DE2214159C3

DE2214159C3 - Device for keeping the beam path and the immediate vicinity of a beam of an energy beam material processing machine free of interfering matter

Info

Publication number: DE2214159C3
Application number: DE19722214159
Authority: DE
Inventors: Klaus Dipl.-Phys. 8032 Graefelfing Schwefel; Wolfgang 8031 Puchheim Stamm
Original assignee: Steigerwald Strahltecknik GmbH
Current assignee: Steigerwald Strahltecknik GmbH
Priority date: 1972-03-23
Filing date: 1972-03-23
Publication date: 1975-03-13
Also published as: DE2214159B2; DE2214159A1

Description

Die Erfindung bezieht sich auf eine EinrichtungThe invention relates to a device

zum Freihalten des Strahlwegs, insbesondere der unmittelbaren Umgebung des Strahlwegs eines Strahls einer Energiestrahl-Materialbearbeitungsmaschineto keep the beam path clear, in particular the immediate vicinity of the beam path of a beam an energy beam material processing machine

von störender Materie mit einer bewegbaren Blendenanordnung zum Auffangen der von der jeweiligen Bearbeitungsstelle losgelösten Werkstoffdämpfe und Werksüoffteilchen.of interfering matter with a movable diaphragm arrangement for collecting the from the respective Processing point detached material vapors and material particles.

Bei Materialbearbeitungen, insbesondere bei abtragenden Bearbeitungen mittels eines Energiestrahls, z. B. eines Laser-Strahls oder eines Ladungsträgerstrahls, wird an der Auftreffstelle des als thermisches Werkzeug dienenden Strahls auf der Oberfläche eines Werkstücks momentan Material teils aufgeschmolzenIn the case of material processing, in particular in the case of abrasive processing using an energy beam, z. B. a laser beam or a charge carrier beam, is at the point of impact as a thermal Tool serving beam on the surface of a workpiece momentarily material partially melted

♦5 und teils verdampft, und man hat festgestellt, daß sich in Abhängigkeit von der jeweiligen Flächenleistungsdichte des auftreffenden Strahlquerschnitts und der Art des Werkstoffs in der Regel ein relativ hoher Dampfdruck ausbildet, der zu einem explosionsarti-♦ 5 and partly evaporated, and it was found that depending on the respective surface power density of the incident beam cross-section and the Type of material usually forms a relatively high vapor pressure, which leads to an explosive

gen Wegschleudern des im Bearbeitungsbereich aufgeschmolzenen Materials führt.causes the material melted in the processing area to be thrown away.

Innerhalb eines bestimmten Raumwinkelbereichs unmittelbar oberhalb der Auftreffstelle eines bearbeitenden Energiestrahls fliegen die von dieser Auftreff-Within a certain solid angle range directly above the point of impact of a machining Energy beams fly from this impact

stelle abspratzenden Werkstoffpartikel und verdampfenden Atome mit mehr oder weniger hoher Geschwindigkeit in beliebigen Richtungen weg und können infolgedessen, insbesondere wenn derartige Teilchen dem Strahlweg im wesentlichen entgegengesetzte Flugrichtungen besitzen, innerhalb der Bearbeitungsmaschine als Verunreinigungen sehr störend in Erscheinung treten.make spattering material particles and evaporating atoms with more or less higher Speed in any direction and can as a result, especially if such Particles have essentially opposite directions of flight to the beam path within the processing machine appear very annoying as impurities.

Beispielsweise ist festgestellt worden, daß die bei der Materialbearbeitung mittels Elektronenstrahlen von der Strahlauftreffstelle losgelösten Teilchen leicht in die Umgebung der Strahlquelle gelangen und etwa in das Beschleunigungsfeld zwischen Steuerelektrode und Anode des Strahlerzeugungssystems eintretenFor example, it has been found that when machining materials by means of electron beams Particles detached from the point of impact can easily get into the vicinity of the beam source and about enter the acceleration field between the control electrode and the anode of the beam generation system

ΐ·ΐ ·

gppj- durch die öffnung dieses Systems auch direkt in die Kathode eindringen, so daß letzten Endes eine mehr oder weniger starke Verschmutzung der StrahlqueUe auftritt, wodurch u. U. erhebliche Störungen dts Betriebs verursacht werden können, wie vor allem Inkonstanzen des Strahlstroms oder gar völlige Unterbrechungen des Elektronenstrahls infolge von Hochspannungsüberschlägen.gppj- by opening this system also directly penetrate into the cathode, so that ultimately a more or less severe contamination of the beam source occurs, which may cause considerable disruptions in operation, such as above all Inconsistencies in the beam current or even complete interruptions of the electron beam as a result of High voltage flashovers.

Es hat bisher nicht an Vorschlägen und Versuchen gefehlt, um Störungen dieser Art weitestgehend zu i« vermeiden. Beispielsweise hat man dem Energiestrahl einer Materialbearbeitungsmaschine eine Blendeneinrichtung zugeordnet, die eine dem in einem gewissen Abstand oberhalb des Bearbeitungsbereichs vorhandenen Strahlquerschnitt entsprechende mittlere Öffnung aufweist und die infolgedessen zwar solche vom Bearbeitungsbereich losgelösten Werkstoffpartikel u. dgl. zurückzuhalten vermag, die in zum Strahl peripherischen Bereichen umherschwirren, die dagegen aber alle direkt im Strahlweg fliegenden Verunreinigungsteilchen nicht abschirmen kann.So far there has been no lack of proposals and attempts to minimize disturbances of this kind. avoid. For example, an aperture device is provided for the energy beam of a material processing machine assigned, the one existing at a certain distance above the machining area Has a corresponding central opening and, as a result, such Able to hold back material particles and the like that have been detached from the machining area and that are in the jet peripheral areas buzz around, but all of the contaminant particles flying directly in the beam path can not shield.

Eine Reihe von weiteren, bereits bekannten Maßnahmen bezieht sich aber auch gerade auf das Problem, das Eindringen von Verunreinigungen in den Strah'»erlauf, insbesondere aber in die Strahlquelle ^a5 und in deren Umgebung zu unterbinden.A number of further, already known measures, however, also relate precisely to the problem of preventing the penetration of contaminants into the beam, but in particular into the beam source ^a 5 and its surroundings.

Hierzu wäre vor allem eine bekannte Methode zu erwähnen, die Elektronenstrahlquelle einer Material bearbeitungsmaschine dadurch vor Verunreinigungen zu schützen, daß der Strahl mit Hilfe besonderer Ablenkeinrichtungen durch axial gegeneinander angeordnete Blenden geleitet wird. Dabei werden dem Elektronenstrahl jedoch Ablenkfehler aufgeprägt, die mit entsprechendem Aufwand kompensiert werden müssen, damit sich die Eigenschaften des Arbeitsflecksauf der Werkstücksoberfläche nicht verschlechtern. To do this, there would be a well-known method in particular mention the electron beam source of a material processing machine to protect from contamination by the fact that the beam with the help of special deflection devices is passed through apertures arranged axially against one another. In the process, however, deflection errors are impressed on the electron beam, which must be compensated with a corresponding effort so that the properties of the work spot on do not deteriorate the workpiece surface.

Andere bekannte Maßnahmen zur Vermeidung der oben geschilderten Störungen bestehen in der Verwendung prismatischer Beschleunigungsstrecken, z. B. mit elektrostatischen Feldern mit gebogener oder ' gekippter Rotationsachse, oder von rotationssymmetrischen elektrostatischen Linsen, die den störenden Strom von Verunreinigungen aus dem bearbeitenden Elektronenstrahl herausfiltern sollen. Auch bei derartigen Anordnungen treten jedoch entscheidende Nachteile in Erscheinung. Bei prismatischen Beschleunigungsfeldern wird wohl die Kathode geschützt, nicht aber verhindert, daß Verunreinigungen in die Best hie unigungsstrecke eindringen. Elektrostatische Linsenanordnungen wirken nur auf geladene Teilchen, und da der Ionisicrungsgrad infolge der bei Elektronenstrahl-Bearbeitungsmaschinen sehr hohen Elektronengeschwindigkeit ziemlich gering ist, wird der größte Teil der neutralen Teilchen nicht herausgefiltert.Other known measures to avoid the disturbances outlined above consist in the use prismatic acceleration sections, e.g. B. with electrostatic fields with curved or ' tilted axis of rotation, or of rotationally symmetrical electrostatic lenses, which the disturbing To filter out a stream of impurities from the processing electron beam. Even with such However, there are significant disadvantages to arrangements. With prismatic acceleration fields the cathode is protected, but not prevented that impurities penetrate into the best hie unigungsabschnitt. Electrostatic Lens arrangements only act on charged particles, and there the degree of ionization as a result the electron speed, which is very high in electron beam processing machines, is quite low most of the neutral particles are not filtered out.

Darüber hinaus kennt man bereits eine Vorrichtung zur Freihaltung des Strahlwegs des Arbeitsstrahls einer Materialbearbeitungsmaschine von Verunreinigungen, bei der eine im Bereich des Strahlwegs wirksame Ionisierungs-Einrichtung und eine Ablenkeinrichtung zur Erzeugung eines im Bereich des Strahlwegs wirksamen Ablenkfeldes für elektrisch geladene Teilchen vorgesehen sind, wobei die lonisierungseinrichtung so ausgelegt ist, daß sie mit einer im Vergleich zum Arbeitsstrahl größeren Ionisierungswahrscheinlichkeit ionisierend auf atomare oder größere Teilchen einwirkt, und wobei die Ablenkeinrichtung so ausgelegt ist, daß sie auf elektrisch geladene Teilchen, die sich im Bereich thermischer Geschwindigkeiten bewegen, eine zur Entfernung dieser Teilchen aus dem Strahlweg des Arbeitsstrahls ausreichende Ablenkwirkung ausübt und den Elektronenstrahl praktisch unbeeinflußt läßt. Bei dieser bekannten Vorrichtung wird also durch die Verwendung einer besonderen Ionisierungseinrichtung mit hoher Ionisierungsrate erreicht, daß ein großer Anteil der zunächst nicht geladenen Verunreinigungsteilchen ionisiert wird. Diese ionisierten Teilchen können dann infolge ihrer relativ niedrigen, im wesentlichen thermischen Geschwindigkeiten leicht durch verhältnismäßig schwache Ablenkeinrichtungen, die auf die im Verhältnis schnellen Elektronen des Arbeitsstrahls keine merkliche Ablenkwirkung ausüben, wirksam aus dem Strahlweg des Arbeitsstrahls herauslenkt und sodann von einer oder mehreren Biendeneinrichtungen zurückgehalten werden.In addition, a device for keeping the beam path of the working beam clear is already known Material processing machine from impurities, in which an effective in the area of the beam path Ionization device and a deflection device for generating an in the area of the Beam path effective deflection field for electrically charged particles are provided, the ionization device is designed in such a way that it ionizes to atomic or greater ionizing rates with a greater ionization probability than the working beam Particles acts, and wherein the deflector is adapted to act on electrically charged Particles that are in the range of thermal velocities move, sufficient to remove these particles from the beam path of the working beam Exerts deflection and leaves the electron beam practically unaffected. With this well-known The device is thus made through the use of a special ionization device with a high ionization rate achieves that a large proportion of the initially uncharged impurity particles ionize will. These ionized particles can then, owing to their relatively low, essentially thermal Speeds easily due to relatively weak deflectors acting on the im Ratio fast electrons of the working beam do not exert a noticeable deflection effect, effective out of the beam path of the working beam and then from one or more Biendeneinrichtung be held back.

Die ionisierten Verunreinigungsteilchen sind somit zwar aus dem Strahlweg entfernbar, müssen aber im Anschluß an den Ablenkvorgang entweder von den Ablenkelektroden der Ablenkeinrichtung selbst oder aber von zusätzlichen, außerhalb des Strahlwegs angeordneten Blenden aufgefangen werden. Die Ablenkelektroden bzw. die Blendeneinrichtungen sind daher nach einer gewissen Betriebszeit der Elektronenstrahlbearbeitungsmaschine von Schichten sich dort nach und nach absetzender ionisierter Werkstoff partikel bedeckt, wodurch ebenfalls Störungen auftreten können, so daß diese Bauteile der Maschine aufgebaut und gereinigt bzw. ausgewechselt werden müssen, womit aber von Zeit zu Zeit eine Unterbrechung des Betriebs verbunden ist.The ionized contaminant particles can thus be removed from the beam path, but must in the Connection to the deflection process either by the deflection electrodes of the deflection device itself or but are caught by additional diaphragms arranged outside the beam path. The deflection electrodes or the diaphragm devices are therefore after a certain operating time of the electron beam processing machine layers of ionized material particles gradually settle there covered, which can also malfunction, so that these components of the machine must be set up and cleaned or replaced, but with this an interruption from time to time of the establishment is connected.

Es ist weiterhin ein Korpuskularstrahl -Erzeugungssystem zur Erzeugungeines zunächst keilförmig geformten, mittels geeigneter elektronenoptischer Maßnahmen in einem linienförmigen Bearbeitungsbereich auf der Oberfläche des Werkstücks fokussierbaren Hohlstrahls bekannt, für den eine streifenförmigc, als bewegliches Band ausgebildete Blende zum Auffangen von Verunreinigungsteilchen vorgesehen ist. wobei dieses Band durch die offenen, seitlichen Flanken des keilförmigen Hohlstrahls hindurch und quer zum Strahlverlauf kontinuierlich oder absatzweise hindurchführbar ist. Infolgedessen können die von der bandförmigen Blende aufgefangenen Verunreinigungsteilchen laufend aus dem Strahlweg und somit aus dem Bearbeitungsbereich herausgebracht werden. Die Mittel *ur Erzeugung eines solchen keilförmig verlaufenden Hohlstrahls und zu dessen elektronenoptische: Beeinflussung erfordern jedoch einen verhältnismäßig hohen Aufwand.It is also a corpuscular beam generation system for generating an initially wedge shape shaped, which can be focused by means of suitable electron-optical measures in a linear processing area on the surface of the workpiece Known hollow jet, for which a strip-shaped, A diaphragm designed as a movable belt is provided to collect contaminant particles is. this band through the open, lateral flanks of the wedge-shaped hollow jet and can be passed through continuously or intermittently transversely to the beam path. As a result, the Contamination particles caught by the band-shaped screen run out of the beam path and thus be brought out of the processing area. The means * ur producing such a wedge-shaped running hollow beam and its electron-optical: influence, however, require one relatively high effort.

Der vorliegenden Erfindung liegt nun die Aufgabe zugrunde, eine Einrichtung der eingangs genannten Art zu schaffen und diese Einrichtung in der Weise auszubilden, daß sie bei einem vorgegebenen, beliebig geformten Strahlquerschnitt des Arbeitsstrahls einer Ma'erialbearbeitungsmaschine und insbesondere auch bei längerem, ununterbrochenem Betrieb einer solchen Maschine eine andauernd wirksame, sehr gute Abschirmung des Strahlwegs, vor allem aber dessen unmittelbarer Umgebung, gegen ein Eindringen störender Materie und eine gleichzeitige Entfernung aller aufgefangenen Verunreinigungsteilchen aus dem Bearbeitungsbereich des Energiestrahls gewährleistet. Ausgehend von einer Einrichtung eingangs erwähnter Art wird dies gemäß der Erfindung dadurchThe present invention is based on the object of providing a device of the type mentioned at the beginning Art to create and to train this facility in such a way that it can with a given, arbitrary shaped beam cross-section of the working beam of a material processing machine and in particular even with long, uninterrupted operation of such a machine a continuously effective, very good one Shielding of the beam path, but above all its immediate surroundings, against intrusion of disruptive elements Matter and a simultaneous removal of all trapped contaminants from the processing area of the energy beam guaranteed. Based on a facility mentioned at the beginning This becomes kind of according to the invention

erreicht, daß die insgesamt in einem relativ geringen dungsgemäßen Einrichtung ist vorzüglich für einenachieved that the overall in a relatively small device according to the invention is excellent for one

Abstand über der Oberfläche eines zu bearbeitenden Energiestrahl mit im wesentlichen rotationssymmetri-Distance above the surface of an energy beam to be processed with essentially rotationally symmetrical WerkstüCks befindliche Blendenanordnung aus we- schem Strahlquerschnitt geeignet,The aperture arrangement located on the workpiece is suitable from a beam cross-section,

nigstens einepi Paar zylindrischer, rotierbar angeofd- Nach einer anderen, für bestimmte Anwendungs-at least one pair of cylindrical, rotatable

neter Blendenkörper besteht, deren zueinander par- 5 fälle sehr zweckmäßigen Weiterbildung der erfin-neter visor body, whose mutually par- 5 very expedient further development of the inven-

allelen, raumfesten Rotationsachsen in einer mit der dungsgemäßen Einrichtung können die Mindestab-allelic, spatially fixed axes of rotation in one with the appropriate device, the minimum distance

als Symmetrieebene gedachten Ebene der geome- stände der Rotationsachsen eines Blendenkörper-as a plane of symmetry of the geometrical states of the axes of rotation of a diaphragm body

trisch-optischen Achse des Energiestrahls fechte paares in bezug auf die geometrisch-optische Achsetrisch-optical axis of the energy beam fenes a pair in relation to the geometrical-optical axis

Winkel bildenden Ebene verlaufen und deren Um- des Energiestrahls derart bemessen sein, daß dieseAngle-forming plane run and their area of the energy beam must be dimensioned such that this

fangsflächen wenigstens eine stets ortsfest bleibende ¹⁰ Abstände im wesentlichen jeweils gleich einem Radiuscapturing surfaces always at least one stationary permanent ¹⁰ intervals each substantially equal to a radius

Öffnung konstanter Form und Größe für den Strahl- eines Blendenkörpers sind, und die UmfangsflächeOpening of constant shape and size for the jet of a diaphragm body, and the peripheral surface

durchtritt begrenzen, wobei jeweils in geeigneten Ab- mindestens eines Blendenkörpers kann wenigstenslimit passage, in each case in suitable ab- at least one visor body can at least

ständen vom Bearbeitungsbereich Reinigungsvor- eine sich über dessen Gesamtumfang erstreckende,stand from the processing area cleaning equipment, extending over its entire scope,

richtungen für die aus der unmittelbaren Umgebung ringnutförmige Aussparung aufweisen, die mit derdirections for the annular groove-shaped recess from the immediate vicinity, which with the

des Strahlverlaufs herausgeführten, verunreinigten »5 Umfangsfläche des gegenüberliegenden Blendenkör-the contaminated »5 circumferential surface of the opposite diaphragm body carried out along the beam path

Umfangsflächen der Blendenkörper vorgesehen sind. pers eine stets ortsfest bleibende Öffnung konstanterPeripheral surfaces of the visor body are provided. pers an opening that is always stationary Handelt es sich beispielsweise um einen Energie- Form und Größe für den Strahldurchtritt begrenz,For example, if it is a question of an energy shape and size for the passage of the beam,

strahl, etwa um einen Ladungsträgerstrahl, mit linien- Vorzugsweise sind derartige ringnutförmige Ausspa-beam, for example around a charge carrier beam, with linear grooves.

förmiger Fokussierbarkeit auf einer Werkstücksober- rungen auf beiden Blendenkörperumfängen in jeweilsshaped focusability on a workpiece surface on both diaphragm body circumferences in each case

fläche und mit entsprechendem Strahlquerschnitt ao gleicher Höhe vorgesehen, so daß sich diese Ausspa-area and provided with a corresponding beam cross-section ao the same height, so that this gap

längs seines Strahlwegs, so lassen sich zwei zylindri- rungen - in Richtung des Strahlverlaufs gesehen - ge-along its beam path, two cylinders - viewed in the direction of the beam path - can be created

sche Blendenkörper der erfindungsgemäßen Einrich- genseitig zu einer Strahldurchtrittsöffnung gewünsch-cal diaphragm body of the device according to the invention, desired on the side of a beam passage opening

tung in der Weise anordnen, daß ihre Umfangsflächen ter Querschnittsform und -größe ergänzen,arrange device in such a way that their peripheral surfaces complement the cross-sectional shape and size,

einen im wesentlichen linienförmigen Spalt für den Es kann weiterhin für gewisse Anwendungsfällea substantially linear gap for the it can continue for certain applications

Strahldurchtritt des Linienstrahls begrenzen. Durch «5 sehr günstig sein, die Blendenanordnung der erfin-Limit the passage of the line beam. Due to the fact that the aperture arrangement of the invented

gleichförmige Rotation der beiden Blendenkörper um dungsgemäßen Einrichtung in der Weise auszubilden,uniform rotation of the two diaphragm bodies to form the device according to the invention in such a way that

ihre jeweiligen Zentralachsen werden laufend frische, daß beide Blendenkörper auf ihren im übrigen prak-their respective central axes are constantly fresh, so that both visor bodies on their otherwise practical

gesäuberte Oberflächen der Blendenkörperumfänge tisch aufeinander abrollbaren Umfangsflächen jeweilscleaned surfaces of the visor body circumferences table on one another rollable circumferential surfaces each

an den Strahldurchgangsspalt herangeführt und damit eine vorgegebene Anzahl von in Achsrichtung in glei-brought up to the beam passage gap and thus a predetermined number of in the axial direction in the same

in die nächste Umgebung des Strahlwegs und prak- 30 chen Abständen aufeinanderfolgenden, ringnutför-in the immediate vicinity of the beam path and at practical intervals of successive, annular groove

tisch auch in die Nähe des Bearbeitungsbereichs ge- migen Aussparungen aufweisen, die sich gegenseitigtable also have suitable recesses in the vicinity of the machining area, which are mutually exclusive

bracht. zu einer entsprechenden Anzahl von stets ortsfestbrings. to a corresponding number of always stationary

Die hierbei der Werkstücksoberfläche jeweils zu- bleibenden Öffnungen konstanter Form und GrößeThe openings of constant shape and size remaining on the workpiece surface

gewendeten, sich bewegenden Umfangsflächen der für Strahldurchtritte ergänzen. Eine solchermaßenTurned, moving circumferential surfaces complement the for beam passages. Such a thing

Blendenkörper fangen die von der bzw. den Bearbei- 35 ausgestaltete Blendenanordnung ist insbesondere inThe diaphragm body catches the diaphragm arrangement configured by the processing device (s), in particular in FIG

tungsstellen ausgehenden Werkstoffdämpfe in Form jenen Fällen sehr zweckmäßig, wenn der Energie-material vapors in the form of those cases where the energy

von sogenanntem Abtragkondensat und weitere Ma- strahl-Generator der Materialbearbeitungsmaschineof so-called ablated condensate and other ma-ray generators of the material processing machine

terie in Form von anbackenden Werkstoffteilchen einen Arbeitsstrahl mit zunächst linienförmigemterie in the form of caked-on material particles create a working jet with an initially linear one

kontinuierlich auf und transportieren diese störende Strahlquerschnitt erzeugt und dieser Arbeitsstrahl incontinuously on and transport this disturbing beam cross-section generated and this working beam in

Materie aus der unmittelbaren Umgebung des Strahl- 40 eine größere Anzahl von Einzel-Arbeitsstrahlen mitMatter from the immediate vicinity of the beam 40 with a larger number of individual working beams

wegs und aus dem Bearbeitungsbereich heraus. anderen Querschnitten aufgeteilt und gewisse Strahl-away and out of the processing area. divided into other cross-sections and certain beam

Durch die Reinigungsvorrichtungen der erfin- bereiche des Linienstrahls hierbei gänzlich ausgeblen-Through the cleaning devices the invention areas of the line jet are completely blended out.

dungsgemäßen Einrichtung werden dann die verun- det werden sollen.appropriate device will then be used.

reinigten Umfangsflächen der Blendenkörper jeweils Die ringnutförmigen Aussparungen auf den jeweiauf mechanischem Wege, ζ. B. durch Abstreifen oder 45 ligen Umfangsflächen der Blendenkörper können Abschaben, oder auf chemischem Wege, ζ. B. mittels vorzugsweise derart ausgebildet sein, daß sich einzelne geeigneter Flüssigkeitsbäder, kontinuierlich von der Strahldurchtrittsöffnungen mit rechteckigen Querstörenden Materie befreit. schnitten ergeben, oder aber auch derart, daß mancleaned the circumferential surfaces of the diaphragm bodies in each case mechanically, ζ. B. by stripping or 45-league circumferential surfaces of the visor body Scraping, or by chemical means, ζ. B. by means of preferably be designed such that individual suitable liquid baths, continuously freed from the jet passage openings with rectangular cross-disruptive matter. cut out, or in such a way that one

Gemäß weiterer Ausgestaltung der Erfindung kann Strahldurchtrittsöffnungen mit kreisförmigen Quer-According to a further embodiment of the invention, beam passage openings with circular transverse

zusatzHch zn einem ersten Blendenkörperpaar in der 50 schnitten erhält.In addition to a first pair of visor bodies in which 50 cuts are received.

Richtung des StraMveriaufs folgend ein zweites Blen- Eine weitere, im Rahmen der Erfindung liegende denkörperpaar gleicher Art vorgesehen sein, das in und im Hinblick auf die Verwendung in Verbindung der Weise angeordnet ist, daß dessen Rotationsachsen mit einem Linienstrahl-Generator sehr zweckmäßige in einer zweiten, zur Ebene der Rotationsachsen des Ausführungsmöglichkeit für die Blendenanordnung ersten Blendenkörperpaares parallelen Ebene jeweils 55 besteht noch darin, daß je einer der Blendenkörper rechtwinklig zur Richtung der Rotationsachsen des auf seiner Umfangsfläche eine vorgegebene Anzahl ersten Blendenkörperpaares verlaufen. In diesem von in Achsrichtung in gleichen Abständen aufeinan-FaIIe können somit zwei Blendenkörperpaare vor- deriolgenden ringnutförmigen Aussparungen aufzugsweise mit relativ sehr geringem, gegenseitigem weist und daß die Reihe der rmgnutförmigen Ausspa-Abstand überemander angeordner sein, wobei die 60 rungen auf der Umfangsfläche des einen Blendenkör-Rotationsachsen der Blendenkörperpaare kreuzweise pers gegenüber der Reibe der ringmrtförmigen gerichtet sind, so daß die jeweiligen Umfangsflächen Aussparungen auf der Umfangsfläche des anderen der Blendenkörperpaare gemeinsam eine stets ortsfest Blendenkörpers in Achsrichtung gesehen derart esa bleibende Strahldurchtrittsöffnung begrenzen, deren einen bestimmten Betrag versetzt ist, daß jeweäs ein Projektion auf die Ebene der Werkstücksoberfläche 65 zwei aufeinanderfolgende Ringmite eines der Blenpraktisch eraen rechteckförmigen, beispielsweise denkörper trennender Bund in eine Ringnut des gequadratBchen öffmmgsquerschnitt der Blendenan genüberiiegenden Blendenkörpers eingreift und hierordnung ergibt. Eine derartige Ausführung der erfin- durch zwischen je zwei in Achsrichtung aufeinander-In the direction of the flow, a second screen follows. Another one that lies within the scope of the invention the body pair of the same type be provided in and with a view to the use in connection is arranged in such a way that its axes of rotation are very useful with a line beam generator in a second, to the plane of the axes of rotation of the implementation possibility for the diaphragm arrangement first visor body pair parallel plane in each case 55 is that each one of the visor body at right angles to the direction of the axes of rotation of the on its peripheral surface a predetermined number first visor body pair run. In this case of equidistant spacing in the axial direction, two pairs of diaphragm bodies can be arranged in front of the diaphragm in the form of annular grooves with relatively very little mutual spacing and that the row of grooves can be arranged one above the other, with the 60 stanchions on the circumferential surface of one Diaphragm body rotation axes of the visor body pairs crosswise against the grater of the ring-shaped are directed so that the respective peripheral surfaces have recesses on the peripheral surface of the other of the visor body pairs together an always stationary visor body seen in the axial direction such esa Limit permanent beam passage opening, which is offset by a certain amount that each one Projection onto the plane of the workpiece surface 65 two successive ring centers of one of the practically rectangular, for example, the body separating collar engages in an annular groove of the square opening cross-section of the diaphragm on the opposite diaphragm body and results in this arrangement. Such an embodiment of the invention is carried out between two each in the axial direction

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folgenden Bünden des einen und des anderen zylindrischer, rotierbar angeordneter Blendenkör-Blendenkörpers jeweils eine stets ortsfest bleibende per 7 ersetzt ist, die zu beiden Seiten eines fokussieröffnung konstanter Form und Größe für den Strahl- ten Energiestrahls 9 symmetrisch zueinander angedurchtritt gebildet ist. ordnet sind. Bei diesem Energiestrahl handelt es sichFollowing collars of the one and the other cylindrical, rotatably arranged visor body visor body is replaced by one that always remains stationary by 7, which is formed symmetrically to each other on both sides of a focusing opening of constant shape and size for the radiated energy beam 9. are arranged. This energy beam is

.■-,, Zi.iT näheren Erläuterung der erfindungsgemäßen 5 z. B. um einen Elektronenstrahl mit linienförmiger Einrichtung und ihrer Weiterbildungen dienen die Fokussierbarkeit auf der Oberfläche eines zu bearbei-Zeichnungen. tenden Werkstücks 10. Die zueinander parallelen,. ■ - ,, Zi.iT more detailed explanation of the invention 5 z. B. to an electron beam with a linear Facility and its further developments serve to focus on the surface of a drawing to be machined. end of the workpiece 10. The mutually parallel,

Jm Rahmen von Ausführungsbeispielen zeigt raumfesten Rotationsachsen 12 und 13 der beidenIn the context of exemplary embodiments, FIG. 12 shows fixed axes of rotation 12 and 13 of the two

Fig. 1 eine schematische Darstellung des üblichen Blendenkörper 7 und 8 verlaufen in einer mit der als Bearbeitungsvorgangs durch einen auf eine Werk- i° Symmetrieebene gedachten Ebene der geometrisch-Stücksoberfläche gerichteten Energiestrahl, optischen Achse des Energiestrahls 9 rechte WinkelFig. 1 is a schematic representation of the usual visor body 7 and 8 extend in one with the as Machining process through an imaginary plane of the geometrical piece surface directed onto a plane of symmetry of the workpiece, optical axis of the energy beam 9 at right angles

j Fig. 2 eine Stirnansicht einer schematisch darge- bildenden Ebene und die Umfangsflächen der beidenj FIG. 2 shows an end view of a schematically depicting plane and the circumferential surfaces of the two

j stellten erfindungsgemäßen Blendenanordnung, zylindrischen Blendenkörper begrenzen einen im we-j presented diaphragm arrangement according to the invention, cylindrical diaphragm bodies delimit an essentially

j Fig. 3 eine Draufsicht auf die Blendenanordnung sentlichen linienförmige!!, stets ortsfest bleibendenj FIG. 3 is a plan view of the diaphragm arrangement, which is essentially linear !!, which always remains stationary

j gemäß Fig. 2, '5 Spalt 11 für den Strahldurchtritt des Linienstrahls 9.j according to FIG. 2, '5 gap 11 for the beam passage of the line beam 9.

F i g. 4 eine Stirnansicht einer weiteren Ausführung Mittels der Übersichtlichkeit halber nicht gezeigterF i g. 4 shows a front view of a further embodiment, which is not shown for the sake of clarity

einer Blendenanordnung, Antriebsmotoren od. dgl. lassen sich die beiden Blen-a diaphragm arrangement, drive motors or the like, the two diaphragm

j Fig. 5 eine Draufsicht auf die Blendenanordnung denkörper 7 und 8 während des Bearbeirungsablaufsj Fig. 5 is a plan view of the diaphragm arrangement the body 7 and 8 during the machining process

gemäß F i g. 4, jeweils in gleichförmige Rotation um ihre Achsen 12according to FIG. 4, each in uniform rotation about their axes 12

j Fig. 6eine Stirnansicht einer weiteren Ausführung ^Μ und 13 versetzen, wobei diese Rotationsrichtungenj Fig. 6 a front view of a further embodiment ^Μ and 13 offset, these directions of rotation

einer Blendenanordnung und deren beiden Blenden- zweckmäßigerweise derart gegensinnig verlaufen, wiea diaphragm arrangement and its two diaphragms expediently run in opposite directions, as

körper, ^{es aus} F«g· 2 ersichtlich ist. Auch die zur Reinigungbody, ^as can be seen from F «g · 2. Also for cleaning

! Fi g.' 7 und 8 jeweils Draufsichten auf Blendenkör- der aus der unmittelbaren Umgebung des Strahlver-! Fi g. ' 7 and 8 are top views of the diaphragm bodies from the immediate vicinity of the jet

perabschnitte von Blendenanordnungen nach Fig. 6, laufs des Energiestrahls 9 laufend herausbewegtenper sections of diaphragm arrangements according to FIG. 6, the course of the energy beam 9 continuously moved out

F i g. 9 eine Draufsicht auf eine weitere Ausführung »5 Oberflächen der Blendenkörper 7 und 8 noch erfor-F i g. 9 a plan view of a further embodiment »5 surfaces of the visor bodies 7 and 8 still required.

einer Blendenanordnung und deren beiden Blenden- derlichen Reinigungsvorrichtungen sind der Einfachkörper, und die heit halber in Fig. 2 nicht dargestellt. Solche Reini-Fig. 10 eine Teil-Schnittansicht einer Blendenan- gungsvorrichtungen könnten etwa in einer der Ordnung gemäß Fig. 9. schematischen Darstellungen gemäß Fig. 6 entspre-The simple body of a panel arrangement and its two panel cleaning devices are not shown in FIG. 2 for the sake of that. Such Reini-Fig. 10 a partial sectional view of a diaphragm attachment device could for example in one of the Order according to FIG. 9. Schematic representations according to FIG. 6 correspond to

Wie sich aus der Fig. 1 entnehmen läßt, wird ein 30 chenden Weise angeordnet sein, aus einem nicht gezeigten Generator kommender, fo- Ein weiteres Ausführungsbeispiel einer Blenden-As can be seen from Fig. 1, a 30 corresponding way will be arranged, coming from a generator not shown, fo- Another embodiment of a diaphragm-

kussierter Energiestrahl 2, z. B. ein Elektronenstrahl, anordnung geht aus F i g. 4 und 5 hervor. Hierbei sind auf die Oberfläche eines Werkstücks 1 geschickt, mit zwei Blendenkörperpaare 14, 15 und 16, 17 der in ^der Aufgabe, dort durch Abtragen des Materials eines F i g. 2 gezeigten Art übereinander angeordnet, und Werkstücksbereichs S eine entsprechende Bohrung zu 35 zwar so, daß die Rotationsachsen der Blendenkörpererzeugen. Setzt man voraus, daß es sich um einen paare kreuzweise verlaufen, wie es insbesondere an Elektronenstrahl handelt, so erfolgt die Bearbeitung Hand der Fi g. 5 erkennbar ist. Infolgedessen begrenzweckmäßgerweise innerhalb einer evakuierbaren zen die jeweiligen Umfangsflächen der Blendenkör-Arbeitskammer. Der bearbeitende Strahl 2 drinßt in perpaare insgesamt eine mittlere Strahldurchgangsdie Oberfläche und in das Material des Werkstücks 1 40 Öffnung 18. In diesem Falle läßt sich die Blendenanein wodurch das Material im Bearbeitungsbereich Ordnung /ur Freihaltung des Strahlwegs eines teils aufgeschmolzen, teils verdampft wird, derart, daß Energiestrahls mit im wesentlichen rotationssymme-Materie 4 in Form von verdampfenden Atomen, Io- trischem Strahlquerschnitt von störender Materie vernen und anderen Teilchen mit relativ hoher Ge- wenden.kissed energy beam 2, e.g. B. an electron beam, arrangement goes from F i g. 4 and 5. Here are sent to the surface of a workpiece 1, with two pairs of visor bodies 14, 15 and 16, 17 of the in ^ the task, there by removing the material of a F i g. 2 arranged one above the other, and Workpiece area S generates a corresponding hole at 35 in such a way that the axes of rotation of the diaphragm bodies. Assuming that there are a pair of crisscrosses, as shown in particular Is electron beam, the processing takes place in the hand of Fi g. 5 can be seen. As a result, the respective peripheral surfaces of the diaphragm body working chamber within an evacuable zen. The processing beam 2 penetrates a total average beam passage into the surface and in the material of the workpiece 1 40 opening 18 is partly melted, partly evaporated, in such a way that the energy beam with essentially rotationally symmetrical matter 4 in the form of evaporating atoms, iotric beam cross-section of interfering matter and other particles with relatively high turns.

schwindigkeit den Bearbeitungsbereich innerhalb ei- 45 Gemäß Fig. 6 weist eine weitere Ausführungsnes Kegels mit einem maximalen öffnungswinkel von möglichkeit einer erfindungsgemäßen Einrichtung etwa 90° verläßt Die Flugrichtungen dieser Teilchen wiederum nur ein Blendenkorperpaar 19,20 entspreusw. sind durch Pfeile angedeutet. chend der in Fi g. 2 gezeigten Anordnung auf, wobei45 According to FIG. 6, a further embodiment has a cone with a maximum opening angle of the possibility of a device according to the invention about 90 ° leaves the flight directions of these particles only a pair of Blendenkorperpaar 19,20 correspond. are indicated by arrows. according to the in Fi g. 2 arrangement shown, wherein

Bringt man nun in einem gewissen Abstand über sich diese Blendenanordnung in relativ geringem Abdem Werkstück 1 eine übliche, eine mittlere Öffnung 50 stand über der Oberfläche eines zu bearbeitenden für den Strahldurchtritt aufweisende, feststehende Werkstücks 22 befindet Beiderseits dieser Blenden-Blende an so setzt sich die Materie 4 nach und nach anordnung 19. 20 befinden sich schematisch darge auf der Oberfläche der Blende ab und bildet eine stellte Reinigungsvorrichtungen 23 und 24, die beiSchicht 6 die sich teilweise bis zur Innenfläche der spielsweise mechanisch arbeitende Abstreifer, Rakel Blendenöffnung fortsetzt. Diejenigen Werkstoffteil· 55 od. dgl. besten können, mittels derer die Umfangschen, die sich direkt im Strahlverlauf bewegen, kön- flächen der Blendenkorper 19 und 20 von den wähnen auch durch die Blendenöffnung hindurchtreten rend des Bearbettungsvorganp aufgefangenen Ver- and letztlich in die StrahlqueHe gelangen und dort stö unreinigungsteilchen od. dgl. laufend befreit werden, rend in Erscheinung treten. , J*Blendenkorper 19und20 weseiianferdeni1 rmg-If this diaphragm arrangement is now brought at a certain distance above itself in a relatively small distance from the workpiece 1, a conventional, central opening 50 stood above the surface of a workpiece to be machined for the beam passage, stationary workpiece 22 is located on both sides of this diaphragm diaphragm so the matter 4 is gradually arranged 19. 20 are shown schematically on the surface of the screen and forms a set of cleaning devices 23 and 24, which in layer 6 are partially up to the inner surface of the, for example, mechanically working scraper, squeegee Aperture continues. Those material parts 55 or the like can best be used by means of which the small circumferences, which move directly in the beam path, can surfaces of the diaphragm bodies 19 and 20 from the and ultimately get into the beam and there impurity particles or the like are continuously freed, rend to appear. , J * Orifice body 19und20 weseiianferdeni1 rmg-

Andererseits kann sich die Öffnung der Blende 3 60 formige, um dw RotaUonsweOen benm verlaufende nach einiger Bearbeitungszeit durch sich an ihrer In- Hohlräume 29 und 30 fur Kuhlungszwecke auf nenflädie^ieden^lagende Verunreinigongsteilchen Die besonderen Merkmale der beiden Btendenkor-On the other hand, the opening of the diaphragm 3 60 shaped impurities that run around the rotaUonsweOen b enm after a certain processing time through their internal cavities 29 and 30 for cooling purposes, the special features of the two Btendenkor-.

verengen wodurch ebenfalls Störungen des Bearbei- per 19 und 20 und ihrer gegenseitigen Anordnung tongsablaufs bedingt sein können. "** ^F! 8 ⁶ bestehen nimdann, daß die Mtndestab-narrowing, whereby disturbances of the operator 19 and 20 and their mutual arrangement can also be caused by the tong sequence. "** ^F ! 8 ⁶ do not insist that the staff members

CHe Fi g. 2 und 3 zeigen nun eine einfache Ausfüh- 65 stände ihrer Rotationsachsen27 aod 28 m bezug auf rongsraöglichkeit einer Blendenanordmmg einer er- die geometrisch-optische Ach« emes Enerpestrahk &i*mgs!emäeen Einrichtung, bei der also praktisch 21 derart bemessen smd, daß diese MmdestabstandeCHe Fi g. 2 and 3 now show a simple embodiment of their axes of rotation27 to 28 m with reference to There is also the possibility of a diaphragm arrangement, the geometrical-optical axis of energy & i * mgs! emäeen device, in which practically 21 are dimensioned in such a way that these minimum distances die einzelne Blende 3 gemäß Fig. 1 durch ein Paar im wesentlichen jeweils gleich etnem Radios einesthe individual panel 3 according to FIG. 1 by a pair essentially each identical to a radio

j. 509611/207j. 509611/207

Blendenkörpers 19 bzw. 20 sind, so daß die Umfangs- achsen mit 44 bzw. 45 bezeichnet sind, auf seiner Umflächen der Blendenkörper praktisch aufeinander ab- fangsfläche eine vorgegebene Anzahl von in Achsrollbar sind, während zur Bildung wenigstens einer richtung in gleichen Abständen aufeinanderfolgen-Durchtrittsöffnung für den fokussieren Energiestrahl den, ringnutförmigen Aussparungen 39 bzw. 40 auf, 21 beide Umfangsflächen jeweils sich über die Ge- 5 und die Reihe der ringnutförmigen Aussparungen 39 samtumfänge der Blendenkörper 19 und 20 erstrek- auf der Umfangsfläche des einen Blendenkörpers 37 kende, in gleicher Höhe befindliche, ringnutförmige ist gegenüber der Reihe der ringnutförmigen Ausspa-Aussparungen 25 und 26 aufweisen, die sich - wie rungen 40 auf der Umfangsfläche des anderen Blenaus Fig. 7 am besten ersichtlich ist - gegenseitig zu deekörpers 38in Achsrichtung gesehen derart um eieiner stets ortsfest bleibenden öffnung 31 für den »° nen bestimmten Betrag versetzt, daß jeweils ein zwei Durchtritt des Energiestrahls 21 ergänzen. unmittelbar aufeinanderfolgende Ringnute 39 bzw. 40Visor body 19 and 20 are, so that the circumferential axes are denoted by 44 and 45, on its peripheral surfaces the visor body practically on top of one another intercepting surface a predetermined number of axially rollable are, while to form at least one direction at equal intervals successive passage opening for the focused energy beam, the annular groove-shaped recesses 39 or 40, 21 both circumferential surfaces each extend over the 5 and the row of annular groove-shaped recesses 39 The entire circumferences of the visor bodies 19 and 20 extend on the circumferential surface of the one visor body 37 kende, located at the same height, is annular groove-shaped opposite the row of annular groove-shaped recess recesses 25 and 26, which - like stanchions 40 on the circumferential surface of the other Blenaus Fig. 7 is best seen - mutually to dee body 38 seen in the axial direction around one opening 31, which always remains stationary, is offset for the specific amount that one two Complete passage of the energy beam 21. annular grooves 39 and 40, which follow one another immediately

Die ringnutförmigen Aussparungen 25 und 26 kön- eines der Blendenkörper 37 bzw. 38 trennender Bund nen - wie sich aus der F i g. 7 ferner ergibt - beispiels- 42 bzw. 43 in eine Ringnut 40 bzw. 39 des gegenüberweise hinsichtlich ihrer Form und ihrer Abmessungen liegenden Blendenkörpers 38 bzw. 37 eingreift und derart gestaltet sein, daß sich eine Strahldurchtritts- »5 hierdurch zwischen je zwei in Achsrichtung aufeinanöffnung 31 mit rechteckförmigem Querschnitt ergibt. derfolgenden Bünden 42 und 43 des einen und desThe annular groove-shaped recesses 25 and 26 can be a collar separating one of the diaphragm bodies 37 and 38, respectively nen - as can be seen from FIG. 7 also results - for example 42 or 43 in an annular groove 40 or 39 of the opposite with regard to their shape and dimensions lying visor body 38 and 37 engages and be designed in such a way that a beam passage »5 opens up between each two in the axial direction 31 with a rectangular cross-section results. of the following collars 42 and 43 of one and of the

Bei einer weiteren Ausführungsmöglichkeit ent- anderen Blendenkürpers 37 und 38jeweils eine stets sprechend der Fig. 8 besitzen die Umfangsflächen ortsfest bleibende, schlitzförmige Öffnung 41 konvon zylindrischen Blendenkörpern 33 und 34 einer stanter Form und Größe für den Strahldurchtritt ge-Blendenanordnung nach Fig. 6 jeweils ringnutför- ao bildet ist. Der Übersichtlichkeit halber ist in der F ig. 9 mige Aussparungen 35 und 36. die derart ausgebildet eine Blendenanordnung mit lediglich zwölf Strahlsind, daß sich eine Strahldurchtrittsöffnung 32 mit durchtrittsöffnungen 41 dargestellt, während man in kreisförmigem Querschnitt ergibt. der Praxis eine derartige Blendenanordnung vorzugs-In a further possible embodiment, there is always one in each case from the other diaphragm body 37 and 38 8, the peripheral surfaces have a slot-shaped opening 41 that remains stationary cylindrical diaphragm bodies 33 and 34 of a constant shape and size for the beam passage ge diaphragm arrangement 6 each ringnutför- ao is formed. For the sake of clarity, FIG. 9 mige recesses 35 and 36. which are designed in such a way as a diaphragm arrangement with only twelve beams, that a beam passage opening 32 is shown with passage openings 41, while in circular cross-section results. such a diaphragm arrangement is preferred in practice

Im Falle bestimmter Energiestrahl-Materialbear- weise so ausführen wird, daß man eine wesentlich gröbeitungsprobleme, z. B. bei der Elektronenstrahl- 35 ßere Anzahl von in einer Reihe hintereinanderliegen-Perforation von Kunststoff-Folien, ist es nun zweck- den Strahldurchtrittsöffnungen erhält,
mäßig, das Werkstück durch eine größere Anzahl von Die zuletzt beschriebene Blendenanordnung istIn the case of certain energy beam material processing, it will be carried out in such a way that there are significantly larger problems, e.g. B. in the case of the electron beam- 35 large number of in a row one behind the other -perforation of plastic foils, it is now expedient- receives the beam passage openings,
moderately, the workpiece is through a larger number of The panel arrangement described last

gleichartigen Strahldurchtrittsöffnungen hindurch mit insbesondere zur Freihaltung des Strahlwegs eines der notwendigen thermischen Energie beaufschlagen durch einen Linienstrahl-Generator erzeugbaren zu können. Einem solchen Erfordernis läßt sich bei 30 Energiestrahls, z. B. eines Elektronenstrahls, von stöeiner Blendenanordnung gemäß der in F i g. 6 gezeig- render Materie geeignet, während gleichzeitig dieser ten Ausführung in einfacher Weise dadurch Rechnung Linienstrahl entsprechend der Anzahl der Strahltragen, daß beide Blendenkörper 19, 20 bzw. 33, 34 durchtrittsöffnungen 41 in eine größere Anzahl einauf ihren jeweiligen Umfangsflächen mit einer größe- zelner Arbeitsstrahlen aufteilbar ist, die durch die ren Anzahl von in Achsrichtung in gleichen Abstän- 35 Öffnungen 41 hindurch auf ein zu bearbeitendes den aufeinanderfolgenden, ringnutförmigen Ausspa- Werkstück einwirken können. Infolge kontinuierlirungen 25, 26 bzw. 35, 36 versehen werden, die sich eher Reinigung der Blendenkörperoberflächen, d. h. dann wiederum gegenseitig zu einer entsprechenden also auch der die öffnungen 41 jeweils begrenzenden Anzahl von stets ortsfest bleibenden öffnungen 31 Flächen von den während des Bearbeitungsvorgangs bzw. 32 jeweils konstanter Form und Größe für 40 von diesen Flächen aufgefangenen Werkstoffdämpfen Strahldurchtritte ergänzen. und Werkstoffpartikeln mittels außerhalb des Bear-Similar beam passage openings through with in particular to keep the beam path of a the necessary thermal energy can be generated by a line beam generator to be able to. Such a requirement can be met with 30 energy beam, e.g. B. an electron beam from stöeiner Aperture arrangement according to the in F i g. 6 are suitable for the matter shown, while at the same time this th execution in a simple way thereby calculating the line beam according to the number of beam stretcher, that both diaphragm bodies 19, 20 and 33, 34 einauf passage openings 41 in a larger number their respective circumferential surfaces can be divided with a larger working beam, which is passed through the Ren number of in the axial direction at the same distance 35 openings 41 through to one to be machined the successive, annular groove-shaped recess workpiece can act. As a result of continuations 25, 26 and 35, 36 are provided, which are more likely to clean the visor body surfaces, d. H. then in turn mutually to a corresponding one, that is to say also that which delimits the openings 41 in each case Number of openings 31 which always remain stationary from the areas during the machining process or 32 of constant shape and size for 40 material vapors captured by these surfaces Complete beam openings. and material particles by means of outside the machining

Ein weiteres Ausfuhrungsbeispiel einer Blenden- beitungsbereichs für jeden Blendenkörper 37 und 38 anordnung mit zwei achsparallelen, zylindrischen und vorgesehenen, der Übersichtlichkeit halber nicht darrotierbaren Blendenkörpern, in deren Bereich gegen- gestellter Reinigungsvorrichtungen ist gewährleistet, seitiger Umfangsberührung eine größere Anzahl von +5 daß den einzelnen Strahlwegen im Bereich der Strahlstets ortsfest bleibenden Strahldurchtrittsöffnungen durchtrittsöffnungen 41 stets wieder saubere Blenkonstanter Form und Größe vorhanden ist, geht aus denoberflächen zugeführt werden, wodurch Störunden Fig. 9 und 10 hervor. Hierbei weist je einer der gen des Bearbeitungsvorgangs durch Verunreinibeiden Blendenkörper 37 bzw. 38, deren Rotations- gungsteilchen weitestgehend verhindert werden.Another exemplary embodiment of a diaphragm processing area for each diaphragm body 37 and 38 arrangement with two axially parallel, cylindrical and provided, for the sake of clarity not rotatable Visor bodies, in whose area opposing cleaning devices is guaranteed, lateral circumferential contact a larger number of +5 that the individual beam paths in the area of the beam always Stationary beam passage openings through openings 41 always clean aperture constants again Shape and size is present, goes out of the surfaces to be fed, creating rounds of interference Figures 9 and 10 emerge. In this case, one of the genes of the machining process indicates contamination Aperture body 37 or 38, the rotational particles of which are largely prevented.

Hierzu 1 Blatt Zeichnungen1 sheet of drawings

l·.l ·.

Claims

Patent claims:

1. Device for keeping the beam path and the immediate vicinity of the beam path clear an energy beam material processing machine beam of interfering matter with a movable panel arrangement for collecting the detached from the respective processing point Material damping and material particles, characterized in that the total at a relatively small distance above the surface of a workpiece to be machined located aperture arrangement of at least one pair of cylindrical, rotatably arranged The diaphragm body (7, 8; 19, 20: 37, 38) consists of their parallel, spatially fixed axes of rotation in a middle plane of the geometrical-optical axis, imagined as a plane of symmetry of the energy beam (9: 21) and their peripheral surfaces run at right angles at least one opening of constant shape and size, which always remains stationary, for the beam to pass through limit, with cleaning devices in each case at suitable distances from the machining area for those led out of the immediate vicinity of the beam path, contaminated peripheral surfaces of the visor body are provided.

2. Device according to claim 1, characterized in that that in addition to a first pair of diaphragm bodies (14,15) in the direction of the beam path following a second Blendenkorperpaar (16, 17) of the same type is provided. that arranged in that way is. that its axes of rotation in a second to the plane of the axes of rotation of the first Visor body pairs parallel plane each at right angles to the direction of the axes of rotation of the first visor body pair.

.V device according to claim 1, characterized in that that the minimum distances between the axes of rotation of a visor body pair in relation to the geometrical-optical energy beam axis are dimensioned in such a way that these distances are each equal to a radius of a visor body, and that the circumferential surface of at least one visor body (19, 20) extends over at least one length the entire circumference of which has an annular groove-shaped recess that coincides with the circumferential surface of the opposite visor body has an opening that remains constant at all times The shape and size of the beam are limited.

4. Device according to claim 3, characterized in that that both diaphragm bodies (19.20: 33, 34) each have one on their peripheral surfaces predetermined number of annular groove-shaped consecutive at equal intervals in the axial direction Have recesses (25, 26 and 35, 36) which mutually form a corresponding Number of openings (31; 32) of constant shape and size that always remain stationary Complete beam openings.

5. Device according to claim 4, characterized in that that the annular groove-shaped recesses (25, 26) are designed such that beam passage openings (31) with rectangular Result in cross-sections.

6. Device according to claim 4, characterized in that

indicates that the rinanutformigen recesses (35, 36) are designed such that Resulting beam passage openings (32) with circular cross-sections.

7 Device according to claim 3, characterized in that one of the diaphragm bodies (37, 38) a predetermined number of equal distances in the axial direction on its circumferential surface consecutive annular groove-shaped recesses (39. 40) and that the series of annular groove-shaped recesses (39) on the peripheral surface of a diaphragm body (37) opposite the row of the annular groove-shaped recesses (40) on the peripheral surface of the other diaphragm body (38) is offset by a certain amount, seen in the direction of the axis, that in each case one two successive annular grooves (39 or 40) one of the band separating the bi-end body (42: 43) engages in an annular groove (40 or 39) of the opposite one (38 or 37) and thereby between two in the axial direction successive collars (42: 43) of the one and the other Aperture body (37 and 38) each have an opening (41) of constant shape that always remains stationary and large for the beam passage is formed.