjektes nicht oder nur vernachlässigbar gering beeinträohtigende jedoch unter Einwirkung einer elektrischen Spannung seine lichttechnischen Eigenschaften ändernde Substanz gleichmäßig in einen engen Kontakt mit der Leiterfläche des Prüfobjektes gebracht wird, daß diese Substanz unter die Einwirkung des auf der Leiterfläche des Prtlilings entsprechend dem Prüfschritt seines vorgegebenen Prüfprogramms vorhandenen elektrischen Potentialbildes gebracht und dieses unmittelbar oder durch Bestrahlung der Substanz mit homogenem licht sichtbar wird.Another method for solving the underlying of the invention The task is to show that one is the electrical one Potential image of the test object not or only negligibly slightly impaired however, under the action of an electrical voltage, its photometric properties changing substance evenly in close contact with the conductor surface of the test object is brought that this substance under the action of the on the conductor surface of the test according to the test step of his specified test program brought electrical potential image and this directly or by irradiation the substance becomes visible with homogeneous light.

In weiterer Ausbildung dieser Verfahren ist vorgesehen, daß das elektrische Potentialbild des Prüfobjektes auf einen Zwischenträger gebracht wird, der nun selbst Präf objekt der Spannungsprüfung wird. Es ist dann noch vorgesehen, daß bei jedem Prüfschritt das elektrische Potentialbild des Prüfobjektes oder seines Zwischenträgers mit dem simultan erzeugten elektrischen Potentialbild eines Referenzmusters verglichen und das daraus resultierende Differenzpotentialbild visuell dargestellt wird, wobei in Fortführung dieses Gedankens noch die Möglichkeit besteht, daß das Referenzmuster je Prüfschritt durch ein eingespeichertes Potentialbild ersetzt wird und daß der Vergleich des Potentialbildes des jeweiligen Prüfobjektes oder seines Zwischenträgers mit dem eingespeicherten Potentialbild des Referenzmusters erfolgt und das daraus resultierende Differenzpotentialbild dargestellt wird. Darüber hinaus gestatten die erfindungsgemäßen Ve fahren auch noch, daß in das Potentialbild bzw. Differenzpotentialbild mit optischen oder elektrischen Mitteln zusätzliche Informationen oder Kennmarken eingeblendet werden, die zur besseren Erkennung in mehreren Farben erscheinen können.In a further development of this method it is provided that the electrical The potential image of the test object is placed on an intermediate carrier, which is now itself Pref the object of the voltage test. It is then still provided that in each test step the electrical potential image of the test object or his Intermediate carrier with the simultaneously generated electrical potential image of a reference pattern compared and the resulting difference potential image visually displayed becomes, whereby in continuation of this thought there is still the possibility that the Reference sample is replaced by a stored potential image for each test step and that the comparison of the potential image of the respective test object or his Intermediate carrier with the stored potential image of the reference pattern takes place and the resulting difference potential image is displayed. Furthermore allow the Ve according to the invention also drive that in the potential image or Differential potential image with optical or electrical means additional information or identification marks are displayed in several colors for better recognition can appear.

Eine Prüfeinrichtung zur Durchführung des erstgenannten Verfahrens ist dadurch gekennzeichnet, daß ein Elektronenstrahlabtaster vorgesehen ist, der im wesentlichen aus einem für die Zu- und Abführung des Prüfobjektes ausgebildeten mit Vakuumerzeuger versehenen Vakuumgefäß, eine.A test facility for carrying out the first-mentioned procedure is characterized in that an electron beam scanner is provided which essentially from one designed for the supply and removal of the test object vacuum vessel provided with a vacuum generator, a.

senkrecht über dem Prüfobjekt befindlichen Elektronenstrahlsystem mit zugeordneten Ablenkeinheiten und einem, von Elektronenstrahlsystem betrachtet, vor dem Prüfobjekt planparallel angeordneten Signalgitter besteht , dem an sich bekannte Nittel der Fernsehtechnik zur Wiedergabe eines Bildes zugeordnet sind und daß dem Elektronenstrahlabtaster ein auf das Prüfobjekt einwirkender Prüfprogrammgeber zugeordnet ist.electron beam system located vertically above the test object with assigned deflection units and one, viewed from the electron beam system, in front of the test object there is a signal grid arranged plane-parallel, the per se known Nittel of television technology for reproducing an image are assigned and that the electron beam scanner has a test programmer acting on the test object assigned.

Eine weitere Prüfeinrichtung zu diesem Verfahren ist so ausgebildet, daß ein Elektronenstrahlabtaster vorgesehen ist, der im wesentlichen aus einem evakuierten Vakuumgefäß mit Elektronenstrahlsystem und zugeordneten Ablenkeinheiten besteht, in dessen dem Elek ronenstrahlsvstem senkrecht gegenüberliegender Gefäßwand ein Zwischentröger durch den Elektronenstrahl Sbtastbar angeordnet Ist, daß die außerhalb des Vakuumgefäßes liegende Anschlußseite des Zwischenträgers sich in direktem Kontakt mit den Leitungselementen des Piüfobjektes befindet, daß vor der Abtastseite des Zwischenträgers ein Signalgitter planparallel angeordnet ist, dem an sich bekannte Aittel der Fernsehtechnik zur Wiedergabe eines Fernsehbildes nachgeschaltet sind und daß dem Elektronenstrahlabtaster ein auf das Prüfobjekt einwirkender Prüfprogrammgeber zugeordnet ist.A further test facility for this method is designed in such a way that that an electron beam scanner is provided, which consists essentially of an evacuated Vacuum vessel with electron beam system and associated deflection units consists, in the vessel wall which is perpendicular to the electron beam system Intermediate carrier is arranged that the outside can be scanned by the electron beam the connection side of the intermediate carrier, which is located on the vacuum vessel, is in direct contact with the line elements of the Piüfobjekt is that in front of the scanning side of the Intermediate carrier a signal grid is arranged plane-parallel to the known per se Aittel of television technology for reproducing a television picture are connected downstream and that the electron beam scanner has a test programmer acting on the test object assigned.

Zur Durchführung des zweiten Verfahrens sind ebenfalls zwei Prüfeinrichtungen ausgebildet worden, von denen die eine so aufgebaut ist, daß ein Potentialbildwandler vorgesehen ist, der im wesentlichen aus einem geschlossenen Gefäß besteht, daß mindestens eine lichtdurchlässige Beobachtungsfläche aufweist, an deren Innenseite sich ein lichtdurchlässiges elektrisches Gitter befindet, daß in der der Beobachtungsfläche gegenüberliegenden Gefäßwand der Zwischenträger planparallel und in sehr geringem Abstand vom lichtdurchlässigen elektrischen Gitter in das Gefäß hineinragend angeordnet und der gesamte Innenraum des Gefäßes mit einer aus nematischen Flüssigkeitskristallen bestehenden Substanz gefüllt ist , daß die außerhalb des Gefäßes liegende Anschlußseite des Zwischenträgers sich in direktem Kontakt mit den Leitungselementen des mit dem Prüfprogrammgeber verbundenen Prüfobjektes befindet und daß außerhalb des Gefäßes eine auf die Beobachtungsfläche strahlende homogene Lichtquelle angeordnet ist.There are also two test facilities to carry out the second procedure one of which is constructed to be a potential imager is provided, which consists essentially of a closed vessel that at least has a translucent observation surface, on the inside of which is a translucent electrical grid that is located in the observation area opposite vessel wall of the intermediate carrier plane-parallel and very slightly Arranged at a distance from the translucent electrical grid protruding into the vessel and the entire interior of the vessel with one made of nematic liquid crystals existing substance is filled that the connection side lying outside the vessel of the intermediate carrier is in direct contact with the line elements of the with the Test programmer connected test object is located and that outside of the vessel a homogeneous light source radiating onto the observation surface is arranged.

Die andere Prüfeinrichtung zur Durchführung des zveiten Verfahrens sieht vot, daß auf einer Anzeigefläche eine Vielzahl von Leuchtpunkten elektrische voneinander isolieit in einem bestimmten Rastermaß angeordnet und über einen Zwischenträger direkt mit den Leitungselementen des mit dem Prüfprogrammgeber korrespondierenden Prüfobjekts verbunden sind und daß alle Leuchtpunkte einen gemeinsamen elektrischen Anschluß haben.The other testing facility to perform the second procedure Vot sees that a large number of luminous points are electrical on a display surface isolieit from each other arranged in a certain grid dimension and via an intermediate carrier directly with the line elements of the corresponding with the test programmer Test object are connected and that all light points have a common electrical Have connection.

In weiterer Ausbildung der3 letztgenannten Prüfeinrichtungen sind für den Zwischenträger verschiedene Ausführungsvarianten vorgesehen. Die erste Variante ist dadurch charakterisiert, daß ein in einem bestimmten Raste:'.The 3 last-mentioned test facilities are in further training Various design variants are provided for the intermediate carrier. The first variant is characterized by the fact that a in a certain notch: '.

maß ausgebildetes aus vielen isolierten Anschlußleitungen bestehendes Leitungabündel als Zwischenträger vorgesehen ist, dessen vom Prüfobjekt abgewandtemechanisch verfestigte Seite als ebene Fläche ausgebildet ist und dessen dem Prüfobjekt zugewandte Seite je Anschlußleitung ein an sich bekanntes Kontaktelement aufweist, während die zweite Variante ausweist, daß der Zwischentrager aus einer Platte aus Isolationsmaterial mit in einem bestimmten Rastermaß angeorneten Löchern besteht, wobei in den löchern Kontaktelemente fest angeordnet sind, die auf der dem Prüfobjekt zugewandten Seite federnd ausgebildet sind. Diese Varianten können noch dadurch weitergebildet werden, daß an jedes Kontaktelement des Zwischentragers ein Komparator angeschlossen ist, der sowohl mit dem entsprechenden Rasterpunkt des Prüfobjektes als auch mit dem entsprechenden Rasterpunkt der Referenzmuster verbunden ist. Eine andere Form der Weiterbildung des Zwischenträgers in allen Varianten besteht noch darin, daß der Zwischenträger auf der dem Elektronenstrahlsystem zugewandten Seite eine in Zeilenrichtung des Elektronenstrahls verlaufende Leiterbahn aufweist, die an eine Normalspannungsquelle angeschlossen ist.measure formed consisting of many isolated connecting lines Cable bundle is provided as an intermediate carrier, its mechanically turned away from the test object solidified side is designed as a flat surface and its facing the test object Side per connection line has a known contact element, while the second variant shows that the intermediate support consists of a plate made of insulating material with holes arranged in a certain grid dimension, with the holes Contact elements are fixedly arranged on the side facing the test object are resilient. These variants can be further developed by that a comparator is connected to each contact element of the intermediate carrier, the both with the corresponding grid point of the test object and with the corresponding grid point of the reference pattern is connected. Another form of Further development of the intermediate carrier in all variants is that the Intermediate carrier on the side facing the electron beam system one in the row direction of the electron beam running conductor track, which is connected to a normal voltage source connected.

Die Prüfeinrichtungen zur Durchführung des erstgenannten Verfahrens können ebenfalls noch vorteilhafte'Ausbildungen dadurch erfahren, daß ein weiterer, das mit dem Prüfprogrammgeber elektrisch verbundene Referensmuster aufnehmender Elektronenstrahlabtaster vorhanden ist und daß die Signalgitter beider Elektronenstrahlabtaster mit einem Komparator verbunden sind, an dessen Ausgang sich die an sich bekannten Mittel der Fernsehtechnik zur Wiedergabe eines Bildes befinden oder als weitere Variante auch dadurch, daß dem Signalgitter des Elektronenstrahlabtasters ein Uschalter zugeordnet ist, an dessen einem Ausgang der Komparator und an dessen anderem Ausgang der Bildeingang eines Referenzbildspeichers, dessen Bildausgang ebenfalls mit dem Komparator Verbindung hat, angeschlossen ist und daß der 8;vnchronisierausgang des Prüfprogrammgebers mit einem Synchronisiereingang des Bildspeichers eine elektrische Verbindung aufweist, oder in weiterer Ausgestaltung so, daß ein digitalgesteuerter Referenzbildgeber mit Bildspeicherröhre vorgesehen und mit dem Prüfprogrammgeber elektrisch verbunden ist und daß die Bildspeicherröhre und die das Potentialbild des Prüfobjektes wiedergebende Bildröhre einem optischen Komparator zugeordnet sind. Weiterhin können noch Vorteile dadurch erzielt werden, daß zwischen das Signalgitter des Elektronenstrahlabtasters und die bekannten Mittel der Fernsehtechnik ein Regelverstärker geschaltet ist.The test facilities for carrying out the first-mentioned procedure can also experience advantageous training by the fact that another, the reference pattern electrically connected to the test programmer Electron beam scanner is present and that the signal grids of both electron beam scanners are connected to a comparator, at the output of which are known per se Means of television technology for reproducing an image are located or as a further Variant also in that the signal grid of the electron beam scanner has a switch is assigned, at one output the comparator and on its other output is the image input of a reference image memory, its image output is also connected to the comparator and that the 8; synchronizing output of the test programmer with a synchronization input of the image memory an electrical Has connection, or in a further embodiment so that a digitally controlled Reference imager provided with image storage tube and with the test programmer is electrically connected and that the image storage tube and the potential image the picture tube reproducing the test object are assigned to an optical comparator. Furthermore, advantages can be achieved that between the signal grid the electron beam scanner and the known means of television technology a control amplifier is switched.

Die erstgenannte Prüfeinrichtung des zweitgenannten Verfahrens ist ebenfalls noch vorteilhaft weitergebildet dadurch, daß ein weiterer Potentialbildwandler vorgesehen und mit einem Referenzmuster verbunden ist, wobei das Referenzmuster ebenfalls an den Prüfprogrammgeber angeschlossen ist, daß die Beobachtungsflächen beider Potentialbildwandler in unterschiedlichem Farbton ausgebildet sind und ein an sich bekanntes Gerät zur Überlagerung der beiden Potentialbilder vorgesehen ist. Eine weitere vorteilhafte Ausbildungsmölichkeit besteht noch darin, daß außerhalb des Gefäßes ein mit der Beobachtungsflächtungsfläche korrespondierender Lichtpunktabtaster angeordnet ist, an dessen Ausgang an sich bekannte Mittel der Fernsehtechnik zui Wiedergabe eines Fernsehbildes angeschlossen sind und in Fortführung dessen, daß ein weiterer Potentialbildwandler vorgesehen und mit dem Referenzmuster verbunden ist, daß diesem Potentialbildwandler ebenfalls ein mit dessen Beobachtungsfläche korrespondierender Lichtpunktabtaster zugeordnet ist und daß die Videoausgänge der beiden Lichtpunktabtaster mit einem Komparator verbunden s sind, an dessen Ausgang die an sich bekannten Mittel der Fernsehtechnik zur Wiedergabe eines Fernsehbildes angeschlossen sind. Speziell für die Prüfung von digitalen Baugruppen und Schaltkreisen ist für die entsprechenden Prüfeinrichtungen noch vorgesehen, daß vor den Komparatoreingang für das Referenzsignal je ein Begrenzer für das L- bzw. O-Signal geschaltet ist.The first-mentioned test facility of the second-mentioned method is also further developed advantageously in that a further potential image converter is provided and connected to a reference pattern, the reference pattern is also connected to the test programmer that the observation areas Both potential image converters are designed in different hues and one A device known per se is provided for superimposing the two potential images. Another advantageous training option is that outside of the vessel a light point scanner corresponding to the observation area is arranged, at the output of which are known means of television technology zui Playback of a television picture are connected and in continuation of the fact that another potential imager is provided and connected to the reference pattern is that this potential imager is also one with its observation area corresponding light point scanner is assigned and that the video outputs of the two light point scanners are connected to a comparator, at its output the known means of television technology for reproducing a television picture are connected. Especially for testing digital assemblies and circuits is still provided for the corresponding test equipment, that in front of the comparator input for the reference signal there is a limiter for the L- or O signal is switched.

Es ist noch bekannt geworden, zur Prüfung von Basismaterialien für integriete Schaltkreise und Tranistoren Elektronenstrahlen zur Stoffanalvse einzusetzen. Dabei werden drei grundsätzlich verschiedene Anzeigemethoden verwandt, und zwar die Sekundäremission, das Rekombinationsleuchten und induzierte Stromänderungen in einer eigens hierfür vorzusehenden Meßschaltung.It is still known for testing base materials for Integrated circuits and transistors to use electron beams for substance analysis. There are three fundamentally different display methods used the secondary emission, the recombination glow and induced current changes in a measuring circuit to be provided especially for this purpose.

Diese drei Methoden sind jedoch nur für die analyasche Ermittlung der Oberflächenbeschaffenheit sowie der physikalischen Eigenschaften der Oberflächen von festen Stoffen geeignet, so daß aus dieser Offenbarung nicht auf die erfindungsgemäße lösung geschlossen werden kann.However, these three methods are only for analytical determination the surface properties and the physical properties of the surfaces suitable of solid substances, so that this disclosure does not refer to the inventive solution can be closed.

Die wesentlichsten Vorteile dei Erfindung sind darin zu erblicken, daß - die Potentiale bzw. Fehlerpotentiale auf allen Leiterzügen der Prüfobjekte, also ein sehr großer Informationsumfang, mit einem Blick zu erfassen ist, - auf Grund dieses großen Informationsumfanges über den Gesamtzustand der Prüfobjekte die Zeiten zur Fehlerlokalisierung stark reduziert werden können, - auf Grund dei umfangreichen, aber sehr einfachen Informationsverarbeitung durch den Prüfenden der Aufwand für Prüf- und Analvseprogramme wesentlich reduziert wird, - die einfache Informationsverarbeitung durch den Prüfenden und die günstige Anpassung der Informationsausgabe an den Prüfenden zu nur ge@ingen Oualifikationsanforderungen führt.The main advantages of the invention can be seen in that - the potentials or fault potentials on all conductor runs of the test objects, So a very large amount of information can be grasped at a glance - on Reason for this large amount of information about the overall condition of the test objects the times for error localization can be greatly reduced, - due to the extensive but very simple information processing by the examiner the effort for test and analysis programs is significantly reduced, - the simple one Information processing by the examiner and the favorable adaptation of the information output leads to only limited qualification requirements for the examiner.

- auf Grund der sehr universellen vergleichenden Informfationsvearbeitung einheitlicher Prüfautomaten bzw. große einheitliche Teile davon für unterschiedliche Prüfobjekte zu realisieren sind. - due to the very universal comparative information processing uniform testing machines or large uniform parts thereof for different Test objects are to be realized.

Die Erfindung soll anhand von Ausführungsbeispielen näher erläutert werden. Die einzelnen Figuren stellen dar: Fig. 1 Eine Prüfeinrichtung mittels direkter Potentialbild abtastung und Fernsehbildwiedergabe.The invention is to be explained in more detail on the basis of exemplary embodiments will. The individual figures show: Fig. 1 A test device by means of direct Potential image scanning and television image reproduction.

Fig. 2 Eine Prüfeinrichtung mittels indirekter Potentialbildabtastung über einen Zwischenträger.Fig. 2 A test device by means of indirect potential image scanning via an intermediate carrier.

Fig. 3 Zwischenträger mit unterschiedlichen Anschlußvarianten.Fig. 3 intermediate carrier with different connection variants.

Fig. 4 Zwischenträger mit federnden Kontakten.Fig. 4 intermediate carrier with resilient contacts.

Fig. 5 Schaltungsanordnung einer vergleichenden Prüfeinrichtung mittels gleichzeitiger direkter oder indirekter Potentialbildabtastung des P üfobjektes und eines Referenzmusters.5 circuit arrangement of a comparative test device by means of simultaneous direct or indirect potential image scanning of the test object and a reference pattern.

Fig. 6 Schal ungsanordnung einer vergleichenden Prüfeinrichtung mittels serieller Potentialbildabtastung von Prüfolbjekt und Refeenzmuster und Verwendung eines Referenzbildspeichers.Fig. 6 Schal ungsanordnung a comparative test device by means of serial potential image scanning of test object and reference pattern and use a reference image memory.

Fig. 7 Schaltungsanordnung einer vergleichenden Prüfeinrichtung mittels Potentialbildabtastung des Prüfobjektes und digitale- Erzeugugung des Referenz-Potentialbildes.7 circuit arrangement of a comparative test device by means of Potential image scanning of the test object and digital generation of the reference potential image.

Fig Schaltungsanordnung einer Prüfeinrichtung nach Fig. 5 mit Zusatzeinrichtungen.Fig. Circuit arrangement of a test device according to Fig. 5 with additional devices.

Fig. 9 Schaltungsanordnung für eine Prüfeinrichtung mittels eines opto-elektronisch passiven Potentialbildwandlers mit Zwischenträger.9 circuit arrangement for a test device by means of a opto-electronically passive potential imager with intermediate carrier.

Fig. 10 Schaltungsanordnung für eine Prüfeinrichtung mittels eines opto-elektronisch aktiven Potentialbildwandlers mit Zwischenträger.10 circuit arrangement for a test device by means of a opto-electronically active potential imager with intermediate carrier.

Fig. 11 Anordnung zur optischen Bildüberlagerung.11 arrangement for optical image superimposition.

Fig. 12 Prüfeinrichtung mittels opto-elektronisch passiver Potentialbildwandlung und anschließender Lichtpunktabtastung.Fig. 12 Test device by means of opto-electronically passive potential image conversion and subsequent light point scanning.

Fig. 1 zeigt eine Prüfeinrichtung, bei der das Potentialbild des Prüfobjektes Pr mit einem Elektronenstrahlabtaster Ea abgetastet und anschließend sichtbar gemacht wird.Fig. 1 shows a test device in which the potential image of the test object Pr scanned with an electron beam scanner Ea and then made visible will.

Da elektronische Abtastungen nur im Vakuum erfolgen können, muß das Prüfobjekt Pr durch Vakuumschleusen Vs in ein Vakuumgefäß Vg eingebracht und dort unter Betriebs- bzw.P<1fe bedingungen mit Hilfe eines Prüfprogrammgebers Pp gesetzt werden. Zur Erzeugung und Aufrechterhaltung des Vakuums ist an das Vakuumgefäß Vg ein Vakuumerzeuger Ve angeschlossen.Since electronic scans can only take place in a vacuum, it must Test object Pr is introduced into a vacuum vessel Vg through vacuum locks Vs and there set under operating or P <1fe conditions with the help of a test programmer Pp will. To generate and maintain the vacuum, the vacuum vessel Vg a vacuum generator Ve is connected.

Senkrecht über dem Prüfobjekt Pr beindet sich ein Elektronenstrahls stem El, dessen Elektronestrahl mit Hilfe der Ablenkeinheiten Ab die gesante Fläche des Prüfobjektes Pr abtastet. Planparallel Zum Prüfobjekt Pr ist ein Signalgitter Gi angeordnet. Die Strahlgeschwiudigkeit und die Potentiale des Prüfobjektes Pr und des Signalgitters Gi werden so eingestellt, daß mit Hilfe der Differenzpotentiale eine Stromverteilungssteuerung zwisechen den Z. 1 itt@@ Gi und den Einzelpotentialen der @r fobj@@@ @@@@ @@@l@t.An electron beam is located vertically above the test object Pr stem El, whose electron beam with the help of the deflection units Ab covers the entire surface of the test object Pr scans. Plane-parallel to the test object Pr is a signal grid Gi arranged. The beam velocity and the potentials of the test object Pr and the signal grid Gi are set so that with the help of the differential potentials one Power distribution control between the Z. 1 itt @@ Gi and the individual potentials der @r fobj @@@ @@@@ @@@ l @ t.

Somit liefert der Gitterstrom eine @bbildun de je @@@ abgetasteten Potentialpunktes des @@rfo@@, tes r. @@@ gesamte Verarbeitung de@ Sign@lstrom@@, die @@nsteu@@@,g der Ablenkeinheiten Ab, die Versorgung des @ls tronenstrahlsystems El und die Fernrehbildwidergabe erfelgt mit bekannten Mitteln der FErnschtechnik Fs, so daß im Ergebnis das gesamte Toktentialbild @d des @@@@fobjektes Pr auf einem Bildschreiber zu sehen ist. Dabei ist es grundsädtzlich auch möglich, durch Verringerung der Ablenkwinkel nur Details bzw. im Exdtremfall einselne Punkte des Prüfobjekes £>r abzutasten, so daß eine vorgrößerte Wiedergabe dieser Details erfolgt.Thus, the grid current delivers an image for each scanned image Potential point of @@ rfo @@, tes r. @@@ entire processing de @ Sign @ lstrom @@, the @@ nsteu @@@, g of the deflection units Ab, the supply of the @ls tronenstrahlsystem El and the Fernrehbildwidergabe made with known means of the FErnschtechnik Fs, so that as a result the entire toctential image @d of the @@@@ fobject Pr on one Image writer can be seen. In principle, it is also possible by reducing it the deflection angle only details or, in extreme cases, single points of the test object £> r to be scanned so that a pre-enlarged reproduction of these details takes place.

Bei der Abbildung von logischen Potentialbildern sind tnei Varianten vorteilhaft: a) L-, O- und Isolationspegel bilden drei Werte (schwarz, weiß und mittleres grau) wobei Differenzverfahren zu 5 möglichen Zuständen (Helligkeitswerten) führen.There are tnei variants in the mapping of logical potential images advantageous: a) L, O and isolation levels form three values (black, white and middle gray) with difference method to 5 possible states (brightness values) to lead.

1. Mittleres grau - Idendität 2. Schwarz oder wieß - Antivalenz zwischen Pegel (L-O, O-L) 3. Helles und dunkeles grau - Antivalenz zwischen Leiterbahnen und Isolationsflächen b) L-, O- und Isolationspergel bilden 2 Werte, so daß bei Differenzbildungen 3 Zustände zu unterscheiden sind.1. Medium gray - identity 2. Black or white - antivalence between Level (L-O, O-L) 3. Light and dark gray - antivalence between conductor tracks and isolation areas b) L-, O- and isolation pergel form 2 values, so that at Differences between 3 states are to be distinguished.

Hierbei bilden beide Antivalenzarten schwarz-weiß-Aussagen. Both types of non-equivalence form black-and-white statements.

@eim Prüfprozeß digitaler und analoger Karteneinschübe eder Sohaltkreise entstehen mit Hilfe der Prüfeinrichtung nach Fig. 1 folgende Vorteile: die Potentialverläufe von den Eingängen zu den Ausgängen könnenauf allen Leiterzügen und Lötpunkten unmittelbar verfolgt werden. Es wird ein sehr großer-Informationsumfang ausgegeben. Dadurch wird die Fehlerlokalisierung an fehlerhaften Präfobjekten zu der sonst ein sehr großer Informations- u. Krbeitsumfang gehärt sterk vereinfacht. Das betrifft besonders das Erkennen von Leitungsunterbrechungen, Kurz- oder Nebenschlüssen fehlerhafter Bauelemente.@ During the test process of digital and analog card slots of each circuit the following advantages arise with the aid of the test device according to FIG. 1: the potential curves from the inputs to the outputs can be made directly on all conductor tracks and soldering points to be tracked. A very large amount of information is output. Through this the error localization on defective prefabricated objects becomes the otherwise a very large amount of information and work hardened simplified. This particularly applies to the detection of line interruptions, short circuits or shunts faulty components.

- Bei Überblendung von zusätzlichen Informationen beispielsweise von logischen Strukturen von Schaltkreisen in die Potentialverläufe des Leitungsbildes sind fehlerhafte Funktionen leichter zu lokalisieren. Eine susXtsliche Erleichterung ist dabei noch dadurch zu schaffen, daß der gesamte interne logische Signal zustand pro Prüfschritt überblendet wird. Bei der direkten Abtastung von Karteneinschüben ist es besonders vorteilhaft, die Lötseite abzuasten. Toleranzprobleme zur Lötstärke und Länge der heiausragenden Lötstifte sind dadurch stark zu reduzieren, daß die Lötaugen konisch im Leiterplattenmaterial ausgeführt werden, um ebene Oberflächen mindestens angenähert zu erhalten. Grundsämtlich ist aber auch die Bauelementeseite abtastbar.- When superimposing additional information, for example from logical structures of circuits in the potential curves of the line pattern faulty functions are easier to localize. A sweet relief can still be created by the fact that the entire internal logic signal is state is superimposed for each test step. When scanning card slots directly it is particularly advantageous to scan the solder side. Solder thickness tolerance problems and length of the hot protruding solder pins can be greatly reduced by the fact that the Solder pads are tapered in the printed circuit board material to create flat surfaces at least approximately. Basically, however, is also the component side scannable.

Auf Kosten der Genauigkeit und der Tiefenschärfe kann man dabei dafür aber zusätzliche Informationen über kalte Lötstellen (Potentialdifferenz zwischen Lötauge und Anschlußstift) erhalten. ;ber auch nicht verlötebe Anschlüsse der Bauelemente sind zu Informationszwecken abtastbar. You can do this at the expense of accuracy and depth of field but additional information about cold solder joints (potential difference between Solder eye and connection pin). ; About not soldered connections of the components can be scanned for informational purposes.

Im Bereich analoger Prüfobjekte Pr ergeben sich noch weitere Vorteile, insbesondere bei der Svnchronisierung periodischer Prüfsignals mit der Abtastfrequenz.In the area of analog test objects Pr there are further advantages, especially when synchronizing periodic test signals with the sampling frequency.

- Störsignale fallen mit sichtbarer Interferenz auf -luf Leiterbahnen in Abtastrichtung können Zeitmessungen an Signalen im Bereich der Zeilenfrequenz durchgeführt werden - Auf Leiterbahnen senkrecht zur Abastrichtung können Samplingeffekte mit Zeittransformation zur Prüfung ausgenutzt weiden - wit Hilfe von Zeilenwahleinrichtungen könner von bestimmten Leiterbahnen oder Teilen davon abgetastete Signale selektiert und einzeln geprüft werden - Die Signalentnahme von Schaltungspunkten kann mit äußerst geringer Beeinträchtigung der Schaltungsfunktion (besonders außerhalb der Abtastfrecuenz) realisiert werden.- Interfering signals fall on conductor tracks with visible interference time measurements on signals in the range of the line frequency can be performed in the scanning direction - Sampling effects can be carried out on conductor tracks perpendicular to the scanning direction with time transformation for testing exploited - with the help of line selection devices can select signals scanned from certain conductor tracks or parts thereof and checked individually - The extraction of signals from switching points can with extremely little impairment of the circuit function (especially outside the sampling frequency).

- Die Anwendba@keit de@ Prüfeinrichtung für Prüfobjekte jit ebenen Flächen, darin physikalishce Eigenschaften sich in einem Potentailbild dieser Flächen widerspiegeln uf Grund des großen parallelausgegebenen Informationsunfanges werden @enige : Präfschritte als herkömmlich benötigt. Im Bereich der Analog echnik sind meistens mit der Prüfung Abgleichvorgänge verbunden. Auch wenn sich hierbei die Prüfobjekte Pr im Vakun@ befinden, gibt es hierfür Realisierungsmöglichkeiten. Beispielsweise Einbau eines Raumanzughandschuhs in die Wandung des Vakuumgefäßes Vg. Ein derartiger Handschuh kann auch zum Transport bzw. Einstecken der Prüfobjekte Pr in die Prüfaunahme benutzt werden.- The applicability of the test device for test objects jit levels Areas in which physical properties are expressed in a potential image of these areas due to the large amount of information that is output in parallel @enige: Prefabricated steps than conventionally required. In the area of analog technology are mostly connected with checking matching processes. Even if the Test objects Pr are in the Vakun @, there are implementation options for this. For example Installation of a spacesuit glove in the wall of the vacuum vessel Vg. Such a Glove can also be used to transport or insert the test objects Pr into the test reception to be used.

Zur Reduktion der Taktzeiten beim jeweiligen Evakuieren kann man Gruppen von Prüfobjekten Pr in Vakuumkassetten einbringen, in denen ein Vorvakuum erzeugt wird. Anschließend wird die gesamte Kassette in das Vakuumgefäß befördert.Groups can be used to reduce the cycle times when evacuating of test objects Pr in vacuum cassettes, in which a pre-vacuum is created will. The entire cassette is then transported into the vacuum vessel.

Eine Weiterentwicklung der lrüfeinrichtung ist in Fig. 2 dargestellt. Die Prüfobjekte Pr müssen nicht mehr in ein Vakuumgefäß Vg eingebracht werden. Das wird dadurch erreicht, daß das Prüfobjekt indirekt über einen Zwischenträger Zw abgetastet Wird. Statt des Prüfobjektes Pr befindet sich jetzt nur die Abtastseite Za des Zwischenträgers Zw im Vakuumgefäß Vg. Wenn der Zwischenträger Zw genügend vakuundicht ist, wird hierbei nur eine einmalige Evakuierung benötigt. Aufbau und Punktion sind identisch mit den zu Fig. 1 gemachten Ausführungen, mit Ausnahme der nun nicht mehr benötigten Vakuummchleu son Vs.A further development of the inspection device is shown in FIG. The test objects Pr no longer have to be placed in a vacuum vessel Vg. That is achieved in that the test object indirectly via an intermediate carrier Zw Is scanned. Instead of the test object Pr, there is now only the scanning side Za of the intermediate carrier Zw in the vacuum vessel Vg. If the intermediate carrier Zw is sufficient is vacuum-tight, only a single evacuation is required. Structure and Puncture are identical to the statements made for FIG. 1, with the exception of now no longer required vacuum lock Vs.

Detaillierte us fühxungsbe dieses Zwischenträgers Zw zeigt Fig. 3 und Fig. 4. Der Zwischenträger Zw ist so auszuführen. daß er soviel Bildelemente Be mit dazugehörigen Anschlußleitungen Al besitzt, wie für die Prüfung de. Prüfobjektes Pr notwendig sind. Dabei ist jeder Prüfpunkt des Prüfobjektes Pr über eine Anschlußleitung Al mit der Anschlußseite Zk des Zwischenträgers Zw au verbinden, und das Prüfobjekt Pr mit entsprechenden Betriebs-bzw. Prüfsignalen vom Prüfprogrammgeber Pp zu versehen.Fig. 3 shows detailed guidance of this intermediate carrier Zw and FIG. 4. The intermediate carrier Zw is to perform like this. that he is so much Picture elements Be with associated connecting lines Al has, as for the test de. Test object Pr are necessary. Each test point of the test object Pr Via a connection line Al to the connection side Zk of the intermediate carrier Zw au connect, and the test object Pr with appropriate operating or. Test signals from Check programmer Pp to be provided.

Wird bei bestimmten Prüfungen oder Überwachungen nur ein Prüfschritt benötigt, kann der Prüfprogrammgeber Pp entfallen.Only one test step is used for certain tests or monitoring is required, the test programmer Pp can be omitted.

Ersetzt man bei dieser Einrichtung die fernsehtechnischen Mittel Ps durch Mittel der Datenerfassung, dann ist diese Einrichtung als extrem schneller Meßstellenumschalter einsetzbar. Die Eingangsinformationen für den Meßstellenumschalter können auch hierbei leistungslos sein.If you replace the television technical means Ps by means of data acquisition, then this facility is considered extremely faster Measuring point switch can be used. The input information for the measuring point switch can also be without performance.

Ein Leitungsbündel dieses Zwischenträgers Zw aus beliebig vielen isolierten Anschlußleitungen Al wird nach Fig. 3 an der Abtastseite Za vergossen, verschmolzen oder auf eine andere Art verfestigt. Die Anschlußleitungen Al sind dabei geoietrisch geordnet, so daß bei einer Planbearbeitung der Abtastseite Za eine Flache mit gegenseitig isolierten rastermäßig angeordneten Bildelementen Be entsteht. Das freie Ende des Leitungsbündels wird aufgefrächert und die Anschlußleitungen Al oder Anschlußleitungsgruppen mit Kontaktelementen Kt versehen. Die Bildelemente Bb können im einfachsten Fall mit dem Leitungsquelschnitt der Anschlußleitungen Al identisch sein. Man kann sie aber auch in der Art von Lötaugen in beliebiger geometrischer Form rastermäßig auf einer Leiterplatte anordnen. Führt man einige als orthogonale Leiterbahnen aus, dann können die bereits beschriebenen Vorteile bei der Abtastung von periodischen Signalen ausgenutzt werden.A line bundle of this intermediate carrier Zw from any number of isolated Connection lines Al is potted, fused, according to FIG. 3 on the scanning side Za or solidified in some other way. The connecting lines Al are geoietrisch ordered, so that with a plan machining of the scanning side Za a surface with each other isolated grid-like arranged image elements Be arises. The free end of the Line bundle is fanned out and the connection lines Al or connection line groups provided with contact elements Kt. The picture elements Bb can in the simplest case be identical to the line cross section of the connecting lines Al. You can but also in the manner of soldering eyes in any geometrical shape on a grid basis a printed circuit board. If one executes some as orthogonal conductor tracks, then the advantages already described in the sampling of periodic Signals are used.

Weiterhin kann durch das Aufbringen einer Leiterbahn Lb in Abtastrichtung und das Anschließen einer Nodrmalspannungsquelle No an diese Leiterbahn Lb das abgetastete Potential für Regelungen zur Erhöhung der Analoggenauigkeit abgetasteter Analoggrößen verwendeß werden.Furthermore, by applying a conductor track Lb in the scanning direction and the connection of a normal voltage source No to this conductor track Lb the scanned Potential for controls to increase the analog accuracy of sampled analog variables be used.

Einzelheiten weiden bei der Beschreibung der Fig. 8 noch genauer ausgeführt.Details are given in the description of FIG. 8 in more detail.

Genauso wie die einzelnun Anschlußleitungen Al zu unmittelbaren Potentialübertragungen von den Prüfopunkten auf die Abtastseite Za verwendet erden, können sie auch zur Übertragung von Vergleichs- oder Differenzpotentialen genutzt werden. In diesem Felle ist dann jede Anschlußleitung Al mit dem Ausgang eines elektrischen Komparators Ke verbunden, dessen Eingänge jeweils über Kontakt: elemente Kt it entsprechenden Anschlußpunkten des Prüfobjektes Pr und eine Referenzmusters Re zu verbinden sind, so daß beispielsweise nur bei Abweichungen Potentiale auf die Abtaststeite Za des Zwischenträgers Zdw übertragen werden.Just like the individual connection lines Al for direct potential transfers used by the test points on the scanning side Za, they can also be used for Transfer of comparison or difference potentials can be used. In this Felle is then each connection line A1 with the output of an electrical comparator Ke connected, its inputs each via contact: elements Kt it corresponding Connection points of the test object Pr and a reference pattern Re are to be connected, so that, for example, only in the event of deviations, potentials on the scanning side Za of the Intermediate carrier Zdw are transmitted.

Schr einfach sind diese Komparatoren Ke bei passiven Prüfobjekten Pr und Prüfpotentialen entgegengesetzter Polarität bzw. Phasenlage zwischen P üfobjekt Pr und Referenzzuster Re zu realisieren. Sie bestehen dann nur aus zwei Widerständen mit Mittelanzapfung, so daß die Differenzspoennung, z.B. Null, gebildet werden kann.These comparators Ke are very simple for passive test objects Pr and test potentials of opposite polarity or phase position between test object Realize Pr and reference sub-Re. They then only consist of two resistors with center tap so that the differential voltage, e.g. zero, can be formed.

Besteht die Notwendigkeit digitale Eingangsgrößen potentialfrei an den Zwischenträger Zw anzuschließen, dann kann das durch Zwischenschaltung eines periodisch geschalteten Transfluxors pro eingangsgröße (Meßstelle) erfolgen, wobei an dessen Signalauqang ein Gleichrichter mit Siebglied geschaltet ist.If there is a need for digital input variables, potential-free to connect the intermediate carrier Zw, then this can be done by interposing a periodically switched transfluxors per input variable (measuring point) take place, with A rectifier with a filter element is connected to its signal output.

Eine andere aweckilßige Form des Zwischenträgers ist in Fig. 4 dargestellt. Dieser ist als Platte Pl mit rasternäßig angeordneten Löchern Lö ausgeführt. In die Löcher Lö werden Kontaktelemente Kf eingesetzt, die auf der Anschlußseite Zk der Platte Pl des Zwischenträgers federnd ausgebildet sind und auf der Abtastseite Za in einer ebenen Fläche Bildelemente 3. bilden. Diese abzutastenden Bildelemente Be können beliebige geometrische Formen wie Kreise, Quadrate oder Rechtecke aufweisen. Die Rasterung der Platte Pl muß mit der Rastertung der Prüfpunkte der zu adaptierenden Prüdfobjekte Pr übereinstimmen, so daß nu: noch Höhenunterschiede von den federnden Kontaktelemente@ Kf beim Adaptionsprozeß auszugleichen sind.Another alternative form of the intermediate carrier is shown in FIG. This is designed as a plate Pl with holes arranged in a grid-like manner. In the holes Lö contact elements Kf used on the connection side Zk the plate Pl of the intermediate carrier are designed to be resilient and on the scanning side Za form image elements 3 in a flat surface. These picture elements to be scanned Be can have any geometric shapes such as circles, squares or rectangles. The grid of the plate Pl must match the grid rating of the test points of the adapting Test objects Pr match, so that nu: there are still differences in height from the resilient Contact elements @ Kf are to be compensated during the adaptation process.

Bei beiden Pormen des Zwischenträgers Zw kann die Abtastseite Za so ausgebildet sein, daß die Flächenanteile zwischen den Bildelementen Be, von diesen isoliert, unter'-einander aber leitend sind. Das angelegte Potential dieser Flächnanteile ist dann beliebig einstellbar.With both porms of the intermediate carrier Zw, the scanning side Za can be so be designed that the area proportions between the picture elements Be, of these isolated, but conductive to one another. The applied potential of this surface area can then be set as required.

Beim Einsatz von Prüfeinrichtungen nach Fig. 2 mit Zwischenträgern Zw ergeben sich weitere Vorteile, die darin bestehen, daß - das Prüfobjekt Pr nicht mehr in das Vakuumgefäß eingebracht zu werden braucht - das Prüfobjekt Pr bei einem Zwischenträger nach Fig. 4 fast beliebige räumliche Konfigurationen besitzen darf (Verdrahtungseinheiten, GEstellverdrahtungen usw.) und dabei die geometrische Zuordnung der einzelnen Bildelemente Be zur Konstruktion des Prüfobjektes Pr durch entsprechende Überblendungen erleichtert wird. Diese Überblendungen können Steckerleisten mit der Anzahl der Anschlußelemente und deren Lage, Numerierungen u.ä. betreffen - bereits Vergleichswerte von Prüfobjekt Pr und Referenzmuster Re dargestellt und als Abweichungen allein hervorgehoben werden, wobei der Prüfprogramgeber auch mit universellen Prüfprogrammen auskommt.When using test devices according to FIG. 2 with intermediate carriers Zw result in further advantages that consist in that - the test object Pr not more needs to be introduced into the vacuum vessel - the test object Pr in one The intermediate carrier according to FIG. 4 may have almost any spatial configuration (Wiring units, rack wiring, etc.) and the geometric assignment of the individual picture elements Be for the construction of the test object Pr by appropriate Fades is facilitated. These transitions can be made with connector strips the number of connection elements and their position, numbering, etc. concern - already Comparative values of test object Pr and reference sample Re are shown and as deviations alone are highlighted, with the test programmer also offering universal test programs gets by.

Universelle Prüfpiogramme kann man so aufstellen, daß z.B. für Verdrahtungseinheiten jeder Prüf- bzw. Anschlußpunkt des Prüfobjektes und des Referonzmusters einmal unmittelbar angesteuert wird (Motorzähler). Universal test piograms can be set up in such a way that e.g. for wiring units each test or connection point of the test object and the reference pattern once directly is controlled (motor counter).

Prüfeinrichtungen nach Fig. 2 mit Zwischenträger nach Fig. 4 sind auch für halbautomatische Kontrolle und Steuerung bei der Anfertigung von Verdrahtungseinheiten einzusetzen. Dabei werden pro aufgerufenem Verdrahtungskomplex alle zu verbindenden Anschlußpunkte aufleuchten und in des Maß, in dem sie miteinander verbunden werden, ve löschen. Testing devices according to FIG. 2 with an intermediate carrier according to FIG. 4 are also for semi-automatic checking and control in the production of wiring units to use. For each wiring complex called, all of the connections to be made are made Connection points light up and, to the extent that they are connected to one another, ve delete.

- aine derartige Anordnung auch als sehr schneller t,,.".-ron@cher Meßstellenumschalter für analoge und dig@sle Signale einsetzbar ist, der wegen der Elektronenst ahlestastung (Sampling) eine sehr geringe Rückwirkung auf 41 Aeßstellen besitzt - durch die geometrische Form der einzelnen Prüfpunkte periodische bzw. synchronisierbare Signale in bezug auf mehrere Parameter ausgewertet werden können - bei Anwendung eines Zwischenträgers Zw nach Fig. 4 die Prüfung unbestückter Leiterplatten leicht zu realisieren ist.- Such an arrangement also as a very fast t ,,. ".- ron @ cher Measuring point switch for analog and dig @ sle signals can be used because of the Electron steel loading (sampling) has a very low impact on 41 measuring points has - due to the geometric shape of the individual test points, periodic resp. synchronizable signals can be evaluated with respect to several parameters - When using an intermediate carrier Zw according to FIG. 4, the testing of unassembled printed circuit boards is easy to implement.

In Fig. 5 ist eine Prüfeinrichtung als Schema dargestellt, mit der ein Prüfobjekt Pr it einem Referenzmuster Re verglichen werden kann und bei der sowohl die direkte als auch die indirekte Abtastung mit Hilfe des Zwischent@ägers Zw betrieben werden kann.In Fig. 5, a test device is shown as a scheme with the a test object Pr it can be compared to a reference pattern Re and in which both direct and indirect scanning with the help of the intermediate tag Zw can be operated.

Um die Auswertung der Potentialbilder der Prüfobjekte stark zu vereinfachen ist es sehr vorteilhaft, parallel zum Prüfobjekt ein vollfunktionstüchtiges Referenzmuster (Master) gleichzeitig unte; gleichen Bedingungen abzutasten, die Videosignale in einem elektronischen Komparator Ke zu vergleichen und wahlweise das Differenzpotentialbild Db oder das Potentialbild Bd des Prüfobjektes auf einem Bildschirm wiederzugeben. Im Elektronenstrahlabtaster Eal wird das Videosignal Vil für das Potentialbild des in ihm befindlichen Prüfobjektes und im Elektronenstrahlabtaster Ea2 das Videosignal Vi2 des ebenfalls in ihm befindlichen REferenzmusters gewonnen. Jeweils von den Ausgängen der Elektronenstrahlabtaster Eal und Ea2 wird das entsprechende Videosignal Vil bzw. Vi2 dem Komparator Ke zugeführt, der als Breitband-Differenzverstärker ausgeführt ist. Das nicht dargestellte Prüfobjekt irn Elektronenstrahlabtaster Eal und das nicht dargestellte Referenzmuster im Elektronenstiahlabtaster Ea2 wird parallel über die entsprechenden Anschlüsse, die in die Vakuumgefäße der Elektronenstrahlabtaster Eal bzw. Ea2 führen, mit dem Prüfprogrammgeber Pp verbunden. Somit werden sowohl für das Prüfobjekt als auch für das Referenzmus'er gleiche Betriebs- und Prüfbedingungen realisiert, die pro Prüfsohritt gleichmäßig verändert werden. Die Versorgung der Elektronenstrahlabtaster Eal und Ea2 mit den fernsehtechnischen Signalen erfolgt durch die bekannten Mittel der FErnsehtechnik Fs. Bei geöffnetem Schalter So, zwischen dem elektronischen Komarator le und dem Elektronenstrahlabtaster Ea2, ist das gesamte Potentialbild aller Leitungselemente des Prüfobjektes und bei geschlossenem Schalter So nur das Differenzpotentialbild, also die Abbildung von Leitungselementen des Prüfobjektes mit fehlerhaften oder abweichenden Potentialen oder Leitungszügen, darstellbar. Wie bereits zu Fig. 1 ausgeführt.To greatly simplify the evaluation of the potential images of the test objects it is very advantageous to have a fully functional reference sample parallel to the test object (Master) at the same time below; same conditions to sample the video signals in to compare an electronic comparator Ke and optionally the difference potential image Db or the potential image Bd of the test object to be reproduced on a screen. In the electron beam scanner Eal, the video signal Vil for the potential image of the the test object located in it and the video signal in the electron beam scanner Ea2 Vi2 of the reference pattern also located in it obtained. Each from the The corresponding video signal is output from the electron beam scanners Eal and Ea2 Vil or Vi2 fed to the comparator Ke, which acts as a broadband differential amplifier is executed. The test object, not shown, in the electron beam scanner Eal and the unillustrated reference pattern in the electron beam scanner Ea2 becomes parallel via the corresponding connections in the vacuum vessels of the electron beam scanner Eal or Ea2 lead, connected to the test programmer Pp. Thus, both the same operating and test conditions for the test object as well as for the reference sample realized that can be changed evenly per test step. the Supply of the electron beam scanners Eal and Ea2 with the television signals takes place using the known means of television technology Fs. With the switch open So, between the electronic comparator le and the electron beam scanner Ea2, is the entire potential image of all line elements of the test object and when it is closed Switch So only the differential potential picture, i.e. the mapping of line elements the test object with faulty or deviating potentials or cable runs, representable. As already stated in connection with FIG. 1.

werden Abweichungen oder Übereinstimmungen im Form von drei bzw. fünf Helligkeitswerten wiedergegeben. Dieses Differenzverfahren besitzt den großen Vorteil, daß Systemfehler (Geometrie- und Gradationsverzerrungen und Abtastfehler) der Elektronenstrahlabtaster Ea wegen der Doppelausbildng zum großen Teil kompensiert werden. Außerdem k5nnen nur Fehlersuche beliebig viel ausätzliche nicht im Programm vorgeschene Prüfungen vergleichend druchgefahrt werden. Auch hier gibt es die Möglichkeit, universelle Prüfprogramme einzusetzen, die z.B. für alle Prüfobjekte definierter Typengruppen einheitlich sind.are deviations or matches in the form of three or five Brightness values shown. This difference method has the great advantage that system errors (geometry and gradation distortions and scanning errors) of the electron beam scanner Ea are largely compensated for because of the dual training. You can also only troubleshooting any number of detailed tests not previously in the program be driven comparatively. Again there is the option of universal Use test programs that e.g. for all test objects of defined type groups are uniform.

Im einfachsten Fall besteht so ein universelles Programm aus der Summe aller erforderlichen Prüfschritte einer Typengruppe und führt au einer weit über 100 % liegenden Prüfung jeder Type. Es ist aber auch möglich, stochastisohe oder quasistochastische Eingangssignalmuster mit erhöhter Prüfschrittzahl als universelle Prüfprogramme zu verwenden, die z.B. eine statistische 95 %-ige Prüfung sichern. Derartige Prüfprogramme erfordern gar keinen Programmierungsaufwand, setzen aber auszuwertende Informationsumfänge voraus, wie sie bei der Auswertung von Potentialbildern gegeben sind, besonders in bezug auf die Fehlerlokalisierung. Sind S und L die Software- und Tohnkosten, dann bringt der Wegfall der Softwarekosten die Vorteile, wenn der Zuwachs der Lohnkosten (Z x L) kleiner als die Softwarekosten sind (Z x L < S; Z Ein anderes Schema einer Prüfeinrichtung zur vergleichenden Prüfung zeigt Fig. 6. Der Unterschied zu der in Fig. 5 darges ellten besteht darin, daß vor der Prüfung eines Tvps von Prüfobjekten die Po entialbilder der entsprechenden Referenzmuster in Verbindung mit dem Prüfprogramm aufgenommen und in der entsprechenden Reihenfolge in einen Referenzbildspeicher Bi eingesopeichert werden. Bei Bedarf werden die entsprechenden Potentialbilder vom Referenzbildspeicher Bi abgerufen. Dabei wird während der Abtastung des Referenzousters der Videoausgang des Elektronenstrahlabtasters Ea mit Hilfe des Umschalters Us auf den Videoeingang des Referenzbilkdspeichers Bi geschaltet. Von den bekannten Mitteln der Fernsehtechnik Fs wind der Elektronenstrahlabtaster Ea und der Referenzbildspeicher Bi gleichzeitig mit Svnchronisierimpulsen Si und anderen Signalen versorgt. Weiterhin erhält das Referenzmuster das Prüfprogramm und der Referenzbildspeicher Bi Informationen über den entsprechenden Prüfschritt vom Prüfprogrammgeber Pp.In the simplest case, such a universal program consists of the sum of all necessary test steps of a type group and also carries out far beyond 100% lying test of each type. But it is also possible to stochastic or Quasistochastic input signal patterns with a higher number of test steps than universal ones To use test programs which, for example, ensure a statistical 95% test. Such test programs do not require any programming effort at all, but set The amount of information to be evaluated, as it is when evaluating potential images are given, especially with regard to fault localization. Are S and L the software and sound costs, the elimination of software costs brings advantages if the Increase in wage costs (Z x L) is less than the software costs are (Z x L <S; Z Another scheme of a test facility for comparative testing shows Fig. 6. The difference to that in Fig. 5 Darges ellen is that Before testing a Tvps of test objects, the potential images of the corresponding Reference samples recorded in connection with the test program and in the corresponding Sequence to be saved in a reference image memory Bi. If necessary the corresponding potential images are retrieved from the reference image memory Bi. The video output of the electron beam scanner is used during the scanning of the reference pattern Ea to the video input of the reference image memory using the switch Us Bi switched. The electron beam scanner is one of the known means of television technology Fs Ea and the reference image memory Bi simultaneously with synchronization pulses Si and other signals. The reference sample also receives the test program and the reference image memory Bi provides information about the corresponding test step from the test programmer Pp.

Auf diese Art kann für jeden Prüfschritt jedes Referenzmusters ein Referenspotentialbild espeichert werden. Für vergleichende Prüfungen werden vom Elektronenstrahlabtastei Ea die Prüfobjekte direkt oder indirekt über einen Zwischenträger abgetastet, das Videoausgangssignal Vil mit Hilfe des Umschalters Us auf den elektronischen Komparator Ke aufgeschaltet, das dazugehörige Videosignal Vi2 des Referenzbildspeichers Bi an den anderen Komparatoreingang synchron aufgeschaltet und das Differenzvideosignal Vd zur Abbildung gebracht. Störende Systemmbweichungen im Differenzpotentialbild Db können mit dem Ausgleicher Au reduziert werden.In this way, one reference sample can be used for each test step Reference potential image can be saved. For comparative exams, the Electron beam scanning Ea the test objects directly or indirectly via an intermediate carrier sampled, the video output signal Vil with the help of the switch Us on the electronic Comparator Ke switched on, the associated video signal Vi2 of the reference image memory Bi switched synchronously to the other comparator input and the difference video signal Vd brought to the picture. Disturbing system deviations in the differential potential image Db can be reduced with the Au equalizer.

FUr diesen Einsatzzweck sind Videospeicher für Standbilder (Plattenspeicher) besonders geeignet. Die Verwendung eines Referenzbildspeichers Bi hat den großen Vortiel, daß das Referenzeuster in seinen Parametern zeitinvafiant is' und körperlich nicht vorhanden sein braucht. Ein bestimmte ter Teil von Svztenfehlern wird auch hie hierbei durch die Differenzbildung kompensiert. Außerdem wi!'d der Einsatz eines zweiten Videospeichers zur Aufzeichnung der Differenzpotentialbilder diskutabel, falls es Vorteils bringt, die Potentialbilderzeugung von der Fehlerlokalisierung zu trennen. Als Bildspeicher kommen hierbei sowohl Magnetband als auch Filmspeicher in Frage. Der Einsatz von Plattenspeichern hat den Vorteil, daß einzelne Bilder leicht adressierbar sind und ein Speicher durch die Ausfüstung mit mehreren Köpfen gleichzeitig unterschiedliche Bildsignale liefern kann.For this purpose, video memories for still images (disk storage) are particularly suitable. The use of a reference image memory Bi has the big one It was suggested that the parameters of the reference pattern were time-invasive and physical does not need to be present. A certain part of system errors will also be referred to here by the Compensated for difference formation. Besides, wi! 'D the use of a second video memory for recording the differential potential images debatable, if it is advantageous, the potential imaging of the fault localization to separate. Both magnetic tape and film storage are used as image storage in question. The use of disk storage has the advantage that individual images are easily addressable and a memory due to the design with several heads can deliver different image signals at the same time.

Zusätzlich zu den bereits beschriebenen Anordnungen für Potentialbildvergleiche ist für Abtastungen mittels Zwischenträger Zw, also für ganz diskrete Bildpunktinformationen, auch die digitale Speicherung der Referenzbildinformationen möglich. Die Fig. 7 zeigt eine entsprechende Anordnung. Die Abtastung des Prüfobjektes im Elektronenstrahlabtaster Ea führt mit Hilfe der bekannten Mittel der Fernsehtechnik Fs zu Potentialbildern auf einem Bildschirm, die auf optischem Wege einem optischen Komparator Ko zugeführt werden. Parallel dazu wird einem digitalen Referenzbildspeicher Bs vom Prüfprogrammgeber Pp eine Information über den Prüfschritt des entsprechenden Prüfprogramms und Synchronisierimpulse Si übertragen.In addition to the arrangements for potential image comparisons already described is for scans using intermediate carriers Zw, i.e. for completely discrete image point information, digital storage of the reference image information is also possible. The Fig. 7 shows a corresponding arrangement. The scanning of the test object in the electron beam scanner Ea leads to potential images with the aid of the known means of television technology Fs on a screen which is optically fed to an optical comparator Ko will. In parallel with this, a digital reference image memory Bs from the test programmer Pp information about the test step of the corresponding test program and synchronization pulses Si transferred.

Daraufhin liefert der Referenzbildspeicher Bs in serieller digitaler Form die Helligkeitswerte für alle Bildelemente an eine Bildspeicherröhre Br, in der in bekannter Weise das gesamte Referenzpotentialbild speichernd zusammengefügt Nird. Dieses Vergleichsbild wird ebenfalls dem Komparator Ko zugeführt, der dann das Differenzpotentialbild Db liefert. Das Differenzpotentialbild Db kann dabei beispielsweise durch die bekannte additive Uberlagerung zweier komplementärfarbener Bilder erzeugt werden.The reference image memory then supplies Bs in serial digital Form the brightness values for all picture elements on an image storage tube Br, in which is put together in a known manner to store the entire reference potential image Nird. This comparison image is also fed to the comparator Ko, which then supplies the differential potential image Db. The differential potential image Db can for example through the known additive superposition of two complementary colored ones Images are generated.

Soll mit dieser Schaltungsanordnung ein direkter Vergleich der Videosignale Vil und Vi2 wie in Fig. 5 durchgeführt wrden, kann das wie folgt geschehen. Für das vom digitalen Referenzbildspeicher Bs ausgegebene Videosignal Vi2 eines Bildwechselsit ein zvklischer Laufzeitspeicher zwischen den digitalen Referenzbildspeicher Bs und den Komparator Ke zu schalten, so daß das Videosignal Vi2 städig im Bildwechselzvklus zur Verfügung steht. Vroteilhaft anzuwenden sind derartige Anordnungen dann, wenn Programme über interne Zustandsbilder der P üfobjekte Pr auch aus nicht prüftechnischen Gründen, wie Dokumentationen zur Erstellung von Verdrahtungseinheiten, benötigt werden.A direct comparison of the video signals is intended with this circuit arrangement Vil and Vi2 were performed as in Fig. 5, this can be done as follows. For the video signal Vi2 output from the reference digital image memory Bs one Image change with a cyclical runtime memory between the digital reference image memory Bs and the comparator Ke to switch so that the video signal Vi2 continuously in the frame change cycle is available. Such arrangements are to be used advantageously if Programs about internal status images of the test objects Pr also from non-test-related ones Reasons such as documentation for the creation of wiring units will.

Um Elektronenstrahlabtaster und darauf aufbauende Prüfeinrichtungen in bezug auf ihre Abtast- und Referenzgenauigkeiten weiter zu erhöhen, sind die in Fig. 8 dargestellten Zusatzeinrichtungen vorteilhaft. Die analoge Abtastgenauigkeit der Elektronenstrahlabtaster Eal und Ea2 wird durch Regelung der Videosignale Vil und Vi2 erreicht.About electron beam scanners and test equipment based on them to further increase their scanning and reference accuracies Additional devices shown in FIG. 8 are advantageous. The analog sampling accuracy the electron beam scanner Eal and Ea2 is controlled by the video signals Vil and Vi2 reached.

Dazu wird die Normalspannung des' Normalspannungsquelle No benutzt, die als Prüfspannung an spezielle Leiterbahnen des Prüfobjekts oder als Betriebsspannung an zugehörigen Leiterbahnen des Prüfobjekts angelegt wird. Diese Leiterbahnen (s.Lb in Fig. 3) soll vorzugsweise in Abtastrichtung liegen. Beim Abtastvorgang steht die Normalspannung nährend der Abtastung dieser Leiterbahnen als entsprechende Videosignalspannung am Ausgang des Elektronenstrahlabtasters Eal bzdw. am nachgeschalteten Regelverstärker Rv zur Verfügung. Vom Ausgang des Regelvei'st.'ikei's Rv wird das Videosignal Vil einem Vergleicher Vl zugeführt. In diesem Vergleicher Vl erfolgt eine zeitselektive Gleichrichtung der Normal signalanteile mit Hilfe zugeführte Selektionsimpulse Spl, der Vergleich zur Ermittlung der Regelabweichung und die Verstärkung der Stellgröße, Diese Stellgröße gelangt über den Eingang des Regelverstärkers Rv an das Stellglied, so daß der abgetastete Normpegel und @amit der gesamte Signalpegel geregelt wird. Die Selektionsimpulse Spl werden durch eine Zeilenwahleinrichtung innerhalb der bekanten Mitte der Fernsehtechnik Fs aufbereitet.For this purpose, the normal voltage of the 'normal voltage source No is used, as test voltage on special conductor tracks of the test object or as operating voltage is applied to the associated conductor tracks of the test object. These conductor tracks (see Lb in Fig. 3) should preferably lie in the scanning direction. During the scanning process stands the normal voltage during the scanning of these conductor tracks as the corresponding video signal voltage at the output of the electron beam scanner Eal or. on the downstream control amplifier Rv available. The video signal Vil fed to a comparator V1. In this comparator V1 there is a time-selective one Rectification of the normal signal components with the help of supplied selection pulses Spl, the comparison to determine the system deviation and the amplification of the manipulated variable, This manipulated variable reaches the actuator via the input of the control amplifier Rv, so that the scanned standard level and @a the entire signal level is regulated. The selection pulses Spl are by a line selection device within the edged middle of the television technology Fs processed.

Diese egelung ist hierbei nur am Beispiel der Videostgnalerzeugung für das nicht sichtbare Prüfobjekt im Elektro-@enstrahlabtaster Eal gezeigt, gilt aber auch für die des Referenzmusters. Zusätzlich zur Regelung ist im Referenzkanal eine Begrenzung des Videosignals Vi2 bei digitalen Prüfobjekten von Vorteil. Das Videosignal Vi2 durchläuft dabei einen Begrenzer Bg, der es beim maximalen logischen O-Pegel und beim minimalen logischen L-Pegel begrenzt. In diesem Falle ist der Vergleich mittels Referenzpotentialbilder mit einheitlichen logischen Pegeln durführbar, so daß im Differenzpotentialbild Db nur Abweichungen von diesen Pegeln sichtbar gemacht werden. Somit werden die Pegelstreuungen der Referenzmuster beseitigt.This regulation is only based on the example of video signal generation for the invisible test object shown in the electric beam scanner Eal, applies but also for those of the reference sample. In addition to the control is in the reference channel a limitation of the video signal Vi2 is advantageous for digital test objects. That Video signal Vi2 passes through a limiter Bg, which it at the maximum logical O level and limited to the minimum logical L level. In this case the comparison is feasible by means of reference potential images with uniform logical levels, see above that only deviations from these levels are made visible in the differential potential image Db will. The level spreads of the reference patterns are thus eliminated.

Vergleichende Prüfeinrichtungen der beschriebenen Art lassen sich in bestimmten Grenzen in bezug auf den Prüfablauf auch automatisieren. Das ist dadurch zu erreichen, daß der Prüfprogrammgeber Pp eine automatische mit der Abtastung synchronisierte Schrittfolge besitzt, die von einem Fehlersignal gestoppt wird. Dieses Fehlersignal entspricht hierbei einem Antivalenz- bzw. Schwarz- oder Weißpegel.Comparative test devices of the type described can be Also automate within certain limits with regard to the test sequence. That's because of it to achieve that the test programmer Pp synchronized an automatic with the scanning Has a sequence of steps that is stopped by an error signal. This error signal corresponds to an antivalence or black or white level.

Zu diesem Zweck wird an den Ausgang des elektronischen Komparators Ke ein Schwellwertschalter Ss für den Weiß- und Schwarzpegel angeschaltet, dor bei minimalem Vorhandensein eines der beiden Pegel ein Stoppsignal St an den Prüprogrammgeber Pp abgibt, oder es erfolgt innerhalb des Prüprogrammgebers eine Überwachung der Ausgänge von Prüfobjekt und REferenzmuster.For this purpose it is connected to the output of the electronic comparator Ke switched on a threshold switch Ss for the white and black level, dor at minimum presence of one of the two levels, a stop signal St to the test programmer Pp outputs, or the test programmer monitors the Outputs from test object and reference pattern.

Weiterhin ist es auch möglich, ganz bestimmte Signalanteile, also Informationen über Prüfobjektdetails, gesondert auszugeben. Von besonderea Interesse ist das bei analog auszuwertenden Signalen. Hierzu wird an den usgang des elektronischen Komparators Ke ein Selektor Se geschaltet, @eres mit Hilfe von Selek ionsimpulsen Sp2 gestattet, gewünschte Signalanteile auszusondern, die für spezielle Auswertungen herangezogen werden. Auf diese Weise kann beipielsweise die Gleichheit zweiber @erbselspannungen oder- Impulslängen auf enrsprechenden Leiterbahnen des Prüfobjekts extra ausgewertet werden.Furthermore, it is also possible to use very specific signal components, that is Information about test object details to be output separately. Of particular interest this is the case with signals to be evaluated in analog form. To do this, connect to the output of the electronic Comparator Ke a selector Se switched, @eres with the help of Selek ion impulses Sp2 allows you to separate out the desired signal components for special evaluations can be used. In this way, for example, the equality of two voltages or- Pulse lengths on the corresponding conductor tracks of the test object be evaluated separately.

Zusätzliche Informationen über das Prüfobjekt können auch elektronisch überblendet werden. Zu diesem Zweck wird das Differenzvideosignal Vd vom Ausgang des Komparators Ke an den Eingang Ei eines Überblendverstärkers Üv gelegt, de: die Überblendinformationen ebenfalls als Bildsignal zugeführt werden. Auch wenn der Schalter Sc periodisch betätigt wird, entsteht ein Überblendeffekt, in dem nacheinander Leiterzüge des Prüfobjekts mit Fehlerpotential und das gesamte Potentialbild aller Leiterzüge des Prüfobjekts sicht bar werden.Additional information about the test object can also be provided electronically be cross-faded. For this purpose, the differential video signal Vd is taken from the output of the comparator Ke placed at the input Ei of a cross-fading amplifier Üv, de: the Fade information can also be supplied as an image signal. Even if the Switch Sc is operated periodically, creates a fading effect in which one after the other Conductor lines of the test object with fault potential and the entire potential image of all Conductors of the test object become visible.

Zu den elektronischen Potentialbildwandlern ist noch hinzuzufügen, daß für alle Bildelemente bzw. Bildpunkte nu je ein Abtast- und Wiedergabesystem (im Sinne von Ausfallelementen) notwendig ist und dadurch trotz der sehr hohen parallelen Informationsausgabe eine relativ große Zuverlässigkeit erreichbar ist. An sehr viele diskrete einzelne Lichtquellen mit Schaltern sind bei gleicher Gesamtzuverlässigkeit entsprechend größere Einzelforderungen zu stellen.To the electronic potential image converter it should be added, that for all picture elements or pixels there is now only one scanning and reproduction system (in the sense of failure elements) is necessary and therefore despite the very high parallel Information output a relatively high reliability can be achieved. To a great many discrete individual light sources with switches are with the same overall reliability to make correspondingly larger individual claims.

Parallel zur elektronischen Potentialbildwandlung, wie sie bisher ausführlich beschrieben wurde, sind auch opto-elektronische Ausführungen realisierbar. Dabei kehren bestimmte Detailprobleme in der gleichen Form wieder, so daß in diesen Fallen nur entsprechend Bezug genomlnen wird.Parallel to the electronic potential image conversion, as it was before has been described in detail, opto-electronic versions can also be implemented. Certain problems of detail recur in the same form, so that in these Fall only according to reference is made.

Fig. 9 zeigt eine derartige Prüfeinrichtung a.uf der Basis eines passiven optoelektronischen Potentiablildwandlers Pc.9 shows such a testing device based on a passive one optoelectronic potentiometer image converter Pc.

Hierbei wird der bekannte Effekt von nematischen Flüssigkristallen Fk ausgenutzt, der darin besteht, daß in einem elektrischen Feld ihre Reflexions- und Absorptionseigenschaften steuerbar sind. Dieser Potentialbildwanlder Po besteht im wesentlichen aus einem Zwischentrager Zw mit einer sehr gleichmäßig ebenen Abtastseite Za, tt;ei' sehr dünnen darauf befindlichen Schicht von Flüssigkristallen Fk, deren zweite ehene Begrenzung ein lichtdurchlässiges elektrisches Gitter Gl ist, das von einer Gleswand als Beobachtungsfläche Bf mechanisch stabilisiert wird. Diese Anordnung ist in einem Gefäß untergebracht, dessen Gefäßwände Gw die Beobachtungsfläche Bf und den Zwischenträges Zw aufnehmen und eine einwandfreie Abdichtung gegen die Flüssigkristalle Fk garantieren. Die Ausführung des Zwischenträgers Zw kann auch so vorgenommen werden, daß er konstruktiv in kleinere Einheiten unterteilt wird, die z.B.This uses the well-known effect of nematic liquid crystals Fk exploited, which consists in the fact that in an electric field their reflection and absorption properties are controllable. This potential image wanders Po exists essentially from an intermediate carrier Zw with a very evenly flat scanning side Za, tt; ei 'very thin layer of liquid crystals Fk on top, the second limit a translucent electric grid Gl is mechanically stabilized by a Gleswand as an observation area Bf will. This arrangement is housed in a vessel, the vessel walls Gw the Record observation area Bf and the intermediate carrier Zw and a flawless one Guarantee a seal against the liquid crystals Fk. The execution of the intermediate carrier Zw can also be made so that it is structurally divided into smaller units which e.g.

mit konstruktiven Einheiten der Prüfobjekte über die Anschlußseite Zk des Zwischenträgers Zw korrespondieren.with constructive units of the test objects on the connection side Zk of the intermediate carrier Zw correspond.

Der Zwischenträger Zw ist,wie bereits beschrieben, über Anschlußleitungen Al mit dem Prüfobjekt Pr verbunden, das wiederum seine Betriebs- und Prüfspmunungen vom Prüfprogrammgeber Pp erhält. Gleichzeitig liefert der Prüfprogrammgeber Pp auch die Gitterspannung für das lichtdurchlässige elektrische Gitter G1. Bei dieser Anordnung wird der dünne Film der Flüssigkristalle Fk vor jedem Bildelement der Anschlußseite Za entsprechend seinem zu überprüfenden Potential gegenüber dem lichtdurchlässigen elektrischen Gitter Gl eine zugehörigen Feldstärke eines elektrischen Feldes ausgesetzt. Durch die Bestrählung der Beobachtungsfläche Bf mit einer homogenen Lichtquelle Lq wird dabei das gesamte passive Potentialbild für den Beobachter Bo sichtbar. Wie bei der elektronischen Variante kann auch hier pro Anschlußleitung Al ein Vergleich zu einem Referenzmuster durchgeführt werden, so daß sofort Differenzpotentialbilder dargestellt werden. Bei derartigen optoelektronischen Potentialbildwandlern Po erreicht man eine vollständige parallele Informationsausgabe, während die rein elektronische Variante nur zum Menschen hin wegen der Augenträgheit diesen Tatbestand vortäuscht.The intermediate carrier Zw is, as already described, via connecting lines Al is connected to the test object Pr, which in turn has its operating and test voltages receives from the test programmer Pp. At the same time, the test programmer also supplies Pp the grid voltage for the translucent electrical grid G1. With this arrangement becomes the thin film of liquid crystals Fk in front of each picture element on the terminal side Za according to its potential to be checked against the translucent Electric grid Gl exposed to an associated field strength of an electric field. By irradiating the observation area Bf with a homogeneous light source Lq is the entire passive potential image for the observer Bo visible. As with the electronic variant, a comparison can also be made here for each connecting line A1 to a reference pattern, so that immediately differential potential images being represented. In such optoelectronic potential image converters Po achieved one has a complete parallel information output, while the purely electronic one Variant only fakes this fact towards humans because of the sluggishness of the eyes.

Es sind aber auch opto-elektronisch aktive Potentialbildwandler realisierbar. Hierbei ist eine der wichtigsten Voraussetzungen, daß sehr kleinflächige Leuchtpunkte Lp großen @irkungsgrades und großer Zuvelässigkeit vorhanden sind, wie z.B. Iumineszensdioden, Gasentladungsstrecken, Signallampen usw. Fig. 10 zeigt eine entsprechende Anordnung.However, opto-electronically active potential image converters can also be implemented. One of the most important prerequisites here is that very small-area luminous dots Lp high efficiency and high reliability are available, such as luminescent diodes, Gas discharge paths, signal lamps, etc. FIG. 10 shows a corresponding arrangement.

durchlässigen elektrischen Gitters Gl bzw. des gemeinsamen elektrischen Anschlusses An ab. Liegen diese auf dem maximal bzw. minimal möglichen Potential, so werden lie Abweichungen als negativ oder positiv sichtbar, weil die Richtung der Potentialdifferenz ohne Einfluß bleibt.permeable electrical grid Gl or the common electrical Connection on off. If these are at the maximum or minimum possible potential, in this way, deviations are visible as negative or positive, because the direction the potential difference remains without influence.

Zusätzlich zur Referenz mittels einzelner Komparatoren ist auch hier wieder ein Vergleich vollständiger Potentialbilder möglich. Dieser Vergleich ist durch additive bzw.In addition to the reference by means of individual comparators, there is also here a comparison of complete potential images is possible again. This comparison is through additive resp.

subtraktive Bildüberlagerung von Pruf- und Referenzbild mit Hilfe bekannter optischer Mittel realisierbar. Da3 Prinzip für derartige Überlagerungen ist an einem Beispiel in Fig. 11 dargestellt. Zur Überlagerung wird ein halbdurchlässiger Spiegel Sg benutzt, der orthogonal von der beiden Bildern Bdl und Bd2 jeweils unter 45° beaufschlagt wird, so daß bei Beobachtung aus den verlängerten Strahlrichtungen das Summenbild Bdl und Bd 2 mit jeweils halber Intensität erscheint. Dabei bilden sich Koinzidenzen bzw. Antivalenzen dann besonders auffallig aus, wenn die beiden Bilder in komplementären Farben oder als Negativ und @ositiv ausgebildet sind.subtractive image overlay of test and reference image with help known optical means realizable. Da3 principle for such overlays is shown in an example in FIG. A semi-permeable layer is used for overlay Mirror Sg is used, which is orthogonal to the two images Bdl and Bd2 respectively below 45 ° is applied, so that when observing from the extended beam directions the sum image Bdl and Bd 2 appears with half the intensity. Form thereby Coincidences or antivalences are particularly noticeable when the two Images are designed in complementary colors or as negative and @positive.

In Fig. 12 ist dargestellt, wie man von einem optisch passiven Potentialbildwandler Po einen Übergang zu einer aktiven, also strahlenden Bildwiedergabe schaffen kann. Das erfolgt dadurch, daß auf bekannte Art und Weise die Potentialbilder der passiven Potentialbildwandler Po von Lichtpunktabtastern La abgetastet und anschließend nach dem Ve -gleich durch den elektronischen Komparator Ke mit den bekannten Mitteln der Fernsehtechnik is als Differenzpotentialbild Db wiedergegeben wird. Prüfobjekte Pr, Referenzmuster Re sowie der Prüfprogrammgeber Pp sind in bekannte Weise mit den optischen Potentialbildwandlern Po verbunden.In Fig. 12 it is shown how an optically passive potential imager Po can create a transition to active, i.e. radiant image reproduction. This takes place in that the potential images of the passive Potential image converter Po scanned by light point scanners La and then after the comparison by the electronic comparator Ke with the known means television technology is reproduced as a differential potential image Db. Test objects Pr, reference pattern Re and the test programmer Pp are included in a known manner connected to the optical potential imagers Po.

Für Potentialbildwandler it Zwischenträger, die sich für die Prüfung von Verdrahtungseinheiten eignen, ergibt sich ergänzend ein großer Anwendungsbereich bei Verdrahtungsautomaten, Dafür sind nacheinander alle Verdrahtungskomplexe (alle miteinander zu verbindende Anschlußpunkte) des Jede Anschlußleitung Al ist mit einem Leuchtpunkt Lp verbunden, der vorzugsweise dirket auf dem Zwischenträger Zw angeordnet ist, wobei alle zweiten Anschlüsse an einen gemeinsamen elektrischen Anschluß An geführt werden, der mit dem Prüfprogrammgeber Pp Verbindung hat. Da die elektrische Leistung pro Leuchtpunkt Lp vom entsprechenden AnschluB-punkt des Prüfobjekts Pr geliefert werden muß, ist eine derartige Ausführung hauptsächlich für passive Prüfobjekte Pr wie z.B. Verdrahtungseinheiten, geeignet. Das Potentialbild ist hierbei also aktiv strahlend. Aus diesen Grunde ist hier das gesamte Potentialbild auch leicht zu einer Summenaussage heranzuziehen, um bestimmte Früfprozesse automatisteren zu können. Vor der Anzeigefläche Af wird ein Lichtsensor Ls so angeordnet, daß er diese vollständig erfaßt.For potential imagers it is an intermediate carrier that is used for the test of wiring units, there is also a large area of application With wiring machines, all wiring complexes (all connection points to be connected) des Every connection line Al is connected to a luminous point Lp, which is preferably directly on the intermediate carrier Zw is arranged, with all second connections to a common electrical Connection An, which has a connection with the test programmer Pp. There the electrical power per light point Lp from the corresponding connection point of the To be supplied to the test object Pr, such an implementation is mainly suitable for passive test objects Pr such as wiring units. The potential picture is therefore actively radiant. For this reason, here is the entire potential picture also easy to use for a summary statement in order to automate certain early processes to be able to. In front of the display area Af, a light sensor Ls is arranged so that it this is fully recorded.

Außerdem ist dem Lichtsensor Ls ein Schwellwertschalter Ss nachgeordnet. Sind im fehlerlosen Zustand alle Leuchtpunkte Lp dunkel (Einzelvergleich),dann kann diese Anordnung so eingestellt werden, daß beim Aufleuchten mindestens eines Leuchtpunktes. Lp vom Schwellwertschal er Ss ein Stoppsignal St abgegeben wird, um einen automatischen Ablauf des Prüfprogrammgebers Pp zu stoppen. Wegen der parallelen Informationsverarbeitung sind hierbei sehr hohe Prüfgeschwindigkeiten mit relativ geringem Aufwand zu realisieren. Will man eine solche Prüfeinrichtung mit sehr vielen Bildelemenen und großer GEsamtzuverlässigkeit aufbauen, dann bringt eine gewisse Abwandlung Vorteile. Die Leuchtpunkte (z.B.Signallampen) werden für einen relativ langwelligen Infrarotbereich ausgelegt, was zur starken Erhöhung der Zuverlässigkeit und zur Reduzierung der 8teuerleistung führt. In diesem Falle ist dann aber ein entsprechender Infrarotbildwandler zusätzlich vorzusehen, um das Potentialbild sichtbar zu machen.In addition, the light sensor Ls is followed by a threshold switch Ss. If all light points Lp are dark in the faultless state (individual comparison), then can this arrangement can be set so that when it lights up at least one light point. Lp from the threshold value switch Ss a stop signal St is issued to an automatic Stop the process of the test programmer Pp. Because of the parallel information processing very high test speeds can be achieved with relatively little effort. If you want such a test device with a lot of picture elements and great overall reliability then a certain modification brings advantages. The light points (e.g. signal lamps) are designed for a relatively long-wave infrared range, which leads to the strong Increase in reliability and a reduction in tax performance. In this In this case, however, a corresponding infrared image converter must also be provided, to make the potential image visible.

Weise I'ten von Potentialbildwandlern Po können auch so betrieben weiden, daß sie sowohl Positiv- als Negativbilder liefern. Das hängt allein vom Bezugspotential des licht- Referenzusterman eine Prüfspannung zu legen, so daß alle zugehörigen Anschlußpunkter aufleuchten, wobei das Referenzmuster auch durch einen Speicher ersetzt we@@@en kann.Way I'ten of potential image converters Po can also be operated in this way graze that they provide both positive and negative images. That depends solely on the Reference potential of the light A test voltage is assigned as a reference pattern so that all associated connection points light up, with the reference pattern also replaced by a memory we @@@ en can.

Anschließend wird der erste entsprechende Anschlupunkt der zu verdrahtenden Einheit ebenfalls an eine Prüfspannung gelegt und so mit allen dazugehörigen Anschlußpunkten des jeweiligen Verdrahtungskromplexes vebunden, daß im Differenzbild alle Punkte des Komplexes verlöschen.Then the first corresponding connection point becomes the one to be wired Unit also connected to a test voltage and so with all associated connection points of the respective wiring complex that all points in the difference image of the complex go out.

Claims

Patent claims

1. Procedure for testing voltage values for under operating and / or Electrical test objects under test conditions, preferably card modules and Circuits, whereby the test according to a predetermined test program step by step eriolgt, characterized in that the electrical potential image of one or both Pages of a test object per test step of its test program with an electron beam is scanned line by line that the electrical potentials of the individual Grid points generated proportional electrical signals and according to their geometric The location can be made visible and an optical potential image of the respective Test step associated electrical potential image of the line elements of the entire or a certain part of the test object is reproduced and / or the electrical Signals are evaluated automatically.

2. Procedure for testing voltage values for under operating and / or Test conditions standing electrical test objects, preferably card modules and Circuits, whereby the test according to a predetermined test program step by step takes place, characterized in that the electrical potential image of the test object Nict or only negligibly slightly impairing but under influence an electrical voltage that changes its photometric properties brought evenly into close contact with the conductor surface of the test object will.

that this substance is under the action of the on the Leiturfläche of the test specimen according to the test seires given test program existing electrical Potenti @ lbildes brought and this directly or by non-radiation the substance becomes visible with homogeneous light.

3. The method according to claim 1 and 2, d a d u r c h g e k e n n z e i c hn e t that the electrical potential image of the test object on an intermediate carrier is brought, which is now itself the test object of the voltage test.

4. The method according to claim 1 to 3, characterized in that at Each test step has a determined or stochastic test program the slectrical one Potential image of the test object or its intermediate carrier with the one generated simultaneously Compare electrical potential image of a reference pattern and the resulting one Differential potential image is shown.

5. Procedure according to Claim 4, that is, d u r c h e k e n n n z e i c h n e t that the reference pattern per test step by a stored potential image is replaced and that the comparison of the potential image of the respective test object or its intermediate carrier with the stored potential image of the reference pattern takes place and the resulting difference potentialb is displayed.

6. The method according to claim 1 to 5, characterized in that in the potential image or differential potential image with optical or electrical means Additional information or identification marks are displayed for the better Detection can appear in multiple colors.

7. Test device for carrying out the method according to claim 1 and 4 to 6, characterized in that an electron beam scanner (Ea) is provided is, which essentially consists of one for the supply and removal of the test object (Pr) trained vacuum vessel (Vg) provided with a vacuum generator, one vertically above the test object (Pr) located electron beam system (El) with assigned deflection units (Ab) and one, viewed from the electron beam system (E1), in front of the test object (Pr) plane-parallel arranged signal grids (Gi) consists of that in itself known means of telex technology (Fs) for reproducing an image connected downstream are and that the electron beam laser (Ea) a test programmer acting on the test object (Pp) and / or a device for automatic signal evaluation (Ss) assigned is.

8. Prüfeinrictung only implementation of the method according to claim 1 and 3 to 6, characterized in that an electron beam scanner (Ea) is provided which essentially consists of an evacuated vacuum vessel (Vg) with an electron beam system (El) and associated deflection units (Ab), in which the electron beam system (El) vertically opposite vessel wall an intermediate carrier (Zw) through the electron beam scanner it is arranged that the connection side lying outside the vacuum vessel (Vg) (Zk) of the intermediate carrier (Zw) is in direct contact with the line elements of the test object (Pr) is that in front of the scanning side (Za) of the intermediate carrier (Zw) a signal grid (Gi) is arranged plane-parallel, the means known per se the television technology (Fs) are connected downstream for the reproduction of a television picture, and that the electron beam scanner (Ea) acts on the test object (Pr) Test programmer (Pp) is assigned.

9. Test device for performing the method according to claim 2 to 6, characterized in that a potential image converter (Po) is provided, which consists essentially of a closed vessel (Ge) that at least one has transparent observation surface (Bi), on the inside of which is a translucent electrical grid (Gl) is located in that of the observation area (Bi) the opposite vessel wall (Gw) of the intermediate carriers (Zw) plane-parallel and very close to the translucent electrical grid (Gl) into the vessel (Ge) protruding arranged and the entire interior of the vessel (Ge) with a substance consisting of nematic liquid crystals (Fk) is filled that the outside of the vessel (Ge) lying connection side (Zk) of the Zwischenentragers (Zw) are in direct Kentakt with the line elements of the with the test programmer (Pp) connected test object (Pr) is and that outside of the vessel (Ge) a homogeneous light source radiating onto the observation surface (Bf) (Lq) is arranged.

10. Test device for performing the method according to claim 2 to 6, characterized in that on a display surface (Af) a plurality of Luminous dots (Lp) electrically isolated from one another in a certain grid dimension arranged and via an intermediate carrier (Zw) directly with the line elements of the are connected to the test programmer (Pp) corresponding test object (Pr) and that all light points (Lp) have a common electrical connection (An).

11. Test device according to claim 3 and 8 to 10, characterized in that that one formed in a certain grid dimension from many isolated connection lines (Al) existing bundle of lines is provided as an intermediate carrier (Zw) whose from Mechanically strengthened side facing away from the test object (Pr) designed as a flat surface is and its side facing the test object (Pr) for each connection line (Al) an on has known contact element (Kt).

12. Test device according to claim 3 and 8 to 10, characterized in that that the intermediate carrier (Zw) from a Flatte (Pl) made of insulation material mi @ in one There is a certain grid spacing arranged holes, wherein contact elements in the holes (Kt) are firmly arranged, the spring on the side facing the test object (Pr) trained, are

13. Test device according to claim 11 and 12, characterized by the fact that at each contact element (K ') @@@ intermediate carrier (Zw) a comparator (Ke) is connected, which both with the corresponding Rasterpung of the test object (Pr) as well as with the corresponding grid point of the reference pattern (Re) connected.

14. Test device according to claim 8 and 11 to 13, characterized in that that the intermediate carrier (Zw) on the electron beam system (El) facing Side has a conductor track (Ib) running in the row direction of the electron beam, which i3t connected to a normal voltage source (No).

15. Test device according to claim 7 and 8, characterized in that that another reference pattern that is electrically connected to the test programmer (Pp) (Re), faufnahmender electron beam scanner (Ea) is present and that the signal grating (Gi) both electron beam scanners (Ea) are connected to a comparator (Ke), at the output of the known means of television technology (Fs) for Playback of an image.

16. Test device according to claim 7 and 8, characterized in that because the signal grid (Gi) of the electron beam scanner (Ea) has a switch (Um) is assigned, at one output of the comparator (Ke) and at the other Pusgang the image input of a reference image memory (Bi), its image output as well is connected to the comparator (Ke) and that the synchronization output of the test programmer (Pp) with a synchronizing input of the image memory electrical connection is.

17. Testing device according to claim 7 and 8, d a d u r c h g ek e n n z e i c h e n t that a digitally controlled reference imager with image storage tube (Br) provided and with the test programmer (Pp) electrical verbun @@@ and that the image storage tube (Br) and Gie d &.

The tial image of the test object (Pr) becomes an optical image Comparator (Ko) are assigned.

18. Prüfeinricht8ung according to claim 7 and 8, characterized by geken, that between the signal grid (Gi) of the, El @@ - tronenstrahlabtasters (Ea) and the known means de Fernschtechnik (Fs) a control amplifier (Rv) is connected or the test programmer when testing test objects with uniform flat surfaces (Pp) and the direction for automatic signal evaluation is omitted.

19. Testing device according to claim 9, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t that another potential converter (Po) was provided and with a reference pattern (Re) is connected, the reference pattern (Re) also being sent to the test programmer (Pp) is connected that the observation areas (Bf) of both potential image converters (Po) are designed in different hues and a device known per se to superimpose the two potential images.

20. Testing device according to claim 9, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t that outside the vessel a corresponding to the observation area (Bf) Light point scanner (La) is arranged, at the output of which means known per se the television technology (Fs) are connected to display a teletype picture.

21. Test device according to claim 9 and 20, characterized in that that another potential image converter (Po) is provided and with the reference pattern (Re) is pre-tied that this potential image converter (Po) @@ possibly one with its Observation area (Bf) corresponding light point scanner (La) eats augeorder and represent the video outputs of the two light point samplers (La) with a comparator (Ke) are connected, at the output of which the per se known means of telex technology (Fs) are connected to reproduce a television picture.

22. Test device according to Claims 15 and 16, characterized in that that in front of the comparator inputs for the reference signal limiter (Bg) connected will.